KR100298236B1 - Pattern formation method in PDTV production - Google Patents

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Abstract

[목적][purpose]

본 발명은 PDP(Plasma Display Panel) 텔레비젼 제조에 있어서 필수적인 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등의 패턴을 형성하는 작업공정을 단축시키고자 하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for shortening a work process for forming a pattern such as electrode formation, barrier rib formation, and phosphor coating for PDP, which are essential for the production of plasma display panel (PDP) televisions.

[구성][Configuration]

PDP 텔레비젼 제조에 있어서 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등 여러 가지의 패턴을 형성하는 작업공정을 금속막 증착 → 노즐(nozzle)에 의한 패턴형성 → 에칭(etching) → 스트리프(strip) 또는 직접패턴 → 소성 순으로 단축시켜서 패턴을 형성하는 방법을 제공하고자 하는 것이다.In the production of PDP televisions, the process of forming various patterns such as PDP electrode formation, barrier rib formation, and phosphor coating is performed by depositing a metal film → pattern formation by nozzle → etching → strip or It is intended to provide a method of forming a pattern by shortening the pattern directly to firing.

[효과][effect]

PDP 텔레비젼을 제조함에 있어서 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등을 노즐의 분사에 의해 패턴을 형성하므로써, 작업공정이 단축되고, 따라서 고가의 장비축소, 시간, 자재, 유지관리비 등 원가가 절감되는 경제적인 효과가 있다.In manufacturing PDP televisions, by forming patterns by forming nozzles for forming PDP electrodes, forming partition walls, and applying phosphors by spraying nozzles, work processes are shortened, thereby reducing costs such as expensive equipment reduction, time, materials, and maintenance costs. There is an economic effect.

Description

피디피 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성방법.Pattern formation method in manufacture of PDTV.

본 발명은 PDP(Plasma Display Panel) 텔레비젼 제조에 있어서 필수적인 여러 가지의 패턴(pattern)을 형성하는 방법에 관한 것으로, 특히 PDP 텔레비젼을 제조함에 있어서 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등의 패턴을 형성하는 작업공정을 단축시켜 단축에 따른 고가의 장비축소, 시간절약, 자재절감, 유지관리비 등 원가를 절감하고자 하기 위한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 노즐에 의한 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming various patterns essential for the manufacture of plasma display panel (PDP) televisions. In particular, in manufacturing PDP televisions, patterns such as electrode formation, barrier rib formation, and phosphor coating for PDP televisions may be used. The present invention relates to a method of forming a pattern by a nozzle in the production of PDP television for shortening the work process to be formed, thereby reducing costs such as expensive equipment reduction, time saving, material saving, and maintenance cost.

종래에는 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 필수적인 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등 패턴을 형성하여야 하는 바, 그 중에서 PDP용 전극을 형성하는 작업공정은Conventionally, a pattern such as PDP electrode formation, barrier rib formation, and phosphor coating required for PDP television manufacturing must be formed.

① 금속막 증착 〉 유리나 기판상에 금속막을 증착한다.① Metal Film Deposition> Deposit a metal film on glass or substrate.

② PR(photo resist) 도포 〉 감광액(photo resist)을 도포한다.② Apply PR (photo resist)〉 Apply photo resist.

③ 건조(prebaking) 〉 도포된 감광액을 건조(prebaking)한다.③ Prebaking> Prebaked the coated photoresist.

④ 노광 〉 필요의 패턴에 따라 빛을 투과하는 노광을 한다.④ Exposure> Exposure is performed through the light according to the required pattern.

⑤ 현상 〉 빛에 의해 노광된 부분을 현상한다.⑤ Develop> Develop the part exposed by light.

⑥ 에칭(etching) 〉 빛에 의해 노광된 부분의 금속막을 제거하는 에칭(etching)을 한다.⑥ Etching> Etching is performed to remove the metal film of the part exposed by light.

⑦ 스트리프(strip) 〉 유리나 기판상에 빛에 투과되지 않은 부분의 감광액층을 제거하는 스트리프(strip)에 의해 패턴을 형성한다.⑦ Strip> The pattern is formed by stripping the photosensitive liquid layer of the part which is not transmitted to the light on the glass or the substrate.

그리고 격벽을 형성하는 작업은 여러 가지로 실시되고 있으나 종래에 널리 사용하는 방법으로는 샌드블라스트에 의한 격벽형성 방법은 아래와 같다.And the work of forming the partition wall has been carried out in various ways, but as a method widely used in the prior art, the partition wall formation method by sandblasting is as follows.

① 격벽재 패이스트 도포 〉 전극이 형성되어 있는 상태에서 격벽재를 도포한다.① Applying partition wall paste> Apply partition wall material with electrode formed.

② DFR 라이네이터 〉 격벽제 위에 드라이 필름을 라이네이터 한다.② DFR Reliner> Reinforce the dry film on the bulkhead.

③ 노광 〉 자외선을 근접 혹은 밀착노광을 실시한다.③ Exposure> Perform close or close exposure to ultraviolet rays.

④ 현상 〉 자외선에 의해 노광된 패턴을 제거한다.④ Development> Remove the pattern exposed by ultraviolet rays.

⑤ 샌드브라스트 가공 〉 세라믹의 미립사를 사용하여 격벽제가 노출된 부분을 제거한다.⑤ Sandblasting> Remove the exposed part of the bulkhead by using ceramic fine sand.

⑥ DFR 박리 〉 드라이 필름을 제거한다.⑥ DFR Peeling> Remove dry film.

또한, 형광체의 패턴형성방법은 인쇄법과 노광에 의한 방법이 있으나 종래기술로서 노광에 의한 방법을 설명하면 아래와 같다.In addition, there is a method of forming a pattern of phosphors by a printing method and an exposure method, but the method of exposure is described below as a conventional technique.

① RED 인쇄 〉 격벽이 형성되어 있는 하판의 전면에 RED를 인쇄하여 형광체를 도포한다.① RED printing〉 Print RED on the entire surface of the lower plate where partition wall is formed and apply phosphor.

② 건조 〉 RED 형광체를 건조하여 격벽에 밀착되도록 한다.② Drying> Dry the RED phosphor to be in close contact with the bulkhead.

③ 노광 〉 RED의 형광체를 남길 수 있도록 마스크를 사용하여 자외선 노광을 실시한다.③ Exposure> UV exposure using a mask to leave RED phosphor.

④ 현상 〉 형광체를 현상하면 RED부분만 남고 나머지는 제거된다.④ Phenomenon〉 When developing phosphor, only the RED part remains and the rest is removed.

⑤ Green인쇄 〉 Red의 형광체가 형성되어 있는 상태에서 하판의 전면에 Green의 형광체를 인쇄한다.⑤ Green printing〉 Green phosphor is printed on the front of the lower plate with red phosphor formed.

⑥ 건조 〉 Green 형광체를 건조하여 격벽에 밀착되도록 한다.⑥ Drying〉 Dry the green phosphor to make close contact with the partition wall.

⑦ 노광 〉 Green의 형광체를 남길 수 잇도록 마스크를 사용하여 자외선 노광을 실시한다.⑦ Exposure> UV exposure using a mask to leave green phosphor.

⑧ 현상 〉 형광체를 현상하면 Green 부분만 남고 나머지는 제거된다.⑧ Phenomenon> Developing the phosphor leaves only the green part and removes the rest.

⑨ Blue 〉 Red와 Green의 형광체가 형성되어 있는 상태에서 하판의 전면에 Blue의 형광체를 인쇄한다.⑨ Blue〉 Blue and phosphors are printed on the front of the lower plate with red and green phosphors formed.

⑩ 건조 〉 Blue 형광체를 건조하여 격벽에 밀착되도록 한다.⑩ Drying> Dry Blue phosphor to adhere to bulkhead.

⑪ 노광 〉 Blue의 형광체를 남길 수 있도록 마스크를 사용하여 자외선 노광을 실시한다.Exposure> UV exposure is performed using a mask to leave blue phosphors.

⑫ 현상 〉 형광체를 현상하면 Blue 부분만 남고 나머지는 제거된다.⑫ Phenomenon〉 When developing phosphor, only blue part remains and the rest is removed.

⑬ 소성 〉 Red, Green, Blue의 형광체를 전부 패턴한 상태에서 소성한다.⑬ Firing> Fire in a state where all red, green, and blue phosphors are patterned.

이와 같은 작업공정 순서에 의해 PDP용 전극을 형성하고 있으며, 상기 PDP용 전극형성 뿐만 아니라 격벽형성 및 형광체 도포의 작업도 위의 공정에 의해 이루어지고, 물론 각 공정마다 세정공정도 포함되어 있는 기술로서 그 작업공정이 너무 많아 그에 따른 고가의 장비가 많이 소요됨과 함께 시간, 자재, 유지관리비 등 원가가 많이 소요되는 문제점이 있었다.The PDP electrode is formed by such a work process sequence, and not only the formation of the PDP electrode but also the formation of the partition wall and the phosphor coating are performed by the above process, and of course, each process includes a cleaning process. The work process is too many, expensive equipment according to this, and a lot of cost, such as time, materials, maintenance costs.

이에 본 발명은 상기의 제반 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 필수적인 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등 여러 가지의 패턴(pattern)을 형성하는 작업공정을 단축시켜 이에 따른 제반 경비를 절감하고자 하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and shortens the work process of forming various patterns such as PDP electrode formation, barrier rib formation, and phosphor coating, which are essential for PDP television manufacturing. It is to reduce the overall costs.

상기의 목적을 달성하기 위하여 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 필수적인 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등 여러 가지의 패턴을 형성하는 작업공정 중에서 전극형성의 예를 들면 금속막 증착 ⇒ 노즐(nozzle)에 의한 패턴형성 ⇒ 에칭(etching) ⇒ 스트리프(strip) 순으로 단축시켜 형성하는 방법을 제공하고자 하는 것이다.In order to achieve the above object, during the process of forming various patterns such as PDP electrode formation, barrier rib formation, and phosphor coating, which are essential for PDP television production, for example, metal film deposition ⇒ by nozzle It is to provide a method for shortening and forming in the order of pattern formation ⇒ etching ⇒ strip.

이하, 본 발명을 그 실시예에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples.

PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴을 형성하는 작업인 금속막 증착, 노즐(nozzle)에 의한 패턴형성, 에칭(etching), 스트리프(strip) 순으로 진행되는 공정중에서 폴리우레탄과 같이 에칭용액에 대한 내부식성이 강하며 점성을 가지고 있는 재료를 사용하여 화학용액을 일정한 비율로 교반하여 GELL상태로 만든 뒤 밀폐용기에 투입하여 점성유체의 특성을 유지하기 위하여 일정한 온도를 유지하면서 여러개의 노즐에 공급하여 스테이지에 흡착된 기판에 토출시키는 노즐(nozzle)에 의한 패턴을 형성한다.Corrosion resistance to etching solution like polyurethane in the process of metal film deposition, pattern formation by nozzle, etching, strip, etc. Using this strong and viscous material, the chemical solution is agitated at a constant rate to make it into a GELL state, and then put into a sealed container and supplied to several nozzles while maintaining a constant temperature to maintain the characteristics of the viscous fluid. The pattern by the nozzle which discharges to an adsorbed board | substrate is formed.

상기 용제는 에칭용액에 대한 내부식성이 강하여야 하며, 점성력이 있는 용제를 사용하여야 함에 그 대표적인 예로 폴리우레탄을 추천하였다.The solvent has to be corrosion resistant to the etching solution, and a solvent having a viscous force should be used as a representative example, polyurethane was recommended.

상기 용제와 용액을 교반할 때에는 기포와 미세한 입자가 생기지 않도록 주의깊게 교반하여 GELL상태로 만든 뒤 용기에 공급하는 과정에 용기내의 공기를 배출시키고 대기와 접촉이 일어나지 않도록 밀폐시키되, 필요에 따라 질소를 용기내에 주입하여 공기와 차단시킨다.When the solvent and the solution are stirred, the mixture is carefully stirred to prevent bubbles and fine particles from being formed, and then the air in the container is discharged in the process of supplying to the container and sealed to prevent contact with the atmosphere. It is injected into a container and is isolated from air.

상기 노즐의 토출구 형상은 필요로 하는 패턴의 모양에 따라 원형, 타원형, 사각형, 사다리꼴형, 삼각형으로 만든다.The discharge port shape of the nozzle is made of a circle, oval, square, trapezoidal, triangular according to the shape of the pattern required.

또한 상기 공정의 격벽형성 및 형광체 형성의 작업공정은 다음과 같다.In addition, the working process of the partition wall formation and the phosphor formation of the above process is as follows.

격벽형성은Bulkhead formation

① 격벽제 패이스트 도포 〉 전극이 형성되어 있는 상태에서 격벽제를 도포한다.① Apply partition wall paste> Apply partition wall with electrode formed.

② 노즐에 의한 패턴 〉 샌드블라스트에 견딜 수 있는 점성용액을 노즐을 사용하여 패턴한다.② Pattern by nozzle> Use a nozzle to pattern viscous solution that can withstand sand blast.

③ 건조 〉 점성용액을 건조하여 샌드블라스트가공에 견딜 수 있도록 한다.③ Drying〉 Dry the viscous solution to endure sandblasting process.

④ 샌드블라스트가공 〉 세라믹의 미립자를 사용하여 격벽제가 노출된 부분을 제거한다.④ Sandblasting> Remove the exposed part of the bulkhead by using ceramic fine particles.

⑤ 박리 〉 건조된 점성체를 제거한다.⑤ Peeling> Remove dried viscous body.

상기와 같이 격벽형성에 적용할 경우에는 노광과 현장공정을 통합할 수 있다.When applied to the partition wall formation as described above it is possible to integrate the exposure and field processes.

형광체 형성은Phosphor formation

① Red, Green, Blue의 형광체 패턴 〉 세가지의 형광체를 동시에 토출할 수 있는 노즐헤드를 사용하여 Step and Scanning 방법으로 격벽을 추종하면서 형광체를 패턴한다.① Phosphor Patterns of Red, Green, and Blue> The phosphors are patterned by following the bulkhead using the Step and Scanning method using a nozzle head capable of discharging three phosphors simultaneously.

② 건조 〉 형광체를 건조한다.② Drying> Dry the phosphor.

③ 소성 〉 형광체를 소성한다.③ Firing> Firing the phosphor.

상기와 같이 종래의 방식에서는 13공정을 거쳐서 세가지의 형광체를 패턴할 수 있으나 본 발명에 의해서 3공정을 통합하여 형광체를 패턴할 수 있다.As described above, in the conventional method, three phosphors may be patterned through 13 processes, but the phosphors may be patterned by integrating three processes according to the present invention.

이상과 같은 본 발명에 의해 일실시예로서 PDP텔레비젼 제조에 있어서 PDP용 전극을 형성하는 작업공정을 설명하면 다음과 같다.According to the present invention as described above an operation process for forming an electrode for PDP in the production of PDP television as follows.

제1공정(금속막 증착)First process (metal film deposition)

유리같은 기판상에 금속막을 증착한다.A metal film is deposited on a glass-like substrate.

제2공정(노즐에 의한 패턴형성)2nd process (pattern formation by nozzle)

제1공정에서 얻어진 기판을 스테이지에 흡착시킨 뒤 점성을 가진 재료를 용매와 일정한 비율로 교반하여 GELL상태로 만든 뒤 밀폐용기에 투입하여 점성유체의 특성을 계속 유지시키기 위하여 일정한 온도를 유지하면서 스테이지 위에 설치된 용기와 노즐사이에 펌프를 설치하여 각 노즐에 동일한 압력으로 공급된다.After adsorbing the substrate obtained in the first step on the stage, the viscous material is stirred at a constant ratio with a solvent to make a GELL state, and then put in a sealed container on the stage while maintaining a constant temperature to maintain the characteristic of the viscous fluid. A pump is installed between the installed vessel and the nozzles to supply the same pressure to each nozzle.

동일한 압력으로 노즐에 공급된 점성유체는 노즐을 통과하면서 기판위로 토출된다.The viscous fluid supplied to the nozzle at the same pressure is discharged onto the substrate while passing through the nozzle.

이때 노즐을 통과하면서 점성유체가 끊어지는 일이 없도록 제어한다.At this time, it is controlled so that the viscous fluid is not broken while passing through the nozzle.

노즐 하부에는 기판이 놓여 있으며 기판을 흡착하고 있는 스테이지는 기판 크기보다도 큰 주행거리를 가지고 있으며 패턴이 중첩하는 것을 고려하여 정렬 가능토록 정렬마스크 인식장치와 정렬을 제어할 수 있는 스테이지의 구조를 가진다.The substrate is placed under the nozzle, and the stage adsorbing the substrate has a mileage larger than the substrate size, and has a structure of an alignment mask recognition device and a stage that can control alignment so that the patterns can be aligned in consideration of overlapping patterns.

또한 기판면적이 클 경우 STEP AND SCANNING이 가능한 구조의 스테이지를 가진다.In addition, when the substrate area is large, it has a stage with the structure of STEP AND SCANNING.

노즐을 통하여 노출되는 점성유체는 스테이지에 고정된 기판이 정속으로 주행하는 스테이지에 의해 기판의 표면과 접촉하면서 밀착되어 기판에 원하는 패턴의 형상을 만들 수 있다.The viscous fluid exposed through the nozzle is brought into close contact with the surface of the substrate by a stage in which the substrate fixed to the stage travels at a constant speed, thereby forming a shape of a desired pattern on the substrate.

이때 노즐의 토출구 형상은 원하는 패턴에 따라 선택하여야 하며 위의 작업과정은 하나의 단계로 이루어진다.At this time, the discharge port shape of the nozzle should be selected according to the desired pattern and the above operation process is made in one step.

제3공정(에칭=etching)3rd process (etching)

제2공정에서 얻어진 기판에서 용액에 의해 형성된 패턴의 형상을 제외한 부분의 금속막을 제거한다.The metal film of the part except the shape of the pattern formed by the solution is removed from the board | substrate obtained by the 2nd process.

제4공정(스트리프=strip)4th process (strip = strip)

제3공정에서 얻어진 기판에서 용액이 분사되어 도포된 부분의 용액을 제거하면 금속막에 의해 패턴이 형성된다.When the solution is sprayed from the substrate obtained in the third step to remove the solution of the coated portion, a pattern is formed by the metal film.

이와 같은 작업공정에 의해서 종래와 같은 PDP용 전극을 형성할 수 있고, 이외에도 격벽이나 형광체를 도포하는 것도 상기와 같은 방법을 이용하면 되므로 종래에 비해 작업공정이 많이 단축되어서, 즉 ①금속막 증착 ⇒ ②PR(photo resist) 도포 ⇒ ③건조(prebaking) ⇒ ④노광 ⇒ ⑤현상 ⇒ ⑥에칭(etching) ⇒ ⑦스트리프(strip)의 종래 공정에서 ②PR(photo resist) 도포 ⇒ ③건조(prebaking) ⇒ ④노광 ⇒ ⑤현상의 공정이 노즐(nozzle)에 의한 패턴 형성공정 하나로 단축된 것이다.Such a work process can form a conventional PDP electrode, and in addition to applying a partition or phosphor, the above-described method can be used. ② Application of PR (photo resist) ⇒ ③ Prebaking ⇒ ④ Exposure ⇒ ⑤ Phenomenon ⇒ ⑥ Etching ⇒ ⑦ Applying PR (photo resist) ⇒ ③ Prebaking ⇒ ④ Exposure ⑤ ⑤ The development process is shortened to one pattern forming process by nozzle.

상기의 본 발명에서와 같이 용액을 도포하는 과정부터 금속막을 제거하는 에칭작업 공정까지를 노즐에 의해서 이루어지도록 한 것으로서 노즐의 분사로 패턴을 이루는 것은 본 발명의 범주 내에 있다 할 것이다.As in the present invention described above, the process of applying the solution to the etching operation of removing the metal film is performed by the nozzle, and it is within the scope of the present invention to form a pattern by spraying the nozzle.

따라서 이상과 같이 PDP 텔레비젼을 제조함에 있어서 PDP용 전극형성, 격벽형성 및 형광체 도포 등을 노즐에 의한 진행으로 패턴을 형성하므로써, 작업공정이 단축되고, 단축에 따른 고가의 장비축소, 시간, 자재, 유지관리비 등 원가를 절감할 수 있는 경제적인 특징이 있다.Therefore, in manufacturing the PDP television as described above, by forming a pattern by the nozzle, the formation of the electrode for PDP, the formation of the partition wall, the application of the phosphor, etc., the work process is shortened, and the expensive equipment reduction, time, material, There are economic features to reduce costs such as maintenance costs.

Claims (7)

PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴을 형성하는 작업공정이 금속막 증착 → 노즐(nozzle)에 의한 패턴형성 → 에칭(etching) → 스트리프(strip) 또는 직접패턴 → 소성 순으로 진행되는 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.In the production of PDP televisions, the process of forming a pattern is performed by deposition of a metal film → pattern formation by nozzle → etching → stripping or direct pattern → firing. The method of forming a pattern in manufacture. 제1항에 있어서 노즐(nozzle)에 의한 패턴형성공정은 점성력을 가진 재료에 화학용액을 일정한 비율로 교반하여 GELL상태로 만든 뒤 밀폐용기에 투입하여 점성유체의 특성을 유지하기 위하여 일정한 온도를 유지하면서 여러개의 노즐에 공급하여 동일한 압력으로 스테이지에 흡착된 기판에 토출시키는 방법으로 이루어진 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.The pattern forming process of claim 1, wherein the pattern forming process by the nozzle is made by stirring a chemical solution to a material having a viscous force at a constant ratio to make a GELL state, and then maintaining a constant temperature in order to maintain a characteristic of the viscous fluid by putting it in a sealed container. A method of forming a pattern in a PDP television manufacturing method comprising the steps of: supplying to a plurality of nozzles and discharging them onto a substrate adsorbed on a stage at the same pressure. 제1항 및 제2항에 있어서 노즐의 토출구 형상을 원형으로 형성한 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.The pattern formation method according to claim 1 or 2, wherein the discharge port shape of the nozzle is formed in a circular shape. 제1항 및 제2항에 있어서 노즐의 토출구 형상을 타원형으로 형성한 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.The pattern formation method according to claim 1 or 2, wherein the discharge port shape of the nozzle is formed in an elliptical shape. 제1항 및 제2항에 있어서 노즐의 토출구 형상을 사각형으로 형성한 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.The pattern formation method according to claim 1 or 2, wherein the discharge port shape of the nozzle is formed in a rectangle. 제1항 및 제2항에 있어서 노즐의 토출구 형상을 삼각형으로 형성한 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.The pattern formation method according to claim 1 or 2, wherein the discharge port shape of the nozzle is formed in a triangle. 제1항 및 제2항에 있어서 노즐의 토출구 형상을 사다리꼴형으로 형성한 것을 특징으로 한 PDP 텔레비젼 제조에 있어서 패턴의 형성 방법.The pattern formation method according to claim 1 or 2, wherein the discharge port shape of the nozzle is formed in a trapezoidal shape.
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