KR100390183B1

KR100390183B1 - Teaching method of FPD test apparatus

Info

Publication number: KR100390183B1
Application number: KR10-2001-0022666A
Authority: KR
Inventors: 박태욱
Original assignee: 박태욱
Priority date: 2001-04-26
Filing date: 2001-04-26
Publication date: 2003-07-04
Also published as: KR20020083258A

Abstract

본 발명은 FPD 검사장치의 티칭방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 LCD, PDP, EL과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display : 이하 'FPD'라 함)에 형성된 패턴의 단락/오픈을 검사하는 검사장치에 있어서, 상기 얼라인 카메라에 의한 FPD 비젼마크 촬영위치로 FPD를 이송하는 단계와 ; 상기 얼라인 카메라를 매개로 FPD를 촬영한 후에, 티칭작업을 위한 초기 설정위치에 FPD가 정위치되도록, FPD의 위치를 조정하는 단계 ; 상기 프로브에 의한 단락/오픈 검사위치로 FPD를 이송하는 단계 및 ; 상기 프로브를 FPD의 패턴에 접촉시킨 후, FPD를 검사진행방향으로 이동시키면서 FPD의 패턴을 스캐닝하여, FPD 패턴 검출시의 위치값을 측정하고 이를 저장하는 단계로 이루어진 방법으로 되어, 티칭작업이 편리하게 되고, 티칭작업 시간이 단축되며, FPD 패턴의 종류별 단락/오픈 검사작업이 편리하게 된다.The present invention relates to a teaching method of an FPD inspection apparatus, and more particularly, an inspection apparatus for inspecting a short circuit / open of a pattern formed on a flat panel display (hereinafter, referred to as 'FPD') such as LCD, PDP, and EL. The method of claim 1, further comprising: transferring the FPD to the FPD vision mark photographing position by the alignment camera; After photographing the FPD through the alignment camera, adjusting the position of the FPD such that the FPD is correctly positioned at an initial setting position for a teaching operation; Transferring the FPD to a short / open test position by the probe; After the probe is in contact with the pattern of the FPD, by moving the FPD in the inspection progress direction, scanning the pattern of the FPD, measuring the position value when detecting the FPD pattern and storing it, convenient teaching The teaching time is shortened, and the short / open inspection work for each type of FPD pattern becomes convenient.

Description

Teaching method of FPD test apparatus

본 발명은 FPD 검사장치의 티칭방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 LCD, PDP, EL과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display : 이하 'FPD'라 함)에 형성된 패턴의 단락/오픈을 검사하는 검사장치에 있어서, FPD 패턴의 단락/오픈을 검사하기에 앞서서 FPD 패턴의 단락/오픈 검사위치를 자동으로 측정하여 이를 저장하는 FPD 검사장치의 티칭방법에 관한 것이다.The present invention relates to a teaching method of an FPD inspection apparatus, and more particularly, an inspection apparatus for inspecting a short circuit / open of a pattern formed on a flat panel display (hereinafter, referred to as 'FPD') such as LCD, PDP, and EL. In the present invention, prior to inspecting the short / open of the FPD pattern, the teaching method of the FPD inspection apparatus for automatically measuring and storing the short / open inspection position of the FPD pattern.

통상적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작된다.In general, a wafer is manufactured as a semiconductor device as a process of photographing, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition is repeatedly performed.

이들 반도체장치는 반도체소자의 고집적화, 고밀도화 추세에 따라 정밀한 제조설비와 제작기술 그리고, 반도체장치의 회로를 이루는 패턴의 형성 또한 보다 정교함과 정확성을 요구하고 있다.These semiconductor devices require precise manufacturing facilities, manufacturing techniques, and the formation of patterns constituting the circuits of semiconductor devices according to the trend of higher integration and higher density of semiconductor devices.

상술한 바와 같이 형성되는 패턴의 정확성은 생산되는 반도체장치의 수율에 직접적인 영향을 줌에 따라 패턴의 정확성을 측정 검사하기 위한 검사장치가 사용된다.As the accuracy of the pattern formed as described above directly affects the yield of the semiconductor device produced, an inspection apparatus for measuring and checking the accuracy of the pattern is used.

이러한 반도체장치중 액정표시소자(LCD, Liquid Crystal Display)의 일반적인 구조는 액정층 상하에 전극용 ITO박막 패턴이 각각 마련되고, 액정층과 접하지 않는 전극용 ITO박막 패턴의 상면과 하면에 유리와 같은 기판이 위치된다.Among the semiconductor devices, a general structure of a liquid crystal display (LCD) includes an ITO thin film pattern for electrodes provided on the upper and lower sides of the liquid crystal layer, and a glass and an upper surface and a lower surface of the ITO thin film pattern for electrodes not in contact with the liquid crystal layer. The same substrate is located.

상기 액정표시소자는 액정의 구동방식에 따라 전극용 ITO박막의 패턴이 결정되고, 이 ITO박막의 패턴에 화소단위로 인가되는 전압의 온/오프에 의해 액정을 구동한다.In the liquid crystal display device, the pattern of the ITO thin film for electrodes is determined according to the driving method of the liquid crystal, and the liquid crystal is driven by turning on / off a voltage applied in units of pixels to the pattern of the ITO thin film.

이와 같은 액정표시소자는 유리와 같은 기판위에 ITO박막을 형성시킨 다음, 설정된 전극패턴에 따라 식각에 의해 ITO박막 패턴을 형성하고, 그 위에 절연층을 형성한 후 액정을 봉입하여 제작되는데, 식각에 의해 ITO박막 패턴을 형성하는 과정에서 일부 패턴이 단락 또는 오픈될 경우가 발생한다.The liquid crystal display device is fabricated by forming an ITO thin film on a substrate such as glass, then forming an ITO thin film pattern by etching according to a set electrode pattern, forming an insulating layer thereon, and then encapsulating a liquid crystal. As a result, some patterns may be shorted or opened in the process of forming the ITO thin film pattern.

이와 같이 패턴이 단락 또는 오픈될 경우에는 정상적인 신호처리에 의한 화상의 구현에 장해가 발생하기 때문에 디스플레이 소자에 있어서는 치명적인 약점이다.When the pattern is shorted or opened in this manner, a failure occurs in the realization of the image by normal signal processing, which is a fatal weakness in the display element.

따라서, 식각에 의한 ITO박막 패턴을 형성한 이후, 반드시 전극용 ITO박막 패턴의 단락/개방(오픈)검사를 수행하여 그 불량을 가려낸다.Therefore, after forming the ITO thin film pattern by etching, the short-circuit / open (open) test of the ITO thin film pattern for electrodes is necessarily performed, and the defect is screened out.

한편 인간과 기계의 인터페이스로서 CRT(Cathod-Ray Tube)가 주종을 이루고 있지만, 이는 큰 부피와 높은 구동전압 그리고 현대인의 다양한 욕구를 만족시키기에는 불리한 점이 많아, 새로운 대체품이 절실히 요구되고 있다.On the other hand, the CRT (Cathod-Ray Tube) is mainly used as the interface between human and machine, but it is disadvantageous to satisfy the large volume, high driving voltage, and various needs of modern people, and new replacement products are urgently required.

이에 따른 여러가지 평판표시장치 중에서도 PDP(Plasma Display Panel)는 향후 CRT를 대체할 만한 무한한 잠재력을 지닌 디스플레이로서, 후막기술을 이용한 저가격 및 대형화의 잇점을 지니고 있어 관심의 초점이 되고 있다.Among these various flat panel display devices, PDP (Plasma Display Panel) is a display having infinite potential to replace CRT in the future, and has the advantage of low cost and large size using thick film technology, and thus it has been the focus of attention.

PDP는 페닝(penning) 가스를 방전 현상에 이용한 평판표시장치로서, 비교적 높은 기압(100 Torr 이상)의 네온 또는 헬륨가스 등을 베이스로 한 기체들을 유전체로 피복된 좁은 전극간의 방전에 따른 발광현상을 이용한 표시장치이며, 방전셀에 인가하는 구동전압의 형식에 따라 크게 정현파 교류전압 또는 펄스전압으로 구동되는 간접 방전형(AC-PDP)과, 직류전압으로 구동되는 직접 방전형(DC-PDP)로 분류되고, 상기 간접 방전형의 전극은 유전체로 피복되어 있음에 반해, 상기 직접 방전형은 전극이 그대로 방전 공간에 노출되어 있어 방전전압이 걸려 있는 동안 방전 전류가 흐른다.PDP is a flat panel display that uses penning gas for discharge phenomenon and emits light due to discharge between narrow electrodes coated with dielectrics based on neon or helium gas of relatively high air pressure (over 100 Torr). The display device used is an indirect discharge type (AC-PDP) driven by a sine wave AC voltage or a pulse voltage and a direct discharge type (DC-PDP) driven by a DC voltage according to the type of driving voltage applied to the discharge cell. While the indirect discharge type electrode is covered with a dielectric, the direct discharge type electrode is exposed to the discharge space as it is, so that a discharge current flows while the discharge voltage is applied.

일반적으로, PDP 전극의 단락/개방 유무를 검사하기 위한 장치가 종래에는 PDP 제조라인에서 완성된 PDP의 셀(cell)에 검사패턴 발생기에서 출력하는 패턴신호를 인가하여 상기 셀에 화상이 표시되는 지의 여부에 따라 결함을 추정하였다.In general, a device for inspecting whether a PDP electrode is shorted / open is conventionally applied to a cell of a PDP completed in a PDP manufacturing line by applying a pattern signal output from an inspection pattern generator to display an image on the cell. The defect was estimated based on whether or not.

한편, Electro Luminescent(전계발광체, EL)란 형광체 분말로 구성된 발광층에 교류전압을 가하면 형광체내에 전자가 가속되어 고에너지 전자가 발생하며, 이에 의해 발광하는 현상을 말한다.On the other hand, Electro Luminescent (Electroluminescent, EL) refers to the phenomenon that when an alternating voltage is applied to the light emitting layer composed of phosphor powder, electrons are accelerated in the phosphor to generate high energy electrons, thereby emitting light.

투명전도막 필름과 배면전극 사이에 형광층, 절연층을 순차적으로 형성시켜 발광층을 이루고, 발광시트를 보호하기 위해 절연층과 배면 전극사이에 카본 보호막을 삽입한 구조로 이루어진 평면형태의 면발광체이다.A fluorescent layer and an insulating layer are sequentially formed between the transparent conductive film film and the back electrode to form a light emitting layer, and a planar surface light emitting body having a structure in which a carbon protective film is inserted between the insulating layer and the back electrode to protect the light emitting sheet. .

형광체로 구성된 발광층에 교류전압을 인가하면 형광체내의 고전계 부분에 의하여 전자가 가속되어 고에너지전자가 발생된 들뜬 여기상태가 된다.When an alternating voltage is applied to the light emitting layer composed of phosphors, the electrons are accelerated by the high electric field portion in the phosphors, and the excited energy is generated.

여기상태는 전계의 방향이 변할 때마다 얻어지기 때문에 교류전압을 인가하면 한 주기동안 두번 발광한다.The excited state is obtained every time the direction of the electric field changes, so when an AC voltage is applied, it emits light twice during one period.

투명전극과 배면전극 사이에 전압이 흐르게 되어 임계전압을 넘게 되면 절연체와 형광체의 한쪽 계면에 존재하는 전자들이 형광체 내부로 터널링(tunnelling)되면서 매우 강한 형광체 내부의 전계로부터 큰 운동에너지를 얻게 된다.When the voltage flows between the transparent electrode and the back electrode and exceeds the threshold voltage, electrons existing at one interface between the insulator and the phosphor are tunneled into the phosphor, thereby obtaining large kinetic energy from an electric field inside the phosphor.

이 고에너지 전자들은 형광체 내부에 주입된 발광원자와 충돌하여 발광원자의 전자들을 여기시키고 여기된 전자들이 다시 저준위로 떨어지면서 빛을 발생시킨다.These high energy electrons collide with light emitting atoms injected into the phosphor to excite the electrons of the light emitting atoms, and the excited electrons fall back to a low level to generate light.

충돌 후에 전자들은 다른쪽 계면에 포획되며 반대 극성의 신호가 인가되면 이미 계면에 포획된 전자들이 다시 형광체 내부로 터널링(tunnelling)하면서 빛을 발생시킨다.After the collision, the electrons are trapped at the other interface, and when a signal of opposite polarity is applied, electrons already trapped at the interface are tunneled back into the phosphor to generate light.

이와 같이 LCD, PDP, EL과 같은 FPD의 단락/오픈 유무를 검사하기 위해서는 총길이, 패턴의 길이, 패턴간의 간격, FPD의 사이즈, 블록간의 간격, 블록갯수, 블록크기 등에 관한 위치값과 저항값을 모두 거리를 계산하거나 측정하여서 키보드입력에 의하여 수작업으로 저장한다.In this way, to check the short / open status of FPD such as LCD, PDP and EL, the position value and resistance value about total length, pattern length, pattern spacing, FPD size, block spacing, block number, block size, etc. All calculate or measure distances and save them manually by keyboard input.

그러나, 이러한 수동입력에 의한 방법은 불편하고 데이터입력시에 많은 시간이 소요됨과 동시에 모델들이 바뀔 때마다 다시 수동으로 조작해야하는 번거로운 문제점이 있었다.However, this method of manual input is inconvenient and takes a lot of time in data input and at the same time has a cumbersome problem of manually operating each time the models are changed.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, FPD의 종류에 관계없이, FPD 패턴의 단락/오픈 검사위치를 자동으로 측정하여 이를 저장하는 FPD 검사장치의 티칭방법을 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a teaching method of an FPD inspection apparatus for automatically measuring and storing a short / open inspection position of an FPD pattern, regardless of the FPD type. .

도 1은 본 발명에 따른 티칭수단의 구성도이다.1 is a block diagram of a teaching means according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 티칭방법의 순서도이다.2 is a flowchart of a teaching method according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : FPD 12 : 프로브10: FPD 12: Probe

14,18 : 인터페이스 16 : 위치감지센서14,18: interface 16: position sensor

20 : MPU20: MPU

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 방법은, FPD를 이동시키는 테이블의 상부에는 비젼마크 촬영을 위한 얼라인 카메라와, FPD 패턴의 저항값을 측정하는 프로브가 구비되고, 이 테이블의 하부에는 테이블의 위치이동을 감지하는 위치감지센서가 구비되어진 FPD 검사장치에 있어서, 상기 얼라인 카메라에 의한 FPD 비젼마크 촬영위치로 FPD를 이송하는 단계와; 상기 얼라인 카메라를 매개로 FPD를 촬영한 후에, 티칭작업을 위한 초기 설정위치에 FPD가 정위치되도록, FPD의 위치를 조정하는 단계; 상기 프로브에 의한 검사위치로 FPD를 이송하는 단계 및; 상기 프로브를 FPD의 패턴에 접촉시킨 후, FPD를 검사진행방향으로 이동시키면서 FPD의 패턴을 스캐닝하여, FPD 패턴 검출시의 위치값을 측정하고 이를 저장하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법으로 되어 있다.The method of the present invention for achieving the above object, the upper portion of the table for moving the FPD is provided with an alignment camera for vision mark photographing, and a probe for measuring the resistance value of the FPD pattern, the lower portion of the table An FPD inspection apparatus provided with a position detection sensor for detecting a position movement, comprising: transferring an FPD to an FPD vision mark photographing position by the align camera; After photographing the FPD through the alignment camera, adjusting the position of the FPD such that the FPD is positioned at an initial setting position for teaching; Transferring the FPD to a test position by the probe; After the probe is in contact with the pattern of the FPD, by moving the FPD in the inspection progress direction to scan the pattern of the FPD, the method comprising the step of measuring and storing the position value when detecting the FPD pattern .

이하 본 발명을 첨부된 도면 도 1 내지 도 2를 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 2.

FPD(10)에는 다수의 블록이 소정간격을 이루면서 배열되어진 패턴이 형성되어 있다.The FPD 10 is formed with a pattern in which a plurality of blocks are arranged at predetermined intervals.

본 발명은 이와 같은 FPD(10)에 형성된 패턴의 단락/오픈 유무를 검사하는 검사장치를 이용하여 티칭(teaching)하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of teaching using an inspection apparatus for inspecting the presence / absence of a short circuit / open of a pattern formed in the FPD 10.

상기 FPD(10)의 이동이나 위치조정은 FPD(10)가 상부에 얹혀져 고정되는 테이블, 예를 들어 X-Y-θ테이블에 의해 행해지고, 이 테이블의 상부 중간지점의 양측에는 비젼마크 촬영을 위한 얼라인 카메라가 위치된다.The movement or position adjustment of the FPD 10 is performed by a table on which the FPD 10 is mounted and fixed, for example, an XY-θ table, and alignment for vision mark photographing on both sides of the upper middle point of the table. The camera is positioned.

상기 FPD(10)의 비젼마크를 얼라인 카메라를 매개로 촬영하여 FPD(10)의 비젼마크가 정위치되도록 FPD(10)의 위치를 조정하고, 이때의 위치를 기준 위치로 한다.The vision mark of the FPD 10 is photographed using an alignment camera to adjust the position of the FPD 10 so that the vision mark of the FPD 10 is correctly positioned, and the position at this time is a reference position.

또한 FPD(10)가 얹혀져 고정되는 테이블의 상부에는 저항값을 측정하는 한 쌍의 프로브(12)가 FPD(10)의 상부 양측에 서로 대향되게 위치되며, 테이블의 하부에는 FPD(10)의 위치를 감지하는 위치감지센서(16)가 위치된다.In addition, a pair of probes 12 for measuring a resistance value is positioned on the upper side of the table on which the FPD 10 is mounted and fixed to be opposite to each other on the upper sides of the FPD 10, and the position of the FPD 10 on the lower part of the table. Position detection sensor 16 for detecting the position is located.

상기 프로브(12)에 의해 측정된 저항값과, 위치감지센서(16)에 의해 측정된 위치값은 각각의 인터페이스(14,18)를 통해 MPU(MicroProcessor Unit, 20)나 컴퓨터 등의 데이터베이스나 메모리에 저장된다.The resistance value measured by the probe 12 and the position value measured by the position sensor 16 may be stored in a database or a memory such as an MPU (MicroProcessor Unit) 20 or a computer through each of the interfaces 14 and 18. Are stored in.

상기와 같이 구성된 검사장치에 있어서, 먼저 테이블을 종으로 움직여서 FPD(10)의 양측 중심이 얼라인 카메라에 의한 촬영위치에 위치되도록 한다(S10).In the inspection apparatus configured as described above, first, by moving the table in the longitudinal direction so that the center of both sides of the FPD (10) is located at the shooting position by the alignment camera (S10).

다음, 모니터를 매개로 얼라인 카메라에 의해 촬영된 영상을 보면서, 테이블을 종횡으로 움직이면서 회전시켜, FPD(10)의 비젼마크가 설정위치에 정위치되도록 조정한다(S20).Next, while watching the image taken by the alignment camera via the monitor, the table is rotated while moving vertically and horizontally, so that the vision mark of the FPD 10 is adjusted to be positioned at the set position (S20).

다음, FPD(10)의 양측 끝단이 얼라인 카메라의 비젼마크촬영위치에 정위치되도록 테이블을 후진시켜서(프로브가 얼라인 카메라의 설치위치, 즉 테이블의 상부 중간지점의 양측에 배치되어진 경우), 프로브에 의한 검사위치로 FPD(10)를 이송한다(S30).Next, the table is reversed so that both ends of the FPD 10 are positioned at the vision mark photographing position of the align camera (when the probe is disposed at both sides of the aligning camera installation position, that is, the upper middle point of the table), The FPD 10 is transferred to the inspection position by the probe (S30).

다음, 프로브(12)를 FPD(10)의 패턴에 접촉시키고, 이와 동시에 테이블을 종으로 움직여서(검사진행방향으로 전진하여) FPD(10)의 패턴을 스캐닝하는데, 양측 프로브(12)에 FPD 패턴이 접촉되면 통전되어 저항값이 검출되고, 양측 프로브(12)에 FPD 패턴이 접촉되지 않으면 전류흐름이 차단되어 저항값이 "0"이므로, 위치감지센서(16)를 매개로 저항값이 검출될 때, 즉 FPD(10)의 패턴이 검출될 때의 테이블(또는 FPD)의 위치값을 측정한다(S40).Next, the probe 12 is brought into contact with the pattern of the FPD 10, and at the same time, the table is longitudinally moved (advanced in the inspection progress direction) to scan the pattern of the FPD 10, wherein both probes 12 have an FPD pattern. When the contact is energized, the resistance value is detected. If the FPD pattern is not contacted with both probes 12, the current flow is interrupted and the resistance value is "0". Therefore, the resistance value is detected through the position sensor 16. In other words, the position value of the table (or FPD) when the pattern of the FPD 10 is detected is measured (S40).

여기에서 상기 FPD(10) 패턴의 위치값은 앞선 "S20"단계에서의 설정위치를 기준으로 하는 상대적인 위치값이다.Herein, the position value of the FPD 10 pattern is a relative position value based on the setting position in the previous step “S20”.

다음 순차적으로 검출되는 저항값에 따른 위치값(FPD 패턴의 위치값)을 인터페이스(14,18)를 통해 MPU(20)나 컴퓨터 등의 데이터베이스나 메모리에 저장한다(S50).Next, the position value (the position value of the FPD pattern) according to the resistance value which is sequentially detected is stored in a database or memory of the MPU 20 or the computer through the interfaces 14 and 18 (S50).

이때 저항값에 따른 위치값은 모두 단일의 라이브러리로 지정되어 저장된다.At this time, the position values according to the resistance values are all designated and stored as a single library.

상기 FPD의 서로 다른 모델들에 대해서 본 발명에 따른 티칭작업을 수행하게 되면, FPD의 단락/오픈 여부를 검사할 때, 데이터베이스 또는 메모리에 미리 등록되어 있는 해당 FPD의 패턴 위치정보에 따라 FPD 검사장치를 작동제어하면 되므로, 티칭작업이 매우 간편해진다.When the teaching operation according to the present invention is performed on different models of the FPD, when checking whether the FPD is shorted / opened, the FPD inspection apparatus according to the pattern position information of the corresponding FPD registered in the database or memory in advance. Since the operation control is performed, the teaching operation becomes very simple.

본 발명에 따른 티칭작업 이후에 FPD(10)의 단락/오픈을 검사하는 방법은, 프로브(12)를 FPD(10)의 패턴에 접촉시킴과 동시에 X-Y-θ테이블을 종으로 움직이면서(전진하여), 프로브(12)를 매개로 하여 FPD(10)의 패턴 저항값을 측정하는데, 이때 저항값 측정시점은 티칭작업에 의해 저장되어진 패턴정보에 의한다.The method of checking for short / open of the FPD 10 after the teaching operation according to the present invention, while the probe 12 is in contact with the pattern of the FPD 10 while moving the XY-θ table longitudinally (advanced) In addition, the pattern resistance value of the FPD 10 is measured through the probe 12, and the resistance value measurement time point is based on the pattern information stored by the teaching operation.

상기 FPD(10)의 단락/오픈 검사과정에서는 상기 프로브(12)를 FPD(10)의 패턴에 접촉시켜 스캐닝하면서 패턴위치(티칭작업에 의해 측정되어 저장되어진 위치값)에 따른 저항값을 측정하여 FPD(10) 패턴의 단락 여부를 검사하지만, 티칭과정에서는 검출되는 저항값을 매개로 하여 FPD(10) 패턴의 위치값(패턴의 형태)을 측정한다.In the short / open test of the FPD 10, the probe 12 is scanned by contacting the pattern of the FPD 10 while measuring a resistance value according to a pattern position (a position value measured and stored by a teaching operation). Although the FPD 10 pattern is inspected for short-circuit, the teaching process measures the position value (type of pattern) of the FPD 10 pattern through the resistance value detected.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면, FPD 검사장치를 매개로 FPD 티칭작업이 자동으로 수행되므로, 티칭작업이 편리하게 되고, 티칭작업 시간이 단축되며, FPD 패턴의 종류별 단락/오픈 검사작업이 편리하게 되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, since the FPD teaching operation is automatically performed through the FPD inspection apparatus, the teaching work is convenient, the teaching time is shortened, and the short / open inspection work for each type of FPD pattern is convenient. It is effective.

Claims

The upper part of the table for moving the FPD is provided with an alignment camera for photographing vision marks, and a probe for measuring the resistance value of the FPD pattern, and the lower part of the table is provided with a position detecting sensor for detecting the positional movement of the table. In the inspection apparatus,

Transferring the FPD to the FPD vision mark photographing position by the alignment camera;

After photographing the FPD through the alignment camera, adjusting the position of the FPD such that the FPD is positioned at an initial setting position for teaching;

Transferring the FPD to a test position by the probe;

After the probe is in contact with the pattern of the FPD, by moving the FPD in the test progress direction, scanning the pattern of the FPD, measuring the position value at the detection of the FPD pattern, and storing the same Teaching method.

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