KR100377572B1 - 유기 전계 발광 표시소자 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 애노드 및 캐소드측 리드들의 일측단부를 애노드 전극들로부터 분리시키고, 애노드 및 캐소드측 리드들의 타측 단부를 연결리드로 연결시켜 애노드 및 캐소드측 리드들의 상부면에 금속을 도금하여 보호막을 형성하고, 캐소드 전극을 형성함과 아울러 캐소드측 리드들과 캐소드 전극, 애노드측 리드들과 애노드 전극들을 전기적으로 연결시키기 위해서 분리벽을 형성한다.
그러면, 고가의 금속 증착설비 및 금속층의 패터닝 라인이 필요 없기 때문에 유기 전계 발광 표시소자의 제조 비용이 절감되고, 유기 전계 발광 표시소자의 제조 공정이 단순화되며 보호막과 애노드 및 캐소드 리드들 사이에 박리가 발생되지 않아 제품의 신뢰성이 향상된다.
Description
본 발명은 유기 전계 발광 표시소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상에 ITO 금속을 증착시켜 애노드 전극과 리드들을 패터닝한 후에 전착 도금 방법을 이용하여 리드들의 상부면에만 금속을 도금하는 유기 전계 발광 표시소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
바람직하게, 애노드 전극과 함께 기판의 상부면에 패터닝된 리드들의 일측 단부는 애노드 전극과 분리되고, 타측단부는 연결리드에 의해 서로 연결된다.
일반적으로 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(Cathode Ray Tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보 단말기기 등의 모니터에 주로 이용되고 있으나, CRT의 자체 무게와 크기로 인해 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한, CRT를 대체하기 위해 경박단소화 및 저소비전력 등의 장점을 갖고 있는 평판 표시장치가 활발하게 개발되고 있으며, 그 수요도 계속적으로 증가하고 있다. 현재까지는 평판 표시장치들 중에서 액정의 전기 광학적 성질을 이용하여 정보를 표시하는 액정표시장치의 수요가 가장 많아 액정표시장치 위주로 기술 개발이 이루어지고 있다.
그러나, 액정표시장치는 외부에서 들어오는 광의 양을 조절하여 화상을 표시하는 수광성 장치이기 때문에 구동이 복잡할 뿐만 아니라 액정패널에 광을 조사하기 위한 별도의 광원, 즉 백라이트 어셈블리가 반드시 필요하기 때문에 액정표시장치의 경박단소화 및 가격경쟁력 등 여러 가지 면에서 불리한 요소가 많다.
이로 인해 최근에는 수광성 소자인 액정표시장치에 비해 응답속도가 빠르고, 휘도가 우수하며, 구조가 간단하여 가격경쟁력 면에서 유리하고 경박단소화 등을 용이하게 실현할 수 있는 자체 발광 소자인 유기 전계 발광 표시소자의 개발이 활발히 진행되고 있다. 이러한 유기 전계 발광 장치는 액정표시장치의 백라이트, 휴대용 단말기, 자동차 항법 시스템, 랩탑형 컴퓨터 및 벽걸이용 TV까지 그 용도가 다양하여 액정표시장치의 뒤를 이은 차세대 평판 표시장치로 주목받고 있다.
유기 전계 발광 표시소자는 플러스 전원이 인가되는 애노드 전극과 마이너스 전원이 인가되는 캐소드 전극 사이에 빛을 자체적으로 발산시키는 유기층을 형성한 것으로, 애노드 전극에서 유기층으로 전달된 정공과 캐소드 전극에서 유기층으로 전달된 전자가 재결합하여 빛이 발광하게 된다.
이러한 유기 전계 발광 표시소자의 구조를 첨부된 도면 도 1a, 도 1b, 도 2a 및 도 2b를 참조하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 1a의 단면도에 나타난 바와 같이 빛을 투과시키는 투명한 기판(10) 상에 ITO(20a)와 금속층(40a)을 차례대로 증착시킨 후에 도 1b에 도시된 바와 같이 금속층(40a)을 패터닝하여 보호막(40)을 형성한다.
금속층(40a)이 도 1b에 도시된 것과 같이 패터닝되면, 도 2에 도시된 바와같이 ITO(20a)를 패터닝하여 화면이 표시되는 부분인 화면 표시영역(15)에는 플러스 전원이 인가되는 애노드 전극들(20)을 형성하고, 화면 표시영역(15)의 바깥쪽에는 애노드측 리드들(31)과 캐소드측 리드들(35)을 형성한다. 여기서, 애노드측 리드들(31)은 도 2b에 도시된 바와 같이 애노드 전극(31)과 연결되어 일체로 형성되고, 캐소드측 리드들(35)은 애노드 전극(20)과 분리된다.
그리고, 보호막(40)은 애노드측 리드들(31)과 캐소드측 리드들(35)의 상부에만 형성되어 애노드 및 캐소드측 리드들(31,35)이 외부환경에 의해 부식되는 것을 방지하고 적절한 전기적 성질을 얻을 수 있도록 한다.
이와 같이 애노드 전극(20)과 애노드 및 캐소드측 리드들(31,35)이 기판(10) 상에 형성되면, 다음으로 도 3에 도시된 바와 같이 캐소드측 리드들(35) 사이에 높이가 높은 분리벽들(55)을 애노드 전극(20)과 교차되도록 형성한 후에, 화면 표시영역(15)에 유기 물질을 증착시켜 전류의 흐름에 의해 빛을 발산시키는 유기층들(60)을 형성한다.
그리고, 유기층들(60)의 상부면에 금속을 증착시켜 분리벽들(55) 사이에 애노드 전극들(20)과 교차되도록 캐소드 전극들(70)을 형성한다. 이때, 캐소드 전극들(70)과 캐소드측 리드들(35)이 전기적으로 연결된다.
여기서, 애노드 전극(20)과 분리벽들(55) 사이에는 높은 단차가 발생되므로, 금속이 증착되면 분리벽들(55)의 상부면에 증착된 금속과 분리벽들(55) 사이에 증착된 금속, 즉 캐소드 전극들(70)은 단차로 인해 끊어지기 때문에 캐소드 전극들(70)이 서로 소정간격 이격되어 전기적으로 쇼트되지 않는다.
그러나, 상술한 방법에 의해 유기 전계 발광 표시소자를 형성할 경우에 유기 전계 발광 표시소자의 제조 공정 수가 많아지고, 제조 비용이 상승되며, 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.
이는 애노드 전극과 리드들을 형성하기 위해서 ITO와 금속층을 기판 상에 형성한 후에 금속층부터 차례대로 패터닝하여 보호막과 리드들을 형성하기 때문에 제조 공정 수가 증가되고, 리드들을 패터닝할 때 보호막이 박리될 수 있어 제품의 신뢰성이 저하된다.
그리고, ITO의 상부면에 금속층을 증착하기 위해서는 고가의 금속 증착기가 필요하며 또한, 금속층을 패터닝하기 위해서는 패터닝 라인이 필요하기 때문에 제품의 제조비용이 상승된다.
따라서, 본 발명의 목적은 도금 방법을 이용하여 패터닝된 리드들의 상부면에 보호막을 형성함으로써, 유기 전계 발광 표시소자의 제조 공정 수를 줄이고, 제조 비용을 절감시키며, 제품의 신뢰성을 향상시키는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해 질 것이다.
도 1a는 종래의 방법에 의해 애노드 전극과 리드들 및 보호막을 형성하기 위해 기판 상에 금속막들을 증착시킨 도면.
도 1b는 종래의 방법에 의해 기판 상에 보호막을 형성하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 2는 종래의 방법에 의해 기판 상에 애노드 전극들과 리드들을 형성하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 3은 종래의 방법에 의해 애노드 전극들과 교차되는 유기층들과 캐소드 전극들을 형성하는 과정을 설명하기 위한 단면도.
도 4a와 도 4b는 본 발명에 의한 방법으로 기판 상에 애노드 전극들 및 리드들을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명에 의해 리드들의 상부면에 보호막이 형성된 상태를 나타낸 사시도.
도 6a는 본 발명에 의해 리드들 사이에 분리벽이 형성된 상태를 나타낸 사시도.
도 6b는 도 6a의 A부분을 확대하여 도시한 요부 확대도.
도 7a는 본 발명의 의해 리드들과 전극이 연결된 상태를 나타낸 사시도.
도 7b는 도 7a를 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 절단한 단면도.
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 기판의 상부면에 투명한 금속물질을 증착시킨 후에 패터닝하여 화면 표시영역에는 플러스 전원이 인가되는 애노드 전극들을 형성하고, 화면이 표시되지 않는 영역에는 애노드측 리드들과 캐소드측 리드들을 형성한 다음에, 애노드 및 캐소드측 리드들의 상부면에만 금속을 도금하여 보호막을 형성하며, 화면 표시영역 중에서 애노드측 리드들 사이의 리드들 사이의 공간과 캐소드측 리드들 사이의 공간에 분리벽들을 형성한 후에, 유기물질과 금속물질을 증착시켜 빛을 발산하는 유기층과 마이너스 전원이 인가되는 캐소드 전극들을 형성함과 아울러 애노드 전극들과 애노드측 리드들, 캐소드 전극들과 캐소드측 리드들을 전기적으로 연결시킨다.
바람직하게, 애노드 전극들과 함께 기판의 상부면에 패터닝되는 애노드 및 캐소드측 리드들의 일측 단부는 애노드 전극과 분리되고, 타측단부는 연결리드에 의해 서로 연결된다.
또한, 애노드측 리드들 사이의 공간에 형성되는 분리벽들은 애노드측 리드들과 가장 인접하게 형성되는 캐소드측 분리벽으로부터 적어도 애노드 전극들이 시작하는 지점까지 애노드 전극들과 평행이 되도록 연장된다.
유기층들(160)은 애노드 전극(120)의 상부면에 형성되어 애노드 전극(120)에서 주입된 정공을 상부층으로 운송하는 정공 수송층(161), 정공 수송층(161)의 상부면에 형성되어 전류의 흐름에 의해 발광하는 발광층(163) 및 발광층(163)과 캐소드 전극(170) 사이에 형성되어 캐소드 전극(170)에서 주입된 전자를 발광층(163)으로 운송하는 전자 수송층(165)으로 구성된다.
이하, 본 발명에 의한 유기 전계 발광 표시소자 구조 및 제조 방법에 대해서 첨부된 도면 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
유기 전계 발광 표시소자는 도 7a에 도시된 바와 같이 빛을 투과시키는기판(110), 기판(110)의 상부면 중에서 화면 표시영역(115)에 형성되고 플러스 전극이 공급되는 애노드 전극들(120), 화면 표시영역(115)의 바깥쪽에 형성되어 구동장치(도시 안됨)로부터 인가된 전원을 각각의 전극에 공급하는 리드들(130), 리드들(130)의 상부면에 형성되어 리드들(130)을 보호하는 보호막(140), 화면 표시영역(115)에서 리드들(130) 사이에 형성되는 분리벽(150), 분리벽들(150) 사이에 애노드 전극(120)과 교차되도록 형성되며 빛을 발생시키는 유기층(160) 및 유기층(160)의 상부면에 형성되며 마이너스 전원이 공급되는 캐소드 전극들(170)로 구성된다.
애노드 전극들(120)은 서로 소정간격 이격되어 기판(110)의 세로방향을 따라 스트라이프 형상으로 형성된다.
그리고, 리드들(130)은 애노드측 리드들(131)과 캐소드측 리드들(135)로 구성되는데, 애노드측 리드들(131)은 캐소드 전극(170)을 형성할 때 애노드 전극(120)과 전기적으로 연결되는 것으로, 애노드 전극들(120)의 길이방향 일측 단부에 일렬로 형성된다. 캐소드측 리드들(135)은 캐소드 전극(170)과 전기적으로 연결되는 것으로, 애노드 전극(120)의 폭방향 일측에 일렬로 형성된다.
한편, 분리벽(150)은 애노드측 분리벽들(151)과 캐소드측 분리벽들(155)로 구성된다. 먼저, 캐소드측 분리벽들(155)은 단면이 역삼각형 형상으로 캐소드측 리드들(135) 사이에 하나씩 형성되고 애노드 전극(120)과 교차되도록 스트라이프 형상으로 형성되어 서로 인접한 유기층들(160), 그리고 캐소드 전극들(170)이 쇼트되지 않도록 유기층들(160) 사이, 그리고 캐소드 전극들(170) 사이를 소정간격으로분리시킨다. 그리고, 애노드측 분리벽들(151)은 캐소드측 분리벽들(155) 중에서 애노드측 리드들(131)에 가장 인접하게 형성되는 캐소드측 분리벽(155a)으로부터 화면 표시영역(115)까지, 또는 화면 표시영역(115)의 바깥쪽으로 소정길이 만큼 연장되며 애노드 전극(120)과 평행하게 형성된다. 여기서, 애노드측 분리벽들(151)은 캐소드 전극들(170)을 형성할 때 서로 인접한 애노드 전극들(120) 끼리 연결되지 않고 각각의 애노드 전극들(120)과 이에 대응되는 애노드측 리드들(131)이 전기적으로 연결될 수 있도록 애노드 전극들(120) 사이를 분리시킨다.
이와 같이 구성된 유기 전계 발광소자의 제조 방법을 첨부된 도면 도 4a내지 도 7b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
빛을 투과시키고 도 4a에 도시된 바와 같이 유기 전계 발광 표시소자의 단위 셀(100a)이 적어도 한 개 이상 형성되는 기판(110)의 상부에 투명한 금속, 예를 들어 ITO(120a)를 진공 증착시킨다. 여기서는 하나의 기판(110)에 4개의 단위 셀(100)을 도시하였다.
이 후에 포토 리소그래피 기술과 식각 기술을 이용하여 ITO(120a)를 패터닝함으로써, 도 4b에 도시된 것과 같이 각각의 단위 셀들(100) 중에서 화면표시영역(115; 도 5 참조)에는 스트라이프 형상의 애노드 전극들(120)을 서로 소정간격 이격시켜 단위 셀(100)의 세로방향으로 형성시키고, 화면 표시영역(115)의 바깥쪽에는 리드들(130)을 형성한다. 여기서, 애노드 전극들(120)의 길이방향 일측 단부 쪽에는 애노드측 리드들(131)이 일렬로 형성되고, 애노드 전극(120)의 일측 면 쪽에는 캐소드측 리드들(135)이 일렬로 형성되는데, 화면 표시영역(115)과인접하는 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135)의 일측 단부는 애노드 전극들(120)로부터 분리되어 형성되고, 애노드 및 캐소드측 리드들(151,155)의 타측 단부는 연결리드(157)에 의해서 전부 연결된다.
바람직하게, 도 4b에 도시된 바와 같이 기판(110)에 형성되는 애노드측 리드들(131)과 캐소드측 리드들(135)을 연결리드(137)를 통해 전부 연결시킬 수 있다. 또는, 후속 공정을 진행할 때 선 저항을 줄이기 위해서 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135)을 부분적으로 연결시킬 수도 있는데, 예를 들어 각 단위 셀(100)에 형성된 애노드측 리드들(131)과 캐소드측 리드들(135)만을 연결리드(137)로 연결시킨다.
ITO(120a)의 패터닝으로 각각의 단위 셀(100)들에 애노드 전극들(120)과 리드들(130)이 형성되면, 도 5에 도시된 바와 같이 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135)을 외부환경으로부터 보호하여 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135)이 산화되는 것을 방지하고, 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135)이 적절한 전기적 성질을 얻을 수 있도록 전착 도금 방법을 적용하여 리드들(130)의 상부면에 보호막(140)을 형성한다.
전착 도금 방법은 전해액 또는 무전해액이 채워진 도금 배쓰에 애노드 전극(120) 및 리드들(130)이 형성된 기판(100)을 담그고 전해액 또는 무전해액과 연결리드(137)에 서로 다른 극성을 갖는 전압을 인가시켜 크롬, 금, 은 등과 같은 필요한 금속을 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135)의 상부면에 도금시켜 보호막(140)을 형성하는 것이다. 여기서, 연결리드(137)가 애노드측 리드들(131)과캐소드측 리드들(135)만을 연결하고 있기 때문에 애노드 전극들(120)에는 보호막(140)이 형성되지 않는다.
전착 도금 방법에 의해서 애노드측 리드들(131)과 캐소드측 리드들(135)의 상부면에 보호막(140)이 형성되면, 각 단위 셀(100)의 화면 표시영역(115)에 포토 레지스트를 두껍게 도포하고, 포토 마스크를 사용하여 포토 레지스트를 노광한 후에 포토 레지스트를 이방성 식각하여 캐소드측 리드들(135) 사이의 공간 및 애노드측 리드들(131) 사이의 공간에 역삼각형 형상의 단면을 같은 분리벽들(150)을 도 6a에 도시된 것과 같이 형성한다.
즉, 분리벽들(150) 중에서 캐소드측 리드들(135) 사이의 공간에 형성되는 캐소드측 분리벽들(155)은 도 6a에 도시된 바와 같이 애노드 전극(120)과 교차되도록 각 단위 셀(100)의 가로방향에 스트라이프 형상으로 형성된다. 그리고, 분리벽들(150) 중에서 애노드측 리드들(131) 사이의 공간에 형성되는 애노드측 분리벽(151)은 도 6b에 도시된 바와 같이 캐소드측 분리벽들(155) 중에서 애노드측 리드들(131)과 가장 인접하게 형성되는 캐소드측 분리벽(155a)으로부터 화면 표시영역(115) 이상으로 애노드 전극들(120)과 평행이 되도록 연장 형성된다.
이와 같이 분리벽들(150)이 형성되면, 화면 표시영역(115)에서 유기물질과 금속이 도포될 영역만 사각형상으로 개구시킨 마스크를 기판(110)에 부착시킨 다음에 도 7a에 도시된 바와 같이 화면 표시영역(115)의 소정부분에 유기물질들을 증착시켜 정공 수송층(161), 발광층(163) 및 전자 수송층(165)으로 구성되는 유기층들(160)을 캐소드측 분리벽들(155) 사이에 형성한다.
이후, 유기층들(160)의 상부면에 캐소드 전극을 형성하기 위한 금속을 증착시켜 캐소드측 분리벽들(155) 사이에 애노드 전극들(120)과 교차되는 캐소드 전극들(170)을 형성한다.
캐소드 전극들(170)을 형성하는 금속이 화면 표시영역(115)에 증착되면, 도 7b에 도시된 바와 같이 애노드 및 캐소드측 리드들(131,135) 사이의 공간에 형성된 분리벽들(150)로 인해서 각 캐소드 전극들(170)과 이에 대응하는 캐소드측 리드들(135), 각 애노드 전극들(120)과 이에 대응하는 애노드측 리드들(135)이 이들 상부면에 증착된 금속(171a)에 의해 연결된다.
여기서, 캐소드측 분리벽들(170)은 서로 인접하는 유기층들(160), 캐소드 전극들(170) 사이를 소정간격 이격시키는 스페이스 역할을 한다.
도시되지는 않았지만 애노드 전극들(120)의 상부면에는 절연막이 형성된다.
그리고, 연결리드(137)는 각각의 단위 셀들(100)을 분리시킬 때 절단되어 제거된다.
이상에서 설명한 바와 같이 애노드 및 캐소드측 리드들의 일측단부를 애노드 전극들로부터 분리시키고, 애노드 및 캐소드측 리드들의 타측 단부를 연결리드로 연결시킨 후에 도금 방법에 의해 애노드 및 캐소드측 리드들의 상부면에 금속을 도금하여 보호막을 형성하면, 고가의 금속 증착설비 및 금속층의 패터닝 라인이 필요 없기 때문에 유기 전계 발광 표시소자의 제조 비용이 절감되는 효과가 있다.
또한, 유기 전계 발광 표시소자의 제조 공정이 단순화되며, 보호막을 형성하는 중에 애노드 및 캐소드측 리드들과 보호막 사이에 박리가 발생되지 않으므로 제품의 신뢰성이 향상될 수 있는 효과가 있다.
Claims (7)
- 빛을 투과시키며 적어도 하나 이상의 단위 셀이 형성되는 기판과;상기 단위 셀 중에서 화면이 표시되는 부분에 서로 소정간격 이격되어 복수개 형성되는 스트라이프 형상의 애노드 전극들과;상기 애노드 전극들의 길이방향 일측 단부 쪽에 일렬로 형성되며 상기 애노드 전극과 전기적으로 연결되는 애노드측 리드들;상기 애노드 리드들의 폭방향 일측면에 일렬로 형성되는 캐소드측 리드들;상기 애노드 및 캐소드측 리드들이 상부면에 형성되어 상기 애노드 및 캐소드측 리드들을 외부환경으로부터 보호하는 보호막;상기 캐소드측 리드들 사이의 공간에 상기 애노드 전극들과 교차되도록 형성되는 스트라이프 형상의 캐소드측 분리벽들;상기 애노드측 리드들 사이의 공간에 상기 애노드측 전극들과 평행하게 형성되며 상기 애노드측 리드들로부터 상기 애노드측 전극 쪽으로 소정길이 연장되는 애노드측 분리벽;상기 캐소드측 분리벽들 사이에 형성되어 전류의 흐름에 의해 빛을 발산시키는 스트라이프 형상의 유기층들 및;상기 유기층들의 상부면에 형성되며 상기 캐소드측 리드들과 연결되는 캐소드 전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 애노드측 분리벽들은 상기 캐소드측 분리벽들 중에서 상기 애노드측 리드들과 가장 인접한 캐소드측 분리벽으로부터 최소한 상기 애노드측 리드들이 시작되는 부분까지 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자.
- 빛을 투과시키며 적어도 하나 이상의 단위 셀이 형성되는 기판의 상부면에 투명한 금속물질을 증착시켜 상기 단위 셀에 복수개의 애노드 전극들과 애노드측 리드들 및 캐소드측 리드들을 패터닝하는 단계;상기 애노드 및 캐소드측 리드들의 상부면에 소정의 금속을 도금하여 보호막을 형성하는 단계;상기 캐소드측 리드들 사이의 공간에는 상기 캐소드측 리드들보다 높이가 높은 상기 캐소드측 분리벽들을 상기 애노드 전극들과 교차되도록 형성하고, 상기 애노드측 리드들 사이의 공간에는 상기 애노드측 리드들로부터 상기 애노드측 전극 쪽으로 소정길이를 갖는 애노드측 분리벽을 형성하는 단계;상기 캐소드측 분리벽들 상에 유기 물질을 증착시켜 상기 캐소드측 분리벽 사이의 공간에 빛을 발산시키는 유기층들을 형성하는 단계;상기 유기 물질의 상부면에 소정의 금속 물질을 증착시켜 상기 애노드 전극들과 상기 애노드측 리드들을 연결시키고, 상기 유기층들의 상부면에 상기 캐소드측 리드들과 연결되도록 캐소드 전극들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자 제조 방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 투명 금속물질은 ITO인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자 제조 방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 패터닝 단계에서 상기 애노드 전극과 인접한 상기 애노드 및 캐소드측 리드들의 일측단부는 상기 애노드 전극들과 분리되어 형성되고, 상기 애노드 및 캐소드측 리드들의 타측단부에는 연결리드가 더 형성되어 상기 애노드 및 캐소드측 리드들은 연결리드에 의해 의해서 서로 연결되는 것을 특징으로 유기 전계 발광 표시소자 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 기판 상에 복수개의 상기 단위 셀들이 형성된 경우에 각각의 상기 단위 셀에 형성된 상기 애노드 및 캐소드 리드들은 상기 연결리드를 통해 모두 연결되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 기판 상에 복수개의 상기 단위 셀들이 형성된 경우에 각각의 상기 단위 셀에 형성된 상기 애노드 및 캐소드측 리드들만을 상기 연결리드로 연결시키고, 애노드 전극과 분리벽 사이에 발생되는 높은 단차 차이로 인하여 상기 분리벽들의 상부면에 증착된 상기 캐소드 전극을 형성하는 금속물질과 상기 분리벽들 사이에 증착된 캐소드 전극이 서로 분리되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시소자의 제조 방법.
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