KR100285916B1 - Hard disk drive slider and flying height decision method using therefor - Google Patents

Hard disk drive slider and flying height decision method using therefor Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A hard disc driver slider and a flying height determining method by the same are provided to measure an air bearing height of an HGA(Head Gimbal Assembly) with high precision by forming a full reflection surface on the slider. CONSTITUTION: A hard disc driver slider includes a substrate(34) having a first surface(32), a first film(30) extended from the first surface of the substrate and having a thickness allowing a light beam to penetrate, and a second film(40) attached to the first surface of the substrate in a recess(38) formed by a leading edge and a trailing edge and having a thickness not allowing the light beam to penetrate but reflect.

Description

하드 디스크 드라이브용 슬라이더{ HARD DISK DRIVE SLIDER AND FLYING HEIGHT DECISION METHOD USING THEREFOR}Slider for hard disk drive {HARD DISK DRIVE SLIDER AND FLYING HEIGHT DECISION METHOD USING THEREFOR}

본 발명은 하드 디스크 드라이브용 슬라이더에 관한 것이다.The present invention relates to a slider for a hard disk drive.

하드디스크 드라이브는 디스크상에 자기장을 자화(磁化)및 감지하기 위한 자기 헤드를 구비한다. 이러한 자기헤드는 서스펜션 암에 장착되는 슬라이더 속에 일체로 되어있다. 일반적으로 헤드, 슬라이더,및 서스펜션 암을 헤드 짐발 어셈블리(Head Gimbal Assembly) (이하는 ??HGA"라 한다.)라 한다. 상기 HGA는 디스크의 표면을 가로질러 헤드를 이동시키는 액츄에이터 암으로 부터 캔틸레버링(cantilevering)되어있다. 상기 슬라이더는 헤드와 회전 디스크사이에 공기 베어링을 발생시키는 유체역학적 특성을 지니고 있다. 이러한 공기 베어링으로 인해 디스크와 헤드간에 마찰에 의한 마모가 방지된다.Hard disk drives have a magnetic head for magnetizing and sensing magnetic fields on the disk. This magnetic head is integrated into the slider mounted to the suspension arm. The head, slider, and suspension arm are commonly referred to as the Head Gimbal Assembly (hereinafter referred to as “HGA”). The HGA is a cantilever from an actuator arm that moves the head across the surface of the disc. The slider has a hydrodynamic characteristic that creates an air bearing between the head and the rotating disk, which prevents frictional wear between the disk and the head.

상기 공기 베어링의 높이는 디스크 드라이브의 동작에 있어서 매우중요하다. 이러한 이유로 상기 HGA는 통상적으로 디스크 드라이브에 설치되기 전에 테스트를 거친다. 즉 상기 HGA는 헤드와 디스크사이의 공기 베어링의 높이를 측정하는 부상 높이 테스터(flying height tester)에 의해 테스트된다. 대부분의 부상 높이 테스터들은 공기 베어링의 계면으로 부터 반사되는 광 빔(light beam)으로 공기 베어링의 높이를 측정한다. 상기 테스터들은 반사된 광 빔상의 상태변화를 검출 및 분석하는 광학 시스템을 갖는다.The height of the air bearings is very important for the operation of the disc drive. For this reason, the HGA is typically tested before being installed in a disk drive. The HGA is tested by a flying height tester that measures the height of the air bearing between the head and the disk. Most float height testers measure the height of an air bearing with a light beam that is reflected from the air bearing interface. The testers have an optical system for detecting and analyzing state changes on the reflected light beam.

도 1에 도시된 바와같이, 제품의 수명을 연장하기 위해, 슬라이더(2)의 공기 베어링 표면에 경질 보호 코팅(1)이 인가될 수 있다. 예컨대, 상기 코팅 물질로서 DLC(Diamond-Like-Carbon; 이하 DLC라 함 )를 사용하며 하나 이상의 매개 필름(3,4)에 의해 하부 기판으로 부터 일정간격을 유지하는 구조를 갖는다. 헤드와 디스크간의 간격을 최소화 하기 위해 상기 코팅층과 하부 필름은 매우 얇은 층으로 인가된다. 즉,상기 코팅층은 100 옹스트롬(Å), 그리고, 상기 필름(3)은 25 옹스트롬(Å)의 두께로 인가된다.As shown in FIG. 1, a hard protective coating 1 can be applied to the air bearing surface of the slider 2 to extend the life of the product. For example, DLC (Diamond-Like-Carbon; DLC) is used as the coating material and has a structure that maintains a constant distance from the lower substrate by one or more intermediate films 3 and 4. In order to minimize the gap between the head and the disk, the coating layer and the underlying film are applied in a very thin layer. That is, the coating layer is 100 angstroms, and the film 3 is applied in a thickness of 25 angstroms.

이러한 정도의 얇은 필름으로 인해 광 빔(5)은 상기 필름을 투과하고 상기 슬라이더내의 필름계면으로 부터 반사된다. 상기 코팅및 필름은 실(real)굴절율 n과 소광(消光)계수 k의 합으로 정의되는 특정 복굴절율을 각각 갖는 상이한 물질로서 구성된다. 예컨대, 외측 코팅부는 실굴절율 n1과 소광계수 k1을 갖는다. 그 다음번 층은 실굴절율 n2와 소광계수 k2를 갖고, 다음층은 실굴절율 n3과 소광계수 k3을 갖는다. 물질마다 다른 굴절율의 변화로 인해 반사된 광 빔의 위상을 변화시키며, 이러한 각각 다른 위상변화에 의해 부상높이 테스터의 정확도는 떨어지게 된다.Due to this thin film, the light beam 5 penetrates the film and is reflected from the film interface in the slider. The coatings and films are constructed as different materials, each having a specific birefringence defined by the sum of the real refractive index n and the extinction coefficient k. For example, the outer coating has a real refractive index n1 and an extinction coefficient k1. The next layer has a real refractive index n2 and an extinction coefficient k2, and the next layer has a real refractive index n3 and an extinction coefficient k3. Different materials change the phase of the reflected light beam due to different refractive indices, and these different phase changes reduce the accuracy of the lift height tester.

본 발명의 목적은 효과적으로 광학 측정시스템에 의해 HGA의 공기 베어링 높이를 측정하기 위한 전반사 표면을 갖는 슬라이더를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a slider having a total reflection surface for effectively measuring the air bearing height of an HGA by an optical measuring system.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 슬라이더는 리세스 영역 및 레일을 갖는다. 상기 레일은 광 빔이 투과하고 상기 슬라이더내의 계층면으로 부터 반사될 정도로 얇은 제 1필름으로 코팅된다. 상기 리세스 영역에는 지향된 광 빔이 투과하지 못하고 전반사 되는 제2필름이 포함된다. 상기 제 1필름의 외측 공기 베어링 표면은 상기 HGA를 테스팅하기 전에 측정되는 높이 H만큼 상기 제 2필름의 외측표면으로 부터 떨어져 있다. 이때 상기 HGA를 높이 Hp를 갖는 공기 베어링이 생성되도록 회전 디스크에 인접하게 배치시킨다. 상기 제 2필름의 외측 표면은 디스크로 부터 높이 Hv만큼 이격된다. 광학 시스템은 광 빔을 상기 리세스영역에 지향시켜 디스크와 상기 제 2필름의 외측표면간의 높이 Hv를 측정한다. 공기 베어링 높이 Hp는 측정된 높이 Hv에서 기측정된 높이 H를 감산함으로서 계산된다. 상기 제2 필름은 종래의 슬라이더보다 공기 베어링 높이를 보다 정확하게 측정할 수 있는 광학특성을 갖는 테스트 표면을 제공한다.The slider of the present invention for achieving the above object has a recess area and a rail. The rail is coated with a first film that is thin enough that light beams are transmitted and reflected from the layered surface within the slider. The recessed region includes a second film through which totally reflected light beams are not transmitted. The outer air bearing surface of the first film is spaced away from the outer surface of the second film by a height H measured before testing the HGA. The HGA is then placed adjacent to the rotating disk to produce an air bearing with a height Hp. The outer surface of the second film is spaced apart from the disk by a height Hv. The optical system directs a light beam into the recessed area to measure the height Hv between the disk and the outer surface of the second film. The air bearing height Hp is calculated by subtracting the measured height H from the measured height Hv. The second film provides a test surface having optical properties that can more accurately measure the air bearing height than conventional sliders.

도 1은 종래기술의 슬라이더를 나타낸 측면도.1 is a side view showing a slider of the prior art;

도 2는 회전 디스크에 인접한 헤드 짐발 어셈블리를 나타낸 사시도.2 is a perspective view of the head gimbal assembly adjacent the rotating disk;

도 3은 공기 베어링에 의해 디스크로 부터 분리된 상태의 슬라이더를 나타낸 측면도.3 is a side view of the slider in a state separated from the disk by the air bearing;

도 4는 본 발명에 따른 슬라이더를 나타낸 저면도.Figure 4 is a bottom view of the slider according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 슬라이더를 나타낸 측단면도.Figure 5 is a side cross-sectional view showing a slider according to the present invention.

도 6은 공기 베어링의 높이를 측정하기 위한 광학 테스터를 도시한 것으로서 도 5와 유사한 측면도.FIG. 6 is a side view similar to FIG. 5 showing an optical tester for measuring the height of the air bearing; FIG.

〈 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 〉<Description of reference numerals for the main parts of the drawings>

10: HGA, 12: 디스크, 15: 마그네틱 폴(magnetic pole) 14: 슬라이더, 20: 레일, 22: 리딩에지, 24: 트레일링 에지, 28: 공기 베어링 면(ABS 면), 30: 제 1필름, 38: 리세스, 34:기판, 40: 제 2필름, 44: 제 3필름, 46: 제 4필름, 52: 광 빔, 54: 광학 측정 시스템10: HGA, 12: disc, 15: magnetic pole 14: slider, 20: rail, 22: leading edge, 24: trailing edge, 28: air bearing face (ABS face), 30: first film 38: recessed, 34: substrate, 40: second film, 44: third film, 46: fourth film, 52: light beam, 54: optical measurement system

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2를 참조하면, 회전 디스크(12)로 부터 부상(浮遊)상태에 있는 헤드 짐발 어셈블리(??HGA)(10)를 도시한다. 상기 헤드 짐발 어셈블리(10)는 일반적으로 디스크(12)상에 전자정보를 저장하는 하드 디스크 드라이브내에 조립된다. 상기 HGA는 서스펜션 암(16)에 장착되는 슬라이더(14)를 포함한다. 상기 서스펜션 암(16)은 통상적으로 디스크(12)의 위 또는 아래에 위치하는 액츄에이터 암(도시생략)으로 부터 캔틸레버링된다. 상기 슬라이더(14)는 상기 디스크(12)상에 자기장 을 자화 및 감지하는 자기헤드를 포함한다.Referring to FIG. 2, there is shown a head gimbal assembly (HGA) 10 that is in a floating state from the rotating disk 12. The head gimbal assembly 10 is typically assembled in a hard disk drive that stores electronic information on the disk 12. The HGA includes a slider 14 mounted to the suspension arm 16. The suspension arm 16 is typically cantilevered from an actuator arm (not shown) located above or below the disk 12. The slider 14 includes a magnetic head for magnetizing and sensing a magnetic field on the disk 12.

도 3에 도시된 바와같이, 회전 디스크(12)에 의해 발생되는 공기 흐름으로 인해 슬라이더(14)를 디스크 표면으로 부터 이격시키는 공기 베어링(18)이 생기게 된다. 공기 베어링의 높이는 디스크 드라이브의 동작에 매우 중요한 영향을 준다. 공기 베어링이 너무 작은 경우에는 슬라이더(14)와 디스크(12)가 서로 접촉할 수도 있고, 자기헤드와 디스크표면상에 기계적 마모가 발생할 수도 있다. 그러나, 공기 베어링이 너무 큰 경우에는 자기 헤드에 인가되는 자기장의 세기가 감소하게 된다. 이러한 이유들로 인해 공기 베어링의 높이는 상기 HGA(10)가 설계기준에 부합되도록 디스크 드라이브에 설치하기전에 측정된다. 본 발명의 필름 코팅 슬라이더(14)는 종래의 필름 코팅 슬라이더보다 더욱 정확하게 공기 베어링의 높이를 측정할 수 있게 한다.As shown in FIG. 3, the air flow generated by the rotating disk 12 results in an air bearing 18 separating the slider 14 from the disk surface. The height of the air bearings has a very important influence on the operation of the disc drive. If the air bearing is too small, the slider 14 and the disk 12 may contact each other, and mechanical wear may occur on the magnetic head and the disk surface. However, if the air bearing is too large, the strength of the magnetic field applied to the magnetic head is reduced. For these reasons, the height of the air bearing is measured before the HGA 10 is installed in the disc drive to meet design criteria. The film coating slider 14 of the present invention makes it possible to measure the height of the air bearing more accurately than the conventional film coating slider.

도 4 및 도 5에 도시된 바와같이, 슬라이더(14)는 리딩에지(leding edge)(22)와 트레일링 에지(trailing edge)(24)간 슬라이더(14)의 대향하는 에지를 따라 연장하는 한 쌍의 레일(20)을 구비한다. 일반적으로 자극(磁極)(15)은 상기 슬라이더(14)의 트레일링 에지(24)에 위치한다. 상기 레일(20)은 채널(26)에 의해 분리된다. 상기 레일(20)에 회전 디스크(12)로 부터 슬라이더(14)를 들어 올리도록 하는 높은 공기압 영역이 발생된다. 상기 레일(20)의 외표면(28)을 통상적으로 일컬어 공기 베어링 표면("ABS")이라고 한다.As shown in FIGS. 4 and 5, the slider 14 extends along the opposite edge of the slider 14 between the leading edge 22 and the trailing edge 24. A pair of rails 20 is provided. The magnetic pole 15 is generally located at the trailing edge 24 of the slider 14. The rails 20 are separated by channels 26. A high pneumatic region is created on the rail 20 to lift the slider 14 from the rotating disk 12. The outer surface 28 of the rail 20 is commonly referred to as an air bearing surface ("ABS").

상기 공기 베어링 표면(28)은 일반적으로 기판(34)의 제 1 표면(32)으로 부터 연장되는 제 1필름(30)으로 코팅된다. 헤드와 디스크간의 간격을 최소화하기 위해 상기 제 1필름(30)은 매우 얇은 층으로서 인가된다. 이러한 얇은층은 광 빔이 상기 필름을 투과하고 상기 ABS(28)에 대향하는 계층면(36,48)으로 부터 반사될 수있는 두께를 갖는다는 것을 알게 되었다.The air bearing surface 28 is generally coated with a first film 30 extending from the first surface 32 of the substrate 34. In order to minimize the gap between the head and the disc, the first film 30 is applied as a very thin layer. It has been found that this thin layer has a thickness that allows the light beam to penetrate the film and be reflected from the hierarchical surfaces 36 and 48 opposite the ABS 28.

상기 슬라이더(14)는 두레일(20) 사이에 리세스(38)를 갖는다. 상기 리세스(38)는 기판(34)의 제 1 표면(32)으로 부터 연장하는 제 2필름(40)을 갖는다. 상기 제 2필름(40)은 광 빔이 제 2필름(40)을 투과하지 못하고 필름/기판 계면(42)으로 부터 반사하는 물질로 구성됨은 물론, 그 두께로 이루어진다.The slider 14 has a recess 38 between the rails 20. The recess 38 has a second film 40 extending from the first surface 32 of the substrate 34. The second film 40 is made of a material that is not transmitted through the second film 40 but reflects from the film / substrate interface 42, as well as the thickness thereof.

최적의 실시예에 있어서, 상기 제 2 필름(40)은 최소 50나노미터의 두께를 갖는 금재(金材)로 구성된다. 여기서는 금재에 대해서만 언급하였지만, 다른 불투과 물질들이 사용될 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 공지된 반사특성을 갖고 하드 디스크 드라이브의 정상 동작중에 산화되지 않는 귀금속을 사용하는 것이 바람직하다. 이같은 산화로 인해 부가 물질층이 생김으로서 슬라이더 공기 베어링 높이의 광학측정의 정확도가 저하될 수 있다. 얇은 물질층을 생성시키기 위해 스퍼터링, 증기 증착법 또는 다른 공지된 방법으로 기판(34)상에 제 2필름(40)이 인가될 수도 있다.In an optimal embodiment, the second film 40 is composed of gold material having a thickness of at least 50 nanometers. Although only gold is mentioned here, it will be appreciated that other opaque materials may be used. It is desirable to use precious metals that have known reflective properties and that do not oxidize during normal operation of the hard disk drive. This oxidation results in a layer of additional material that can degrade the accuracy of optical measurements of the slider air bearing height. The second film 40 may be applied onto the substrate 34 by sputtering, vapor deposition, or other known methods to produce a thin layer of material.

상기 슬라이더(14)는 일반적으로 기판(34)의 기계적/광학적 특성을 개선시키는 제 3필름(44) 및, 상기 제 1필름(30)과 제 3필름(44)사이의 점착력을 증가시키는 제 4필름(46)을 갖는다. 최적의 실시예에 있어서, 제 1필름(30)은 DLC로 이루어진 보호코팅막이고, 기판(34)은 세라믹 DLC로 구성된다. 기판(34)은 Al3O3TiC또는 실리콘 물질로 구성될 수도 있고, 상기 제 4필름(46)은 비정질 실리콘 물질로 이루어진다.The slider 14 is generally a third film 44 that improves the mechanical / optical properties of the substrate 34 and a fourth film that increases the adhesion between the first film 30 and the third film 44. It has a film 46. In an optimal embodiment, the first film 30 is a protective coating film made of DLC, and the substrate 34 is made of ceramic DLC. The substrate 34 may be made of Al 3 O 3 TiC or silicon material, and the fourth film 46 is made of amorphous silicon material.

상기 제 1및 제 4필름(30,46)은 일반적으로 두께가 100옹스트롬정도 이거나, 광 빔이 필름들을 투과하고 계면(36,48)으로 부터 반사될 수 있는 정도의 얇은 층으로 되어 있다. 각각의 필름들은 실굴절율 n과 소광계수 k와의 합산으로 정의되는 상이한 복굴절율을 갖는다. 각 필름의 n및 k값들이 변화하면 여러개의 계층면으로부터 반사되는 광 빔의 위상이 변화함은 물론, HGA(10)의 공기 베어링의 측정높이의 정확도가 감소한다. 리세스(38)의 깊이는 공기 베어링표면(28)과 제 2필름(40)의 외측표면(50)사이의 높이 H로 정의된다.슬라이더(14)가 제조된 후에, 리세스(38)의 깊이를 측정하여 높이H가 결정된다. 높이H는 스타일러스 프로파일로미터(Stylus Profilometer), 원자력 현미경,또는 어떤 다른 측정가능수단으로 측정된다. 도 6에 도시된 바와같이, 공기 베어링의 높이를 측정하기 위해 슬라이더(14)를 회전 디스크(12)에 인접하게 위치시킨다. 디스크(12)는 통상 광 빔이 광학 측정 시스템(54)에 의해 방출, 반사및 검출될 수 있도록 투명하다. 슬라이더(14)는 높이Hp를 갖는 공기 베어링에 의해 디스크(12)로부터 이격된다. Hp는 디스크(12)와 공기 베어링 표면(28)간의 간격으로 정의된다. 제 2필름(40)의 외측표면(50)은 높이 Hv만큼디스크로 부터 이격되어 있다. 광학 시스템(54)은 광 빔(52)을 제 2필름(40)상으로 지향시킴으로서 높이Hv를 측정한다. 리세스(38)의 폭은 광 빔이 제 2필름(40)으로 부터 반사되도록 광 빔(52)의 직경보다 커야 한다. 높이 Hv가 측정되고 나면, 공기 베어링 높이Hp는 측정된 높이 Hv에서 기 알고 있는 높이값 H를 감산하여 계산된다. 균질의 전반사 제 2필름(40)은 광학 시스템(54)으로 하여금 공기 베어링의 높이를 보다 정확히 측정할 수있도록 해주는 공지된 광학 특성을 갖는 표면을 제공한다.The first and fourth films 30, 46 are generally as thin as 100 angstroms thick, or as thin as light beams can penetrate the films and reflect from the interfaces 36,48. Each film has a different birefringence defined by the sum of the real refractive index n and the extinction coefficient k. Changing the n and k values of each film not only changes the phase of the light beam reflected from the multiple layer planes, but also reduces the accuracy of the measurement height of the air bearing of the HGA 10. The depth of the recess 38 is defined as the height H between the air bearing surface 28 and the outer surface 50 of the second film 40. After the slider 14 is manufactured, the depth of the recess 38 The height H is determined by measuring the depth. Height H is measured with a stylus profilometer, an atomic force microscope, or some other measurable means. As shown in FIG. 6, the slider 14 is positioned adjacent to the rotating disk 12 to measure the height of the air bearing. The disk 12 is typically transparent so that the light beam can be emitted, reflected and detected by the optical measurement system 54. The slider 14 is spaced apart from the disk 12 by an air bearing having a height Hp. Hp is defined as the distance between the disk 12 and the air bearing surface 28. The outer surface 50 of the second film 40 is spaced apart from the disk by the height Hv. The optical system 54 measures the height Hv by directing the light beam 52 onto the second film 40. The width of the recess 38 should be larger than the diameter of the light beam 52 so that the light beam is reflected from the second film 40. Once the height Hv is measured, the air bearing height Hp is calculated by subtracting the known height value H from the measured height Hv. The homogeneous total reflection second film 40 provides a surface with known optical properties that allows the optical system 54 to more accurately measure the height of the air bearings.

본 발명은 필름 코팅된 공기 베어링 표면상에서 부상 높이측정 캘리브레이션에 응용할 수 있다. 공기 베어링 부상 높이 Hp는 표면(28)상에서 직접 측정되며, 예측되는 정확한 부상 높이Hv-H와 비교된다. 예측되는 정확한 부상 높이와 측정된 부상 높이 Hp간의 차이는 표면(28)상에서의 부상 높이측정오차이다. 이러한 오차를 알게됨에 따라, 정확한 부상 높이 데이타는 동일한 필름코팅을 갖는(리세스 영역(40)을 갖지 않는) 정규 슬라이더상에서 얻어질 수 있다. 이것은 부상높이를 표면(28)상에서 직접 측정한 다음, 측정오차를 이용하여 측정된 부상높이를 보정함으로서 달성된다.The present invention is applicable to floating height measurement calibration on film coated air bearing surfaces. The air bearing float height Hp is measured directly on the surface 28 and compared with the predicted exact float height Hv-H. The difference between the predicted exact injury height and the measured injury height Hp is the injury height measurement error on the surface 28. By knowing this error, accurate lift height data can be obtained on a normal slider with the same film coating (without recess area 40). This is accomplished by measuring the height directly on the surface 28 and then correcting the measured height using the measurement error.

본 발명을 특정의 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구의 범위에 의해 마련되는 본 발명의 사상이나 범위를 이탈하지 않는 한도내에서 본 발명이 다양하게 수정 및 변경될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, it will be understood that the invention can be variously modified and modified without departing from the spirit or scope of the invention as provided by the following claims. Those skilled in the art will readily understand.

Claims (7)

하드 디스크 드라이브용 슬라이더에 있어서,In the slider for the hard disk drive, 제 1표면을 갖는 기판과,A substrate having a first surface, 상기 기판의 제 1표면으로 부터 연장하고, 광 빔의 투과가 허용되는 두께를 갖는 제 1필름과,A first film extending from the first surface of the substrate and having a thickness allowing transmission of the light beam; 광 빔의 투과를 허용하지 않는 두께를 가지며, 상기 광 빔이 반사되도록 상기 기판의 제 1표면에 부착되는 제 2필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.And a second film attached to a first surface of the substrate to have a thickness that does not allow light beams to be transmitted and to reflect the light beams. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1필름은,The method of claim 1, wherein the first film, 상기 제 2필름의 외측표면으로 부터 높이 H만큼 이격되는 공기 베어링 표면을 갖는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.And an air bearing surface spaced apart by a height H from an outer surface of the second film. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1필름은, 상기 슬라이더의 레일상에 위치하고, 상기 제 2필름은 리세스내에 위치하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.And the first film is located on a rail of the slider, and the second film is located in a recess. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판은, 제 1복굴절율을 갖고, 상기 제 1필름은 제 2복굴절율을 가지며, 상기 제 2필름은 제 3복굴절율을 갖는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.And the substrate has a first birefringence, the first film has a second birefringence, and the second film has a third birefringence. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2필름은,The method of claim 1, wherein the second film, 금재로 구성되는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.Slider for a hard disk drive characterized by consisting of gold. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1필름은,The method of claim 1, wherein the first film, 제 3필름 및 제 4필름에 의해 상기 기판으로 부터 분리되는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.A slider for a hard disk drive, characterized in that separated from the substrate by a third film and a fourth film. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1필름은 다이어몬드형 탄소물질을 함유하고, 상기 제 2필름은 금재를 함유하며, 상기 제 3필름은 산화 알루미늄 물질을 함유하고, 상기 제 4필름은 비정질 실리콘 물질을 함유하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브용 슬라이더.Wherein the first film contains a diamond type carbon material, the second film contains a gold material, the third film contains an aluminum oxide material, and the fourth film contains an amorphous silicon material. Slider for hard disk drives.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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