KR100420124B1

KR100420124B1 - A tool for replacing parts

Info

Publication number: KR100420124B1
Application number: KR10-2001-0076517A
Authority: KR
Inventors: 김형용
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2001-12-05
Filing date: 2001-12-05
Publication date: 2004-03-02
Also published as: KR20030046113A

Abstract

본 발명은 반도체 제조가 이루어지는 공정 챔버 내의 진공도를 측정하기 위한 진공 측정 장치의 부품 교체에 사용되어 지는 공구에 관한 것이다. 상기 공구는 손잡이와 상기 캐소드와 결합되는 체결부를 갖는 축으로 이루어진다. 그리고 상기 공구는 상기 캐소드 교체시 상기 캐소드가 흔들리는 것을 방지하기 위하여 상기 캐소드를 감싸는 원통을 더 구비한다. 상기 축과 원통은 비자성체로 이루어진다.The present invention relates to a tool used for component replacement of a vacuum measuring device for measuring the degree of vacuum in a process chamber in which semiconductor fabrication takes place. The tool consists of a shaft having a handle and a fastening portion engaged with the cathode. The tool further includes a cylinder surrounding the cathode to prevent the cathode from shaking when the cathode is replaced. The shaft and the cylinder are made of nonmagnetic material.

Description

Tool for part replacement {A TOOL FOR REPLACING PARTS}

본 발명은 부품 교체에 사용되어 지는 공구에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 공정 챔버 내의 진공도를 측정하는 장치의 부품 교체에 사용되어 지는 공구에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a tool used for replacing a part, and more particularly to a tool used for replacing a part of an apparatus for measuring a degree of vacuum in a process chamber.

반도체 산업은 기술 집약 적인 산업이다. 예를 들면, 진공기술, 광학기술, 화학공학등의 기술이 적용된다. 특히, 진공기술은 반도체 제조 장치 중 이온 주입 장치, 식각 장치 등에서 비중이 높은 기술이다.The semiconductor industry is a technology-intensive industry. For example, techniques such as vacuum technology, optical technology and chemical engineering are applied. In particular, the vacuum technology is a high specific gravity in the ion implantation device, etching device, etc. of the semiconductor manufacturing apparatus.

진공 기술 분야는 크게 진공용기 배관장치, 진공감지 장치, 진공 펌프 장치 등으로 나눌 수 있다. 이중에서 진공 감지 장치는 진공도를 측정하기 위한 장치로서 전리 진공 측정 장치가 대표적이다.The vacuum technology field can be broadly divided into a vacuum vessel piping device, a vacuum sensing device, and a vacuum pump device. Among them, the vacuum sensing device is a device for measuring the degree of vacuum, the ionizing vacuum measuring device is typical.

상기 전리 진공 측정 장치는 전자의 충돌에 의해 전리된 양이온의 흐름 즉, 전류를 측정하여 진공도를 측정하는 장치이다. 이러한 전리 진공 측정 장치에는 열이온 전리 진공 측정 장치(hot cathod ion gauge;HCIG)와 냉음극 전리 진공 측정 장치(cold cathod ion gauge;CCIG)가 있다.The ionization vacuum measuring device is a device for measuring the degree of vacuum by measuring the flow of ionized cations, that is, the electric current by the collision of electrons. Such ionizing vacuum measuring apparatuses include a hot cathod ion gauge (HCIG) and a cold cathode ionizing vacuum gauge (CCIG).

이하, 종래 기술에 의한 전리 진공 측정 장치, 특히 냉음극 전리 진공 측정 장치를 설명한다.Hereinafter, the ionizing vacuum measuring apparatus according to the prior art, in particular the cold cathode ionizing vacuum measuring apparatus will be described.

상기 냉음극 전리 진공 측정 장치(이하, 진공 측정 장치라 함)(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 몸체(20)와 캐소드(40) 및 자석(30)으로 구성된다.The cold cathode ionizing vacuum measuring apparatus (hereinafter referred to as vacuum measuring apparatus) 10 is composed of a body 20, a cathode 40 and a magnet 30 as shown in FIG.

상기 자석(30)은 상기 몸체(20)를 감싸고 있으며, 상기 캐소드(40)는 상기 몸체(20)의 내부에 설치되도록 고정부(50)에 장착된다.The magnet 30 surrounds the body 20, and the cathode 40 is mounted to the fixing part 50 to be installed inside the body 20.

그리고 상기 진공 측정 장치(10)의 상기 몸체(20)는 진공 챔버 등의 소정위치에 장착되는 개구부(80)를 갖는다. 그리고 상기 개구부(80)에 부품 교체를 위한 공구를 넣어서 상기 캐소드(40)를 교체한다.The body 20 of the vacuum measuring device 10 has an opening 80 mounted at a predetermined position such as a vacuum chamber. Then, the cathode 40 is replaced by inserting a tool for component replacement into the opening 80.

다음은 진공 측정 장치에 의한 진공도 측정을 설명한다.Next, the vacuum degree measurement by a vacuum measuring apparatus is demonstrated.

먼저, 전압 공급 장치(60)에서 상기 캐소드(40)로 전압이 공급되면, 상기 캐소드(40)에서는 전자가 방출되어 진다. 방출되어진 전자는 상기 자석(30)에 의한 자장의 영향을 받아 원운동을 연속적으로 한다. 상기 운동하고 있는 전자는 진공 챔버 내의 분자와 충돌을 한다. 이때, 2차 전자와 양(+) 이온이 발생한다. 상기 양(+) 이온은 상기 캐소드(40)에 모이면서 이온 전류로 되고, 상기 이온 전류를 진공 컨트롤러(70)에서 진공단위로 환산하여 진공도를 측정한다.First, when a voltage is supplied from the voltage supply device 60 to the cathode 40, electrons are emitted from the cathode 40. The emitted electrons continuously perform circular motion under the influence of the magnetic field by the magnet 30. The moving electrons collide with molecules in the vacuum chamber. At this time, secondary electrons and positive ions are generated. The positive ions become an ion current as they are collected in the cathode 40, and the degree of vacuum is measured by converting the ion current into a vacuum unit in the vacuum controller 70.

상기 진공 측정 장치의 상기 캐소드는 일정 시간이 지나면 오염이 되어서 제 기능을 하지 못한다. 따라서 상기 캐소드를 교체하여야 한다. 종래에는 상기 캐소드의 교체를 위하여 일반적인 공구인 드라이버(driver)가 사용되었다. 그러나 상기 드라이버는 자성체로 되어 있다. 따라서 상기 자석에 의하여 형성된 강한 자기장 때문에 상기 드라이버를 사용한 부품 교체 작업은 정상적으로 이루어질 수 없었다. 이로 인해, 상기 캐소드의 교체에 소요되는 시간이 증가하여 작업 시간의 손실이 발생하였다.The cathode of the vacuum measuring device becomes contaminated after a certain time and does not function properly. Therefore, the cathode must be replaced. Conventionally, a driver, which is a general tool, is used to replace the cathode. However, the driver is made of magnetic material. Therefore, the part replacement work using the driver could not be performed normally because of the strong magnetic field formed by the magnet. As a result, the time required for the replacement of the cathode is increased, resulting in a loss of working time.

본 발명의 목적은 진공 측정 장치의 부품 교환을 쉽고, 빠르게 할 수 있는 공구를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a tool that can easily and quickly exchange parts of a vacuum measuring device.

도 1은 진공 측정 장치의 원리를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining the principle of the vacuum measuring device.

도 2는 본 발명의 공구에 의한 부품 교체를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a part replacement by the tool of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 진공 측정 장치 20,200 : 몸체10: vacuum measuring device 20,200: body

30,210 : 자석(magnet) 40,220 : 캐소드(cathode)30,210: magnet 40,220: cathode

50,230 : 고정부 60 : 전압 공급 장치50,230: fixing part 60: voltage supply device

70 : 진공 컨트롤러 80,240 : 개구부70: vacuum controller 80240: opening

100 : 공구 110 : 손잡이100: tool 110: handle

120 : 축 130 : 결합부120: axis 130: coupling portion

140 : 원통 부재140: cylindrical member

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 자석(magnet)에 의해 감싸지고, 개구부를 갖는 원통형 몸체와, 상기 몸체 내에 설치되는 캐소드(cathode)로 이루어진 장치의 상기 캐소드를 교체하기 위한 공구는 손잡이와상기 손잡이에 설치되고, 일단에 상기 캐소드와 결합되는 결합부를 갖는 비자성체의 축으로 구성된다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a tool for replacing the cathode of the device, which is wrapped by a magnet, has a cylindrical body having an opening, and a cathode installed in the body. Is installed on the handle and the handle, and is composed of a shaft of a non-magnetic material having a coupling portion coupled to the cathode at one end.

이와 같은 본 발명에서, 상기 공구는 상기 캐소드 교체시, 상기 캐소드가 상기 자석의 영향을 받지 않도록 그리고 상기 캐소드가 흔들리지 않도록 하기 위한 수단을 더 포함한다.In this invention, the tool further comprises means for, when replacing the cathode, to prevent the cathode from being affected by the magnet and to keep the cathode from shaking.

이와 같은 본 발명에서, 상기 수단은 상기 축에 형성되는 그리고 상기 결합부가 상기 캐소드와 결합될 때 상기 캐소드를 감싸도록 개구부를 갖는 원통 부재이며, 상기 원통 부재는 비자성체로 이루어진다.In this invention, the means is a cylindrical member formed on the shaft and having an opening to surround the cathode when the engaging portion is engaged with the cathode, wherein the cylindrical member is made of nonmagnetic material.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2를 참조하면, 진공 측정 장치는 몸체(200), 자석(210) 및 캐소드(220)로 구성된다. 상기 자석(210)은 상기 몸체(200)를 감싸고 있다. 상기 캐소드(220)는 상기 몸체(200)의 내부에 설치되도록 고정부(230)에 장착된다. 상기 몸체(200)는 측정을 하려는 진공 챔버의 소정위치에 장착되는 개구부(240)를 갖는다. 상기 진공 측정 장치에 의한 진공 챔버등의 진공도를 측정하는 방법과 상기 진공 측정 장치의 구성에 대해서는 종래 기술에 대한 상세한 설명에서 기술이 되었으므로 여기서는 생략하기로 한다.Referring to FIG. 2, the vacuum measuring device includes a body 200, a magnet 210, and a cathode 220. The magnet 210 surrounds the body 200. The cathode 220 is mounted to the fixing part 230 to be installed inside the body 200. The body 200 has an opening 240 mounted at a predetermined position of the vacuum chamber to be measured. The method for measuring the degree of vacuum of a vacuum chamber or the like by the vacuum measuring device and the configuration of the vacuum measuring device have been described in the detailed description of the prior art, and thus will be omitted here.

상기 진공 측정 장치의 상기 캐소드(220)는 일정 시간이 지나면 오염에 의하여 교체를 하여야 한다. 상기 진공 측정 장치의 내부에 설치된 상기 캐소드(220)의 교체 작업은 상기 개구부(240)로 공구를 넣어서 수행한다. 상기 진공 측정 장치의내부는 상기 자석(210)에 의해 강한 자기장을 형성한다. 그러므로 종래 처럼 일반적인 드라이버를 사용할 경우 자기장에 의해 정상적인 작업을 수행할 수 없다. 따라서 본 발명의 상기 공구는 비자성체로 이루어진다.The cathode 220 of the vacuum measuring device should be replaced by contamination after a predetermined time. Replacement of the cathode 220 installed in the vacuum measuring device is performed by inserting a tool into the opening 240. The inside of the vacuum measuring device forms a strong magnetic field by the magnet 210. Therefore, when using a general driver as in the prior art, normal work cannot be performed by the magnetic field. Thus, the tool of the present invention is made of nonmagnetic material.

상기 공구(100)는 손잡이(110)와 축(120)으로 구성된다. 상기 축(120)은 상기 손잡이(110)에 설치되며, 그 끝단에 상기 캐소드(220)와 결합되는 결합부(130)를 구비한다. 상기 결합부(130)와 상기 캐소드(220)가 결합된 상태에서 상기 손잡이(110)를 돌려서 상기 캐소드(220)를 상기 고정부(230)에 장착한다.The tool 100 consists of a handle 110 and a shaft 120. The shaft 120 is installed on the handle 110 and has a coupling portion 130 coupled to the cathode 220 at an end thereof. The cathode 220 is mounted on the fixing part 230 by turning the handle 110 while the coupling part 130 and the cathode 220 are coupled to each other.

또한, 상기 공구(100)는 상기 캐소드(220)의 교체시 상기 캐소드(220)가 흔들리지 않도록 하기 위한 비자성체의 수단(140)을 구비한다. 상기 수단(140)은 상기 축(120)의 일단에 형성되며, 상기 결합부(130)와 상기 캐소드(220)가 결합되어 질 때, 상기 캐소드(220)를 감싸도록 개구부를 갖는 원통 부재(140)이다. 그리고 상기 원통 부재(140)는 상기 캐소드(220)의 교체시 상기 캐소드(220)가 흔들리는 것을 방지할 뿐만아니라 상기 캐소드(220)가 상기 자석(210)의 영향을 받지 않도록 한다.In addition, the tool 100 includes a non-magnetic means 140 to prevent the cathode 220 from shaking when the cathode 220 is replaced. The means 140 is formed at one end of the shaft 120, the cylindrical member 140 having an opening to surround the cathode 220, when the coupling portion 130 and the cathode 220 is coupled )to be. In addition, the cylindrical member 140 not only prevents the cathode 220 from shaking when the cathode 220 is replaced, but also prevents the cathode 220 from being affected by the magnet 210.

본 발명의 범위 및 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 상기 본 발명의 장치에 대한 다양한 변형 및 변화가 가능하다는 것은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made to the apparatus of the present invention without departing from the scope and spirit of the invention.

이와 같은 본 발명에 의하면, 부품의 교체를 위한 공구가 비자성체로 이루어짐으로써, 강한 자기장 영역에서 부품을 쉽고, 빠르게 교체할 수 있다. 이로 인해,작업 시간의 손실을 방지할 수 있다.According to the present invention, the tool for replacing parts is made of a non-magnetic material, it is possible to easily and quickly replace the parts in the strong magnetic field region. For this reason, the loss of work time can be prevented.

또한, 상기 공구가 교체되는 부품의 흔들림을 방지하기 위하여 상기 부품을 감싸는 비자성체의 수단을 구비함으로써, 보다 용이하게 부품 교체 작업을 할 수 있다.In addition, by providing a non-magnetic means for wrapping the component in order to prevent the shaking of the component to be replaced, the component replacement operation can be performed more easily.

Claims

A tool for replacing the cathode of a device, which is wrapped by a magnet and has a cylindrical body having an opening, and a cathode installed in the body:

The tool

handle; And

A shaft installed in the handle and having a coupling portion coupled to the cathode at one end thereof;

And the shaft is made of a nonmagnetic material so as not to be affected by the magnet.

The method of claim 1,

The tool

And means for causing the cathode to be unaffected by the magnet and to prevent the cathode from shaking when the cathode is replaced.

The method of claim 2,

The means

And a cylindrical member formed in said shaft and having a opening to surround said cathode when said engaging portion is engaged with said cathode.

The method of claim 3,

And said cylindrical member is made of a nonmagnetic material.