KR100242984B1 - Magnetic plunger valve - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조장비의 진공/가스 시스템에서 사용할 수 있는 자석플런저 밸브에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 밸브는 압축공기가 누출되는 것을 방지하기 위한 벨로우즈가 설치되어 있어 상기 밸브를 장기적으로 사용하게 되면 그 벨로우즈가 손상되게 되어 상기 밸브로 제어하는 가스의 흐름을 제어할 수 없게 됨과 아울러 그 가스가 누출되게 되어 반도체 공정이상과 더불어 안전상에 문제를 초래하게 되었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 아래 도면에 도시된 바와 같이, 실린더부(24)와 가스가 유입될 수 있는 유입구(25)와 그 유입구(25)를 통하여 유입된 가스가 토출될 수 있도록 토출구(23)가 형성되어 있는 본체(22)와, 상기 본체(22)의 실린더부(24)에 설치되어 외부에서 가하는 자력에 의하여 상기 토출구(23)를 개폐할 수 있는 자석플런저(28)와, 상기 실린더부(24)에 설치되어 있는 자석플런저(28)에 자력을 가하여 그 자석플런저(28)를 제어할 수 있는 플런저제어 수단을 구비하여 구성된 자석플런저 밸브(21)로서, 상기 밸브(21)를 장기적으로 사용하게 되어도 손상되지 않아 그 밸브(21)를 제어하는 고압가스의 누출을 방지하게 되고, 또 상기 유입구(25)를 통하여 유입된 가스의 누출도 방지하게 되어 반도체 공정이상을 방지하게 됨과 아울러 안전도를 향상할 수 있게 되는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnet plunger valve that can be used in a vacuum / gas system of semiconductor manufacturing equipment. A valve according to the prior art is provided with a bellows for preventing leakage of compressed air, The bellows is damaged, so that the flow of the gas controlled by the valve can not be controlled, and the gas leaks, resulting in a safety problem in addition to the semiconductor process abnormality. In order to solve such a problem, the present invention is characterized in that, as shown in the following drawings, the cylinder portion 24, the inlet 25 through which the gas can be introduced and the outlet 25 through which the gas, A magnet plunger 28 mounted on the cylinder portion 24 of the main body 22 and capable of opening and closing the discharge port 23 by a magnetic force externally applied thereto; And a plunger control means capable of controlling the magnet plunger 28 by applying a magnetic force to the magnet plunger 28 provided on the cylinder portion 24. The magnet plunger valve 21 includes a valve 21, Pressure gas for controlling the valve 21 is prevented from leaking and leakage of the gas introduced through the inlet 25 is prevented to prevent the semiconductor process abnormality Also, The effect of being able to spoil.
Description
본 발명은 반도체 제조장비의 진공/가스 시스템에서 사용할 수 있는 자석플런저 밸브에 관한 것으로, 특히 토출구를 개폐하는 밸브플레이트를 자석플런저와 연결형성하여 밀폐된 공간상에서 상기 밸브플레이트가 외부에서 작용하는 자력에 의하여 작동할 수 있도록 하여 가스의 누출을 방지할 수 있도록 한 자석플런저 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a magnet plunger valve that can be used in a vacuum / gas system of semiconductor manufacturing equipment. More particularly, the present invention relates to a magnet plunger valve that is connected to a magnet plunger for opening and closing a discharge port, To a magnet plunger valve capable of preventing the leakage of gas.
종래 기술에 의한 반도체 제조장비의 진공/가스 시스템에 사용하는 밸브(1)는 상기 제1도에 도시된 바와 같이 소정 형상을 갖는 본체(2)가 형성되어 있고, 그 본체(2)의 저부에서 가스가 토출되는 토출구(3)가 형성되어 있으며, 그 토출구(3)의 상부에는 상기 토출구(3)를 개폐하는 밸브플레이트(4a)와 일체된 플런저샤프트(4)를 설치할 수 있는 공간부(5)가 형성되어 있다.A valve 1 used in a vacuum / gas system of a semiconductor manufacturing equipment according to the prior art has a main body 2 having a predetermined shape as shown in FIG. 1, A space portion 5 (5) is formed in the upper portion of the discharge port 3 where a plunger shaft 4 integral with a valve plate 4a for opening and closing the discharge port 3 can be installed. Is formed.
상기 공간부(5)가 형성된 본체(2)의 일측에는 가스가 유입되는 유입구(6)가 형성되어 있고, 상기 본체(2)의 상부에는 체결고정부재인 수 개의 볼트(7)로 고정된 실린더부(8)가 설치되어 있으며, 상기 본체(2)와 실린더부(8)의 사이에는 상기 플런저샤프트(4)가 삽입설치될 수 있는 삽입공(9a)이 형성된 스톱퍼(9)가 설치되어 있고, 상기 플런저샤프트(4)의 단부에는 상기 실린더부(8)에서 왕복구동할 수 있는 플런저(10)가 형성되어 있다.An inlet 6 through which the gas flows is formed at one side of the main body 2 having the space portion 5 formed therein and a cylinder 6 fixed to the upper portion of the main body 2 by several bolts 7, A stopper 9 having an insertion hole 9a into which the plunger shaft 4 can be inserted is formed between the main body 2 and the cylinder 8 And a plunger 10 is formed at the end of the plunger shaft 4 to reciprocate in the cylinder 8.
그리고, 상기 플런저(10)가 설치된 실린더부(8)에는 압축가스를 공급할 수 있는 공급관(11)이 설치되고, 그 공급관(11)을 통하여 공급된 압축가스를 배출할 수 있는 배출관(12)이 설치되어 있으며, 또 상기 밸브플레이트(4a)와 일체된 플런저샤프트(4)에는 상기 실린더부(8)에 공급된 압축가스가 배출될 때 상기 밸브플레이트(4a)가 토출구(3)를 상시 밀폐할 수 있도록 탄력지지하는 탄성부재인 압축형 코일스프링(13)이 설치되어 있다.The cylinder portion 8 provided with the plunger 10 is provided with a supply pipe 11 capable of supplying a compressed gas and a discharge pipe 12 capable of discharging the compressed gas supplied through the supply pipe 11 When the compressed gas supplied to the cylinder portion 8 is discharged to the plunger shaft 4 integrated with the valve plate 4a, the valve plate 4a always seals the discharge port 3 A compression coil spring 13 which is an elastic member for holding the elastic force is provided.
상기 압축형 코일스프링(13)이 설치된 플런저샤프트(4)에는 상기 압축가스가 상기 본체(2)의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 벨로우즈(14)가 설치되어 있다.The plunger shaft 4 provided with the compression coil spring 13 is provided with a bellows 14 for preventing the compressed gas from leaking to the outside of the main body 2.
도면상의 미설명 부호 15a와 15b는 오링이다.Unexplained reference numerals 15a and 15b are O-rings.
상기와 같이 구성된 밸브(1)는 먼저, 상기 압축형 코일스프링(13)의 탄성에 의하여 상기 토출구(3)가 밀폐된 상태에서 상기 실린더부(8)에 압축가스 공급관(11)을 통하여 압축가스를 공급하게 되면 그 실린더부(8)의 플런저(10)가 상승하게 됨과 더불어 그 플런저(10)와 일체로 형성된 플런저샤프트(4) 그리고 밸브플레이트(4a)가 상승하게 되어 상기 토출구(3)는 열리게 된다.The valve 1 constructed as described above is configured such that a compression gas is supplied to the cylinder portion 8 through the compressed gas supply pipe 11 in a state in which the discharge port 3 is closed by the elasticity of the compression coil spring 13, The plunger 10 of the cylinder portion 8 is lifted and the plunger shaft 4 and the valve plate 4a integrally formed with the plunger 10 are lifted so that the discharge port 3 Will be opened.
상기 토출구(3)가 열리게 되어 상기 본체(2)의 측부에 형성된 유입구(6)를 통하여 유입되는 가스는 그 토출구(3)로 토출되게 된다.The discharge port 3 is opened and the gas introduced through the inlet port 6 formed on the side of the main body 2 is discharged to the discharge port 3. [
상기의 상태에서 실린더부(8)의 공급관(11)을 통하여 공급되는 압축가스를 차단하게 되면, 상기 압축형 코일스프링(13)의 탄성에 의하여 상기 플런저샤프트(4)가 하방향으로 내려옴과 아울러 그 플런저샤프트(4)에 일체로 형성되어 있는 밸브플레이트(4a)가 상기 토출구(3)를 밀폐하게 되어 상기 유입구(6)로 유입된 가스가 차단되게 되는 것이다.When the compressed gas supplied through the supply pipe 11 of the cylinder part 8 is blocked in the above state, the plunger shaft 4 is lowered downward due to the elasticity of the compression coil spring 13, The valve plate 4a formed integrally with the plunger shaft 4 closes the discharge port 3 and the gas introduced into the inlet 6 is blocked.
그러나, 상기와 같이 구성된 밸브는 압축공기가 누출되는 것을 방지하기 위한 벨로우즈가 설치되어 있어 상기 밸브를 장기적으로 사용하게 되면 벨로우즈가 손상되게 되어 상기 밸브로 제어하는 가스의 흐름을 제어할 수 없게 됨과 아울러 그 가스가 누출되게 되어 상기 반도체 공정 이상과 더불어 안전상에 문제를 초래하게 되었다.However, in the valve constructed as described above, a bellows for preventing the leakage of the compressed air is provided. If the valve is used for a long period of time, the bellows is damaged and the flow of the gas controlled by the valve can not be controlled. The gas is leaked, resulting in safety problems as well as the above-described semiconductor process.
따라서, 본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 반도체 공정상에 사용하는 진공/가스 시스템의 안전한 가스흐름제어와 더불어 반도체 공정이상을 방지하고, 또 안전성을 향상할 수 있도록 한 자석플런저 밸브를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a magnet plunger valve capable of preventing a semiconductor process abnormality and improving safety, in addition to a safe gas flow control of a vacuum / gas system used in a semiconductor process. .
제1도는 종래 기술에 진공/가스 시스템에 사용하는 밸브의 구조를 보인 종단 단면도.FIG. 1 is a longitudinal section view showing the structure of a valve for use in a vacuum / gas system according to the prior art; FIG.
제2도는 본 발명에 의한 자석플런저 밸브의 구조를 보인 종단 단면도.FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the structure of a magnet plunger valve according to the present invention. FIG.
제3도는 본 발명에 의한 자석플런저 밸브의 자석의 구조를 보인 평면도.FIG. 3 is a plan view showing the structure of a magnet of the magnet plunger valve according to the present invention. FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
21 : 자석플런저 밸브 22 : 본체21: magnet plunger valve 22: main body
23 : 토출구 24 : 실린더부23: Discharge port 24:
25 : 유입구 25 : 밸브플레이트25: inlet 25: valve plate
27 : 플런저샤프트 28 : 자석플런저27: plunger shaft 28: magnet plunger
29 : 공간부 30 : 구동자석29: Space section 30: Drive magnet
31 : 스톱퍼 32 : 코일스프링31: stopper 32: coil spring
33 : 공급관 34 : 배출관33: supply pipe 34: discharge pipe
상기의 본 발명의 목적은 실린더부와 가스가 유입될 수 있는 유입구와 그 유입구를 통하여 유입된 가스가 토출될 수 있도록 토출구가 형성되어 있는 본체와; 상기 본체의 유입구를 개폐하는 밸브플레이트와, 상기 밸브플레이트와 일체로 결합되어 상기 실린더부내에서 실린더부의 길이 방향으로 왕복이동 가능하게 설치되는 자석으로 되는 자석플런저와; 상기 실린더부의 외주부에 독립적으로 설치되어 상기 실린더부에 설치되어 있는 자석플런저에 자력을 가하여 자석플런저를 제어하는 플런저제어수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 자석플런저 밸브에 의하여 달성된다.It is an object of the present invention to provide a fuel cell system having a cylinder and an inlet through which gas can be introduced and a main body having a discharge port for discharging gas introduced through the inlet; A magnet plunger integrally coupled to the valve plate and configured to be reciprocally movable in a longitudinal direction of the cylinder in the cylinder; And a plunger control means independently provided at an outer circumferential portion of the cylinder portion for controlling the magnet plunger by applying a magnetic force to the magnet plunger provided in the cylinder portion.
다음은, 본 발명에 의한 자석플런저 밸브의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.Next, an embodiment of a magnet plunger valve according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제2도는 본 발명에 의한 자석플런저 밸브의 구조를 보인 종단 단면도이고, 제3도는 본 발명에 의한 자석플런저 밸브의 자석의 구조를 보인 평면도이다.FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a structure of a magnet plunger valve according to the present invention, and FIG. 3 is a plan view showing the structure of a magnet of a magnet plunger valve according to the present invention.
상기 제2도에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 자석 플런저 밸브 (21)는 소정 형상의 본체(22)가 형성되어 있고, 그 본체(22)의 저부에는 가스가 토출 될 수 있는 토출구(23)가 형성되어 있으며, 그 토출구(23)가 형성된 상기 본체(22)가 상부에는 소정의 용적을 갖는 실린더부(24)가 형성되어 있고, 상기 실린더부(24)가 형성된 본체(22)의 일측에는 가스가 유입될 수 있는 유입구(25)가 형성되어 있다.As shown in FIG. 2, the magnet plunger valve 21 according to the present invention has a main body 22 of a predetermined shape, and a discharge port 23 And a cylinder portion 24 having a predetermined volume is formed at an upper portion of the main body 22 in which the discharge port 23 is formed. An inlet 25 through which gas can be introduced is formed.
또, 상기 실린더부(24)에는 상기 토출구(23)를 개폐할 수 있는 밸브플레이트(26)와 일체로 형성되어 상기 실린더부(24)에서 상하로 왕복 구동할 수 있는 플런저샤프트(27)와, 그 플런저샤프트(27)와 일체된 자석플런저(28)가 설치되어 있다.The cylinder portion 24 is provided with a plunger shaft 27 formed integrally with a valve plate 26 capable of opening and closing the discharge port 23 and capable of reciprocating up and down in the cylinder portion 24, And a magnet plunger 28 integrated with the plunger shaft 27 is provided.
그리고, 상기 실린더부(24)의 외주변에는 소정의 용적을 갖는 링상의 공간부(29)가 형성되어 있고, 그 공간부에는 링상의 구동자석(30)이 설치되어 있으며, 또 상기 공간부(29)에는 상기 구동자석(30)의 위치를 규제할 수 있는 스톱퍼(31)가 설치되어 있다.A ring-shaped space portion 29 having a predetermined volume is formed in the outer periphery of the cylinder portion 24. A ring-shaped driving magnet 30 is provided in the space portion, 29) is provided with a stopper (31) capable of restricting the position of the drive magnet (30).
상기 공간부(29)에는 상기 자석의 위치를 탄력적으로 변화시킬 수 있도록 탄성부재인 압축형 코일스프링(32)가 설치되어 있고, 그 공간부(29)의 일측에는 고압가스를 공급할 수 있는 고압가스 공급관(33)과, 그 공급관으로 공급된 고압가스를 배출할 수 있는 배출관(34)이 설치되어 있다.A compression coil spring 32, which is an elastic member, is provided in the space 29 so as to elastically change the position of the magnet. A high-pressure gas, which can supply a high-pressure gas to one side of the space 29, A supply pipe 33 and a discharge pipe 34 for discharging the high-pressure gas supplied to the supply pipe 33 are provided.
그리고 또, 상기 실린더부에 설치된 자석플런저와 상기 공간부에 설치된 링상의 자석은 상기 제3도에 도시된 바와 같이 작용하는 자력에 의하여 서로 움직일 수 있도록 상기 자석플런저의 N극은 상기 링상의 자석의 S극과 대응되고, 상기 자석플런저의 S극은 링상의 자석의 N극과 대응되게 설치되어 있다.The N pole of the magnet plunger is connected to the ring magnet on the ring portion so that the magnet plunger provided on the cylinder portion and the ring-shaped magnet provided on the space portion can move with each other by the magnetic force acting as shown in FIG. S pole of the magnet plunger, and the S pole of the magnet plunger corresponds to the N pole of the ring-shaped magnet.
도면상의 미설명 부호 35a, 35b, 35c는 밀폐도를 높이기 위한 오링이다.Reference numerals 35a, 35b, and 35c in the drawing denote O-rings for increasing the degree of sealing.
상기와 같이 구성된 자석플런저 밸브(21)는 먼저, 상기 공간부(29)에 설치된 고압가스 공급관(33)이 차단되고 상기 배출관(34)이 개방되게 되면, 상기 링상의 구동자석(30)은 탄성부재인 상기 압축형 코일스프링(32)의 탄성에 의하여 상기 스톱퍼(31)에 위치하게 되고, 그 스톱퍼(31)에 위치하는 상기 구동자석(30)의 자력에 의하여 상기 실린더부(24)에 설치된 자석플런저(28)도 그 구동자석(30)의 위치와 같은 위치의 실린더부(24)에 위치하게 되어 상기 자석플런저(28)와 일체로 형성된 플런저샤프트(27) 그리고 밸브플레이트(26)가 하방향으로 밀착되게 됨과 아울러 상기 토출구(23)를 밀폐하게 되어 상기 유입구(25)를 통하여 유입된 가스가 차단되게 된다.When the high pressure gas supply pipe 33 provided in the space 29 is cut off and the discharge pipe 34 is opened, the magnet plunger valve 21 configured as described above is first opened Is located on the stopper (31) by the elasticity of the compression coil spring (32) which is a member of the stopper (31), and is fixed to the cylinder portion (24) by the magnetic force of the drive magnet The magnet plunger 28 is also located in the cylinder portion 24 at the same position as the position of the drive magnet 30 so that the plunger shaft 27 integrally formed with the magnet plunger 28 and the valve plate 26 And the discharge port 23 is closed so that the gas introduced through the inlet 25 is blocked.
상기의 상태에서, 상기 공간부(29)에 설치된 배출관(34)을 차단하고 상기 고압가스 공급관(33)을 통하여 고압가스를 공급하게 되면, 그 공간부(29)에 설치된 상기 링상의 구동자석(30)이 상승하게 되고, 상기 구동자석(30)의 상승으로 구동자석(30)과 상기 실린더부(24)에 설치된 자석플런저(28)간의 인력(引力)에 의하여 자석플런저(28)가 상승하게 되어 그 자석플런저(28)와 일체로 형성된 플런저샤프트(27) 그리고 밸브플레이트(26)가 상승하게 됨과 아울러 상기 토출구(23)가 열리게 되어 상기 유입구(25)로 유입된 가스가 토출되게 되는 것이다.When the high pressure gas is supplied through the high pressure gas supply pipe 33 by shutting off the discharge pipe 34 provided in the space portion 29 in the above state, The magnetic plunger 28 rises by the attraction force between the drive magnet 30 and the magnet plunger 28 provided on the cylinder portion 24 by the rise of the drive magnet 30 The plunger shaft 27 formed integrally with the magnet plunger 28 and the valve plate 26 are lifted and the discharge port 23 is opened so that the gas introduced into the inlet 25 is discharged.
상기와 같이, 토출구를 개폐하는 밸브플레이트와 일체된 자석플런저를 밀폐된 실린더부에 설치하여 상기 공간부에 설치된 링상의 자석으로 제어함으로써, 밸브를 장기적으로 사용하게 되어도 손상되지 않아 그 밸브를 제어하는 고압가스의 누출을 방지하게 되고, 또 상기 유입구를 통하여 유입된 가스의 누출도 방지하게 되어 반도체 공정이상을 방지하게 됨과 아울러 안전도를 향상할 수 있게 되는 효과가 있다.As described above, since the magnet plunger integrated with the valve plate for opening and closing the discharge port is provided in the closed cylinder portion and controlled by the ring-shaped magnet provided in the space portion, the valve is not damaged even if the valve is used for a long period of time It is possible to prevent leakage of the high-pressure gas and to prevent leakage of the gas introduced through the inlet port, thereby preventing the semiconductor process abnormality and enhancing safety.
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Payment date: 20071025 Year of fee payment: 9 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |