KR100526533B1 - Deposition burner for optical fiber preform - Google Patents
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Abstract
본 발명은 산소와 수소를 공급받아 열을 발생시키는 분사구; 상기 분사구 주위를 둘러싸며, 상기 분사구로부터 발생한 열의 주위로 소정의 가스를 분사하므로써 상기 분사구로부터 발생한 열의 흐름을 조절하는 유로 제어장치를 포함하여 구성되는 광섬유 모재 증착용 버너를 개시한다. 상기와 같은 광섬유 모재 증착용 버너는 버너의 분사구로부터 분사되는 화염과 열의 흐름 방향을 제어하는 것이 가능하므로, 광섬유 모재 증착시 케미컬의 증착량을 조절하여 광섬유 모재의 품질 향상에 기여하게 되었다. 특히, 종래에 광섬유 모재의 양 단부에서 그 증착량을 일정하게 유지하지 못하던 것을 본 발명에 따른 광섬유 모재 증착용 버너에 의해 증착량 조절이 가능하게 되었으므로 광섬유 모재의 품질 향상뿐만 아니라 불량률이 감소하여 생산량이 증대되는 효과를 얻게 되었다.The present invention provides a nozzle for generating heat by receiving oxygen and hydrogen; Disclosed is an optical fiber base material deposition burner including a flow path control device surrounding the injection hole and controlling a flow of heat generated from the injection hole by injecting a predetermined gas around the heat generated from the injection hole. Since the burner for depositing the optical fiber base material as described above can control the direction of the flow of flame and heat sprayed from the injection port of the burner, it contributes to the improvement of the quality of the optical fiber base material by controlling the amount of chemical deposition during the optical fiber base material deposition. In particular, since the deposition amount can be controlled by the optical fiber base material deposition burner according to the present invention, the deposition amount cannot be maintained at both ends of the optical fiber base material in the related art. This increased effect was obtained.
Description
본 발명은 광섬유에 관한 것으로서, 특히 실리카 글래스 즉, 광섬유 모재 제조 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an optical fiber, and more particularly, to a silica glass, that is, an optical fiber base material manufacturing apparatus.
통상적으로 광섬유 모재(optical fiber chemical)를 제조하는 방법에는 기상 증착법(Vapor-phase Deposition)과 솔-젤(sol-gel) 공법을 예로 들 수 있다. 상기 솔-젤 공법은 액체 상태의 원료 물질을 몰드에 넣고 젤 상태로 만든 후 소결시킴으로써 실리카 글래스를 제조하는 공법으로서, 전반적으로 저온에서 진행되어 생산 원가가 낮고, 목적물의 조성을 조절하기가 용이한 방법이다. In general, a method of manufacturing an optical fiber chemical material includes vapor-phase deposition and a sol-gel process. The sol-gel method is a method of manufacturing silica glass by putting a raw material in a liquid state into a mold and sintering it, and manufacturing silica glass. to be.
한편, 기상 증착법에는 변형 화학 기상 증착법(modified chemical vapor deposition: MCVD), 기상축 증착법(vapor phase axial deposition: VAD), 외부 기상축 증착법(outsidevapor deposition: OVD) 등의 방법이 있다. 상기와 같은 기상 증착법은 본 출원인에 의해 출원되어 특허 허여된 출원번호 제99-60184호(1999년 12월 22일), 출원번호 제98-24158호(1998년 6월 25일) 등에 상세히 개시되고 있다. 한편 이러한 기상 증착법은 오랜 시간동안 약 1800℃에 이르는 고온에서 기상반응에 의해 고체인 광섬유 모재를 제조하기 때문에 생산성이 낮고, 고가의 제조장비를 사용해야 하는 반면, 고품질의 광섬유 모재를 얻을 수 있다는 장점이 있다.On the other hand, vapor deposition includes methods such as modified chemical vapor deposition (MCVD), vapor phase axial deposition (VAD), and external vapor deposition (OVD). Such vapor deposition method is disclosed in detail in the application No. 99-60184 (December 22, 1999), the application No. 98-24158 (June 25, 1998) and the like filed by the applicant have. On the other hand, the vapor deposition method produces a solid optical fiber base material by a gas phase reaction at a high temperature of about 1800 ° C. for a long time, so that the productivity is low and expensive manufacturing equipment must be used, whereas a high quality fiber base material can be obtained. have.
도 1은 통상적인 광섬유 모재 증착 장치(100)를 나타내는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 통상적인 광섬유 모재 증착 장치(100)는 장착대(121a, 121b), 광섬유 모재 증착용 버너 장치(120)를 구비한다. 1 is a view showing a conventional optical fiber base material deposition apparatus 100. As shown in FIG. 1, the conventional optical fiber base material deposition apparatus 100 includes mounting tables 121a and 121b and a burner device 120 for depositing an optical fiber base material.
상기 장착대(121a, 121b)에는 소정 거리를 두고 두 개가 설치되어 광섬유 모재(110)를 장착시키며, 상기 장착대(121a, 121b)에 장착된 광섬유 모재(110)는 회전(화살표 C)하게 된다. 상기 광섬유 모재(110)에 증착되는 케미컬(chemical)은 상기 장착대(121a, 121b)의 일측으로부터 상기 장착대(121a, 121b)를 통해 상기 광섬유 모재(110)로 공급(화살표 A)된다. The mounting bases 121a and 121b are installed at two predetermined distances to mount the optical fiber base material 110, and the optical fiber base material 110 mounted to the mounting bases 121a and 121b is rotated (arrow C). . Chemical deposited on the optical fiber base material 110 is supplied (arrow A) to the optical fiber base material 110 through the mounts 121a and 121b from one side of the mounting bases 121a and 121b.
상기 버너 장치(120)는 산소와 수소를 공급(화살표 B)받아 연소시키므로써 화염과 열을 발생시켜 상기 장착대(121a, 121b)에 장착된 광섬유 모재(110)에 공급된 케미컬의 증착을 촉진하게 된다. 상기 버너 장치(120)는 상기 두 개의 장착대(121a, 121b) 사이에서 수평이동(화살표 D)이 가능하게 설치된다. 따라서, 상기 버너 장치(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 버너(123)와 상기 버너(123)의 수평이동을 가능하게 하는 이송부(125)가 결합된 구성이다. 상기 버너(123)는 산소와 수소를 연소시켜 열을 발생시키므로 과열에 의해 손상될 수 있기 때문에 냉각수 등을 공급하여 이를 방지하기도 한다. 한편, 상기 버너(123)에 공급되는 산소와 수소의 공급량은 질유량 제어 장치(MFC; mass flow controller)에 의해 조절되므로써, 광섬유 모재(110)에 케미컬이 증착되는 양과 속도를 조절하게 된다. The burner device 120 receives flame and heat by supplying oxygen and hydrogen (arrow B) to generate flame and heat to promote deposition of chemicals supplied to the optical fiber base material 110 mounted on the mounts 121a and 121b. Done. The burner device 120 is installed to allow horizontal movement (arrow D) between the two mounts 121a and 121b. Accordingly, the burner device 120 has a configuration in which a burner 123 and a transfer part 125 for horizontally moving the burner 123 are coupled as shown in FIG. 2. Since the burner 123 generates heat by burning oxygen and hydrogen, the burner 123 may be damaged by overheating, thereby supplying cooling water and the like. On the other hand, the amount of oxygen and hydrogen supplied to the burner 123 is controlled by a mass flow controller (MFC), thereby controlling the amount and rate of chemical deposition on the optical fiber base material 110.
도 3은 종래의 일 실시예에 따른 광섬유 모재 증착용 버너(300)를 나타내는 평면도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 광섬유 모재 증착용 버너(300)는 내주면에 원주방향을 따라 분사구(301)가 설치된다. 상기 버너(300)는 공급받은 산소와 수소를 연소시켜 상기 분사구(301)를 통해 화염 및 열을 분사하게 된다. 3 is a plan view illustrating an optical fiber base material deposition burner 300 according to an exemplary embodiment. As shown in FIG. 3, the conventional optical fiber base material deposition burner 300 is provided with an injection hole 301 in the circumferential direction on an inner circumferential surface thereof. The burner 300 combusts the supplied oxygen and hydrogen to inject flame and heat through the injection hole 301.
그러나, 종래의 광섬유 모재 증착용 버너는 단순히 산소와 수소를 연소시켜 광섬유 모재를 향해 분사만 하기 때문에, 버너에 공급되는 산소와 수소의 양을 조절하여 발생 열량의 조절은 가능하다고는 하지만, 버너에서 발생한 열량이 외부로 확산되어 열 효율이 저하되고 열의 흐름이 제어되지 않아 광섬유 모재의 양 단부에서는 케미컬의 증착이 원활하지 못하다는 문제점이 있다. 따라서, 종래의 광섬유 모재 증착용 버너는 열의 흐름을 제어하고자 할 때 또는 광섬유 모재의 양 단부 증착을 위해서는 추가적인 장치를 필요로 하는 문제점이 있다.However, since the conventional burner for depositing an optical fiber base material simply burns oxygen and hydrogen and sprays it toward the optical fiber base material, it is possible to control the amount of heat generated by adjusting the amount of oxygen and hydrogen supplied to the burner. Since the generated heat is diffused to the outside to reduce the thermal efficiency and the heat flow is not controlled, there is a problem in that chemical deposition is not smooth at both ends of the optical fiber base material. Therefore, the conventional burner for depositing an optical fiber base material has a problem of requiring an additional device for controlling the flow of heat or for depositing both ends of the optical fiber base material.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은 열 흐름의 제어가 용이한 광섬유 모재 증착용 버너를 제공함에 있다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a burner for depositing an optical fiber base material which is easy to control the heat flow.
본 발명의 다른 목적은 광섬유 모재의 양 단부 또는 임의의 위치에서 광섬유 모재의 증착량을 조절할 수 있는 광섬유 모재 증착용 버너를 제공함에 있다.Another object of the present invention to provide an optical fiber base material deposition burner that can control the deposition amount of the optical fiber base material at both ends or any position of the optical fiber base material.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 광섬유 모재 증착용 버너에 있어서, 산소와 수소를 공급받아 열을 발생시키는 분사구; 상기 분사구 주위를 둘러싸며, 상기 분사구로부터 발생한 열의 주위로 소정의 가스를 분사하므로써 상기 분사구로부터 발생한 열의 흐름을 조절하는 유로 제어장치를 포함하여 구성되는 광섬유 모재 증착용 버너를 개시한다. In order to achieve the above object, the present invention is an optical fiber base material deposition burner, the injection hole for generating heat by receiving oxygen and hydrogen; Disclosed is an optical fiber base material deposition burner including a flow path control device surrounding the injection hole and controlling a flow of heat generated from the injection hole by injecting a predetermined gas around the heat generated from the injection hole.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광섬유 모재 증착용 버너(400)를 나타내는 평면도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광섬유 모재 증착용 버너(400)는 내주면에 원주방향을 따라 분사구(401)가 구비되며, 상기 분사구(401)를 둘러싸도록 설치되는 유로 제어장치(403)가 구비된다. 4 is a plan view showing a burner 400 for depositing an optical fiber base material according to a preferred embodiment of the present invention. As shown in Figure 4, the optical fiber base material deposition burner 400 according to a preferred embodiment of the present invention is provided with an injection hole 401 in the circumferential direction on the inner circumferential surface, the flow path is installed to surround the injection hole 401 The control device 403 is provided.
상기 분사구(401)는 외부로부터 산소와 수소를 공급받아 연소시키므로써 화염과 열을 발생시키게 된다. 상기 분사구(401)로부터 발생된 화염과 열은 광섬유 모재로 공급되어 케미컬 증착을 촉진하게 된다. 상기 분사구(401)에 공급되는 산소와 수소의 질유량은 질유량 제어장치에 의해 조절되므로써, 상기 분사구(401)에서 발생하는 열량이 조절된다. The injection port 401 generates flame and heat by burning oxygen and hydrogen from the outside. Flame and heat generated from the injection hole 401 is supplied to the optical fiber base material to promote chemical deposition. The flow rate of oxygen and hydrogen supplied to the injection port 401 is controlled by the flow rate control device, so that the amount of heat generated at the injection port 401 is controlled.
상기 유로 제어장치(403)는 상기 분사구(401)를 둘러싸도록 설치된다. 상기 유로 제어장치(403)는 소정의 가스(gas)를 분사하여 상기 분사구(401)로부터 발생하는 화염과 열의 흐름을 조절하게 된다. 상기 유로 제어장치(400)를 통해 분사되는 가스는 질소(N2)가 바람직하지만, 상기 버너(400)의 작동 환경에 의해 부득이 질소가스를 사용하지 못할 때에는 산소 또는 수소를 사용할 수도 있다.The flow path controller 403 is installed to surround the injection hole 401. The flow path controller 403 controls a flow of flame and heat generated from the injection hole 401 by injecting a predetermined gas. Nitrogen (N 2 ) is preferably used for the gas injected through the flow path control device 400, but oxygen or hydrogen may be used when the nitrogen gas cannot be used due to the operating environment of the burner 400.
상기 유로 제어장치(403)는 도 5a 또는 도 5b에 도시된 바와 같이 분사되는 가스의 방향(화살표 F)을 조절하므로써 상기 버너(400)의 분사구(401)로부터 발생하는 화염 또는 열의 흐름을 조절할 수 있다. 한편, 분사 가스의 방향을 조절하기 위해서는 상기 버너(400)에 방향 조절을 위한 장치가 별도로 설치되어야 하기 때문에, 화염과 열의 흐름을 조절하기 위하여 광섬유 모재 증착 장치의 질유량 제어장치를 이용할 수 있을 것이다. 즉, 상기 유로 제어장치(403)로부터 분사되는 가스의 유속이나 유량을 조절하여 화염과 열의 흐름을 조절하는 것이다. The flow path controller 403 may adjust the flow of flame or heat generated from the injection hole 401 of the burner 400 by adjusting the direction (arrow F) of the gas to be injected as shown in FIG. 5A or 5B. have. On the other hand, in order to control the direction of the injection gas, since the apparatus for adjusting the direction must be installed separately in the burner 400, it may be able to use the flow rate control device of the optical fiber base material deposition apparatus to control the flow of flame and heat. . That is, by controlling the flow rate or flow rate of the gas injected from the flow path control device 403 to control the flow of flame and heat.
이는, 도 5a을 참조하여 설명하면, 상기 유로 제어장치(403)의 좌측에서 분사되는 가스의 유속이나 유량을 작게하고 우측에서 분사되는 가스의 유속이나 유량을 상대적으로 크게 하면 상기 화염과 열의 흐름(410)은 좌측으로 편향되며, 상기 유로 제어장치(403)에서 분사되는 가스의 유속이나 유량이 그 반대로 되면 상기 화염과 열의 흐름(410) 역시 우측으로 편향되는 것이다. 이러한 방식으로, 상기 유로 제어장치(403)에서 분사되는 가스의 유속과 유량을 조절하므로써, 상기 분사구(401)로부터 분사되는 화염과 열의 흐름 방향을 조절할 수 있으며, 또한 화염과 열을 더 넓은 범위에 전달하거나, 더 좁은 범위에 집중시킬 수 있는 것이다. Referring to FIG. 5A, when the flow rate or flow rate of the gas injected from the left side of the flow path control device 403 is reduced and the flow rate or flow rate of the gas injected from the right side is relatively increased, the flow of flame and heat ( 410 is deflected to the left side, if the flow rate or flow rate of the gas injected from the flow path controller 403 is reversed, the flow of flame and heat 410 is also deflected to the right. In this way, by adjusting the flow rate and flow rate of the gas injected from the flow path control device 403, it is possible to adjust the flow direction of the flame and heat injected from the injection port 401, and also to control the flame and heat in a wider range. It can be delivered or focused on a narrower range.
이때, 화염과 열을 공급하기 위한 연료가스 즉, 산소와 수소를 공급하기 위한 질유량 제어장치와 상기 유량 제어장치(403)에 공급되는 질소 등의 질유량 제어장치는 별도로 구비할 수 있으며, 이 경우에는 화염과 열 흐름의 방향 조절이 더욱 용이하다는 것은 자명하다. 또한, 상기 유로 제어장치(403)는 상기 분사구(401) 주위를 감싸면서 설치되므로 상기 분사구(401)에서 발생하는 열이 외부로 확산되어 손실되는 것을 차단할 수도 있는 것이다.In this case, a fuel flow rate control device for supplying flame and heat, that is, a flow rate control device for supplying oxygen and hydrogen, and a flow rate control device such as nitrogen supplied to the flow rate control device 403 may be provided separately. In this case, it is obvious that the direction of flame and heat flow is easier to control. In addition, since the flow path control device 403 is installed surrounding the injection hole 401, heat generated from the injection hole 401 may be prevented from being diffused to the outside and being lost.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다. On the other hand, in the detailed description of the present invention has been described with respect to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications are possible without departing from the scope of the present invention.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 광섬유 모재 증착용 버너는 버너의 분사구로부터 분사되는 화염과 열의 흐름 방향을 제어하는 것이 가능하므로, 광섬유 모재 증착시 케미컬의 증착량을 조절하여 광섬유 모재의 품질 향상에 기여하게 되었다. 특히, 종래에 광섬유 모재의 양 단부에서 그 증착량을 일정하게 유지하지 못하던 것을 본 발명에 따른 광섬유 모재 증착용 버너에 의해 증착량 조절이 가능하게 되었으므로 광섬유 모재의 품질 향상뿐만 아니라 불량률이 감소하여 생산량이 증대되는 효과를 얻게 되었다. As described above, the optical fiber base material deposition burner according to the present invention can control the flow direction of the flame and heat injected from the injection port of the burner, thereby improving the quality of the optical fiber base material by controlling the amount of chemical deposition during the optical fiber base material deposition. Contributed to In particular, since the deposition amount can be controlled by the optical fiber base material deposition burner according to the present invention, the deposition amount cannot be maintained at both ends of the optical fiber base material in the related art. This increased effect was obtained.
도 1은 통상적인 광섬유 모재 증착 장치를 나타내는 도면,1 is a view showing a conventional optical fiber base material deposition apparatus,
도 2는 도 1에 도시된 광섬유 모재 증착 장치의 버너를 나타내는 측면도,2 is a side view showing a burner of the optical fiber base material deposition apparatus shown in FIG. 1;
도 3은 종래의 일 실시예에 따른 광섬유 모재 증착용 버너를 나타내는 평면도,3 is a plan view showing a burner for depositing an optical fiber base material according to an embodiment of the related art;
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광섬유 모재 증착용 버너를 나타내는 평면도,4 is a plan view showing a burner for depositing an optical fiber base material according to a preferred embodiment of the present invention;
도 5a와 도 5b는 도 4에 도시된 광섬유 모재 증착용 버너의 작동을 설명하기 위한 도면.5A and 5B are views for explaining the operation of the optical fiber base material deposition burner shown in FIG.
<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>
400 : 버너 401 : 분사구400: burner 401: injection hole
403 : 유로 제어장치403: flow path controller
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5031300A (en) * | 1989-06-15 | 1991-07-16 | Corning Incorporated | Method of making optical devices |
| JPH04228445A (en) * | 1990-06-23 | 1992-08-18 | Kabelmetal Electro Gmbh | Manufacture of preliminary laminate for glass fiber photo wave guide and its device |
| JPH06122528A (en) * | 1992-10-14 | 1994-05-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Production of porous preform for optical fiber |
| JPH10245240A (en) * | 1997-02-20 | 1998-09-14 | Lucent Technol Inc | Production of optical fiber |
| JP2000290036A (en) * | 1999-04-08 | 2000-10-17 | Lucent Technol Inc | Production of optical fiber |
-
2002
- 2002-06-24 KR KR10-2002-0035315A patent/KR100526533B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5031300A (en) * | 1989-06-15 | 1991-07-16 | Corning Incorporated | Method of making optical devices |
| JPH04228445A (en) * | 1990-06-23 | 1992-08-18 | Kabelmetal Electro Gmbh | Manufacture of preliminary laminate for glass fiber photo wave guide and its device |
| JPH06122528A (en) * | 1992-10-14 | 1994-05-06 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Production of porous preform for optical fiber |
| JPH10245240A (en) * | 1997-02-20 | 1998-09-14 | Lucent Technol Inc | Production of optical fiber |
| JP2000290036A (en) * | 1999-04-08 | 2000-10-17 | Lucent Technol Inc | Production of optical fiber |
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| Publication number | Publication date |
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