KR100486431B1 - Vacuum valve - Google Patents
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Abstract
공기의 이동통로를 개폐하는 개폐수단을 노브의 회전에 의해 동작시키고 개폐수단의 현재상태를 디스플레이시켜 사용자의 편의를 도모하기 위한 진공밸브가 개시된다. 이러한 진공밸브의 이동블럭(320)은 슬라이드공간(304)에서 슬라이드되면서 개폐수단(310)을 이동시키고, 수직회전축(340)은 보조하우징(330)과 슬라이드공간(304)에 걸쳐 설치되고 상단에 웜휠(342)이 고정되며, 스윙축(350)은 수직회전축(340)의 하단에 수평방향으로 고정되고 이동블럭(320)의 장홈(322)에 걸리는 걸림돌부(352)를 가지며, 수평회전축(360)은 보조하우징(330)에 회전가능하게 설치되고 웜휠(342)에 치합되는 웜기어(362)가 고정되며, 노브(370)는 수평회전축(360)의 단부에 고정되고, 제 1센서(380)와 제 2센서(390)는 보조하우징(330)에 설치되어 개폐수단(310)의 개방과 폐쇄를 다수의 램프(400)를 통해 디스플레이한다. 이러한 진공밸브는, 개폐수단(310)의 개방과 폐쇄 및 불완전개방시 점등되는 램프(400)를 보고 사용자뿐만 아니라 제 3자도 개방과 폐쇄 및 불완전개방 상태를 정확히 알 수 있으며, 노브(370)의 회전에 의해 개폐수단(310)이 이동하므로 좁은 공간에서도 진공밸브를 작동시킬 수 있다.A vacuum valve for operating the opening and closing means for opening and closing the air passage by the rotation of the knob and displaying the current state of the opening and closing means for the user's convenience is disclosed. The moving block 320 of the vacuum valve is moved in the slide space 304 while moving the opening and closing means 310, the vertical rotation shaft 340 is installed across the auxiliary housing 330 and the slide space 304 and the top The worm wheel 342 is fixed, the swing shaft 350 is fixed to the lower end of the vertical rotation shaft 340 in the horizontal direction and has a locking portion 352 that is caught in the long groove 322 of the movable block 320, the horizontal rotation shaft ( 360 is rotatably installed in the auxiliary housing 330 and the worm gear 362 is engaged with the worm wheel 342 is fixed, the knob 370 is fixed to the end of the horizontal rotating shaft 360, the first sensor 380 ) And the second sensor 390 are installed in the auxiliary housing 330 to display the opening and closing of the opening and closing means 310 through the plurality of lamps 400. Such a vacuum valve, by looking at the lamp 400 that is lit when the opening and closing means 310 of the opening and closing 310 and incomplete opening, as well as the user can know exactly the open and closed and incomplete opening state of the knob 370, Since the opening and closing means 310 is moved by the rotation, it is possible to operate the vacuum valve even in a narrow space.
Description
본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 공기의 이동통로를 개폐하는 개폐수단을 노브의 회전에 의해 동작시켜 좁은 공간에서 사용할 수 있도록 하고, 개폐수단의 현재상태를 디스플레이시켜 사용자의 편의를 도모하기 위한 것이다.The present invention relates to a vacuum valve, and to operate the opening and closing means for opening and closing the air passage by the rotation of the knob to use in a narrow space, and to facilitate the user by displaying the current state of the opening and closing means .
일반적으로 반도체소자 제조장치에는 공정챔버의 유동성 가스를 배기시키기 위하여, 배기용 펌프와 유동성의 가스를 중화시키기 위한 가스 처리기가 구비되어 있다. 특히 공정챔버와 펌프의 사이에는 배기가스의 양을 조절하는 스로틀밸브와 배기가스의 통로를 개폐하는 게이트밸브가 설치되고, 공정챔버와 펌프의 사이 또는 펌프와 가스처리기의 사이에는 라인을 일시적으로 차단하기 위한 진공밸브가 설치된다. 이러한 진공밸브는 라인을 가동중인 상태에서 라인의 점검할 수 있도록, 일부라인을 개방하고 일부라인을 폐쇄시키는 역할을 한다.In general, a semiconductor device manufacturing apparatus includes an exhaust pump and a gas processor for neutralizing the fluid gas in order to exhaust the fluid gas in the process chamber. In particular, a throttle valve for controlling the amount of exhaust gas and a gate valve for opening and closing the passage of the exhaust gas are installed between the process chamber and the pump, and the line is temporarily blocked between the process chamber and the pump or between the pump and the gas processor. A vacuum valve for installing is installed. Such a vacuum valve serves to open some lines and close some lines so that the line can be checked while the line is in operation.
이와 같은 진공밸브로서 본 출원인은 2002년 3월 5일자로 10-2002-0011611호 '반도체소자 제조장치용 진공제어밸브'를 출원한 바 있다.As such a vacuum valve, the applicant has filed a 10-2002-0011611 'Vacuum Control Valve for Semiconductor Device Manufacturing Equipment' on March 5, 2002.
도 1은 상기 출원된 진공제어밸브의 분해사시도이다.Figure 1 is an exploded perspective view of the vacuum control valve filed above.
이러한 진공제어밸브는, 손잡이(200)를 회동시킴에 따라 구동축(160)이 개폐수단(140)을 슬라이드시켜 메인하우징(100)에서 공기가 이동하는 통로인 통과공(102)을 개폐하게 된다.As the vacuum control valve rotates the handle 200, the drive shaft 160 slides the opening and closing means 140 to open and close the passage hole 102, which is a passage through which the air moves in the main housing 100.
그런데, 이러한 진공제어밸브를 개폐하려면 손잡이(200)를 회동시키기 위한 충분한 공간이 필요하여 좁은 공간에서는 사용하기에 불편한 단점이 있었다.However, in order to open and close the vacuum control valve, a sufficient space for rotating the handle 200 is required, which is inconvenient to use in a narrow space.
또한 통과공(102)이 개방 또는 폐쇄되었는지는 손잡이(200)의 위치를 보고서 알 수밖에 없다. 따라서 진공제어밸브를 항상 사용하는 사용자가 아닌 제 3자가 진공제어밸브를 보게 되면, 현재상태가 개방된 상태인지 폐쇄된 상태인지를 구분할 수 없으며, 진공제어밸브를 항상 사용하는 사용자도 진공제어밸브가 완전히 개방되었는지 또는 완전히 폐쇄되었는지는 정확히 알기 어려운 문제점이 있었다. In addition, whether the through hole 102 is open or closed is inevitable by looking at the position of the handle 200. Therefore, when a third party, not a user who always uses the vacuum control valve, sees the vacuum control valve, it is not possible to distinguish whether the current state is open or closed. Whether it is fully open or completely closed was a problem that is difficult to know exactly.
본 발명은 상기와 같은 점에 착안하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 공기의 이동통로를 개폐하는 개폐수단을 노브의 회전에 의해 동작시켜 좁은 공간에서 사용할 수 있도록 하고, 개폐수단의 현재상태를 디스플레이시켜 사용자의 편의를 도모하기 위한 것이다.The present invention has been devised in view of the above, the object of the present invention is to operate the opening and closing means for opening and closing the air passage by the rotation of the knob to be used in a narrow space, the current state of the opening and closing means The display is for the convenience of the user.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 일측이 공정챔버에 연결되고 타측이 펌프에 연결되는 통과공이 형성되고, 상기 통과공을 직교방향으로 관통하도록 내부에 형성된 슬라이드공간을 갖는 메인하우징; 상기 제 1슬라이드공간과 상기 통과공 사이에서 왕복하여 상기 통과공을 개폐하는 개폐수단; 상기 슬라이드공간에서 슬라이드되면서 상기 개폐수단을 이동시키고, 상기 개폐수단의 이동방향과 직교방향으로 장홈이 형성된 이동블럭; 상기 메인하우징의 상방에 고정되는 보조하우징; 상기 보조하우징과 상기 슬라이드공간에 걸쳐 설치되고, 상단에 웜휠이 고정된 수직회전축; 상기 수직회전축의 하단에 수평방향으로 고정되고, 상기 장홈에 걸리는 걸림돌부를 갖는 스윙축; 상기 보조하우징에 회전가능하게 설치되고, 상기 웜휠에 치합되는 웜기어가 고정된 수평회전축; 상기 수평회전축의 단부에 고정된 노브; 상기 보조하우징에 설치되어 상기 개폐수단이 상기 통과공을 개방하였을 때의 상기 수직회전축의 회전위치를 감지하는 제 1센서; 상기 보조하우징에 설치되어 상기 개폐수단이 상기 통과공을 폐쇄하였을 때의 상기 수직회전축의 회전위치를 감지하는 제 2센서; 및 상기 제 1센서 및 제 2센서의 감지내용을 디스플레이하는 2이상의 램프;를 포함하는 진공밸브를 제공한다.The present invention for achieving the above object, the main housing having a slide space formed therein so that one side is connected to the process chamber and the other side is connected to the pump, the through hole in an orthogonal direction; Opening and closing means for opening and closing the through hole by reciprocating between the first slide space and the through hole; A moving block which moves the opening and closing means while sliding in the slide space, and a long groove is formed in a direction orthogonal to the moving direction of the opening and closing means; An auxiliary housing fixed above the main housing; A vertical rotation shaft installed over the auxiliary housing and the slide space and having a worm wheel fixed to an upper end thereof; A swing shaft fixed to a lower end of the vertical rotation shaft in a horizontal direction and having a locking protrusion caught in the long groove; A horizontal rotating shaft rotatably installed in the auxiliary housing and having a worm gear fixed to the worm wheel fixed thereto; A knob fixed to an end of the horizontal rotating shaft; A first sensor installed in the auxiliary housing to sense a rotation position of the vertical rotation shaft when the opening and closing means opens the through hole; A second sensor installed in the auxiliary housing to sense a rotation position of the vertical rotation shaft when the opening and closing means closes the passage hole; And two or more lamps for displaying the detected contents of the first sensor and the second sensor.
이하에서는 상기와 같은 본 발명의 양호한 실시예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention as described above.
도 2는 본 실시예에 따른 진공밸브를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 평단면도이며, 도 4는 도 2의 측단면도이다.Figure 2 is a perspective view showing a vacuum valve according to the present embodiment, Figure 3 is a plan sectional view of Figure 2, Figure 4 is a side sectional view of FIG.
본 실시예의 진공밸브는, 일측이 공정챔버에 연결되고 타측이 펌프에 연결되는 통과공(302)이 형성되고, 통과공(302)을 직교방향으로 관통하도록 내부에 형성된 슬라이드공간(304)을 갖는 메인하우징(300); 슬라이드공간(304)과 통과공(302) 사이에서 왕복하여 통과공(302)을 개폐하는 개폐수단(310); 슬라이드공간(304)에서 슬라이드되면서 개폐수단(310)을 이동시키고, 개폐수단(310)의 이동방향과 직교방향으로 장홈(322)이 형성된 이동블럭(320); 메인하우징(300)의 상방에 고정되는 보조하우징(330); 보조하우징(330)과 슬라이드공간(304)에 걸쳐 설치되고, 상단에 웜휠(342)이 고정된 수직회전축(340); 수직회전축(340)의 하단에 수평방향으로 고정되고, 장홈(322)에 걸리는 걸림돌부(352)를 갖는 스윙축(350); 보조하우징(330)에 회전가능하게 설치되고, 웜휠(342)에 치합되는 웜기어(362)가 고정된 수평회전축(360); 수평회전축(360)의 단부에 고정된 노브(370); 보조하우징(330)에 설치되어 개폐수단(310)이 통과공(302)을 개방하였을 때의 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 1센서(380); 보조하우징(330)에 설치되어 개폐수단(310)이 통과공(302)을 폐쇄하였을 때의 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 2센서(390); 및 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)의 감지내용을 디스플레이하는 2이상의 램프(400);로 이루어진다.The vacuum valve according to the present embodiment has a slide hole 304 formed at one side thereof to be connected to the process chamber and the other side thereof to the pump, and formed therein so as to pass through the passage hole 302 in an orthogonal direction. Main housing 300; Opening and closing means 310 for opening and closing the through hole 302 by reciprocating between the slide space 304 and the through hole 302; A moving block 320 for moving the opening and closing means 310 while sliding in the slide space 304 and having a long groove 322 formed in a direction orthogonal to the moving direction of the opening and closing means 310; Auxiliary housing 330 is fixed to the upper side of the main housing 300; A vertical rotation shaft 340 installed over the auxiliary housing 330 and the slide space 304 and having a worm wheel 342 fixed thereto; A swing shaft 350 fixed to the lower end of the vertical rotation shaft 340 in a horizontal direction and having a locking protrusion 352 caught in the long groove 322; A horizontal rotating shaft 360 rotatably installed in the auxiliary housing 330 and having a worm gear 362 fixed to the worm wheel 342; A knob 370 fixed to an end of the horizontal rotating shaft 360; A first sensor 380 installed in the auxiliary housing 330 to sense a rotation position of the vertical rotation shaft 340 when the opening and closing means 310 opens the through hole 302; A second sensor 390 installed in the auxiliary housing 330 to sense a rotation position of the vertical rotation shaft 340 when the opening and closing means 310 closes the passage hole 302; And two or more lamps 400 displaying the detection contents of the first sensor 380 and the second sensor 390.
상기 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 개폐수단(310)에 연결되고, 이동블럭(320)의 양측면에는 슬라이드공간(304)의 양내측면에 접촉되어 구르는 다수의 롤러(324)가 부착되어 이동블럭(320)의 이동시 마찰을 줄이게 된다.The movable block 320 is connected to the opening and closing means 310 through the connecting shaft 312, a plurality of rollers 324 in contact with both inner sides of the slide space 304 and rolled on both sides of the movable block 320 Attached to reduce the friction during the movement of the moving block (320).
상기 수직회전축(340)의 외주면에는 보조하우징(330)에 회전가능하게 지지되는 제 1베어링(346)이 결합되고, 걸림돌부(352)의 외주면에는 장홈(322)에 접촉되는 제 2베어링(354)이 결합되며, 수평회전축(360)의 외주면에는 보조하우징(330)에 회전가능하게 지지되는 제 3베어링(364)이 결합된다. 제 1베어링(346)은 수직회전축(340)의 회전을 원활하게 하고, 제 2베어링(354)은 걸림돌부(352)의 회동동작을 원활하게 하며, 제 3베어링(364)은 수평회전축(360)의 회전을 원활하게 한다.A first bearing 346 rotatably supported by the auxiliary housing 330 is coupled to the outer circumferential surface of the vertical rotation shaft 340, and a second bearing 354 that contacts the long groove 322 on the outer circumferential surface of the locking portion 352. ) Is coupled, and a third bearing 364 rotatably supported by the auxiliary housing 330 is coupled to an outer circumferential surface of the horizontal rotating shaft 360. The first bearing 346 smoothly rotates the vertical rotation shaft 340, the second bearing 354 smoothly rotates the locking protrusion 352, and the third bearing 364 has the horizontal rotation shaft 360. ) Rotate smoothly.
상기 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)는, 수직회전축(340)에 형성된 터치레버(344)에 의해 스위칭되는 리미트스위치이다. 이러한 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)는 자기센서, 광센서 등 수직회전축(340)의 회전을 감지할 수 있는 센서이면 무방하다.The first sensor 380 and the second sensor 390 are limit switches switched by the touch lever 344 formed on the vertical rotation shaft 340. The first sensor 380 and the second sensor 390 may be any sensor capable of detecting rotation of the vertical rotation shaft 340 such as a magnetic sensor and an optical sensor.
상기 램프(400)는, 통과공(302)의 완전개방과 완전폐쇄와 불완전개방을 표시하는 3개로 이루어지고, 각 램프(400)는 색상을 달리한다. 즉, 1개의 램프(400)는 개폐수단(310)이 통과공(302)을 개방하여 공기의 이동이 허용된 상태, 1개의 램프(400)는 개폐수단(310)이 통과공(302)을 폐쇄하여 공기의 이동이 완전 통제된 상태, 1개의 램프(400)는 개폐수단(310)이 이동하는 도중 통과공(302)을 불완전하게 개방하여 공기의 이동이 불완전하게 허용된 상태를 표시한다.The lamp 400 is composed of three indicating the complete opening, the complete closure and the incomplete opening of the passage hole 302, each lamp 400 is different in color. That is, one lamp 400 is a state in which the opening and closing means 310 opens the passage hole 302 to allow the movement of air, one lamp 400 is the opening and closing means 310 of the passage hole 302 Closed state of the air is completely controlled, one lamp 400 incompletely opens the through hole 302 during the opening and closing means 310 to display the state of the air is incompletely allowed.
한편, 메인하우징(300)의 슬라이드공간(304)의 일측단부는 각 부재들을 삽입하기 위하여 개방된 형태이므로, 이 개방된 부분에 차단판(306)을 조립하여 차단한다. 3개의 램프(400)는 차단판(306)에 조립하여 고정한다.On the other hand, one side end of the slide space 304 of the main housing 300 is open to insert each member, so as to assemble the blocking plate 306 in the open portion to block. The three lamps 400 are assembled and fixed to the blocking plate 306.
그리고 보조하우징(330)의 상면에는 수직회전축(340)의 둘레를 따라 개폐수단(310)이 통과공(302)을 개폐한 정도를 표시하는 눈금(332)이 표시되고, 수직회전축(340)의 상단면에는 눈금(332)을 가리키는 화살표(348)가 표시된다. 이러한 눈금(332) 및 화살표(348)는 개폐수단(310)의 개폐정도를 상세히 알 수 있도록 하기 위한 것이다.And the upper surface of the auxiliary housing 330 is displayed along the circumference of the vertical axis of rotation 340, the scale 332 indicating the degree of opening and closing of the passage hole 302 is displayed, the vertical axis of rotation 340 On the top surface is an arrow 348 pointing to scale 332. These scales 332 and arrows 348 are for allowing the opening and closing degree of the opening and closing means 310 to be known in detail.
이와 같은 눈금(332) 및 화살표(348)는 보조하우징(330)의 측면에 설치하는 것이 가능하며, 이 경우 수직회전축(340)에 결합되는 회전원반에 눈금이 표시되고 보조하우징의 측면에 화살표가 표시될 것이다. 이와 같이 눈금 및 화살표의 단순한 설계변경은 본 발명의 기술사상의 범위내에 있다고 할 것이다.Such a scale 332 and the arrow 348 can be installed on the side of the auxiliary housing 330, in which case the scale is displayed on the rotating disk coupled to the vertical axis of rotation 340 and the arrow on the side of the auxiliary housing Will be displayed. As such, simple design changes of scales and arrows are within the scope of the technical idea of the present invention.
이하에서는 상기와 같은 구성으로 된 진공밸브의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the vacuum valve having the above configuration will be described.
도 5는 본 실시예에 따른 진공밸브의 사용상태 평단면도이고, 도 6은 도 2의 사용상태 측단면도이다.FIG. 5 is a plan sectional view showing a state of use of the vacuum valve according to the present embodiment, and FIG. 6 is a sectional side view of the use state of FIG.
먼저, 챔버에서 펌프로 이동하는 공기의 흐름을 폐쇄하기 위하여 노브(370)를 회전시키면, 노브(370)의 회전력이 수평회전축(360) 및 웜기어(362)로 전달되고, 웜기어(362)에 치합된 웜휠(342) 및 수직회전축(340)이 함께 회전하게 된다. 수직회전축(340)이 회전하면, 하방의 스윙축(350)이 회동하게 되고, 스윙축(350)의 걸림돌부(352)가 이동블럭(320)의 장홈(322)에서 결합되어서 이동블럭(320)을 이동시키게 된다. 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 개폐수단(310)을 통과공(302)으로 밀어 넣어 챔버로부터 펌프로 이동하는 공기의 흐름을 차단하게 된다.First, when the knob 370 is rotated to close the flow of air moving from the chamber to the pump, the rotational force of the knob 370 is transmitted to the horizontal rotating shaft 360 and the worm gear 362, and is engaged with the worm gear 362. The worm wheel 342 and the vertical rotation shaft 340 rotate together. When the vertical rotation shaft 340 is rotated, the lower swing shaft 350 is rotated, the locking protrusion 352 of the swing shaft 350 is coupled in the long groove 322 of the movable block 320 to move the movable block 320 ) Is moved. The moving block 320 pushes the opening and closing means 310 into the through hole 302 through the connecting shaft 312 to block the flow of air moving from the chamber to the pump.
이와 같이 이동블럭(320)이 이동하는 도중 롤러(324)는 슬라이드공간(304)의 측면에 접촉되어 이동블럭(320)의 부드러운 이동을 돕는다. 이 과정에서 램프(400)중 불완전개방을 표시하는 램프(400)가 점등된다.As such, while the moving block 320 moves, the roller 324 contacts the side surface of the slide space 304 to help smooth movement of the moving block 320. In this process, the lamp 400 indicating the incomplete opening of the lamp 400 is turned on.
그리고 도 3 및 도 4와 같이 개폐수단(310)이 통과공(302)을 완전하게 폐쇄하면, 수직회전축(340)의 터치레버(344)가 제 2센서(390)를 터치하여 램프(400)중 폐쇄를 표시하는 램프(400)를 점등시킴으로써 사용자 또는 제 3자가 공기의 이동이 폐쇄되었음을 알 수 있도록 한다.3 and 4, when the opening and closing means 310 completely closes the passage hole 302, the touch lever 344 of the vertical rotation shaft 340 touches the second sensor 390 to generate the lamp 400. By turning on the lamp 400 indicating the closing of the user or a third party to know that the movement of the air is closed.
한편, 챔버에서 펌프로 이동하는 공기의 흐름을 허용하기 위하여 노브(370)를 상기와 반대 방향으로 회전시키면, 노브(370)의 회전력이 수평회전축(360) 및 웜기어(362)로 전달되고, 웜기어(362)에 치합된 웜휠(342) 및 수직회전축(340)이 함께 상기와 역방향으로 회전하게 된다. 수직회전축(340)이 역회전하면, 하방의 스윙축(350)이 역방향으로 회동하게 되고, 스윙축(350)의 걸림돌부(352)가 이동블럭(320)의 장홈(322)에서 결합되어서 이동블럭(320)을 역방향으로 이동시키게 된다. 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 개폐수단(310)을 통과공(302)으로부터 슬라이드공간(304)으로 빼내어 챔버로부터 펌프로 이동하는 공기의 흐름을 허용하게 된다.On the other hand, when the knob 370 is rotated in the opposite direction to allow the flow of air from the chamber to the pump, the rotational force of the knob 370 is transmitted to the horizontal rotating shaft 360 and the worm gear 362, the worm gear The worm wheel 342 and the vertical rotation shaft 340 engaged with the 362 are rotated in the opposite direction to the above. When the vertical rotation shaft 340 is reversely rotated, the lower swing shaft 350 is rotated in the reverse direction, the locking protrusion 352 of the swing shaft 350 is coupled in the long groove 322 of the movable block 320 to move Will move block 320 in the reverse direction. The moving block 320 pulls the opening and closing means 310 from the through hole 302 into the slide space 304 through the connecting shaft 312 to allow the flow of air moving from the chamber to the pump.
이 과정에서 램프(400)중 불완전개방을 표시하는 램프(400)가 다시 점등된다.In this process, the lamp 400 indicating the incomplete opening of the lamp 400 is turned on again.
그리고 도 5 및 도 6과 같이 개폐수단(310)이 통과공(302)을 완전하게 개방하면, 수직회전축(340)의 터치레버(344)가 제 1센서(380)를 터치하여 램프(400)중 개방을 표시하는 램프(400)를 점등시킴으로써 사용자 또는 제 3자가 공기의 이동이 허용되었음을 알 수 있도록 한다.5 and 6, when the opening and closing means 310 completely opens the passage hole 302, the touch lever 344 of the vertical rotation shaft 340 touches the first sensor 380 to lamp 400. By turning on the lamp 400 indicating the opening of the user or a third party to know that the movement of the air is allowed.
이와 같이 본 실시예의 진공밸브는, 사용자뿐만 아니라 제 3자도 개방과 폐쇄 및 불완전개방 상태를 정확히 알 수 있게 된다. 또한 사용자는 수직회전축(340)의 상단면에 표시된 화살표(348)가 보조하우징(330)의 상면에 표시된 눈금(332)상에서 가리키는 위치를 보고 개폐수단(310)의 개폐정도를 상세히 알 수 있게 된다.In this way, the vacuum valve of this embodiment, as well as the user can know the open, closed and incomplete open state accurately. In addition, the user can see in detail the opening and closing degree of the opening and closing means 310 by looking at the position indicated by the arrow 348 displayed on the upper surface of the vertical rotation shaft 340 on the scale 332 displayed on the upper surface of the auxiliary housing 330. .
또한 본 실시예의 진공밸브는, 노브(370)의 회전에 의해 개폐수단(310)이 이동하므로 좁은 공간에서도 진공밸브를 작동시킬 수 있다.In addition, the vacuum valve of the present embodiment, the opening and closing means 310 is moved by the rotation of the knob 370 can operate the vacuum valve in a narrow space.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 진공밸브는, 개폐수단(310)의 개방과 폐쇄 및 불완전개방시 점등되는 램프(400)를 보고 사용자뿐만 아니라 제 3자도 개방과 폐쇄 및 불완전개방 상태를 정확히 알 수 있으며, 노브(370)의 회전에 의해 개폐수단(310)이 이동하므로 좁은 공간에서도 진공밸브를 작동시킬 수 있는 효과가 있다. As described above, the vacuum valve of the present invention can accurately know the opening and closing and incomplete opening states of the user as well as the third party by looking at the lamp 400 which is turned on when the opening and closing means 310 is opened, closed and incompletely opened. In addition, since the opening and closing means 310 is moved by the rotation of the knob 370, the vacuum valve can be operated even in a narrow space.
이상에서는 본 발명을 하나의 실시예로써 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.In the above, the present invention has been described as an embodiment, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the present invention is not limited to the above-described embodiments, and has a general knowledge in the field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention. Anyone who grows up will be able to make various variations.
도 1은 종래의 진공밸브를 도시한 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing a conventional vacuum valve.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공밸브를 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view of a vacuum valve according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 평단면도.3 is a plan sectional view of FIG.
도 4는 도 2의 측단면도.4 is a side cross-sectional view of FIG.
도 5는 도 2의 사용상태 평단면도.5 is a plan view in use state of FIG.
도 6은 도 2의 사용상태 측단면도.Figure 6 is a side cross-sectional view of the use state of Figure 2;
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
300: 메인하우징 302: 통과공300: main housing 302: through hole
304: 슬라이드공간 306: 차단판304: slide space 306: blocking plate
310: 개폐수단 312: 연결축310: opening and closing means 312: connecting shaft
320: 이동블럭 322: 장홈320: moving block 322: long groove
324: 롤러 330: 보조하우징324: roller 330: secondary housing
332: 눈금 340: 수직회전축332: scale 340: vertical axis of rotation
342: 웜휠 344: 터치레버342: worm wheel 344: touch lever
346: 제 1베어링 348: 화살표346: first bearing 348: arrow
350: 스윙축 352: 걸림돌부350: swing shaft 352: locking projection
360: 수평회전축 362: 웜기어360: horizontal axis of rotation 362: worm gear
364: 제 2베어링 370: 노브364: second bearing 370: knob
380: 제 1센서 390: 제 2센서380: first sensor 390: second sensor
400: 램프400: lamp
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