KR100232587B1 - Exposure method using cooling water and apparatus thereof - Google Patents

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KR100232587B1 KR1019960015661A KR19960015661A KR100232587B1 KR 100232587 B1 KR100232587 B1 KR 100232587B1 KR 1019960015661 A KR1019960015661 A KR 1019960015661A KR 19960015661 A KR19960015661 A KR 19960015661A KR 100232587 B1 KR100232587 B1 KR 100232587B1
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/006Arrangements for eliminating unwanted temperature effects

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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 노광시 발광부에서 발광되는 광을 소정의 매질을 이용하여 굴절시켜 판넬에 대해 광효율을 증대시키도록 하는 냉매 이용 노광방법 및 그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a refrigerant exposure method and apparatus for refracting light emitted from a light emitting unit during exposure using a predetermined medium to increase light efficiency with respect to a panel.

이러한 장치는 발광부가 수납되고 그 발광부에서 발광되는 광을 냉각수의 굴절율과의 차이에 의해서 광을 굴절시켜 광효율을 증대시키도록 냉각수의 굴절율보다 큰 굴절율을 갖는 광효율 증대 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.Such a device is characterized in that it comprises an optical efficiency increasing means having a refractive index larger than that of the cooling water so that the light emitting part is received and the light emitted from the light emitting part is refracted by the difference between the refractive index of the cooling water and the optical efficiency is increased. .

상술한 구성에 의한 노광 방법은 노광시 판넬에 대해 광효율을 증대시키도록 발광부에서 발광하는 광을 냉각수의 굴절율보다 큰 소정의 굴절율을 갖는 실린더형 커버글라스에 의해 굴절시키면서 노광하는 것을 특징으로 한다.The exposure method according to the above-described configuration is characterized in that the light emitted from the light emitting portion is exposed while being refracted by a cylindrical cover glass having a predetermined refractive index larger than that of the cooling water so as to increase the light efficiency with respect to the panel during exposure.

이상과 같은 장치와 방법에 의해 발광부로부터 발광되는 광을 냉각수와 실린더형 커버글라스 두 매질간의 굴절율 차에 의해 굴절시켜서, 광효율을 증대시켜 판넬에 대해 균등한 조도를 유지시키게 되고, 결국 칼라음극선관의 판넬 전체에서 균일한 색상을 얻고, 아울러 색순도를 향상시킴으로써 고품질의 칼라 음극선관을 얻을수 있다.By the above-described apparatus and method, the light emitted from the light emitting portion is refracted by the refractive index difference between the cooling water and the cylindrical cover glass medium, thereby increasing the light efficiency to maintain uniform illuminance to the panel, and eventually, the color cathode ray tube It is possible to obtain high quality color cathode ray tube by obtaining uniform color throughout the panel and improving color purity.

Description

냉매 이용 노광 방법 및 그 장치Refrigerant exposure method and apparatus

제1도는 일반적인 칼라음극선관의 노광장치를 개략적인 구조로 나타낸 단면 구성도.1 is a cross-sectional configuration diagram showing a schematic structure of an exposure apparatus of a general color cathode ray tube.

제2(a)도는 종래 링 타입의 쉴드 플레이트가 삽입된 광원부의 사시도이고, 제2(b)도는 제2(a)도에 의한 광의 유효입사영역을 도시한 상태도이고, 제2(c)도는 종래 쉴드 플레이트가 덮인 광원부의 사시도이고, 제2(d)도는 제2(c)도에 의한 광의 유효입사영역을 도시한 상태도.FIG. 2 (a) is a perspective view of a light source unit into which a conventional ring-type shield plate is inserted, and FIG. 2 (b) is a state diagram showing an effective incident region of light according to FIG. 2 (a), and FIG. FIG. 2 is a perspective view of a light source unit covered with a shield plate, and FIG. 2 (d) is a state diagram showing an effective incident region of light according to FIG. 2 (c).

제3(a)도는 본 발명에 의한 광원부의 사시도이고, 제3(b)도는 제3(a)도에 의한 광의 유효입사영역을 도시한 상태도.Fig. 3 (a) is a perspective view of the light source unit according to the present invention, and Fig. 3 (b) is a state diagram showing an effective incident region of light according to Fig. 3 (a).

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

21 : 링 플레이트 23 : 쉴드 플레이트21: ring plate 23: shield plate

24 : 개구부 25 : 커버글라스24: opening 25: cover glass

27 : 냉각수 29 : 실린더형 커버글라스27: cooling water 29: cylindrical cover glass

31 : 광의 유효입사영역 35 : 광의 보상영역31: effective incident area of light 35: compensation area of light

d : 쉴드 플레이트 두께 t : 링 플레이트 두께d: shield plate thickness t: ring plate thickness

t1,t2: 커버글라스 두께 n1: 냉각수 굴절율t 1 , t 2 : Cover glass thickness n 1 : Coolant refractive index

n2: 실린더형 커버글라스의 굴절율n 2 : Refractive index of cylindrical cover glass

본 발명은 칼라 음극선관의 형광면 노광 방법 및 그 장치에 관한 것으로써, 특히 노광시 발광부에서 발광되는 광을 소정의 매질을 이용하여 굴절시켜 판넬에 대해 광효율을 증대시키도록 하는 냉매 이용 노광 방법 및 그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluorescent surface exposure method and apparatus therefor of a color cathode ray tube, and in particular, a light exposure method using a refrigerant to increase light efficiency with respect to a panel by refracting light emitted from a light emitting part using a predetermined medium during exposure. To the device.

제1도는 일반적인 칼라음극선관의 노광장치(10)의 개략적인 구성도로써, 노광장치(10)의 내부 저면에 광원부(18)가 설치되고, 그 상부에는 판넬(11)이 안치되는 판넬안치부(13)가 마련된다. 그리고, 광원부(18)와 판넬안치부(13) 사이의 노광장치(10) 내부에는 광원부(18)로 부터 입사되는 광을 보정하는 보정렌즈(15)와 필터(16)가 설치되며, 보정렌즈(15)의 상부에 광을 통과시키는 셔터(14)가 설치된다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an exposure apparatus 10 of a general color cathode ray tube, in which a light source unit 18 is installed on an inner bottom surface of an exposure apparatus 10, and a panel mounting unit in which a panel 11 is placed. (13) is provided. In addition, a correction lens 15 and a filter 16 are installed inside the exposure apparatus 10 between the light source unit 18 and the panel settlement unit 13 to correct light incident from the light source unit 18. The shutter 14 which passes light through the upper part of 15 is provided.

이상과 같이 구성된 노광장치(10)를 이용한 종래의 노광 방법은 우선, 노광장치(10)의 판넬안치부(13)에, 내면에 감광성 수지막이 도포되고, 그 내측면에 새도우마스크(12)가 설치된 판넬(11)을 안치시킨다. 그후, 제2도에 도시된 바와 같이, 냉각수(27)가 채워진 램프하우징(17)에 고정되고, (a)와 같이 링 플레이트(21)가 삽입된 발광부(19) 또는, (c)와 같이 중앙에 슬리트형의 일부 개구부가 형성된 쉴드 플레이트(23)가 상면에 덮인 발광부(19)를 작동시키면, 그 발광부(19) 광이 링 플레이트(21) 또는 쉴드 플레이트(23)의 슬리트형의 개구부(24)를 통해 광이 나오게되고, B-G-R 순으로 보정렌즈(15) 및 필터(16)에 의해 보정되면서 셔터(14)의 개구부(부호생략)와 새도우마스크(12)의 개공부를 통해 판넬(11) 내면에 도포건조된 감광성 수지막을 노광하며, 이후 일련의 공정을 거침에 따라 형광막을 형성하게 되는데, 이때 판넬(11) 중심에서 주변부에 이르기까지의 거리에 따른 광효율은 형광막의 크기를 결정짓는 중요한 요인이 되므로 판넬(11) 중심에서 주변부에 이르기까지의 광효율을 일정하게 유지시키기 위해, 중앙에 일정한 형태로 개공부가 형성되어진 필터(16)를 제작하여 사용하여 왔다.In the conventional exposure method using the exposure apparatus 10 configured as described above, first, a photosensitive resin film is coated on the inner surface of the panel mounting portion 13 of the exposure apparatus 10, and the shadow mask 12 is applied on the inner surface thereof. Place the installed panel (11). Thereafter, as shown in FIG. 2, the cooling unit 27 is fixed to the filled lamp housing 17, and as shown in (a), the light emitting unit 19 into which the ring plate 21 is inserted or (c) and When the shield plate 23 having a part of the slit type opening formed in the center is operated, the light emitting unit 19 covered with the upper surface is operated, so that the light of the light emitting unit 19 is the slit type of the ring plate 21 or the shield plate 23. The light is emitted through the opening 24 of the opening, and is corrected by the correcting lens 15 and the filter 16 in the order of BGR, and through the opening of the shutter 14 (not shown) and the opening of the shadow mask 12. The photosensitive resin film coated and dried on the inner surface of the panel 11 is exposed, and a fluorescent film is formed by a series of processes. The light efficiency according to the distance from the center of the panel 11 to the periphery is determined by the size of the fluorescent film. Decisions are an important factor, from the center of the panel (11) to the periphery. In order to keep the light efficiency constant, the filter 16 in which the opening part was formed in a fixed form in the center has been manufactured and used.

그러나, 제2도의 제2(b)도와 제2(c)도에 도시된 바와 같이 발광부(19)를 냉각시키기 위해 램프하우징(17) 내에 채워진 냉각수(27)의 굴절율(n1=1.34)에 의존한, 링 플레이트(21)와 쉴드 플레이트(23)에 의한 발광은, 그 링 플레이트 두께(t)가 쉴드 플레이트 두께(d) 보다 커서 광의 밀도가 떨어지고, 판넬(11) 중앙부보다 주변부로 갈수록 굴절 원주거리가 떨어져 광효율이 감소되고, 쉴드 플레이트(23)에 의한 발광 역시 그 두께(d)가 링 플레이트 두께(t) 보다 작아 밀도는 증가 되지만, 슬리트형의 중앙개구부(24)에 의해 발광부(19)의 직경 방향으로는 광효율이 좋고, 그 축방향으론 광효율이 떨어진다.However, as shown in FIG. 2 (b) and FIG. 2 (c) of FIG. 2, the refractive index (n 1 = 1.34) of the cooling water 27 filled in the lamp housing 17 to cool the light emitting portion 19. Depending on the light emission by the ring plate 21 and the shield plate 23, the ring plate thickness t is larger than the shield plate thickness d so that the light density decreases, and toward the periphery rather than the center of the panel 11. Although the refractive circumference distance is reduced, the light efficiency is reduced, and the light emission by the shield plate 23 also increases in density due to the thickness d being smaller than the ring plate thickness t, but the light emitting portion is formed by the slits-type central opening 24. Light efficiency is good in the radial direction of (19), and light efficiency is inferior in the axial direction.

즉, 판넬(11) 상의 거리 및 방향에 따라 그 광효율이 상이함에도 불구하고, 발광부(19)에 상술한 바와같은 소정 형태의 쉴드 플레이트가 설치된 상태에서 광입사량의 평균치 및 한 방향의 입사량만을 고려하여 입사되므로 판넬(11)에 대해 광효율이 균등하게 유지되지 못한다.That is, although the light efficiency is different depending on the distance and the direction on the panel 11, the average value of the light incident amount and the incident amount in one direction in the state where the shield plate of the predetermined form as described above is installed in the light emitting unit 19. Since the incident light is considered only, the light efficiency of the panel 11 may not be maintained evenly.

그로 인하여 칼라음극선관의 형광막이 불균일하게 형성되어, 색의 균일성을 저하시켰으며, 이러한 문제점은 특히 소형 판넬(11)에서는 별로 문제시되지는 않지만, 판넬(11)의 크기(대형 21인치 이상)가 커짐에 따라 새도우마스크(12)의 크기가 커지게되고, 그 크기가 작은 관종에 비해 점차 평면화(flat)되므로 인해 판넬주변부(P1, P2)로 갈수록 노광장치(10)의 발광부(19)에서 비춰지는 광의 효율이 그 판넬 중앙부와 균등하지가 않아 형광막이 불균일하게 형성되고, 칼라음극선관의 판넬(11) 전체에서 균일한 색상을 얻기 어려워지는 문제점이 도출되었다.As a result, the fluorescent film of the color cathode ray tube was unevenly formed, which lowered the uniformity of color. This problem is not particularly a problem in the small panel 11, but the size of the panel 11 (larger than 21 inches) As the size of the shadow mask 12 is increased, the size of the shadow mask 12 is gradually flattened (flat) compared to the small tube type, so that the light emitting portion of the exposure apparatus 10 toward the panel peripheral portions (P 1 , P 2 ) The efficiency of light emitted from 19) is not equal to the center of the panel, resulting in a non-uniform fluorescent film and difficulty in obtaining a uniform color throughout the panel 11 of the color cathode ray tube.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 이것은 특히 발광부(19)로 부터 발광되는 광을 냉각수와 다른 매질과의 굴절율 차이에 의해 판넬주변부로 갈수록 광효율이 감소되는 것을 방지하여 판넬 전체에 대해 광효율을 균등하게 유지시키고, 궁극적으로는 칼라음극선관의 형광막을 균일하게 형성시켜 색의 균일성을 향상시키고자 하는 냉매 이용 노광 방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and in particular, this prevents the light efficiency of the light emitted from the light emitting portion 19 to decrease around the panel due to the difference in refractive index between the coolant and other medium to reduce the light efficiency The present invention provides a method and apparatus for exposure using a refrigerant to maintain uniform light efficiency over the entire panel and ultimately form a fluorescent film of a color cathode ray tube to improve color uniformity.

상술한 목적을 수행하기 위한 본 발명은 냉각수가 채워진 램프하우징에 고정되고, 일부 개구부가 형성된 쉴드 플레이트를 갖춘 발광부에 의해 판넬의 형광면을 노광하는 노광장치에 있어서 : 발광부가 수납되고, 그 발광부에서 발광되는 광을 냉각수의 굴절율과의 차이에 의해서 광을 굴절시켜 광효율을 증대시키도록 냉각수의 굴절율보다 큰 굴절율을 갖는 광효율 증대 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention for carrying out the above-mentioned object is an exposure apparatus fixed to a lamp housing filled with cooling water and exposing a fluorescent surface of a panel by a light emitting portion having a shield plate with a portion of an opening formed therein, wherein the light emitting portion is housed and the light emitting portion is provided. It is characterized in that it comprises a light efficiency increasing means having a refractive index greater than the refractive index of the cooling water to refract the light emitted from the light by the difference with the refractive index of the cooling water to increase the light efficiency.

상술한 장치에 있어서, 광효율 증대 수단은 소정의 두께로 굴절율이 1.5362인 실린더형 커버글라스인 것을 특징으로 한다.In the above apparatus, the light efficiency increasing means is a cylindrical cover glass having a refractive index of 1.5362 at a predetermined thickness.

상술한 장치에 의한 노광방법은 노광시 판넬에 대해 광효율을 증대시키도록 발광부에서 발광하는 광을 냉각수의 굴절율보다 큰 소정의 굴절율을 갖는 실린더형 커버글라스에 의해 굴절시키면서 노광하는 것을 특징으로 한다.The exposure method using the apparatus described above is characterized in that the light emitted from the light emitting portion is exposed while refracting by a cylindrical cover glass having a predetermined refractive index larger than that of the cooling water so as to increase the light efficiency with respect to the panel during exposure.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 또, 실시예를 설명하기 위한 모든 도면에 있어서, 동일한 기능을 갖는 부분은 동일한 부호를 사용하고, 그 반복적인 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in all the drawings for demonstrating an Example, the part which has the same function uses the same code | symbol, and the repeated description is abbreviate | omitted.

제4도는 본 발명에 따른 광효율을 증대시키기 위해 발광부(19)에서 발광되는 광을 굴절시키기에 적합한 장치가 도시되어 있는바, 냉각수(27)에 의해 냉각되고, 슬리트형의 중앙개구부(24)가 형성된 쉴드 플레이트(23)를 갖춘 발광부(19), 그 발광부(19)를 수납하는 실린더형 커버글라스(29)로 구성된다.4 shows an apparatus suitable for refracting the light emitted from the light emitting portion 19 to increase the light efficiency according to the present invention, which is cooled by the coolant 27 and the slitting center opening 24. Is composed of a light emitting portion 19 having a shield plate 23 formed thereon, and a cylindrical cover glass 29 accommodating the light emitting portion 19.

이때 실린더형 커버글라스(29)는 소정의 두께(t2)와 냉각수(27)의 굴절율(n1=1.34) 보다 큰 굴절율(n2=1.5362)을 갖는다.At this time, the cylindrical cover glass 29 has a predetermined thickness t 2 and a refractive index larger than the refractive index n 1 = 1.34 of the cooling water 27 (n 2 = 1.5362).

이상과 같이 구성된 본 발명에 따른 노광장치(10)의 작동 및 효과를 제3(a)도와 제3(b)도에 의해 상세하게 설명하면 다음과 같다.The operation and effect of the exposure apparatus 10 according to the present invention configured as described above will be described in detail with reference to FIG. 3 (a) and FIG. 3 (b).

노광장치(10) 내부 저면에 설치되어 있는 램프하우징(17) 내의 발광부(19)를 작동시키면 그 발광부(19)로 부터 입사되는 빛이 필터(16) 및 보정렌즈(15)와 셔터(14)에 의해 보정되면서 통과하고, 새도우마스크(12)의 개공부를 통해 소정의 배열 구조로 판넬(11) 내면에 도포된 감광성수지막에 입사되게 됨으로써 형광막을 형성하게 된다.When the light emitting unit 19 in the lamp housing 17 installed on the inner bottom surface of the exposure apparatus 10 is operated, light incident from the light emitting unit 19 passes through the filter 16, the correction lens 15, and the shutter ( Passed while being corrected by 14), through the opening of the shadow mask 12 is incident to the photosensitive resin film applied to the inner surface of the panel 11 in a predetermined arrangement structure to form a fluorescent film.

즉, 판넬(11) 내면에 도포된 감광성수지막을 노광시킬 때, 그 노광장치(10)의 광원부(18)인 램프하우징(17) 내에 고정되고, 냉각수가 수납된 실린더형 커버글라스(29)에 삽입되고, 슬리트형의 중앙개구부(24)가 형성된 쉴드 플레이트(23)가 상면에 덮인 발광부(19)를 작동시키면, 그 발광부(19)에서 판넬(11) 내면에 입사되는 광이 쉴드 플레이트(23)의 중앙개구부(24)를 통해 입사되게 된다.That is, when exposing the photosensitive resin film coated on the inner surface of the panel 11, it is fixed in the lamp housing 17, which is the light source unit 18 of the exposure apparatus 10, to the cylindrical cover glass 29 in which the coolant is stored. When the shield plate 23 having the slot-shaped central opening 24 formed therein is operated and the light emitting portion 19 covered with the upper surface is operated, light incident on the inner surface of the panel 11 in the light emitting portion 19 is shielded. It enters through the center opening part 24 of (23).

이때, 발광부(19)로 부터 발광되는 광의 효율은 슬리트형의 중앙개구부(24)에 의해 발광부(19)의 직경방향으로는 광효율이 양호하고, 그 축방향으로는 광효율이 떨어진다. 그리하여 판넬 중심부와 그 주변부(P1, P2)의 광효율의 차이가 생겨 판넬(11) 전체적으로 입사되는 광의 광효율이 균등하지가 않게 된다.At this time, the efficiency of the light emitted from the light emitting portion 19 is good light efficiency in the radial direction of the light emitting portion 19 by the slit-type central opening 24, and the light efficiency is inferior in the axial direction. As a result, a difference in light efficiency between the center portion of the panel and the peripheral portions P 1 and P 2 occurs, so that the light efficiency of the light incident on the panel 11 as a whole is not equal.

그래서, 실린더형의 커버글라스(29)에 종래의 커버글라스(25)보다 더 두꺼운 소정의 두께(t2)를 주고, 냉각수(27)에 의한 굴절각보다 더 큰 굴절각을 주어서 광효율을 증대시키기 위해 냉각수(27)의 굴절율(n1=1.34) 보다 더 큰 굴절율(n2=1.5362)로 하여 노광을 실시하면, 그 광이 제1매질인 냉각수(27)를 통과하여 굴절율(n1) 1.34 만큼 굴절되면서 제2매질인 실린더형 커버글라스(29)에 입사되고, 그 실린더형 커버글라스(29)의 두께(t2)에 따라 발광부(19)의 겉보기 위치 변화 즉, 발광부(19) 부상 효과가 있으며, 그 굴절율(n2) 1.5362에 의해 냉각수 굴절율(n1)과의 차이가 생기고, 광속의 힘이 커져서 광효율이 증대한다.Thus, to give the cylindrical cover glass 29 a predetermined thickness t 2 thicker than the conventional cover glass 25, and to give the refractive angle larger than the refractive angle by the cooling water 27 to increase the light efficiency When exposure is performed with a refractive index (n 2 = 1.5362) larger than the refractive index (n 1 = 1.34) of (27), the light is refracted by the refractive index n1 1.34 through the cooling water 27 which is the first medium. Incident on the cylindrical cover glass 29, which is the second medium, and the apparent positional change of the light emitting part 19, that is, the floating effect of the light emitting part 19 is changed according to the thickness t 2 of the cylindrical cover glass 29. The refractive index (n 2 ) 1.5362 causes a difference from the cooling water refractive index (n 1 ), and the force of the light beam increases, resulting in an increase in light efficiency.

로 표시된다.Is displayed.

위 스넬의 법칙에 의하면, 입사광선·반사광선 및 법선은 동일 평면 위에 있다. 그리고 입사각(θ1)과 굴절각(θ2)의 sin의 비는 두 매질에서의 광속비와 같기 때문에, 굴절율이 클수록 그 매질에 빛이 들어올 때나 매질을 떠날 때 광속의 힘은 커지게 된다.According to Wisnell's law, incident light, reflected light, and normal are on the same plane. Since the ratio of sin between the incident angle θ 1 and the refraction angle θ 2 is the same as the ratio of the light beams in the two media, the larger the refractive index, the greater the force of the light beam when light enters or leaves the medium.

그러므로, 냉각수(27)의 굴절율(n1) 보다 더 큰 굴절율(n2)을 갖고, 종래 커버글라스(29) 두께(t1)보다 더 두꺼운 두께(t2)를 갖는 실린더형 커버글라스(29)를 매질로 적용하면, 그 두께(t2)에 따른 발광부(19)의 부상 효과와 더불어 냉각수(27)와 실린더형 커버글라스(29)의 굴절율(n1, n2) 차에 의해 광효율을 증대시킬 수가 있다.Therefore, the cylindrical cover glass 29 having a refractive index n 2 which is larger than the refractive index n 1 of the cooling water 27 and having a thickness t 2 that is thicker than the thickness t 1 of the conventional cover glass 29. ) Is applied as a medium, and the light efficiency is increased by the difference in refractive index (n 1 , n 2 ) between the coolant 27 and the cylindrical cover glass 29 together with the floating effect of the light emitting portion 19 according to the thickness t 2 . Can be increased.

이상과 같은 본 발명에 의한 냉매 이용 노광 방법은 노광시 판넬(11)에 대해 광효율을 증대시키도록 발광부(19)에서 발광하는 광을 냉각수(27)의 굴절율(n1) 보다 큰 소정의 굴절율(n2)을 갖는 실린더형 커버글라스(29)에 의해 굴절시키면서 판넬(11)에 대해 광효율을 균등하게 유지하면서 노광을 한다.In the exposure method using a coolant according to the present invention as described above, a predetermined refractive index larger than the refractive index n 1 of the cooling water 27 is emitted from the light emitting unit 19 so as to increase light efficiency with respect to the panel 11 during exposure. (n 2) while having the refraction by the cylindrical cover glass 29 and an exposure while uniformly maintaining the light efficiency for a panel (11).

상술한 냉각수(27)와 실린더형 커버글라스(29) 두 매질간의 굴절율(n1, n2)의 차이 즉, 냉각수(27)의 굴절율(n1=1.34) 보다 유리재질인 실린더형 커버글라스(29)의 굴절율(n2=1.5362)이 더 크기 때문에 광이 두 매질을 통과할 때 광속의 힘이 커지게 되므로 그만큼 더 굴절되어 광효율이 커지게 된다.The difference between the refractive indices (n 1 , n 2 ) between the two mediums of the cooling water 27 and the cylindrical cover glass 29, that is, the cylindrical cover glass which is made of glass than the refractive index (n 1 = 1.34) of the cooling water 27 ( Since the refractive index (n 2 = 1.5362) of 29) is larger, the power of the light beam becomes larger when light passes through the two media, so that the light is further refracted to increase the light efficiency.

상술한 바와 같이 냉각수의 굴절율보다 큰 굴절율을 갖는 매질을 사용함으로써, 그 굴절율 차이에 의해 광효율을 증대시킴으로써 판넬 전체에 대해 광을 균등하게 입사시킬 수가 있게 되고, 궁극적으로는 칼라음극선관의 판넬 전체에서 균일한 색상을 얻고, 아울러 색순도를 향상시킬 수가 있는 효과가 있다.As described above, by using a medium having a refractive index larger than that of the cooling water, the light efficiency can be increased by the difference in refractive index, so that light can be uniformly incident on the entire panel. There is an effect of obtaining a uniform color and improving color purity.

본 발명은 특정의 바람직한 실시예에 대해서 설명하였지만 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 이하 본 발명의 정신과 특허 청구 범위에 기재된 사항으로부터 이탈하지 않는 한도내에서 당업계의 통상의 지식을 가진 자라면 여러 가지 응용과 변형이 가능할 것이다.Although the present invention has been described with respect to certain preferred embodiments, the present invention is not limited thereto, and a person of ordinary skill in the art may have various forms without departing from the spirit and scope of the present invention. Applications and variations will be possible.

Claims (3)

냉각수(27)가 채워진 램프하우징(17)에 고정되고, 일부 개구부(24)가 형성된 쉴드 플레이트(23)를 갖춘 발광부(19)에 의해 판넬(11)의 형광면을 노광하는 노광장치(10)에 있어서 : 상기 발광부(19)가 수납되고, 그 발광부(19)에서 발광되는 광을 상기 냉각수(27)의 굴절율(n1)과의 차이에 의해서 광을 굴절시켜 광효율을 증대시키도록 상기 냉각수(27) 굴절율(n1) 보다 큰 굴절율(n2)을 갖는 광효율증대 수단(29)을 구비하는 것을 특징으로 하는 냉매 이용 노광 장치.An exposure apparatus 10 fixed to a lamp housing 17 filled with cooling water 27 and exposing a fluorescent surface of the panel 11 by a light emitting unit 19 having a shield plate 23 having a part of an opening 24. In the light emitting unit 19 is accommodated, the light emitted from the light emitting unit 19 is refracted by the difference between the refractive index (n 1 ) of the cooling water 27 to increase the light efficiency And a light efficiency increasing means (29) having a refractive index (n 2 ) greater than the cooling water (27) refractive index (n 1 ). 제1항에 있어서, 상기 광효율 증대 수단(29)은 소정의 두께(t2)로, 굴절율(n2)이 1.5362인 실린더형 커버글라스(29)인 것을 특징으로 하는 냉매 이용 노광장치.2. An apparatus according to claim 1, wherein said light efficiency increasing means (29) is a cylindrical cover glass (29) having a predetermined thickness (t 2 ) and a refractive index (n 2 ) of 1.5362. 냉각수(27)가 채워진 램프하우징(17)에 고정되고, 일부 개구부(24)가 형성된 쉴드 플레이트(23)를 갖춘 발광부(19)에 의해 판넬(11)의 형광면을 노광하는 노광 방법에 있어서 : 노광시 판넬(11)에 대해 광효율을 증대시키도록 상기 발광부(19)에서 발광하는 광을 냉각수의 굴절율(n1) 보다 큰 소정의 굴절율(n2)을 갖는 실린더형 커버글라스(29)에 의해 굴절시키면서 노광하는 것을 특징으로 하는 냉매 이용 노광 방법.In the exposure method in which the fluorescent surface of the panel 11 is exposed by a light emitting unit 19 having a shield plate 23 having a part of an opening 24 fixed to a lamp housing 17 filled with coolant 27. The light emitted from the light emitting unit 19 is applied to the cylindrical cover glass 29 having a predetermined refractive index n 2 larger than the refractive index n 1 of the cooling water so as to increase the light efficiency with respect to the panel 11 during exposure. The exposure method using a refrigerant | coolant characterized by exposing while refracting.
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