KR100424301B1 - The manufacturing method of Plasma Display Panel - Google Patents

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KR100424301B1
KR100424301B1 KR10-2001-0057598A KR20010057598A KR100424301B1 KR 100424301 B1 KR100424301 B1 KR 100424301B1 KR 20010057598 A KR20010057598 A KR 20010057598A KR 100424301 B1 KR100424301 B1 KR 100424301B1
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Abstract

본 발명은 PDP 셀 내부의 방전가스 압력을 공정압력과 동일하도록 하기 위하여 실재의 도포 경로에 마이크로 튜브를 복수개 설치하여 방전전압이 증가되는 것을 방지할 수 있도록 한 PDP 제조방법에 관한 것으로써, 패널을 플라즈마 챔버 내부로 로딩하여 세정하는 제1단계와, PDP 셀 내부의 방전가스 압력을 챔버 내의 공정압력과 동일하게 하기 위하여, 로딩된 패널의 하면기판에 다수개의 마이크로 튜브가 실재를 관통하는 형태가 되도록 장착하고 상기 실재를 도포하는 제2단계와, 상기 플라즈마 챔버 내부를 진공 배기시킨 후 방전가스를 주입하는 제3단계와, 하면기판을 정렬시키면서 상승시켜 상면기판과 하면기판을 합착시키는 제4단계와, 상기 플라즈마 챔버의 압력과 패널 내부의 압력이 일치되면 상기 마이크로 튜브를 제거하는 제5단계와, 실재를 경화시킨 후 플라즈마 챔버로부터 패널을 언로딩시키는 제6단계로 이루어져, 실제 공정에서 발생하는 방전전압의 증가를 방지할 수 있어 제품의 내구성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.The present invention relates to a PDP manufacturing method in which a plurality of microtubes are installed in a coating path of a real material in order to make the discharge gas pressure inside the PDP cell equal to the process pressure, thereby preventing the discharge voltage from increasing. A first step of loading and cleaning the inside of the plasma chamber, and in order to make the discharge gas pressure inside the PDP cell equal to the process pressure in the chamber, a plurality of microtubes are formed to penetrate the bottom substrate of the loaded panel. A second step of mounting and applying the actual material, a third step of evacuating the inside of the plasma chamber and injecting a discharge gas, and a fourth step of bringing the upper and lower substrates together by aligning the lower and upper substrates; And a fifth step of removing the microtube when the pressure of the plasma chamber and the pressure inside the panel match. After curing made of a sixth step of unloading a panel from a plasma chamber, to avoid the increase of the discharge voltage generated from the actual process it is advantageous to improve the durability and reliability of the product.

Description

피디피 제조방법 { The manufacturing method of Plasma Display Panel }PD manufacturing method {The manufacturing method of Plasma Display Panel}

본 발명은 멀티 미디어 시대의 새로운 화상 표시장치중 하나인 PDP의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 상판과 하판을 합착시킬 때 마이크로 튜브를 이용하여 PDP 셀 내부의 압력을 합착챔버의 압력과 일치시킴으로써 예측한 방전전압으로 PDP를 제작할 수 있도록 하는 PDP 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a PDP, which is one of the new image display apparatuses in the multimedia era. The present invention relates to a PDP manufacturing method for producing a PDP with a discharge voltage.

현재와 같은 멀티 미디어의 시대에는 더 세밀하고, 더 크고, 더욱 자연 색에 가깝게 색상을 잘 표현해 줄 수 있는 디스플레이 장치의 등장이 요구되고 있다. 그런데, 40인치 이상의 큰 화면을 구성하기에는 현재의 CRT(Cathode Ray Tube) 구조나 LCD(Liquid Crystal Display) 방식으로는 한계가 있는 것이 현실이다. 따라서, "차세대 디스플레이 장치는 무엇인가?"라는 질문에 여러 가지 해답이 도출되고 있으며, PDP(Plasma Display Panel) 또한 상기한 질문의 해답 중 하나로 많은 사람들이 이야기하고 있다.In the current era of multimedia, display devices that can express colors more finely, larger, and closer to natural colors are required. However, there is a limit to the current CRT (Cathode Ray Tube) structure or LCD (Liquid Crystal Display) method to form a large screen of 40 inches or more. Accordingly, many questions have been derived from the question "What is the next-generation display device?", And PDP (Plasma Display Panel) is also one of the answers.

PDP는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 상면기판(10)과 하면기판(20)을 형성하는 2장의 평면유리 위에 필요한 몇 가지 막을 입힌 후, 이들을 서로 붙임으로써 완성되는 디스플레이 장치이다.As shown in FIGS. 1 and 2, the PDP is a display device which is completed by coating several films required on two flat glasses forming the upper substrate 10 and the lower substrate 20 and then attaching them to each other.

PDP는 하면기판(20)과 상면기판(10)을 붙여서 제조한다. 평면유리(21)의 상측에 어드레스 전극(22)을 설치한 후 유전체막(23)을 형성하고 각 셀을 구분할 수 있도록 격벽(24)을 설치한 후 유전체막(23)과 격벽(24)주위에 형광체(25)를 도포하여 하면기판(20)을 완성하고, 또 다른 평면유리(11)의 하측에 보조전극(12) 및 투명전극(13)을 설치한 후 유전체막(14)을 형성하고 그 아래쪽에 보호막(15)을 형성하여 상면기판(10)을 완성한 후 상면기판(10)과 하면기판(20)을 약간의 틈새를 두고 부착시킴으로써 PDP의 제조를 완성하게 된다. 물론, 상기 상면기판(10)과 하면기판(20) 사이에는 불활성가스인 방전가스를 집어넣어야 한다.The PDP is manufactured by attaching the lower substrate 20 and the upper substrate 10. After the address electrode 22 is provided on the flat glass 21, the dielectric film 23 is formed, and the partition wall 24 is formed to distinguish each cell, and then the dielectric film 23 and the partition wall 24 are surrounded. Phosphor 25 is applied to the bottom substrate 20, and the auxiliary electrode 12 and the transparent electrode 13 are provided below the other flat glass 11, and then the dielectric film 14 is formed. After the upper substrate 10 is completed by forming a protective film 15 below the upper substrate 10, the upper substrate 10 and the lower substrate 20 are attached to each other with a small gap to complete the manufacture of the PDP. Of course, a discharge gas that is an inert gas must be inserted between the upper and lower substrates 10 and 20.

상기와 같이 구성된 PDP의 작동 원리를 살펴보면 다음과 같다.The operation principle of the PDP configured as described above is as follows.

기판(10)(20) 사이에 투입된 방전가스에 전기 에너지를 가하여 방전시키면 자외선이 나오는데, 이 자외선 중 특정 파장대의 자외선이 하면기판(20)의 형광체(25)를 발광시켜서 가시광선을 만들게 되므로 우리들은 화면을 통해서 영상을 볼 수 있게 된다. 상면기판(10)과 하면기판(20)에 의해 형성된 패널의 내부에서는 불활성가스가 방전을 일으키므로 패널 내부에 입혀진 막들이 단단하게 잘 만들어져 있어야 하고, 불활성 가스 이외에는 다른 불순가스가 들어가거나 방전 중에 생기지 않도록 해야 한다. 이것은 제품 성능과 수명을 좌우한다.When electric energy is applied to discharge gas discharged between the substrates 10 and 20 to discharge, ultraviolet rays are emitted. The ultraviolet rays of the specific wavelength band emit visible phosphors by emitting the phosphor 25 of the substrate 20. Will be able to see the image on the screen. Since the inert gas discharges inside the panel formed by the upper substrate 10 and the lower substrate 20, the films coated on the inside of the panel should be firmly made, and other impurities other than the inert gas may not enter or be generated during discharge. It should not be. This depends on product performance and lifetime.

여기서 PDP의 제조공정을 살펴보면 전공정과 후공정 및 모듈공정으로 구분할 수 있다. 전공정은 상면기판과 하면기판을 제조할 수 있도록 평면유리에 필요로 하는 여러 가지의 막을 입히는 공정이고, 후공정은 상면기판과 하면기판의 합착, 배기, 방전 가스 주입 및 팁 오프, 에이징, 검사 단계로 구성되어 있다. 또, 모듈공정은 PDP를 완성하는 최종 공정으로서 회로의 실장, 세트를 조립하는 단계로 구성되어 있다.Here, the manufacturing process of the PDP can be classified into a front process, a post process, and a module process. In the previous process, various films required for flat glass can be coated to manufacture the upper and lower substrates.The latter process is the bonding of the upper and lower substrates, exhaust, discharge gas injection and tip off, aging, and inspection steps. Consists of In addition, the module process is a final process of completing the PDP, and is composed of the steps of mounting and assembling a circuit.

전공정은 상기한 바와 같이 상면기판과 하면기판을 제작하는 공정이고, 완성된 상면기판과 하면기판은 후공정으로 투입된다. 후공정의 목적은 상면기판과 하면기판을 붙이고, 상면기판과 하면기판에 묻은 오염물질을 깨끗이 제거하는 것이다. 또, PDP가 만족할 만한 성능과 기능을 낼 수 있는 지를 최종 확인하는 것이 그 목적중 하나이며, 방전가스를 주입하고 에이징한 후 검사를 실시한다.The previous step is a step of manufacturing the upper and lower substrates as described above, the finished upper and lower substrates are put into the later process. The purpose of the post process is to attach the upper and lower substrates, and to remove contaminants from the upper and lower substrates. In addition, one of the objectives is to finally confirm whether the PDP can achieve satisfactory performance and function, and the inspection is performed after the discharge gas is injected and aged.

후공정의 제1단계는 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 상면기판(10)과 하면기판(20)을 합착시키는 공정이다. 상면기판(10)에 실재(seal材)를 바른 후 하면기판(20)을 접근시켜 고정한 후 실재를 고온으로 녹여 서로 붙이게 되는데, 이 것을 기판의 합착이라 한다. 기판의 합착에 사용되는 실재의 주성분은 프릿(frit;유리, SiO2)이며, 도포성과 접착성의 향상을 위해 약간의 첨가제가 섞여 있다.The first step of the post process is a process of bonding the upper substrate 10 and the lower substrate 20 as shown in FIGS. 3 and 4. After applying a seal to the upper substrate 10, the lower substrate 20 is approached and fixed, and then the melts are melted at a high temperature to be bonded to each other. The main component of the material used for bonding the substrate is frit (glass, SiO 2 ), and some additives are mixed in order to improve applicability and adhesion.

합착 방법을 자세히 살펴보면 다음과 같다. 디스펜서를 이용하여 상면기판(10)의 테두리에 프릿 실(30)을 일정한 두께로 도포한 다음 120℃ 정도의 온도에서 건조를 한다. 그리고 실재 내에 남아있는 불순물을 제거하기 위해 400℃ 이상의 온도에서 가소성을 시행하며, 그 후 상면기판(10)과 하면기판(20)을 얼라인(align)하고 합착용 집게(35)로 고정한다. 이후, 실재의 용융점 이상의 온도에서 프릿 실(30)을 용융시켜 상면기판(10)과 하면기판(20)이 합착되도록 한다.Looking at the bonding method in detail as follows. Using a dispenser, the frit seal 30 is applied to the edge of the upper substrate 10 to a predetermined thickness and then dried at a temperature of about 120 ° C. Then, plasticity is performed at a temperature of 400 ° C. or higher in order to remove impurities remaining in the real material, and then the upper and lower substrates 10 and 20 are aligned and fixed to the bonding forceps 35. Thereafter, the frit seal 30 is melted at a temperature equal to or higher than the melting point of the actual material so that the upper substrate 10 and the lower substrate 20 are bonded together.

후공정의 두 번째 단계는 상면기판(10)과 배면기판(20)에 형성된 각종 막에 붙어 있는 불순물과 막에서 나오는 불순가스를 제거하는 공정이다. 불순물 및 불순가스의 제거는 높은 진공과 배기의 반복을 통해 이루어진다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 상면기판(10)과 하면기판(20)을 합착할 때 배기관(40)을 설치하고, 그 배기관(40)을 통해 진공 또는 배기가 이루어지도록 하는 것이다. 상기 배기관(40)은 일반적으로 긴 대통의 유리관을 사용하는데, 팁(tip)이라고도 하고 기판을 합착시킬 때 하면기판(20)에 프릿 링(31)을 이용하여 설치한다. 즉, 하면기판(20)에 배기홀(27)을 형성하고, 상기 배기홀(27)에 배기관(40)을 일치시킨 후 프릿 링(31)을용융 및 응고시켜 설치를 완료한다.The second step of the post process is to remove impurities attached to various films formed on the upper substrate 10 and the rear substrate 20 and the impurity gas from the membrane. Removal of impurities and impurity gases is achieved through high vacuum and exhaust repetition. That is, as shown in FIG. 3, when the upper substrate 10 and the lower substrate 20 are attached to each other, an exhaust pipe 40 is installed and a vacuum or exhaust is performed through the exhaust pipe 40. The exhaust pipe 40 generally uses a long cylindrical glass tube, which is also called a tip, and is installed on the lower substrate 20 using a frit ring 31 when the substrate is bonded. That is, an exhaust hole 27 is formed in the lower substrate 20, the exhaust pipes 40 are aligned with the exhaust hole 27, and the frit ring 31 is melted and solidified to complete the installation.

후공정의 마지막 단계는 방전가스를 주입하고 에이징한 후 검사하는 공정이다. 배기관(40)을 통해서 방전가스를 주입하고, 주입된 방전가스가 새어 나오지 않게 배기관(40) 끝에 열을 가하여 녹여 밀봉한다. 이 과정을 팁 오프(Tip-Off)라 하며, 팁 오프 이후에는 에이징 및 검사를 실시한다.The final stage of the post process is the process of injecting, aging, and discharging the discharge gas. Discharge gas is injected through the exhaust pipe 40, and heat is melted and sealed at the end of the exhaust pipe 40 so that the injected discharge gas does not leak. This process is called tip-off, and aging and inspection are performed after the tip-off.

후공정의 기판 합착, 배기, 가스 주입 및 팁 오프의 공정은 동일한 설비에서 할 수 있거나 혹은 기판 합착은 별도 설비에서 하고 나머지는 같은 설비에서 시행할 수 있다. 전자를 일체형이라 하며 후자를 분리형이라 한다.Subsequent substrate bonding, evacuation, gas injection and tip off may be performed in the same facility, or substrate bonding may be in a separate facility and the remainder in the same facility. The former is called integral and the latter is called discrete.

이와 같이 배기관(40)이 있는 형식의 경우에는 배기 시간이 많이 걸리기 때문에 양산 설비를 갖출 때 설비의 길이가 수십 미터 이상이 되어 공간을 많이 차지하게 된다. 그리고, PDP를 여러 장 로딩하여 열풍 가열로를 지나고, 패널을 언로딩 해 주는 수십 대의 카트가 필요하게 된다. 카트는 진공을 위한 펌프, 진공 배관계, 가스주입을 위한 봄베 및 배관계, 팁 오프 유니트 등 매우 복잡한 구조를 갖게 된다.Thus, in the case of the type with the exhaust pipe 40, since the exhaust time takes a lot, when the production equipment is equipped, the length of the equipment becomes more than a few tens of meters and occupies a lot of space. In addition, dozens of carts are required to load several PDPs, pass through a hot blast furnace, and unload the panels. The cart has a very complicated structure, such as a pump for vacuum, a vacuum piping system, a cylinder and piping system for gas injection, and a tip off unit.

이러한 공정은 현재 일반적으로 널리 사용되고 있는 방식이나, 몇 가지의 문제점이 있다. 우선, 높은 진공도로 배기하기 위해서는 많은 시간이 걸린다. 40인치 이상의 상면기판과 하면 기판이 수백 마이크로미터의 틈새를 두고 합착/밀봉되어 있는데 그 틈새 속에 갇혀 있는 불순가스를 한쪽 구석에 있는 좁고 긴 배기관(40)을 통해서 배기하기 때문에, 높은 진공(10-7Torr)으로도 수 시간이 걸린다. 이와 같이 엄청난 고 진공에 높은 열을 가해 주므로 패널에는 엄청난 부하가 가해지고 있으며 PDP는 본질적으로 열 편차와 인장강도에 취약한 유리이기 때문에, 가해지는 분위기 조건은 PDP 특성에 좋지 않은 영향을 미칠수 있다. 따라서, 낮은 온도와 대기압 상태에서 쉽게 배기하거나 클리닝하고 배기 시간을 줄일 수 있는 방법이 필요하다.This process is currently widely used, but there are some problems. First, it takes a lot of time to exhaust with a high vacuum. When the 40-inch upper surface of the substrate there the substrate is placed cementation / sealing of several hundred micrometer gap the impurity gas trapped in the gap, because exhaust through the narrow exhaust tube 40 in a corner, a high vacuum (10 - 7 Torr) takes hours. Because of the high heat applied to this enormous high vacuum, the panel is subjected to enormous load, and since PDP is inherently vulnerable to thermal variation and tensile strength, the ambient conditions applied can adversely affect the PDP properties. Therefore, there is a need for a method that can easily exhaust or clean at low temperatures and atmospheric pressures and reduce the exhaust time.

또, PDP에 부착된 배기관(40)이 패널을 이동시키는 도중이나, 배기 혹은 가스 주입시에 잘 부러진다는 점이다. 배기관(40) 역시 유리관이기 때문에 이동중의 충격이나, 배기시의 승온 및 강온시 열 편차에 의해 파손될 수 있다. 이외에도, 가스를 주입한 후 팁 오프를 실시할 경우에도 얇고 긴 배기관(40)의 구조와 충격에 취약한 유리라는 특성으로 인해 자동화가 곤란하다. 결과적으로 팁이 있는 경우에는 배기 시간이 길어져 생산공정 전체의 병목부분이 되고, 양산을 위해서는 엄청난 설비 공간을 필요로 하게 된다. 따라서, 빠르면서 깨끗하게 상면기판(10)과 하면기판(20)에서 발생하는 오염 물질을 제거하는 방법이 숙제로 남아 있다. 즉, 배기 시간을 줄이고 배기관(40) 파손을 없앨 수 있으며, 짧은 시간에 상면기판(10)과 하면기판(20)의 오염된 물질을 깨끗하게 제거하는 것이 가장 중요하고 시급한 과제로 되어 있다.In addition, the exhaust pipe 40 attached to the PDP breaks well during the movement of the panel or during exhaust or gas injection. Since the exhaust pipe 40 is also a glass tube, the exhaust pipe 40 may be damaged due to a shock during movement, or a heat deviation during exhaust and temperature increase during exhaust. In addition, even when tip off after gas injection, automation is difficult due to the structure of the thin and long exhaust pipe 40 and the glass being vulnerable to impact. As a result, if the tip has a long exhaust time, it becomes a bottleneck for the entire production process, and requires a large amount of equipment space for mass production. Therefore, how to quickly and cleanly remove the contaminants generated from the upper substrate 10 and the lower substrate 20 remains a homework. That is, it is possible to reduce the exhaust time and eliminate the damage of the exhaust pipe 40, and it is the most important and urgent task to clean the contaminated material of the upper substrate 10 and the lower substrate 20 in a short time.

또한, 일반적으로 실재에 사용되는 프릿 글래스(frit glass)는 불순물 제거를 위해 400℃이상의 고온에서 가소성하고 있지만, 합착시 프릿 글래스의 용융점 온도에서 용융할 때 많은 양의 불순물들이 발생되며, 이 불순물들이 PDP 셀 내부로 흡입되어 배기하는데 많은 시간이 걸리게 된다. 또, 실재를 400℃ 이상의 고온에서가소성하고 실재를 용융 시킴으로 공정시간이 길어지고, 가열 및 냉각으로 인한 에너지 소모량이 많으며, 실재가 강성 및 접착력은 좋지만 외부충격에 약하여 충격으로 인한 균열의 원인이 되기도 한다.In addition, the frit glass generally used in the plastic is plasticized at a high temperature of 400 ° C. or higher to remove impurities, but when it is bonded, a large amount of impurities are generated when melting at the melting point temperature of the frit glass. It takes a lot of time to be sucked into the PDP cell and exhausted. In addition, the plasticity of the material at a high temperature of 400 ℃ or more and the process time is long by melting the material, the energy consumption due to heating and cooling is high, and the material is good rigidity and adhesive strength, but weak to external impact, causing cracks due to impact. do.

상기한 기술의 문제점을 해결하기 위한 여러 방법들이 고안되고 있으며, 배기 방법을 개선하고 배기관 파손을 원천적으로 없애기 위해서 배기를 먼저 하고 나중에 기판을 합착하고 가스를 주입을 하는 방식도 그 중의 하나이다.Various methods have been devised to solve the problems of the above-described technology, and one of them is to exhaust the exhaust gas first and later to bond the substrate and inject gas in order to improve the exhaust method and fundamentally eliminate the damage of the exhaust pipe.

즉, 배기관이 있는 형식에서는 합착, 배기 및 가스 주입, 팁 오프의 공정으로 작업이 진행되나, 배기를 먼저 하고 나서 합착을 나중에 하여 배기관을 요구하지 않도록 하는 것이다. 그러나, 이 방식은 배기 후 두 기판을 합착시키기 위하여 프릿 실을 용융시킬 때, 불순가스가 많이 나와서 PDP 셀의 내부를 오염시키게 되고, 방전가스 분위기에서 합착할 때 고가의 방전가스가 불순가스에 의해 오염되어 사용이 불가능해지는 등의 문제점을 가지고 있다.That is, in the case where the exhaust pipe is provided, the work proceeds through the processes of coalescing, exhaust and gas injection, and tip-off, but exhausting is performed first and then coalescing later so that the exhaust pipe is not required. However, in this method, when the frit seal is melted to bond the two substrates after exhausting, a large amount of impurity gas is released to contaminate the inside of the PDP cell, and the expensive discharge gas is caused by the impurity gas when it is bonded in the discharge gas atmosphere. It is contaminated and has a problem such that it cannot be used.

이러한 방전가스의 오염 방지를 위해 방전 가스를 챔버 내에 채우지 않고 별도의 구멍을 통해서 주입하는 세미 팁 리스(Semi-Tip-Less) 방식도 고안되었다. 그러나, 세미 팁 리스 방식 또한 방전가스 주입 후 프릿 실을 용융시켜서 주입구멍을 밀봉하고, 있어 용융시 발생되는 불순가스가 PDP 셀 내부로 들어가는 치명적인 결함으로 인해 거의 실용화되지 못하고 있다.In order to prevent contamination of the discharge gas, a semi-tip-less method of injecting the discharge gas through a separate hole without filling the chamber has also been devised. However, the semi-tipless method also melts the frit seal after discharging the gas and seals the injection hole, which is hardly put to practical use due to a fatal defect in which impurity gas generated during melting enters into the PDP cell.

즉, 팁 리스 혹은 세미 팁 리스 방식은 프릿 실을 고온에서 녹여서 붙이게 되는데, 프릿 실이 녹을 때 매우 많은 불순가스가 발생된다. 이 불순가스가 PDP 셀의 내부로 유입되는 경우가 PDP의 품질이 저하되어 사용이 곤란해지기도 한다. 따라서, 현재는 배기관이 있는 형식이 주로 사용되고 팁 리스 방식 및 세미 팁 리스 방식은 상기한 문제점으로 인해 거의 사용되지 않고 있다.That is, in the tipless or semi-tipless method, the frit seal is melted and attached at a high temperature. When the frit seal melts, a large amount of impurities are generated. When the impurity gas flows into the inside of the PDP cell, the quality of the PDP is deteriorated, which makes it difficult to use. Therefore, at present, a type having an exhaust pipe is mainly used, and a tipless method and a semi-tipless method are rarely used due to the above problems.

그런데, 현재의 배기 및 가스 주입 공정은 상면기판의 보호막을 성막한 후 일정 시간동안 대기에 노출시켰다가 합착하고, 배기 및 가스주입 공정에 투입되고 있다. 보호막으로 주로 사용되는 것은 산화마그네슘(MgO)인데, 산화마그네슘은 대기중에 노출될 때 대기 중에 포함된 수분 등의 여러 성분과 잘 결합되는 특성을 가지고 있다. 이들 성분으로 인해 배기 시간이 길어지고, 보호막의 품질이 저하되어 제품의 성능에 악영향을 주며 제품 수명을 단축시키기도 한다.However, the current exhaust and gas injection process is exposed to the atmosphere for a predetermined time after forming a protective film of the upper substrate, and then adhered to the exhaust and gas injection process. Magnesium oxide (MgO) is mainly used as a protective film, and magnesium oxide has a property of binding well with various components such as moisture contained in the atmosphere when exposed to the atmosphere. These components lead to longer exhaust times, lower protective film quality, adversely affect product performance and shorten product life.

이러한 문제점들을 해결하기 위해 UV 실재를 이용한 배기와 방전가스 주입 및 합착을 위한 공정 시스템이 개발되어 있다. 이 시스템은 플라즈마 챔버 내부에 클리닝된 기판을 위치시켜, 기판이 대기에 노출되지 않도록 한다. 이 상태에서 플라즈마 챔버의 내부를 진공으로 유지하고, 디스펜서 유닛이 장착된 플라즈마 챔버 내부에서 에폭시 계열의 실재를 도포한다. 실재가 도포된 상태에서 챔버를 10-5Torr 이하로 진공 배기를 실시하면, 실재의 내부에 녹아 있는 용제의 비등점이 낮아지게 되고 용제의 휘발성분이 실재로부터 나오게 된다. 이때, 플라즈마 챔버에는 진공펌프가 연결되어 진공 배기가 실시중이므로 용제의 휘발성분 역시 진공펌프를 통해 배기된다.In order to solve these problems, a process system for exhaust and discharge gas injection and coalescence using UV materials has been developed. This system places a cleaned substrate inside the plasma chamber, so that the substrate is not exposed to the atmosphere. In this state, the inside of the plasma chamber is maintained in a vacuum, and an epoxy-based substance is applied inside the plasma chamber in which the dispenser unit is mounted. If the chamber is evacuated to 10 -5 Torr or less in the state in which the substance is applied, the boiling point of the solvent dissolved in the substance is lowered and the volatile component of the solvent is released from the substance. At this time, since the vacuum pump is connected to the plasma chamber and the vacuum is being exhausted, volatile components of the solvent are also exhausted through the vacuum pump.

이와 같이 고진공 상태로 배기된 플라즈마 챔버 내부에 방전가스를 공정압력까지 주입한다. 플라즈마 챔버의 내부로 방전가스가 원하는 압력까지 주입되면, 하면기판을 상승 또는 하강시키는 스테이지 유닛을 통해 하면기판을 상승시켜 CCD 카메라나 목시로 얼라인 마크를 식별할 수 있도록 함으로써, 상면기판과 하면기판을 정렬시킨다. 여기서, 상기 하면기판을 밀어 올릴 때 상면기판이 밀어 올리는 힘에 의해 파손되지 않도록, 스테이지 유닛의 핀 부분에 스프링을 설치하고 있다.In this way, the discharge gas is injected to the process pressure into the plasma chamber exhausted in a high vacuum state. When the discharge gas is injected into the plasma chamber to the desired pressure, the upper and lower substrates are identified by raising the lower substrate through a stage unit which raises or lowers the lower substrate so that alignment marks can be identified by a CCD camera or visually. Align it. Here, a spring is provided in the pin portion of the stage unit so that the upper substrate is not damaged by the pushing force when the lower substrate is pushed up.

상면기판과 하면기판이 밀착되면 하면기판에 디스펜싱 되어있는 실재가 넓게 퍼지게 되고, 이 상태에서 플라즈마 챔버에 설치된 투시창을 통하여 UV를 조사하여 상면기판과 하면기판을 합착하여 공정이 완료되게 한다.When the upper substrate and the lower substrate are in close contact with each other, the substance dispensed on the lower substrate is spread widely. In this state, the upper substrate and the lower substrate are bonded by irradiating UV through the sight window installed in the plasma chamber to complete the process.

상기한 UV 실재를 사용한 공정 시스템은 다음과 같은 이유에서 개선해야 할 사항이 있다. 공정 흐름을 살펴볼 때 먼저 실재가 디스펜싱된 후 방전가스를 원하는 압력으로 합착 챔버에 넣은 후, 상면기판과 하면기판이 정렬되고 하면기판이 상면기판측으로 이동되어 합착하게 된다. 상면기판과 하면기판이 합착된 이후에 UV를 조사하여 실재를 경화시키게 된다.The process system using the above-mentioned UV substance has a problem to be improved for the following reasons. When looking at the process flow, first, after dispensing the material, the discharge gas is put into the bonding chamber at a desired pressure, and then the upper and lower substrates are aligned, and the lower substrate is moved to the upper substrate side and bonded. After the upper and lower substrates are bonded together, UV is hardened by irradiation with UV.

그런데, 디스펜싱 된 실재의 높이는 디스펜싱 유닛과 실재의 성질에 의해 결정된다. 즉, 실재의 점도와 디스펜싱 속도 및 양에 의해 그 높이와 넓이가 결정되는 것이다. 반면에 일반적인 PDP의 상하판 사이의 간격은 하면기판에 형성된 리브의 높이에 의해 결정되며, 합착이 이루어지기 위해서는 디스펜싱 된 실재의 높이가 리브의 높이보다 높게 디스펜싱 되어야 한다. 실재가 디스펜싱 된 후 상면기판과 하면기판을 접근시키면 상면기판이 하면기판에 도포된 실재에 먼저 접촉하게 되는데, 상하판이 더 밀착되면서 실재가 상하판 사이로 퍼지게 되고 이 실재가 경화되어 상하판을 합착시키는 것이다.By the way, the height of the dispensed reality is determined by the properties of the dispensing unit and the reality. That is, the height and width are determined by the viscosity, the dispensing speed and the amount of the substance. On the other hand, the spacing between the upper and lower plates of a general PDP is determined by the height of ribs formed on the lower substrate, and in order to achieve bonding, the height of the dispensed material must be dispensed higher than the height of the ribs. After dispensing the material, the upper and lower substrates approach the upper substrate, and the upper substrate comes into contact with the actual material applied to the lower substrate. It is to let.

여기서, 상면기판이 하면기판에 도포된 실재에 닿는 순간 PDP 셀 내의 압력을 살펴보면, 합착 챔버 내부에 주입되었던 방전가스의 압력과 동일하다. 그런데, 실재가 PDP 하면기판의 리브와 동일한 높이까지 퍼지면서 셀 내의 압력이 증가된다. 즉, PDP 셀 내부에 있는 방전가스의 양은 상면기판이 실재에 닿는 순간부터 일정하지만 상면기판이 하면기판에 접근할수록 그 부피가 감소하기 때문에 PDP 셀 내부의 압력이 증가되는 것이다. 이와 같이 PDP 셀 내부의 압력은 합착 챔버 내부의 압력에 비해 증가되며, 이는 원래 예상된 방전전압보다 상대적으로 높은 전압을 갖게 되는 것을 의미한다. 결과적으로 이와 같은 부분이 실제 PDP 제조공정에서 문제점으로 남게 된다.Here, the pressure in the PDP cell at the instant when the upper substrate touches the material applied to the lower substrate is equal to the pressure of the discharge gas injected into the bonding chamber. However, the pressure in the cell is increased while the substance spreads to the same height as the ribs of the lower surface of the PDP. That is, the amount of discharge gas inside the PDP cell is constant from the moment when the upper substrate touches the reality, but the volume of the discharge gas decreases as the upper substrate approaches the lower substrate, thereby increasing the pressure inside the PDP cell. As such, the pressure inside the PDP cell is increased compared to the pressure inside the coalescing chamber, which means that the voltage is relatively higher than the original expected discharge voltage. As a result, this part remains a problem in the actual PDP manufacturing process.

그렇다고 PDP 셀 내부에서 증가되는 방전가스의 압력을 고려하여 합착 챔버 내부로 공급되는 방전가스의 압력을 낮출 수는 없다. 왜냐하면 실재의 도포가 항상 일정한 높이로 이루어지지 않고 그 부피 변화를 정확하게 계산하여 합착 챔버 내부로 공급되는 방전가스의 압력을 설정할 수 없기 때문이다.However, in consideration of the pressure of the discharge gas increased inside the PDP cell, the pressure of the discharge gas supplied into the coalescing chamber cannot be lowered. This is because the application of the actual material is not always made at a constant height, and the pressure of the discharge gas supplied into the bonding chamber cannot be set by accurately calculating the volume change.

다시 말해서, 종래의 PDP 제조 방법에서는 상면기판과 하면기판을 합착시킬 때 PDP 셀 내부의 압력이 예상 압력이 비해 커지게 되어 상대적으로 높은 방전 전압을 요구하는 문제점이 있다.In other words, in the conventional PDP manufacturing method, when the upper substrate and the lower substrate are bonded together, the pressure inside the PDP cell becomes larger than the expected pressure, thereby requiring a relatively high discharge voltage.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, PDP 셀 내부의 방전가스 압력을 공정압력과 동일하도록 하기 위하여 실재의 도포 경로에 마이크로 튜브를 복수개 설치하여 방전전압이 증가되는 것을 방지할 수 있도록 한 PDP 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, in order to prevent the discharge voltage is increased by installing a plurality of micro-tubes in the coating path of the real in order to make the discharge gas pressure inside the PDP cell equal to the process pressure. The purpose of the present invention is to provide a PDP manufacturing method.

도 1은 PDP를 다층구조 형식으로 표현한 사시도,1 is a perspective view of a PDP in a multi-layered structure;

도 2는 PDP의 기본 셀 구조를 나타낸 단면도,2 is a cross-sectional view showing a basic cell structure of a PDP;

도 3은 종래의 PDP 제조공정에서 배기관 설치부가 도시된 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing the exhaust pipe installation portion in the conventional PDP manufacturing process.

도 4는 종래의 PDP 제조공정에서 기판의 합착과정을 나타낸 참고도,4 is a reference diagram showing the bonding process of the substrate in the conventional PDP manufacturing process,

도 5는 본 발명에 의한 PDP 제조 방법이 도시된 공정도,5 is a process diagram illustrating a PDP manufacturing method according to the present invention;

도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 요부 구성인 마이크로 튜브의 설치 및 제거 과정이 도시된 도면이다.6A to 6D are views illustrating a process of installing and removing a micro tube, which is a main component of the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

50 : 하면기판 51 : 실재(Seal 材)50: lower surface substrate 51: real

52 : 마이크로 튜브 60 : 상면기판52: micro tube 60: top substrate

상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은 패널을 플라즈마 챔버 내부로 로딩하여 세정하는 제1단계와, PDP 셀 내부의 방전가스 압력을 챔버 내의 공정압력과 동일하게 하기 위하여, 로딩된 패널의 하면기판에 다수개의 마이크로 튜브가 실재를 관통하는 형태가 되도록 장착하고 상기 실재를 도포하는 제2단계와, 상기 플라즈마 챔버 내부를 진공 배기시킨 후 방전가스를 주입하는 제3단계와, 하면기판을 정렬시키면서 상승시켜 상면기판과 하면기판을 합착시키는 제4단계와, 상기 플라즈마 챔버의 압력과 패널 내부의 압력이 일치되면 상기 마이크로 튜브를 제거하는 제5단계와, 실재를 경화시킨 후 플라즈마 챔버로부터 패널을 언로딩시키는 제6단계로 구성된 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, the present invention provides a first step of loading and cleaning a panel into a plasma chamber, and in order to make the discharge gas pressure inside the PDP cell equal to the process pressure in the chamber, the lower substrate of the loaded panel A second step of mounting the plurality of microtubes to penetrate the actual material and applying the actual material, a third step of evacuating the inside of the plasma chamber and injecting discharge gas, and raising the lower substrate A fourth step of bonding the upper and lower substrates to each other; and a fifth step of removing the microtubes when the pressure of the plasma chamber and the pressure inside the panel match; and unloading the panel from the plasma chamber after curing the material. It is characterized by consisting of a sixth step.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 PDP 제조방법은 도 5와 도 6에 도시된 바와 같이 패널을 플라즈마 챔버 내부로 로딩하여 세정하는 제1단계와, 로딩된 패널의 하면기판(50)에 마이크로 튜브(52)를 장착하고 실재(51)를 도포하는 제2단계와, 상기 플라즈마 챔버 내부를 진공 배기시킨 후 방전가스를 주입하는 제3단계와, 하면기판(50)을 정렬시키면서 상승시켜 상면기판(60)과 하면기판(50)을 합착시키는 제4단계와, 상기 플라즈마 챔버의 압력과 패널 내부의 압력이 일치되면 마이크로 튜브(52)를 제거하는 제5단계와, 실재(51)를 경화시킨 후 플라즈마 챔버로부터 패널을 언로딩시키는 제6단계로 구성된다.In the PDP manufacturing method according to the present invention, as shown in FIGS. 5 and 6, a first step of loading and cleaning a panel into a plasma chamber, and mounting a microtube 52 on a bottom substrate 50 of the loaded panel And a third step of applying the material 51, a third step of evacuating the inside of the plasma chamber, and then injecting discharge gas, and raising the lower substrate 50 while aligning the upper substrate 60 and the lower substrate. A fourth step of attaching the 50 to the first step; and a fifth step of removing the microtubes 52 when the pressure in the plasma chamber and the pressure inside the panel coincide; and curing the material 51 and then removing the panel from the plasma chamber. It consists of a sixth step of unloading.

여기서, 상기 제1단계는 플라즈마 챔버 내부로 패널이 로딩된 후 챔버 내부를 소정의 진공도가 될 때까지 진공 배기시키고 세정가스를 주입하며, 플라즈마를가한 후 다시 배기시키게 된다. 이 제1단계와 제3단계 및 제4단계는 종래 기술과 동일한 과정을 거친다.Here, in the first step, after the panel is loaded into the plasma chamber, the inside of the chamber is evacuated to a predetermined degree of vacuum, the cleaning gas is injected, and after the plasma is applied, the evacuation is performed again. This first step, the third step and the fourth step go through the same process as in the prior art.

상기 제2단계는 실재(51)가 도포되는 위치에 실재(51)를 관통한 형태가 되도록 마이크로 튜브(52)를 복수개 설치하고, 그 위에 실재(51)를 도포하되 수회 반복을 통해 필요한 높이까지 도포되도록 한다. 상기 제5단계는 패널의 내외부 압력이 일치된 상태에서 마이크로 튜브(52)를 제거하고, 상기 마이크로 튜브(52)가 빠져나간 자리를 유동성이 있는 실재(51)가 자연적으로 메우도록 한다.In the second step, a plurality of microtubes 52 are installed so as to penetrate the material 51 at the position where the material 51 is applied, and the actual material 51 is applied thereon to a required height through several repetitions. Allow to be applied. In the fifth step, the microtubes 52 are removed in a state where the internal and external pressures of the panel are matched, and the fluid 51 actually fills a position where the microtubes 52 exit.

상기와 같이 구성된 PDP 제조방법은 마이크로 튜브를 이용하여 패널의 내부를 공정압력에 일치시켜 PDP 셀 내부의 압력증가를 방지한다.In the PDP manufacturing method configured as described above, the inside of the panel is matched to the process pressure by using a micro tube to prevent the pressure increase inside the PDP cell.

상면기판(60)과 하면기판(50)으로 이루어진 패널을 플라즈마 챔버로 로딩시키고 챔버의 로딩 게이트를 클로즈시킨다. 이 상태에서 10-7Torr의 진공이 되도록 플라즈마 챔버의 내부를 진공 배기시키며, 500 mTorr 이하의 세정가스를 주입하고 플라즈마를 가하여 패널을 세정한다. 이어 질소가스를 이용한 진공 세정을 수행하는데, 여기까지는 일반적인 PDP 제조방법과 동일하다.The panel consisting of the upper substrate 60 and the lower substrate 50 is loaded into the plasma chamber and the loading gate of the chamber is closed. In this state, the inside of the plasma chamber is evacuated to a vacuum of 10 −7 Torr, a cleaning gas of 500 mTorr or less is injected, and plasma is applied to clean the panel. Subsequently, vacuum cleaning is performed using nitrogen gas, which is the same as a general PDP manufacturing method.

이후, 하면기판(50)에 마이크로 튜브(52)를 복수개 설치한다. 마이크로 튜브(51)는 도 6a에 도시된 바와 같이 하면기판(50)에 도포되는 실재(51)를 관통하도록 설치되는데, 사방으로 고루 설치되고 하면기판(50)의 리브 높이를 초과하지 않는 직경을 갖는 것이 바람직하다. 마이크로 튜브(52)가 설치되면 하면기판(50)에 실재(51)를 도포하며, 상기 실재(51)는 도 6b에 도시된 바와 같이 하면기판(50)의리브보다 상대적으로 높은 위치까지 도포되는 것이 당연하다.Thereafter, a plurality of microtubes 52 are installed on the lower substrate 50. The micro tube 51 is installed to penetrate the actual material 51 applied to the lower substrate 50, as shown in Figure 6a, evenly installed in all directions and the diameter does not exceed the rib height of the lower substrate 50 It is desirable to have. When the micro tube 52 is installed, the material 51 is applied to the lower surface substrate 50, and the actual material 51 is applied to a position relatively higher than the rib of the lower surface substrate 50 as shown in FIG. 6B. It is natural.

실재(51)의 도포가 완료되면 종래의 방법과 동일하게 플라즈마 챔버 내부를 진공 배기시키고, 방전가스를 주입한다. 방전가스의 주입이 완료되면 하면기판(50)을 상승시켜 상면기판(60)에 대하여 정렬시킨다. 하면기판(50)의 정렬이 완료되면 하면기판(50)을 더욱 상승시켜 실재(51)가 상면기판(60)에 접촉되도록 한다. 이후, 하면기판(50)을 계속 상승시켜 도 6c에 도시된 바와 같이 실재(51)의 높이가 리브의 높이 정도가 되도록 함으로써 기판의 합착을 완료한다.When the application of the material 51 is completed, the inside of the plasma chamber is evacuated and the discharge gas is injected in the same manner as in the conventional method. When the injection of the discharge gas is completed, the lower substrate 50 is raised to align with the upper substrate 60. When the alignment of the lower surface substrate 50 is completed, the lower surface substrate 50 is further raised so that the real material 51 contacts the upper surface substrate 60. Subsequently, the lower substrate 50 is continuously raised so that the height of the real material 51 is about the height of the ribs as shown in FIG. 6C to complete the bonding of the substrate.

기판의 합착이 완료되면 PDP 셀 내부의 압력이 합착챔버의 공정압력에 비해 상승하게 되는데, 일정 시간이 경과하게 되면 상기 실재(51)에 설치된 마이크로 튜브(52)로 인해 양측의 압력이 동일해진다. 즉, PDP 셀 내부의 압력이 원래의 공정압력과 동일해지는 것이다. PDP 셀 내부의 압력이 공정압력과 동일하게 되면 도 6d에 도시된 바와 같이 상기 마이크로 튜브(52)를 외측 방향으로 제거한다.When the bonding of the substrate is completed, the pressure inside the PDP cell increases with respect to the process pressure of the bonding chamber. When a predetermined time elapses, the pressures on both sides become equal due to the microtubes 52 installed on the material 51. In other words, the pressure inside the PDP cell becomes equal to the original process pressure. When the pressure inside the PDP cell is equal to the process pressure, the micro tube 52 is removed outward as shown in FIG. 6D.

상기 마이크로 튜브(52)가 제거되면 유동성이 있는 실재(51)가 표면장력에 의해 마이크로 튜브(52)가 놓였던 위치까지 퍼지게 되어 마이크로 튜브 구멍을 메우게 된다. 이때, 마이크로 튜브(52)가 있었던 부위도 역시 다른 부분과 동일한 폭을 갖는 것은 당연하다. 여기서, 실재(51)가 구멍을 막게 되는 원리는 구멍 자체의 모세관 현상과 실재(51)의 유동성으로 인한 표면장력 때문이다.When the microtubes 52 are removed, the fluid material 51 is spread to the position where the microtubes 52 are placed by the surface tension to fill the microtube holes. At this time, it is obvious that the portion where the micro tube 52 was located also has the same width as the other portions. Here, the principle that the material 51 blocks the hole is due to the capillary phenomenon of the hole itself and the surface tension due to the fluidity of the material 51.

마이크로 튜브(52)로 인한 구멍이 메워진 후에는 실재(51)를 경화시켜 패널의 배기와 가스 주입 및 합착 공정을 완료하고, 플라즈마 챔버로부터 패널을 언로딩시켜 PDP 제조를 종료한다.After the hole formed by the microtubes 52 is filled, the actual material 51 is cured to complete the exhaust, gas injection, and bonding processes of the panel, and the panel is unloaded from the plasma chamber to finish PDP manufacturing.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 PDP 제조방법은 PDP 셀 내부의 압력을 공정압력에 일치시키기 위하여 다수개의 마이크로 튜브를 이용함으로써 실제 공정에서 발생하는 방전전압의 증가를 방지할 수 있어 제품의 내구성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.PDP manufacturing method according to the present invention configured as described above can prevent the increase in the discharge voltage generated in the actual process by using a plurality of micro tubes to match the pressure in the PDP cell to the process pressure durability and reliability of the product There is an advantage to improve.

Claims (5)

패널을 플라즈마 챔버 내부로 로딩하여 세정하는 제1단계와, PDP 셀 내부의 방전가스 압력을 챔버 내의 공정압력과 동일하게 하기 위하여, 로딩된 패널의 하면기판에 다수개의 마이크로 튜브가 실재를 관통하는 형태가 되도록 장착하고 상기 실재를 도포하는 제2단계와, 상기 플라즈마 챔버 내부를 진공 배기시킨 후 방전가스를 주입하는 제3단계와, 하면기판을 정렬시키면서 상승시켜 상면기판과 하면기판을 합착시키는 제4단계와, 상기 플라즈마 챔버의 압력과 패널 내부의 압력이 일치되면 상기 마이크로 튜브를 제거하는 제5단계와, 실재를 경화시킨 후 플라즈마 챔버로부터 패널을 언로딩시키는 제6단계로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.The first step of loading and cleaning the panel into the plasma chamber, and in order to make the discharge gas pressure in the PDP cell equal to the process pressure in the chamber, a plurality of microtubes penetrate the actual substrate on the lower substrate of the loaded panel A second step of mounting and coating the material, a third step of evacuating the inside of the plasma chamber and injecting a discharge gas, and a fourth step of bringing the upper and lower substrates together by aligning the lower and upper substrates; And a fifth step of removing the microtubes when the pressure of the plasma chamber and the pressure inside the panel match, and a sixth step of unloading the panel from the plasma chamber after curing the substance. Display panel manufacturing method. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2단계는 상기 마이크로 튜브 위에 실재를 도포하되 수회 반복을 통해 상기 하면기판에 형성된 리브의 높이 이상으로 도포되도록 한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.Wherein the second step is a plasma display panel manufacturing method characterized in that the coating on the micro tube to the actual material to be applied to more than the height of the rib formed on the lower substrate through several iterations. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 마이크로 튜브는 사방으로 고르게 설치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.The micro tube is a plasma display panel manufacturing method characterized in that evenly installed in all directions. 제 1항 또는 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method according to claim 1 or 2 or 3, 상기 마이크로 튜브는 그 직경이 상기 하면기판에 형성된 리브의 높이를 초과하지 않도록 한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.And the microtube has a diameter so that its diameter does not exceed the height of the rib formed on the lower substrate. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제5단계는 패널의 내외부 압력이 일치된 상태에서 마이크로 튜브를 제거하고, 상기 마이크로 튜브가 빠져나간 자리를 유동성이 있는 실재가 자연적으로 메우도록 한 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법.The fifth step is a plasma display panel manufacturing method characterized in that the microtubes are removed in a state where the internal and external pressures of the panel are matched, and the fluid substance is naturally filled in the position where the microtubes exit.
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