KR100532091B1 - Inner surface shotting method using the mixed shot balls - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고압 가스용기 내부의 미세요철을 평탄화시키고 내부 표면에 부착된 이물질을 제거하는 내면쇼트방법으로서, 크기가 다른 복수의 쇼트볼과, 에어탱크로부터 공급되는 0.7MPa의 공기를 혼합하고, 상기 쇼트볼과 공기를 고압 가스용기의 내면에 분사하여 상기 가스용기의 내부 표면을 1차로 연마하는 단계와; 크기가 다른 복수의 스테인레스(sus)볼과, 에어탱크로부터 공급되는 0.7MPa의 공기를 혼합하고, 상기 스테인레스볼과 공기를 상기 가스용기의 내면에 분사하여 상기 가스용기의 내부 표면을 2차로 연마하는 단계와; 계면활성제가 혼합된 탈이온화수를 80㎏/㎠ 내지 100㎏/㎠의 압력으로 상기 가스용기의 내부 표면에 분사하여 평탄화와 세정을 하는 단계와; 질소가스를 제1히터 및 제2히터를 통과시켜 100℃ 내지 120℃로 가열시키고, 상기 가열된 질소가스를 상기 가스용기 내부 표면에 분사하여 가스용기 내부를 건조시키는 단계;를 포함한다.The present invention is an internal shot method for flattening the fine irregularities in the high-pressure gas container and removing foreign substances adhering to the inner surface, and mixing a plurality of shot balls of different sizes and 0.7 MPa of air supplied from the air tank. Spraying shot balls and air on an inner surface of the high pressure gas container to first polish the inner surface of the gas container; A plurality of stainless steel balls of different sizes and 0.7 MPa of air supplied from an air tank are mixed, and the stainless balls and air are sprayed on the inner surface of the gas container to secondary polish the inner surface of the gas container. Steps; Spraying deionized water mixed with a surfactant to the inner surface of the gas container at a pressure of 80 kg / cm 2 to 100 kg / cm 2 for flattening and washing; And passing nitrogen gas through the first heater and the second heater to 100 ° C. to 120 ° C., and spraying the heated nitrogen gas on the inner surface of the gas container to dry the inside of the gas container.
본 발명에 따르면, 크기가 다른 쇼트볼과 스테인레스볼을 각각 순차적으로 분사함으로써 가스용기 내면을 정밀하게 가공할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by spraying the shot ball and the stainless ball of different sizes sequentially, there is an effect that can be processed precisely the inner surface of the gas container.
Description
본 발명은 혼합 쇼트볼을 이용한 내면쇼트방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가스용기의 내면을 가공하기 위하여 다양한 크기의 쇼트볼을 혼합하여 내면을 쇼트하고, sus 볼을 이용하여 마무리 쇼트를 한 다음, 고압의 탈이온화수를 분사하여 평탄화와 세정작업을 하고, 가열된 질소가스로 내부를 건조시켜 고압가스용기 내부를 가공하는 혼합 쇼트볼을 이용한 내면쇼트방법에 관한 것이다.The present invention relates to an internal short method using a mixed short ball, and more specifically, to process an inner surface of a gas container, by mixing a short ball of various sizes, the inner surface is shortened, and a finishing short is performed using a sus ball. In addition, the present invention relates to an internal shot method using a mixed shot ball that sprays high-pressure deionized water to perform flattening and cleaning operations, and to dry the inside with heated nitrogen gas to process the inside of the high-pressure gas container.
쇼트볼(shot ball)을 이용하여 가공물의 표면을 연마하는 기술은 철구조물과 선박 또는 고압 가스용기 등의 표면을 매끄럽게 가공하는데 널리 사용되고 있다. 일반적인 쇼트볼은 강철로 제작된 작은 구형의 물체로서 철제표면에 부딪혀 표면의 미세한 요철을 제거하고 평탄하게 만든다.The technique of grinding the surface of the workpiece using shot balls is widely used to smoothly process the surface of steel structures and vessels or high pressure gas containers. A typical shortball is a small spherical object made of steel that strikes an iron surface to remove fine irregularities from the surface and make it flat.
고압 가스용기 특히 반도체 생산에 사용되는 고순도의 가스를 보관하는 가스용기는 내부 표면에 미세한 균열이나 이물질이 있는 경우에 잔여가스와 새로 충전된 가스가 반응하여 불순물을 생성하는 원인이 되므로 최대한 평탄한 표면을 유지할 수 있도록 가공하여야 한다.High-pressure gas containers, especially gas containers that store high-purity gases used in semiconductor production, cause residual gases and freshly charged gases to react when fine cracks or foreign substances are present on the inner surface, creating impurities. It must be machined to maintain it.
이와 같이 가스용기의 내부를 연마하기 위하여 내면쇼트가 사용되는데, 가스용기의 내면쇼트는 용기내부의 녹을 제거하고 내부의 이물질을 제거하여 의료용이나 산업용 가스용기에 사용되는 가스의 순도를 유지할 수 있도록 한다.In this way, the inner shot is used to polish the inside of the gas container, and the inner shot of the gas container removes rust inside the container and removes foreign substances therein to maintain the purity of the gas used in medical or industrial gas containers. .
그러나 현재 사용되고 있는 내면쇼트 방법에서는 하나의 크기만을 갖는 쇼트볼을 분사하여 가공함으로써 보다 세밀한 가공이 어려운 단점이 있다. 또한, 쇼트볼을 분사한 후, 별도의 세정과정이 없이 공기로 이물질을 불어주기만 하므로, 내면쇼트로 인하여 발생한 분진과 녹, 기타 이물질을 완벽하게 제거할 수 없는 단점이 있었다.However, the inner short method currently used has a disadvantage in that more precise processing is difficult by spraying the short ball having only one size. In addition, after spraying the shot ball, it only blows foreign matter into the air without a separate cleaning process, there was a disadvantage that can not completely remove the dust, rust, and other foreign matter caused by the internal short.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 크기가 다른 쇼트볼을 혼합하여 가스용기 내면을 가공하고, 쇼트볼보다 훨씬 강도가 센 스테인레스볼을 추가로 분사하여 보다 완벽한 평탄화가 이루어질 수 있도록 하는 혼합 쇼트볼을 이용한 내면쇼트방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in order to solve this problem, to process the inner surface of the gas container by mixing short balls of different sizes, and to further inject a stainless steel ball that is much stronger than the short ball to make a more perfect flattening. An object of the present invention is to provide an internal shot method using a mixed shot ball.
또한 본 발명은 쇼트볼과 스테인레스볼의 쇼트가 끝난 후, 고압의 탈이온화수에 계면활성제를 혼합하여 가스용기 내부에 분사함으로써, 가스용기의 표면조도를 향상시키고 완벽한 이물질 제거를 할 수 있는 혼합 쇼트볼을 이용한 내면쇼트방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention after the short shot and the short shot of the stainless ball, by mixing the surfactant in a high-pressure deionized water and sprayed into the gas container, the mixed shot which can improve the surface roughness of the gas container and can remove the perfect foreign matter An object of the present invention is to provide an internal short method using a ball.
또한 본 발명은 내부 세정작업이 완료된 후, 가열된 질소가스를 가스용기 내부에 투입하여 가스용기를 건조시킴으로써 용기 내부의 이물질의 양을 최소화시키는 혼합 쇼트볼을 이용한 내면쇼트방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide an internal short method using a mixed shot ball which minimizes the amount of foreign matter inside the container by putting heated nitrogen gas into the gas container and drying the gas container after the internal cleaning is completed. do.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 고압 가스용기 내부의 미세요철을 평탄화시키고 내부 표면에 부착된 이물질을 제거하는 내면쇼트방법으로서, 크기가 다른 복수의 쇼트볼과, 에어탱크로부터 공급되는 0.7MPa의 공기를 혼합하고, 상기 쇼트볼과 공기를 고압 가스용기의 내면에 분사하여 상기 가스용기의 내부 표면을 1차로 연마하는 단계와; 크기가 다른 복수의 스테인레스(sus)볼과, 에어탱크로부터 공급되는 0.7MPa의 공기를 혼합하고, 상기 스테인레스볼과 공기를 상기 가스용기의 내면에 분사하여 상기 가스용기의 내부 표면을 2차로 연마하는 단계와; 계면활성제가 혼합된 탈이온화수를 80㎏/㎠ 내지 100㎏/㎠의 압력으로 상기 가스용기의 내부 표면에 분사하여 평탄화와 세정을 하는 단계와; 질소가스를 제1히터 및 제2히터를 통과시켜 100℃ 내지 120℃로 가열시키고, 상기 가열된 질소가스를 상기 가스용기 내부 표면에 분사하여 가스용기 내부를 건조시키는 단계;를 포함한다.The present invention for solving the above problems is an internal shot method for flattening the fine irregularities in the high-pressure gas container and removing foreign matters attached to the inner surface, the plurality of shot balls having different sizes and 0.7 MPa supplied from the air tank. Mixing the air, and spraying the shot ball and air on the inner surface of the high pressure gas container to first polish the inner surface of the gas container; A plurality of stainless steel balls of different sizes and 0.7 MPa of air supplied from an air tank are mixed, and the stainless balls and air are sprayed on the inner surface of the gas container to secondary polish the inner surface of the gas container. Steps; Spraying deionized water mixed with a surfactant to the inner surface of the gas container at a pressure of 80 kg / cm 2 to 100 kg / cm 2 for flattening and washing; And passing nitrogen gas through the first heater and the second heater to 100 ° C. to 120 ° C., and spraying the heated nitrogen gas on the inner surface of the gas container to dry the inside of the gas container.
상기 쇼트볼은 직경이 0.4㎝ 인 쇼트볼이 4㎏ 내지 8㎏, 직경이 0.6㎝ 인 쇼트볼이 4㎏ 내지 8㎏, 직경이 0.8㎝ 인 쇼트볼이 6㎏ 내지 10㎏, 직경이 1.0㎝ 인 쇼트볼이 6㎏ 내지 10㎏, 직경이 1.2㎝ 인 쇼트볼이 4㎏ 내지 8㎏, 직경이 2.0㎝ 인 쇼트볼이 8㎏ 내지 14㎏ 포함된 것을 특징으로 한다.The short ball has a diameter of 0.4 cm in diameter of the short ball 4 kg to 8 kg, the diameter of 0.6 cm in the short ball 4 kg to 8 kg, the diameter of 0.8 cm in the short ball 6 kg to 10 kg, 1.0 cm in diameter In the short ball 6kg to 10kg, the diameter of 1.2cm shortball 4kg to 8kg, the diameter of 2.0cm shortball is characterized in that it contains 8kg to 14kg.
상기 스테인레스볼은 직경이 0.4㎝ 인 스테인레스볼이 5㎏, 직경이 0.6㎝ 인 스테인레스볼이 6㎏, 직경이 0.8㎝ 인 스테인레스볼이 4㎏, 직경이 1.0㎝ 인 스테인레스볼이 8㎏ 포함된 것을 특징으로 한다.The stainless ball is a stainless ball with a diameter of 0.4cm 5kg, a stainless ball with a diameter of 0.6cm 6kg, a stainless ball with a 0.8cm diameter of 4kg, a stainless ball having a diameter of 1.0cm 8kg 8kg It features.
상기 쇼트볼을 이용한 내면쇼트가 완료된 후, 쇼트볼저장탱크를 스테인레스볼저장탱크로 교체하는 단계;를 추가로 포함한다.And after the internal short using the short ball is completed, replacing the short ball storage tank with a stainless ball storage tank.
이하, 도면을 참조하여 설명한다.A description with reference to the drawings is as follows.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 내면쇼트방법을 위한 장치를 나타낸 구성도이다. 1 is a block diagram showing an apparatus for an inner short method according to an embodiment of the present invention.
가스용기(10)의 내부에는 쇼트볼, 탈이온화수, 질소가스를 번갈아가며 분사하는 분사노즐(20)이 삽입된다. 분사노즐(20)은 분사물체에 따라 출구가 별개로 형성되도록 할 수도 있으며, 수평면을 기준으로 상하 45˚ 범위내에서 쇼트볼 등을 분사할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 종래의 내면쇼트 기술에서는 수평면을 기준으로 수직 또는 상방 45˚ 정도의 각도로 쇼트볼을 분사하였으나, 이러한 경우에는 가스용기(10) 입구의 어깨부분은 가공을 할 수 없는 단점이 있었다. 도2는 가스용기의 어깨부분을 내면쇼트하는 방법을 나타낸 개념도이며, 이와같이 하방 45˚ 정도의 각도로 분사를 함으로써 아래쪽의 어깨부분도 가공할 수 있는 것이다.An injection nozzle 20 for alternately spraying shot balls, deionized water and nitrogen gas is inserted into the gas container 10. The injection nozzle 20 may allow the outlet to be formed separately according to the spraying object, and it is preferable to spray the shot ball or the like within the range of 45 ° up and down on the basis of the horizontal plane. In the conventional internal shot technology, the shot ball is sprayed at an angle of about 45 ° vertically or upward with respect to the horizontal plane, but in this case, the shoulder portion of the inlet of the gas container 10 cannot be processed. 2 is a conceptual diagram showing a method of internally shorting the shoulder portion of the gas container, it is possible to process the lower shoulder portion by spraying at an angle of about 45 degrees downward.
에어탱크(112)는 0.7MPa 정도의 압력을 가진 공기를 저장하며, 에어탱크밸브(114)를 통하여 쇼트볼을 가스용기(10)에 분사하는 압력을 제공한다.The air tank 112 stores air having a pressure of about 0.7 MPa, and provides pressure for spraying the shot ball to the gas container 10 through the air tank valve 114.
쇼트볼충전호퍼(122)를 통하여 쇼트볼을 충전하면 쇼트볼충전호퍼밸브(124)를 통하여 쇼트볼탱크(126)에 저장된다. 쇼트볼탱크(126)에는 다양한 크기의 쇼트볼이 약 20ℓ 정도 저장되는데, 직경이 0.4㎝, 0.6㎝, 0.8㎝, 1.0㎝, 1.2㎝, 2.0㎝ 인 쇼트볼이 저장되는 것이 바람직하다. 또한 쇼트볼 대신에 스테인레스볼을 분사할 수 있도록 쇼트볼탱크(126)를 교체할 수 있는 구조로 설치할 수 있을 것이다. 쇼트볼탱크밸브(128)는 가스용기(10)의 내면쇼트시에 열려서 쇼트볼을 분사노즐(20)로 이송한다.When the shot ball is charged through the shot ball filling hopper 122, the shot ball is filled in the shot ball tank 126 through the shot ball filling hopper valve 124. The short ball tank 126 stores about 20 L of various sizes of short balls, and short balls having diameters of 0.4 cm, 0.6 cm, 0.8 cm, 1.0 cm, 1.2 cm, and 2.0 cm are preferably stored. In addition, the short ball tank 126 may be installed in such a structure that the stainless steel ball can be replaced instead of the short ball. The shot ball tank valve 128 is opened at the time of the inner short of the gas container 10, and transfers the shot ball to the injection nozzle 20.
쇼트볼회수구(132)는 가스용기(10)의 내면을 타격한 후 아래로 떨어진 쇼트볼과 분진을 모아서 집진기(134)로 보내는 역할을 하며, 집진기(134)는 분진 및 이물질을 분리하여 폐기처분한다. 분진이 제거된 쇼트볼은 쇼트볼충전호퍼(122)를 통하여 쇼트볼탱크(126)로 다시 모아진다. The short ball recovery port 132 strikes the inner surface of the gas container 10 and collects the short balls and dust dropped down and sends them to the dust collector 134, and the dust collector 134 separates dust and foreign matter and discards them. Dispose of The short balls with the dust removed are collected back into the short ball tank 126 through the short ball filling hopper 122.
탈이온화수탱크(142)에는 탈이온화수(D.I.Water)가 저장되는데, 탈이온화수는 가스용기(10)의 내면을 세정하기 위하여 사용된다. 탈이온화수탱크밸브(144)를 통하여 배출된 탈이온화수는 계면활성제호퍼(146)에 저장된 계면활성제와 혼합되고, 워터제트(150)에 의하여 가압되어 분사노즐(20)을 통하여 분사된다. 분사노즐(20)을 통하여 분사되는 탈이온화수의 압력은 80㎏/㎠ 내지 100㎏/㎠ 정도이다. The deionized water tank 142 stores deionized water (D.I.Water), which is used to clean the inner surface of the gas container 10. The deionized water discharged through the deionized water tank valve 144 is mixed with the surfactant stored in the surfactant hopper 146, pressurized by the water jet 150, and injected through the injection nozzle 20. The pressure of the deionized water sprayed through the spray nozzle 20 is about 80 kg / cm 2 to about 100 kg / cm 2.
가스용기(10) 내면에 분사된 탈이온화수는 별도의 수조(136)에 모여서 환경처리를 거친 후 배출된다.Deionized water injected into the inner surface of the gas container 10 is collected in a separate water tank 136 and discharged after undergoing environmental treatment.
질소탱크(162)에 저장된 질소가스는 질소탱크밸브(164)를 통하여 배출된 후, 제1히터(166)와 제2히터(168)를 통과하면서 100℃ 내지 120℃로 가열된다. 가열된 질소가스는 가스배출밸브(170)를 통과하여 분사노즐(20)을 통하여 가스용기(10)에 분사된다.The nitrogen gas stored in the nitrogen tank 162 is discharged through the nitrogen tank valve 164 and then heated to 100 ° C. to 120 ° C. while passing through the first heater 166 and the second heater 168. The heated nitrogen gas passes through the gas discharge valve 170 and is injected into the gas container 10 through the injection nozzle 20.
도3은 본 발명의 내면쇼트방법의 흐름을 나타낸 순서도이다. 도3을 참조하여 설명하면, 쇼트볼탱크(126)에 저장된 쇼트볼과 공기를 혼합하여 분사노즐(20)로 분사함으로써 가스용기(10) 내면을 쇼트한다.(S102) 이때, 쇼트볼의 크기에 따라 혼합하는 비율을 다르게 설정할 수 있는데, 본 발명에서는 직경이 0.4㎝ 인 쇼트볼이 4㎏ 내지 8㎏, 직경이 0.6㎝ 인 쇼트볼이 4㎏ 내지 8㎏, 직경이 0.8㎝ 인 쇼트볼이 6㎏ 내지 10㎏, 직경이 1.0㎝ 인 쇼트볼이 6㎏ 내지 10㎏, 직경이 1.2㎝ 인 쇼트볼이 4㎏ 내지 8㎏, 직경이 2.0㎝ 인 쇼트볼이 8㎏ 내지 14㎏ 포함되는 것으로 한다. 이와 같이 크기가 다른 쇼트볼을 혼합하여 내면쇼트를 함으로써 종래의 처리시간 20분보다 훨씬 짧은 6분 정도의 처리시간만으로도 표면조도 15 이상의 가공을 할 수 있게 된다.3 is a flowchart showing the flow of the inner short method of the present invention. Referring to Figure 3, by mixing the shot ball and the air stored in the shot ball tank 126 to the injection nozzle 20 to short the inner surface of the gas container 10 (S102), the size of the short ball According to the present invention, the mixing ratio may be set differently. In the present invention, the shortball having a diameter of 0.4 cm is 4 kg to 8 kg, and the short ball having a diameter of 0.6 cm is 4 kg to 8 kg and the diameter of the short ball is 0.8 cm. 6 kg to 10 kg, 1.0 cm in diameter of the short ball 6 kg to 10 kg, 1.2 cm in diameter of the short ball 4 kg to 8 kg, 2.0 cm in diameter of the short ball 8 kg to 14 kg do. In this way, by mixing shot balls of different sizes and performing an internal shot, surface roughness of 15 or more can be processed with only a processing time of about 6 minutes, which is much shorter than the conventional processing time of 20 minutes.
쇼트볼의 입자가 큰 것은 가스용기(10) 내부 표면에 강한 충격을 주어 이물질과 녹 등의 제거를 용이하게 하고, 작은 입자의 쇼트볼은 가스용기(10) 내면의 큰 입자가 미치지 못하는 작은 요철부위나 작은 흠 등에 있는 녹과 이물질의 제거효과가 있다.The large particles of the shot ball give a strong impact on the inner surface of the gas container 10 to facilitate the removal of foreign matters and rust, and the short balls of small particles have small irregularities that large particles on the inner surface of the gas container 10 do not reach. It has the effect of removing rust and foreign substances on the site or small scratches.
쇼트볼에 의한 쇼트가 끝나면, 스테인레스(sus)볼로 다시 한 번 내면을 쇼트한다.(S104) 이를 위해서는 쇼트볼이 저장된 쇼트볼탱크(126)를 분리하고 스테인레스볼이 저장된 스테인레스볼탱크(도면 미도시)를 설치한다. 스테인레스볼은 내면의 평활성을 크게 향상시킬 수 있으며, 쇼트볼에 비하여 강도가 높으므로 수명이 길어지는 효과가 있다. 또한 파손되는 양이 작으므로 분진의 양도 작아지며 작업환경 개선의 효과도 커지는 장점이 있다. 그러나 쇼트볼과 스테인레스볼을 함께 사용하게 되면 강도가 약한 쇼트볼이 스테인레스볼에 의하여 부서져 효과를 낼 수 없게 된다.When the shot by the short ball is finished, the inner surface is shortened once again with a stainless ball (S104). Install). Stainless balls can greatly improve the smoothness of the inner surface, and has a high strength compared to the short ball has the effect of extending the life. In addition, since the amount of breakage is small, the amount of dust is also reduced and the effect of improving the working environment is also increased. However, when the short ball and the stainless ball are used together, the short ball having weak strength is broken by the stainless ball, so that the effect cannot be obtained.
혼합된 스테인레스볼의 조성은 직경이 0.4㎝ 인 스테인레스볼이 5㎏, 직경이 0.6㎝ 인 스테인레스볼이 6㎏, 직경이 0.8㎝ 인 스테인레스볼이 4㎏, 직경이 1.0㎝ 인 스테인레스볼이 8㎏ 정도인 것으로 한다. The composition of the mixed stainless balls is 5 kg of stainless balls with a diameter of 0.4 cm, 6 kg of stainless balls with a diameter of 0.6 cm, 4 kg of stainless balls with a diameter of 0.8 cm, and 8 kg of stainless balls with a diameter of 1.0 cm. It should be enough.
스테인레스볼에 의한 내면쇼트가 완료되면, 탈이온화수탱크(142)에 저장된 탈이온화수에 계면활성제를 혼합하여 분사노즐(20)로 분사한다.(S106) 통상적인 내면쇼트에서 물로 세정하는 경우에는 약 20㎏/㎠ 정도의 압력으로 분사하지만, 이정도의 압력에서는 평탄화 효과는 거의 발생하지 아니하며, 이물질의 세정작용만 가능하다. 따라서 이보다 훨씬 더 높은 압력으로 탈이온화수를 분사함으로써 내면가공과 세정작용을 동시에 할 수 있게 된다.When the internal shot by the stainless ball is completed, the surfactant is mixed with the deionized water stored in the deionized water tank 142 and sprayed into the injection nozzle 20. (S106) In the case of washing with water in a normal internal shot, Although sprayed at a pressure of about 20 kg / cm 2, at this pressure, the leveling effect hardly occurs, and only the cleaning function of the foreign matter is possible. Therefore, by spraying the deionized water at a much higher pressure than this, it is possible to simultaneously perform the internal processing and the cleaning action.
세정작업이 완료되면, 100℃ 내지 120℃로 가열된 질소가스를 분사하여 가스용기(10)를 건조시킨다.(S108)When the cleaning operation is completed, the gas container 10 is dried by injecting nitrogen gas heated to 100 ℃ to 120 ℃ (S108).
이와같은 과정을 통하여 고순도의 고압가스를 저장하는 가스용기 내부 표면을 정밀하게 가공할 수 있으며, 가스용기 내부의 녹과 이물질 등을 제거할 수 있다. Through this process, it is possible to precisely process the inner surface of the gas container for storing the high-pressure gas of high purity, and to remove rust and foreign matters inside the gas container.
이상에서 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명이 이러한 실시예에 제한되지 않으며 당업자가 용이하게 변형할 수 있는 범위에도 권리가 미친다.While the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and the scope of the present invention is easily modified.
본 발명에 따르면, 먼저 크기가 다른 쇼트볼을 분사한 후, 크기가 다른 스테인레스볼을 순차적으로 분사함으로써 가스용기 내면을 정밀하게 가공할 수 있으며, 탈이온화수를 고압으로 분사하여 세정함으로써 가스용기를 평탄하게 하고 내부의 이물질을 완벽하게 제거할 수 있게 된다.According to the present invention, by first spraying the shot balls of different sizes, by sequentially spraying the stainless balls of different sizes, the inner surface of the gas container can be precisely processed, by spraying deionized water at high pressure to clean the gas container It will be able to flatten and completely remove the foreign matter inside.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 내면쇼트방법을 위한 장치를 나타낸 구성도.1 is a block diagram showing an apparatus for an inner short method according to an embodiment of the present invention.
도2는 가스용기의 어깨부분을 내면쇼트하는 방법을 나타낸 개념도.Figure 2 is a conceptual diagram showing a method for inner short in the shoulder portion of the gas container.
도3은 본 발명의 내면쇼트방법의 흐름을 나타낸 순서도.Figure 3 is a flow chart showing the flow of the inner short method of the present invention.
*도면의 주요부분에 대한 설명* Description of the main parts of the drawings
10 : 가스용기 20 : 분사노즐10: gas container 20: injection nozzle
112 : 에어탱크 114 : 에어탱크밸브 122 : 쇼트볼충전호퍼112: air tank 114: air tank valve 122: short ball filling hopper
124 : 쇼트볼충전호퍼밸브 126 : 쇼트볼탱크 128 : 쇼트볼탱크밸브124: short ball filling hopper valve 126: short ball tank 128: short ball tank valve
132 : 쇼트볼회수구 134 : 집진기 136 : 수조132: Short Ball Recovery 134: Dust Collector 136: Water Tank
142 : 탈이온화수탱크 144 : 탈이온화수탱크밸브 146 : 계면활성제호퍼142 deionized water tank 144 deionized water tank valve 146 surfactant hopper
148 : 계면활성제호퍼밸브 150 : 워터제트 152 : 워터제트밸브148: surfactant hopper valve 150: water jet 152: water jet valve
162 : 질소탱크 164 : 질소탱크밸브 166 : 제1히터162: nitrogen tank 164: nitrogen tank valve 166: first heater
168 : 제2히터 170 : 가스배출밸브168: second heater 170: gas discharge valve
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040041615A KR100532091B1 (en) | 2004-06-08 | 2004-06-08 | Inner surface shotting method using the mixed shot balls |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040041615A KR100532091B1 (en) | 2004-06-08 | 2004-06-08 | Inner surface shotting method using the mixed shot balls |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR100532091B1 true KR100532091B1 (en) | 2005-12-05 |
Family
ID=37306402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020040041615A KR100532091B1 (en) | 2004-06-08 | 2004-06-08 | Inner surface shotting method using the mixed shot balls |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100532091B1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100719880B1 (en) * | 2006-04-25 | 2007-05-18 | 신영덕 | Stone surface working device |
| KR100923376B1 (en) | 2008-02-11 | 2009-10-23 | 김명수 | Surface-treating agent for shot blast |
| KR101014769B1 (en) | 2010-09-20 | 2011-02-14 | (주) 미래이피 | Method for treating surface of vacuum chamber |
| KR102012794B1 (en) * | 2018-03-07 | 2019-11-04 | 주식회사 엔케이 | Cylinder treatment method for ultra-high purity gas filling |
-
2004
- 2004-06-08 KR KR1020040041615A patent/KR100532091B1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100719880B1 (en) * | 2006-04-25 | 2007-05-18 | 신영덕 | Stone surface working device |
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| KR101014769B1 (en) | 2010-09-20 | 2011-02-14 | (주) 미래이피 | Method for treating surface of vacuum chamber |
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