KR100510645B1 - device for valuating pick-up a optical device of near field recording - Google Patents

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Abstract

본 발명은 근접장 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치를 제공하기 위한 것으로서, 대물렌즈, 광을 집속하는 제1 SIL을 구비한 근접장 광학계의 픽업 평가에 있어서, 상기 근접장 광학계로부터 출력된 광을 집광하며, 상기 제1 SIL보다 큰 굴절률을 갖는 제2 SIL; 상기 제2 SIL을 통과한 광을 입사 및 출사하는 대물렌즈; 상기 대물렌즈로부터 출사된 광의 광학특성을 평가하는 간섭계로 구성된 측정용 광학계를 구비하여 상기 근접장 광학계의 광학 특성을 평가함으로써, NA가 큰 근접장 광학계의 광학특성을 평가하고, 이를 이용하여 근접장 광학계의 파면수차가 최소화되도록 근접장 광학계를 조절하여 광기록매체의 기록 또는 재생 시 광원인 레이저의 광이 광기록매체의 매질에 초점이 잘 맺도록 하여 이를 통한 고밀도의 광정보 저장장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a pick-up evaluation apparatus for a near-field optical system. In the pickup evaluation of a near-field optical system having an objective lens and a first SIL for focusing light, it collects light output from the near-field optical system. A second SIL having a refractive index greater than the first SIL; An objective lens for entering and exiting light passing through the second SIL; Evaluating the optical characteristics of the near field optical system having a measuring optical system composed of an interferometer for evaluating the optical characteristics of the light emitted from the objective lens to evaluate the optical characteristics of the near field optical system having a large NA, and using the wavefront of the near field optical system. The near field optical system is adjusted to minimize aberration so that the light of the laser as a light source focuses well on the medium of the optical recording medium when the optical recording medium is recorded or reproduced, thereby providing a high density optical information storage device.

Description

근접장 광학계의 픽업 평가 장치{device for valuating pick-up a optical device of near field recording}Device for evaluating pick-up a optical device of near field recording

본 발명은 근접장(NFR, near field recording) 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for picking up near field recording (NFR) optical systems.

종래에는 픽업(pick up) 광학계의 평가를 위해 광학계를 조립 할때, ZYGO나 WYKO와 같은 간섭계로 그 특성을 측정하고 평가한다. 그리고 그 결과를 이용하여 상기 광학계의 조정하여 수차값을 최소가 되도록 조정을 한다. Conventionally, when assembling the optical system for the evaluation of the pick-up optical system, the characteristics are measured and evaluated with an interferometer such as ZYGO or WYKO. Using the result, the optical system is adjusted to minimize the aberration value.

도1은 종래 기술에 따른 광학계의 픽업 평가 장치에 관한 것으로, 도1을 참조하여 이를 자세히 설명하면 다음과 같다.1 relates to a pickup evaluation apparatus for an optical system according to the prior art, which will be described in detail with reference to FIG. 1.

도1과 같이, 일반적으로 픽업 장치를 조립할 때 우선 레이저(laser, 1)의 광을 평행광으로 만들고, 이를 대물렌즈를 조립하여 전체적으로 초점이 잘 맺히는 가를 측정한다.In general, when assembling the pickup device as shown in Figure 1, first, the light of the laser (laser) 1 is made into parallel light, and the objective lens is assembled to measure whether the overall focus is achieved.

여기서 먼저 레이저(1)를 평행광으로 만드는 과정에서 집광렌즈( collimation lens, CL, 2)를 조절하여 평행광의 특성이 잘 나오도록 이 픽업에서 나오는 평행광을 WYKO 간섭계(4)에 입사시켜 측정하고, 이때 ZYGO 간섭계를 이용하기도 한다In this process, the collimation lens (CL) 2 is adjusted in the process of making the laser 1 into parallel light, and the parallel light from the pickup is measured by entering the WYKO interferometer 4 so that the characteristics of the parallel light are well represented. In this case, ZYGO interferometer may be used.

그리고 다음에 대물렌즈(5)를 조립한 후 WYKO 간섭계(4)에 측정하려고 하는 대물렌즈보다 큰 NA(개구수, numerical aperture)값을 가지는 이미 검증된 수차가 최소화된 대물렌즈(6)를 끼우고, 평가하고자 하는 픽업과 이 대물렌즈(6)를 조절하여 광축을 정렬한 후 전체 픽업 특성을 평가한다.Then, after assembling the objective lens 5, the WYKO interferometer 4 is fitted with an objective lens 6 which minimizes the already-proven aberration having a larger numerical aperture (NA) value than the objective lens to be measured. Then, the pickup to be evaluated and the objective lens 6 are adjusted to align the optical axes, and then the overall pickup characteristics are evaluated.

그렇게 측정하면서 CL(2)과 기타 다른 소자를 조정하여 전체 광학적 특성이 최대화 즉, 전체 광학계의 파면수차가 회절한계(0.07l)보다 작은 값으로 최소가 되도록 조정을 한다.In doing so, the CL (2) and other devices are adjusted to maximize the overall optical properties, i.e. the wavefront aberration of the whole optical system is minimized to a value smaller than the diffraction limit (0.07l).

그러나, 상기와 같은 종래 기술에 따른 기존의 광저장 장치용 픽업의 특성 평가 장치는 기존의 간섭계를 이용한 것으로, NA가 최대 0.95정도로 1을 넘는 근접장 광학계를 측정할 수가 없다. However, the conventional apparatus for evaluating characteristics of a pickup for an optical storage device according to the related art uses a conventional interferometer, and it is impossible to measure a near field optical system having a NA of more than 1 with a maximum of 0.95.

즉, 기존의 광학계를 조립할 때 ZYGO나 WYKO와 같은 간섭계로 조립상의 파면수차의 오차를 측정하여 그 특성을 최대화하도록 그 조정을 하는 작업을 할 수 있다. 그러나 근접장 픽업 광학계의 개구수 NA가 1이 넘어 이러한 일반적인 장치로는 측정이 불가능하다. That is, when assembling an existing optical system, an interference system such as ZYGO or WYKO can measure the error of wavefront aberration on the assembly and adjust it to maximize its characteristics. However, the numerical aperture NA of the near-field pick-up optical system is more than one, making it impossible to measure with such a general apparatus.

그러나 근접장 픽업 광학계의 경우, 평행광의 특성 측정은 기존의 간섭계로 측정과 조정이 가능하나, 대물렌즈와 SIL이 결합된 전체광학계의 유효 개구수 NA는 1이 넘어 이러한 일반적인 장치로는 측정이 불가능하다. However, in the near field pickup optical system, the parallel light characteristics can be measured and adjusted with conventional interferometers, but the effective numerical aperture NA of the whole optical system combined with the objective lens and the SIL is over 1, which cannot be measured with such a general apparatus. .

따라서 근접장 광학계를 기존의 측정장치를 이용하여 조립상의 오차 등을 측정하기가 어렵다. Therefore, it is difficult to measure assembly errors using the near field optical system using a conventional measuring device.

따라서 근접장 광학계를 기존의 측정장치를 이용하여 전체 광학계의 파면수차를 최소화하기 위한 조정을 하기가 어렵다Therefore, it is difficult to adjust the near field optical system to minimize the wave front aberration of the whole optical system by using a conventional measuring device.

근접장 광학계 특성 평가 장치는 기존의 간섭계를 이용한 광학계 평가 장치를 통해서는 NA가 최대 0.99 정도로 1을 넘는 근접장 광학계를 측정할 수가 없다.The near field optical system characteristic evaluation apparatus cannot measure a near field optical system having a NA of more than 1 with a maximum of 0.99 through an optical system using a conventional interferometer.

기존의 광학계를 조립할 때는 ZYGO나 WYKO 와 같은 간섭계로도 조립상에서의 파면수차의 오차를 측정할 수가 없다. 따라서 이를 측정하기 위해서 크기가 측정하고자 하는 광학계보다 크기가 크고 조정이 쉬운 광학계를 구성하여 이를 평가기로 활용하는 것을 목적으로 한다. 따라서 이러한 광학계를 통하여 근접장 광학계를 평가하고 조정할 수 있다.When assembling an existing optical system, even an interferometer such as ZYGO or WYKO cannot measure the error of wave front aberration on the assembly. Therefore, in order to measure this, the objective is to construct an optical system that is larger in size and easier to adjust than an optical system to be measured, and to use it as an evaluator. Therefore, it is possible to evaluate and adjust the near field optical system through the optical system.

종래의 픽업 광학계의 평가 및 조립할때는 ZYGO나 WYKO 와 같은 간섭계로 그 특성을 측정하고 평가한다. 그리고 이러한 간섭계는 NA가 1 미만인 광학계를 조립하고 평가를 한다. 이를 이용하여 조립상의 오차 등을 측정한다.When evaluating and assembling a conventional pickup optical system, the characteristics are measured and evaluated with an interferometer such as ZYGO or WYKO. The interferometer assembles and evaluates an optical system having a NA of less than one. Use this to measure errors in assembly.

본 발명은 NA가 큰 근접장 광학계를 평가하고 조정하기 위해, 그 크기가 측정하고자 하는 근접장 광학계보다 크고 조정이 쉬운 광학계를 구성되어, 상기 근접장 광학계의 평가기로 활용하는 픽업(pick up) 평가 장치를 제공하는데 있다.The present invention provides a pick-up evaluation apparatus which is configured to have an optical system larger in size and easier to adjust than a near-field optical system to measure, in order to evaluate and adjust a near-field optical system having a large NA, and to use as an evaluator of the near-field optical system. It is.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 근접장 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치의 특징은 대물렌즈, 광을 집속하는 제1 SIL을 구비한 근접장 광학계의 픽업 측정에 있어서, 상기 근접장 광학계로부터 출력된 광을 집광하며, 상기 제1 SIL보다 굴절율이 크고 큰 사이즈가 갖고 광을 집광하는 제2 SIL; 상기 제2 SIL을 통과한 광을 평행하게 출사하는 대물렌즈; 상기 대물렌즈로부터 출사된 광의 광학특성을 평가하는 간섭계를 포함하여 구성된 측정용 광학계를 구비하여 상기 근접장 광학계의 광학 특성을 평가하는데 있다.A feature of the pick-up evaluation apparatus of the near field optical system according to the present invention for achieving the above object is that in the pickup measurement of the near field optical system having an objective lens and a first SIL for focusing light, A second SIL condensing the output light and having a larger refractive index than the first SIL and condensing the light; An objective lens that emits light passing through the second SIL in parallel; The optical characteristics of the near field optical system are evaluated by including an optical system for measurement including an interferometer for evaluating the optical characteristics of the light emitted from the objective lens.

그리고, 상기 측정용 광학계는 상기 제2 SIL과 대물렌즈를 그 내부에 일체형으로 조립시켜 상기 제2 SIL과 대물렌즈의 위치를 조절하는 압전 구동기(PZT actuator)를 더 포함하여 구성된다.The optical system for measurement further includes a piezoelectric actuator (PZT actuator) for adjusting the position of the second SIL and the objective lens by integrally assembling the second SIL and the objective lens therein.

상기 근접장 광학계는 광원, 시준렌즈, BS(beam spliter), 반사미러를 포함한 광학계; 상기 반사미러에 의해 반사된 광을 입사하는 대물렌즈 및 SIL; 상기 대물렌즈 및 SIL과 일체형으로 조립된 슬라이더(slider); 상기 반사미러에 의해 반사하여 대물렌즈 및 SIL를 통과하도록 상기 슬라이더의 위치를 조정하는 서스팬션(suspension)으로 구성된다.The near field optical system may include an optical system including a light source, a collimating lens, a beam spliter (BS), and a reflection mirror; An objective lens and an SIL for incident light reflected by the reflection mirror; A slider integrally assembled with the objective lens and the SIL; And a suspension for adjusting the position of the slider so as to reflect by the reflection mirror and pass through the objective lens and the SIL.

상기 측정용 광학계의 상기 제2 SIL과 대물렌즈는 상기 광원으로부터 조사되는 광의 파면수차가 최소화되는 값으로 초기화값을 갖는다.The second SIL and the objective lens of the optical system for measurement have an initial value to minimize the wave front aberration of the light irradiated from the light source.

본 발명의 특징에 따른 작용은 NA가 큰 근접장 광학계의 광학특성을 측정하기 위해 상기 근접장 광학계의 제1 SIL보다 큰 굴절율을 갖고 사이즈가 큰 제2 SIL을 구비한 측정용 광학계를 이용하여, 상기 제1 SIL을 통과한 광을 상기 제2 SIL에 입사하여 광의 크기를 확대하고, 커플링을 좋게 하여 이를 대물렌즈를 통과하여 NA가 큰 근접장 광학계의 광학특성을 상기 간섭계로 측정할 수 있다. An operation according to a feature of the present invention is to use the measuring optical system having a second SIL having a larger refractive index and a larger size than the first SIL of the near field optical system to measure the optical characteristics of the near field optical system having a large NA. The light passing through the 1 SIL is incident on the second SIL to enlarge the size of the light, improve the coupling, and pass the objective lens to measure the optical characteristics of the near field optical system having a large NA, using the interferometer.

상기 간섭계로 측정한 전체 시스템의 파면수차를 이용하여 근접장 광학계의 광학특성을 조사하고, 이를 상기 초기화값을 기준으로 보정하여 광기록매체의 기록 또는 재생 시 광원으로부터 조사된 광이 광기록매체의 매질에 초점이 잘 맺도록 하여 이를 통한 고밀도의 광정보 저장장치를 제공할 수 있다.The optical characteristics of the near field optical system are investigated by using the wavefront aberration of the entire system measured by the interferometer, and corrected based on the initialization value so that the light irradiated from the light source during recording or reproducing of the optical recording medium is the medium of the optical recording medium. By concentrating on this, it is possible to provide a high density optical information storage device through this.

본 발명의 다른 목적, 특성 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings.

본 발명에 따른 근접장(NFR : near field recording) 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a preferred embodiment of an apparatus for picking up a near field recording (NFR) optical system according to the present invention will be described below.

도2는 본 발명에 따른 근접장 광학계(A)의 픽업(pick up) 평가 장치를 도시한 것이다. Fig. 2 shows a pick up evaluation device of the near field optical system A according to the present invention.

도2는 근접장 광학계(A)와, 이의 특성 평가를 위한 측정용 광학계(B)로 구성된다.2 is composed of a near field optical system A and a measuring optical system B for evaluating its characteristics.

본 발명의 실시예에 따른 근접장 광학계(A)는 광원(11)과, 시준렌즈(CL, 12)와, BS(beam spliter)(13)와, 반사미러(14)를 포함한 광학계와, 상기 반사미러(14)에 의해 반사된 광을 입사하는 대물렌즈(OL : objective lens, 21) 및 광을 집속하는 제1 SIL(Solid immersion lens, 22)와, 상기 대물렌즈(21) 및 제1 SIL(22)과 일체형으로 조립된 슬라이더(slider, 20)와, 상기 반사미러(14)에 의해 반사하여 대물렌즈(21) 및 제1 SIL(22)를 통과하도록 상기 슬라이더(20)의 위치를 조정하는 서스팬션(15)으로 구성된다.The near-field optical system A according to the embodiment of the present invention includes an optical system including a light source 11, a collimating lens CL and 12, a beam spliter 13, a reflection mirror 14, and the reflection. An objective lens 21 for incident light reflected by the mirror 14 and a first solid immersion lens 22 for focusing the light, and the objective lens 21 and the first SIL ( 22 and a slider 20 integrally assembled with the slider 20, and the slider 20 adjusts the position of the slider 20 so as to pass through the objective lens 21 and the first SIL 22 by reflecting by the reflective mirror 14. It is composed of a suspension (15).

상기 측정용 광학계(B)는 상기 대물렌즈(21) 및 광을 집속하는 제1 SIL(22)로부터 출력된 광을 집광하며, 상기 제1 SIL(22)보다 큰 굴절률을 갖고 큰 사이즈를 갖는 제2 SIL(Solid immersion lens, 31)와, 상기 제2 SIL(31)을 통과한 광을 입사하여 평행하게 출사하는 대물렌즈(OL, 32)와, 상기 제2 SIL(31)과 대물렌즈(32)를 그 내부에 일체형으로 조립시켜 상기 제2 SIL(31)과 대물렌즈(32)의 위치를 조절하는 압전 구동기(PZT actuator, 33)와, 상기 대물렌즈(32)로부터 출사된 광의 광학특성을 평가하는 WYKO 간섭계(30)로 구성된다.The measuring optical system B collects the light output from the objective lens 21 and the first SIL 22 that focuses the light, and has a larger refractive index than the first SIL 22 and has a larger size. 2 SIL (Solid immersion lens) 31, the objective lens (OL, 32) for incidence and exit in parallel with the light passing through the second SIL (31), the second SIL (31) and the objective lens (32) ) Is integrally assembled therein to adjust the position of the second SIL 31 and the objective lens 32, the piezoelectric actuator (PZT actuator) 33, and the optical characteristics of the light emitted from the objective lens 32 It consists of the WYKO interferometer 30 to evaluate.

상기 슬라이더(20)에 조립된 대물렌즈(21)와 반구형의 제1 SIL(22)은 그 크기가 작아서 실제 조립시 그 조립과 제작시 각각의 거리의 공차를 정확히 맞추기가 어렵다. The objective lens 21 assembled to the slider 20 and the hemispherical first SIL 22 are small in size, making it difficult to accurately match the tolerances of the respective distances during assembly and fabrication.

따라서 이를 조정하여야 하는데, 이러한 근접장 광학계(A)보다 크고, 그 구성이 유사한 측정용 광학계(B)를 그 평가 장치를 만들어 측정하고자 하는 근접장 광학계(A)를 그 위에 놓고, 이를 압전 구동기(33)를 이용하여 상기 근접장 광학계(A)와 상기 측정용 광학계(B)의 거리를 근접장 영역인 100nm 미만으로 하여 근접장 광학계(A)와 측정용 광학계(B) 사이를 커플링시킨다.Therefore, this should be adjusted, and the measuring optical system B, which is larger than the near-field optical system A and similar in configuration, has the near-field optical system A to be measured by making the evaluation device, and the piezoelectric driver 33 is placed thereon. The distance between the near field optical system A and the measuring optical system B is less than 100 nm, which is the near field region, and is coupled between the near field optical system A and the measuring optical system B.

그리고, 이를 WYKO 간섭계(30)를 이용하여 광원(11)으로부터 조사되는 광의 광학특성(파면수차)을 평가한다.Then, the optical characteristics (wave front aberration) of the light irradiated from the light source 11 are evaluated using the WYKO interferometer 30.

이 때 조립된 근접장 광학계(A)의 광원(11)인 레이저를 켜고 NFR 광학계의 소자 시준렌즈(12), BS(13), 반사미러(14)를 거친 후, 대물렌즈(21)와 제1 SIL(22)를 투과하도록 한다. At this time, the laser, which is the light source 11 of the assembled near field optical system A, is turned on and passes through the element collimating lens 12, the BS 13, and the reflecting mirror 14 of the NFR optical system, and then the objective lens 21 and the first lens. Permeate the SIL 22.

이후에 상기 측정용 광학계(B)의 제2 SIL(31)와 대물렌즈(32)를 투과시킨 후, 이를 WYKO 간섭계(30)로 입력시켜 근접장 광학계(A)의 광학적 특성을 평가한다.Thereafter, after transmitting the second SIL 31 and the objective lens 32 of the optical system B for measurement, the optical characteristics of the near field optical system A are evaluated by inputting it to the WYKO interferometer 30.

이때 압전 구동기(33)의 내부에 장착된 제2 SIL(31)의 굴절율은 테스트하고자 하는 근접장 광학계(A)의 제1 SIL(22)보다 더 큰 값을 갖고, 사이즈가 크도록 제작함으로써, 근접장 광학계(A)와 측정용 광학계(B) 사이의 커플링을 더 좋게 한다.At this time, the refractive index of the second SIL 31 mounted inside the piezoelectric actuator 33 has a larger value than that of the first SIL 22 of the near field optical system A to be tested and is manufactured to have a large size, thereby Coupling between the optical system A and the measuring optical system B is better.

NA가 큰 근접장 광학계의 광학특성을 측정하기 위해서는 상기 근접장 광학계(A)의 제1 SIL(22)보다 큰 굴절율을 갖는 제2 SIL(31)을 이용하여, 상기 제1 SIL(22)을 통과한 광을 상기 제2 SIL(31)에 입사하여 광의 크기를 확대하고, 상기 제2 SIL(31)을 통과한 광을 대물렌즈(32)를 통과시켜 광을 평행하게 만들어, NA가 큰 근접장 광학계(A)의 광학특성을 WYKO 간섭계(30)로 측정이 가능하다.In order to measure the optical characteristics of the near field optical system having a large NA, a second SIL 31 having a refractive index larger than that of the first SIL 22 of the near field optical system A is used to pass through the first SIL 22. The light is incident on the second SIL 31 to enlarge the size of the light, and the light passing through the second SIL 31 is passed through the objective lens 32 to make the light parallel to each other. The optical characteristic of A) can be measured by the WYKO interferometer 30.

무엇보다도, 상기 측정용 광학계(B)는 측정용으로 제작 시에 상기 광원(11)으로부터 조사되는 광의 파면수차를 최소화할 수 있는 값으로 제2 SIL(31)과 대물렌즈(32)의 값으로 초기화하는 것이 중요하다.Above all, the measurement optical system B is a value capable of minimizing wave front aberration of the light irradiated from the light source 11 at the time of manufacturing for measurement, to the value of the second SIL 31 and the objective lens 32. It is important to initialize.

따라서, 상기 WYKO 간섭계(30)를 이용하여 광의 파면수차 값을 측정하여 상기 근접장 광학계(A)의 광학적 특성을 측정하고, 파면수차 오차를 상기 근접장 광학계(A)의 초기화값을 참조하여 보정을 하여 광기록매체의 기록 또는 재생 시 광원으로부터 조사된 광이 광기록매체의 매질에 초점이 잘 맺도록 하여 이를 통한 고밀도의 광정보 저장장치를 제공한다.Therefore, by measuring the wave front aberration value of the light using the WYKO interferometer 30 to measure the optical characteristics of the near-field optical system (A), by correcting the wave front aberration error with reference to the initialization value of the near-field optical system (A) In the recording or reproducing of the optical recording medium, the light irradiated from the light source focuses well on the medium of the optical recording medium, thereby providing a high density optical information storage device.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 근접장 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치는 다음과 같은 효과가 있다.Pick-up evaluation apparatus of the near field optical system according to the present invention as described above has the following effects.

NA가 큰 근접장 광학계의 테스트용으로 측정용 광학계를 상기 근접장 광학계보다 큰 사이즈로 만들어, 근접장 광학계의 특성을 평가하고 근접장 광학계의 시스템의 파면수차가 최소화 되도록 근접장 광학 시스템을 조정하여 상기 근접장 광학계의 평가기로 활용하고, 이렇게 조정된 근접장 광학계를 이용하여 광정보를 기록 또는 재생 시 광원의 광이 매질에서 초점이 잘 맺도록 하여 고밀도의 광저장 장치를 개발하는 효과를 가진다.The near-field optical system is evaluated by making the measuring optical system larger than the near-field optical system for the test of a large NA, and evaluating the characteristics of the near-field optical system and adjusting the near-field optical system to minimize wavefront aberration of the system of the near-field optical system. By using the near-field optical system adjusted in this way, the light of the light source is well focused in the medium when recording or reproducing the optical information, thereby having an effect of developing a high-density optical storage device.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be defined by the claims.

도1은 종래 기술에 따른 광학계의 픽업 평가 장치에 관한 것이다.1 relates to a pickup evaluation apparatus for an optical system according to the prior art.

도2는 본 발명에 따른 근접장 광학계(A)의 픽업(pick up) 평가 장치를 도시한 것이다. Fig. 2 shows a pick up evaluation device of the near field optical system A according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : 광원 12 : 시준렌즈(CL)11 light source 12 collimating lens (CL)

13 : BS(beam spliter) 14 : 반사미러13: BS (beam spliter) 14: reflection mirror

15 : 서스팬션 20 : 슬라이더(slider)15: suspension 20: slider

21 : 대물렌즈(OL) 22 : 제1 SIL21: objective lens (OL) 22: first SIL

31 : 제2 SIL 32 : 대물렌즈(OL)31: second SIL 32: objective lens (OL)

33 : 압전 구동기(PZT actuator) 30 : WYKO 간섭계33: PZT actuator 30: WYKO interferometer

Claims (4)

광원, 시준렌즈, BS(beam spliter) 및 반사미러를 포함한 광학계와, 상기 반사미러에 의해 반사된 광을 입사하는 대물렌즈 및 광을 집속하는 제1 SIL(Solid immersion lens)와, 상기 대물렌즈 및 제1 SIL과 일체형으로 조립된 슬라이더(slider)와, 상기 반사미러에 의해 반사하여 대물렌즈 및 제1 SIL를 통과하도록 상기 슬라이더의 위치를 조정하는 서스팬션을 구비한 근접장 광학계의 픽업 측정에 있어서,An optical system including a light source, a collimating lens, a beam spliter (BS), and a reflecting mirror, an objective lens for incident light reflected by the reflecting mirror, a first solid immersion lens for focusing light, the objective lens, and In pickup measurement of a near field optical system having a slider integrated with a first SIL and a suspension for reflecting by the reflecting mirror and passing the objective lens and the first SIL to adjust the position of the slider, 상기 근접장 광학계로부터 출력된 광을 집광하며, 상기 제1 SIL보다 굴절율이 크고 큰 사이즈를 갖고 광을 집광하는 제2 SIL와,A second SIL condensing light output from the near field optical system, the second SIL condensing light having a larger refractive index than the first SIL and having a larger size; 상기 제2 SIL을 통과한 광을 평행하게 출사하는 대물렌즈와,An objective lens which emits light passing through the second SIL in parallel; 상기 대물렌즈로부터 출사된 광의 광학특성을 평가하는 간섭계를 포함하여 구성된 측정용 광학계를 구비하여 상기 근접장 광학계의 광학 특성을 평가하는 것을 특징으로 하는 근접장 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치.And a measurement optical system including an interferometer for evaluating the optical characteristics of the light emitted from the objective lens to evaluate the optical characteristics of the near field optical system. 제1항에 있어서, 상기 측정용 광학계는 The optical system for measuring of claim 1, wherein 상기 제2 SIL과 대물렌즈를 그 내부에 일체형으로 조립시켜 상기 제2 SIL과 대물렌즈의 위치를 조절하는 압전 구동기(PZT actuator)를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 근접장 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치.Pick-up of the near field optical system, characterized in that it further comprises a piezoelectric actuator (PZT actuator) for adjusting the position of the second SIL and the objective lens integrally assembled therein. Evaluation device. 제1항에 있어서, 상기 측정용 광학계의 상기 제2 SIL과 대물렌즈의 수차의 값을 최소화하는 값을 초기화값으로 갖는 것을 특징으로 하는 근접장 광학계의 픽업(pick up) 평가 장치.The apparatus of claim 1, wherein a value for minimizing the value of the aberration of the second SIL and the objective lens of the measuring optical system is set as an initial value. 삭제delete
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