KR100432354B1 - Locking device in handler for testing semiconductor - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 도어 잠금장치에 관한 것으로, 핸들러와 같은 장비가 가동중일 경우 외부에서 실수로 도어 또는 하이픽스 등 주요 구성요소들의 잠금상태를 해제하려는 조작력이 가해지더라도 잠금이 해제되지 않고 계속 유지될 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a door lock device of a semiconductor device test handler, and when the equipment such as the handler is in operation, the lock is not released even when an operation force for accidentally unlocking a major component such as a door or a high fix is applied from the outside. It was to keep it going.
이를 위해 본 발명은, 작동유체 공급원과 연결되어 장비의 본체 외측에 구비된 작동스위치의 온/오프(on/off) 작동에 따라 실린더의 개방포트 및 폐쇄포트에 작동유체를 선택적으로 공급하는 주제어밸브와; 상기 실린더의 개방포트와 주제어밸브를 연결하여 작동유체를 이송하는 제 1유압라인과; 실린더의 폐쇄포트를 주제어밸브와 연결하여 작동유체를 이송하는 제 2유압라인과; 작동유체 공급원과 주제어밸브를 연결하여 주제어밸브로 작동유체를 공급하는 공급라인과; 상기 주제어밸브에 연결되어 실린더로부터 리턴되는 작동유체를 외부로 배출하는 리턴라인과; 상기 공급라인을 주제어밸브를 거치지 않고 제 1유압라인과 직접 연결하는 리턴바이패스라인과; 상기 리턴라인을 주제어밸브를 거치지 않고 제 2유압라인과 직접 연결하는 공급바이패스라인과; 장비의 가동에 따른 외부의 전기적 신호의 인가에 따라 상기 주제어밸브를 통한 작동유체 공급 및 리턴을 차단하고 상기 공급바이패스라인과 리턴바이패스라인을 통한 작동유체 공급 및 리턴을 허용하는 유로제어수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 잠금장치를 제공한다.To this end, the present invention, the main control valve is connected to the working fluid source to selectively supply the working fluid to the open and closed ports of the cylinder in accordance with the on / off operation of the operation switch provided on the outside of the main body of the equipment Wow; A first hydraulic line connecting the open port of the cylinder and the main control valve to transfer a working fluid; A second hydraulic line for connecting the closing port of the cylinder to the main control valve and transferring the working fluid; A supply line connecting the working fluid supply source and the main control valve to supply the working fluid to the main control valve; A return line connected to the main control valve for discharging the working fluid returned from the cylinder to the outside; A return bypass line for directly connecting the supply line with the first hydraulic line without passing through the main control valve; A supply bypass line for directly connecting the return line to the second hydraulic line without passing through the main control valve; A flow path control means for interrupting the supply and return of the working fluid through the main control valve and allowing the supply and return of the working fluid through the supply bypass line and the return bypass line according to the application of an external electrical signal according to the operation of the equipment; It provides a lock of the semiconductor device test handler, characterized in that configured to include.
Description
본 발명은 핸들러의 잠금장치에 관한 것으로, 특히 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 온도 테스트 도중 챔버의 도어 또는 기타 기구물을 잠금 또는 해제하여 개폐하는 유/공압실린더가 작동하여 도어가 개방되는 현상을 방지할 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 도어 잠금장치에 관한 것이다.The present invention relates to a locking device of a handler, in particular to prevent the opening of the door by operating the hydraulic / pneumatic cylinder to lock or unlock the door or other mechanism of the chamber during the temperature test in the handler for testing the semiconductor device. And a door lock of a semiconductor device test handler.
일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자(Device)들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 된다.In general, semiconductor devices produced in a production line are subjected to a test for determining whether they are good or bad before shipment.
핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트사이트의 테스트소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 실행하도록 된 장비이다.The handler is a device used to test these semiconductor devices. The semiconductor devices contained in the trays are automatically transferred between processes, mounted on the test sockets of the test site, and the desired test is performed. It is a device that executes the test by sequentially repeating the unloading process.
최근에는 반도체 소자가 이용되는 환경이 다양화됨에 따라 반도체 소자들이 상온에서 뿐만 아니라 고온 또는 저온의 특정 온도 환경에서도 안정적인 제기능을 수행하도록 요구되는 바, 수평식 핸들러들은 자체에서 사용자가 원하는 특정 환경을 조성하여 소정의 온도에서 반도체 소자들의 성능을 테스트할 수 있도록 요구받고 있다.Recently, as the environment in which semiconductor devices are used is diversified, the semiconductor devices are required to perform stable functions not only at room temperature but also at specific temperatures such as high or low temperatures. The composition is required to test the performance of semiconductor devices at a predetermined temperature.
이에 따라 현재에는 핸들러에 복수개의 챔버들을 연접하게 설치하고, 이들 챔버 내부에 히터와 송풍팬 및 액화질소 분사시스템을 설치하여 고온 및 저온의 환경을 조성한 후, 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이들을 각 챔버 간에 연속적으로 이동시키면서 반도체 소자들을 원하는 온도 상태로 만들어주고, 이 상태 하에서 테스트를 수행할 수 있도록 하고 있다.As a result, a plurality of chambers are connected to the handler in parallel, a heater, a blower fan, and a liquefied nitrogen injection system are installed in these chambers to create a high-temperature and low-temperature environment. The semiconductor devices are brought to a desired temperature state while being continuously moved between them, allowing the test to be performed under this state.
상기와 같은 핸들러의 온도 테스트를 위한 챔버들은 외부와 차폐되도록 구성되어 있기 때문에 작업자가 챔버 내부로 접근하여 내부 구성요소의 유지 및 보수 작업을 수행할 수 있도록 챔버 벽면에 도어가 설치되며, 이 도어는 통상 유/공압 실린더의 작동에 의해 수동 또는 자동으로 잠금 및 해제되도록 되어 있다.Since the chambers for the temperature test of the handler are configured to be shielded from the outside, a door is installed on the chamber wall so that an operator can access the inside of the chamber and perform maintenance and repair of the internal components. It is usually designed to lock and unlock manually or automatically by the operation of the hydraulic / pneumatic cylinder.
그러나, 상기와 같은 종래의 챔버 도어는 핸들러의 가동도중 작업자의 실수나 기타 다른 요인에 의해 도어를 잠금 및 해제시키는 유/공압실린더가 작동하여 도어의 잠금이 해제되어 개방되는 경우가 종종 발생하고, 이로 인해 소정의 온도 조건으로 맞추어진 챔버 내부로 외부 공기가 인입되어 챔버 내부가 원하는 온도조건을 유지할 수 없을 뿐만 아니라, 챔버 내부의 고온의 공기가 외부로 유출되면서 작업자가 화상을 입을 우려도 존재하여 장비 안전성에 결함으로 작용하게 된다.However, in the conventional chamber door as described above, the hydraulic / pneumatic cylinder which locks and unlocks the door is often operated by the operator's mistake or other factors during the operation of the handler, and thus the door is unlocked and opened. As a result, outside air is introduced into the chamber that is set to a predetermined temperature condition, and thus, the inside of the chamber cannot be maintained, and there is a possibility that a worker may be burned as the hot air inside the chamber is leaked to the outside. This will cause a defect in the safety of the equipment.
이와 같은 문제점들은 유/공압실린더의 작동에 의해 개폐 작동을 하는 핸들러의 다른 구성요소에도 동일하게 적용된다.These problems apply equally to other components of the handler that open and close by the operation of the hydraulic / pneumatic cylinder.
예컨대, 테스트소켓이 장착된 하이픽스(Hi-Fix)라는 기구물은 핸들러 외부의 테스터(Tester)라는 실제 테스트 결과를 처리하는 장비에 전기적으로 연결되어 핸들러의 테스트사이트에 결합되어 사용되는데, 이 때 상기 하이픽스가 테스트사이트에 결합 및 분리될 때에도 공압실린더에 의해 작동되는 잠금장치가 사용된다.For example, a device called a Hi-Fix equipped with a test socket may be connected to the test site of the handler by being electrically connected to a device that processes an actual test result called a tester outside the handler. The locking mechanism actuated by the pneumatic cylinder is also used when the high fix is coupled to or disconnected from the test site.
따라서, 핸들러가 가동되는 도중에 상기 하이픽스의 잠금장치가 해제될 경우, 테스트의 진행이 되지 않을 뿐만 아니라, 심한 경우 테스트할 고가의 반도체 소자들이 손상되는 문제점이 있다.Therefore, when the lock of the high fix is released while the handler is in operation, not only the test may be progressed, but also the expensive semiconductor devices to be tested may be damaged in severe cases.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 프로그램이 동작하여 장비가 가동중에는 어떠한 조작력이 가해져도 챔버의 도어 및 하이픽스와 같은 구조물을 개폐시키는 유/공압실린더가 항상 폐쇄(잠금) 상태를 유지하도록 함으로써 안전성을 확보할 수 있는 반도체 소자 테스트 핸들러의 잠금장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, the hydraulic system is always closed (locked) to open and close the structure, such as the door and high-fix of the chamber, even if any operating force is applied while the program is running the equipment operating the program It is an object of the present invention to provide a locking device for a semiconductor device test handler which can ensure safety by maintaining the state.
도 1은 본 발명에 따른 잠금장치의 일 실시예를 나타내는 챔버 도어의 개폐 공압회로도로, 도어 폐쇄 작동 상태의 도면1 is a pneumatic circuit diagram of the opening and closing of the chamber door showing an embodiment of the locking device according to the present invention, a view of the door closing operation state
도 2는 도 1의 잠금장치의 도어 개방 작동을 나타내는 공압회로도Figure 2 is a pneumatic circuit diagram showing the door opening operation of the locking device of Figure 1
도 3은 도 1의 잠금장치의 도어 개폐 작동 잠금기능이 작동한 상태의 공압회로도3 is a pneumatic circuit diagram of a door opening and closing operation locking function of the locking device of FIG.
* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *Explanation of Reference Symbols in Major Parts of Drawings
1 : 실린더 2 : 주제어밸브1 cylinder 2 main controller
3 : 솔레노이드밸브 4 : 작동스위치3: solenoid valve 4: operation switch
5, 6 : 제 1,2유압라인 7 : 중간 공급라인5, 6: 1st, 2nd hydraulic line 7: Intermediate supply line
7a : 제 1체크밸브 8 : 중간 리턴라인7a: 1st check valve 8: intermediate return line
8a : 제 2체크밸브 9 : 공급라인8a: 2nd check valve 9: supply line
10, 11 : 제 1,2 리턴라인 12 : 공급바이패스라인10, 11: 1,2 return line 12: supply bypass line
12a : 제 4체크밸브 13 : 리턴바이패스라인12a: 4th check valve 13: return bypass line
13a : 제 3체크밸브 Po : 공압공급원13a: 3rd check valve Po: Pneumatic supply source
D1, D2 : 제 1,2배출구 OP : 개방포트D1, D2: 1st and 2nd outlet OP: Opening port
CP : 폐쇄포트CP: Closed Port
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 핸들러 장비의 본체에 설치되어 개방포트 및 폐쇄포트를 통해 유입되는 작동유체에 의해 전후진 운동하면서 구조물을 잠금 및 해제하는 실린더와, 이 실린더의 개방포트 및 폐쇄포트에 선택적으로 작동유체를 공급하도록 된 것에 있어서, 작동유체 공급원과 연결되어 장비의 본체 외측에 구비된 작동스위치의 온/오프(on/off) 작동에 따라 상기 실린더의 개방포트 및 폐쇄포트에 작동유체를 선택적으로 공급하는 주제어밸브와; 상기 실린더의 개방포트와 주제어밸브를 연결하여 작동유체를 이송하는 제 1유압라인과; 실린더의 폐쇄포트를 주제어밸브와 연결하여 작동유체를 이송하는 제 2유압라인과; 작동유체 공급원과 주제어밸브를 연결하여 주제어밸브로 작동유체를 공급하는 공급라인과; 상기 주제어밸브에 연결되어 실린더로부터 리턴되는 작동유체를 외부로 배출하는 리턴라인과; 상기 공급라인을 주제어밸브를 거치지 않고 제 1유압라인과 직접 연결하는 리턴바이패스라인과; 상기 리턴라인을 주제어밸브를 거치지 않고 제 2유압라인과 직접 연결하는 공급바이패스라인과; 장비의 가동에 따른 외부의 전기적 신호의 인가에 따라 상기 주제어밸브를 통한 작동유체 공급 및 리턴을 차단하고 상기 공급바이패스라인과 리턴바이패스라인을 통한 작동유체 공급 및 리턴을 허용함으로써 장비 가동시에는 주제어밸브의 작동에 상관없이 항상 실린더의 폐쇄포트로 작동유체가 공급되도록 하기 위한 유로제어수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 잠금장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, the cylinder is installed in the main body of the handler equipment to lock and release the structure while moving back and forth by the working fluid flowing through the opening port and the closing port, and the opening port of the cylinder And selectively supplying a working fluid to the closing port, wherein the opening port and the closing port of the cylinder are connected in accordance with an on / off operation of an operating switch provided outside the main body of the equipment in connection with the working fluid source. A main control valve for selectively supplying a working fluid to the main body; A first hydraulic line connecting the open port of the cylinder and the main control valve to transfer a working fluid; A second hydraulic line for connecting the closing port of the cylinder to the main control valve and transferring the working fluid; A supply line connecting the working fluid supply source and the main control valve to supply the working fluid to the main control valve; A return line connected to the main control valve for discharging the working fluid returned from the cylinder to the outside; A return bypass line for directly connecting the supply line with the first hydraulic line without passing through the main control valve; A supply bypass line for directly connecting the return line to the second hydraulic line without passing through the main control valve; When operating the equipment by interrupting the supply and return of the working fluid through the main control valve in accordance with the application of an external electrical signal according to the operation of the equipment and allowing the supply and return of the working fluid through the supply bypass line and the return bypass line It provides a locking device for a semiconductor device test handler, characterized in that it comprises a flow path control means for always supplying the working fluid to the closed port of the cylinder regardless of the operation of the main control valve.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 유로제어수단은, 상기 공급라인 상에서 주제어밸브와 리턴바이패스라인의 연결지점 사이에 설치되어 주제어밸브로의 작동유체 흐름만 허용하는 제 1체크밸브와; 상기 리턴라인 상에서 주제어밸브와 공급바이패스라인의 연결지점 사이에 설치되어 주제어밸브로부터 리턴되는 작동유체 흐름만 허용하는 제 2체크밸브와; 상기 리턴바이패스라인 상에 설치된 제 3체크밸브와; 상기 공급바이패스라인 상에 설치된 제 4체크밸브 및; 상기 공급라인과 리턴라인 상에 설치되어, 외부의 전기적신호에 따라 변환되면서 작동유체 공급원과 연결된 공급라인을 주제어밸브와 연결된 리턴라인과 연결되도록 변환시킴과 동시에, 외부와 연결된 리턴라인을 상기 주제어밸브와 연결된 공급라인과 연결되도록 변환시켜, 공급라인을 통해 공급되는 작동유체를 공급바이패스라인을 통해 제 2유압라인으로 공급하고, 제 1유압라인을 통해 리턴되는 작동유체를 리턴바이패스라인을 통해 리턴라인으로 유도하도록 제어하는 유로제어밸브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, the flow path control means includes: a first check valve installed between the main control valve and the connection bypass point of the return bypass line on the supply line to allow only a working fluid flow to the main control valve; A second check valve installed between the main control valve and the supply bypass line on the return line to allow only a working fluid flow returned from the main control valve; A third check valve installed on the return bypass line; A fourth check valve installed on the supply bypass line; It is installed on the supply line and the return line, and converts the supply line connected to the working fluid supply source to be connected to the return line connected to the main control valve while being converted in accordance with the external electrical signal, the return line connected to the external main control valve It is converted to be connected to the supply line connected with the supply line, supplying the working fluid supplied through the supply line to the second hydraulic line through the supply bypass line, the working fluid returned through the first hydraulic line through the return bypass line It characterized in that it comprises a flow path control valve for controlling to lead to the return line.
이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러의 잠금장치의 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a locking device of a semiconductor device test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 잠금장치의 공압회로 구성을 나타낸 것으로, 이해를 돕기 위해 이하의 설명에서 상기 잠금장치는 핸들러의 챔버 도어를 개방 및 폐쇄하기 위한 잠금장치로 하여 설명한다.1 to 3 show the configuration of the pneumatic circuit of the locking device according to the present invention, for clarity, the locking device will be described as a locking device for opening and closing the chamber door of the handler.
도 1 내지 도 3에 도시된 것과 같이, 핸들러의 챔버 도어에 결합되는 실린더(1)의 전방부와 후방부 각각에는 공압이 유통되는 개방포트(OP) 및 폐쇄포트(CP)가 형성되어, 상기 개방포트(OP)를 통해 공압이 유입되면 실린더 로드(1a)가 후진하면서 도어의 잠금이 해제되어 도어가 개방되고, 상기 폐쇄포트(CP)를 통해 공압이 유입되면 실린더 로드(1a)가 전진하면서 도어가 잠기도록 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 3, an opening port (OP) and a closing port (CP) through which air pressure flows are formed in each of the front and rear portions of the cylinder 1 coupled to the chamber door of the handler. When pneumatic flows through the opening port OP, the cylinder rod 1a moves backward while the door is unlocked, and when pneumatic flows through the closing port CP, the cylinder rod 1a moves forward. The door is configured to be locked.
상기 실린더(1)의 개방포트(OP) 및 폐쇄포트(CP)는 각각 제 1유압라인(5)과 제 2유압라인(6)을 매개로 주제어밸브(2)와 연결되고, 주제어밸브(2)는 중간 공급라인(7) 및 중간 리턴라인(8)을 매개로 솔레노이드밸브(3)와 연결되며, 솔레노이드밸브(3)는 공급라인(9)에 의해 공압공급원(Po)에 연결됨과 더불어 제 1,2리턴라인(10, 11)에 의해 외부의 배출구(D1, D2)와 각각 연결된 구성으로 되어 있다.The opening port OP and the closing port CP of the cylinder 1 are connected to the main control valve 2 via the first hydraulic line 5 and the second hydraulic line 6, respectively, and the main control valve 2 ) Is connected to the solenoid valve (3) via the intermediate supply line (7) and the intermediate return line (8), the solenoid valve (3) is connected to the pneumatic supply (Po) by the supply line (9) The first and second return lines 10 and 11 are connected to the external outlets D1 and D2, respectively.
상기 중간 공급라인(7)에는 주제어밸브(2)로 공급되는 공압 흐름만 허용하도록 제 1체크밸브(7a)가 설치되고, 중간 리턴라인(8)에는 주제어밸브(2)로부터 솔레노이드밸브(3)쪽으로 리턴되는 공압 흐름만 허용하는 제 2체크밸브(8a)가 설치된다.The intermediate supply line 7 is provided with a first check valve 7a to allow only pneumatic flow to the main control valve 2, and the intermediate return line 8 has a solenoid valve 3 from the main control valve 2. A second check valve 8a is provided which allows only pneumatic flow returned to the side.
또한, 상기 중간 공급라인(7)에는 제 1유압라인(5)을 주제어밸브(2)를 거치지 않고 솔레노이드밸브(3)와 바로 연결시키는 리턴바이패스라인(13)이 연결되고, 상기 중간 리턴라인(8)에는 제 2유압라인(6)을 주제어밸브(2)를 거치지 않고 솔레노이드밸브(3)와 바로 연결시키는 공급바이패스라인(12)이 연결된다.In addition, the intermediate supply line 7 is connected to a return bypass line 13 directly connecting the first hydraulic line 5 to the solenoid valve 3 without passing through the main control valve 2. (8) is connected to the supply bypass line (12) for directly connecting the second hydraulic line (6) with the solenoid valve (3) without passing through the main control valve (2).
상기 리턴바이패스라인(13)에는 제 1유압라인(5)을 통해 솔레노이드밸브(3) 쪽으로 리턴되는 공압 흐름만 허용하는 제 3체크밸브(13a)가 설치되고, 공급바이패스라인(12)에는 솔레노이드밸브(3)로부터 제 2유압라인(6) 쪽으로 공급되는 공압 흐름만 허용하도록 제 4체크밸브(12a)가 설치된다.The return bypass line 13 is provided with a third check valve 13a for allowing only pneumatic flow returned to the solenoid valve 3 through the first hydraulic line 5, and in the supply bypass line 12. The fourth check valve 12a is installed to allow only the pneumatic flow supplied from the solenoid valve 3 toward the second hydraulic line 6.
한편, 상기 주제어밸브(2)는 핸들러 본체 외부에 설치되는 작동스위치(4)의 조작에 의해 변환되도록 되어 있으며, 솔레노이드밸브(3)는 핸들러의 가동 여부에 따라 핸들러의 제어유닛에서 송출된 전기적 신호에 의해 변환 작동하게 된다.On the other hand, the main control valve (2) is to be converted by the operation of the operating switch (4) installed outside the handler body, the solenoid valve (3) is an electrical signal sent from the control unit of the handler depending on whether the handler is operating The conversion works by.
상기와 같이 구성된 잠금장치의 작동은 다음과 같이 이루어진다.Operation of the locking device configured as described above is made as follows.
먼저, 도 1을 참조하여 도어가 잠긴 상태에서의 공압회로 구성을 살펴보면, 핸들러를 가동시키기 전에는 솔레노이드밸브(3)의 변환은 일어나지 않는 바, 이 때 솔레노이드밸브(3)는 공급라인(9)을 중간 공급라인(7)과 연결함과 동시에 제 1리턴라인(10)을 중간 리턴라인(8)과 연결시킨다.First, referring to FIG. 1, the configuration of the pneumatic circuit in the locked state of the door does not change the solenoid valve 3 until the handler is operated. In this case, the solenoid valve 3 is connected to the supply line 9. The first return line 10 is connected to the intermediate return line 8 at the same time as the intermediate supply line 7.
이어, 작업자가 챔버 도어를 잠그기 위해 작동스위치(4)를 온(on)시키면, 주제어밸브(2)는 중간 공급라인(7)을 제 2유압라인(6)과 연결시킴과 동시에 중간 리턴라인(8)을 제 1유압라인(5)과 연결시킨다.Then, when the operator turns on the operation switch 4 to lock the chamber door, the main control valve 2 connects the intermediate supply line 7 with the second hydraulic line 6 and at the same time the intermediate return line ( 8) is connected to the first hydraulic line (5).
따라서, 공압공급원(Po)으로부터 공급라인(9)을 통해 공급되는 공압은, 솔레노이드밸브(3)와 중간 공급라인(7), 주제어밸브(2) 및 제 2유압라인(6)을 차례로 거치며 유동하여 실린더(1)의 폐쇄포트(CP) 내로 유입되고, 이에 따라 실린더 로드(1a)는 전진하여 도어를 폐쇄시킨다.Therefore, the pneumatic pressure supplied from the pneumatic supply source Po through the supply line 9 flows through the solenoid valve 3, the intermediate supply line 7, the main control valve 2, and the second hydraulic line 6 in order. This flows into the closing port CP of the cylinder 1, whereby the cylinder rod 1a moves forward to close the door.
실린더 로드(1a)가 전진함에 따라 실린더(1)의 전방에 채워져 있던 공압은 실린더(1)의 개방포트(OP)를 통해 제 1유압라인(5)으로 리턴되고, 이어서 주제어밸브(2)와 중간 리턴라인(8), 솔레노이드밸브(3) 및 제 1리턴라인(10)을 차례로 거쳐 제 1배출구(D1)를 통해 외부로 배출된다.As the cylinder rod 1a moves forward, the pneumatic pressure filled in front of the cylinder 1 is returned to the first hydraulic line 5 through the opening port OP of the cylinder 1, and then the main control valve 2 and After the intermediate return line 8, the solenoid valve 3, and the first return line 10, they are discharged to the outside through the first outlet D1.
도 2에 도시된 것을 참조하면, 상기와 같이 핸들러가 가동되지 않는 상태에서 챔버 도어의 잠김을 해제하기 위해 작업자가 작동스위치(4)를 오프(off)시키면, 솔레노이드밸브(3)는 핸들러가 가동되지 않은 상태이므로 아무런 변화가 없이 전술한 것과 같은 연결상태를 보이며, 주제어밸브(2)가 작동스위치(4) 조작에 의해 변환되어 중간 공급라인(7)을 제 1유압라인(5)과 연결시킴과 동시에 중간 리턴라인(8)을 제 2유압라인(6)과 연결시킨다.Referring to FIG. 2, when the operator turns off the operation switch 4 in order to unlock the chamber door in the state where the handler is not operated as described above, the solenoid valve 3 is operated by the handler. Since it is not in the state, it shows the same connection state as described above without any change, and the main control valve 2 is converted by the operation of the operation switch 4 to connect the intermediate supply line 7 with the first hydraulic line 5. At the same time, the intermediate return line 8 is connected to the second hydraulic line 6.
따라서, 공압공급원(Po)으로부터 공급되는 공압은 솔레노이드밸브(3)와 중간 공급라인(7), 주제어밸브(2) 및 제 1유압라인(5)을 차례로 거치면서 실린더(1)의 개방포트(OP)로 유입되어 실린더 로드(1a)를 후진시키고, 이에 따라 챔버 도어의 잠김상태가 해제되면서 개방된다.Therefore, the pneumatic pressure supplied from the pneumatic supply source Po passes through the solenoid valve 3, the intermediate supply line 7, the main control valve 2, and the first hydraulic line 5, in turn. OP) flows back to the cylinder rod (1a), thereby opening the unlocked state of the chamber door.
상기와 같이 실린더 로드(1a)가 후진하게 되면, 실린더(1)의 후방에 위치한 공압은 실린더(1)의 폐쇄포트(CP)를 통해 제 2유압라인(6)으로 리턴되고, 이어서 주제어밸브(2)와 중간 리턴라인(8) 및 제 1리턴라인(10)을 차례로 거쳐 제 1배출구(D1)를 통해 외부로 배출된다.When the cylinder rod 1a is reversed as described above, the pneumatic pressure located at the rear of the cylinder 1 is returned to the second hydraulic line 6 through the closing port CP of the cylinder 1, and then the main control valve ( 2) and through the intermediate return line 8 and the first return line 10 in order to be discharged to the outside through the first discharge port (D1).
한편, 도 3은 챔버 도어가 잠긴 상태에서 핸들러가 가동중일 때의 잠금장치의 공압회로 구성을 나타내고 있는 바, 핸들러가 가동되면 솔레노이드밸브(3)가 변환되면서 공급라인(9)을 중간 리턴라인(8)과 연결시킴과 동시에 제 2리턴라인(11)을 공급라인(9)과 연결시킨다.On the other hand, Figure 3 shows the configuration of the pneumatic circuit of the locking device when the handler is operating while the chamber door is locked, the solenoid valve (3) is converted when the handler is operated, the supply line (9) to the intermediate return line ( 8) and the second return line 11 and the supply line (9).
이에 따라 공급라인(9)을 통해 공급되는 공압은 솔레노이드밸브(3)를 거쳐 중간 리턴라인(8)으로 유입되고, 제 2체크밸브(8a)에 의해 주제어밸브(2)쪽으로의 유동이 차단되어 공급바이패스라인(12)을 통해 제 2유압라인(6)으로 공급되며, 실린더(1)의 폐쇄포트(CP)를 통해 실린더(1) 내부로 유입되어 도어 잠김 상태를 유지하게 한다.Accordingly, the pneumatic pressure supplied through the supply line 9 flows into the intermediate return line 8 through the solenoid valve 3, and the flow to the main control valve 2 is blocked by the second check valve 8a. It is supplied to the second hydraulic line 6 through the supply bypass line 12, and flows into the cylinder 1 through the closed port CP of the cylinder 1 to maintain the door locked state.
실린더(1)의 개방포트(OP)를 통해 리턴되는 공압은, 주제어밸브(2)를 통해 리턴되는 유로가 제 1체크밸브(7a)에 의해 차단되어 있으므로 제 1유압라인(5)을 통해 리턴바이패스라인(13)으로 유동한 후 솔레노이드밸브(3)를 거쳐서 제 2리턴라인(11)으로 리턴된다.The pneumatic pressure returned through the opening port OP of the cylinder 1 is returned through the first hydraulic line 5 since the flow path returned through the main control valve 2 is blocked by the first check valve 7a. After flowing to the bypass line 13, it is returned to the second return line 11 via the solenoid valve 3.
요컨대, 핸들러가 가동전에는 제 3체크밸브(13a)와 제 4체크밸브(12a)에 의해 공급바이패스라인(12)과 리턴바이패스라인(13)을 통하는 유로는 차단되어 솔레노이드밸브(3)를 통과한 공압은 오직 주제어밸브(2)를 통해서만 유동할 수 있게 되지만, 핸들러가 가동되면 솔레노이드밸브(3)가 변환되면서 제 1체크밸브(7a)와 제 2체크밸브(8a)에 의해 주제어밸브(2)를 통하는 유로는 차단되어 솔레노이드밸브(3)를 통과한 공압은 오직 공급바이패스라인(12)과 리턴바이패스라인(13)을 통하는 유로를 통해서만 유동할 수 있게 된다.In other words, before the handler is operated, the flow path through the supply bypass line 12 and the return bypass line 13 is blocked by the third check valve 13a and the fourth check valve 12a, and the solenoid valve 3 is closed. Passed air pressure can flow only through the main control valve (2), but when the handler is operated, the solenoid valve (3) is converted to convert the solenoid valve (1) by the first check valve (7a) and the second check valve (8a). 2) the flow passage through the solenoid valve 3 is blocked so that the pneumatic pressure passing through the solenoid valve 3 can flow only through the flow passage through the supply bypass line 12 and the return bypass line 13.
따라서, 핸들러가 가동중일 때는 작동스위치(4)를 조작하더라도 도어 잠금 및 해제 작동에는 전혀 영향이 미치지 않게 되고, 도어는 잠김 상태를 유지할 수 있게 된다.Therefore, even when the handler is in operation, even if the operation switch 4 is operated, the door locking and releasing operation is not affected at all, and the door can be kept locked.
한편, 전술한 실시예는 핸들러 가동시 챔버 도어의 잠김상태를 유지할 수 있는 잠금장치에 대해 설명하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 핸들러의 가동중 잠금상태가 임의로 해제되어서는 안되는 모든 구성요소, 예컨대 하이픽스 잠금장치 등에 동일하거나 유사하게 적용할 수 있음은 물론이다.On the other hand, while the above embodiment has described a locking device that can maintain the locked state of the chamber door when the handler is operating, the present invention is not limited to this, and all the components to which the locking state of the handler should not be released at random, For example, it can be applied to the same or similar to the high-fix lock device.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 핸들러와 같은 장비가 가동중일 경우 외부에서 실수로 도어 또는 하이픽스 등 주요 구성요소들의 잠금상태를 해제하려는 조작력이 가해지더라도 잠금이 해제되지 않고 계속 유지될 수 있게 되므로, 장비 가동 중단 또는 설정된 환경 변화에 따른 손실을 방지할 수 있게 되어 장비의 신뢰성이 향상될 수 있다.As described above, according to the present invention, when the equipment such as the handler is in operation, even if an operation force to unlock the main components such as the door or high fix by mistake from the outside can be maintained without being unlocked. In addition, the reliability of the equipment can be improved by preventing the loss due to equipment downtime or a set environmental change.
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| KR10-2001-0071086A KR100432354B1 (en) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Locking device in handler for testing semiconductor |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR20030040676A KR20030040676A (en) | 2003-05-23 |
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2001
- 2001-11-15 KR KR10-2001-0071086A patent/KR100432354B1/en not_active IP Right Cessation
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Also Published As
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|---|---|
| KR20030040676A (en) | 2003-05-23 |
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