KR100258319B1 - Field emission display element - Google Patents

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김덕중
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Abstract

PURPOSE: A field emission display is provided to exhaust gas easily by making subsidiary space circularly and to remove effectively remaining gas by forming getter at the uneven wall. CONSTITUTION: An anode electrode(307) and phosphor(306) are formed in order at one side of upper substrate(308). Cathode electrode(301) and emitter(302) is formed at one side of lower substrate(300) which is arranged to be opposite against upper substrate(308). Spacer(305) is formed between upper substrate(308) and lower substrate(300) and forms main space(309) between those. The first exhaust hole(311) is formed in a vertical direction at the part that cathode electrode(301) is not formed at in above lower substrate(300). Subsidiary vessel(316) has semi-spherical subsidiary space(317) to be connected spatially with above main space(309) through the first exhaust hole(311). Subsidiary space(317) includes exhaust hole(312) that is formed at the lower part of subsidiary vessel(316) of which inside wall is uneven. Material of subsidiary vessel(316) is of glass.

Description

전계방출 표시소자Field emission display device

제1도는 종래의 전계방출 표시소자를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional field emission display device.

제2도는 종래의 하부기판의 배면에 보조공간을 갖는 전계방출 표시 소자를 나타낸 단면도.2 is a cross-sectional view of a field emission display device having an auxiliary space on a rear surface of a conventional lower substrate.

제3도는 본 발명에 따른 하부기판의 배면에 반구형의 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자를 나타낸 단면도.3 is a cross-sectional view of a field emission display device having a hemispherical auxiliary space on a rear surface of a lower substrate according to the present invention.

제4도는 본 발명에 따른 또다른 요철형의 내면을 갖는 반구형의 보 조공간에 게터를 형성한 전계방출 표시소자를 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view showing a field emission display device in which a getter is formed in a semispherical auxiliary space having an inner surface of another concave-convex shape according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

100, 200, 300 : 하부기판 101, 201, 301 : 캐소드 전극100, 200, 300: lower substrate 101, 201, 301: cathode electrode

102, 202, 302 : 에미터 103, 203, 303 : 절연체102, 202, 302: emitter 103, 203, 303: insulator

104, 204, 304 : 게이트 전극 105, 205, 305 : 스페이서104, 204, 304: gate electrode 105, 205, 305: spacer

106, 206, 306 : 형광체 107, 207, 307 : 애노드 전극106, 206, 306: phosphors 107, 207, 307: anode electrodes

108, 208, 308 : 상부기판 109, 209, 309 : 주공간108, 208, 308: upper substrate 109, 209, 309: main space

110, 210, 310 : 밀봉재 111, 212, 312 : 배기구110, 210, 310: sealing material 111, 212, 312: exhaust port

112, 214, 313 : 배기관 211,311 : 제1배기구112, 214, 313 Exhaust Pipe 211, 311 Exhaust Pipe

213, 314 : 보조공간 215, 315 : 게터213, 314: auxiliary space 215, 315: getter

216 : 보조기판 217 : 보조스페이서216: sub-board 217: sub-spacer

316 : 보조응기 317 : 요철형 내면을 갖는 보조용기316: auxiliary container 317: auxiliary container having an uneven inner surface

본 발명은 전계방출 표시소자에 관한 것으로, 특히, 고진공 패캐징 공정 중 배기시 기체 유동의 컨덕턴스를 향상시킬 수 있고, 펌핑시간을 단축시킬 수 있는 반구형의 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자에 관한 것이다.The present invention relates to a field emission display device, and more particularly, to a field emission display device having a hemispherical auxiliary space that can improve the conductance of gas flow during exhaust during a high vacuum packaging process and can shorten the pumping time. .

일반적으로 전계방출 표시소자는 에미터에서 발생된 전자가 형광체에 충돌하는 것에 의해 화면이 표시된다. 따라서, 전자의 자유이동 거리를 크게하기 위해서는 1O-6토르 정도의 높은 진공도를 필요로 한다. 그러므로, 고진공을 필요로하는 표시소자에서는 표시소자 내부에 잔류하는 가스분자를 배기하는 공정이 필수적이다. 배기공정에 이용되는 가장 일반적인 방법은 표시소자에 유리등의 재질로 형성된 배기관을 연결시키고, 진공펌프를 이용하여 표시소자 내부의 가스를 배기시킨 후, 표시소자와 배기관을 분리하기 위하여 토오치 램프 또는 저항체에 전기를 통하게 하는 방법 등으로 배기관을 반용융 상태로 가열하여 봉입하고 냉각시킨다. 이때, 배기관을 반용융 상태로 가열할때 발생되는 미량의 가스는 CRT와 같이 진공을 유지시켜야할 부분의 체적이 큰 경우에는 진공도에 큰 영향을 주지 않는다. 그러나, 전계방출 표시소자와 같이 고화질의 영상을 얻기 위해 상부기판과 하부기만의 간격이 100∼200㎛ 정도의 작은 폭을 가져 대화면에 비해 내부 체적이 매우 작은 경우에는 진공도에 큰 영향을 주게되어 표시소자의 성능에 큰 영향을 주게된다. 따라서 전계방출 표시소자와 같은 평판 표시소자의 경우에는 진공패케징내의 배기가스의 양을 줄이면서 봉입하는 공정이 중요하다.In general, the field emission display device displays a screen due to the electrons generated by the emitter colliding with the phosphor. Therefore, in order to increase the free moving distance of electrons, a high degree of vacuum of about 10 -6 Torr is required. Therefore, in a display element requiring high vacuum, a process of exhausting gas molecules remaining inside the display element is essential. The most common method used in the exhaust process is to connect an exhaust pipe made of a material such as glass to the display device, exhaust the gas inside the display device using a vacuum pump, and then use a torch lamp or The exhaust pipe is heated, sealed and cooled in a semi-melt state by a method such as allowing electricity to pass through the resistor. At this time, a small amount of gas generated when the exhaust pipe is heated to a semi-melt state does not significantly affect the degree of vacuum when the volume of the portion to be maintained in the vacuum, such as CRT, is large. However, in order to obtain a high quality image like the field emission display device, the gap between the upper substrate and the lower deception has a small width of about 100 to 200 μm, and when the internal volume is very small compared to the big screen, the vacuum degree is greatly affected. It will greatly affect the performance of the device. Therefore, in the case of flat panel display devices such as field emission display devices, a process of encapsulating while reducing the amount of exhaust gas in vacuum packaging is important.

또한, 전계방출 표시소자의 화면이 수십인치 이상으로 커지게 되면, 기체유동의 컨덕턴스가 나빠지게 되므로, 전계방출 표시소자의 내부를 1O-6토르의 고진공으로 진공펌핑하는 것이 매우 어렵게 된다.In addition, when the screen of the field emission display device becomes larger than several tens of inches, the conductance of gas flow becomes worse, so that it is very difficult to vacuum the inside of the field emission display device to a high vacuum of 10 -6 Torr.

제1도는 종래기술에 따른 전계 방출 표시소자를 나타낸 것으로써, 하부기판(1OO)에는 스트라이프(stripe) 형상의 다수의 캐소드(cathode) 전극(1O1)이 형성되고, 상기 캐소드 전극(1O1) 상부에 에미터(102)와 절연체(103)가 형성되며, 상기 절연체(103) 상부에는 게이트 전극(104)이 형성된다. 또한 상기 게이트 전극(104) 상부에는 스페이서(105)가 형성되며, 상기 스페이서(105) 상부에는 애노드 전극(107)과 형광체(106)가 형성되어 있는 상부기판(108)이 접합된다.FIG. 1 illustrates a field emission display device according to the related art, in which a plurality of cathode electrodes 101 having a stripe shape are formed on a lower substrate 100 and above the cathode electrode 101. An emitter 102 and an insulator 103 are formed, and a gate electrode 104 is formed on the insulator 103. In addition, a spacer 105 is formed on the gate electrode 104, and an anode electrode 107 and an upper substrate 108 on which the phosphor 106 is formed are bonded to the spacer 105.

또한, 상기 하부기판(100)에는 캐소드 전극(101)이 형성되지 않은 소정 부분에는 배기구(111)가 형성되며, 상기 배기구(111)에 배기관(112)를 삽입시키고, 상기 배기관(112)을 진공 펌프(도시되지 않옴)에 연결한 후, 연결된 진공 펌프를 이용하여 주공간(109) 내의 잔류가스를 배출하여 주공간(109)을 진공상태로 되게 한다. 다음에, 상기 주공간(109) 내부를 진공으로 유지하면서 주공간(109)과 진공펌프가 분리되도록 배기관(112)을 토오치 램프 또는 저항체에 전기를 통하게 하여 용융접합시킨다. 상술한 공정에 의해 전계방출 표시 소자가 완성된다.In addition, an exhaust port 111 is formed in a predetermined portion where the cathode electrode 101 is not formed in the lower substrate 100, and an exhaust pipe 112 is inserted into the exhaust port 111, and the exhaust pipe 112 is vacuumed. After connecting to the pump (not shown), the residual gas in the main space 109 is discharged using the connected vacuum pump to bring the main space 109 into a vacuum state. Next, the exhaust pipe 112 is electrically connected to a torch lamp or a resistor so that the main space 109 and the vacuum pump are separated while maintaining the inside of the main space 109 in vacuum. By the above-described process, the field emission display device is completed.

그러나, 상술한 종래기술에 따른 전계 방출 표시소자는 상부기판과 하부기판 사이의 간격이 작고 스페이서로 인해 기체분자의 컨덕턴스가 작아서 배기관의 근접 부분과 멀리 멀어져 있는 부분의 압력이 같아지는 데 많은 시간이 소요되며, 게터(getter)의 설치가 용이하지 않는 문제점이 있었다.However, the above-described field emission display device according to the related art has a small time interval between the upper substrate and the lower substrate, and the conductance of the gas molecules is small due to the spacer, so that the pressure of the far and near parts of the exhaust pipe is the same for a long time. It takes, there was a problem that the installation of the getter (easy) is not easy.

상기 문제점을 해결하기 위하여 제2도에 도시된 바와 같이 하부기판의 배면에 보조기판과 보조스페이서를 형성하여 보조공간을 갖게 함으로써, 주공간 내부에 존재하는 가스의 배기와 게터의 설치가 용이하고 평판화가 가능한 전계방출 표시소자가 고안되었다.In order to solve the above problems, as shown in FIG. 2, the auxiliary substrate and the auxiliary spacer are formed on the rear surface of the lower substrate so that the auxiliary space is provided, so that the exhaust of gas existing in the main space and the getter can be easily installed. A field emission display device that can be developed is designed.

제2도는 종래의 보조공간을 갖는 전계 방출 표시소자를 나타낸 것으로써, 전계 방출 표시소자는 상부기판(208)과 하부기판(200)이 서로 대향하여 스페이서(205)를 매개로 하여 구성하는 주공간(209), 그리고 하부기판(200)과 보조기판(216)이 서로 대향하여 보조 스페이서(217)를 매개로 하여 구성하는 보조공간(213)을 포함한다.FIG. 2 shows a conventional field emission display device having an auxiliary space. In the field emission display device, a main space in which an upper substrate 208 and a lower substrate 200 face each other is formed through a spacer 205. 209, and an auxiliary space 213 configured to face the lower substrate 200 and the auxiliary substrate 216 through the auxiliary spacer 217.

상기 전계방출 표시소자의 주공간(209)을 구성하는 소자는 상술한 제1도와 같은 구조를 가지며, 상기 제1도의 전계방출 표시소자의 캐소드 전극(201)이 형성되어 있지 않은 하부기판(200)에 다수개의 제1배기구(211)가 형성되어 하부기판(200)의 배면에 형성되는 보조공간(213)으로 주공간(209)의 잔류가스가 배기되게 된다.An element constituting the main space 209 of the field emission display device has a structure as shown in FIG. 1 and a lower substrate 200 in which the cathode electrode 201 of the field emission display device of FIG. 1 is not formed. A plurality of first exhaust holes 211 are formed in the auxiliary gas 213 formed on the rear surface of the lower substrate 200 to exhaust residual gas in the main space 209.

상기 보조공간(213)은 하부기판(200)의 하부에 보조스페이서(217)에 의해 일정한 간격이 유지되는 보조스페이서(217)가 유리로 형성되어 전계 방출 표시소자의 평판화와 진공도의 향상을 도모하는 것으로 1mm ∼ 200mm의 두께로 형성된다.In the auxiliary space 213, the auxiliary spacer 217, which is maintained at a predetermined interval by the auxiliary spacer 217, is formed of glass under the lower substrate 200 to improve the flatness and vacuum degree of the field emission display device. It is formed to a thickness of 1mm to 200mm.

상기 보조 스페이서(217)는 보조공간(213)에 형성되며, 유리로 이루어진다. 여기서, 상기 보조스페이서(217)의 크기에 대한 제약은 크지 않다. 왜냐하면, 보조스페이서(217)는 필드 에미터의 후면에 형성되므로 화면에 표시되는 영상에는 아무런 영향을 주지 못하기 때문이다. 또한, 보조공간(213)의 한측면에서는 배기구(212)가 형성되며, 상기 배기구(212)를 통하여 잔류가스를 배기한 후 밀봉되는 배기관(214)이 삽입된다.The auxiliary spacer 217 is formed in the auxiliary space 213 and is made of glass. Here, the restriction on the size of the auxiliary spacer 217 is not large. This is because the auxiliary spacer 217 is formed at the rear of the field emitter and thus has no effect on the image displayed on the screen. In addition, an exhaust port 212 is formed at one side of the auxiliary space 213, and an exhaust pipe 214 is inserted after the residual gas is exhausted through the exhaust port 212.

그리고, 게터(215, getter)는 보조공간(213)의 소정부분에 형성되어 배기관(214)을 밀봉한 후에 주공간(209)과 보조공간(213)에 존재하는 가스를 제거한다. 게터(215)는 티탄늄(Ti) 또는 바륨(Ba) 계통을 사용하는 증발성 게터와 지르코늄-알루미늄(Zr-Al) 합금 또는 지르코늄-바나듐-철(Zr-V-Fe) 합금을 사용하는 비증발성 게터가 있다.The getters 215 and getters are formed in predetermined portions of the auxiliary space 213 to seal the exhaust pipe 214 and then remove gas present in the main space 209 and the auxiliary space 213. The getter 215 is a vaporized getter using a titanium (Ti) or barium (Ba) system and an ammonia using a zirconium-aluminum (Zr-Al) alloy or a zirconium-vanadium-iron (Zr-V-Fe) alloy. There is a getter.

여기서, 주공간(209) 및 보조공간(213)은 상부기판(208), 하부기판(200) 및 보조기판(216)을 부착하고 밀봉제(210)로 밀봉한 후 주공간(209)내의 잔류가스를 제1배기구(211)을 통하여, 보조공간(213)내의 잔류가스를 배기하여 진공시킨다. 이때 제1배기구(211)가 다수개가 형성되어 있으므로 기체의 유동컨덕턴스가 증가되어 진공도가 향상된다. 그리고, 주공간(209) 및 보조공간(213) 내부가 진공 유지하면서 보조공간(213)과 진공펌프가 분리되도록 배기관(214)를 가열하면서 회전 및 신장하여 자른다. 이때, 발생된 가스는 나중에 게터(215)에 의해 제거된다.Here, the main space 209 and the auxiliary space 213 is attached to the upper substrate 208, the lower substrate 200 and the auxiliary substrate 216 and sealed with the sealant 210 and remaining in the main space 209 The gas is evacuated by evacuating the residual gas in the auxiliary space 213 through the first exhaust port 211. At this time, since a plurality of first exhaust holes 211 are formed, the flow conductance of the gas is increased to improve the degree of vacuum. Then, while the main space 209 and the auxiliary space 213 inside the vacuum while maintaining the vacuum, the exhaust pipe 214 is rotated and stretched while cutting so as to separate the auxiliary space 213 and the vacuum pump. At this time, the generated gas is later removed by the getter 215.

상술한 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자의 보조공간은 육면체 구조를 갖기 때문에 8개의 꼭지점을 갖는다. 그런데 이 꼭지점 부분에 존재하는 기체분자들은 진공펌핑시에 배기가 잘 되지 않는다는 문제점이 있다.Since the auxiliary space of the field emission display device having the auxiliary space described above has a hexahedral structure, it has eight vertices. However, there is a problem that gas molecules existing at this vertex portion do not exhaust well during vacuum pumping.

또한, 보조공간을 이루는 육면체의 구조는 압축응력에 약하기 때문에 하부기판과 보조기판사이의 일정한 공간을 확보하고, 기판의 파손을 방지하기 위하여 다수의 보조스페이서를 설치해야 한다는 문제점이 있다.In addition, since the structure of the hexahedron constituting the auxiliary space is weak in compressive stress, there is a problem in that a plurality of auxiliary spacers must be installed in order to secure a constant space between the lower substrate and the auxiliary substrate and prevent breakage of the substrate.

본 발명은 상기 종래의 보조공간이 갖는 문제점들을 해결하기 위하여 하부기판의 배면에 보조공간의 내부구조를 비대칭반구(asymmetric hemisp here) 혹은 반구(hemisphere) 모양을 갖는 보조용기를 설치하여 보조공간에 설치되는 스페이서가 필요없든지 또는 대형 전계방출 표시소자의 경우 적은 수의 스페이서를 설치하면 되므로 공정을 줄일 수 있고, 내부공간의 가스 배기를 용이하게 하는 것을 목적으로 한다.The present invention is installed in the auxiliary space by installing an auxiliary container having an asymmetric hemisp here or a hemisphere shape of the internal structure of the auxiliary space on the back of the lower substrate to solve the problems of the conventional auxiliary space In order to eliminate the need for a spacer or a large field emission display device, a small number of spacers may be provided, so that the process can be reduced and the gas can be easily exhausted.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 일측면에 애노드 전극과 형광체가 순차적으로 형성되어 있는 상부기판과, 상기 상부기판과 대향되게 배치되며, 일측면에 캐소드 전극과 에미터 및 게이트 전극이 형성되어 있는 하부기판과, 상기 상부기판과 하부기판 사이에 형성되며, 그 사이에 주공간을 형성하는 스페이서와, 상기 하부기판에서 캐소드 전극이 형성되지 않는 부분에서 연직 방향으로 형성되는 제1배기구와, 상기 제1배기구를 통해 상기 주공간과 공간적으로 연결되는 반구형의 보조공간을 갖는 보조용기와, 상기 보조용기의 하부에 형성되는 배기구를 포함하는 전계방출 표시소자를 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes an upper substrate on which an anode electrode and a phosphor are sequentially formed on one side thereof, and is disposed to face the upper substrate, and a cathode, an emitter, and a gate electrode are formed on one side thereof. A spacer formed between the lower substrate, the upper substrate and the lower substrate, and having a main space therebetween, and a first exhaust mechanism formed in a vertical direction in a portion where the cathode electrode is not formed on the lower substrate; It characterized in that the field emission display device comprising an auxiliary container having a hemispherical auxiliary space spatially connected to the main space through one exhaust mechanism, and an exhaust port formed under the auxiliary container.

이하, 첨부된 도면을 참조로하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제3도는 본 발명에 따른 반구형의 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자를 나타낸 것으로써, 상부기판(308)과 하부기판(300)에 형성되는 소자들과 제1배기구(311)는 제1도에서 설명한 바와 같으므로 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.FIG. 3 illustrates a field emission display device having a hemispherical auxiliary space according to the present invention, wherein elements formed on the upper substrate 308 and the lower substrate 300 and the first exhaust hole 311 are shown in FIG. As described above, further description will be omitted.

다만, 본 발명에서는 상기 하부기판(300)의 배면에 설치되는 보조공간(314)을 도면을 참조하여 설명하면, 하부기판(300)과 접합될 보조용기(316)를 몰딩법을 이용하여 반구형의 공간을 갖도록 제조한다. 이때, 유리를 사용하여 보조용기용 틀에 반구형을 갖도록 부은 후, 식혀서 반구형의 내부구조를 갖는 보조용기(316)를 제조한다. 상기 제조된 반구형의 내부공간을 갖는 보조용기(316)의 한쪽면에 배기구(312)를 형성한다. 상기 배기구(312)를 형성한 보조용기(316)를 프릿 글라스등을 이용하여 상기 제1배기구(211)가 형성되어 있는 하부기판(300)의 배면에 접합시키고, 상기 배기구(311)에 배기관(314)을 삽입하여 진공펌핑시킨다. 진공펌핑이 끝나면 배기관(313)을 토치램프나 레이저 빔을 이용하여 용융접합시켜 보조용기(316)를 밀폐시킴으로써 전계방출 표시소자가 완성된다. 이때, 보조용기(316) 내부에 게터를 설치함으로써, 배기관(313)의 용융접합으로 발생하는 잔류가스를 제거할 수도 있다.However, in the present invention, when the auxiliary space 314 installed on the rear surface of the lower substrate 300 will be described with reference to the drawings, the auxiliary substrate 316 to be bonded to the lower substrate 300 will be formed using a molding method. Manufacture to have space. At this time, after the glass is poured to have a hemispherical shape in the frame for the auxiliary container, it is cooled to prepare an auxiliary container 316 having a hemispherical internal structure. An exhaust port 312 is formed on one side of the auxiliary container 316 having the hemispherical inner space manufactured above. The auxiliary container 316 having the exhaust port 312 is bonded to the rear surface of the lower substrate 300 on which the first exhaust port 211 is formed by using frit glass or the like, and the exhaust pipe 311 is connected to the exhaust port 311. 314) is inserted and vacuum pumped. After the vacuum pumping, the exhaust pipe 313 is melt-bonded by using a torch lamp or a laser beam to seal the auxiliary container 316, thereby completing the field emission display device. At this time, by installing a getter in the auxiliary container 316, it is also possible to remove the residual gas generated by the fusion bonding of the exhaust pipe (313).

제4도는 본 발명에 따른 또다른 반구형의 보조공간을 갖는 전계방출 표시소지를 나타낸 것으로써, 하부기판(300)과 접합될 보조용기(316)를 요철 모양의 내벽과 배기용 세관(313)을 포함하는 반구형의 공간을 갖도록 보조용기(316)를 제조한 것이다. 이때, 유리를 사용하여 육면체의 보조용기용 틀에 반구형을 갖도록 부은 후, 식혀서 반구형의 내부구조를 갖는 보조용기(316)를 제조한다. 또한, 보조용기(316)의 틀을 제조할때 보조용기(316)의 일측면에 형성될 세관형상의 틀을 갖도록하여 배기용 세관(313)을 보조용기과 한몸이 되도록 제조할 수 있다. 따라서 상기 제조된 반구형의 내부공간을 갖는 보조용기(316)의 일측면에 배기구(312)를 형성하여 배기용 세관(313)을 삽입 고정해야 하는 공성을 줄일 수 있다. 상기 보조공간 (314) 내부에 요철모양의 내벽을 갖게하는 방법은 몰드의 틀에다 요철을 갖게하여 보조용기(317)의 제조와 동시에 제조하는 방법과, 일단 평탄한 내벽을 갖도록 제조한 다음 화학적 식각방법 또는 기계적 연마법등의 후처리 공징에 의해 요칠모양의 내멱을 갖게하여 증발형의 게터를 활성화시킴으로써 게터(315)를 요철모양을 따라 형성한다. 상기 방법에 의해 제조된 반구형의 내부공간(314)과, 요철모양의 게터(315) 그리고 배기용 세관(313)을 갖는 보조용기(317)를 프릿 글라스등을 이용하여 상기 제1배기구(311)가 형성되어 있는 하부기판(300)의 배면에 접합시키고, 상기 배기용세관(313)에 진공펌프를 연결하여 진공펌핑시킨다. 주공간(309)과 보조공간(314)의 진공도가 원하는 상태가 되면 배기용 세관(313)을 토치램프나 레이저 빔을 이용하여 용융접합시켜 보조용기(317)를 밀폐시킴으로써 전계 방출 표시소자가 완성된다.4 is a view showing the field emission display having another hemispherical auxiliary space according to the present invention, wherein the auxiliary container 316 to be joined to the lower substrate 300 has an uneven inner wall and an exhaust pipe 313. Auxiliary container 316 is manufactured to have a hemispherical space to be included. At this time, the glass is poured to have a hemispherical shape in the frame for the auxiliary container of the cube, and then cooled to manufacture an auxiliary container 316 having a hemispherical internal structure. In addition, when manufacturing the frame of the auxiliary container 316 to have a tubular-shaped frame to be formed on one side of the auxiliary container 316 can be manufactured so that the exhaust tubules 313 to be one body with the auxiliary container. Therefore, by forming the exhaust port 312 on one side of the auxiliary container 316 having the hemispherical inner space manufactured above, it is possible to reduce the siege to be inserted and fixed to the exhaust tubule 313. The method of having the inner wall of the concave-convex shape in the auxiliary space 314 is to have a concave-convex in the mold of the mold and to manufacture the auxiliary container 317 at the same time, and to prepare a flat inner wall once, and then chemical etching method Alternatively, the getter 315 is formed along the concave-convex shape by providing a yolk-shaped tip and activating an evaporation type getter by post-treatment processing such as mechanical polishing. The first exhaust port 311 is formed using a frit glass or the like by using a frit glass or an auxiliary container 317 having a hemispherical inner space 314, an uneven getter 315, and an exhaust tubule 313 manufactured by the above method. Is bonded to the rear surface of the lower substrate 300, and a vacuum pump is connected to the exhaust pipe 313 by vacuum pumping. When the degree of vacuum of the main space 309 and the auxiliary space 314 is desired, the exhaust capillary 313 is melt-bonded by using a torch lamp or a laser beam to seal the auxiliary container 317, thereby completing the field emission display device. do.

상술한 본 발명에 따른 반구형의 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자는 다이오드형 전계방출 표시소자에도 동일하게 적용된다.The field emission display device having the hemispherical auxiliary space according to the present invention described above is similarly applied to the diode field emission display device.

일반적으로 배기에 가장 적합한 공간 구조는 구형이다. 상술한 본 발명은 주공간(309)의 제작은 종래의 전계방출 표시소자의 제조방법과 같은 방법으로 형성하고, 보조공간(314)은 내부구조가 배기에 용이한 반구형태로 형성된다. 이때 보조공간(314)의 체적은 종래와 같이 주공간(309)의 체적보다 10배 이상 크게 제작하여야 한다.In general, the most suitable spatial structure for exhaust is spherical. According to the present invention, the main space 309 is manufactured by the same method as the conventional method of manufacturing a field emission display device, and the auxiliary space 314 is formed in a hemispherical shape whose internal structure is easy to exhaust. At this time, the volume of the auxiliary space 314 should be made more than 10 times larger than the volume of the main space 309 as in the prior art.

본 발명은 종래의 기술에 비해 보조공간을 둥글게 제작함으로써, 배기에 부적합한 꼭지점과 모서리 부분을 제거하였다. 따라서, 전계방출 표시 소자 내부 즉, 주공간과 보조공간의 가스 배기를 용이하게 할 수 있다.According to the present invention, the auxiliary space is rounded, compared to the prior art, thereby eliminating vertices and edges unsuitable for exhaust. Therefore, it is possible to easily exhaust the gas inside the field emission display device, that is, the main space and the auxiliary space.

또한, 보조공간이 반구형이므로 압축응력이 강하여 보조스페이스를 형성할 필요가 없거나, 대형의 전계방출 표시서자의 경우 적은 수의 스페이서만을 설치하면 되므로 공정 수를 줄일 수 있다.In addition, since the auxiliary space is hemispherical, the compressive stress is strong, so it is not necessary to form the auxiliary space, or in the case of a large field emission indicator, only a few spacers may be installed, thereby reducing the number of processes.

또한, 보조용기의 내멱을 요철모양을 갖도록 제조하고, 그 요철모양의 벽면에 게터를 형성함으로써, 게터의 표면적을 크게하여 배기후 보조공간과 주공간에 잔존하는 잔류가스를 효과적으로 제거할 수 있다.In addition, by making the inner container of the auxiliary container have an uneven shape, and forming a getter on the uneven wall surface, the surface area of the getter can be increased to effectively remove residual gas remaining in the auxiliary space and the main space after exhausting.

Claims (7)

일측면에 애노드 전극과 형광체가 순차적으로 형성되어 있는 상부기판과, 상기 상부기판과 대향되게 배치되며, 일측면에 캐소드 전극과 에미터가 형성되어 있는 하부기판과, 상기 상부기판과 하부기판 사이에 형성되며, 그 사이에 주공간을 형성하는 스페이서와, 상기 하부기판에서 캐소드 전극이 형성되지 않는 부분에 연직 방향으로 형성되는 제1배기구와, 상기 제1배기구를 통해 상기 주공간과 공간적으로 연결되는 반구형의 보조공간을 갖는 보조용기와, 상기 보조용기의 하부에 형성되는 배기구를 포함하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.An upper substrate having sequentially formed anode electrodes and phosphors on one side, a lower substrate disposed to face the upper substrate, and having a cathode electrode and an emitter formed on one side thereof, between the upper substrate and the lower substrate; A spacer formed between the spacer, forming a main space therebetween, a first exhaust hole formed in a vertical direction in a portion where the cathode electrode is not formed on the lower substrate, and spatially connected to the main space through the first exhaust hole. A field emission display device having an auxiliary space having a hemispherical auxiliary space and an auxiliary space formed under the auxiliary container. 제1항에 있어서, 상기 보조용기는 내벽이 요철모양을 갖는 것을 특징으로 하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.The field emission display device having an auxiliary space of claim 1, wherein the auxiliary container has an irregular wall shape. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보조용기의 재료는 유리인 것을 특징으로 하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.The field emission display device having an auxiliary space according to claim 1 or 2, wherein the auxiliary container is made of glass. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보조용기와 하부기판은 플릿 글라스에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.The field emission display device of claim 1 or 2, wherein the auxiliary container and the lower substrate are joined by flit glass. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보조용기의 내부공간은 비대칭 반구인 것을 특징으로 하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.The field emission display device of claim 1 or 2, wherein an inner space of the auxiliary container is an asymmetric hemisphere. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보조용기 내벽에 게터물질이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.The field emission display device according to claim 1 or 2, wherein a getter material is provided on an inner wall of the auxiliary container. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보조용기 내부에 보조스페이서를 설치한 것을 특징으로 하는 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자.The field emission display device of claim 1 or 2, wherein an auxiliary spacer is provided inside the auxiliary container.
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