KR100529560B1

KR100529560B1 - 광시야각 액정 표시 장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR100529560B1
Application number: KR1019980012772A
Authority: KR
Inventors: 김치우; 최준후
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1998-04-10
Filing date: 1998-04-10
Publication date: 2006-02-28
Also published as: KR19990079885A

Abstract

액정 표시 장치의 기판 위에 박막 트랜지스터와 보호막, 화소 전극을 형성하고, 그 위에 유동성 유기 절연 재료를 코팅한 후 슬릿을 갖는 형태로 패터닝한다. 또는 박막 트랜지스터를 형성한 후 유기막을 코팅하고 슬릿을 갖는 형태로 패터닝한 후 그 위에 화소 전극을 형성할 수도 있다. 컬러 필터 기판 역시 블랙 매트릭스와 컬러 필터, 공통 전극을 형성한 후 슬릿을 갖는 유기막 패턴을 형성하거나, 블랙 매트릭스와 컬러 필터 위에 유기막 패턴을 형성하고 그 위에 공통 전극을 형성한다. 또는 컬러 필터 자체에 슬릿을 형성하고, 그 위에 공통 전극을 형성할 수도 있다. 이와 같이 형성한 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 기판을 결합한 후 그 사이에 음의 유전율 이방성을 갖는 액정 물질을 주입하여 다중 영역 수직 배향 액정 표시 장치를 형성한다.

Description

광시야각 액정 표시 장치 및 그 제조 방법

이 발명은 광시야각 액정 표시 장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치는 두 장의 기판 사이에 액정을 주입하고, 여기에 가하는 전장의 세기를 조절하여 광 투과량을 조절하는 구조로 되어 있다.

수직 배향 비틀린 네마틱(vertically aligned twisted nematic ; VATN) 방식의 액정 표시 장치는, 안쪽 면에 투명 전극이 형성되어 있는 한 쌍의 투명 기판, 두 투명 기판 사이의 액정 물질, 각각의 투명 기판의 바깥 면에 부착되어 빛을 편광시키는 두 장의 편광판으로 구성된다. 전기장을 인가하지 않은 상태에서는 두 기판 사이의 액정 분자들이 두 기판에 수직인 상태로 배열되어 있고, 전기장이 인가되면 액정 분자들은 기판에 평행하며 일정한 피치(pitch)를 가지고 나선상으로 꼬여 있어 액정 분자의 장축의 방향이 연속적으로 변화되는 비틀린 구조로 바뀐다.

액정은 분자의 장축 방향과 단축 방향으로의 굴절률이 서로 다른 복굴절성을 갖는데, 이 복굴절성에 의해 액정 표시 장치를 보는 위치에 따라 빛이 느끼는 굴절률이 차이가 생기므로 선편광된 빛이 액정을 통과하면서 편광 상태가 바뀌는 비율에 차이가 생겨 정면에서 벗어난 위치에서 볼 때의 빛의 양과 색특성이 정면에서 볼 경우와는 달라진다. VATN 액정 표시 장치의 경우 전압이 인가된 상태에서 시야각에 대해서 큰 광학 특성의 변화가 발생하며, 이에 따라 시야각에 따른 대비비(contrast ratio)의 변화, 색상 전이(color shift), 계조 반전(gray inversion) 등의 현상이 발생한다.

이러한 문제를 해결하기 위해 화소를 이분할하거나 화소 단위별 러빙을 하여 시야각을 향상시키는 방법이 사용되지만, 1번의 러빙 공정이 추가되는 등 공정이 복잡하다는 문제점이 있다.

본 발명의 과제는 단순한 공정으로 수직 배향 액정 표시 장치의 시야각을 넓히는 것이다.

위와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 수직 배향 액정 표시 장치의 기판에 유기 절연막 슬릿(slit)을 형성한다.

유기 절연막 슬릿은 투명 전극의 아래쪽 또는 위쪽에 형성할 수 있다.

유기 절연막 슬릿은 박막 트랜지스터 기판과 컬러 필터 기판 중 한쪽 또는 양쪽에 형성할 수 있는데, 컬러 필터 기판에 형성하는 경우에는 컬러 필터 자체에 슬릿을 형성할 수도 있다. 한편, 한쪽 기판에서는 투명 전극을 패터닝하여 형성하고, 다른쪽 기판에는 유기 절연막 슬릿을 형성하는 등의 조합도 가능하다.

이렇게 하면, 슬릿의 중심선을 기준으로 양쪽의 액정 분자의 배열 방향이 반대로 되어 슬릿의 중심선을 기준으로 배향이 다른 영역을 얻을 수 있고, 이 두 영역의 광학적 특성이 서로 보상되어 액정 표시 장치의 시야각이 넓어진다.

이제 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다.

본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면이 도 1에 나타나 있다. 본 발명의 제1 실시예에서는 투명 전극 위에 유기 절연막 슬릿을 형성한다.

도 1에 나타난 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터(11)와 화소 전극(15)이 형성되어 있는 하판(10)과 컬러 필터(22)와 블랙 매트릭스(21), 공통 전극(25)이 형성되어 있는 상판(20) 및 두 기판(10, 20) 사이에 주입되어 있는 수직 배향 액정 물질(30)로 이루어진다.

하판(10) 위에는 게이트 전극(111)이 형성되어 있고, 게이트 전극(111) 위에는 게이트 절연막(13)이 형성되어 있다. 게이트 전극(111) 위의 게이트 절연막(13) 위에는 박막 트랜지스터(11)의 활성층인 비정질 규소층(112)이 형성되어 있고, 그 위에 양쪽으로 저항 접촉층으로 사용되는 도핑된 비정질 규소층(113, 114)이 형성되어 있다. 도핑된 비정질 규소층(113, 114) 위에는 소스 및 드레인 전극(115, 116)이 각각 형성되어 있다. 소스 전극(115)과 드레인 전극(116)이 형성되어 있는 기판 위에 질화 규소 등으로 된 보호막(14)이 덮여 있는데, 보호막(14)에는 드레인 전극(116)을 노출시키는 접촉구가 형성되어 있어 이 접촉구를 통해 드레인 전극(116)과 접촉되는 ITO 화소 전극(15)이 보호막(14) 위에 형성되어 있다. 화소 전극(15) 위에는 유기막(16)이 형성되어 있는데, 이 유기막(16)은 상판(20)의 컬러 필터(22)가 형성된 영역에 대응하는 화소 영역에 슬릿(17)을 가지고 있다.

상판(20)에는 블랙 매트릭스(21)와 컬러 필터(22)가 형성되어 있고, 그 위에 ITO로 이루어진 공통 전극(25)이 형성되어 있으며, 하판(10)과 유사하게 공통 전극(25) 위에 슬릿(27)을 가지고 있는 유기막(26)이 형성되어 있다.

두 기판(10, 20)에 형성되는 슬릿(17, 27)은 여러 가지 다양한 형태로 형성될 수 있는데, 예를 들면 도 2에 나타난 바와 같이, 아래쪽 기판(10)에는 Y-역Y 형태로 형성하고, 위쪽 기판(20)에는 Y-역Y 형태의 슬릿 가운데를 가로지르는 형태로 형성할 수 있다.

이와 같이 투명 전극(15, 25) 위에 유기막(16, 26)을 이용하여 슬릿(17, 27)을 형성하면, 슬릿(17, 27)의 중심선 양쪽으로 액정 분자가 배열되는 방향이 반대가 되어 다중 영역 액정 표시 장치를 구현할 수 있다. 따라서 여러 각도에서 액정 표시 장치를 보더라도 빛의 지연(retardation)값이 거의 동일하게 되어 시야각이 넓어진다.

이제, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 제조하는 방법을 설명한다. 도 3과 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법을 나타낸 단면도이다.

먼저, 도 3에 나타난 바와 같이, 투명한 절연 기판(10) 위에 금속을 증착하고 패터닝하여 게이트 전극(111)을 형성하고 그 위에 질화 규소 등으로 이루어진 게이트 절연막(13)을 증착한다. 게이트 절연막(13) 위에 비정질 규소층(112)과 도핑된 비정질 규소층(113, 114)을 차례로 증착하고 패터닝하여 박막 트랜지스터의 채널층을 형성하고, 금속을 증착하고 패터닝하여 도핑된 비정질 규소층(113, 114) 위에 양쪽으로 소스 전극(115)과 드레인 전극(116)을 형성한 후 소스 및 드레인 전극(115, 116)을 마스크로 도핑된 비정질 규소층(113, 114)을 식각한다. 다음, 소스 및 드레인 전극(115, 116) 위에 질화 규소 등으로 된 보호막(14)을 형성하고, 드레인 전극(116)을 드러내는 접촉구를 형성한 후 ITO 등의 투명 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 화소 전극(15)을 형성한다. 그리고, 화소 전극(15) 위에 유기막(16)을 평탄하게 코팅한다. 이 때 사용되는 유기막은 사진 공정이 가능한 재료를 쓸 수도 있고, 그렇지 않을 수도 있다. 예를 들면 아크릴 오버코트(일본 JSR 사, 모델 번호 PC303)나 미국 Dow Chemical사의 BCB 등을 쓸 수 있다.

다음, 사진 공정이 가능한 유기 재료로 유기막(16)을 형성한 경우라면, 도 4에 나타난 바와 같이, 슬릿을 형성하기 위한 마스크(40)를 사용하여 유기막(16)을 노광한 후 현상하면, 도 1에 나타난 바와 같은 박막 트랜지스터 기판이 완성된다. 만일 사진 공정이 가능하지 않은 유기막을 사용한 경우라면, 유기막 위에 포토레지스트를 한 층 도포한 후 노광, 현상하여 유기막을 식각하면 된다.

컬러 필터 기판(20) 역시 박막 트랜지스터 기판(10)을 제조하는 것과 유사한 방법으로 제조할 수 있다. 즉, 투명한 절연 기판(20) 위에 크롬 등의 금속이나, 불투명한 유기 재료 등을 이용하여 블랙 매트릭스(21)를 형성하고, 블랙 매트릭스(21) 사이의 화소 영역에 적, 녹, 청의 컬러 필터(22)를 형성한다. 다음, 기판의 전면에 ITO 등의 투명 도전 물질을 증착하여 공통 전극(25)을 형성하고, 그 위에 유기막(26)을 코팅하고 패터닝하여 슬릿(27)을 형성한다. 유기막 슬릿(27)을 형성하는 재료나 방법 등은 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 경우와 유사하다.

이와 같이 형성한 박막 트랜지스터 기판과 컬러 필터 기판을 결합하고, 두 기판 사이에 액정 물질을 주입하면 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치 기판을 제조할 수 있다.

본 발명의 제1 실시예에서는 투명 전극 위에 유기막을 코팅하여 슬릿을 형성하였지만, 이와 반대로 유기막 슬릿을 먼저 형성하고 그 위에 투명 전극을 형성할 수도 있다. 이렇게 할 경우 공정을 단순화할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

먼저, 하판인 박막 트랜지스터 기판의 구조를 살펴보면, 투명 기판(10) 위에 게이트 전극(111), 게이트 절연막(13), 비정질 규소층(112), 도핑된 비정질 규소층(113, 114), 소스 및 드레인 전극(115, 116)으로 이루어진 박막 트랜지스터가 형성되어 있고, 그 위에 평탄화된 유기막(16)이 형성되어 있다. 유기막(16)은 상판(20)의 컬러 필터(22)가 형성된 영역에 대응하는 화소 영역에 슬릿(17)을 가지고 있으며 드레인 전극(116)을 노출시키는 접촉구를 가지고 있다. 슬릿(17)이 형성되어 있는 유기막(16) 위에 투명한 화소 전극(15)이 형성되어 있는데, 화소 전극(15)은 그 아래에 형성되어 있는 유기막(16)의 슬릿(17) 모양을 따라 슬릿이 형성된 형태로 형성되고, 유기막(16)에 형성되어 있는 접촉구를 통해 드레인 전극(116)과 전기적으로 연결된다.

다음 상판인 컬러 필터 기판의 구조를 살펴보면, 투명한 절연 기판(20) 위에 블랙 매트릭스(21)와 컬러 필터(22)가 형성되어 있으며, 그 위에 슬릿(27)을 가진 유기막(26)이 형성되어 있다. 유기막(26) 위에 투명한 공통 전극(25)이 형성되어 있는데, 공통 전극(25)은 그 아래에 형성된 유기막(26)의 모양을 따라 슬릿을 가진 형태로 형성되어 있다.

두 기판 사이에는 음의 유전율 이방성을 갖는 수직 배향 액정 물질(30)이 주입되어 있다.

본 발명의 제2 실시예의 경우도 제1 실시예에서와 마찬가지로 슬릿(17, 27)의 중심선을 기준으로 양쪽의 액정 분자가 방대 방향으로 쓰러지게 되므로 광시야각의 구현이 가능하다.

이제, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치를 제조하는 방법을 설명한다. 도 6 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법을 나타낸 단면도이다.

도 6에 나타난 바와 같이, 기판(10) 위에 박막 트랜지스터(11)를 형성하는 과정까지는 본 발명의 제1 실시예와 유사하다. 다음, 소스 및 드레인 전극(115, 116) 위에 유기막(16)을 코팅한다. 이 유기막(16)은 보호막과 액정 분자의 배열을 조절하는 두 가지 역할을 하며, 유기막(16)의 재료 등은 제1 실시예와 유사하다.

다음, 사진 공정이 가능한 유기 재료로 유기막(16)을 형성한 경우라면, 도 7에 나타난 바와 같이, 슬릿과 접촉구를 형성하기 위한 마스크(41)를 사용하여 유기막(16)을 노광한 후 현상하면, 도 8에 나타난 바와 같은 슬릿을 가진 유기막 패턴이 형성된다. 제1 실시예에서와 마찬가지로 사진 공정이 가능하지 않은 유기막을 사용한 경우라면, 유기막 위에 포토레지스트를 한 층 도포한 후 노광, 현상하여 유기막을 식각하면 된다.

패터닝된 유기막(16) 위에 ITO 등의 투명 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 화소 전극을 형성하면 박막 트랜지스터 기판이 완성된다.

컬러 필터 기판(20) 역시 박막 트랜지스터 기판(10)을 제조하는 것과 유사한 방법으로 제조할 수 있는데, 블랙 매트릭스(21)와 컬러 필터(22)를 형성한 다음, 유기막(26)을 코팅하고 패터닝하여 슬릿(27)을 형성한 후 기판의 전면에 ITO 등의 투명 도전 물질을 증착하여 공통 전극(25)을 형성한다.

이와 같이 형성한 박막 트랜지스터 기판과 컬러 필터 기판을 결합하고, 두 기판 사이에 액정 물질을 주입하면 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치 기판을 제조할 수 있다.

컬러 필터 기판의 경우는 별도로 유기막을 코팅할 필요 없이 컬러 필터에 직접 슬릿을 형성할 수도 있다.

도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 단면도이다.

투명한 절연 기판(20) 위에 크롬 등의 금속이나 불투명 유기 재료 등으로 된 블랙 매트릭스(21)가 형성되어 있으며, 블랙 매트릭스(21) 사이의 영역에는 적, 녹, 청의 컬러 필터(22)가 형성되어 있다. 컬러 필터(22)는 가운데에 슬릿(28)을 갖는 형태로 패터닝되어 있다. 블랙 매트릭스(21)와 패터닝된 컬러 필터(22) 위에 ITO로 이루어진 공통 전극(25)이 형성되어 있다.

이와 같은 컬러 필터 기판을 제조하기 위하여는, 먼저 투명한 절연 기판(10) 위에 크롬 등의 금속을 증착하고 패터닝하여 블랙 매트릭스(21)를 형성하고, 그 위에 적, 녹, 청색의 레지스트를 차례로 도포하고 패터닝하여 컬러 필터(22)를 형성한다. 다음, 컬러 필터(22)를 패터닝하여 슬릿(28)을 형성한다. 또는 적, 녹, 청색의 컬러 필터를 형성하는 과정에서 각 컬러 필터에 슬릿(28)을 형성할 수도 있다.

본 발명의 제1 실시예에서는 하판과 상판 모두 투명 전극 위에 유기막 슬릿을 형성하고, 제2 실시예에서는 하판과 상판 모두 유기막 슬릿 위에 투명 전극을 형성하였지만, 이와 같이 하판과 상판을 동일한 방법으로 형성하지 않고, 임의로 여러 가지 형태의 슬릿을 조합할 수도 있다. 본 발명의 제3 실시예와 같이 컬러 필터 기판을 형성하는 형태를 조합할 수 있음도 물론이다. 뿐만 아니라, 한쪽 기판에는 투명 전극을 패터닝하여 형성하고, 다른쪽 기판에는 유기막 슬릿을 형성하는 것도 가능하다.

본 발명의 실시예에서는 음의 유전율 이방성을 갖는 액정 물질과 수직 배향막을 사용하는 VATN 액정 표시 장치의 경우만을 설명하였지만, 양의 유전율 이방성을 갖는 액정 물질을 사용하는 통상의 비틀린 네마틱 액정 표시 장치의 경우도 본 발명의 실시예와 유사한 유기 절연막 슬릿을 이용하여 광시야각을 실현할 수 있다.

이와 같이 액정 표시 장치의 기판에 유기막을 이용하여 슬릿을 형성함으로써 액정 분자의 배열 방향을 다양하게 하여 액정 표시 장치의 시야각을 넓힐 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고,

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 상판과 하판에 형성되는 슬릿의 모양을 나타낸 것이고,

도 3과 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도이고,

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고,

도 6 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도이고,

도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 기판의 단면도이다.

Claims

박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성되어 있는 투명한 절연 기판, 및

상기 기판 위에 형성되어 있는 유기 절연막을 포함하며,

상기 유기 절연막은 상기 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 부분에서는 평탄하게 형성되어 있으며, 상기 화소 전극이 형성되어 있는 부분에서는 슬릿을 갖는 형태로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
제1항에서,

상기 유기 절연막은 상기 박막 트랜지스터와 상기 화소 전극을 덮고 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
제1항에서,

상기 유기 절연막은 상기 박막 트랜지스터를 덮고 있으며, 상기 화소 전극 아래에 형성되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에서,

상기 유기 절연막은 사진 공정이 가능한 재료로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
컬러 필터, 블랙 매트릭스 및 공통 전극이 형성되어 있는 투명한 절연 기판, 및

상기 기판 위에 형성되어 있는 유기 절연막을 포함하며,

상기 유기 절연막은 상기 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 부분에서는 평탄하게 형성되어 있으며, 상기 컬러 필터가 형성되어 있는 부분에서는 슬릿을 갖는 형태로 형성되어 있는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판.
제5항에서,

상기 유기 절연막은 상기 컬러 필터, 상기 블랙 매트릭스 및 상기 공통 전극을 덮고 있는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판.
제5항에서,

상기 유기 절연막은 상기 컬러 필터와 상기 블랙 매트릭스를 덮고 있으며, 상기 공통 전극 아래에 형성되어 있는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판.
제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에서,

상기 유기 절연막은 사진 공정이 가능한 재료로 이루어진 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판.
투명한 절연 기판 위에 형성되어 있는 블랙 매트릭스,

상기 블랙 매트릭스에 의해 정의되는 화소 영역에 형성되어 있으며 슬릿을 가지고 있는 컬러 필터,

상기 컬러 필터와 상기 블랙 매트릭스를 덮고 있는 공통 전극을 포함하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판.
박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성되어 있는 제1 기판,

블랙 매트릭스와 컬러 필터, 공통 전극이 형성되어 있는 제2 기판,

상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 주입되어 있는 수직 배향 액정 물질,

상기 제1 기판 또는 제2 기판 중 적어도 어느 하나에 형성되어 있는 유기 절연막을 포함하며,

상기 유기 절연막은 상기 박막 트랜지스터 또는 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 부분에서는 평탄하게 형성되어 있으며, 상기 화소 전극 또는 컬러 필터가 형성되어 있는 부분에서는 슬릿을 갖는 형태로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
제10항에서,

상기 유기 절연막은 사진 공정이 가능한 재료로 이루어진 액정 표시 장치.
제1 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계,

상기 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 제1 기판 위에 제1 유기 절연막을 도포하는 단계,

상기 제1 유기 절연막을 슬릿을 갖는 형태로 패터닝하는 단계,

상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판 위에 컬러 필터와 블랙 매트릭스를 형성하는 단계,

상기 컬러 필터와 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 제2 기판 위에 제2 유기 절연막을 도포하는 단계,

상기 제2 유기 절연막을 슬릿을 갖는 형태로 패터닝하는 단계, 및

상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 액정을 주입하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법
제12항에서,

상기 제1 유기 절연막을 패터닝하는 단계는 상기 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 부분은 평탄하게 형성하고, 나머지 부분은 슬릿을 갖는 형태로 형성하는 단계인 액정 표시 장치의 제조 방법.
제13항에서,

상기 제1 유기 절연막을 패터닝하는 단계 이후에 화소 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제12항에서,

상기 제1 유기 절연막을 도포하는 단계 전에 화소 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제15항에서,

상기 제1 유기 절연막을 패터닝하는 단계는 상기 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 부분은 평탄하게 형성하고, 상기 화소 전극이 형섞되어 있는 부분은 슬릿을 갖는 형태로 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제12항에서,

상기 제2 유기 절연막을 패터닝하는 단계는 상기 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 부분은 평탄하게 형성하고, 상기 컬러 필터가 형성되어 있는 부분은 슬릿을 갖는 형태로 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제17항에서,

상기 제2 유기 절연막을 패터닝하는 단계 이후에 공통 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제12항에서,

상기 제1 및 제2 유기 절연막은 사진 공정이 가능한 재료로 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계,

적색 레지스트를 도포하고 패터닝하여 슬릿을 갖는 형태의 적색 컬러 필터를 형성하는 단계,

녹색 레지스트를 도포하고 패터닝하여 슬릿을 갖는 형태의 녹색 컬러 필터를 형성하는 단계,

청색 레지스트를 도포하고 패터닝하여 슬릿을 갖는 형태의 청색 컬러 필터를 형성하는 단계,

상기 블랙 매트릭스와 상기 적, 녹, 청색 컬러 필터 위에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.
기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계,

적, 녹, 청색의 레지스트를 차례로 도포하고 패터닝하여 적, 녹, 청색 컬러 필터를 각각 형성하는 단계,

상기 적, 녹, 청색 컬러 필터를 슬릿을 갖는 형태로 패터닝하는 단계,

상기 블랙 매트릭스와 상기 적, 녹, 청색 컬러 필터 위에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판의 제조 방법.