KR100284647B1 - 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치 - Google Patents

네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치에 관한 것으로, 두 기판의 안쪽면에 투명 전극이 형성되고, 전극면 위에 반사막이 입혀져 있으며, 한쪽면의 반사막에는 수직 배향막이 도포되어 액정이 수직 배향되고, 다른쪽의 반사막에는 수평 배향막이 도포됨과 아울러 액정이 축성 배향될 수 있도록 처리되고, 네마틱 액정이 주입되어 인가된 전압의 크기에 따라 입사된 빛의 파장이 동조되는 투과형 또는 반사형 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 제공하고 있다.
이러한 본 발명은 종래의 단일 배향이나 다중 영역 배향구조를 이용한 비틀린 네마틱 액정 파장 가변 필터 장치와는 달리 모든 범위의 작동 전압에서 빛 투과 특성이 입사 빛의 편광 방향에 완전히 무관하여 제조 공정이 매우 단순한 장점을 제공할 수 있다.

Description

네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치
본 발명은 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 축성(axial) 대칭 배향 구조를 이용하여 전압에 따라 투과하는 빛의 파장 동조 특성이 입사 빛의 편광 특성에 완전히 무관하며, 성능이 우수하고 제조 공정이 훨씬 단순한 축성 배향 구조의 투과형 또는 반사형 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치에 관한 것이다.
네마틱 액정을 사용한 파브리-페로(Fabry-Perot) 구조의 파장 가변 필터 장치는 액정의 전기 광학 효과를 이용한 것으로 두 장의 유리 기판 안쪽 면에 작동 파장 범위에서 높은 반사율을 가지는 유전체 거울이 입혀져 있으며, 그 위에 액정을 배향시킬 수 있는 배향막이 도포되어 액정이 주입되어 배향된 장치이다.
이와 같이 유전체 거울(dielectric mirror)이 마주보고 있는 구조를 파브리-페로 구조라 하며, 파브리-페로 구조는 특정한 파장의 빛만을 선택적으로 투과시키는 특성이 있다. 파브리-페로 구조에서 투과되는 빛의 파장 의존성은 다음 수학식 1의 형태로 주어진다.
수학식 1에서 t와 r은 각각 유전체 거울의 투과율과 반사율을 나타낸다. λ는 입사 빛의 파장이고 n과 d는 각각 유전체 거울 사이에 존재하는 물질의 굴절률(refractive index)과 두께를 의미한다. 수학식 1에서 nd/λ=m/2(m은 정수)의 조건이 만족될 때마다 투과도가 최대가 됨을 알 수 있다. 이와 같은 조건은 입사 빛의 파장 변화에 따라 투과도가 변화함을 나타내며, 이는 파브리-페로 구조가 특정 파장의 빛만을 투과하는 파장 선택 필터 장치로 사용될 수 있음을 의미한다. 그러므로, 물질의 굴절률 n 또는 두께 d를 변화시켜 최대 투과도를 가지는 파장이 조절하는 파장 동조(tuning) 기능을 가진다.
기존의 파브리-페로 파장 가변 필터 장치에는 전기-역학(electro-mechanical) 소재나 무기 전기-광학(inorganic electro-optical) 소재가 많이 사용되었다. 전기-역학 물질이 두 유전체 거울 사이에 위치한 경우 인가되는 전압에 따라 유전체 거울 사이의 간격 d가 조절되어 투과 빛의 파장이 동조될 수 있다. 반면, 무기 전기-광학 물질이 유전체 거울 사이에 위치하면 인가 전압의 크기에 따라 굴절률 n이 변화하여 투과 빛의 파장이 동조된다. 최근에는 비선형 광학(nonlinear optical) 소재를 사용하여 입사 빛의 세기에 따른 굴절률 n의 변화를 유도하고 그 결과 투과 빛의 파장이 동조될 수 있음을 제안하였다.
그러나, 이러한 모든 경우 파장 가변 필터 장치를 작동하기 위해서는 매우 높은 전압이나 강한 세기의 빛의 사용이 필수적이며, 넓은 영역의 파장 가변성을 가지기 위해서는 유전체 거울 사이의 매질의 두께가 커야 한다. 또한, 투과 특성이 입사 빛의 편광 방향에 민감하고 복잡한 제조 공정이 요구되는 단점이 존재한다.
네마틱 액정을 사용한 파브리-페로 구조의 파장 가변 필터 장치는 기존의 전기-역학 소재 또는 무기 전기-광학 소재를 사용한 경우에 비하여 낮은 작동 전압, 넓은 파장 선택 영역, 단순한 제조 공정 등의 장점으로 인해 차세대 광통신에서의 고밀도 파장 분할 다중 접속(high densitywavelength-division-multiplexing;HD WDM) 소자로서의 응용성이 대단히 크다.
그러나, 종래의 단일 배향 파브리-페로 구조는 파장 동조(tuning) 특성이 입사 빛의 편광 방향에 따라 크게 변화되는 단점을 보인다. 즉, 액정분자의 장축 방향의 굴절률을 ne, 단축방향의 굴절률을 no이라고 하면, 액정이 단순한 수평 배향을 하고 있는 경우, 수학식 1에서 알 수 있듯이, 입사 빛의 편광 방향에 따라 최대 투과도를 갖는 파장이 달라진다. 이러한 편광 의존성은 광통신 분야에서 광섬유의 실제 편광상태를 예측하기 힘든 경우 파장 가변 필터의 사용에 많은 제약을 준다.
현재까지 네마틱 액정을 사용한 파브리-페로 구조의 파장 가변 필터 장치에서 나타나는 투과도의 편광 의존성을 제거하기 위하여 여러 방법이 제안되었다. 예를 들어, 단일 배향의 비틀린 네마틱(twisted nematic) 구조에서 표면 층의 두께를 조절하는 방법이나 다중 배향(multidomain) 구조를 사용하는 방법 등이 있다.
단일 배향의 비틀린 네마틱 구조를 사용하는 경우 적절한 광학 이방성과 시편 두께를 갖도록 하고 특정한 전압 영역에서 입사 빛의 편광 방향이 입사면의 액정 배향 방향과 수직 또는 수평한 두 편광 모드의 투과 특성을 거의 일치하도록 조절한다. 그러나, 완전히 편광 모드를 일치시키기 위해서는 시편의 제작 조건이 매우 정밀하게 조절되어야 하며, 일반적인 단일 배향 구조에서 편광 의존성을 완전히 제거하는 것이 불가능하다.
한편, 기존에 알려진 다중 배향 구조는 네마틱 액정 분자들이 적어도 두 개의 서로 수직한 배향 영역을 가지고 있으며 입사 빛이 이들 두 배향 영역을 모두 통과하도록 한다. 이 경우 두 배향 영역의 광학 이방성이 서로 상쇄되어 편광 의존성을 제거하게 된다. 그러나, 다중 배향 구조는 단일 배향 구조에 비하여 제조 공정이 복잡해질 뿐만 아니라 입사 빛이 통과하는 두 영역의 크기에 따라 여전히 편광 의존성이 존재하게 된다. 다시 말해서, 서로 다른 배향 방향을 가지는 다중 배향 구조를 얻기 위해서는 적어도 두 번 이상의 광 마스크를 이용한 배향 공정이 요구된다.
본 발명은 전술한 바와 같은 제반 내용을 감안하여 창안된 것으로서, 네마틱 액정을 사용한 파브리-페로 구조의 파장 가변 필터 장치로서 축성(axial) 배향을 이용하여 입사 빛의 편광 의존성이 완전히 제거된 우수한 투과 특성 및 파장 가변성을 갖는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 본 발명은 투명 전극이 형성되고 유전체 거울이 입혀진 두 기판 중 한 기판은 액정의 수직 배향제를 도포하고, 다른 기판은 수평 배향제를 도포함과 아울러 축성 배향 처리되어 두 기판 사이에 양의 이방성을 갖는 네마틱 액정이 주입되어 인가된 전압의 크기에 따라 입사된 빛의 파장이 동조되는 네마틱 액정 파브리-페로 가변 필터 장치이다.
한편, 타 실시예에 따른 본 발명은 두기판 사이에 음의 유전 이방성을 가지는 네마틱 액정이 주입되어 구성된 파브리-페로 가변 필터 장치이다.
상기한 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 가변 필터 장치는 양의 유전율 이방성을 갖는 액정을 사용하는 경우 수평 배향막의 선경사각(pretilt angle)을 θ1라고 하면, 0˚≤θ1≤10˚를 만족하고, 수직 배향막의 선경사각을 θ2라고 하면, 75˚≤θ2≤90˚를 만족하도록 구성된다. 한편, 음의 유전율 이방성을 갖는 액정을 사용하는 경우 수평 배향막의 선경사각은 0˚≤θ1≤15˚를 만족하고, 수직 배향막의 선경사각은 대략 80˚≤θ2≤90˚를 만족하도록 구성된다.
한편, 카이랄 첨가제가 혼합된 액정이 두 기판 사이에 주입되어 사용될 때 양의 유전율 이방성을 갖거나 음의 유전율 이방성을 갖는 경우 모두 시편 간격을 d, 카이랄 첨가제에 의한 액정의 피치를 p라고 하면, 시편 간격과 피치의 비가 0≤d/p≤0.5를 만족하도록 구성한다.
두 기판의 어느 한쪽이나 모두에 편광판이 부착되어 구성될 수 있으며, 광보상 필름부착되어 구성될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 나타내는 단면도,
도 2는 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 나타내는 사시도,
도 3는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 시편 내의 액정 방향자 좌표계를 나타내는 도,
도 4은 축성 배향된 하부 기판에서의 액정 방향자 배열과 선편광된 입사 빛의 편광 방향과의 대칭성 관계를 보인 도,
도 5는 수직 배향과 축성 배향된 네마틱 액정 E7의 파브리-페로 파장 가변 필터 장치의 입사 빛의 편광 의존성에 대한 결과를 나타내는 도,
도 6는 수직 배향과 축성 배향된 네마틱 액정 E7의 파브리-페로 파장 가변 필터 장치의 전압에 따른 파장 가변 특성을 나타내는 도,
도 7은 도 6에서 실제 적용한 연속적 파장 동조 특성를 예시적으로 보인 도이다.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***
1. 유리기판,
2. ITO,
3. 반사막,
4. 수직 배향막,
5. 수평 배향막,
6. 스페이서
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 양호한 실시예에 따른 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 나타내는 사시도이다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 가변 필터 장치에서 한 기판의 안쪽면은 액정의 수평 배향제(AL-1051;Japan Synthetic Rubber Co., 선경사각 θ1 2˚)가 도포되어 축성 배향 처리가 되어 있고, 다른 기판의 안쪽면에는 수직 배향제(JALS-204;Japan Synthetic Rubber Co., 선경사각 θ2 90˚)가 도포되어 있다. 이러한 새로운 배향구조에서는 임의의 입사 편광에 대해서도 항상 대칭적인 배향 구조를 갖게 되어 투과 특성의 편광 의존성이 완전히 제거된 파장 가변 기능이 실현될 수 있다.
즉, 상하 유리기판(1)에는 각각 ITO(indium-tin-oxide)와 같은 물질이 입혀진 투명 전극(2)이 형성되고, 그 전극(2)면에는 본 장치를 사용하고자 하는 파장 범위에서 높은 반사율(98˚이상)을 가지는 반사막(=유전체 거울)(3)이 입혀진다. 두 기판중 한 기판의 반사막(3)에는 액정을 수직으로 배향시키는 배향막(4)이 도포되어 있으며, 다른 기판의 반사막(3)에는 액정을 수형으로 배향시키는 배향막(5)이 도포되어 있다. 이러한 혼성 배향(hybrid aligned) 구조에서 추가로 수평 배향막(5)은 표면과 수직한 방향에 대해 축성 대칭인 배향이 이루어질 수 있도록 표면 처리를 한다. 축성 배향을 위한 표면 처리는 축성 러빙이나 광 배향막에 자외선 등을 조사하여 달성할 수 있다. 본 실시예에서는 축성 대칭 러빙을 시행하여 액정 분자들이 축성 대칭인 배향구조를 갖도록 처리하였다. 두 기판은 간격을 유지하는 스페이서(spacer)(6)를 사용하여 적절한 간격이 유지되도록 하였다. 이와 같은 새로운 배향 구조는 축성 대칭 구조를 가지게 되므로 임의의 방향으로 편광된 빛이 입사되더라도 항상 편광에 무관한 투과 특성을 나타낼 수 있게 된다.
일예로, 임의의 방향으로 선편광된(linearly polarized) 입사 빛의 경우 본 장치의 투과특성을 살펴보기로 하자
도 3은 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 시편 내의 액정 방향자 좌표계를 나타내는 도이다. 이 도면에 도시하는 바와 같이, 시편 면에 수직한 방향을 z축 방향으로 정의하고, 시편의 간격을 d라하며, z축의 임의의 한 점에서의 액정 분자의 방향자와 시편 표면이 이루는 경사각(tilt angle)을 θ(z)라 정의하면 액정 분자의 방향자가 시편 표면에서 이루는 사영(projection) 방향과 나란한 편광을 가진 빛이 시편 표면에 수직하게 입사할 때의 유효 굴절률은 다음의 수학식 2와 같이 주어진다.
수학식 2에서 만일 경사각이 0˚인 경우, 즉, 수평 배향 시편의 경우 유효 굴절률은 ne가 되며, 만일 경사각이 90˚인 경우, 즉, 수직 배향 시편의 경우 유효 굴절률은 n0이 된다. 혼성 배향의 경우 시편의 임의의 한 점에서의 유효 굴절률은 수학식 2에 의해 계산될 수 있다.
한편, 도 4는 축성 배향된 하부 기판에서의 액정 방향자 배열과 선편광된 입사 빛의 편광 방향과의 대칭성 관계를 보인 도이다. 이 도면에 도시하는 바와 같이, 실험실 좌표계를 x-y 좌표계로 정의하고, 시편 전체에 걸쳐 x축에 대해 φ 0각도로 선편광된 빛이 시편 표면에 수직으로 입사될 경우 대칭축을 중심으로 x축으로부터 φ 만큼 회전된 위치에서의 입사 편광은 액정 분자의 장축 방향과 평행한 성분[sin( φ - φ 0)]의 합으로 나타낼 수 있고, 각 성분의 투과도 Tneff Tno 은 수학식 1에서 굴절률 n이 각각 neff와 no로 주어졌을 때의 결과로 볼 수 있다. 따라서, 실제 총 투과도는 두 성분의 투과 빛의 합으로 나타나게 되므로 다음의 수학식 3과 같이 구해진다.
T(φ)=sin2(φ-φo)Tneff +cos2(φ-φo)Tno
따라서, 시편에 입사되는 빛의 모든 각도에 대한 평균 투과도는 다음의 수학식 4와 같이 계산된다.
수학식 4에서 Tno 는 시편에 인가된 전압의 크기와는 무관한 값이며, Tneff 만이 전압의 크기에 따라 변화하는 값이 된다. 그러나, 두 값의 합은 축성 러빙에 의한 액정 분자들의 배향 대칭성 때문에 각 성분의 투과도의 평균값 T로 주어지며, 입사 편광의 각도 φ 0에 무관하게 된다.
수학식 2에서 시편의 한 기판에서 다른 기판으로 감에 따라 변화하는 액정분자의 경사각 θ(z)은 액정의 탄성이론을 사용하여 수치적으로 계산할 수 있다. 이와 같은 경사각 변화의 이론적인 계산 결과를 바탕으로 액정 파브리-페로 파장 가변 필터의 투과 특성을 이론적으로 계산할 수 있으며, 또한 액정의 물질 상수와 시편의 조건을 최적화할 수 있다.
표 1은 시편의 조건을 예시적으로 보인 표이고, 도 5 내지 도 7은 표 1에 제시된 조건을 갖는 시편의 실험결과를 나타내는 도이다.
본 실시예에서는 카이랄 첨가제가 혼합되지 않은 네마틱 액정 E7을 사용하는 바, 네마틱 액정 E7은 나선구조를 이루지 않는 물질로 나선피치의 길이 p=∞가 되어 시편의 간격과 피치의 비 d/p=0이 된다.
액정 E7
ne 1.728
no 1.513
△ε 14.33
시편간격(μm) 50
도 5는 수직 배향과 축성 배향된 네마틱 액정 E7의 파브리-페로 파장 가변 필터 장치의 입사 빛의 편광 의존성에 대한 결과로, 입사 빛의 편광에 무관한 시편의 투과특성을 보여주며, (Ⅰ), (Ⅱ), (Ⅲ) 각각의 경우는 시편의 어떤 기준 방향에 대해 입사 빛의 편광방향이 각각 0˚, 45˚, 90˚일 때를 나타낸다.
도 6은 수직 배향과 축성 배향된 네마틱 액정 E7의 파브리-페로 파장 가변 필터 장치의 전압에 따른 파장 가변 특성을 보여주는 것으로, 이 도면에 도시하는 바와 같이, 파장 1535nm과 1549nm 부근에서 인가 전압의 크기와 무관하게 최대 투과도를 갖는 파장의 변화가 없는 모드가 존재하는 데, 이것은 기판 표면에 사영된 액정 분자의 장축 방향에 수직한 편광 성분, 즉, 굴절률이 nO인 경우에 해당한다. 한편, 기판 표면에 사용된 액정 분자의 장축 방향에 평행한 성분이 기여하게 되는 경우에는 인가 전압의 크기에 따라 유효 굴절률 neff가 변하게 되고 그 결과 최대 투과도를 갖는 파장이 변하게 된다. 양의 유전율 이방성을 갖는 경우 액정 분자들은 인가 전기장에 수직한 방향으로 회전한다. 이러한 액정 분자들의 회전에 의해 유효 굴절률의 크기가 변하게 되고 파브리-페로 구조에서 인가 전압의 크기에 따라 투과되는 빛의 파장이 연속적으로 변화된다.
도 7은 도 6에서 실제 적용한 연속적 파장 동조 특성을 예시적으로 보인 도로, 전압의 크기가 2V에서 7V까지 변화할 때 동조(tuning)되는 파장 구간이 1526nm에서 1551nm까지인 모드와 1541nm에서 1560nm부근까지의 모드가 선택적으로 이용될 수 있음을 보여준다.
본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치는 전술한 실시예에 국한되지 않고 본 발명의 기술 사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에서는 카이랄 첨가제가 혼합되지 않은 네마틱 액정 E7을 사용하였는 데, 다른 실시예로 네마틱 액정에 카이랄 첨가제를 혼합한 액정을 사용할 수 있다. 여기서, 카이랄 첨가제를 혼합한 액정을 사용할 경우에는 카이랄 첨가제가 나선구조를 이루어 시편의 간격과 피치의 비 d/p가 0보다 커지게 된다.
한편, 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치는 입사 편광 방향에 그 특성의 변화가 없지만 필요에 따라서는 기판의 어느 한쪽면에 입사 편광의 특성 조절을 위한 편광판 또는 광보상 필름을 부착할 수도 있다.
또한, 시편의 투과 효율의 증대를 위해서는 두기판 바깥면에 사용되는 파장 범위에서 반사율이 낮은 무반사막을 코팅하는 것이 양호하다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치에 따르면, 종래의 단일 배향 구조의 경우에 비하여 모든 작동 전압 영역에서 투과 또는 반사 특성이 입사 빛의 편광에 완전하게 무관하고, 제조 공정이 기존의 다중 배향 구조의 경우보다 훨씬 단순하다.
이로 인해, 본 발명은 투과 빛에 대한 입사 빛의 편광 의존성의 완전한 제거, 낮은 구동 전압, 폭넓은 영역에서의 파장 가변 혹의 동조 특성, 단순한 제작 공정을 지니는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치를 제공할 수 있다.

Claims (14)

  1. 두 기판의 안쪽에는 투명 전극이 형성되고, 전극면 위에 반사막이 입혀져 있으며, 한쪽면의 반사막은 수직 배향막이 도포되어 액정이 수직 배향되고, 다른 쪽의 반사막은 수평 배향막이 도포됨과 아울러 액정이 축성 배향될 수 있도록 처리되고, 양의 유전율 이방성을 갖는 네마틱 액정이 주입되어 인가된 전압의 크기에 따라 입사된 빛의 파장이 동조되는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 수평 배향막의 기판면에 대한 선경사각을 θ1이라고 하면, 0˚≤θ1≤10˚를 만족하는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 수직 배향막의 기판면에 대한 선경사각을 θ2이라고 하면, 75˚≤θ2≤90˚를 만족하는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 카이랄 첨가제가 혼합된 액정의 시편 간격을 d, 상기 카이랄 첨가제에 의한 액정의 피치를 p라고 하면, 상기 시편 간격과 피치의 비가 0≤d/p≤0.5인 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 기판의 적어도 어느 한쪽에 편광판이 부착되는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 기판의 적어도 어느 한쪽에 광보상 필름이 부착되는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 기판의 바깥면에 무반사막이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  8. 두 기판의 안쪽에는 투명 전극이 형성되고, 전극면 위에 반사막이 입혀져 있으며, 한쪽면의 반사막은 수직 배향막이 도포되어 액정이 수직 배향되고, 다른 쪽의 반사막은 수평 배향막이 도포됨과 아울러 액정이 축성 배향될 수 있도록 처리되고, 음의 유전율 이방성을 갖는 네마틱 액정이 주입되어 인가된 전압의 크기에 따라 입사된 빛의 파장이 동조되는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 기판면에 대한 수평 배향막의 선경사각을 θ1이라고 하면, 0˚≤θ1≤15˚를 만족하는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 기판면에 대한 수직 배향막의 선경사각을 θ2이라고 하면, 80˚≤θ2≤90˚을 만족하는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  11. 제 8항에 있어서, 카이랄 첨가제가 혼합된 액정의 시편 간격을 d, 상기 카이랄 첨가제에 의한 액정의 피치를 p라고 하면, 상기 시편 간격과 피치의 비가 0≤d/p≤0.5인 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 기판의 적어도 어느 한쪽에 편광판이 부착되는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  13. 제 8항에 있어서, 상기 기판의 적어도 어느 한쪽에 광보상 필름이 부착되는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
  14. 제 8항에 있어서, 상기 기판의 바깥면에 무반사막이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 네마틱 액정 파브리-페로 파장 가변 필터 장치.
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