KR100374824B1

KR100374824B1 - 극저온 냉동기의 진동 흡수장치

Info

Publication number: KR100374824B1
Application number: KR10-2000-0043809A
Authority: KR
Inventors: 최세헌
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2000-07-28
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2003-03-04
Also published as: KR20020010039A

Abstract

본 발명은 극저온 냉동기의 진동 흡수장치에 관한 것으로, 본 발명은 밀폐케이스와; 상기 밀폐케이스의 내부에 결합되며 실린더부가 구비된 프레임과; 상기 프레임에 장착되어 직선 구동력을 발생시키는 구동모터와; 상기 구동모터의 직선 구동력이 구동축 및 지지부재를 통해 전달되는 피스톤과; 상기 피스톤이 실린더 내부에서 직선 왕복 운동하면서 작동가스를 펌핑시킴에 의해 그 펌핑된 작동가스가 재생기를 통해 유입되고 유출되면서 압축되는 압축부와 팽창되는 팽창부를 가지며 압력과 질량유동의 위상차로 작동가스가 압축되고 팽창됨에 따라 팽창부가 극저온 상태로 되는 맥동관과; 상기 밀폐케이스에 결합되는 판스프링과 이 판스프링에 결합되는 질량체로 구성되는 극저온 냉동기의 진동 흡수 장치에 있어서, 상기 판스프링은 상기 밀폐케이스의 가장자리에 다수개의 고정점을 가지고 고정 결합되며, 상기 질량체는 그 질량 중심 및 결합점이 상기 구동축의 축 방향 중심 선상과 동일한 선상에 위치하도록 상기 판스프링의 가운데 고정 결합되는 집중질량체로 구성하여 운전 중 구동모터의 가동자와 구동축과 피스톤 등으로 구성되는 무빙매스(Moving Mass)의 움직임으로 인하여 발생되는 진동이 판스프링과 집중 질량체에 의해 흡수되면서 상기 판스프링과 집중 질량체가 진동하는 과정에서 상기 판스프링과 집중 질량체의 흡수 진동을 안정화시킴으로써 상기 판스프링과 집중 질량체의 불안정한 움직임으로 인한 극저온 냉동기의 진동을 방지할 수 있도록 한 것이다.

Description

극저온 냉동기의 진동 흡수장치{APPARATUS FOR ABSORBING VIBRATION IN CRYO-COOLER}

본 발명은 극저온 냉동기의 진동 흡수장치에 관한 것으로, 특히 극저온 냉동기의 운전 중 발생되는 진동을 흡수하여 극저온 냉동기 자체가 진동하는 것을 저감시킬 뿐만 아니라 그 극저온 냉동기의 설치 상태에 따른 진동 저감 영향을 최소화할 수 있도록 한 극저온 냉동기의 진동 흡수장치에 관한 것이다.

일반적으로 소형 전자부품 및 초전도체 등의 냉각을 위하여 극저온 냉동기가 주로 사용된다. 상기 극저온 냉동기로는 스터링 냉동기, 맥동관 냉동기 등이 있다.

도 1은 상기 극저온 냉동기의 일례를 도시한 것으로, 이에 도시한 바와 같이, 극저온 냉동기는 실린더부(1)가 구비된 프레임(10)과 그 프레임(10)에 결합되어 내부를 밀폐시키는 밀폐케이스(20)와, 상기 프레임(10)에 장착되어 직선왕복 구동력을 발생시키는 구동모터(30)와, 그 구동모터(30)의 가동자(31)에 결합되어 직선 왕복운동을 하는 구동축(32)과, 그 구동축(32)에 연결됨과 아울러 상기 프레임(10)의 실린더부(1)에 삽입되어 구동축(32)과 함께 직선 왕복운동을 하면서 작동가스를 펌핑하는 피스톤(33)과, 상기 프레임(10)에 결합되어 구동모터(30)의 가동자(31)의 직선 왕복운동을 탄성에너지로 저장하고 그 저장된 탄성에너지를 직선운동으로 변환시키면서 피스톤(33)의 공진 운동을 유발시킴과 아울러 상기 구동축(32)에 결합된 피스톤(33)의 직진성을 안내하는 지지부재(34)와, 상기 피스톤(33)의 왕복운동에 따라 실린더부(1)에서 펌핑된 작동가스에 의해 내부의 작동가스가 질량 유동되면서양단부에서 압축과 팽창이 각각 발생되어 압축이 일어나는 압축부(41)에서는 열을 발생시키는 반면 팽창이 일어나는 팽창부(42)에서는 외부의 열을 흡수하는 맥동관(Pulse Tube)(40)과, 그 맥동관의 압축부(41)에 연결되어 왕복하는 작동가스의 질량유동과 압력맥동 사이에 위상차를 발생시킴과 아울러 열적 평형을 이루도록 하는 이너턴스 튜브(Inertance Tube)(50)와, 그 이너턴스 튜브(50)에 연결되어 작동가스가 일시 체류하는 압력 저장용기(60)와, 상기 맥동관의 팽창부(42)와 프레임의 실린더부(1) 사이에 연결되어 맥동관(40)으로 펌핑되는 작동가스의 현열을 저장하였다가 작동가스가 맥동관(40)에서 구동부로 되돌아 갈 때 저장했던 열을 공급하는 재생기(70) 및 실린더부(1)에서 펌핑되는 작동가스를 예냉시키는 예냉기(80)를 포함하여 구성된다.

상기한 바와 같은 극저온 냉동기의 작동은 다음과 같다.

먼저, 전원이 인가됨에 의해 상기 구동모터(30)가 작동하게 되면 그 구동모터(30)의 가동자(31)가 직선 왕복 운동하게 되고 상기 가동자(31)의 직선 왕복운동이 구동축(32)을 통해 피스톤(33)에 전달되어 피스톤(33)이 실린더부(1)에서 직선 왕복 운동하면서 실린더부(1)에서 작동가스를 펌핑하게 된다. 즉, 작동가스를 상기 실린더부(1)에서 밀어내고 흡입하게 된다. 이와 같이 상기 실린더부(1)에서 펌핑되는 작동가스는 예냉기(80)와 재생기(70)를 거쳐 맥동관(40)으로 유입 유출되면서 압력과 질량 유동의 위상차에 의해 상기 맥동관의 팽창부(42)와 압축부(41)에서 각각 팽창과 압축이 발생하게 되면서 상기 팽창부(42)에서 온도가 급격히 떨어지게 된다. 상기 이너턴스 튜브(50)와 압력 저장용기(60)는 상기 맥동관(40)에서 작동가스의 팽창과 압축을 촉진시키게 되며 상기 예냉기(80)에서는 실린더부(1)에서 밀려나오는 작동가스를 예냉시키게 되고 상기 재생기(70)에서는 상기 실린더부(1)에서 상기 맥동관(40)으로 오고가는 작동가스의 현열을 저장 방출하게 된다.

이와 같은 과정이 반복되면서 상기 맥동관의 팽창부(42)가 냉각되어 극저온 상태가 된다.

한편, 상기 구동모터(30)를 구성하는 가동자(31)의 직선 왕복 운동이 구동축(32)을 통해 피스톤(33)에 전달되어 피스톤(33)이 실린더부(1)에서 직선 왕복 운동하면서 작동가스를 밀어내고 흡입하는 과정에서 상기 가동자(31)와 구동축(32) 그리고 피스톤(33)의 운동 방향으로 진동이 발생하게 된다. 이와 같은 진동은 상기 프레임(10)과 밀폐케이스(20)에 전달되어 시스템 전체를 진동시키게 된다.

이와 같이 극저온 냉동기에서 발생되는 진동을 흡수하기 위한 종래 구조는 상기 밀폐케이스(20)의 가운데 소정의 길이를 갖는 고정축(90)이 결합되고 그 고정축(90)의 단부에 일정 두께와 외경을 갖는 원판 형태의 판스프링(100)이 고정 결합되고 그 판스프링(100)의 가장자리에 일정 두께와 외경을 갖는 환형의 질량체(110)가 고정 결합된다. 상기 판스프링(100)은 그 가운데 형성된 축 삽입구멍(101)에 상기 고정축(90)이 삽입된 상태에서 너트(120)에 의해 체결되어 고정 결합되어 있다.

이와 같은 구조는 밀폐케이스(20)에 전달되는 운전 주파수가 상기 판스프링(100) 및 질량체(110)의 고유 진동수와 일치하게 되면 상기 밀폐케이스(20)에 전달되는 진동이 상기 판스프링(100) 및 질량체(110)에 흡수되어 밀폐케이스(20)의 진동이 최소화되고 상기 판스프링(100)과 진동체(110)만이 축 방향으로 진동하게 된다. 도 2는 극저온 냉동기를 M이라 하고 판스프링을 K라 하며 질량체를 m이라 할 때 상기 시스템을 모델링한 자유도로서, 극저온 냉동기의 운전시 운전 주파수, 즉 가진 주파수가 판스프링(100)과 질량체(110)의 고유 진동수와 일치할 때 M에서 발생되는 운전 주파수를 판스프링(100)과 질량체(110)가 흡수하여 판스프링(100)과 질량체(110)만이 진동하게 된다.

그러나 상기한 바와 같은 종래 구조는 상기 판스프링(100)과 질량체(110)가 시스템, 즉 극저온 냉동기에서 발생되는 운전 주파수를 흡수하여 자체 진동이 이루어지기 위해서는 상기 판스프링(100)과 질량체(110)가 축 방향의 움직임이 확보되어야 하나 상기 질량체(110)의 무게 중심이 중심 축과 멀리 떨어진 구조로 이루어져 시스템의 진동을 흡수하는 과정에서, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 판스프링(100)과 질량체(110)가 불안정한 요동 운동을 하게 되어 진동을 제대로 흡수하지 못하게 되는 문제점이 있었다. 특히 상기 극저온 냉동기가 횡방향으로 설치될 경우 질량체(100)의 자중에 의해 불안정한 요동 운동이 가중되어 오히려 시스템에서 발생하는 진동이 커지게 될 우려가 있다.

상기한 바와 같은 점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 극저온 냉동기의 운전 중 발생되는 진동을 흡수하여 극저온 냉동기 자체가 진동하는 것을 저감시킬 뿐만 아니라 그 극저온 냉동기의 설치 상태에 따른 진동 저감 영향을 최소화할 수 있도록 한 극저온 냉동기의 진동 흡수장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 진동 흡수구조가 구비된 극저온 냉동기의 일례를 부분 단면하여 도시한 정면도,

도 2는 상기 진동 흡수구조를 작동 메카니즘을 설명하기 위한 자유도,

도 3은 상기 진동 흡수구조의 작동상태를 도시한 정단면도,

도 4는 본 발명의 극저온 냉동기 진동 흡수장치가 구비된 극저온 냉동기의 정면도,

도 5는 본 발명의 극저온 냉동기 진동 흡수장치의 다른 실시례를 도시한 정단면도,

도 6은 본 발명의 극저온 냉동기의 진동 흡수장치의 작동상태를 도시한 정단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 ; 실린더부 10 ; 프레임

20 ; 밀폐케이스 30 ; 구동모터

31 ; 가동자 32 ; 구동축

33 ; 피스톤 34 ; 지지부재

40 ; 맥동관 42 ; 팽창부

70 ; 재생기 80 ; 예냉기

210,260 ; 판스프링 230,270 ; 집중 질량체

231 ; 질량부 232 ; 결합축부

240 ; 원통체 250 ; 커버

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 밀폐케이스와; 상기 밀폐케이스의 내부에 결합되며 실린더부가 구비된 프레임과; 상기 프레임에 장착되어 직선 구동력을 발생시키는 구동모터와; 상기 구동모터의 직선 구동력이 구동축 및 지지부재를 통해 전달되는 피스톤과; 상기 피스톤이 실린더 내부에서 직선 왕복 운동하면서 작동가스를 펌핑시킴에 의해 그 펌핑된 작동가스가 재생기를 통해 유입되고 유출되면서 압축되는 압축부와 팽창되는 팽창부를 가지며 압력과 질량유동의 위상차로 작동가스가 압축되고 팽창됨에 따라 팽창부가 극저온 상태로 되는 맥동관과; 상기 밀폐케이스에 결합되는 판스프링과 이 판스프링에 결합되는 질량체로 구성되는 극저온 냉동기의 진동 흡수 장치에 있어서,상기 판스프링은 상기 밀폐케이스의 가장자리에 다수개의 고정점을 가지고 고정 결합되며, 상기 질량체는 그 질량 중심 및 결합점이 상기 구동축의 축 방향 중심 선상과 동일한 선상에 위치하도록 상기 판스프링의 가운데 고정 결합되는 집중질량체임을 특징으로 하는 극저온 냉동기의 진동 흡수장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 극저온 냉동기 진동 흡수장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명의 극저온 냉동기 진동 흡수장치의 일례를 도시한 것으로, 이를 참조하여 설명하면,

먼저, 극저온 냉동기는 실린더부(1)가 구비된 프레임(10)이 밀폐케이스(20) 내부에 결합되고 상기 프레임(10)에 직선 구동력을 발생시키는 구동모터(30)가 결합된다. 상기 밀폐케이스(20)와 프레임(10)은 밀폐된 내부 공간을 형성하게 된다. 상기 프레임(10)의 실린더부(1)에 피스톤(33)이 삽입되고 상기 피스톤(33)에 소정의 길이를 갖는 구동축(32)이 결합되며 상기 구동축(32)은 상기 구동모터(30)를 구성하는가동자(31)와 연결된다.

그리고 상기 구동축(32)에 소정의 간격을 두고 위치하여 상기 프레임(10)과 구동축(32)을 연결하는 지지부재(34)가 결합된다. 상기 지지부재(34)는 구동모터 가동자(31)의 직선 왕복운동을 탄성에너지로 저장하고 그 저장된 탄성에너지를 직선운동으로 변환시키면서 피스톤(33)의 공진 운동을 유발시킴과 아울러 상기 구동축(32)에 결합된 피스톤(33)의 직진 운동을 안내하게 된다.

그리고 상기 실린더부(1)와 연통되도록 상기 프레임(10)에 예냉기(80)가 결합되고 상기 예냉기(80)에 이어 현열을 저장 및 방출하는 재생기(70)가 결합되며 상기 재생기(70)에 이어 팽창부(42) 및 압축부(41)가 구비된 맥동관(40)이 결합된다. 상기 맥동관의 압축부(41)에 이어 소정의 길이를 갖는 이너턴스 튜브(50)가 연결되고 상기 이너턴스 튜브(50)에 이어 소정의 내부공간을 갖는 압력 저장용기(60)가 연결된다. 상기 이너턴스 튜브(50)의 내경은 상기 맥동관(40)과 압력 저장용기(60)의 내경보다 상대적으로 작게 형성된다.

그리고 상기 밀폐케이스(20)의 일측면에 원통형 고정부재(200)가 결합된다. 상기 원통형 고정부재(200)는 상기 밀폐케이스(20)의 일측면과 상응하는 면적을 갖는 접촉면부(201)와 그 접촉면부(201)의 가장자리에 일정 두께 및 높이를 갖는 고정부(202)가 구비되어 이루어지며 상기 고정부(202)의 선단에 다수개의 나사공(203)이 형성된다. 상기 나사공(203)은 등간격을 이루도록 형성됨이 바람직하다. 상기 원통형 고정부재(200)는 그 접촉면부(201)가 상기 밀폐케이스(20)의 일측면에 고정 결합된다.

그리고 상기 판스프링(210)은 일정 두께와 외경을 갖는 원판체의 가운데 체결구멍(211)이 형성되고 그 체결구멍(211)을 중심으로 그 원판체의 내부에 복수개의 나선형 홈(212)이 형성되며 그 원판체의 가장자리에 상기 고정부(202)의 나사공(203)과 상응하는 관통공(213)이 형성되어 이루어진다. 상기 판스프링(210)은 그 관통공(213)이 상기 원통형 고정부재 고정부(202)의 나사공(203)에 일치된 상태에서 나사(220)로 각각 체결하여 상기 원통형 고정부재(200)에 고정 결합된다. 이때 상기 판스프링(210)의 체결구멍(211)이 상기 구동축(32)과 동일 선상에 위치하도록 결합된다.

상기 집중 질량체(230)는 소정의 외경과 길이를 갖는 환봉 형태의 질량부(231)와 그 질량부(231)의 가운데 상기 체결구멍(211)과 상응하는 외경과 소정의 길이를 갖도록 형성되는 결합축부(232)와 그 결합축부(232)의 단부에 수나사산이 형성된 나사산부(233)가 구비되어 이루어진다. 상기 질량체(230)는 그 일측면을 기준으로 하여 중심에 좌우 대칭이 되도록 형성된다.

상기 집중 질량체(230)는 그 결합축부(232)가 상기 판스프링의 체결구멍(211)에 삽입된 상태에서 그 결합축부(232)의 나사산부(233)에 너트(234)가 체결되어 고정 결합된다.

또한, 본 발명의 다른 실시례로, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 밀폐케이스(20)의 일측면에 소정의 두께 및 외경 그리고 일정 길이를 갖는 원통체(240)가 결합된다. 상기 원통체(240)는 외경은 상기 밀폐케이스(20)의 외경과 상응하도록 형성되며 그 일측에 복수개의 나사공(241)이 형성된다. 그리고 상기 원통체(240)에 상기 밀폐케이스(20)의 일측면과 상기 원통체(240)와 함께 상기 맥동관(40)을 거친 작동가스가유입 유출되는 압력 저장공간(S)을 형성하는 커버(250)가 결합된다. 상기 압력 저장공간(S)은 상기 압력 저장용기(S)를 대체하게 되며 그 일측에 상기 맥동관(40)과 연결되는 이너턴스 튜브(50)가 연통되도록 결합된다.

상기 커버(250)는 상기 원통체(240)와 상응하는 두께와 외경을 가지며 일정 길이를 갖는 원통부(251)와 그 원통부(251)의 일측을 막는 원판부(252)로 이루어지며 상기 원통부(251)의 선단에 상기 나사공(241)과 상응하는 관통공(253)이 형성됨과 아울러 그 원통부(251)의 측부에 상기 이너턴스 튜브(50)가 연결되는 연결구멍(254)이 형성된다. 그리고 상기 원통체(240)와 커버(250)사이에 판스프링(260)이 결합된다. 그리고 소정 형상으로 형성되며 그 질량 중심 및 결합점이 상기 구동축(32)의 축 방향 중심 선상과 동일 선상에 위치하도록 상기 판스프링(260)의 가운데 집중 질량체(270)가 결합된다. 상기 판스프링(260)과 집중 질량체(270)는 위에서 서술한 일실시예의 판스프링(210)과 집중 질량체(230)와 상응하도록 형성된다.

상기 판스프링(260)은 집중 질량체(270)가 결합된 상태에서 판스프링(260)의 관통공(263)이 상기 원통체(240)의 나사공(241)과 일치되도록 위치시키고 이어 커버(250)의 관통공(253)을 판스프링(260)의 관통공(263) 및 원통체(240)의 나사공(241)과 일치시킨 상태에서 그 일치된 관통공(253,263)들과 나사공(241)에 나사(280)를 각각 체결하여 고정 결합된다.도면에서 미설명 부호 274는 집중 질량체(270)을 판스프링(260)에 결합하기 위한 너트이다.

이하, 본 발명의 극저온 냉동기 진동 흡수장치의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 극저온 냉동기의 작동은 종래와 같이 상기 구동모터(30)의 직선 왕복 구동력이 구동(축32)을 통해 피스톤(33)에 전달되어 피스톤(33)이 실린더부(1)에서 직선왕복 운동하면서 작동가스를 펌핑하게 되면 그 펌핑되는 작동가스가 예냉기(80)와 재생기(70)와 맥동관(40)과 이너턴스 튜브(50) 그리고 압력 저장용기(60)로 유입 유출되면서 압력과 질량 유동의 위상차에 의해 상기 맥동관의 팽창부(42)와 압축부(41)에서 각각 팽창과 압축이 발생하게 되면서 상기 팽창부(42)에서 온도가 급격히 떨어지게 된다.

한편, 상기 구동모터 가동자(31)의 직선 왕복 운동을 전달받아 피스톤(33)이 실린더부(1)에서 직선 왕복 운동하면서 작동가스를 펌핑하여 상기 맥동관의 팽창부(42)를 극저온 상태로 냉각시키는 과정에서 상기 구동모터의 가동자(31)와 구동축(32) 그리고 지지부재(34)의 움직임 방향으로 진동이 발생하게 되며 그 발생되는 진동은 상기 밀폐케이스(20)의 측부에 고정 결합된 판스프링(210)과 집중 질량체(230)에 흡수되어 상기 판스프링(210)과 집중 질량체(230)만이 진동하게 된다. 즉, 극저온 냉동기의 가진 주파수와 판스프링(210)과 집중 질량체(230)의 고유 진동수가 일치하게 되어 극저온 냉동기에서 발생되는 진동이 최소화되고 상기 판스프링(210)과 집중 질량체(230)만이 진동하게 된다.

그리고 상기 극저온 냉동기에서 발생되는 진동을 흡수하면서 상기 판스프링(210)과 집중 질량체(230)가 진동하는 과정에서, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 판스프링(210)의 가장자리가 다수개의 고정점을 가지고 결합되므로 지지력이 분산되어 안정성이 우수하게 되고 또한, 상기 집중 질량체(230)가 판스프링(210)의 가운데 결합되므로 구동축(32)의 운동방향과 일치시키기가 수월하게 될 뿐만 아니라 상기 집중 질량체(230)의 형상이 중심으로 모아지게 되어 그 무게중심이 운동방향중심선상에 위치하게 되므로 집중 질량체(230)의 요동운동을 방지하여 상기 판스프링(210)과 집중 질량체(230)의 진동이 안정된다.

한편, 본 발명의 다른 실시예의 경우 상기 판스프링(260)의 가장자리가 고정됨과 동시에 집중 질량체(270)가 판스프링(260)의 중심에 결합점을 결합되므로 상기 판스프링(260)과 집중 질량체(270)의 진동이 안정된다. 아울러 상기 판스프링(260)과 집중 질량체(270)가 위치하는 공간이 작동가스가 저장되는 압축 저장공간(S)으로 활용되어 구조가 간소화된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 극저온 냉동기의 진동 흡수장치는 극저온 냉동기의 운전 중 구동모터의 가동자와 구동축과 피스톤 등으로 구성되는 무빙매스(Moving Mass)의 움직임으로 인하여 발생되는 진동이 판스프링과 집중 질량체에 의해 흡수되면서 상기 판스프링과 집중 질량체가 진동하는 과정에서 상기 판스프링과 집중 질량체의 흡수 진동이 안정됨으로써 상기 판스프링과 집중 질량체의 불안정한 움직임으로 인한 극저온 냉동기의 진동을 방지하게 되어 시스템의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims

밀폐케이스와; 상기 밀폐케이스의 내부에 결합되며 실린더부가 구비된 프레임과; 상기 프레임에 장착되어 직선 구동력을 발생시키는 구동모터와; 상기 구동모터의 직선 구동력이 구동축 및 지지부재를 통해 전달되는 피스톤과; 상기 피스톤이 실린더 내부에서 직선 왕복 운동하면서 작동가스를 펌핑시킴에 의해 그 펌핑된 작동가스가 재생기를 통해 유입되고 유출되면서 압축되는 압축부와 팽창되는 팽창부를 가지며 압력과 질량유동의 위상차로 작동가스가 압축되고 팽창됨에 따라 팽창부가 극저온 상태로 되는 맥동관과; 상기 밀폐케이스에 결합되는 판스프링과 이 판스프링에 결합되는 질량체로 구성되는 극저온 냉동기의 진동 흡수 장치에 있어서,

상기 판스프링은 상기 밀폐케이스의 가장자리에 다수개의 고정점을 가지고 고정 결합되며, 상기 질량체는 그 질량 중심 및 결합점이 상기 구동축의 축 방향 중심 선상과 동일한 선상에 위치하도록 상기 판스프링의 가운데 고정 결합되는 집중질량체임을 특징으로 하는 극저온 냉동기의 진동 흡수장치.
제 1항에 있어서, 상기 판스프링은 상기 밀폐케이스의 일측면에 결합되는 원통형 고정부재의 단부에 결합됨을 특징으로 하는 극저온 냉동기의 진동 흡수장치.
제1항에 있어서, 상기 판스프링은 상기 밀폐케이스의 일측면에 결합되는 원통체의 단부에 결합되며, 상기 원통체에 결합되어 상기 밀폐케이스의 일측면과 상기 원통체와 함께 상기 맥동관을 거친 작동가스가 유입, 유출되는 압력 저장공간을 형성하는 커버를 구비함을 특징으로 하는 극저온 냉동기의 진동 흡수장치.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 집중질량체는 환봉형태의 질량부와 그 질량부의 가운데 소정의 길이로 연장 형성되어 상기 판스프링의 가운데 고정 결합되는 결합축부가 구비된 것을 특징으로 하는 극저온 냉동기의 진동 흡수장치.