KR100497163B1 - Test device for a semiconductor memory device - Google Patents

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KR100497163B1 KR10-2003-0018513A KR20030018513A KR100497163B1 KR 100497163 B1 KR100497163 B1 KR 100497163B1 KR 20030018513 A KR20030018513 A KR 20030018513A KR 100497163 B1 KR100497163 B1 KR 100497163B1
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Abstract

스페셜 테스트 모드 제어신호에 응답하여 스페셜 테스트 모드 진입 신호를 생성하는 스페셜 테스트 모드 회로; 외부 리프레쉬 신호 및 스페셜 테스트 진입 신호에 응답하여 제어 신호를 생성하는 리프레쉬 버퍼; 제어신호에 응답하여 외부 리프레쉬 제어신호 및 강제 리프레쉬 신호를 생성하거나, 또는 강제 레이트 라이트 신호를 생성하는 제어부; 외부 리프레쉬 제어신호에 응답하여 셀프 리프레쉬 요청 신호를 생성하는 리프레쉬 제어부; 강제 리프레쉬 신호와 강제 레이트 라이트 신호 중 어느 하나에 응답하여 프리차지 신호를 생성하는 프리차지 제어부; 및 셀프 리프레쉬 요청신호와 강제 리프레쉬 신호에 응답하여 리프레쉬 스타트 신호를 생성하거나, 또는 강제 레이트 라이트 신호에 응답하여 레이트 라이트 스타트 신호를 생성하는 스페셜 리프레쉬 제어부를 포함하여 이루어진 반도체 메모리 소자의 테스트 장치가 개시된다.A special test mode circuit configured to generate a special test mode entry signal in response to the special test mode control signal; A refresh buffer generating a control signal in response to an external refresh signal and a special test entry signal; A controller configured to generate an external refresh control signal and a forced refresh signal in response to the control signal, or generate a forced rate write signal; A refresh controller configured to generate a self refresh request signal in response to an external refresh control signal; A precharge controller configured to generate a precharge signal in response to one of the forced refresh signal and the forced late write signal; And a special refresh controller configured to generate a refresh start signal in response to a self refresh request signal and a forced refresh signal, or to generate a rate write start signal in response to a forced rate write signal. .

Description

반도체 메모리 소자의 테스트 장치{Test device for a semiconductor memory device} Test device for a semiconductor memory device

본 발명은 반도체 메모리 소자의 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 의사 에스램(pseudo SRAM)의 불량 분석에 유용한 테스트 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to test apparatus for semiconductor memory devices, and more particularly, to test apparatus useful for failure analysis of pseudo SRAM.

디램 셀과 에스램 인터페이스를 가진 의사 에스램은 외부에서 보면 마치 에스램처럼 동작하지만, 디램 셀을 사용하기 때문에 라이트(write)된 셀 데이터를 유지하기 위해서 내부적으로 리프레쉬 동작을 하게 되어 있다. 그러나 외부에서는 디램 셀의 리프레쉬 동작이 숨겨저, 의사 에스램이 마치 정상(Normal)동작인 라이트 또는 리드(read)동작만을 수행하고 있는 것처럼 보인다. 즉, 의사 에스램이 실제로 내부에서는 정상 동작에 영향을 주지 않으면서 리프레쉬 동작을 수행하고 있다. 또한, 긴 라이트(long write) 동작과 같은 경우에는 tCW(칩 선택 시점으로부터 라이트 동작이 종료될 때까지의 시간)가 최대로 길어지기 때문에 이러한 경우에는 라이트 도중 리프레쉬를 하여야 할 경우가 생긴다. 이때 라이트 동작을 인터럽트시키고 리프레쉬 동작을 시작하게 된다. 또, 리프레쉬 동작에 의해 라이트 동작이 디스에이블될 경우가 발생하는데 이때 레이트 라이트(Late write)동작을 해야한다. 이렇듯이 정상 동작 외에 리프레쉬나 레이트 라이트 동작이라는 특수한 동작이 내부적으로 이루어 진다. Pseudo-SRAM, which has a DRAM cell and an SRAM interface, looks like SRAM from the outside, but because it uses a DRAM cell, the internal refresh operation is performed to maintain the written cell data. However, the refresh operation of the DRAM cell is hidden from the outside, so that the pseudo SRAM seems to be performing only a normal write or read operation. That is, the pseudo SRAM actually performs the refresh operation without affecting the normal operation inside. Also, in the case of a long write operation, tCW (the time from the time of chip selection to the end of the write operation) is maximized. In such a case, refreshing is required during writing. At this time, the write operation is interrupted and the refresh operation is started. In addition, a write operation may be disabled by a refresh operation. At this time, a write operation must be performed. Like this, in addition to normal operation, a special operation such as refresh or late write operation is performed internally.

그러나 종래 기술에 있어서는 이러한 특수 동작이 정상적으로 이루어지는 지를 외부제어에 의해 확인할 수 없었다.However, in the prior art, it was not possible to confirm by external control whether such a special operation was normally performed.

따라서, 본 발명은 상술한 정상 동작 이외의 리프레쉬 또는 레이트 라이트 동작이 정상적으로 이루어 지는지를 테스트할 수 있는 반도체 메모리 소자의 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a test apparatus for a semiconductor memory device capable of testing whether a refresh or late write operation other than the above-described normal operation is normally performed.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 메모리 소자의 테스트 장치는 스페셜 테스트 모드 제어신호에 응답하여 스페셜 테스트 모드 진입 신호를 생성하는 스페셜 테스트 모드 회로; 외부 리프레쉬 신호 및 스페셜 테스트 진입 신호에 응답하여 제어 신호를 생성하는 리프레쉬 버퍼; 제어신호에 응답하여 외부 리프레쉬 제어신호 및 강제 리프레쉬 신호를 생성하거나, 또는 강제 레이트 라이트 신호를 생성하는 제어부; 외부 리프레쉬 제어신호에 응답하여 셀프 리프레쉬 요청 신호를 생성하는 리프레쉬 제어부; 강제 리프레쉬 신호와 강제 레이트 라이트 신호 중 어느 하나에 응답하여 프리차지 신호를 생성하는 프리차지 제어부; 및 셀프 리프레쉬 요청신호와 강제 리프레쉬 신호에 응답하여 리프레쉬 스타트 신호를 생성하거나, 또는 강제 레이트 라이트 신호에 응답하여 레이트 라이트 스타트 신호를 생성하는 스페셜 리프레쉬 제어부를 포함하여 이루어진다.According to another aspect of the present invention, a test apparatus for a semiconductor memory device may include: a special test mode circuit configured to generate a special test mode entry signal in response to a special test mode control signal; A refresh buffer generating a control signal in response to an external refresh signal and a special test entry signal; A controller configured to generate an external refresh control signal and a forced refresh signal in response to the control signal, or generate a forced rate write signal; A refresh controller configured to generate a self refresh request signal in response to an external refresh control signal; A precharge controller configured to generate a precharge signal in response to one of the forced refresh signal and the forced late write signal; And a special refresh controller configured to generate a refresh start signal in response to the self refresh request signal and the forced refresh signal, or to generate a rate write start signal in response to the forced rate write signal.

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이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명에 따른 반도체 메모리 소자의 테스트 장치의 블록도로써 도 2 내지 도 4를 참조하여 테스트 장치의 동작을 상세히 설명하기로 한다.1 is a block diagram of a test apparatus for a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention with reference to FIGS. 2 to 4.

도 1을 참고하면, 테스트 장치는 테스트 패드(10), 리프레쉬 버퍼(20), 스페셜 테스트 모드 회로(30), 제어부(40), 리프레쉬 제어부(50), 스페셜 리프레쉬 제어부(60), 및 프리차지 제어부(70)를 포함한다. 상기 테스트 패드(10)에는 외부 리프레쉬 신호(Ref.force)가 입력된다. 상기 스페셜 테스트 모드 회로(30)는 스페셜 테스트 모드 제어신호(x)에 응답하여 스페셜 테스트 모드 진입 신호(st_extref_bufen)를 생성한다. 상기 리프레쉬 버퍼(20)는 상기 외부 리프레쉬 신호(Ref.force) 및 상기 스페셜 테스트 진입 신호(st_extref_bufen)에 응답하여 제어 신호(ext_ref)를 생성한다. 좀 더 상세하게는, 상기 스페셜 테스트 진입 신호(st_extref_bufen)가 로직 하이 상태일 때, 상기 리프레쉬 버퍼(20)가 상기 외부 리프레쉬 신호(Ref.force)에 응답하여 상기 제어 신호(ext_ref)를 생성한다. 상기 제어부(40)는 상기 제어신호(ext_ref)에 응답하여 외부 리프레쉬 제어신호(extref_en) 및 강제 리프레쉬 신호(ref_force)를 생성하거나, 또는 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)를 생성한다. 상기 리프레쉬 제어부(50)는 상기 외부 리프레쉬 제어신호(extref_en)에 응답하여 셀프 리프레쉬 요청신호(srefreq)를 생성한다. 상기 스페셜 리프레쉬 제어부(60)는 상기 셀프 리프레쉬 요청신호(srefreq)와 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)에 응답하여 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)를 생성하거나, 또는 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)에 응답하여 레이트 라이트 스타트 신호(ltwr_start)를 생성한다. 상기 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)에 따라 의사 에스램의 디램 셀들의 리프레쉬 동작이 시작되고, 상기 레이트 라이트 스타트 신호(ltwr_start)에 따라 의사 에스램의 디램 셀들의 레이트 라이트 동작이 시작된다. 상기 프리차지 제어부(70)는 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)와 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force) 중 어느 하나에 응답하여, 프리차지 신호(precharge)를 생성하고, 상기 프리차지 신호(precharge)에 따라 워드라인이 닫히게 된다(즉, 워드 라인이 디세이블된다).Referring to FIG. 1, the test apparatus includes a test pad 10, a refresh buffer 20, a special test mode circuit 30, a controller 40, a refresh controller 50, a special refresh controller 60, and a precharge. The control unit 70 is included. The external refresh signal Ref.force is input to the test pad 10. The special test mode circuit 30 generates a special test mode entry signal st_extref_bufen in response to the special test mode control signal x. The refresh buffer 20 generates a control signal ext_ref in response to the external refresh signal Ref.force and the special test entry signal st_extref_bufen. More specifically, when the special test entry signal st_extref_bufen is in a logic high state, the refresh buffer 20 generates the control signal ext_ref in response to the external refresh signal Ref.force. The controller 40 generates an external refresh control signal extref_en and a forced refresh signal ref_force in response to the control signal ext_ref, or generates a forced rate write signal ltwr_force. The refresh control unit 50 generates a self refresh request signal srefreq in response to the external refresh control signal extref_en. The special refresh control unit 60 generates a refresh start signal ref_start in response to the self refresh request signal srefreq and the forced refresh signal ref_force, or generates a rate in response to the forced rate write signal ltwr_force. The write start signal ltwr_start is generated. A refresh operation of the DRAM cells of the pseudo SRAM is started according to the refresh start signal ref_start, and a late write operation of the DRAM cells of the pseudo SRAM is started according to the late write start signal ltwr_start. The precharge control unit 70 generates a precharge signal in response to one of the forced refresh signal ref_force and the forced rate write signal ltwr_force, and generates a precharge signal according to the precharge signal. The word line is closed (ie, the word line is disabled).

좀더 구체적으로 설명하면, 상기 제어 신호(ext_ref)가 하이 레벨에서 로우 레벨로 천이하면, 상기 제어부(40)가 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)를 활성화시킨다(즉, 하이 펄스 신호로 생성한다). 또, 상기 제어 신호(ext_ref)가 로우 레벨에서 하이레벨로 천이하면, 상기 제어부(40)가 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)를 활성화시킨다(즉, 하이 펄스 신호로 생성한다). 상기 제어부(40)는 논리 소자들로 구현될 수 있다.More specifically, when the control signal ext_ref transitions from the high level to the low level, the controller 40 activates the forced refresh signal ref_force (ie, generates a high pulse signal). In addition, when the control signal ext_ref transitions from a low level to a high level, the controller 40 activates the forced rate write signal ltwr_force (that is, generates a high pulse signal). The controller 40 may be implemented with logic elements.

상기 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)는 리프레쉬 동작의 시작을 제어하는 신호로써, 상기 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)가 활성화될 때 리프레쉬 동작이 실행된다. 라이트 동작을 하고 있는 중간에 강제 리프레쉬 신호(ref_force)가 활성화되고 셀프 리프레쉬 요청신호(srefreq)가 활성화되면, 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)가 활성화되어 리프레쉬가 시작된다. 상기 레이트 라이트 스타트 신호(ltwr_start)는 레이트 라이트 동작의 시작을 제어하는 신호이다.The refresh start signal ref_start is a signal for controlling the start of the refresh operation. When the refresh start signal ref_start is activated, the refresh operation is executed. When the forced refresh signal ref_force is activated and the self refresh request signal srefreq is activated in the middle of the write operation, the refresh start signal ref_start is activated to start the refresh. The late write start signal ltwr_start is a signal for controlling the start of a late write operation.

만일, 리드(read)동작중에 강제 리프레쉬 신호(ref_force)가 생성되면, 상기 스페셜 리프레쉬 제어부(60)는 리드 동작이 끝날때 까지 기다렸다가 상기 프리차지 신호(precharge)가 생성될 때 상기 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)를 생성한다.If a forced refresh signal ref_force is generated during a read operation, the special refresh control unit 60 waits until the read operation is finished, and then when the precharge signal is generated, the refresh start signal ref_start is generated. )

라이트 동작이 실행되는 도중에 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)가 생성되면 라이트 동작 중간에 인터럽트가 걸리고, 상기 프리차지 제어부(70)는 레이트 라이트 동작을 수행할 수 있도록 상기 프리차지 신호(Precharge)를 생성한다. 그런데 무조건 레이트 라이트 동작이 실행되는 것이 아니라, 라이트 동작 도중 리프레쉬 동작이 강제로 실행되고, 강제로 실행된 리프레쉬 동작 동안 라이트 동작이 종료되어, 레이트 라이트 동작이 실행되어야 하는 조건이 먼저 선행되어야만 레이트 라이트 강제 동작이 이루어 지게 된다.When the forced rate write signal ltwr_force is generated while the write operation is executed, an interrupt is interrupted in the middle of the write operation, and the precharge control unit 70 generates the precharge signal Precharge to perform the rate write operation. . However, the rate write operation is not executed unconditionally, but the refresh operation is forcibly executed during the write operation, and the write operation is terminated during the forcibly executed refresh operation, so that the condition to execute the rate write operation must be preceded first. The action is made.

상기 프리차지 제어부(70)는 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)와 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force) 중 하나에 응답하여, 라이트 동작 도중에 인터럽트를 걸수 있도록 프리차지 신호(Precharge)를 생성한다.The precharge control unit 70 generates a precharge signal Precharge to interrupt the write operation in response to one of the forced refresh signal ref_force and the forced rate write signal ltwr_force.

전술한 리프레쉬 버퍼(20), 스페셜 테스트 모드 회로(30), 제어부(40), 리프레쉬 제어부(50), 스페셜 리프레쉬 제어부(60) 및 프리차지 제어부(70) 각각은 논리 소자들로 구현될 수 있다.Each of the refresh buffer 20, the special test mode circuit 30, the control unit 40, the refresh control unit 50, the special refresh control unit 60, and the precharge control unit 70 may be implemented as logic elements. .

도 2 는 강제 리프레쉬 동작과 레이트 라이트 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.2 is a timing diagram for explaining a forced refresh operation and a late write operation.

강제 리프레쉬 동작과 레이트 라이트 동작은 스페셜 테스트 모드 진입 신호(st_extref_bufen)가 하이 상태인 구간에서만 이루어진다. 테스트 패드(10)에 외부 리프레쉬 신호(Ref_force)가 입력될 때, 스페셜 테스트 모드 진입 신호(st_extref_bufen)가 하이 상태이면, 리프레쉬 버퍼(20)는 제어 신호(ext_ref)를 생성한다. 좀 더 상세하게는, 상기 스페셜 테스트 모드 진입 신호(st_extref_bufen)가 하이 상태인 동안, 상기 리프레쉬 버퍼(20)가 상기 외부 리프레쉬 신호(Ref_force)의 위상과 실질적으로 동일한 상기 제어 신호(ext_ref)를 생성한다. 상기 제어부(40)는 상기 제어 신호(ext_ref)가 하이 레벨에서 로우 레벨로 천이되면 외부 리프레쉬 제어 신호(extref_en) 및 강제 리프레쉬 신호(ref_force)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 또, 상기 제어부(40)는 상기 제어 신호(ext_ref)가 로우 레벨에서 하이 레벨로 천이하면 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 상기 외부 리프레쉬 제어 신호(extref_en)가 하이 펄스 신호 형태로 발생될 때, 리프레쉬 제어부(50)가 셀프 리프레쉬 요청신호(srefreq)를 활성화시킨다. 프리차지 제어부(70)는 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force) 또는 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)가 하이 펄스 신호 형태로 생성될 때 마다 프리차지 신호(precharge)를 하이 펄스 신호 형태로 생성한다. 상기 셀프 리프레쉬 요청신호(srefreq)가 활성화되고, 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)가 하이 펄스 신호 형태로 발생될 때, 스페셜 리프레쉬 제어부(60)가 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)를 하이 펄스 신호 형태로 생성한다. 결과적으로, 상기 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)는 상기 외부 리프레쉬 제어 신호(extref_en) 및 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)가 하이 레벨 일때 생성된다. 반면에, 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)가 하이 레벨 일때, 상기 스페셜 리프레쉬 제어부(60)가 레이트 라이트 스타트 신호(ltwr_start)를 하이 펄스 신호 형태로 생성한다.The forced refresh operation and the rate write operation are performed only in a section in which the special test mode entry signal st_extref_bufen is high. When the external refresh signal Ref_force is input to the test pad 10, if the special test mode entry signal st_extref_bufen is high, the refresh buffer 20 generates a control signal ext_ref. More specifically, while the special test mode entry signal st_extref_bufen is high, the refresh buffer 20 generates the control signal ext_ref substantially equal to the phase of the external refresh signal Ref_force. . When the control signal ext_ref transitions from the high level to the low level, the controller 40 generates an external refresh control signal extref_en and a forced refresh signal ref_force in the form of a high pulse signal. In addition, the control unit 40 generates a forced rate write signal ltwr_force in the form of a high pulse signal when the control signal ext_ref transitions from a low level to a high level. When the external refresh control signal extref_en is generated in the form of a high pulse signal, the refresh control unit 50 activates the self refresh request signal srefreq. The precharge control unit 70 generates a precharge signal in the form of a high pulse signal whenever the forced refresh signal ref_force or the forced rate write signal ltwr_force is generated in the form of a high pulse signal. When the self refresh request signal srefreq is activated and the forced refresh signal ref_force is generated in the form of a high pulse signal, the special refresh control unit 60 generates a refresh start signal ref_start in the form of a high pulse signal. . As a result, the refresh start signal ref_start is generated when the external refresh control signal extref_en and the forced refresh signal ref_force are at a high level. On the other hand, when the forced late write signal ltwr_force is at a high level, the special refresh control unit 60 generates the late write start signal ltwr_start in the form of a high pulse signal.

도 3 은 강제 리프레쉬 동작을 위한 라이트 인터럽트 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.3 is a timing diagram illustrating a write interrupt operation for a forced refresh operation.

강제 리프레쉬 동작을 위한 라이트 인터럽트 동작 또한 스페셜 테스트 모드 진입 신호(st_extref_bufen)가 하이 레벨을 유지하는 동안만 이루어 진다. 정상적인 라이트 동작을 하다가 외부 리프레쉬 신호(Ref.force)가 하이 레벨에서 로우 레벨로 떨어지면, 리프레쉬 버퍼(20)가 제어 신호(ext_ref)를 하이 레벨에서 로우 레벨로 천이시킨다. 상기 제어부(40)는 상기 제어 신호(ext_ref)에 응답하여, 강제 리프레쉬 신호(ref_force)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 프리차지 제어부(70)는 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)에 응답하여, 프리차지 신호(precharge)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 따라서, 상기 프리차지 신호(precharge)에 의해 워드라인이 닫히게 (즉, 디세이블되게) 되어 라이트 동작이 인터럽트된다. 한편, 스페셜 리프레쉬 제어부(60)가 상기 강제 리프레쉬 신호(ref_force)에 응답하여, 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 그 결과, 리프레쉬 스타트 신호(ref_start)에 의해 의사 에스램의 리프레쉬 동작이 시작된다.The write interrupt operation for the forced refresh operation is also performed only while the special test mode entry signal st_extref_bufen maintains the high level. When the external refresh signal Ref.force falls from the high level to the low level during the normal write operation, the refresh buffer 20 causes the control signal ext_ref to transition from the high level to the low level. The controller 40 generates a forced refresh signal ref_force in the form of a high pulse signal in response to the control signal ext_ref. The precharge control unit 70 generates a precharge signal in the form of a high pulse signal in response to the forced refresh signal ref_force. Accordingly, the precharge signal causes the word line to be closed (that is, disabled) and the write operation is interrupted. Meanwhile, the special refresh control unit 60 generates a refresh start signal ref_start in the form of a high pulse signal in response to the forced refresh signal ref_force. As a result, the refresh operation of the pseudo SRAM is started by the refresh start signal ref_start.

도 4 는 강제 레이트 라이트 동작을 위한 라이트 인터럽트 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.4 is a timing diagram for describing a write interrupt operation for a forced rate write operation.

강제 레이트 라이트 동작을 위한 라이트 인터럽트 동작 또한 스페셜 테스트 모드 진입 신호(st_extref_bufen)가 하이 레벨을 유지하는 동안만 이루어 진다. 정상적인 라이트 동작을 하다가 외부 리프레쉬 신호(Ref.force)가 로우 레벨에서 하이 레벨로 천이되면, 리프레쉬 버퍼(20)가 제어 신호(ext_ref)를 로우 레벨에서 하이 레벨로 천이시킨다. 상기 제어부(40)는 상기 제어 신호(ext_ref)에 응답하여, 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 프리차지 제어부(70)는 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)에 응답하여, 프리차지 신호(precharge)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 따라서, 상기 프리차지 신호(precharge)에 의해 워드라인이 닫히게(즉, 디세이블되게) 되어 라이트 동작이 인터럽트된다. 한편, 스페셜 리프레쉬 제어부(60)가 상기 강제 레이트 라이트 신호(ltwr_force)에 응답하여, 레이트 라이트 시작 신호(ltwr_start)를 하이 펄스 신호 형태로 발생한다. 그 결과, 상기 레이트 라이트 시작 신호(ltwr_start)에 의해 의사 에스램의 레이트 라이트 동작이 시작된다.The write interrupt operation for the forced rate write operation is also performed only while the special test mode entry signal st_extref_bufen maintains the high level. During the normal write operation, when the external refresh signal Ref.force transitions from the low level to the high level, the refresh buffer 20 causes the control signal ext_ref to transition from the low level to the high level. The controller 40 generates a forced rate write signal ltwr_force in the form of a high pulse signal in response to the control signal ext_ref. The precharge controller 70 generates a precharge signal in the form of a high pulse signal in response to the forced rate write signal ltwr_force. Accordingly, the precharge signal causes the word line to be closed (ie, disabled) and the write operation is interrupted. Meanwhile, the special refresh control unit 60 generates a late write start signal ltwr_start in the form of a high pulse signal in response to the forced late write signal ltwr_force. As a result, the late write operation of the pseudo SRAM is started by the late write start signal ltwr_start.

도 3 및 도 4의 인터럽트 동작 이후에 다시 정상적인 라이트 동작이 개시된다. After the interrupt operation of FIGS. 3 and 4, the normal write operation is started again.

상술한 바와 같이 본 발명에서는 리프레쉬 및 레이트 라이트 동작을 외부 신호를 이용하여 자유로이 제어 할 수 있다. 즉, 이러한 강제 리프레쉬 및 레이트 라이트 동작 후 독출동작을 통해 셀의 데이터 저장 상태를 읽어 내므로써 반도체 메모리 소자의 불량 여부를 신속하게 파악할 수 있다.As described above, in the present invention, the refresh and rate write operations can be freely controlled using an external signal. That is, by reading the data storage state of the cell through the read operation after the forced refresh and late write operation, it is possible to quickly determine whether the semiconductor memory device is defective.

본 발명에 의하면 반도체 메모리 소자의 불량 분석을 효과적으로 할 수 있는 탁월한 효과가 있다.According to the present invention, there is an excellent effect that can effectively analyze the failure of a semiconductor memory device.

본 발명은 실시예를 중심으로 하여 설명되었으나 당 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 실시예를 이용하여 다양한 형태의 변형 및 변경이 가능하므로 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니라 다음의 특허 청구 범위에 의해 한정된다. Although the present invention has been described with reference to the embodiments, one of ordinary skill in the art can modify and change various forms using such embodiments, and thus the present invention is not limited to these embodiments. It is limited by the claims.

도 1 은 본 발명에 따른 반도체 메모리 소자의 테스트 장치에 대한 블록도이다.1 is a block diagram of an apparatus for testing a semiconductor memory device according to the present invention.

도 2 내지 도 4는 도 1의 동작 설명을 위한 타이밍도이다.2 to 4 are timing diagrams for describing the operation of FIG. 1.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 테스트 패드 20: 리프레쉬 버퍼10: test pad 20: refresh buffer

30: 스페셜 테스트 모드 회로30: special test mode circuit

40: 제어부 50: 리프레쉬 제어부40: control unit 50: refresh control unit

60: 스페셜 리프레쉬 제어부60: special refresh control unit

70: 프리차지 제어부 70: precharge control unit

Claims (5)

스페셜 테스트 모드 제어신호에 응답하여 스페셜 테스트 모드 진입 신호를 생성하는 스페셜 테스트 모드 회로;A special test mode circuit configured to generate a special test mode entry signal in response to the special test mode control signal; 외부 리프레쉬 신호 및 상기 스페셜 테스트 진입 신호에 응답하여 제어 신호를 생성하는 리프레쉬 버퍼;A refresh buffer configured to generate a control signal in response to an external refresh signal and the special test entry signal; 상기 제어신호에 응답하여 외부 리프레쉬 제어신호 및 강제 리프레쉬 신호를 생성하거나, 또는 강제 레이트 라이트 신호를 생성하는 제어부;A controller configured to generate an external refresh control signal and a forced refresh signal in response to the control signal, or generate a forced rate write signal; 상기 외부 리프레쉬 제어신호에 응답하여 셀프 리프레쉬 요청 신호를 생성하는 리프레쉬 제어부;A refresh controller configured to generate a self refresh request signal in response to the external refresh control signal; 상기 강제 리프레쉬 신호와 상기 강제 레이트 라이트 신호 중 어느 하나에 응답하여 프리차지 신호를 생성하는 프리차지 제어부; 및A precharge controller configured to generate a precharge signal in response to one of the forced refresh signal and the forced late write signal; And 상기 셀프 리프레쉬 요청신호와 상기 강제 리프레쉬 신호에 응답하여 리프레쉬 스타트 신호를 생성하거나, 또는 상기 강제 레이트 라이트 신호에 응답하여 레이트 라이트 스타트 신호를 생성하는 스페셜 리프레쉬 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 테스트 장치.And a special refresh controller configured to generate a refresh start signal in response to the self refresh request signal and the forced refresh signal, or to generate a rate write start signal in response to the forced rate write signal. Testing device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리프레쉬 버퍼는 상기 스페셜 테스트 모드 진입 신호가 하이 상태일 때, 상기 외부 리프레쉬 신호의 위상과 동일한 상기 제어 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 테스트 장치.And the refresh buffer generates the control signal equal to the phase of the external refresh signal when the special test mode entry signal is in a high state. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부는 상기 제어 신호가 하이 레벨에서 로우 레벨로 천이될 때, 상기 외부 리프레쉬 제어 신호 및 상기 강제 리프레쉬 신호를 하이 펄스 신호 형태로 생성하고, 상기 제어 신호가 로우 레벨에서 하이 레벨로 천이될 때, 상기 강제 레이트 라이트 신호를 하이 펄스 신호 형태로 생성하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 테스트 장치.The controller generates the external refresh control signal and the forced refresh signal in the form of a high pulse signal when the control signal transitions from a high level to a low level, and when the control signal transitions from a low level to a high level, And generating the forced late write signal in the form of a high pulse signal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스페셜 리프레쉬 제어부는 상기 셀프 리프레쉬 요청신호가 활성화되고, 상기 강제 리프레쉬 신호가 하이 레벨일 때, 상기 리프레쉬 스타트 신호를 생성하고, 상기 강제 레이트 라이트 신호가 하이 레벨일 때, 상기 레이트 라이트 스타트 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 테스트 장치.The special refresh control unit generates the refresh start signal when the self refresh request signal is activated and the forced refresh signal is at a high level, and generates the rate write start signal when the forced rate write signal is at a high level. Test device for a semiconductor memory device, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프리차지 제어부는 상기 강제 리프레쉬 신호와 상기 강제 레이트 라이트 신호 중 어느 하나가 하이 레벨일 때, 상기 프리차지 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자의 테스트 장치.And the precharge control unit generates the precharge signal when one of the forced refresh signal and the forced rate write signal is at a high level.
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