KR100291997B1 - Control method for restarting of micro wave discharge light source system and apparatus thereof - Google Patents
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Abstract
개시된 내용은 방전광원 시스템에서 공진공동(共振空胴) 내의 방전관구에서 발생되는 온도를 측정하여 방전관구의 재시동 시간을 단축하도록 하는 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a restart control apparatus for a microwave discharge light source system for measuring a temperature generated in a discharge hole in a resonant cavity in a discharge light source system to shorten a restart time of the discharge hole.
개시된 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치는, 공진공동의 외부 적소에 대략 근접 설치되어 공진공동 내의 온도를 측정하는 온도검출수단과, 측정된 온도에 대응한 전기적 신호를 파형 정형화하는 신호처리수단과, 신호 처리된 파형에 대한 방전관구의 현재의 온도와 기 설정된 재시동 기준온도를 비교하여 그에 따른 제어신호를 발생하는 마이크로 프로세서와, 제어신호에 따라 고압발생수단으로의 상용 교류전원을 공급 또는 차단하는 전압단속수단을 포함하며:The restart control apparatus of the disclosed microwave discharge light source system includes: temperature detecting means for measuring a temperature in a resonance cavity substantially adjacent to an external location of a resonance cavity, signal processing means for waveform shaping an electrical signal corresponding to the measured temperature; A microprocessor that compares the current temperature of the discharge tube with a preset restart reference temperature for a signal-processed waveform and generates a control signal according to this, and voltage interruption that supplies or cuts off commercial AC power to the high-voltage generating means according to the control signal. Means include:
이에 따라 기존의 타이머를 이용함에 의해 발생되는 방전관구의 재시동 시간의 지연과 마그네트론 및 기타 부품의 파손을 미연에 방지할 수 있고, 또한 설치환경에 따라 방전관구의 재시동 시간이 충분히 단축되는 이점이 있다.Accordingly, it is possible to prevent the delay of the restarting time of the discharge tube and the damage of the magnetron and other components, which are generated by using the existing timer, and the restarting time of the discharge tube is sufficiently shortened according to the installation environment.
Description
본 발명은 마이크로파 마이크로파 방전광원 시스템에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 말하면 마이크로파의 공진공동(共振空胴)속에 배치된 무전극 방전관구(discharge Lamp : 放電官求)를 가지는 마이크로파 방전광원 장치에서 특히, 설치환경에 따라 방전관구의 재시동(발광)시간을 충분히 단축시키도록 하는 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법 및 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a microwave microwave discharge light source system, and more particularly, to a microwave discharge light source device having an electrodeless discharge lamp disposed in a resonant cavity of a microwave. The present invention relates to a restart control method and apparatus for a microwave discharge light source system for shortening the restart (light emitting) time of a discharge tube according to an environment.
근래에, 마이크로파 공진공동속에 배치된 무전극 전구를 가지는 무전극 마이크로파 방전광원 장치가 개발되고 있으며, 그 수명이 길고 발광효율이 좋기 때문에 주목을 끌고 있다.In recent years, an electrodeless microwave discharge light source device having an electrodeless bulb disposed in a microwave resonant cavity has been developed, and has attracted attention because of its long life and good luminous efficiency.
이와 같은 무전극 마이크로파 방전광원 장치는 공진공동 벽면의 대부분을 광투과성부재로 형성한 마이크로파 공진공동을 갖는 것으로서, 예를 들면, 일본국 공개특허공보 제 56-126250호에 의해 공지되어 있다.Such an electrodeless microwave discharge light source device has a microwave resonant cavity in which a large part of the resonant cavity wall surface is formed of a light transmitting member, and is known, for example, from Japanese Patent Laid-Open No. 56-126250.
도 1은 일본국 공개특허공보 제 56-126250호에 기재된 그와 같은 무전극 마이크로파 방전광원 장치의 하나를 표시하며, 도 2는 도 1의 무전극 마이크로파 방전광원 장치를 정면에서 본 단면도를 표시한 것이다.FIG. 1 shows one such electrodeless microwave discharge light source device described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 56-126250, and FIG. 2 shows a cross-sectional view of the electrodeless microwave discharge light source device of FIG. will be.
상기 장치에 있어서, 안테나(100a)를 가지는 마그네트론(100)은 마그네트론(100)에 의하여 발생된 마이크로파를 마이크로파공급포트(102a)를 통하여 공진공동(102)에 공급하는 환기공(101a)을 가지는 도파관(101)의 끝에 배치되어 있으며, 공진공동(102)은 광반사 회전 대칭내면을 가지는 포물선 형상의 광반사판(102b)과 마이크로파에는 불통하나 광선은 투과하며, 공진공동(102)의 전면을 형성하는 금속망(102c)으로 형성되어 있다.In the above apparatus, the magnetron 100 having the antenna 100a has a waveguide having a ventilation hole 101a for supplying microwaves generated by the magnetron 100 to the resonant cavity 102 through the microwave supply port 102a. The resonant cavity 102 is disposed at the end of the resonator cavity 101. The resonant cavity 102 has a parabolic light reflecting plate 102b having a light reflection rotationally symmetrical inner surface and a microwave, but transmits light and forms a front surface of the resonant cavity 102 It is formed of the metal mesh 102c.
공진공동(102) 내에 배치되어 플라즈마 발생매체가 그 속에 봉입된 구형(求刑) 무전극 방전관구(103)는 공진공동(102)의 전면을 덮은 금속망(102c)을 통하여 광선을 방사하는데, 마이크로파가 방전관구(103)속으로 방사되면 먼저 관구속에 봉입된 가스가 공진공동(102) 속으로 방사된 마이크로파로 인하여 방전되며, 이와 같이하여 방전관구(103)의 내면이 가열되고, 방전관구(103)의 내면에 증착된 수은과 같은 금속이 가스로 증발되며, 결국 방전관구(103) 내의 방전이 금속가스의 방전으로 되어, 금속의 종류에 고유한 방출 스펙트럼을 가지는 광선이 방전금속가스로부터 방출된다. 방출된 광선은 공동벽, 즉 포물선 형상의 광반사판(102b)에 의하여 반사되어서 전면망, 즉 금속망(102c)의 전면을 통하여 앞쪽으로 방사된다.The spherical electrodeless discharge tube 103 disposed in the resonant cavity 102 and the plasma generating medium encapsulated therein emits light through the metal mesh 102c covering the entire surface of the resonant cavity 102. When the gas is discharged into the discharge tube 103, the gas enclosed in the tube tube is discharged due to the microwaves radiated into the resonance cavity 102. Thus, the inner surface of the discharge tube 103 is heated, and the discharge tube 103 The metal such as mercury deposited on the inner surface of the e) is evaporated into gas, and eventually the discharge in the discharge tube 103 becomes the discharge of the metal gas, so that light rays having an emission spectrum inherent to the type of metal are emitted from the discharge metal gas. . The emitted light rays are reflected by the cavity wall, that is, the parabolic light reflecting plate 102b, and are radiated forward through the front net, that is, the front of the metal net 102c.
이 장치는 또한, 마그네트론(100)과 방전관구(103)를 냉각하기 위하여 하우징(105)의 말단 벽에 냉각팬(104)을 가진다.The apparatus also has a cooling fan 104 on the distal wall of the housing 105 to cool the magnetron 100 and the discharge port 103.
그러나, 이와 같은 무전극 마이크로파 방전광원 장치에서, 공진공동(102) 내의 방전관구(103)가 발광을 멈춘 후에 다시 시동을 하기 위해서는 일정 시간이 경과된 후, 예컨대 방전관구(103)의 온도가 충분히 낮은 상태에서 재시동 해야 만이 가능하다.However, in such an electrodeless microwave discharge light source device, in order for the discharge tube 103 in the resonant cavity 102 to stop light emission and start again, after a predetermined time has elapsed, for example, the temperature of the discharge tube 103 is sufficiently increased. This can only be done by restarting from a low state.
특히 수은램프, 나트륨 램프 및 무전극 방전관구(103)와 같이, 가스가 봉입된 램프들은 초기에 차가운 상태에서는 램프 내에 봉입된 가스와 그 밖의 추가된 원소가 마그네트론(100)의 마이크로파 에너지에 의해 가열되면서 방전을 시작하여 빛을 발산한다.In particular, gas-filled lamps, such as mercury lamps, sodium lamps, and electrodeless discharge bulbs 103, are initially heated in the cold state by the microwave energy of the magnetron 100 and the gas encapsulated in the lamp. It starts to discharge and emits light.
그리고, 빛의 발산 후에 상기 혼합 기체온도가 매우 높아져 있는 상태에서, 즉 방전관구(103)의 온도가 어느 수준 이상으로 높아져 있는 상태에서 다시 방전을 일으키기 위해서는 전계의 강도가 초기 시동 때의 전계보다 훨씬 커져야만 가능하다.In order to cause the discharge again in a state where the mixed gas temperature is very high after the emission of light, that is, the temperature of the discharge tube 103 is higher than a certain level, the intensity of the electric field is much higher than that at the initial startup. Only when it is big is possible.
그러나 마그네트론(100)에서 방사되는 마이크로파 에너지는 일정하며 이것에 수반하여 방전관구(103)가 재 방전을 일으키지 않아 빛을 발산하지 않게 된다.However, the microwave energy radiated from the magnetron 100 is constant, and with this, the discharge tube 103 does not cause re-discharge and does not emit light.
이와 같이 방전관구(103)의 재 방전이 불가능한 상태에서 마그네트론(100)으로부터 계속 마이크로파 에너지가 집중되면 방전관구(103)의 동작 불능에 의해서 공진공동(102)내의 마이크로파 에너지가 마그네트론(100) 측으로 궤환하게 된다. 이 결과에 의해 마그네트론(100)이 가열되어 파손될 우려가 있고, 기타의 부품이 파손될 우려가 있다.As such, when microwave energy continues to be concentrated from the magnetron 100 in the state where the discharge tube 103 cannot be re-discharged, the microwave energy in the resonance cavity 102 is fed back to the magnetron 100 due to the inoperability of the discharge tube 103. Done. As a result, the magnetron 100 may be heated and damaged, and other components may be damaged.
따라서, 공진공동 내에 배치된 방전관구의 시동 후 재시동 때에 방전관구의 온도에 의해 야기되는 마그네트론 및 기타 부품의 파손을 회피하기 위한 하나의 방법으로서, 타이머를 이용, 일정 시간 경과 후에 마그네트론을 제어하여 방전관구를 재 시동하는 도 3과 같은 장치가 공개되어 있다.Therefore, as a way to avoid the damage of the magnetron and other parts caused by the temperature of the discharge tube at the time of restarting the discharge tube disposed in the resonance cavity, the magnetron is controlled by controlling the magnetron after a certain time has elapsed. A device such as FIG. 3 for restarting is disclosed.
도 3은 종래 기술에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치를 설명하기 위한 개략적인 블럭도이다. 여기서 도 1, 도 2와 같은 구성성분에 관해서는 동일한 번호를 부여하여 표시하고 그 중복되는 설명을 생략하기로 한다.3 is a schematic block diagram illustrating a restart control apparatus of a microwave discharge light source system according to the prior art. 1 and 2, the same reference numerals are assigned to the same components, and redundant description thereof will be omitted.
도 3에 따르면, 마그네트론(100)의 안테나(100a)에서 방사되어 도파관(101)의 안내에 의해 입력되는 마이크로파 에너지를 공진공동(102)의 방전관구(103)에서 방전을 일으켜 빛의 에너지로 변환하며 이를 금속망(102c)을 통해 발산하는 마이크로파 방전광원 시스템에 있어서, 플러그(112)를 통해 입력되는 상용 교류전원(AC)을 충분히 낮은 레벨로 다운하고 이를 정류하여 직류전압으로 변환·출력하는 정류부(106)와, 정류된 직류전압을 축적하는 대기전원공급부(107)와, 각종 기능 데이터를 발생하는 조작패널(110)과, 정류부(106)의 전압 및 대기전원 공급부(107)의 축적된 전압에 의해 동작하여 시간을 카운트하는 타이머(109)와, 타이머(109)에서 카운트되어 입력되는 시간과 설정된 재시동 시간을 비교하여 그에 따른 제어신호를 발생하는 마이크로 프로세서(108)와, 마이크로 프로세서(108)의 제어에 따라 플러그(112)를 통해 입력되는 상용 교류전원(AC)을 가속용 고전압으로 승압시켜 마그네트론(100)에 공급하는 고압발생부(111)로 구성된다.According to FIG. 3, the microwave energy radiated from the antenna 100a of the magnetron 100 and input by the guide of the waveguide 101 generates a discharge in the discharge tube 103 of the resonant cavity 102 and converts it into energy of light. In the microwave discharge light source system that emits this through the metal network (102c), the rectifying unit for converting the commercial AC power (AC) input through the plug 112 to a sufficiently low level, rectifying it to convert and output to a DC voltage 106, the standby power supply unit 107 for accumulating the rectified DC voltage, the operation panel 110 for generating various functional data, the voltage of the rectifying unit 106 and the accumulated voltage of the standby power supply unit 107 A timer 109 for counting the time of operation by the controller, a microprocessor 108 for comparing the time counted by the timer 109 with the set restart time and generating a control signal accordingly; By boosting a commercial AC power source (AC) input via the plug 112 under the control of the chroma processor 108 to a high voltage for acceleration it is composed of high-pressure generating portion 111 to be supplied to the magnetron (100).
이와 같이 구성된 종래의 기술에 따른 마이크로파 방전광원 시스템에서 방전관구의 재시동 제어장치를 이하를 통해 구체적으로 설명한다.The restart control apparatus for the discharge tube in the microwave discharge light source system according to the related art configured as described above will be described in detail below.
먼저, 상용 교류전원(AC)이 플러그(112)를 통해 고압발생부(111) 및 정류부(106)에 입력된다.First, the commercial AC power source AC is input to the high pressure generator 111 and the rectifier 106 through the plug 112.
정류부(106)는 입력된 상용 교류전원(AC)을 일정한 레벨의 고류전압으로 다운하고 이를 브리지 다이오드로 정류 후에 콘덴서를 통해 평활 하여 대용량의 콘덴서와 같은 대기전원공급부(107)에 공급함과 아울러 타이머(109) 및 마이크로 프로세서(108)에 공급한다.The rectifier 106 downgrades the input commercial AC power to a high level voltage of a constant level, rectifies it with a bridge diode, smoothes it through a capacitor, and supplies the same to a standby power supply 107 such as a large capacity capacitor. 109 and microprocessor 108.
여기서, 대기전원 공급부(107)는 정류부(106)에서 입력되는 전압을 축적하였다가 플러그(112)가 도면에 도시되지 않은 콘센트로부터 분리될 경우에 한해서 상기 축적된 전압을 타이머(109) 및 마이크로 프로세서(108)에 공급한다.Here, the standby power supply unit 107 accumulates the voltage input from the rectifying unit 106 and stores the accumulated voltage only in the timer 109 and the microprocessor when the plug 112 is disconnected from the outlet not shown. To 108.
이와 같은 상태에서 조작패널(110)로부터 공진공동(102) 내의 방전관구(103)를 시동하기 위해 시동키이 데이터가 입력되면 마이크로 프로세서(108)는 정류부(106)에서 공급되는 전압에 의해 동작하여 고압발생부(111)를 제어한다.In this state, when the start key data is input to start the discharge hole 103 in the resonant cavity 102 from the operation panel 110, the microprocessor 108 operates by the voltage supplied from the rectifying unit 106 to operate the high pressure. The generator 111 is controlled.
고압발생부(111)는 마이크로 프로세서(108)의 제어에 의해 플러그(112)에서 입력되는 상용 교류전원(AC)을 승압하여 가속용 고전압, 예컨대 4.2KV의 고전압을 하우징(105) 내의 마그네트론(100)에 공급된다.The high voltage generating unit 111 boosts the commercial AC power AC input from the plug 112 by the control of the microprocessor 108 to generate a high voltage for acceleration, for example, a high voltage of 4.2 KV, in the magnetron 100 in the housing 105. Is supplied.
마그네트론(100)은 입력된 가속용 고전압에 의해 발진하여 그의 안테나(100a)를 통해 매우 높은 주파수, 예컨대 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 발생하여 환기공(101a)을 갖는 도파관(101) 및 공진공동(102)의 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 공진공동(102) 내의 방전관구(103)에 집중시킨다. 이것에 수반하여 방전관구(103)가 마이크로파 에너지를 흡수하여 공진공동(102)의 금속망(102c)을 통해 빛을 발산한다. 이때 방전관구(103)가 빛을 발산할 때 앞에서 설명한 바와 같이 그 방전관구(103)의 중심 온도는 수천도 까지 상승한다.The magnetron 100 oscillates by the input high voltage for acceleration and generates microwave energy of its very high frequency, for example, 2.45 GHz, through its antenna 100a to generate a waveguide 101 and a resonant cavity 102 having a vent hole 101a. The concentration is concentrated in the discharge tube 103 in the resonant cavity 102 through the microwave supply port 102a. In connection with this, the discharge tube 103 absorbs microwave energy and emits light through the metal mesh 102c of the resonant cavity 102. At this time, as the discharge tube 103 emits light, the center temperature of the discharge tube 103 rises to several thousand degrees.
이후 고압발생부(111)의 동작을 중지시켜 방전관구(103)의 시동을 끝내고 다시 시동시키기 위해서 조작패널(110)을 통해 재시동을 하면 마이크로 프로세서(108)는 방전관구(103)의 시동이 끝난 시점부터 타이머(109)를 통해 현재의 시간을 카운트하여 설정된 재 시동시간과 비교한다.After stopping the operation of the high-pressure generating unit 111 to finish the start of the discharge tube 103 and to restart through the operation panel 110, the microprocessor 108 is finished starting the discharge tube 103 From the time point, the current time is counted through the timer 109 and compared with the set restart time.
타이머(109)에서 읽어들인 시간이 설정된 재 시동시간, 예컨대 대략 10분이 경과되면 마이크로 프로세서(108)는 고압발생부(111)를 제어하여 마그네트론(100)에 가속용 고전압을 인가함으로써, 전술한 바와 같이, 마그네트론(100)으로부터 발생되는 마이크로파 에너지에 의해서 공진공동(102) 내의 방전관구(103)가 재 시동하여 빛을 발산하게 된다.When the reset time read by the timer 109 is set, for example, about 10 minutes has elapsed, the microprocessor 108 controls the high-pressure generator 111 to apply the high voltage for acceleration to the magnetron 100, as described above. Similarly, the discharge tube 103 in the resonant cavity 102 is restarted by the microwave energy generated from the magnetron 100 to emit light.
그리고, 도면에 도시하지 않은 상기 콘센트로부터 플러그(112)를 뽑았을 경우에도 지속적으로 시간을 카운트하여야 함으로 대용량의 콘덴서와 같은 대기전원 공급부(107)가 자체에 축적되어 있는 전원을 타이머(109)에 제공함으로써, 타이머(109)가 지속적으로 시간을 카운트하게 된다.In addition, even when the plug 112 is unplugged from the outlet, which is not shown in the drawing, the time must be continuously counted so that power stored in the standby power supply unit 107 such as a large capacity capacitor is stored in the timer 109. By providing a timer, the timer 109 continuously counts time.
전술한 종래 기술에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치는, 타이머를 이용하여 방전관구가 발광을 멈출 때부터의 시간을 측정하여 일정한 시간이 경과되었을 경우에 마그네트론을 발진시켜 공진공동 내의 방전관구를 재 시동시켜 주게 됨을 알 수 있다.The restart control apparatus for a microwave discharge light source system according to the related art described above uses a timer to measure the time from when the discharge tube stops emitting light, and when a certain time has elapsed, the magnetron is started to discharge the discharge tube in the resonance cavity. You will notice that it will restart.
그러나, 이와 같은 종래의 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치는, 공진공동 내에 배치된 방전관구의 온도가 설치환경, 특히 여름과 겨울에 따라 상당히 많이 좌우된다는 것이다.However, the restart control apparatus of such a conventional microwave discharge light source system is that the temperature of the discharge tube disposed in the resonant cavity depends greatly on the installation environment, especially summer and winter.
예컨대, 계절이 겨울일 경우, 방전관구는 그 주위의 차가운 온도에 의해 재시동이 가능한 상태로 충분히 식었는데도 불구하고 재 시동시간이 경과할 때까지 대기하여야 하는 시간 지연이 발생되며, 또한 계절이 여름일 경우, 주위의 높은 온도에 의해 방전관구의 온도가 충분히 식지 않은 상태에서 재 시동시간이 경과하면 바로 방전관구를 재 시동시킴으로써, 전술한 마그네트론 및 기타의 부품이 손상되는 문제점을 내재하고 있다.For example, if the season is winter, there is a time delay in which the discharge tube has to wait until the restart time has elapsed even though the discharge tube has cooled down enough to be restarted by the surrounding cold temperature. In this case, if the temperature of the discharge tube is not sufficiently cooled by the surrounding high temperature, the discharge tube is restarted immediately after the restarting time has elapsed, thereby causing the problem of the above-described magnetron and other parts being damaged.
또한, 전원코드를 뽑았을 경우를 대비하여 대용량의 콘덴서와 같은 대기전원 공급부를 사용함으로 인해 제품의 가격이 상승되고, 구조 또한 복잡해지는 문제점을 내재하고 있다.In addition, in the case of unplugging the power cord by using a standby power supply such as a large-capacity capacitor, the price of the product is increased, and the structure also has a problem that is complicated.
따라서, 상기와 같은 문제점을 치유하면서도 비용 면에서는 저가의 방전광원 시스템을, 그리고 신뢰성 면에서는 보다 효율적이고 안정된 방전광원 시스템을 제공하는 것이 바람직하다.Therefore, it is desirable to provide a low-cost discharge light source system in terms of cost and a more efficient and stable discharge light source system in terms of reliability while alleviating the above problems.
따라서, 본 발명의 목적은 설치환경에 맞게 재 시동시간을 조절하여 방전관구를 시동시키도록 하는 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법 및 장치를 제공하는 것이며, 그 장치는 크기가 작고 구조가 간단한 것을 특징으로 한다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a restart control method and apparatus for a microwave discharge light source system for starting a discharge bulb by adjusting a restart time according to an installation environment, the apparatus being small in size and simple in structure. It is done.
본 발명의 다른 목적은 설치환경에 따라 공진공동 내에 배치된 방전관구의 온도를 측정하여 재 시동시간을 충분히 단축시키도록 하는 것이며, 상기 온도측정은 공진공동에 근접되며 크기가 작고 중량이 아주 가벼운 저가의 센서를 갖는 것이다.Another object of the present invention is to shorten the restart time by measuring the temperature of the discharge tube disposed in the resonant cavity according to the installation environment, the temperature measurement is close to the resonant cavity, small size and very light weight To have a sensor.
본 발명의 또다른 목적은 시스템 속에 포함된 대기전원으로 사용되는 대용량의 콘덴서를 배제시키면서도 재 시동시간을 효율적으로 조절할 수 있는 저가의 방전광원 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a low-cost discharge light source system that can efficiently control the restart time while eliminating the large-capacity capacitor used as standby power included in the system.
도 1은 일반적인 마이크로파 방전광원 시스템의 일부를 절개하여 보인 개략적인 사시도이고,1 is a schematic perspective view showing a part of a typical microwave discharge light source system cut,
도 2는 상기 마이크로파 방전광원 시스템을 정면에서 본 단면도이고,2 is a sectional front view of the microwave discharge light source system,
도 3은 상기 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치를 설명하기 위한 개략적인 블럭도이고,3 is a schematic block diagram illustrating a restart control apparatus of the microwave discharge light source system;
도 4는 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치의 설명에 제공되는 실시 예를 나타내는 블록도이고,Figure 4 is a block diagram showing an embodiment provided in the description of the restart control device of the microwave discharge light source system according to the present invention,
도 5는 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법에 대한 신호 흐름도이다.5 is a signal flowchart of a restart control method of a microwave discharge light source system according to the present invention.
〈 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
100 : 마그네트론 100a : 안테나100: magnetron 100a: antenna
101 : 도파관 101a : 환기공101: waveguide 101a: ventilator
102 : 공진공동 102a : 마이크로파 공급포트102: resonant cavity 102a: microwave supply port
102b : 광반사판 102c : 금속망102b: light reflection plate 102c: metal mesh
103 : 방전관구 104 : 냉각팬103: discharge tube 104: cooling fan
200 : 온도검출부 201 : 신호처리부200: temperature detector 201: signal processor
202 : 조작패널 203 : 마이크로 프로세서202: operation panel 203: microprocessor
204 : 전압단속부 205 : 고압발생부204: voltage interrupter 205: high voltage generator
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법은, 도파관으로부터 마이크로파 공급포트를 통해 마이크로파 에너지가 공급되고 상기 공급된 마이크로파 에너지를 공진공동에서 빛의 에너지로 변환하여 방사하는 마이크로파 방전광원 시스템에 있어서:Restart control method of a microwave discharge light source system according to an aspect of the present invention for achieving the above object, the microwave energy is supplied from the waveguide through the microwave supply port and the supplied microwave energy from the resonance cavity to the energy of the light In a microwave discharge light source system that converts and emits:
(1) 상기 공진공동 내의 방전관구의 방전 오프 상태를 판단하여 마그네트론의 가속용 고전압을 차단하는 단계;(1) blocking the high voltage for accelerating the magnetron by determining the discharge-off state of the discharge tube in the resonance cavity;
(2) 상기 공진공동 내의 방전관구의 방전 오프 상태에서 재 시동키이 입력 시 상기 공진공동 내의 온도를 측정하는 단계;(2) measuring the temperature in the resonance cavity when the restart key is input in the discharge-off state of the discharge tube in the resonance cavity;
(3) 상기 측정 온도와 설치환경에 따라 기 설정된 재시동 기준온도를 비교하는 단계;(3) comparing a preset restart reference temperature according to the measured temperature and the installation environment;
(4) 상기 측정온도가 상기 재시동 기준온도 보다 높으면 상기 기준온도에 도달 때까지 온도를 측정하여 상기 기준온도에 도달 시에 마그네트론을 발진시켜 공진공동 내의 방전관구를 재 시동시키는 단계를 포함한다.(4) if the measured temperature is higher than the restart reference temperature, measuring the temperature until reaching the reference temperature, and oscillating the magnetron when the reference temperature is reached to restart the discharge tube in the resonance cavity.
선택적으로, 상기 측정온도가 상기 재시동 기준온도를 초과 시에 방전관구의 재시동 불능 상태를 시각적으로 표시하여 주는 것을 특징으로 한다.Optionally, when the measurement temperature exceeds the restart reference temperature, it is possible to visually display the restartability state of the discharge tube.
또한, 본 발명의 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치에 의하면, 도파관으로부터 마이크로파 공급포트를 통해 마이크로파 에너지가 공급되는 공진공동과, 이 공진공동내에 배치되어 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 방전관구와, 이 방전관구로부터의 빛을 반사시키는 광반사판과, 상기 공진공동의 전면에 형성되어 마이크로파 에너지를 차단하고 빛을 통과시키는 금속망으로 이루어진 마이크로파 방전광원 장치에 있어서:In addition, according to the restart control apparatus of the microwave discharge light source system of the present invention, there is provided a resonant cavity in which microwave energy is supplied from a waveguide through a microwave supply port, and a discharge tube disposed in the resonant cavity for converting microwave energy into energy of light. A microwave discharge light source device comprising a light reflector reflecting light from a discharge tube and a metal network formed on the front surface of the resonant cavity to block microwave energy and allow light to pass through:
(1) 상기 공진공동의 외부 적소에 대략 근접 설치되어 상기 공진공동 내의 온도를 측정하는 온도검출수단;(1) temperature detecting means which is installed at an approximate location in the outer cavity of the resonant cavity and measures a temperature in the resonant cavity;
(2) 상기 온도검출수단에서 측정한 온도에 대응한 전기적 신호를 파형 정형화하는 신호처리수단;(2) signal processing means for shaping the electrical signal corresponding to the temperature measured by the temperature detecting means;
(3) 상기 신호처리수단에서 얻어진 파형에 대응한 상기 방전관구의 측정온도와 기 설정된 재시동 기준온도를 비교하여 그에 따른 제어신호를 발생하는 마이크로 프로세서; 및(3) a microprocessor for comparing the measured temperature of the discharge bulb corresponding to the waveform obtained by the signal processing means with a preset restart reference temperature and generating a control signal according thereto; And
(4) 상기 마이크로 프로세서의 제어에 의해 상용 교류전원을 단속하여 마그네트론의 구동을 제어하는 전압단속수단을 포함한다.And (4) voltage interrupting means for controlling the driving of the magnetron by interrupting commercial AC power by the control of the microprocessor.
바람직하기로, 상기 온도검출수단에서 측정한 온도가 상기 재시동 기준온도 이하 시에 상기 전압단속수단이 고압발생수단에 상용 교류전원을 공급하여 방전관구를 재 시동시키는 것을 특징으로 한다.Preferably, when the temperature measured by the temperature detecting means is less than the restart reference temperature, the voltage control means supplies a commercial AC power to the high-pressure generating means to restart the discharge tube.
선택적으로, 상기 온도검출수단에서 측정한 온도에 따라 상기 방전관구의 재 시동 가능 및 불가능 상태를 표시하여 주는 표시수단을 더 포함한 것을 특징으로 한다.Optionally, the display unit may further include display means for displaying a state capable of restarting or disabling the discharge tool according to the temperature measured by the temperature detecting means.
선택적으로, 상기 전압단속수단을 아날로그 스위치로 구성함을 특징으로 한다.Optionally, the voltage interrupting means is configured as an analog switch.
이와 같이하면, 공진공동 속에 배치된 방전관구의 온도를 온도검출수단을 통해 측정하고 신호처리수단을 통해 마이크로 프로세서에 제공함으로써, 마이크로 프로세서가 측정온도와 설치환경에 맞게 조절된 재시동 기준온도와 비교하여 방전관구의 재시동 여부를 결정하여 주게 됨을 알 수 있다.In this way, the temperature of the discharge tube arranged in the resonant cavity is measured by the temperature detecting means and provided to the microprocessor through the signal processing means, so that the microprocessor compares with the restart reference temperature adjusted for the measurement temperature and the installation environment. It will be determined whether or not the sphere is restarted.
그 결과, 타이머의 사용에 따른 방전관구의 재시동 시간의 지연 또는 방전관구의 재시동 불능 상태에서의 재시동에 따른 마그네트론 및 기타 부품의 파손이 일어나지 않으며, 또한 별도의 부품 추가 없이 설치환경에 따라 방전관구의 재시동 시간을 단축시킬 수 있는 이점이 있다.As a result, the magnetron and other parts are not damaged due to the delay of the restarting time of the discharge tube according to the use of the timer or the restarting of the discharge tube in a non-rebootable state. There is an advantage that can be shortened.
그리고, 본 발명의 실시 예로는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 가장 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하고자 한다.And, there may be a plurality of embodiments of the present invention, the following will be described in detail for the most preferred embodiment.
이 바람직한 실시 예를 통해 본 발명의 목적, 기타의 목적, 특징 및 이점은 예시할 목적으로 도시한 첨부 도면과 관련해서 본 발명에 의한 실시 예를 가지고 이하의 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.Through this preferred embodiment, the objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description with an embodiment according to the present invention in connection with the accompanying drawings shown for illustrative purposes.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법 및 장치의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a restart control method and apparatus of a microwave discharge light source system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
또한, 설명에 사용되는 각 도면에 있어서, 같은 구성성분에 관해서는 동일한 번호를 부여하여 표시하고 그 중복되는 설명을 생략하는 것도 있다.In addition, in each figure used for description, the same component may be attached | subjected, and may show the same number, and the overlapping description may be abbreviate | omitted.
도 4는 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치의 설명에 제공되는 실시 예를 나타내는 블록도이다.Figure 4 is a block diagram showing an embodiment provided for the description of the restart control device of the microwave discharge light source system according to the present invention.
본 실시 예에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치는, 플러그(206)를 통해 입력되는 상용 교류전원(AC)을 가속용 고전압으로 승압하고 정류하여 출력하는 고압발생부(205)와, 상기 가속용 고전압에 의해 발진하여 대략 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 안테나(100a)를 통해 방사하는 마그네트론(100)과, 상기 방사된 마이크로파 에너지를 안내하는 환기공(101a)을 갖는 마이크로파 안내장치로서의 도파관(101)과, 도파관(101)의 단부에 설치되어 그 도파관(101)으로부터 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 마이크로파 에너지를 공급받는 공진공동(102)과, 공진공동(102)내에 배치되며 플라즈마 발생매체가 그 속에 봉입되어 공진공동(102)에 공급된 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 구형의 방전관구(103)와, 이 방전관구(103)로부터 발산된 빛을 외부로 반사시키는 포물선 형상을 갖는 광반사판(102b)과, 공진공동(102)의 전면에 형성되어 마이크로파 에너지는 차단하고 빛을 통과시키는 금속망(102c)과, 공진공동(102)의 적소에 근접 설치되어 방전관구(103)의 온도를 측정하여 그에 상응한 전기적 신호를 출력하는 온도검출부(200)와, 상기 온도에 상응한 전기적 신호를 파형 정형화하여 출력하는 신호처리부(201)와, 각종 기능 데이터를 발생하는 조작패널(202)과, 상기 신호 처리된 파형의 레벨에 따라 방전관구(103)의 현재 온도를 판단하며 그 판단한 온도와 설치환경에 맞게 설정되어 있는 재시동 기준온도와 비교하여 그에 따른 재시동 제어신호를 발생함과 아울러 조작패널(202)에서 입력되는 키이 데이터에 따라 마이크로파 방전광원 시스템의 전체 동작을 제어하는 마이크로 프로세서(203)와, 마이크로 프로세서(203)의 제어신호에 따라 고압발생부(205)로의 상기 상용 교류전원(AC)을 공급 또는 차단하는 전압단속부(204)로 구성된다.Restart control apparatus for a microwave discharge light source system according to the present embodiment, the high-pressure generating unit 205 for boosting and rectifying the commercial AC power (AC) input through the plug 206 to a high voltage for acceleration, and the acceleration, and the acceleration Waveguide 101 as a microwave guide device having a magnetron 100 for oscillating by high voltage for radiating microwave energy of about 2.45 GHz through the antenna 100a, and a vent hole 101a for guiding the emitted microwave energy. And a resonant cavity 102 provided at the end of the waveguide 101 and receiving microwave energy from the waveguide 101 through the microwave supply port 102a, and disposed in the resonant cavity 102, the plasma generating medium being The spherical discharge tube 103 for enclosing the inside and converting the microwave energy supplied to the resonant cavity 102 into energy of light, and the light emitted from the discharge tube 103 A light reflection plate 102b having a parabolic shape to reflect, a metal mesh 102c formed on the front surface of the resonant cavity 102 to block microwave energy and allowing light to pass through, and a location close to the resonant cavity 102 are installed. A temperature detector 200 for measuring the temperature of the discharge tube 103 and outputting an electrical signal corresponding thereto, a signal processor 201 for waveform-shaping and outputting the electrical signal corresponding to the temperature, and generating various functional data Determine the current temperature of the discharge tube 103 according to the operation panel 202 and the level of the signal processed waveform, and compare the restart temperature with the restart reference temperature set according to the determined temperature and the installation environment. And a microprocessor 203 for controlling the overall operation of the microwave discharge light source system according to the key data input from the operation panel 202 and the microprocessor. In response to a control signal from the stand 203 it is composed of a voltage intermittent section 204 that the commercial AC power source (AC) to supply or to block a high voltage generation unit 205.
그리고, 도 5는 공진공동(102) 내의 방전관구(103)에서 발생되는 현재의 온도를 온도검출부(200)를 통해 검출하여 설정된 재시동 기준온도와 비교하고 그 비교결과에 따라 마그네트론(100)의 발진 여부를 결정하여 방전관구(103)를 재시동 시키는 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법에 대한 신호 흐름도이다.5 shows that the current temperature generated in the discharge tube 103 in the resonance cavity 102 is detected by the temperature detecting unit 200 and compared with the set restart reference temperature, and the oscillation of the magnetron 100 according to the comparison result. It is a signal flow chart for the restart control method of the microwave discharge light source system according to the present invention for determining whether to restart the discharge tube 103.
이와 같이 이루어진 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어장치를 도 4 및 도 5를 참조하여 이하를 통해 보다 구체적으로 설명한다The restart control apparatus of the microwave discharge light source system according to the present invention made as described above will be described in more detail with reference to FIGS. 4 and 5.
먼저, 마이크로파 방전광원 시스템을 기동시키기 위해 조작패널(202)을 조작하여 마이크로 프로세서(203)에 입력하면 초기에 마이크로 프로세서(203)는 아날로그 스위치와 같은 전압단속부(204)를 단락(short)시켜 플러그(206)를 통한 상용 교류전원(AC)을 고압발생부(205)에 인가한다.First, when the operation panel 202 is operated and input to the microprocessor 203 to start the microwave discharge light source system, the microprocessor 203 short-circuits a voltage interrupter 204 such as an analog switch. The commercial AC power supply AC through the plug 206 is applied to the high pressure generator 205.
고압발생부(205)는 입력된 상용 교류전원(AC)을 매우 높은 가속용 고전압으로 승압, 예컨대 4.2KV의 고전압으로 승압하여 하우징(105) 내에 설치된 마그네트론(100)에 공급한다.The high voltage generator 205 boosts the input commercial AC power to a high voltage for accelerating the voltage, for example, to a magnetron 100 installed in the housing 105 by boosting the voltage to a high voltage of 4.2 KV.
마그네트론(100)은 고압발생부(205)에서 발생된 가속용 고전압에 의해 발진하여 그의 안테나(100a)를 통해 매우 높은 주파수, 예컨대 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 환기공(101a)을 갖는 도파관(101) 및 공진공동(102)의 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 공진공동(102) 내에 설치되고 플라즈마 발생매체가 봉입된 방전관구(103)에 전달한다. 이것에 수반하여 방전관구(103)는 전술한 바와 같이 마이크로파 에너지를 흡수하여 빛을 발산하게 되고, 그 빛은 포물선 형상을 갖는 광반사판(102b)에서 반사되어 공진공동(102)의 전면에 형성된 금속망(102c)을 통해 외부로 발산된다(단계; ST10). 여기서 마이크로파 에너지는 금속망(102c)에 의해 차단되며, 또한 방전관구(103)가 빛을 발산할 때 마이크로파 에너지로 인한 가열로 인하여 그 방전관구(103)의 중심 온도는 수천도 까지 올라간다.The magnetron 100 is oscillated by the high voltage for acceleration generated in the high-pressure generator 205, and the waveguide 101 having a very high frequency, for example, 2.45 GHz microwave energy through the antenna 100a of the ventilation hole 101a. And it is installed in the resonant cavity (102) through the microwave supply port (102a) of the resonant cavity (102) and delivers the discharge tube (103) in which the plasma generating medium is sealed. In connection with this, the discharge tube 103 absorbs microwave energy to emit light as described above, and the light is reflected from the light reflector 102b having a parabolic shape and formed on the front surface of the resonance cavity 102. It is emitted outward through the network 102c (step ST10). Here, the microwave energy is blocked by the metal mesh 102c, and the center temperature of the discharge tube 103 rises to several thousand degrees due to the heating caused by the microwave energy when the discharge tube 103 emits light.
이와 같은 상태에서, 방전관구(103)의 시동을 끄기 위해 조작패널(202)의 시동 오프키이를 입력하면(단계; ST20) 마이크로 프로세서(203)는 아날로그 스위치와 같은 전압단속부(204)를 개방시켜 고압발생부(205)로 입력되는 상용 교류전원을 차단하며, 이것에 의해 마그네트론(100)에 인가되는 가속용 고전압이 차단되어(단계; ST30) 그 결과, 방전관구(103)의 시동이 꺼지게 된다. 이때 시간이 얼마 지나지 않아 조작패널(202)로부터 방전관구(103)를 켜기 위한 시동키이가 다시 입력되면(단계; ST40) 마이크로 프로세서(203)는 온도검출부(200)를 통해 공진공동(102) 내의 방전관구(103)에서 발생되는 온도를 측정한다.In this state, when the start-off key of the operation panel 202 is input to turn off the start of the discharge tube 103 (step ST20), the microprocessor 203 opens the voltage interruption unit 204 such as an analog switch. To cut off the commercial AC power input to the high-pressure generator 205, thereby interrupting the high voltage for acceleration applied to the magnetron 100 (step ST30), so that the start of the discharge tube 103 is turned off. do. At this time, if the ignition key for turning on the discharge bulb 103 is input again from the operation panel 202 after a short time (step ST40), the microprocessor 203 uses the temperature detector 200 in the resonance cavity 102. The temperature generated in the discharge tube 103 is measured.
이때, 온도검출부(200)는 빛의 발산을 방해하지 않는 금속망(102c)의 하단부 또는 상단부 또는 좌우 주변중 어느 한 곳에 근접 설치되고 전원단자(Vcc)의 전압에 의해 동작하여 공진공동(102) 내의 방전관구(103)에서 발생되는 현재의 온도를 측정한다(단계; ST50). 그리고 그 측정 온도에 상응하는 전기적 신호를 신호처리부(201)에 공급한다. 여기서, 바람직하기로, 온도의 정밀한 측정을 위해 온도검출부(200)를 적어도 한 곳 이상에 설치할 수도 있다.At this time, the temperature detection unit 200 is installed in any one of the lower end or the upper end or left and right surroundings of the metal mesh (102c) does not interfere with the emission of light and is operated by the voltage of the power supply terminal (Vcc) resonant cavity 102 The current temperature generated in the discharge tube 103 in the chamber is measured (step ST50). Then, an electrical signal corresponding to the measured temperature is supplied to the signal processor 201. Here, preferably, the temperature detector 200 may be installed in at least one place for accurate measurement of the temperature.
그리고 신호처리부(202)는 하나의 온도검출부(200) 또는 그 이상의 온도검출부에서 입력되는 온도에 상응한 전기적 신호를 파형 정형화하여 마이크로 프로세서(203)에 공급한다.The signal processor 202 waveform-forms an electrical signal corresponding to a temperature input from one temperature detector 200 or more temperature detectors and supplies the waveform to the microprocessor 203.
마이크로 프로세서(203)는 입력된 파형의 레벨들을 가지고 방전관구(103)의 현재 온도를 판단하여 설치환경에 따라 설정되어 있는 재시동 기준온도와 비교한다(단계; ST60).The microprocessor 203 determines the current temperature of the discharge bulb 103 with the levels of the input waveform and compares it with the restart reference temperature set according to the installation environment (step ST60).
단계(ST60)에서 비교한 결과 방전관구(103)의 현재 측정온도가 재시동 기준온도 이상이면 온도가 떨어질 때까지 계속 방전관구(103)의 온도를 측정하면서 도면에 도시하지 않은 표시수단을 통해 방전관구(103)의 재시동 불가능 상태를 표시하여 주고, 현재의 측정온도가 재시동 기준온도 이하로 떨어졌을 경우에 전압단속부(204)를 단락 시켜 고압발생부(205)에 상용 교류전원(AC)을 공급하고 방전관구(103)의 재시동 가능상태를 표시수단을 통해 표시한다.As a result of the comparison in step ST60, if the current measurement temperature of the discharge tube 103 is equal to or higher than the restart reference temperature, the discharge tube through the display means not shown in the figure while continuously measuring the temperature of the discharge tube 103 until the temperature drops. When the current measurement temperature falls below the restart reference temperature, the voltage interrupter 204 is shorted to supply commercial AC power to the high pressure generator 205. The restartable state of the discharge tube 103 is displayed through the display means.
그리고, 고압발생부(205)는 입력된 상용 교류전원(AC)을 전술한 바와 같이 가속용 고전압으로 승압시켜 마그네트론(100)에 인가하며(단계; ST70) 이것에 의해 마그네트론(100)이 발진하여 공진공동(102) 내의 방전관구(103)에 마이크로파 에너지를 집중시킴으로써 그 방전관구(103)가 재 시동된다(단계; ST80).In addition, the high-voltage generator 205 boosts the input commercial AC power to the high voltage for acceleration as described above and applies it to the magnetron 100 (step ST70), whereby the magnetron 100 oscillates. The discharge tube 103 is restarted by concentrating microwave energy in the discharge tube 103 in the resonance cavity 102 (step ST80).
또한, 방전관구(103)가 기타의 원인에 의해 자동으로 꺼진 후에 치유될 경우, 또는 전원 플러그(206)가 순간적으로 뽑혔다가 다시 끼워진 경우에 바로 재시동을 하지 않고 전술한 바와 같은 방법으로 방전관구(103)의 온도를 온도검출부(200)를 통해 검출하여 방전관구(103)의 온도가 어느 수준 이하, 즉 재시동 기준온도 이하로 떨어질 경우에 한하여 재시동 하여 주게 된다.In addition, when the discharge tube 103 is healed after being automatically turned off by other causes, or when the power plug 206 is momentarily pulled out and reinserted, the discharge tube 103 is not immediately restarted and discharged in the same manner as described above. The temperature of the 103 is detected through the temperature detector 200, and restarted only when the temperature of the discharge tube 103 falls below a certain level, that is, below the restart reference temperature.
한편, 비교 예로서, 종래의 기술, 즉 다시 말해서, 타이머를 이용하여 방전관구가 발광을 멈출 때부터의 시간을 측정하여 일정한 시간이 경과되었을 경우에 공진공동 내의 방전관구를 재 시동시켜 주는 것과는 달리, 본 발명은 설치환경에 따라 좌우되는 공진공동 내의 온도를 지속적으로 측정하여 측정한 온도가 어느 수준 이하로 떨어질 경우에 한하여 방전관구를 재 시동시켜 주게 됨을 알 수 있다.On the other hand, as a comparative example, unlike the conventional technique, that is, measuring the time since the discharge tube stops emitting light using a timer and restarting the discharge tube in the resonance cavity when a certain time has elapsed. In the present invention, it can be seen that the discharge tube is restarted only when the measured temperature drops below a certain level by continuously measuring the temperature in the resonant cavity depending on the installation environment.
이 결과에서, 본 발명에 의하면 기존의 타이머와 대용량의 콘덴서의 이용에 따른 방전관구의 재시동 시간의 지연과 마그네트론 및 기타 부품의 파손을 미연에 방지할 수 있고, 또한 설치환경에 따라 방전관구의 재시동 시간을 충분히 단축시킬 수 있는 이점이 있다.As a result, according to the present invention, it is possible to prevent the delay of the restarting time of the discharge tube and the damage of the magnetron and other parts due to the use of the existing timer and the large-capacity capacitor. There is an advantage that can be shortened sufficiently.
이상에서와 같이, 본 실시 예에서는 공진공동 내에서 발생되는 온도를 가지고 방전관구의 재시동 여부를 결정하여 줌으로써, 설치환경에 따라 재시동 시간이 많이 단축되고, 또한 마그네트론 및 기타 부품의 파손이 일어나지 않는 것이다.As described above, in this embodiment, by determining whether to restart the discharge tube having a temperature generated in the resonant cavity, the restart time is greatly shortened according to the installation environment, and the magnetron and other parts are not damaged.
이 적용례에 의하면, 비용 면에서는 저가의 마이크로파 방전광원 시스템을, 그리고 신뢰성 면에서는 보다 효율적이고 안정된 방전광원 시스템을 제공하는 것이 가능하다.According to this application example, it is possible to provide a low-cost microwave discharge light source system in terms of cost and a more efficient and stable discharge light source system in terms of reliability.
그리고, 상기에서 본 발명의 특정한 실시 예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.In addition, although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is obvious that the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art.
이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention, and such modified embodiments should fall within the appended claims of the present invention.
상술한 설명으로부터 분명한 것은, 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 시스템의 재시동 제어방법 및 장치에 따르면, 설치환경에 따라 좌우되는 방전관구의 온도를 정확히 측정하여 재시동 불가능 상태에서는 방전관구를 재 시동하지 않고 방전관구의 온도가 충분히 떨어진 상태에서 재시동 함으로써, 방전관구의 재시동 시간이 단축되며, 마그네트론 및 기타 부품의 파손이 방지되는 효과가 있다.It is clear from the above description that, according to the restart control method and apparatus of the microwave discharge light source system according to the present invention, the temperature of the discharge tube which depends on the installation environment is accurately measured and the discharge tube is not restarted in a state where it is impossible to restart. By restarting in a state where the temperature is sufficiently low, the restart time of the discharge tube is shortened, and the damage of the magnetron and other parts is prevented.
또한, 방전관구의 재시동 불가능 상태에서의 재시동에 따른 전력의 소모를 최소화시킬 수 있고, 대용량 콘덴서 및 타이머 등이 배제됨으로 제품의 가격 및 회로가 간소화되는 효과가 있다.In addition, it is possible to minimize the power consumption according to the restart in the state that can not be restarted discharge discharge, there is an effect that the price and circuit of the product is simplified by eliminating the large capacity capacitor and timer.
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