KR100445713B1 - Fluid heating device - Google Patents

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유카와 가츠노리
마츠하시 이즈루
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니찌아스 카부시키카이샤
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    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
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    • F24H2250/00—Electrical heat generating means
    • F24H2250/14—Lamps

Abstract

쉽게 제조할 수 있는 스페이스를 절약할 수 있는 유체가열장치에 관한 것으로, 실리카 유리로 제조되는 하나이상의 튜브가 실리카 유리로 된 관형 본체에 배열되고, 할로겐 램프가 튜브내로 삽입되어 있다.A fluid heating apparatus that saves space that can be easily manufactured, wherein at least one tube made of silica glass is arranged in a tubular body made of silica glass, and a halogen lamp is inserted into the tube.

튜브의 일단부는 폐쇄되고, 이 튜브의 폐쇄부는 할로겐 램프의 삽입부의 스톱퍼와 위치설정수단으로서 작용한다.One end of the tube is closed, and the closure of the tube acts as a stopper and positioning means of the insert of the halogen lamp.

더 나아가, 유체입구 및 유체출구는 관형본체의 일측부상에 배치되고, 할로겐 램프는 관형 본체의 동일측부상에 장착될수 있다.Furthermore, the fluid inlet and the fluid outlet are arranged on one side of the tubular body, and the halogen lamp can be mounted on the same side of the tubular body.

아울러, 관형 본체내의 예정위치로 유체입구로서 작용하는 튜브를 연장시킴으로서 또는, 분리판 부재에 의해 관형본체의 내부를 2개의 챔버로 분할함으로서 유체의 유속을 증가시켜 유체정체를 감소시킬 수 있다.In addition, by extending the tube acting as a fluid inlet to a predetermined position in the tubular body, or by dividing the inside of the tubular body into two chambers by the separating plate member, the flow velocity of the fluid can be increased to reduce the fluid stagnation.

Description

유체 가열 장치Fluid heating device

본 발명은 반도체 제조설비 등에 사용되는 순수(pure water) 등의 세척액, 에칭액, 포토 레지스트의 박리액 등의 유체를 가열하는데 적합한 유체 가열장치의 개량에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the improvement of a fluid heating apparatus suitable for heating fluids such as cleaning liquids such as pure water, etching liquids, and photoresist stripping liquids used in semiconductor manufacturing equipment.

도 16 및 도 17에서, A는 실리카 유리로 제조된 관형본체이다. 이 관형본체(A)는 원통형 튜브부(1), 그 두단부에 있는 단부판부(2), 하나의 단부판부(2)의 하부에 형성된 유체입구(4) 및, 다른 단부판부(3)의 상부에 형성된 유체출구(5)를 포함한다. 관형본체(A)의 내부에는 2 개의 단부판두(2,3)를 통해 통과하는 실리카 유리로 이루어진 2 개의 튜브(6)가 배치된다. 상기 장치는 전극리드(7a, 7b)를 가진 할로겐 램프(7)가 각 튜브(6)안으로 삽입되도록 구성되어있다.16 and 17, A is a tubular body made of silica glass. The tubular body (A) is formed of a cylindrical tube portion (1), an end plate portion (2) at its two ends, a fluid inlet (4) formed at the bottom of one end plate portion (2), and another end plate portion (3). And a fluid outlet 5 formed at the top. Inside the tubular body A two tubes 6 made of silica glass are passed through two end plates 2, 3. The device is configured such that a halogen lamp 7 with electrode leads 7a, 7b is inserted into each tube 6.

이렇게 구성된 유체가열장치를 사용함으로써, 이를 통해 유체가 유체입구(4)로 부터 관형본체(A)에 형성된 유체출구(5)로 흐르는 유체흐름통로를 따라 배열되므로, 유체는 할로겐램프에 의해 방사된 광선에 의해 연속적으로 가열될 수 있다.By using the fluid heating device configured in this way, the fluid is arranged along the fluid flow path flowing from the fluid inlet 4 to the fluid outlet 5 formed in the tubular body A, so that the fluid is radiated by the halogen lamp. It can be heated continuously by light rays.

실리카 유리로된 튜브는 삽입에 의해 할로겐램프를 배치시키는 양단부로 개방되어 있으므로 어느 방향으로도 삽입할 수 있다. 한편, 할로겐램프의 삽입은 고정 밀도로 거의 이루어질 수 없으며, 삽입후에도 쉽게 배치될수없다.The tube made of silica glass is open to both ends for placing the halogen lamp by insertion so that it can be inserted in either direction. On the other hand, the insertion of the halogen lamp can hardly be made with high precision, and can not be easily arranged even after insertion.

더 나아가, 실리카 유리로된 튜브의 튜브의 내부안으로 삽입된 할로겐램프가 그 양단부에서 전극리드를 가지므로, 전극리드 접속작업은 관형본체의 종방향으로 서로 대향된 2 개의 단부판 측부에서 처리해야된다. 이러한 이유로, 대형의 작업공간이 필요하였다.Furthermore, since the halogen lamp inserted into the inside of the tube of the silica glass tube has electrode leads at both ends, the electrode lead connection work must be performed on two end plate sides opposite to each other in the longitudinal direction of the tubular body. . For this reason, a large workspace was required.

더욱이, 이렇게 구성된 유체가열장치는 후술의 문제점을 갖고 있다.Moreover, the fluid heating device thus constructed has the following problems.

1) 유체가열장치가 반도체 제조설비에 장착된 경우, 관형본체의 유체입구 및 유체출구는 예를 들어, 튜브, 조인트 등을 통해 설비의 프로세싱에 접속되야한다. 그리고, 유체입구 및 유체출구가 관형본체를 통해 서로 대향된 2단부상에 분리적으로 배열되므로, 튜브의 접속작업은 유체가열장치가 세트될 때, 관형본체를 통해 서로 대향된 상기 입구 및 출구에서 실행되야 한다. 그러므로, 작업률이 떨어지게 된다.1) When a fluid heating device is mounted in a semiconductor manufacturing facility, the fluid inlet and the fluid outlet of the tubular body should be connected to the processing of the facility, for example, via tubes, joints or the like. And, since the fluid inlet and the fluid outlet are separately arranged on the two ends facing each other through the tubular body, the connecting operation of the tube is performed at the inlet and the outlet facing each other through the tubular body when the fluid heater is set. Should be executed. Therefore, the work rate is lowered.

2) 또한, 접속작업을 실행하기 위해 가열장치의 양단부에는 작업공간이 필요하므로, 공간절약면에서 문제점을 야기시킨다.2) In addition, since a work space is required at both ends of the heating apparatus in order to execute the connection work, there is a problem in terms of space saving.

3) 또한, 할로겐램프를 실리카 유리로된 튜브안으로 삽입시키기위해, 전극리드 접속작업이 관형본체를 통해 서로 대향인 양단부상에서 실행되므로, 이에 대응하는 작업공간이 필요하다.3) Also, in order to insert the halogen lamp into a tube made of silica glass, the electrode lead connection work is carried out on opposite ends of each other through the tubular body, so a corresponding working space is required.

4) 유체입구 및 유체출구가 관형본체를 통해 서로 대각선으로 대향인 단부에 있으므로, 유체정체(유체정체부)가 출구(B)에 대향인 부분에서 발생되는 경향이 있다. 이 유체정체부에서, 약액의 온도가 상승하고 대류가 발생된다. 인산등의 실리카 유리에 대해서 부식성의 유체의 경우, 실리카 유리의 튜브와 관형본체는 부분적으로 부식이 발생된다.4) Since the fluid inlet and the fluid outlet are at the ends diagonally opposite to each other through the tubular body, there is a tendency that the fluid stagnation (fluid stagnation part) occurs at the part opposite the outlet B. In this fluid stagnation section, the temperature of the chemical liquid rises and convection occurs. In the case of a corrosive fluid against silica glass such as phosphoric acid, the tube and tubular body of the silica glass are partially corroded.

5) 할로겐램프가 삽입되는 튜브의 두단부는 개방되고, 할로겐램프는 양방향으로 삽입될 수 있다. 한편, 할로겐램프의 삽입위치가 거의 결정될수없고, 삽입후 위치설정의 변위가 쉽게 발생된다.5) The two ends of the tube into which the halogen lamp is inserted are open, and the halogen lamp can be inserted in both directions. On the other hand, the insertion position of the halogen lamp can hardly be determined, and displacement of positioning after insertion is easily generated.

본 발명은 종래의 유체가열장치의 상술한 단점을 해소하기위해 이루어진것으로서, 그 목적은 할로겐램프가 실리카 유리의 튜브안으로 예정위치에 정밀하게 삽입될수 있고, 할로겐램프용 전극리드의 접속작업도 관형본체의 일측부상에서 실행될 수 있는 유체가열장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned disadvantages of the conventional fluid heating apparatus, and an object thereof is that a halogen lamp can be precisely inserted into a predetermined position into a tube of silica glass, and the connecting operation of the electrode lamp for the halogen lamp is also a tubular body. It is to provide a fluid heating device that can be executed on one side of the.

본 발명의 다른목적은 튜브 및 조인트 등을 유체입구 및 유체출구에 접속하는 작업이 쉽게 실행될수 있어, 접속작업을 위한 공간을 절약할수 있고, 관형본체의 유체통로에 체류가 발생되지않아, 유체의 원활한 흐름이 이루어지는 유체가열장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to connect the tube and the joint to the fluid inlet and the fluid outlet can be easily carried out, save space for the connection work, and do not occur in the fluid passage of the tubular body, It is to provide a fluid heating device that is a smooth flow.

상기 목적을 달성하기위해, 본 발명에 따른 유체가열장치는, 유체입구 및 유체출구를 갖는 실리카 유리의 관형본체, 관형본체안으로 삽입된 실리카 유리의 하나이상의 튜브 및, 튜브안으로 삽입된 할로겐램프를 포함하며, 상기 튜브의 일단부가 튜브의 다른단부에서만 전극리드를 갖는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the fluid heating apparatus according to the present invention includes a tubular body of silica glass having a fluid inlet and a fluid outlet, at least one tube of silica glass inserted into the tubular body, and a halogen lamp inserted into the tube. One end of the tube has an electrode lead only at the other end of the tube.

유체가열장치는 튜브가 튜브의 폐쇄단측부상의 종방향으로 관형부체의 개방단부에 대향인 관형본체의 단부판부를 통해 통과하도록 구성될 수 있다.The fluid heating device may be configured such that the tube passes through an end plate portion of the tubular body opposite the open end of the tubular body in the longitudinal direction on the closed end side of the tube.

또한, 유체가열장치는 튜브의 폐쇄단부가 관형본체내에 있거나, 튜브의 각각의 일단부가 튜브의 종방향으로 튜브의 개방단부에 대향인 관형본체의 단부판에 의해 폐쇄되도록 구성될수도 있다.The fluid heating device may also be configured such that the closed end of the tube is in the tubular body, or each end of the tube is closed by an end plate of the tubular body opposite the open end of the tube in the longitudinal direction of the tube.

더 나아가, 상기 목적을 달성하기 위해서,Furthermore, in order to achieve the above object,

본 발명에 따른 유체가열장치는,Fluid heating device according to the invention,

유체입구 및 유체출구를 가진 실리카 유리의 관형본체와, 관형본체안으로 삽입되는 실리카 유리의 하나이상의 튜브를 포함하며,A tubular body of silica glass having a fluid inlet and a fluid outlet, and at least one tube of silica glass inserted into the tubular body,

상기 관형본체는 종방향으로 연장하는 분리판 부재에 의해 2개의 부분 챔버로 분할되고, 관형본체의 일단부에는 2개의 부분 챔버를 연결하는 개방부가 배열되며, 상기 유체입구 및 유체출구는 관형본체의 개방부로 부터 떨어진 측부상에 배치되고, 상기 할로겐램프는 유체입구 및 유체출구가 배열된 측부상에만 전극리드를 갖도록 구성된다.The tubular body is divided into two partial chambers by a separator plate member extending in a longitudinal direction, and an opening portion connecting two partial chambers is arranged at one end of the tubular body, and the fluid inlet and the fluid outlet are formed in the tubular body. Located on the side away from the opening, the halogen lamp is configured to have an electrode lead only on the side where the fluid inlet and the fluid outlet are arranged.

더 나아가, 상기 목적을 달성하기위해서,Furthermore, in order to achieve the above object,

본 발명에 따른 유체가열장치는,Fluid heating device according to the invention,

유체입구 및 유체출구를 가진 실리카 유리의 관형본체와, 관형본체안으로 삽입되는 실리카 유리의 하나이상의 튜브와, 튜브안으로 삽입된 할로겐램프를 포함하며,A tubular body of silica glass having a fluid inlet and a fluid outlet, at least one tube of silica glass inserted into the tubular body, and a halogen lamp inserted into the tube,

상기 유체입구 및 유체출구는 관형본체의 하나의 단부에만 배열되며, 상기 튜브는 관형본체의 다른단부를 향해 예정위치로 연장하는 유체입구로서 작용하며, 상기 할로겐램프는 유체입구 및 유체출구와 같은 측부상에서 전극리드를 갖도록 구성된다.The fluid inlet and the fluid outlet are arranged only at one end of the tubular body, and the tube acts as a fluid inlet extending to a predetermined position toward the other end of the tubular body, and the halogen lamp has a side such as the fluid inlet and the fluid outlet. It is configured to have an electrode lead on the phase.

이 유체가열장치에서 유체입구로서 작용하는 튜브의 선단부는 전진 및 원형 방향으로 감겨질 수 있다.The tip of the tube serving as the fluid inlet in this fluid heater can be wound in the forward and circular directions.

더 나아가, 튜브의 각각의 폐쇄단부는 상술한 바와 같은 동일한 폐쇄구조를 갖는다.Furthermore, each closed end of the tube has the same closed structure as described above.

도 1은 본 발명에 따른 유체 가열 장치의 실시예를 도시하는 단면도.1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a fluid heating device according to the present invention.

도 2 는 도 1 에 도시한 실시예의 정면도.FIG. 2 is a front view of the embodiment shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 단면도.3 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예의 단면도.4 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예의 단면도.5 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

도 6은 도 5 의 실시예의 정면도.6 is a front view of the embodiment of FIG. 5;

도 7은 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 정면도.7 is a front view showing another embodiment of the present invention.

도 8은 유체가열장치가 외부 케이스에 장착된 상태를 보여주는 사시도.8 is a perspective view showing a state in which the fluid heating device is mounted on the outer case.

도 9은 유체가열장치가 반도체 제조장치에 조립된 상태를 보여주는 평면도.9 is a plan view showing a state in which the fluid heating device is assembled to a semiconductor manufacturing apparatus.

도 10은 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도.10 is a cross-sectional view showing yet another embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도.11 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도.12 is a cross-sectional view showing yet another embodiment of the present invention.

도 13은 도 12의 실시예의 정면도.13 is a front view of the embodiment of FIG. 12.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도.14 is a cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.

도 15는 도 14의 실시예의 정면도.15 is a front view of the embodiment of FIG.

도 16은 종래의 유체가열장치의 단면도.16 is a cross-sectional view of a conventional fluid heating device.

도 17은 도 16의 유체가열장치의 정면도.17 is a front view of the fluid heating device of FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

A1; 관형본체10 ; 원통형 관형부A 1 ; Tubular body 10; Cylindrical tubular section

11, 12 ; 단부판부13 ; 유체입구11, 12; End plate portion 13; Fluid inlet

14 ; 유체출구15 ; 튜브14; Fluid outlet 15; tube

16 ; 할로겐램프16; Halogen lamp

도 1 및 도 2 에는 본 발명의 실시예를 도시한다.1 and 2 show an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2 에서, A1는 실리카 유리로 이루어진 관형본체, 10은 관형본체(A1)를 형성하는 원통형 관형부, 11 및 12는 원통형 관형부의 단부판, 13은 유체입구, 14는 유체출구이다. 삽입에 위해 관형부(10)내에 배열된 실리카 유리의 각각의 튜브(15)에 있어서, 튜브는 단부벽부(15a)에 의해 폐쇄된 단부로 사용된다. 튜브는 단부벽부(15a)에 의해 지지된다. 튜브(15)가 단부판부(11,12)를 통해 통과하는 부분은 용접으로 밀봉되어있으므로, 유체의 누설이 발생되지 않는다. 개방단부의 측부상에만 전극리드(16a, 16b)를 가진 할로겐램프(16)는 삽입에의해 각 튜브에 배열된다.1 and 2, A 1 is a tubular body made of silica glass, 10 is a cylindrical tubular portion forming a tubular body (A 1 ), 11 and 12 are end plates of a cylindrical tubular portion, 13 is a fluid inlet, 14 is a fluid It is an exit. In each tube 15 of silica glass arranged in the tubular portion 10 for insertion, the tube is used as an end closed by the end wall portion 15a. The tube is supported by the end wall portion 15a. The portion through which the tube 15 passes through the end plate portions 11 and 12 is sealed by welding, so that no leakage of fluid occurs. Halogen lamps 16 having electrode leads 16a and 16b only on the side of the open end are arranged in each tube by insertion.

도 16 및 도 17에 도시된 종래의 장치와 유사하게 구성된 유체가열장치에서, 입구로 부터 관형본체(A1)의 출구(14)로 흐르는 유체는 할로겐램프(16)에 의해 방사된 광선에 의해 연속적으로 가열된다.In the fluid heating apparatus constructed similarly to the conventional apparatus shown in FIGS. 16 and 17, the fluid flowing from the inlet to the outlet 14 of the tubular body A 1 is caused by the light rays emitted by the halogen lamp 16. Heated continuously.

또한, 할로겐램프의 삽입방향의 선단에서 단부벽부(15a)에 의해 폐쇄된 튜브가 각각의 튜브(15)를 위해 사용되게 구성된 구조를 사용하는 것에의해, 폐쇄부(15a)가 할로겐램프의 삽입부의 스톱퍼와 위치설정수단으로서 작용하므로, 할로겐램프를 고정밀도로 예정위치로 튜브에 삽입시키는 것이 가능해지고, 또한, 삽입이 방지된후의 램프의 위치변위가 얻어질 수 있는 효과가 성취될 수 있다.Also, by using a structure in which the tube closed by the end wall portion 15a at the tip of the halogen lamp insertion direction is used for each tube 15, the closure portion 15a is inserted into the halogen lamp. Since it acts as a negative stopper and positioning means, it becomes possible to insert the halogen lamp into the tube at a predetermined position with high precision, and the effect that the positional displacement of the lamp after the insertion is prevented can be achieved.

더 나아가, 삽입에 의해 튜브(15)에 배열된 할로겐램프(16)가 삽입개방측부상에서만 전극리드(16a, 16b)를 가지므로, 전극리드를 접속하는 작업이 튜브의 일측부상에서만 실행되는 보조의 효과가 얻어질 수 있다. 또한, 광선으로서 작용하는 할로겐램프의 교환이 쉽게 이루어질 수 있다.Furthermore, since the halogen lamps 16 arranged on the tube 15 by insertion have electrode leads 16a and 16b only on the insertion opening side, the auxiliary connecting operation is performed only on one side of the tube. The effect of can be obtained. In addition, replacement of the halogen lamp acting as a light beam can be easily accomplished.

도 3은 본 발명의 다른 실시예이다. 본 실시예에서, 도 1 및 도 2 에서 도시된 튜브(15)가 사용된다. 그러나, 상기 튜브(15)는 관형본체(A1)의 단부판부(12)를 통해 통과하지 않고, 튜브(15)가 관형본체내에 완전히 머무르도록 구성된다. 이러한 구조에 의해, 도 1 및 도 2 에서 참조설명된 것과 동일한 효과를 가질뿐만아니라, 유체에 의한 튜브의 선단의 냉각효과가 얻어지고, 할로겐램프의 내구성이 증가된다. 또한, 튜브의 선단이 관형본체내에 머무르는 구조는 관형본체가 외부케이스에 장착될 때, 장착공간을 감소시키는 장점을 제공하며, 이러한 구조에 의해, 튜브의 선단이 실수로 손상되는 위험성을 없앨수 있게 된다.3 is another embodiment of the present invention. In this embodiment, the tube 15 shown in FIGS. 1 and 2 is used. However, the tube 15 does not pass through the end plate portion 12 of the tubular body A 1 , and is configured such that the tube 15 remains completely in the tubular body. By this structure, not only have the same effects as those described in Figs. 1 and 2, but also the cooling effect of the tip of the tube by the fluid is obtained, and the durability of the halogen lamp is increased. In addition, the structure in which the tip of the tube stays in the tubular body provides the advantage of reducing the mounting space when the tubular body is mounted in the outer case, and this structure eliminates the risk of accidentally damaging the tip of the tube. .

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한다. 본 실시예에서, 할로겐램프이 삽입방향의 튜브(15)의 선단은 용접에 의해 관형본체(A1)의 단부판부(12)에 결합 시킴으로서 폐쇄된다. 이러한 구조에서는, 관형본체가 외부케이스에 장착될 때, 할로겐램프의 삽입부의 스톱퍼와 위치설정 수단으로서의 효과및 장착공간의 감소효과 뿐만아니라, 튜브용 관형본체의 관통구를 형성하는 작업을 생략할수 있는 제거효과가 얻어질 수 있다.4 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, the halogen lamp is closed by engaging the end of the tube 15 in the insertion direction with the end plate portion 12 of the tubular body A 1 by welding. In this structure, when the tubular body is mounted to the outer case, the work as a stopper and positioning means of the halogen lamp insertion part and the effect of reducing the mounting space as well as the formation of the through-hole of the tubular body for the tube can be omitted. Elimination effect can be obtained.

도 5 및 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한다.5 and 6 show yet another embodiment of the present invention.

도면에서, A1은 실리카 유리제의 관형본체, 20은 관형본체(A1)를 형성하는 원통형 관형부, 21 및 22는 원통형 관형부의 종방향 단부판부이다. 관형본체(A1)내에는, 관형본체내의 챔버를 상부분리챔버(a1)와 하부분리챔버(a2)로 분할하고, 2개의 분리챔버(a1,a2)를 서로 연결시키기위해 분리판부재(24)의 선단과 하나의 단부판부(22)사이에 개구부(23)를 형성하도록, 하나의 단부판부(21)로부터 다른 단부판부(22)를 향해 돌출하는 분리판 부재(24)가 제공된다.In the figure, A 1 is a tubular body made of silica glass, 20 is a cylindrical tubular portion forming a tubular body A 1 , and 21 and 22 are longitudinal end plate portions of a cylindrical tubular portion. In the tubular body A 1 , the chamber in the tubular body is divided into an upper separation chamber a 1 and a lower separation chamber a 2 , and separated to connect two separation chambers a 1 , a 2 . The separating plate member 24 protruding from one end plate portion 21 toward the other end plate portion 22 so as to form an opening 23 between the tip of the plate member 24 and one end plate portion 22. Is provided.

분리챔버(a1,a2)를 형성하는 관형본체(A1)에는, 각각 하나의 단부판부(22)와 분리판부재(24) 사이에 형성된 개구부(23)에서 떨어진 단부판부(21)의 측부상의 유체입구(25) 및 유체출구(26)가 배열되어 있다.In the tubular body A 1 forming the separation chambers a 1 and a 2 , each of the end plate portions 21 separated from the opening 23 formed between the one end plate portion 22 and the separation plate member 24, respectively. The fluid inlet 25 and the fluid outlet 26 on the side are arranged.

분리챔버(a1,a2)에는 유체입구(25) 및 유체출구(26)가 있는 측부상의 단부판부(210를 통해서 통과하는 실리카 유리제의 튜브(27,28)가 배열되며, 할로겐램프(29, 30)는 다른 단부판부(220를 통해서 각각의 듀브(27, 28)안으로 삽입된다. 29a, 29b, 30a, 30b는 유체입구 및 유체출구가 배열된 측부상에만 배열된 할로겐램프용 전극리드이다. 튜브(27,28)가 단부판부(21,22)를 통해 통과하는 부분이 용접 등에 의해 밀봉되므로 유체누출이 방지된다.The separation chambers a 1 and a 2 are arranged with silica glass tubes 27 and 28 passing through the end plate portion 210 on the side where the fluid inlet 25 and the fluid outlet 26 are located. 29 and 30 are inserted into the respective dives 27 and 28 through the other end plate portion 220. 29a, 29b, 30a and 30b are electrode leads for halogen lamps arranged only on the side where the fluid inlet and the fluid outlet are arranged. The portion where the tubes 27 and 28 pass through the end plate portions 21 and 22 is sealed by welding or the like so that fluid leakage is prevented.

도 7은, 관형본체(A1)의 분리판부재(24)가 입구(25)와 출구(26)를 연결하는 라인을 약 45도로 교차하도록 배열되므로, 다른 분리챔버에 배열된 튜브(27,28)의 단부로 부터 입구(25) 및 출구(26)까지의 거리가 증가되도록 한 구성예를 도시한다.7 is arranged so that the separator plate member 24 of the tubular body A 1 intersects the line connecting the inlet 25 and the outlet 26 to about 45 degrees, so that the tubes 27, arranged in different separation chambers, A configuration example is shown in which the distance from the end of 28 to the inlet 25 and the outlet 26 is increased.

도 8은 관형본체(A1)가 외부케이스(31)에 장착된 상태를 도시한다. 이 경우, 단열재, 과승온센서, 뉴액센서등이 관형본체(A1)의 외측부상에 장착되어 외부케이스내에 고정된다. 더 나아가, 관통구는 유체입구(25), 유체입구(26), 튜브(27,28)의 단부를 꺼내기 위해 외부케이스의 외부판에 형성된다. 이에 대향인 측부상의 판의 관통구의 형성은 불필요하다.8 shows a state in which the tubular body A 1 is mounted on the outer case 31. In this case, a heat insulating material, an overheating sensor, a new liquid sensor and the like are mounted on the outer side of the tubular body A 1 and fixed in the outer case. Further, the through hole is formed in the outer plate of the outer case to take out the ends of the fluid inlet 25, the fluid inlet 26, the tube (27, 28). Formation of the through hole of the plate on the side opposite to this is unnecessary.

도 9 는 외부 케이스(31)가 반도체 제조설비에 조립된 상태를 도시하며, 32는 펌프, 33은 필터, 34는 처리조, 35 및 36은 접속튜브(파이프)이다.Fig. 9 shows a state in which the outer case 31 is assembled in a semiconductor manufacturing facility, 32 is a pump, 33 is a filter, 34 is a treatment tank, and 35 and 36 are connection tubes (pipes).

이렇게 구성된 유체가열장치에서, 관형본체(A1)에 형성된 하부분리챔버(a1)의 유체입구(25)로부터 보내진 유체는 분리챔버(a1)의 종방향 흐름중에 할로겐램프(29)의 복사열에 의해 먼저 가열된 다음, 개구부(23)에서 상부 분리챔버(a2)로 들어가고 U턴 해서 세로방향으로 흐르는 사이에 할로겐램프(30)의 복사열에 의해 다시 가열되어, 마지막으로 유체출구(26)에서 관형본체 밖으로 송출된다.In the fluid heating device configured as described above, the fluid sent from the fluid inlet 25 of the lower separation chamber a 1 formed in the tubular body A 1 radiates heat of the halogen lamp 29 during the longitudinal flow of the separation chamber a 1 . Is first heated, and then is heated again by the radiant heat of the halogen lamp 30 between the opening 23 into the upper separation chamber a 2 and U-turn to flow in the longitudinal direction, and finally the fluid outlet 26. From the tubular body is sent out.

상기 유체가열장치의 사용에 의하면, 하기의 효과가 얻어진다.According to the use of the fluid heating device, the following effects are obtained.

1) 유체입구 및 유체출구가 관형본체의 일측부에 모아지고 있으므로 튜브의 접속작업이 장치의 한쪽측에서만 행해질 수 있어 작업성이 양호하다.1) Since the fluid inlet and the fluid outlet are collected at one side of the tubular body, the connection work of the tube can be performed only at one side of the apparatus, so the workability is good.

2) 할로겐램프의 전극리드의 접속작업도 튜브가 유체입구 및 유체출구와 접속되는 측부에서 행할 수 있다.2) Connection of electrode leads of halogen lamps may also be carried out at the side where the tube is connected to the fluid inlet and the fluid outlet.

3) 도 7에 나타낸 구성을 사용함으로서, 튜브(27,28)와 유체입구(25) 및 유체출구(26)와의 간격을 증가시키도록 분리판 부재(24)가 기울어져 있으므로, 튜브 접속작업, 할로겐램프의 조립작업을 가일층하기 쉽게 할 수 있다.3) By using the configuration shown in Fig. 7, the separator plate member 24 is inclined so as to increase the distance between the tubes 27 and 28, the fluid inlet 25 and the fluid outlet 26, so that the tube connecting operation, The assembly of halogen lamps can be made easier.

4) 관형본체의 일단측에서의 튜브접속작업 및 전극리드 접속작업을 위한 공간이 불필요하므로 공간의 절약화가 도모된다.4) The space for tube connection work and electrode lead connection work on one end side of the tubular body is unnecessary, thus saving the space.

또한, 도 9에 도시된 바와 같이, 유체가열장치를 예를 들면 반도체 제조설비에 조립하는 경우에, 유체입구 및 유체출구와 대향인 측부에서의 튜브접속작업, 할로겐램프 접속작업을 행하기 위한 공간을 확보할 필요가 없고, 작업공간은 한쪽측만으로도 충분하므로, 그점에서 상기 유체가열장치의 설비에의 조립이 유용하다.In addition, as shown in Fig. 9, in the case of assembling the fluid heating device in, for example, a semiconductor manufacturing facility, the space for tube connection work and halogen lamp connection work on the side opposite to the fluid inlet and the fluid outlet is provided. It is not necessary to secure the space, and only one side of the work space is sufficient, so that the assembly of the fluid heater to the equipment is useful at that point.

5) 예를 들면, 유체가열장치가 도 8에 도시된 바와 같이, 외부케이스에 조립하는 경우, 관형본체의 유체입구 및 유체출구의 반대측에는 유체입구, 유체출구, 할로겐램프의 전극리드등이 없으므로 유체입구 및 유체출구에 대향인 측부는 평판상의 외장재로 폐밀할 수 잇다.5) For example, when the fluid heating device is assembled to the outer case as shown in Fig. 8, there is no fluid inlet, fluid outlet, electrode lead of halogen lamp, etc. on the opposite side of the fluid inlet and the fluid outlet of the tubular body. The sides opposite the fluid inlet and the fluid outlet can be closed with a plate-like sheath.

6) 부가하여, 상기 유체가열장치에서는 관형본체의 원통형 챔버를 분리판부재로 2개의 챔버로 구획해서 유체의 유로면적을 작게해서, 유체의 유속을 빠르게 하는 구성으로 하고 있으므로, 액굄이 종래의 장치와 비교해서 적어지게 되며 관형본체나 튜브를 형성하고 있는 실리카 유리의 침식의 발생이 억제된다.6) In addition, in the fluid heating apparatus, the cylindrical chamber of the tubular body is divided into two chambers by the separating plate member, so that the flow path area of the fluid is reduced, so that the fluid flow rate is increased. In comparison with this, the occurrence of erosion of the silica glass forming the tubular body and the tube is suppressed.

도 10 및 도 12는 본 발명의 또 다른 실시예를 도시한다.10 and 12 show another embodiment of the present invention.

이들 실시예들은 도 5 및 도 6에 도시한 유체가열장치에 있어서, 할로겐램프의 삽입방향으로 실리카 유리제의 튜브(27,28)의 선단을 폐쇄하고 그 폐쇄부를 할로겐램프의 삽입시의 스톱퍼 및 위치설정수단으로서 작용하게 구성한 것이다.In the fluid heating apparatus shown in Figs. 5 and 6, the front end of the silica glass tubes 27 and 28 in the insertion direction of the halogen lamp is closed and the stopper and the position when the halogen lamp is inserted. It is configured to act as a setting means.

도 10의 실시예에는, 튜브(27,28)를 관형본체(A1)의 단부판부(21,22)에 관통지지시킨 구성예에 있어서, 할로겐램프의 삽입방향의 단부벽부(27a,28a)에 의해 폐쇄된 튜브선단이 튜브를 위해 사용한 예를 도시하고 있다.In the embodiment of Fig. 10, in the configuration example in which the tubes 27 and 28 are penetrated and supported by the end plate portions 21 and 22 of the tubular body A 1 , the end wall portions 27a and 28a in the insertion direction of the halogen lamp are shown. An example of the end of the tube closed by) is used for the tube.

상술된 바와 같이 할로겐램프의 삽입방향의 튜브(27,28)의 선단이 폐쇄되어, 상기 폐쇄부가 할로겐램프 삽입시의 스톱퍼 및 위치결정수단으로서 기능하므로, 할로겐램프를 튜브중의 정해진 위치에 정확하게 삽입시킬수 있고, 더욱이 삽입후의 위치 어긋남 방지효과도 얻어진다.As described above, the front ends of the tubes 27 and 28 in the insertion direction of the halogen lamps are closed, so that the closure functions as a stopper and positioning means at the time of insertion of the halogen lamps, so that the halogen lamps are accurately inserted in the predetermined positions in the tubes. In addition, the effect of preventing misalignment after insertion is also obtained.

도 11의 실시예에서는 그 선단이 닫친 튜브(27,28)를 단부판부(22)에 관통시키지 않고 관형본체내에 인입한 것을 도시하고 있다. 이 구성에 의하면, 도 10과 마찬가지의 효과가 얻어질 뿐만 아니라, 유체에 의한 튜브의 선단부의 냉각효과가 얻어지므로, 할로겐램프의 내구성 향상에도 유용하다. 또한, 튜브의 선단을 관형본체내에 인입하도록 구성한 것에서는 관형본체를 설비에 조립하는 경우의 설치공간의 축소화에도 유리하며, 튜브의 선단을 잘못해서 파손시키는 우려도 없어진다.In the embodiment of Fig. 11, the tubes 27 and 28 whose ends are closed are introduced into the tubular body without penetrating the end plate portion 22. Figs. According to this structure, not only the same effect as FIG. 10 is obtained but also the cooling effect of the front end of the tube by the fluid is obtained, which is also useful for improving the durability of the halogen lamp. In addition, when the tip of the tube is configured to be drawn into the tubular body, it is also advantageous to reduce the installation space when the tubular body is assembled to the facility, and there is no fear of accidentally breaking the tip of the tube.

도 12의 실시예에서는 상기 튜브(27,28)의 선단을 관형본체(A1)의 단부판부(22)에 용접으로 접합해서 폐쇄한 예를 도시하고 있다. 이 구성에 의하면, 할로겐램프 삽입시의 스톱퍼 및 위치설정수단으로 기능하는 효과 및 관형본체를 설비에 조립하는 경우의 설치공간의 축소효과가 얻어질뿐만아니라, 관형본체에 튜브의 관통구를 설치하기 위한 수고를 덜 수 있다.The embodiment of Figure 12 example shows an example of a front end of the tube (27,28) one to the end plate portion 22 of the tubular body (1 A) bonded to weld closed. According to this configuration, not only the effect of acting as a stopper and positioning means when the halogen lamp is inserted, but also the effect of reducing the installation space when assembling the tubular body to the facility, can be obtained, and the through hole of the tube is provided in the tubular body. Less labor for

도 13 및 도 14 는 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 것으로, 분리판부재는 구조의 간소화 및 제조단가의 저렴화를 위해 제거된다.13 and 14 show another embodiment of the present invention, wherein the separator plate member is removed to simplify the structure and reduce the manufacturing cost.

도면에서, A1는 실리카 유리제의 관형본체, 40은 원통형 관형부, 41 및 42는 원통형 관형부의 종방향의 2 개의 단부를 폐쇄하는 단부판부이다. 관형본체(A1)에는, 단부판부(42)의 측부상의 유체입그 및 유체출구(42,43)가 배열된다. 유체입구(43)의 튜브부(45)는 원통형 관형부(40)내에 예정위치로 연장된다.In the figure, A 1 is a tubular body made of silica glass, 40 is a cylindrical tubular portion, 41 and 42 are end plate portions closing two longitudinal ends of the cylindrical tubular portion. In the tubular body A 1 , fluid inlets and fluid outlets 42 and 43 on the side of the end plate portion 42 are arranged. The tube portion 45 of the fluid inlet 43 extends to a predetermined position in the cylindrical tubular portion 40.

실리카 유리제의 튜브(46,47)는 각각 할로겐램프(48,49)가 삽입되는 원통형관형부(40)에 서로 인접배열된다. 48a, 48b, 49a, 49b는 유체입구 및 유체출구가 배열된 측부상에 위치된 전극리드이다.The silica glass tubes 46 and 47 are arranged adjacent to each other in the cylindrical tubular portion 40 into which the halogen lamps 48 and 49 are inserted, respectively. 48a, 48b, 49a, 49b are electrode leads located on the side where the fluid inlet and the fluid outlet are arranged.

각 튜브(46,47)의 선단은 단부판부(41)에 의해 폐쇄 지지된다.The tip of each tube 46 and 47 is closed-supported by the end plate part 41.

관형본체내의 유체입구의 튜브부(45)의 선단부(45a)는 도 15에 도시된 바와 같이 전진 및 원형방향으로 감겨지도록 구성된다. 입구(43)로부터의 유체의 흐름을 회전시키는 구성으로 인해, 액굄을 제거할 수 있게 된다.The tip portion 45a of the tube portion 45 of the fluid inlet in the tubular body is configured to be wound in the forward and circular directions as shown in FIG. Due to the configuration of rotating the flow of the fluid from the inlet 43, it is possible to remove the liquid.

상술된 바와 같이, 본 발명에 따르면, 실리카 유리제의 관형본체의 예정위치에서 광원으로서 기능하는 할로겐램프를 고정밀도로 삽입시킬수 있고, 관형본체의 일측부상에서만 할로겐램프용 전극리드의 접속작업을 실행할수 있다.As described above, according to the present invention, a halogen lamp serving as a light source can be inserted with high precision at a predetermined position of the tubular body made of silica glass, and the connecting operation of the halogen lamp electrode lead can be executed only on one side of the tubular body. .

또한, 튜브, 조인트 등의 접속작업이 용이하게 되며, 게다가 그 접속작업의 공간을 절약할 수 있다. 더 나아가, 관형본체의 유로에 액굄이 발생되지 않아, 유체의 원활한 흐름을 확보할 수 있다.Moreover, the connection work of a tube, a joint, etc. becomes easy, and also the space of the connection work can be saved. Furthermore, no liquid is generated in the flow path of the tubular body, thereby ensuring a smooth flow of the fluid.

Claims (13)

유체출구 및 유체입구를 가진 실리카 유리제의 관형본체, 관형본체안으로 삽입된 실리타 유리제의 하나 이상의 튜브 및, 튜브안으로 삽입된 할로겐램프를 포함하며,A tubular body of silica glass having a fluid outlet and a fluid inlet, at least one tube of silita glass inserted into the tubular body, and a halogen lamp inserted into the tube, 상기 각 튜브의 일단부는 폐쇄되고 , 할로겐램프는 튜브의 다른단부에서만 전극리드를 갖는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.One end of each tube is closed, and the halogen lamp has an electrode lead only at the other end of the tube. 제 1 항에 있어서, 상기 튜브의 일단부상에서 그 종방향으로 관형본체의 개방단부에 대향인 관형본체의 단부판부를 통해 통과하는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.2. A fluid heating device according to claim 1, wherein said fluid passes through an end plate portion of the tubular body opposite the open end of the tubular body in one longitudinal direction on one end of the tube. 제 1 항에 있어서, 상기 튜브의 폐쇄단부는 관형본체내에 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.2. A fluid heating device according to claim 1, wherein the closed end of the tube is in the tubular body. 제 1 항에 있어서, 각 튜브의 일단부는 그 종방향으로 관형본체의 개방단부에 대향인, 단부판부에 의해 폐쇄된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.2. A fluid heating device according to claim 1, wherein one end of each tube is closed by an end plate portion opposite the open end of the tubular body in its longitudinal direction. 유체출구 및 유체입구를 가진 실리카 유리제의 관형본체, 관형본체안으로 삽입된 실리카 유리제의 하나이상의 튜브 및, 튜브안으로 삽입된 할로겐램프를 포함하며,A tubular body of silica glass having a fluid outlet and a fluid inlet, at least one tube of silica glass inserted into the tubular body, and a halogen lamp inserted into the tube, 상기 관형본체는 종방향으로 연장하는 분리판 부재에 의해 종방향으로 2 개의 부분 챔버로 분활되고, 2 개의 부분 챔버를 관형본체의 단부중 일단부에서 접속하는 개구부가 배열되고, 유체입구 및 유체출구는 관형본체의 개구부로부터 떨어진 대향 측부상에 위치되며, 할로겐램프는 유체입구 및 유체출구가 위치된 측부상에서만 전극리드를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.The tubular body is divided into two partial chambers in the longitudinal direction by a separating plate member extending in the longitudinal direction, and openings connecting the two partial chambers at one end of the ends of the tubular body are arranged, and the fluid inlet and the fluid outlet are arranged. Is located on an opposite side away from the opening of the tubular body, and the halogen lamp has an electrode lead only on the side where the fluid inlet and the fluid outlet are located. 제 5 항에 있어서, 상기 각 튜브의 일단부는 폐쇄되고, 상기 튜브는 튜브의 폐쇄단 측부상에서 관형본체의 종방향으로 그 개방단부에 대향인 관형본체의 단부판부를 통해 통과하는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.6. A fluid according to claim 5, wherein one end of each tube is closed and the tube passes through the end plate portion of the tubular body opposite the open end in the longitudinal direction of the tubular body on the closed end side of the tube. Heating device. 제 5 항에 있어서, 상기 튜브의 일단부는 폐쇄되고, 튜브의 폐쇄단부는 관형본체내에 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.6. A fluid heating device according to claim 5, wherein one end of the tube is closed and the closed end of the tube is in the tubular body. 제 5 항에 있어서, 각 튜브의 일단부는 그 종방향으로 관형본체의 개방단부에 대향인, 단부판부에 의해 폐쇄된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.6. A fluid heating device according to claim 5, wherein one end of each tube is closed by an end plate portion opposite the open end of the tubular body in its longitudinal direction. 유체출구 및 유체입구를 가진 실리카 유리제의 관형본체, 관형본체안으로 삽입된 실리카 유리제의 하나이상의 튜브 및, 튜브 안으로 삽입된 할로겐램프를 포함하며,A tubular body of silica glass having a fluid outlet and a fluid inlet, at least one tube of silica glass inserted into the tubular body, and a halogen lamp inserted into the tube, 상기 유체입구 및 유체출구는 관형본체의 하나의 단부에서만 배열되고, 상기 유체입구로서 기능하는 튜브는 예정위치로 다른 단부를 향해 연장되며, 상기 할로겐램프는 유체입구 및 유체출구와 같은 측부상에서 전극리드를 갖는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.The fluid inlet and the fluid outlet are arranged at only one end of the tubular body, the tube serving as the fluid inlet extends toward the other end in a predetermined position, and the halogen lamp has an electrode lead on the same side as the fluid inlet and the fluid outlet. Fluid heating device characterized in that it has a. 제 9 항에 있어서, 상기 유체입구로서 기능하는 튜브의 선단부는 전진 및 원주방향으로 감겨지는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.10. A fluid heating apparatus according to claim 9, wherein the tip of the tube serving as the fluid inlet is wound in the forward and circumferential directions. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 각 튜브의 일단부는 폐쇄되고, 상기 튜브는 튜브의 폐쇄단 측부상에서 그 종방향으로 관형본체의 개방단부에 대향인 관형본체의 단부판부를 통해 통과하는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.11. A tube according to claim 9 or 10, wherein one end of each tube is closed and the tube passes through the end plate portion of the tubular body opposite the open end of the tubular body in its longitudinal direction on the closed end side of the tube. And a fluid heating device. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 튜브의 일단부는 폐쇄되고, 튜브의 폐쇄단부는 관형본체내에 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.11. A fluid heating device according to claim 9 or 10, wherein one end of the tube is closed and the closed end of the tube is in the tubular body. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 각 튜브의 일단부는 그 종방향으로 관형본체의 개방단부에 대향인, 단부판부에 의해 폐쇄된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.11. A fluid heating device according to claim 9 or 10, wherein one end of each tube is closed by an end plate portion opposite the open end of the tubular body in its longitudinal direction.
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