KR100238310B1 - Surface emitting laser apparatus integrated with monitoring photodetector - Google Patents

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Abstract

모니터용 광검출기에서 수광된 광으로부터 표면광 레이저의 출력을 제어할 수 있도록 된 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치가 개시되어 있다.Disclosed is a monitor photodetector integrated surface light laser device capable of controlling the output of a surface light laser from light received by a monitor photodetector.

이 개시된 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치는 기판과 기판 상에 순차로 적층 형성된 하부 반사기층 활성층 및 상부 반사기층과 기판 하면과 상부 반사기층 상면 일부에 각각 형성된 제1 및 제2전극을 구비하여 제2전극을 통해 인가되는 구동전류에 의해 그 적층방향으로 광을 출사하는 표면광 레이저와, 상부 반사기층 상에 순차로 적층 형성된 제1불순물 반도체층 진성 반도체층 및 제2불순물 반도체층과 제2불순물 반도체층 상에 형성된 제3전극을 구비하여 입사광의 일부를 흡수하고 검출신호를 출력하는 모니터용 광검출기와, 제2전극과 제3전극 사이에 위치되어 제1전극에서 인가된 구동전류가 모니터용 광검출기로 흐르는 것을 차단하는 차단부와, 모니터용 광검출기에서 검출된 전기신호로부터 표면광 레이저의 출사광량을 제어하는 자동출력조절회로를 포함하는 것을 특징으로 한다.The disclosed photodetector integrated surface light laser device for a monitor includes a lower reflector layer active layer and an upper reflector layer and a first electrode and a second electrode formed on a portion of an upper surface of the substrate and an upper reflector layer sequentially stacked on the substrate and the substrate. A surface light laser that emits light in a stacking direction by a driving current applied through the second electrode, and a first impurity semiconductor layer, an intrinsic semiconductor layer, a second impurity semiconductor layer, and a second stacked sequentially on the upper reflector layer A monitor photodetector having a third electrode formed on the impurity semiconductor layer to absorb a part of incident light and outputting a detection signal, and a driving current applied between the second electrode and the third electrode and applied from the first electrode to monitor A blocking unit for blocking the flow of the photodetector and controlling the amount of emitted light of the surface light laser from the electrical signal detected by the monitor photodetector. It characterized in that it comprises a dynamic output control circuit.

Description

모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치Surface light laser device with integrated photodetector for monitor

본 발명은 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치에 관한 것으로, 상세하게는 모니터용 광검출기에서 수광된 광으로부터 표면광 레이저의 출력을 제어할 수 있도록 된 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface light laser device integrated with a photodetector for a monitor, and more particularly, to a surface light laser device with a photodetector integrated for a monitor capable of controlling the output of a surface light laser from light received by the monitor photodetector. will be.

일반적으로, 표면광 레이저(SEL:Surface Emitting Laser)는 소형 광출력장치로 각광받고 있다. 이 표면광 레이저는 반도체 물질층의 적층방향으로 광을 출사하므로, 단일 기판상에 복수개의 표면광 레이저를 집적할 수 있다. 또한, 상기 표면광 레이저의 빔 모양은 원형에 가깝고, 광도가 가우시안 분포를 나타내므로 출사광의 형상 보정을 위한 별도의 광학계가 불필요한 이점이 있다. 이와 같은 표면광 레이저의 출사광량은 일정하게 유지되어야 하며, 이를 위하여 모니터용 광검출기를 채용한다.In general, surface emitting lasers (SELs) are spotlighted as small light output devices. Since the surface light laser emits light in the stacking direction of the semiconductor material layer, it is possible to integrate a plurality of surface light lasers on a single substrate. In addition, since the beam shape of the surface light laser is close to a circular shape, and the luminous intensity exhibits a Gaussian distribution, an additional optical system for shape correction of the emitted light is unnecessary. The amount of emitted light of such a surface light laser should be kept constant, and a monitor photodetector is employed for this purpose.

도 1에는 모니터용 광검출기가 일체로 형성된 표면광 레이저장치가 개시되어 있다.1 illustrates a surface light laser device in which a monitor photodetector is integrally formed.

도면을 참조하면, 표면광 레이저장치는 적층 방향으로 광을 생성 출사하는 표면광 레이저(20)와, 상기 표면광 레이저(20) 상에 적층된 모니터용 광검출기(50)를 포함한다.Referring to the drawings, the surface light laser device includes a surface light laser 20 that generates and emits light in a stacking direction, and a photodetector for monitor 50 stacked on the surface light laser 20.

상기 표면광 레이저(20)는 기판(1)과, 이 기판(1) 상부에 형성되어 광을 발생시키는 활성층(23)과, 상기 활성층(23)의 상하면 각각에 반도체 화합물을 교대로 적층함으로써 형성되며 상기 활성층(23)에서 발생한 광을 공진시키는 하부 및 상부반사기층(22)(27)과, 상기 기판(1)의 하부와 이 표면광 레이저(20)의 상면 일부에 각각 형성된 제1 및 제2전극(10)(30)을 포함하여 구성된다. 그러므로 상기 제2전극(30)에 순방향 바이어스를 걸어주면, 활성층(23)에서 전자와 정공의 결합에 의해 광이 발생하게 된다. 이 발생된 광 중에서 상기 하부 및 상부반사기층(22)(27)의 공진 조건에 맞는 파장의 광만이 남아, 이 광이 상기 활성층(23)에서 파장과 위상이 같은 광을 유도 방출시킴으로써 광은 증폭된다. 이와 같이 유도 방출된 레이저광은 상기 하부 및 상부반사기층(22)(27)을 투과하여 상기 표면광 레이저(20)의 상하면으로 출사된다.The surface light laser 20 is formed by alternately stacking a substrate 1, an active layer 23 formed on the substrate 1 to generate light, and a semiconductor compound on top and bottom surfaces of the active layer 23, respectively. And first and second portions formed on the lower and upper reflector layers 22 and 27 for resonating the light generated by the active layer 23, and on the lower portion of the substrate 1 and a part of the upper surface of the surface light laser 20, respectively. 2 electrodes 10 and 30 are comprised. Therefore, when forward bias is applied to the second electrode 30, light is generated by the combination of electrons and holes in the active layer 23. Of the generated light, only light having a wavelength corresponding to the resonance conditions of the lower and upper reflector layers 22 and 27 remains, and the light is amplified by inducing emission of light having the same phase as the wavelength in the active layer 23. do. The laser light thus induced is transmitted through the lower and upper reflector layers 22 and 27 and emitted to the upper and lower surfaces of the surface light laser 20.

상기 모니터용 광검출기(50)는 상기 상부반사기층(27) 상에 순차로 적층 형성된 제1불순물 반도체층(51), 진성반도체층(57) 및 제2불순물 반도체층(58)과, 상기 모니터용 광검출기(50)의 검출신호를 출력하기 위하여 상기 제2불순물 반도체층(58)의 상면 일부에 형성된 제3전극(70)을 포함한다. 여기서 상기 제1 및 제2불순물 반도체층은 서로 다른 형을 갖는다. 또한, 상기 제1불순물 반도체층(51)은 반도체 적층 문제로 인해 상기 상부 반사기층(27)과 동일한 반도체 타입으로 이루어진다.The monitor photodetector 50 includes a first impurity semiconductor layer 51, an intrinsic semiconductor layer 57, and a second impurity semiconductor layer 58 sequentially stacked on the upper reflector layer 27, and the monitor. A third electrode 70 is formed on a portion of the upper surface of the second impurity semiconductor layer 58 to output the detection signal of the photodetector 50. Here, the first and second impurity semiconductor layers have different types. In addition, the first impurity semiconductor layer 51 is formed of the same semiconductor type as the upper reflector layer 27 due to a semiconductor stacking problem.

이 모니터용 광검출기(50)는 상기 표면광 레이저(20)의 상면으로 출사되는 광의 일부를 흡수하고, 검출된 신호를 상기 모니터용 광검출기(50)의 상면 일부에 형성된 제3전극(70)을 통해 출력한다. 그리고 상기 표면광 레이저(20)의 상면으로 출사되는 광은 모니터용 광검출기(50) 상면의 상기 제3전극(70)을 제외한 영역에 형성된 윈도우(29)를 통해 출사된다.The monitor photodetector 50 absorbs a portion of the light emitted to the upper surface of the surface light laser 20 and transmits the detected signal to a portion of the upper surface of the monitor photodetector 50. Output through Light emitted to the upper surface of the surface light laser 20 is emitted through a window 29 formed in an area except for the third electrode 70 on the upper surface of the monitor photodetector 50.

이와 같은 표면광 레이저장치에서 상기 모니터용 광검출기(50)의 검출신호는 표면광 레이저(20)의 출사광량에 비례한다. 그러므로, 표면광 레이저(20)의 출사광량을 안정되게 제어하기 위해서는 상기 모니터용 광검출기(50)의 검출신호로 표면광 레이저(20)에 인가되는 구동 전류를 조절해주어야 한다. 이를 위하여 자동출력조절회로가 채용된다.In such a surface light laser device, the detection signal of the monitor photodetector 50 is proportional to the amount of emitted light of the surface light laser 20. Therefore, in order to stably control the amount of emitted light of the surface light laser 20, the driving current applied to the surface light laser 20 must be adjusted by the detection signal of the monitor photodetector 50. For this purpose, an automatic output control circuit is employed.

그러나, 상기한 바와 같은 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치에서는 표면광 레이저(20)의 상부 반사기층(27)과 모니터용 광검출기(50)의 제1불순물 반도체층(51)이 동일 반도체 타입이기 때문에 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제2전극(30)을 통해 표면광 레이저(20)에 제2전극(30)을 통해 인가되는 구동 전류가 A에서 화살표 방향 즉, 모니터용 광검출기(50)쪽으로도 흐르게 된다. 따라서 모니터용 광검출기(50)로부터 표면광 레이저(20)의 출사 광량에 비례하는 검출신호가 출력되도록 하기 위해서는 자동출력조절회로를 구성함에 있어, 표면광 레이저(20)의 구동 전류가 모니터용 광검출기(50)로 인가되는 것을 방지하는 회로 구조가 필요하다.However, in the above-described surface-detecting laser integrated laser photodetector device, the upper reflector layer 27 of the surface light laser 20 and the first impurity semiconductor layer 51 of the monitor photodetector 50 are the same semiconductor type. Therefore, as shown in FIG. 2, the driving current applied to the surface light laser 20 through the second electrode 30 through the second electrode 30 is the arrow direction in A, that is, the monitor photodetector 50. It will also flow toward). Therefore, in order to output the detection signal proportional to the amount of light emitted from the surface light laser 20 from the monitor photodetector 50, in the automatic output control circuit, the driving current of the surface light laser 20 is determined by the light of the monitor. There is a need for a circuit structure to prevent application to the detector 50.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 모니터용 광검출기에서 표면광 레이저의 출사광량에 비례하는 검출신호가 출력되도록 하고, 이 출력신호에 의해 표면광 레이저에 인가되는 구동 전류를 조절할 수 있도록 된 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems described above, the monitor signal is output from the monitor to the detection signal proportional to the amount of light emitted from the surface light laser, the drive current applied to the surface light laser by this output signal It is an object of the present invention to provide a surface light laser device integrated with a photodetector for monitoring.

도 1은 모니터용 광검출기가 일체로 형성된 표면광 레이저장치의 일예를 개략적으로 보인 도면,1 is a view schematically showing an example of a surface light laser device in which a monitor photodetector is integrally formed;

도 2는 도 1의 등가회로를 개략적으로 보인 도면,2 is a schematic view of the equivalent circuit of FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치의 등가회로를 개략적으로 보인 도면,3 is a view schematically showing an equivalent circuit of the surface-detection laser integrated monitor photodetector device according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치의 등가회로를 개략적으로 보인 도면.Figure 4 is a schematic view showing an equivalent circuit of the surface-detecting laser integrated laser photodetector device according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1...기판 10,30...제1 및 제2전극1 ... substrate 10,30 ... first and second electrode

20...표면광 레이저 22...하부 반사기층20 ... surface light laser 22 ... lower reflector layer

23...상부 반사기층 27...하부 반사기층23 ... upper reflector layer 27 ... bottom reflector layer

50...모니터용 광검출기 51...제1불순물 반도체층50 ... photodetector for monitor 51 ... first impurity semiconductor layer

57...진성 반도체층 58...제2불순물 반도체층57 ... intrinsic semiconductor layer 58 ... second impurity semiconductor layer

70...제3전극 100...자동출력조절회로70 ... 3rd electrode 100 ... automatic output control circuit

110...차단부 120...차단저항110 ... breaking unit 120 ... breaking resistance

130...전류-전압 변환부 135...증폭부130 ... current-voltage converter 135 ... amplifier

220...차단전원220 ... breaking power

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판과, 상기 기판 상에 순차로 적층 형성된 하부 반사기층, 활성층 및 상부 반사기층과, 상기 기판 하면과 상부 반사기층 상면 일부에 각각 형성된 제1 및 제2전극을 구비하여, 상기 제2전극을 통해 인가되는 구동전류에 의해 그 적층방향으로 광을 출사하는 표면광 레이저와; 상기 상부 반사기층 상에 순차로 적층 형성된 제1불순물 반도체층, 진성 반도체층 및 제2불순물 반도체층과, 상기 제2불순물 반도체층 상에 형성된 제3전극을 구비하여, 입사광의 일부를 흡수하고 검출신호를 출력하는 모니터용 광검출기;를 포함하는 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치에 있어서, 상기 상부 반사기층과 제1불순물 반도체층은 동일한 반도체 타입을 가지며, 상기 제2전극과 제3전극 사이에 위치되어 상기 제1전극에서 인가된 구동전류가 상기 모니터용 광검출기로 흐르는 것을 차단하는 차단부와; 상기 모니터용 광검출기에서 검출된 전기신호로부터 상기 표면광 레이저의 출사광량을 제어하는 자동출력조절회로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate, a lower reflector layer, an active layer, and an upper reflector layer, which are sequentially stacked on the substrate, and first and second electrodes respectively formed on the lower surface of the substrate and a part of the upper reflector layer. And a surface light laser for emitting light in a stacking direction by a driving current applied through the second electrode; A first impurity semiconductor layer, an intrinsic semiconductor layer and a second impurity semiconductor layer sequentially stacked on the upper reflector layer, and a third electrode formed on the second impurity semiconductor layer to absorb and detect a portion of incident light A monitor photodetector integrated surface light laser device comprising: a monitor photodetector for outputting a signal, wherein the upper reflector layer and the first impurity semiconductor layer have the same semiconductor type, and between the second electrode and the third electrode. A blocking unit positioned at a block to block a driving current applied from the first electrode from flowing to the monitor photodetector; And an automatic output control circuit for controlling the amount of emitted light of the surface light laser from the electrical signal detected by the monitor photodetector.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치의 등가회로를 개략적으로 보인 회로도이다.FIG. 4 is a circuit diagram schematically showing an equivalent circuit of the monitor-based photodetector integrated surface light laser device according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치는 광을 생성 출사하는 표면광 레이저(20)와, 상기 표면광 레이저(20)의 출사광의 일부를 검출하는 모니터용 광검출기(50)와, 상기 표면광 레이저(20)의 구동 전류가 상김 모니터용 광검출기(50)에서 출력되는 것을 막아주는 차단부(110)와, 상기 표면광 레이저(20)의 출력을 안정시키기 위해 구동 전류를 조절하는 자동출력조절회로(100)를 포함하여 구성된다. 여기서, 상기 표면광 레이저(20)와 모니터용 광검출기(50)는 도 1을 참조하여 설명한 바와 동일하므로 그 자세한 설명을 생략한다.1 and 4, the surface light laser device integrated with a photodetector for a monitor according to the present invention detects a surface light laser 20 that generates and emits light, and a part of the emitted light of the surface light laser 20. A monitor photodetector 50, a blocking unit 110 which prevents the driving current of the surface light laser 20 from being output from the imaging monitor photodetector 50, and an output of the surface light laser 20. It is configured to include an automatic output control circuit 100 for adjusting the drive current to stabilize. Here, since the surface light laser 20 and the monitor photodetector 50 are the same as those described with reference to FIG. 1, detailed description thereof will be omitted.

상기 차단부(110)는 도시된 바와 같이 차단저항소자(120)인 것이 바람직하다. 상기 차단저항소자(120)는 상기 표면광 레이저(20)의 공통전극인 제1전극(10)과 상기 모니터용 광검출기(50)의 출력전극인 제3전극(70) 사이에 연결된다. 상기 차단저항소자(120)로는 상기 제2전극(30)을 통해 인가되어 상기 모니터용 광검출기(50)쪽으로 흐르는 구동전류가 상기 차단저항소자(120)에서 거의 소모될 수 있는 정도의 저항값 예컨대, R∞ 의 저항값을 갖는 저항소자를 구비하는 것이 바람직하다. 이 경우 상기 모니터용 광검출기(50)쪽으로 흐르는 구동 전류는 상기 차단저항소자(120)에서 모두 소모되어 상기 모니터용 광검출기(50)의 검출신호로 출력되지 않게 된다.The blocking unit 110 is preferably a blocking resistance element 120 as shown. The blocking resistance element 120 is connected between the first electrode 10, which is a common electrode of the surface light laser 20, and the third electrode 70, which is an output electrode of the monitor photodetector 50. The resistance value of the driving resistance applied to the blocking resistance element 120 through the second electrode 30 and flowing toward the monitor photodetector 50 is almost consumed by the blocking resistance element 120. , R ∞ It is preferable to provide a resistance element having a resistance value of. In this case, all of the driving current flowing toward the monitor photodetector 50 is consumed by the blocking resistor element 120 so that it is not output as a detection signal of the monitor photodetector 50.

상기 자동출력조절회로(100)는 상기 제3전극(70)으로부터 출력되는 상기 모니터용 광검출기(50)의 검출신호 즉, 전류신호를 전압신호로 변환시켜주는 전류-전압 변환부(130)와, 상기 전류-전압 변환부(130)에서 출력되는 전압신호를 소정의 증폭률로 증폭시켜주는 증폭부를 포함하며, 상기 모니터용 광검출기(50)에서 검출된 전기신호를 피드백하여 표면광 레이저(20)에 인가되는 구동 전류를 제어할 수 있도록 마련된다.The automatic output control circuit 100 and the current-voltage converter 130 for converting the detection signal, that is, the current signal of the monitor photodetector 50 output from the third electrode 70 and the voltage signal; And an amplifier for amplifying the voltage signal output from the current-voltage converter 130 at a predetermined amplification rate, and feeding back the electric signal detected by the monitor photodetector 50 to the surface light laser 20. It is provided to control the driving current applied to the.

상기 전류-전압 변환부(130)는 상기 2전극(30)과 제3전극(70) 사이에 병렬로 연결되어 상기 모니터용 광검출기(50)로부터 화살표 방향으로 출력되는 검출신호 즉, 전류신호를 전압으로 바꾸어주는 전류-전압 변환 저항( Rs )을 구비할 수 있다. 그리고 상기 증폭부(135)는 상기 전류-전압 변환부(130)의 양단 전압을 입력받아 소정의 증폭률로 증폭시켜 준다.The current-voltage converter 130 is connected in parallel between the second electrode 30 and the third electrode 70 to output a detection signal that is output from the monitor photodetector 50 in the arrow direction, that is, a current signal. Current-to-voltage conversion resistor that converts to voltage R s ) May be provided. The amplifier 135 receives the voltage across the current-voltage converter 130 and amplifies the amplifier at a predetermined amplification rate.

그러므로 모니터용 광검출기(50)의 검출신호는 상기한 전류-전압 변환부(130)에 의해 전압으로 변화되고, 상기 증폭부(135)에서 소정의 증폭률로 증폭되어 출력되고, 이 출력신호(137)를 피드백시켜 상기 표면광 레이저(20)의 구동 전류를 조절하면, 표면광 레이저(20)의 출력을 안정시킬 수 있다.Therefore, the detection signal of the monitor photodetector 50 is converted into a voltage by the current-voltage converter 130, amplified by a predetermined amplification factor by the amplifier 135, and outputted, and this output signal 137 ) To adjust the driving current of the surface light laser 20, thereby stabilizing the output of the surface light laser 20.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치의 등가회로를 개략적으로 보인 도면이다. 본 실시예의 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치는 도 4를 참조하여 설명한 바와 동일하며, 차단부(110)로 차단전원(220)을 구비한 점에 특징이 있다. 여기서, 도 4와 동일 참조부호는 동일 기능을 하므로 그 자세한 설명을 생략한다.FIG. 5 is a view schematically showing an equivalent circuit of the surface-detection laser integrated monitor device according to another embodiment of the present invention. The surface-detection laser integrated with the photodetector for monitor according to the present embodiment is the same as described with reference to FIG. 4, and is characterized in that the blocking unit 110 includes the blocking power source 220. Here, the same reference numerals as in FIG. 4 have the same function, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기 차단전원(220)은 상기 제3전극(70)을 통해 상기 모니터용 광검출기(50)로부터 상기 제2전극(30)쪽으로 역방향 바이어스를 인가시키도록 마련되는 것이 바람직하다. 이 경우 상기 제2전극(30)을 통해 모니터용 광검출기(50)쪽으로 흐르는 구동 전류는 예컨대, (A)에서 상쇄된다. 이 경우, 상기 모니터용 광검출기(50)에서 출력되는 전기신호에 영향을 주지 않게 되므로, 이 모니터용 광검출기(50)에서 상기 표면광 레이저(20)의 출사광량에 비례하는 검출신호가 출력된다.The cut-off power supply 220 is preferably provided to apply a reverse bias from the monitor photodetector 50 toward the second electrode 30 through the third electrode 70. In this case, the driving current flowing toward the monitor photodetector 50 through the second electrode 30 is canceled at (A), for example. In this case, since the electric signal output from the monitor photodetector 50 is not affected, a detection signal proportional to the amount of light emitted by the surface light laser 20 is output from the monitor photodetector 50. .

그러므로 상기한 본 발명의 일 실시예에서와 마찬가지로 모니터용 광검출기(50)의 검출신호 즉, 전류신호는 상기한 전류-전압 변환부(130)에서 전압 신호로 변환되고, 증폭부(135)에서 소정의 증폭률로 증폭되어 출력되며, 이 출력신호((137))를 피드백시켜 상기 표면광 레이저(20)의 제2전극(30)을 통해 입력되는 구동 전류를 조절하면, 표면광 레이저(20)의 출력을 안정시킬 수 있다.Therefore, as in the embodiment of the present invention described above, the detection signal of the monitor photodetector 50, that is, the current signal, is converted into the voltage signal by the current-voltage converter 130, and the amplifier 135 When the amplified output is amplified at a predetermined amplification rate, the output signal 137 is fed back to adjust the driving current input through the second electrode 30 of the surface light laser 20. Can stabilize the output.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 출력 안정화된 광출력장치는 표면광 레이저를 구동하기 위한 구동 전류가 모니터용 광검출기의 검출신호로 출력되는 것을 막아주는 차단부를 구비하므로 표면광 레이저의 출사광량에 비례하는 검출신호를 얻을 수 있고, 자동출력조절회로로 이를 피드백시켜 구동 전류를 조절하므로 표면광 레이저의 출력을 안정화시킬 수 있다.The output stabilized optical output device according to the present invention as described above has a blocking portion that prevents the driving current for driving the surface light laser from being output as a detection signal of the monitor photodetector, which is proportional to the output light amount of the surface light laser. The detection signal can be obtained, and the output of the surface light laser can be stabilized by feeding back to the automatic output control circuit to adjust the driving current.

Claims (4)

기판과, 상기 기판 상에 순차로 적층 형성된 하부 반사기층, 활성층 및 상부 반사기층과, 상기 기판 하면과 상부 반사기층 상면 일부에 각각 형성된 제1 및 제2전극을 구비하여, 상기 제2전극을 통해 인가되는 구동전류에 의해 그 적층방향으로 광을 출사하는 표면광 레이저와;A substrate, a lower reflector layer, an active layer, and an upper reflector layer sequentially stacked on the substrate, and first and second electrodes respectively formed on a lower surface of the substrate and a part of an upper surface of the upper reflector layer; A surface light laser for emitting light in the stacking direction by an applied driving current; 상기 상부 반사기층 상에 순차로 적층 형성된 제1불순물 반도체층, 진성 반도체층 및 제2불순물 반도체층과, 상기 제2불순물 반도체층 상에 형성된 제3전극을 구비하여, 입사광의 일부를 흡수하고 검출신호를 출력하는 모니터용 광검출기;를 포함하는 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치에 있어서,A first impurity semiconductor layer, an intrinsic semiconductor layer and a second impurity semiconductor layer sequentially stacked on the upper reflector layer, and a third electrode formed on the second impurity semiconductor layer to absorb and detect a portion of incident light A monitor photodetector-integrated surface light laser device comprising: a monitor photodetector for outputting a signal; 상기 상부 반사기층과 제1불순물 반도체층은 동일한 반도체 타입을 가지며,The upper reflector layer and the first impurity semiconductor layer have the same semiconductor type, 상기 제2전극과 제3전극 사이에 위치되어 상기 제1전극에서 인가된 구동전류가 상기 모니터용 광검출기로 흐르는 것을 차단하는 차단부와;A blocking unit disposed between the second electrode and the third electrode to block a driving current applied from the first electrode from flowing to the monitor photodetector; 상기 모니터용 광검출기에서 검출된 전기신호로부터 상기 표면광 레이저의 출사광량을 제어하는 자동출력조절회로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치.And an automatic output control circuit for controlling the output light amount of the surface light laser from the electrical signal detected by the monitor photodetector. 제1항에 있어서, 상기 차단부는 상기 제1전극과 상기 제3전극 사이에 위치되어, 상기 구동 전류가 상기 모니터용 광검출기의 검출신호로 출력되는 것을 막아주는 차단저항인 것을 특징으로 하는 출력 안정화된 광출력장치.The output stabilization of claim 1, wherein the blocking unit is a blocking resistor positioned between the first electrode and the third electrode to prevent the driving current from being output as a detection signal of the monitor photodetector. Light output device. 제1항에 있어서, 상기 차단부는 상기 모니터용 광검출기쪽으로 입력되는 구동 전류를 소거시키도록 상기 제3전극을 통해 상기 모니터용 광검출기로부터 제2전극쪽으로 역방향 바이어스가 인가되도록 하는 차단전원인 것을 특징으로 하는 출력 안정화된 광출력장치.The method of claim 1, wherein the blocking unit is a blocking power supply for applying a reverse bias from the monitor photodetector to the second electrode through the third electrode to cancel a driving current input to the monitor photodetector. Output stabilized optical output device. 제1항 내지 제3항 중 어느 한항에 있어서, 상기 자동출력조절회로는,The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the automatic output control circuit, 상기모니터용 광검출기에서 출력되는 전류 신호를 전압 신호로 바꾸어주는 전류-전압 변환부와;A current-voltage converter converting a current signal output from the monitor photodetector into a voltage signal; 상기 전류-전압 변환부에서 출력되는 전압 신호를 증폭시키는 증폭부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치.And an amplifier for amplifying the voltage signal output from the current-voltage converter.
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