KR100533885B1 - 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치및 방법 - Google Patents

상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 클리닝 액조의 일부에 해당 클리닝 액조의 클리닝 용액 저수량, 예컨대, 클리닝 용액의 하한 저수량, 클리닝 용액의 상한 저수량 등을 적절하게 센싱할 수 있는 일련의 수·발광센서들을 배치함과 아울러, 이 수·발광센서들과 전기적으로 연결된 상태에서, 해당 수·발광센서들의 동작 및 광 수·발신 현황 등을 제어할 수 있는 일련의 전산 블록을 추가 배치하고, 이들의 연계 동작을 통해, 클리닝 용액의 공급절차, 클리닝 용액의 배수절차 등이 클리닝 액조의 실질적인 용액 저수 현황에 따라, 자동으로 조절될 수 있도록 함으로써, 생산주체 측에서, 작업자의 수작업에 의존하던 종래의 클리닝 용액 관리방식을 자연스럽게 벗어날 수 있도록 유도할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 수·발광센서 및 전산 블록의 연계 작용을 통해, 전체적인 클리닝 용액 관리절차 내에서, 작업자의 수작업 개재를 원천적으로 배제시킴으로써, "작업자의 작업능률이 급격히 저하되는 문제점", "작업자가 인체에 해로운 클리닝 용액에 직접 노출되는 문제점", "작업자가 매번 클리닝 용액의 배수 밸브를 손으로 조작하여야 하는 문제점" 등의 발생을 자연스럽게 억제시킬 수 있다.
이와 아울러, 본 발명에서는 작업자의 수작업 개재 없이도, 일련의 클리닝 용액 관리절차가 정상적으로 이루어질 수 있도록 유도하고, 이를 통해, 작업자의 실수에 의한 "클리닝 용액의 저수량이 정확히 파악되지 못하는 상황", "클리닝 용액의 배수가 적정 시기에 이루어지지 못하는 상황" 등의 발생이 원천적으로 차단될 수 있도록 유도함으로써, "컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막이 완전히 제거되지 못하는 문제점", "컨베이어 벨트가 예측하지 못한 손상을 입는 문제점", "컨베이어 벨트의 손상 여파로, 공정대상 웨이퍼가 손상을 입는 문제점" 등의 발생을 자연스럽게 억제시킬 수 있다.

Description

상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치 및 방법{Apparatus and method for controlling a cleaning process of a conveyer belt for a atmospheric pressure chemical vapor deposition equipment}
본 발명은 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 클리닝 액조의 일부에 해당 클리닝 액조의 클리닝 용액 저수량, 예컨대, 클리닝 용액의 하한 저수량, 클리닝 용액의 상한 저수량 등을 적절하게 자동 센싱할 수 있는 일련의 수·발광센서들을 배치함과 아울러, 이 수·발광센서들과 전기적으로 연결된 상태에서, 해당 수·발광센서들의 동작 및 광 수·발신 현황 등을 제어할 수 있는 일련의 전산 블록을 추가 배치하고, 이들의 연계 동작을 통해, 클리닝 용액의 공급절차, 클리닝 용액의 배수절차 등이 클리닝 액조의 실질적인 용액 저수 현황에 따라, 자동으로 조절될 수 있도록 함으로써, 생산주체 측에서, 작업자의 수작업에 의존하던 종래의 클리닝 용액 관리방식을 자연스럽게 벗어날 수 있도록 유도할 수 있는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치에 관한 것이다. 더욱이, 본 발명은 이러한 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치를 이용한 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 화학기상증착 설비는 박막이 형성되는 분위기에 따라, 크게, 상압 화학기상증착 설비, 저압 화학기상증착 설비, 플라즈마 화학기상증착 설비, 광 여기 화학기상증착 설비 등으로 분류된다.
이러한 여러 종류의 화학기상증착 설비들 중, 특히, 상압 화학기상증착 설비는 모든 화학기상증착 설비의 기본이 되는 설비로써, 이러한 상압 화학기상증착 설비 체제 하에서, 통상, 일련의 필요 박막은 대기압 환경에 맞추어 증착되는 것이 일반적이다.
통상, 종래의 상압 화학기상증착 설비, 예컨대, 벨트 컨베이어형(Belt conveyer type) 상압 화학기상증착 설비의 구동 환경 하에서, 웨이퍼 카세트에 담겨져 로딩 스테이지에 도착한 공정대상 웨이퍼들은 로딩 로봇에 의해 웨이퍼 카세트로부터 낱개로 적출된 후, 컨베이어 벨트로 로딩되는 절차를 겪게 된다.
이처럼, 웨이퍼 카세트에 담겨져 있던 웨이퍼가 컨베이어 벨트에 로딩된 상황에서, 외력이 작용하는 경우, 그 외력에 따라 컨베이어 벨트는 앞으로 전진하여 순환 회전하는 메카니즘을 취할 수 있게 되며, 그 여파로, 컨베이어 벨트에 얹혀져 있던 공정대상 웨이퍼 역시 앞으로 전진하는 메카니즘을 취할 수 있게 된다.
이러한 컨베이어 벨트의 이송 메카니즘에 따라, 공정대상 웨이퍼가 일련의 프로세스 진행 포지션에 위치된 상황에서, 컨베이어 벨트의 흐름경로 상에 배치된 인젝터는 공정대상 웨이퍼 측으로 일련의 필요 박막, 예컨대, BPSG막(BoroPhosphoSilicate Glass film), USG막(Undoped Silicate Glass film) 등의 형성에 기초가 되는 소오스 가스를 분사하는 메카니즘을 취하게 되며, 이와 동시에, 컨베이어 벨트의 저부에 설치된 가열판(Hot plate)은 공정대상 웨이퍼 측으로 일정 온도의 열을 가하는 메카니즘을 취하게 되고, 결국, 이러한 인젝터 및 가열판의 연계 작용에 따라, 공정대상 웨이퍼 상에는 일련의 필요 박막이 안정적으로 형성될 수 있게 된다.
이러한 종래의 체제 하에서, 앞서 언급한 바와 같이, 공정대상 웨이퍼는 컨베이어 벨트에 실려 이송되면서, 일련의 박막 증착 공정을 진행 받기 때문에, 공정대상 웨이퍼를 실은 컨베이어 벨트에는 공정대상 웨이퍼와 더불어, 일정 두께의 박막이 불가피하게 형성될 수밖에 없게 되며, 만약, 별도의 조치가 취해지지 않는 한, 이러한 불필요 박막은 공정진행 내내 컨베이어 벨트에 잔류하여, 정상적인 박막 형성 절차에 지대한 악영향을 미칠 수밖에 없게 된다.
종래 에서는 이러한 문제점의 발생을 감안하여, 컨베이어 벨트의 경로 일부, 예컨대, 컨베이어 벨트의 저부에 일련의 클리닝 용액, 예컨대, 에칭 용액(Etching liquid)을 담은 클리닝 액조를 고정 배치하고, 순환 회전하는 컨베이어 벨트가 매 회전 시점마다, 이 클리닝 액조를 가로질러 통과할 수 있도록 함으로써, 컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막이 클리닝 용액과의 직·간접적인 접촉에 의해 자연스럽게 식각·제거될 수 있도록 유도하는 방안을 채택하고 있다.
통상, 이러한 클리닝 액조를 운영함에 있어서, "클리닝 용액의 저장용량을 어느 정도로 유지할 것인가"하는 문제는 매우 중요한 이슈이다.
그 이유는 만약, "클리닝 용액의 저장용량이 너무 적을 경우, 일련의 불필요 박막 제거 절차가 정상적으로 이루어질 수 없는 문제점"이 야기될 수 있고, 그 반대로, "클리닝 용액의 저장용량이 너무 많을 경우, 클리닝 용액의 오버 에치(Over etch)에 의해 컨베이어 벨트가 큰 손상을 입게되고, 그 여파로, 공정대상 웨이퍼 역시 큰 손상을 입을 수밖에 없는 문제점"이 야기될 수 있기 때문이다.
이 때문에, 종래 에서는 예컨대, "일정 시점마다 작업자가 클리닝 액조의 설치 장소에 직접 찾아 들어가, 클리닝 용액의 저장용량을 시각적으로 확인하는 절차"를 진행하고, 이를 통해, 클리닝 용액의 저장용량이 항상 적정 수준을 유지할 수 있도록 유도하는 방안을 강구하고 있다.
이때, 예컨대, 클리닝 액조에 저장된 클리닝 용액의 양이 너무 많다고 판단될 경우, 작업자는 클리닝 용액의 배수 밸브를 손으로 직접 오픈하여, 해당 클리닝 용액의 양을 조절하는 절차를 진행하게 되며, 결국, 이러한 작업자의 매뉴얼 작업에 따라, 클리닝 액조에 채워진 클리닝 용액은 비교적 안정적인 저장 수준을 지속적으로 유지할 수 있게 된다.
그러나, 이러한 종래의 클리닝 용액 관리방식은 기본적으로 작업자의 수작업에 의존하는 심각한 한계를 갖고 있기 때문에, 종래의 체제 하에서, 별도의 조치가 취해지지 않는 한, 예컨대, "작업자의 작업능률이 급격히 저하되는 문제점", "작업자가 인체에 해로운 클리닝 용액에 직접 노출되는 문제점", "작업자가 매번 클리닝 용액의 배수 밸브를 손으로 조작하여야 하는 문제점" 등은 불가피한 발생을 보일 수밖에 없게 된다.
더욱이, 종래의 체제 하에서, 작업자의 실수로, "클리닝 용액의 저수량이 정확히 파악되지 못하는 상황", "클리닝 용액의 배수가 적정 시기에 이루어지지 못하는 상황" 등이 야기되는 경우, 작업자의 매뉴얼 작업에도 불구하고, "컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막이 완전히 제거되지 못하는 문제점", "컨베이어 벨트가 예측하지 못한 손상을 입는 문제점", "컨베이어 벨트의 손상 여파로, 공정대상 웨이퍼가 손상을 입는 문제점" 등은 불가피한 발생을 보일 수밖에 없게 되며, 결국, 종래 에서는 전체적인 제품 공정효율이 대폭 저하되는 문제점을 그대로 감수할 수밖에 없게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 클리닝 액조의 일부에 해당 클리닝 액조의 클리닝 용액 저수량, 예컨대, 클리닝 용액의 하한(Lower limit) 저수량, 클리닝 용액의 상한(Upper limit) 저수량 등을 적절하게 자동 센싱할 수 있는 일련의 수·발광센서들을 배치함과 아울러, 이 수·발광센서들과 전기적으로 연결된 상태에서, 해당 수·발광센서들의 동작 및 광 수·발신 현황 등을 제어할 수 있는 일련의 전산 블록을 추가 배치하고, 이들의 연계 동작을 통해, 클리닝 용액의 공급절차, 클리닝 용액의 배수절차 등이 클리닝 액조의 실질적인 용액 저수 현황에 따라, 자동으로 조절될 수 있도록 함으로써, 생산주체 측에서, 작업자의 수작업에 의존하던 종래의 클리닝 용액 관리방식을 자연스럽게 벗어날 수 있도록 유도하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 수·발광센서 및 전산 블록의 연계 작용을 통해, 전체적인 클리닝 용액 관리절차 내에서, 작업자의 수작업 개재를 원천적으로 배제시킴으로써, "작업자의 작업능률이 급격히 저하되는 문제점", "작업자가 인체에 해로운 클리닝 용액에 직접 노출되는 문제점", "작업자가 매번 클리닝 용액의 배수 밸브를 손으로 조작하여야 하는 문제점" 등의 발생을 자연스럽게 억제시키는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 작업자의 수작업 개재 없이도, 일련의 클리닝 용액 관리절차가 정상적으로 이루어질 수 있도록 유도하고, 이를 통해, 작업자의 실수에 의한 "클리닝 용액의 저수량이 정확히 파악되지 못하는 상황", "클리닝 용액의 배수가 적정 시기에 이루어지지 못하는 상황" 등의 발생이 원천적으로 차단될 수 있도록 유도함으로써, "컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막이 완전히 제거되지 못하는 문제점", "컨베이어 벨트가 예측하지 못한 손상을 입는 문제점", "컨베이어 벨트의 손상 여파로, 공정대상 웨이퍼가 손상을 입는 문제점" 등의 발생이 자연스럽게 억제될 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 소정의 클리닝 용액을 담은 상태로, 공정대상 웨이퍼 이송용 컨베이어 벨트의 경로 상에 배치되어, 컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막을 제거하는 클리닝 액조와, 클리닝 액조 측으로 클리닝 용액을 선택 공급하는 클리닝용액 공급 툴과, 클리닝 액조의 클리닝 용액 배수경로 상에 배치된 상태로, 외력에 의해 개폐되어, 클리닝 용액의 배수 상태를 조절하는 배수 밸브를 포함하는 상압 화학기상증착 설비에 설치되는 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치를 개시한다.
이때, 본 발명에 따른 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치는 클리닝 용액에 침지된 상태로, 클리닝 액조의 서로 마주보는 측벽에 대향 배치되고, 상호 간 광(Light) 수·발신 과정을 통해, 클리닝 용액의 저수 상태를 감지하는 수·발광센서와, 수·발광센서와 전기적으로 신호 연결된 상태에서, 수·발광센서의 온·오프 동작을 연계 제어하며, 발광센서의 발광 작용에 대응되는 수광센서의 광 감지 여부에 따라, 클리닝 용액의 저수량을 개별 판단하고, 해당 판단결과에 따라, 클리닝 용액 공급 툴 또는 배수 밸브의 동작 상태를 선택적으로 제어하여, 클리닝 용액의 저수량을 정밀 조절하는 클리닝 용액 조절 제어 모듈의 조합으로 이루어진다.
또한, 본 발명에서는 하한 관리용 발광센서를 가동시킨 상황에서, 하한 관리용 발광센서와 매칭되는 하한 관리용 수광센서로부터 일련의 수광 응답 시그널이 출력되었는가의 여부를 판단하는 단계와, 하한 관리용 수광센서로부터 수광 응답 시그널이 출력된 경우, 클리닝 용액 공급 툴 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달하여, 클리닝 액조 내부에 클리닝 용액을 공급시키는 단계와, 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달한 시점을 시발로 하여, 일련의 공급 기준 시간이 경과하였는가의 여부를 판단하는 단계와, 공급 기준 시간이 경과한 경우, 클리닝 용액 공급 툴 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 중지 메시지를 전달하여, 클리닝 용액의 공급을 중지시키는 단계의 조합으로 이루어지는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법을 개시한다.
이와 아울러, 본 발명에서는 상한 관리용 발광센서를 가동시킨 상황에서, 상한 관리용 발광센서와 매칭되는 상한 관리용 수광센서 측 수광 응답 시그널의 출력이 중단되었는가의 여부를 판단하는 단계와, 상한 관리용 수광센서 측 수광 응답 시그널의 출력이 중단된 경우, 배수 밸브를 개방시켜, 클리닝 액조 내부에 채워져 있던 클리닝 용액을 배수시키는 단계와, 클리닝 용액을 배수시킨 시점을 시발로 하여, 일련의 배수 기준 시간이 경과하였는가의 여부를 판단하는 단계와, 배수 기준 시간이 경과한 경우, 배수 밸브를 폐쇄시켜, 클리닝 용액의 배수를 중지시키는 단계의 조합으로 이루어지는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법을 개시한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치 및 방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명을 채용한 상압 화학기상증착 설비(100) 체제 하에서, 웨이퍼 카세트(2)에 담겨져 로딩 스테이지(11)에 도착한 공정대상 웨이퍼(1)들은 버퍼 스테이지(204)에 위치한 로딩 로봇(13)에 의해 웨이퍼 카세트(2)로부터 낱개로 적출된 후, 로딩 셔틀(14)을 거쳐, 컨베이어 벨트(15)로 로딩되는 절차를 겪게 된다. 이 경우, 버퍼 스테이지(204)에는 로딩 셔틀(14)의 움직임을 원활하게 가이드 하기 위한 가이드 홀(14a)이 추가 배치된다.
이처럼, 웨이퍼 카세트(2)에 담겨져 있던 웨이퍼(1)가 컨베이어 벨트(15)에 로딩된 상황에서, 가이드 롤(16) 및 컨베이어 롤(24)이 외력, 예컨대, 메인 반송 제어 툴(400)의 제어에 의해 회전하는 경우, 그 회전력에 따라 컨베이어 벨트(15)는 앞으로 전진하는 메카니즘을 취할 수 있게 되며, 그 여파로, 컨베이어 벨트(15)에 얹혀져 있던 공정대상 웨이퍼(1) 역시 앞으로 전진하는 메카니즘을 취할 수 있게 된다.
이러한 컨베이어 벨트(15)의 이송 메카니즘에 따라, 공정대상 웨이퍼(1)가 일련의 프로세스 진행 포지션에 위치된 상황에서, 인젝터(18)는 공정대상 웨이퍼(1) 측으로 일련의 필요 박막, 예컨대, BPSG막, USG막 등의 형성에 기초가 되는 소오스 가스를 분사하게 되며, 이와 동시에, 컨베이어 벨트(15)의 저부에 설치된 가열판(23)은 공정대상 웨이퍼(1) 측으로 일정 온도의 열을 가하게 되고, 결국, 이러한 인젝터(18) 및 가열판(23)의 연계 작용에 따라, 공정대상 웨이퍼(1) 상에는 일련의 필요 박막이 안정적으로 형성될 수 있게 된다.
이 경우, 각 인젝터(18)의 중간 중간 계면에 설치된 배플러(17)는 일정 량의 비활성 차폐가스, 예컨대, N2 가스를 분사함으로써, 인젝터(18)에 의해 분사된 소오스 가스의 불필요한 분산을 차단하고, 이를 통해, 최종 형성되는 필요 박막의 균등화를 안정적으로 도모한다.
이때, 도면에 도시된 바와 같이, 가스 공급 툴(25)은 가스 공급관(21) 및 가스 공급관(22)을 통해 인젝터(18) 및 배플러(17)와 연결되며, 이 상황에서, 가스 공급 제어 툴(26)의 제어 명령에 따라, 상술한 소오스 가스, 차폐가스 등을 인젝터(18) 및 배플러(17) 측으로 선택·공급하는 역할을 수행하게 된다. 이 경우, 각 가스 공급관(21,22)들의 일부에는 가스 공급 툴(25) 측이 보유한 소오스 가스, 차폐가스 등의 출력여부를 선택적으로 조절하기 위한 조절 밸브(19,20)가 설치된다.
한편, 앞의 과정을 통해, 일련의 필요 박막이 증착 완료된 상황에서, 공정대상 웨이퍼(1)가 컨베이어 벨트(15)의 움직임에 따라, 언-로딩 포지션 측으로 이송되면, 이 언-로딩 포지션에 위치하고 있던 언-로딩 셔틀(27)은 해당 공정대상 웨이퍼를 핸들링 하여, 이를 컨베이어 벨트(15)의 외부로 언-로딩 하는 절차를 진행하게 된다. 이 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 언-로딩 스테이지(203)에는 언-로딩 셔틀(27)의 움직임을 원활하게 가이드 하기 위한 가이드 홀(27a)이 추가 배치된다.
이때, 구동모터, 예컨대, 스텝모터(30)는 연결축(28) 및 스크류 바(29)를 통해, 언-로딩 셔틀(27)의 지지 축(27b)과 연결된 상태에서, 외부 제어, 예컨대, 웨이퍼 언-로딩 제어장치(300)의 제어에 따라 동작함으로써, 자신과 연계된 언-로딩 셔틀(27)이 공정대상 웨이퍼(1)의 언-로딩 상황에 따라, 설비의 좌우 측 또는 상하 측으로 신속하게 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 수행한다.
이후, 언-로딩 셔틀(27)의 작용에 의해 컨베이어 벨트(15)로부터 언-로딩된 공정대상 웨이퍼(1)는 예컨대, 언-로딩 로봇(31), 트랜스퍼 셔틀(32:Transfer shuttle) 등의 연계 작용에 의해 트랜스퍼 로봇(33)으로 전달되는 절차를 겪게 되며, 이 상황에서, 트랜스퍼 로봇(33)은 자신에게 전달된 공정대상 웨이퍼(1)를 예컨대, 로딩 셔틀(14)로 재차 전달하는 동작을 취함으로써, 공정대상 웨이퍼(1)가 상황에 따라, 일련의 필요 박막 증착 절차를 반복·진행 받을 수 있도록 가이드 하는 역할을 수행하게 된다. 이 경우, 트랜스퍼 스테이지(202)에는 트랜스퍼 셔틀(32)의 움직임을 원활하게 가이드 하기 위한 가이드 홀(32a)이 추가 배치된다.
이러한 상압 화학기상증착 설비(100) 체제 하에서, 앞의 언급에서와 같이, 공정대상 웨이퍼(1)는 컨베이어 벨트(15)에 실려 이송되면서, 일련의 박막 증착 공정을 진행 받기 때문에, 공정대상 웨이퍼(1)를 실은 컨베이어 벨트(15)에는 공정대상 웨이퍼(1)와 더불어, 일정 두께의 박막이 불가피하게 형성될 수밖에 없게 되며, 만약, 별도의 조치가 취해지지 않는 한, 이러한 불필요 박막은 공정진행 내내 컨베이어 벨트(15)에 잔류하여, 정상적인 박막 형성 절차에 지대한 악영향을 미칠 수밖에 없게 된다.
이때, 앞의 상황을 대비하여 설치된 클리닝 액조(34)는 일련의 클리닝 용액, 예컨대, 에칭 용액을 담은 상태로, 컨베이어 벨트(15)의 경로 일부, 예컨대, 컨베이어 벨트(15)의 저부에 고정 배치되어, 순환 회전하는 컨베이어 벨트(15)가 매 회전 시점마다, 자신의 내부를 가로질러 통과할 수 있도록 함으로써, 컨베이어 벨트(15)에 형성된 불필요 박막이 클리닝 용액과의 직·간접적인 접촉에 의해 자연스럽게 식각·제거될 수 있도록 유도하는 역할을 수행하게 되며, 결국, 컨베이어 벨트(15)에 형성된 불필요 박막에 의한 공정 상의 악영향은 클리닝 액조(34)의 기능 수행에 의해 미리 차단될 수 있게 된다.
이 경우, 클리닝 액조(34)는 예컨대, 공급관(36)을 매개로 하여, 클리닝 용액 공급 툴(402)과 연계되는 구성을 취함으로써, 만약, 클리닝 용액의 부족 상황이 발생하는 경우, 클리닝 용액 공급 툴(402)의 작용에 의해 자신에게 필요한 분량의 클리닝 용액을 자유롭게 공급받을 수 있게 된다.
물론, 이 클리닝 액조(34)에는 앞의 공급관(36)과 더불어, 일련의 클리닝 용액 배수경로, 예컨대, 메인 배수관(37), 보조 배수관(35) 등이 더 설치되며, 이 경우, 예컨대, 보조 배수관(35) 상에 설치된 배수 밸브(322)는 외력에 의해 선택적으로 개폐되어 클리닝 액조(34) 내에 저수된 클리닝 용액의 배수 상태를 탄력적으로 조절하는 역할을 수행하게 된다.
이러한 클리닝 액조(34)의 배치 상황 하에서, 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 요지를 이루는 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치(300)는 크게, 수·발광센서(318,315)와, 이 수·발광센서(318,315)와 전기적으로 신호 연결된 상태에서, 해당 수·발광센서(318,315)의 온·오프 동작을 연계 제어하는 클리닝 용액 조절 제어 모듈(310)이 조합된 구성을 이룬다.
이때, 앞의 수·발광센서(318,315)는 클리닝 용액에 침지된 상태로, 클리닝 액조(34)의 서로 마주보는 측벽에 대향 배치되는 구조를 이루며, 이 상태에서, 상호 간 광(Light) 수·발신 과정을 통해, 클리닝 용액의 저수 상태를 감지하는 역할을 수행한다. 이 경우, 본 발명의 수·발광센서(318,315)는 클리닝 액조(34) 내부에 저수되어 있는 클리닝 용액의 하한(Lower limit) 저수량을 감지하기 위한 한 쌍의 하한 관리용 수·발광센서(317,314)와, 클리닝 액조(34) 내부에 저수되어 있는 클리닝 용액의 상한(Upper limit) 저수량을 감지하기 위한 한 쌍의 상한 관리용 수·발광센서(316,313)가 조합된 구성을 이룬다.
여기서, 앞의 클리닝 용액 조절 제어 모듈(310)은 하한 관리용 발광센서(314)의 발광 작용에 대응되는 하한 관리용 수광센서(317)의 광 감지 여부에 따라, 클리닝 용액의 저수량을 개별 판단하고, 해당 판단결과에 따라, 예컨대, 클리닝 용액 공급 툴(402)을 컨트롤하는 클리닝 용액 공급 제어 툴(401)의 동작상태를 선택적으로 제어함으로써, 클리닝 액조(34) 내부에 저수되어 있는 클리닝 용액의 저수량을 자동으로 정밀 조절하는 역할을 수행한다.
이와 아울러, 클리닝 용액 조절 제어 모듈(310)은 상한 관리용 발광센서(313)의 발광 작용에 대응되는 상한 관리용 수광센서(316)의 광 감지 여부에 따라, 클리닝 용액의 저수량을 개별 판단하고, 해당 판단결과에 따라, 예컨대, 배수 밸브(322)의 동작상태를 선택적으로 제어함으로써, 클리닝 액조(34) 내부에 저수되어 있는 클리닝 용액의 저수량을 자동으로 정밀 조절하는 역할 또한 수행한다.
이때, 도면에 도시된 바와 같이, 클리닝 용액 조절 제어 모듈(310)은 크게, 클리닝 용액 조절 제어부(301), 발광 시그널 관리부(303), 수광 시그널 관리부(304), 클리닝 용액 공급 요청부(305), 밸브 제어부(302) 등의 조합으로 이루어진다.
여기서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 수·발광센서(318,315), 즉, 상·하한 관리용 수·발광센서(317,314,316,313)의 동작 온·오프 절차, 상·하한 관리용 수·발광센서(317,314,316,313) 상호 간 광 수·발신 절차 등을 총괄 제어하는 역할을 수행함과 아울러, 상·하한 관리용 수·발광센서(317,314,316,313) 간 광 수·발신 결과에 따라, 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 및 배수 밸브(322)의 동작을 선택 관리하는 역할을 수행한다.
또한, 발광 시그널 관리부(304)는 상·하한 관리용 발광센서(313,314)와 신호 연결된 상태에서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)의 제어 하에, 상·하한 관리용 발광센서(313,314)의 온·오프 동작을 선택 제어하는 역할을 수행한다. 이 경우, 발광 시그널 관리부(304) 및 상·하한 관리용 발광센서(313,314) 사이에는 발광 시그널 관리부(304)로부터 출력되는 신호를 수신한 후, 수신된 신호에 맞추어, 상·하한 관리용 발광센서(313,314)의 동작을 실질적으로 제어하는 발광센서 제어모듈(311)이 추가 배치된다.
또한, 앞의 발광 시그널 관리부(304)와 연계된 수광 시그널 관리부(303)는 상·하한 관리용 수광센서(316,317)와 신호 연결된 상태에서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)의 제어 하에, 상·하한 관리용 수광센서(316,317)의 온·오프 동작을 제어하는 역할을 수행함과 아울러, 상술한 상·하한 관리용 발광센서(313,314)의 발광 작용에 대응되는 상·하한 관리용 수광센서(316,317)의 광 감지 여부를 체크하고, 해당 체크 결과를 클리닝 용액 조절 제어부(301)로 통지하는 역할을 수행한다.
이 경우, 수광 시그널 관리부(303) 및 상·하한 관리용 수광센서(316,317) 사이에는 수광 시그널 관리부(303)로부터 출력되는 신호를 수신한 후, 수신된 신호에 맞추어, 상·하한 관리용 수광센서(316,317)의 동작을 실질적으로 제어하는 역할을 수행함과 아울러, 상·하한 관리용 수광센서(316,317)로부터 출력되는 시그널, 예컨대, 수광 응답 시그널을 실시간 취합한 후, 이를 수광 시그널 관리부(303)가 처리하기 적합한 신호로 변환하여 출력하는 역할을 수행하는 수광센서 제어모듈(312)이 추가 배치된다.
이와 함께, 클리닝 용액 조절 제어부(301)에 의해 제어되는 클리닝 용액 공급 요청부(305)는 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측과 신호 연결된 상태에서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)로부터 일련의 클리닝 용액 공급 요청 메시지가 전달되는 경우, 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측으로 해당 메시지를 전달하여, 클리닝 용액 공급 툴(402)이 클리닝 액조(34) 측으로 일정 량의 클리닝 용액을 공급할 수 있도록 가이드 하는 역할을 수행한다.
이외에, 클리닝 용액 조절 제어부(301)에 의해 제어되는 밸브 제어부(302)는 예컨대, 중간 밸브(321:일례로, 솔레노이드 밸브)를 매개로, 배수 밸브(322) 측과 연계된 상태에서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)로부터 일련의 클리닝 용액 배수 요청 메시지가 전달되는 경우, 중간 밸브(321)의 제어를 통해, 배수 밸브(322)를 선택적으로 개방시켜, 클리닝 액조(34)에 저수되어 있던 일정 량의 클리닝 용액을 외부로 배수시키는 역할을 수행한다. 이 경우, 중간 밸브(321)는 밸브 제어부(302)의 제어에 따라, 탄력적으로 온·오프되어, 에어라인(320)을 흐르는 에어의 공급상황을 선택적으로 조절함으로써, 배수 밸브(322)의 온·오프 상황이 밸브 제어부(302)의 동작에 따라, 적절하게 조절될 수 있도록 가이드 하는 역할을 수행한다.
이하, 상술한 구성을 갖는 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치(300)를 이용한 본 발명 고유의 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법을 상세히 설명한다.
우선, 본 발명의 체제 하에서, 클리닝 액조(34)는 일련의 클리닝 용액, 예컨대, 에칭 용액을 담은 상태로, 컨베이어 벨트(15)의 경로 일부, 예컨대, 컨베이어 벨트(15)의 저부에 고정 배치되어, 순환 회전하는 컨베이어 벨트(15)가 매 회전 시점마다, 자신의 내부를 가로질러 통과할 수 있도록 함으로써, 컨베이어 벨트(15)에 형성된 불필요 박막이 클리닝 용액과의 직·간접적인 접촉에 의해 자연스럽게 식각·제거될 수 있도록 유도하는 절차를 진행한다.
이 상황에서, 도 3에 도시된 바와 같이, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 발광 시그널 관리부(304), 수광 시그널 관리부(303) 등을 활용하여, 예컨대, 하한 관리용 발광센서(314)를 가동시킨 후, 이 하한 관리용 발광센서(314)와 매칭되는 하한 관리용 수광센서(317)로부터 일련의 수광 응답 시그널이 출력되었는가의 여부를 판단하는 절차를 진행한다(단계 S1,S2).
이러한 절차 내에서, 발광 시그널 관리부(304)는 클리닝 용액 조절 제어부(301)의 제어 하에, 하한 관리용 발광센서(314)의 온·오프 동작을 선택 제어하는 과정을 진행하게 되며, 이 발광 시그널 관리부(304)와 연계된 수광 시그널 관리부(303)는 클리닝 용액 조절 제어부(301)의 제어 하에, 하한 관리용 수광센서(317)의 온·오프 동작을 제어하는 과정을 진행함과 아울러, 하한 관리용 발광센서(314)의 발광 작용에 대응되는 하한 관리용 수광센서(317)의 광 감지 여부를 체크하고, 해당 체크 결과를 클리닝 용액 조절 제어부(301)로 통지하는 과정을 진행한다.
이때, 하한 관리용 발광센서(314)로부터 출력된 광이 클리닝 용액의 방해 없이, 하한 관리용 수광센서(317)에 그대로 포착되고, 그 결과, 하한 관리용 수광센서(317)로부터 일련의 수광 응답 시그널이 출력되는 경우, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 클리닝 액조(34) 내부의 클리닝 용액이 미리 지정된 하한 포인트보다 낮게 저수되어 있는 것으로 판단하고, 그 즉시, 밸브 제어부(302)를 활용하여, 배수 밸브(322)를 폐쇄시키는 절차를 진행함과 아울러, 클리닝 용액 공급 요청부(305)를 활용하여, 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달하고, 이를 통해, 클리닝 액조(34) 내부에 일정량의 클리닝 용액이 공급될 수 있도록 유도하는 절차를 진행한다(단계 S3,S4).
이러한 절차 내에서, 밸브 제어부(302)는 중간 밸브(321)의 제어를 통해, 배수 밸브(322)를 선택적으로 폐쇄시켜, 클리닝 용액의 외부 배수가 한시적으로 중지될 수 있도록 가이드 하는 과정을 진행하게 되며, 클리닝 용액 공급 요청부(305)는 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달하여, 클리닝 용액 공급 툴(402)이 클리닝 액조(34) 측으로 일정 량의 클리닝 용액을 공급할 수 있도록 가이드 하는 과정을 진행하게 된다.
결국, 이러한 클리닝 용액 공급 유도절차가 진행되면, 클리닝 액조(34) 내부에는 일정량의 클리닝 용액이 자동으로 채워질 수 있게 되며, 그 결과, 클리닝 액조(34)는 예컨대, "클리닝 용액의 저장용량이 너무 적어져, 불필요 박막의 제거 절차가 정상적으로 이루어질 수 없는 문제점의 발생"을 손쉽게 피할 수 있게 된다.
이 상황에서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 자체 내장된 타이머(도시안됨)를 활용하여, "클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측으로, 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달한 시점을 시발로 하여, 일련의 공급 기준 시간이 경과하였는가"의 여부를 판단하는 절차를 진행한다(단계 S5).
이때, 아직, 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달한 시점을 시발로 하여, 일련의 공급 기준 시간이 경과하지 않은 것으로 판단되면, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 플로우를 단계 S6으로 진행하여, 일련의 대기상태를 유지한다.
그러나, 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달한 시점을 시발로 하여, 일련의 공급 기준 시간이 경과한 것으로 판단되면, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 그 즉시, 클리닝 용액 공급 요청부(305)를 활용하여, 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 중지 메시지를 전달하고, 이를 통해, 클리닝 용액의 공급이 중지될 수 있도록 유도하는 절차를 진행한다(단계 S7).
이러한 절차 내에서, 클리닝 용액 공급 요청부(305)는 클리닝 용액 공급 제어 툴(401) 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 중지 메시지를 전달함으로써, 클리닝 용액 공급 툴(401) 측에 의해 기 진행 중이던 클리닝 용액 공급 프로세스가 자연스럽게 멈출 수 있도록 가이드 하게 된다.
결국, 이러한 클리닝 용액 공급중지 유도절차가 진행되면, 클리닝 액조(34) 내부에 담긴 클리닝 용액은 적정 수준의 저수 수준을 유지할 수 있게 되며, 그 결과, 클리닝 액조(34)는 예컨대, "클리닝 용액의 강제 공급에 의해 해당 클리닝 용액의 저장용량이 너무 많아지게 되고, 그 여파로, 클리닝 용액의 오버 에치에 의해 컨베이어 벨트가 큰 손상을 입게되며, 그 결과로, 공정대상 웨이퍼 역시 큰 손상을 입을 수밖에 없는 문제점의 발생"을 손쉽게 피할 수 있게 된다.
한편, 앞의 단계 S1~S7이 진행되고 있는 상황에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 발광 시그널 관리부(304), 수광 시그널 관리부(303) 등을 활용하여, 예컨대, 상한 관리용 발광센서(313)를 가동시킨 후, 이 상한 관리용 발광센서(303)와 매칭되는 상한 관리용 수광센서(316) 측 수광 응답 시그널의 출력이 중단되었는가의 여부를 판단하는 절차를 동시에 진행한다(단계 S11,S2).
이러한 절차 내에서, 발광 시그널 관리부(304)는 클리닝 용액 조절 제어부(301)의 제어 하에, 상한 관리용 발광센서(313)의 온·오프 동작을 선택 제어하는 과정을 진행하게 되며, 이 발광 시그널 관리부(304)와 연계된 수광 시그널 관리부(303)는 클리닝 용액 조절 제어부(301)의 제어 하에, 상한 관리용 수광센서(316)의 온·오프 동작을 제어하는 과정을 진행함과 아울러, 상한 관리용 발광센서(313)의 발광 작용에 대응되는 상한 관리용 수광센서(316)의 광 감지 여부를 체크하고, 해당 체크 결과를 클리닝 용액 조절 제어부(301)로 통지하는 과정을 진행한다.
이때, 상한 관리용 발광센서(313)로부터 출력된 광이 클리닝 용액의 방해에 의해 상한 관리용 수광센서(316)에 정상적으로 전달되지 못하고, 그 결과, 상한 관리용 수광센서(316) 측 수광 응답 시그널의 출력이 중단되는 경우, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 클리닝 액조(34) 내부의 클리닝 용액이 미리 지정된 상한 포인트보다 과잉 저수되어 있는 것으로 판단하고, 밸브 제어부(302)를 활용하여, 배수 밸브(322)를 개방시키는 절차를 진행한다(단계 S13).
이러한 절차 내에서, 밸브 제어부(302)는 중간 밸브(321)의 제어를 통해, 배수 밸브(322)를 선택적으로 개방시켜, 클리닝 용액의 외부 배수가 한시적으로 진행될 수 있도록 가이드 하는 과정을 진행하게 된다.
결국, 이러한 클리닝 용액 배수 유도절차가 진행되면, 클리닝 액조(34) 내부에 과잉 저수되어 있던 클리닝 용액은 필요한 만큼의 양이 자동으로 외부 배출될 수 있게 되며, 그 결과, 클리닝 액조(34)는 예컨대, "클리닝 용액의 저장용량이 너무 많을 경우, 클리닝 용액의 오버 에치에 의해 컨베이어 벨트가 큰 손상을 입게되고, 그 여파로, 공정대상 웨이퍼 역시 큰 손상을 입을 수밖에 없는 문제점의 발생"을 손쉽게 피할 수 있게 된다.
이 상황에서, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 자체 내장된 타이머를 활용하여, "클리닝 용액을 배수시킨 시점을 시발로 하여, 일련의 배수 기준 시간이 경과하였는가"의 여부를 판단하는 절차를 진행한다(단계 S14).
이때, 아직, 클리닝 용액을 배수시킨 시점을 시발로 하여, 일련의 배수 기준 시간이 경과하지 않은 것으로 판단되면, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 플로우를 단계 S15로 진행하여, 일련의 대기상태를 유지한다.
그러나, 클리닝 용액을 배수시킨 시점을 시발로 하여, 일련의 배수 기준 시간이 경과한 것으로 판단되면, 클리닝 용액 조절 제어부(301)는 그 즉시, 밸브 제어부(302)를 활용하여, 배수 밸브(322)를 폐쇄시키는 절차를 진행한다(단계 S16).
이러한 절차 내에서, 밸브 제어부(302)는 중간 밸브(321)의 제어를 통해, 배수 밸브(322)를 선택적으로 폐쇄시켜, 클리닝 용액의 외부 배수가 중지될 수 있도록 가이드 하는 과정을 진행하게 된다.
결국, 이러한 클리닝 용액 배수 중지 절차가 진행되면, 클리닝 액조(34) 내부에 담긴 클리닝 용액은 적정 수준의 저수 수준을 유지할 수 있게 되며, 그 결과, 클리닝 액조(34)는 예컨대, "클리닝 용액의 강제 배수에 의해 해당 클리닝 용액의 저장용량이 너무 적어져, 불필요 박막의 제거 절차가 정상적으로 이루어질 수 없는 문제점의 발생"을 손쉽게 피할 수 있게 된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 클리닝 액조의 일부에 해당 클리닝 액조의 클리닝 용액 저수량, 예컨대, 클리닝 용액의 하한 저수량, 클리닝 용액의 상한 저수량 등을 적절하게 센싱할 수 있는 일련의 수·발광센서들을 배치함과 아울러, 이 수·발광센서들과 전기적으로 연결된 상태에서, 해당 수·발광센서들의 동작 및 광 수·발신 현황 등을 제어할 수 있는 일련의 전산 블록을 추가 배치하고, 이들의 연계 동작을 통해, 클리닝 용액의 공급절차, 클리닝 용액의 배수절차 등이 클리닝 액조의 실질적인 용액 저수 현황에 따라, 자동으로 조절될 수 있도록 함으로써, 생산주체 측에서, 작업자의 수작업에 의존하던 종래의 클리닝 용액 관리방식을 자연스럽게 벗어날 수 있도록 유도할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 수·발광센서 및 전산 블록의 연계 작용을 통해, 전체적인 클리닝 용액 관리절차 내에서, 작업자의 수작업 개재를 원천적으로 배제시킴으로써, "작업자의 작업능률이 급격히 저하되는 문제점", "작업자가 인체에 해로운 클리닝 용액에 직접 노출되는 문제점", "작업자가 매번 클리닝 용액의 배수 밸브를 손으로 조작하여야 하는 문제점" 등의 발생을 자연스럽게 억제시킬 수 있다.
이와 아울러, 본 발명에서는 작업자의 수작업 개재 없이도, 일련의 클리닝 용액 관리절차가 정상적으로 이루어질 수 있도록 유도하고, 이를 통해, 작업자의 실수에 의한 "클리닝 용액의 저수량이 정확히 파악되지 못하는 상황", "클리닝 용액의 배수가 적정 시기에 이루어지지 못하는 상황" 등의 발생이 원천적으로 차단될 수 있도록 유도함으로써, "컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막이 완전히 제거되지 못하는 문제점", "컨베이어 벨트가 예측하지 못한 손상을 입는 문제점", "컨베이어 벨트의 손상 여파로, 공정대상 웨이퍼가 손상을 입는 문제점" 등의 발생을 자연스럽게 억제시킬 수 있다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.
도 1은 본 발명을 채용한 상압 화학기상증착 설비를 개념적으로 도시한 예시도.
도 2는 본 발명에 따른 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치를 개념적으로 도시한 예시도.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.

Claims (5)

  1. 소정의 클리닝 용액을 담은 상태로, 공정대상 웨이퍼 이송용 컨베이어 벨트의 경로 상에 배치되어, 상기 컨베이어 벨트에 형성된 불필요 박막을 제거하는 클리닝 액조와, 상기 클리닝 액조 측으로 상기 클리닝 용액을 선택 공급하는 클리닝용액 공급 툴과, 상기 클리닝 액조의 클리닝 용액 배수경로 상에 배치된 상태로, 외력에 의해 개폐되어, 상기 클리닝 용액의 배수 상태를 조절하는 배수 밸브를 포함하는 상압 화학기상증착 설비에 설치되며,
    상기 클리닝 용액에 침지된 상태로, 상기 클리닝 액조의 서로 마주보는 측벽에 대향 배치되고, 상호 간 광(Light) 수·발신 과정을 통해, 상기 클리닝 용액의 저수 상태를 감지하는 수·발광센서와;
    상기 수·발광센서와 전기적으로 신호 연결된 상태에서, 상기 수·발광센서의 온·오프 동작을 연계 제어하며, 상기 발광센서의 발광 작용에 대응되는 수광센서의 광 감지 여부에 따라, 상기 클리닝 용액의 저수량을 개별 판단하고, 해당 판단결과에 따라, 상기 클리닝 용액 공급 툴 또는 배수 밸브의 동작 상태를 선택적으로 제어하여, 상기 클리닝 용액의 저수량을 정밀 조절하는 클리닝 용액 조절 제어 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 클리닝 용액 조절 제어모듈은 상기 수·발광센서의 동작 온·오프 절차, 상기 수·발광센서 상호 간 광 수·발신 절차를 총괄 제어함과 아울러, 상기 수·발광센서 간 광 수·발신 결과에 따라, 상기 클리닝 용액 공급 툴 및 배수 밸브의 동작을 선택 관리하는 클리닝 용액 조절 제어부와;
    상기 클리닝 용액 조절 제어부의 제어 하에, 상기 발광센서와 신호 연결되며, 상기 발광센서의 온·오프 동작을 선택 제어하는 발광 시그널 관리부와;
    상기 클리닝 용액 조절 제어부의 제어 하에, 상기 수광센서와 신호 연결되며, 상기 수광센서의 온·오프 동작을 제어함과 아울러, 상기 발광센서의 발광 작용에 대응되는 수광센서의 광 감지 여부를 체크하고, 해당 체크 결과를 상기 클리닝 용액 조절 제어부로 통지하는 수광 시그널 관리부와;
    상기 클리닝 용액 조절 제어부의 제어 하에, 상기 클리닝 용액 공급 툴 측과 신호 연결되며, 상기 클리닝 용액 조절 제어부로부터 일련의 클리닝 용액 공급 요청 메시지가 전달되는 경우, 상기 클리닝 용액 공급 툴 측으로 해당 메시지를 전달하여, 상기 클리닝 용액 공급 툴이 상기 클리닝 액조 측으로 일정 량의 클리닝 용액을 공급할 수 있도록 가이드 하는 클리닝액 공급 요청부와;
    상기 클리닝 용액 조절 제어부의 제어 하에, 상기 배수 밸브 측과 연계되며, 상기 클리닝 용액 조절 제어부로부터 일련의 클리닝 용액 배수 요청 메시지가 전달되는 경우, 상기 배수 밸브를 선택적으로 개방시켜, 상기 클리닝 액조에 저수되어 있던 일정 량의 클리닝 용액을 배수시키는 밸브 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 수·발광센서는 상기 클리닝 액조 내부에 저수되어 있는 클리닝 용액의 하한(Lower limit) 저수량을 감지하기 위한 한 쌍의 하한 관리용 수·발광센서와;
    상기 클리닝 액조 내부에 저수되어 있는 클리닝 용액의 상한(Upper limit) 저수량을 감지하기 위한 한 쌍의 상한 관리용 수·발광센서의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상압 화확기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어장치.
  4. 하한 관리용 발광센서를 가동시킨 상황에서, 상기 하한 관리용 발광센서와 매칭되는 하한 관리용 수광센서로부터 일련의 수광 응답 시그널이 출력되었는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 하한 관리용 수광센서로부터 상기 수광 응답 시그널이 출력된 경우, 클리닝 용액 공급 툴 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달하여, 클리닝 액조 내부에 클리닝 용액을 공급시키는 단계와;
    상기 클리닝 용액 공급 요청 메시지를 전달한 시점을 시발로 하여, 일련의 공급 기준 시간이 경과하였는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 공급 기준 시간이 경과한 경우, 상기 클리닝 용액 공급 툴 측으로, 일련의 클리닝 용액 공급 중지 메시지를 전달하여, 상기 클리닝 용액의 공급을 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법.
  5. 상한 관리용 발광센서를 가동시킨 상황에서, 상기 상한 관리용 발광센서와 매칭되는 상한 관리용 수광센서 측 수광 응답 시그널의 출력이 중단되었는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 상한 관리용 수광센서 측 수광 응답 시그널의 출력이 중단된 경우, 배수 밸브를 개방시켜, 클리닝 액조 내부에 채워져 있던 클리닝 용액을 배수시키는 단계와;
    상기 클리닝 용액을 배수시킨 시점을 시발로 하여, 일련의 배수 기준 시간이 경과하였는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 배수 기준 시간이 경과한 경우, 상기 배수 밸브를 폐쇄시켜, 상기 클리닝 용액의 배수를 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 화학기상증착 설비용 컨베이어 벨트 클리닝 제어방법.
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