KR100227352B1 - 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더 - Google Patents

Abstract

디스크 드라이브에 유용한 3-패드 에어베어링식 슬라이더는 슬라이더의 선단에 있는 2 혹은 2이상의 경사부로부터 후단쪽으로 이어지는 2개의 외측 패드를 가지게 설계된다. 패드들은 스프링부하 만곡부(spring loaded flexure)나 부하보(load beam)에 의해 주어지는 힘과 반대방향으로 작용하는 원하는 상승력이 얻어지도록 형상화되고 각(角)이 진다. 3개의 패드를 형상짓는 각은 예를 들어 다이아몬드 원형 절단날을 사용한 기계적인 절단법이나 이온밀링 혹은 리액티브 이온 에칭(reactive ion etching)에 의해 형성된다.

Description

3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더

제1도는 본 발명에 따른 3-패드 마이크로 슬라이더의 평면 단면도.

제2(a)도, 제2(b)도 및 제3도는 본 발명의 신규한 슬라이더가 마이크로 슬라이더 및 나노슬라이더(nano-slider)로 사용되는 바람직한 실시예.

제4도 내지 제12도는 본 발명에 따른 에어베어링 슬라이더의 다른 실시예들을 나타낸 평면 단면도들인데,

제7도는 마이크로 슬라이더를 나타낸다.

제13도는 슬라이더의 3-패드 에어베어링 표면을 결정짓는 각 퇴거부(anglar recess)들의 형상을 나타낸 설명도.

제14도는 접촉식 기록에 유용한 3-패드 슬라이더의 다른 실시예의 평면도.

제15도는 제14도에서 나타낸 슬라이더의 에어베어링 표면의 다른 형태에 대한 평면도.

제16도는 제15도의 슬라이더에 대한 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

22,24,28,30,38,48,50,66,68,76,78,86,88,112,114,166,168,132,134 : 경사부(외측)

90,116 : 경사부(중앙)

10,32,42,52,70,80,92,102,118,170,136 : 제1패드(외측패드)

12,34,44,54,72,82,94,104,120,172,138 : 제2패드(외측패드)

14,36,46,64,74,84,110,96,112,174,140 : 제3패드(중앙패드)

16,18,20,98,100 : 퇴거(recess)부 26 : 자극팁(poletip)

142,144 : 노치(notch)부 56,58 : 제1각 내측면

60,62 : 제2각 내측면

본 발명은 자기헤드 슬라이더에 관한 것으로서, 특히 하드디스크 드라이브에 유용한 헤드 슬라이더를 만드는 방법과 수단에 관한 것이다.

자기헤드 에어베어링 슬라이더들은 전형적으로 슬라이더의 선단(leading edge)으로부터 후단(trailing edge)에 이르는 세로레일(패드와 경사부를 합친 명칭임)들로 형성된다. 선단은 디스크의 회전데이타 트랙(data track)이 슬라이더의 길이 후단쪽을 향하여 가로지르며 우선적으로 통과하여지는 슬라이더의 첫 가장자리를 말한다. 디스크 드라이브의 작동 중에는, 디스크가 회전함에 따라 슬라이더가 뜨도록 상승력(lift force)을 제공하는 유동이 슬라이더의 에어베어링 표면에 형성된다.

에어베어링 헤드 슬라이더의 설계에 있어서 주목적은 디스크의 표면에 가능한 한 가깝게 슬라이더와 그 트랜스듀서(transducer)를 뜨게 하여, 일정한 근접간격(close spacing)과 일정한 상승높이(flying height)를 유지시키는 것이다. 디스크표면 위에 박막헤드(thin film head)와 대단히 얇은 자기막을 제공한 그러한 대단히 좁은 변환간극(transducing gap)을 사용할 때, 근접간격(close spacing)은 짧은 파장신호를 기록할 수 있게 하여 고밀도 기록이 가능하게 되므로써 저장능력을 향상시킨다. 헤드와 디스크 사이의 간격을 일정하게 하므로써, 기록되고 판독되는 신호의 진폭이 거의 변하지 않아, 신호 해상도가 향상되고 더욱 신뢰성있는 데이터 처리를 할 수 있다.

현재 헤드슬라이더 조립제는 세라믹 웨이퍼 위에 다수의 박막 트랜스듀서를 융착시켜, 그 웨이퍼를 평바(row bar)가 되게 절단하여 그 평바를 가공하여 선단에 경사부가 있는 세로레일(longitudinal rail)을 가진 에어베어링 슬라이더를 만든다.

TPC(transverse pressure contour)슬라이더의 경우에는, 레일과 인접부위들은 리액티브 이온에칭(reactive ion etching), 이온밀링(ion milling), 방전가공(electrostatic discharge machining), 또는 초음파가공(ultrasonic machining)과 같은 에칭기술로 만들어진다. 이들 가공법들은 시간과 비용이 많이 든다. 퇴거부(recess region)의 에칭된 깊이는 일정한 상승높이를 얻는데 중요하게 작용한다.

본 발명의 목적은 공지의 슬라이더보다 실제적으로 크기가 작고 질량과 무게가 종래의 공지된 슬라이더에 비해 현저하게 작은 자기헤드 슬라이더를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 일정한 상승높이를 실현하는 에어베어링 헤드 슬라이더를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 디스크 표면 위에서 낮은 이륙속도를 가지고, 상당히 부드러운 착륙을 하는 에어베어링 슬라이더를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상당히 낮은 정지마찰계수를 가지는 에어베어링 슬라이더를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 슬라이더의 상승특성을 최적화하기 위해 다수의 패드/경사부 형태들을 만드는 슬라이더 설계수단을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상당한 시간과 비용의 절감을 가져오는 에어베어링 슬라이더를 제작하는 개선된 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 한가지 다른 목적은 시작과 정지 접촉동작에 대한 내구성을 가진 에어베어링 슬라이더를 제공하는 것이다.

본 발명에 따라 에어베어링 슬라이더는 3개의 패드와 인접 퇴거부들을 가진다. 두 개의 외측패드는 슬라이더의 양 측면에 위치하고, 경사부들은 그 선단과 두 개의 외측패드 사이에 위치한다. 제3의 중앙패드는 대체적으로 슬라이더의 중앙 세로축을 따라 후단으로부터 뻗어있다. 박막 트랜스듀서의 변환간극을 결정하는 자극팁(pole tip)은 슬라이더의 후단에 융착되어 있어 3패드에서 에어베어링면과 일치한다. 패드상에서 조화를 이루도록 날카로운 단과 모서리는 제거한다.

본 발명의 한 실시 예에서 퇴거부들은 거의 갱(ganged)타입의 다아이몬드 원형톱날을 사용한 기계톱으로 절단된다.

제작 중에는 다수의 슬라이더 부품제조용 평바(row bar)들은 지그재그로 정렬시켜 고정한 다음, 톱날기구를 사용하여 소정의 각도로 평바(row bar)들을 가로질러 절단한다. 선단으로부터 외측패드에 이르는 경사부들의 상승각은 래핑판으로 다듬질 가공하여 형성된다. 이 방법으로 제작되는 각 슬라이더는 에어베어링 슬라이더 표면과 동일한 형태를 갖는다. 패드를 형상화하는데는 다른 방법도 사용되는데 마스킹 및 일련의 이온밀링, 리액티브 이온에칭(reactive ion etchin), 방전가공(electrostatic discharge machining) 혹은 초음파가공(ultrasonic machining)과 같은 방법도 사용된다.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 3개의 패드를 형상화하기 위해 슬라이더의 후단으로부터 전단에 이르는 2개의 각(角) 절단(CUT1, CUT2)과 한 개의 횡절단(CUT3)이 행해지므로써, 모든 평바에 있어서 경사부와 퇴거부는 동시에 가공되어 진다. 상승력을 변화시키거나, 로터리 헤드 액츄에이터(rotary head actuator)를 사용하는 디스크 드라이브에서 생길 수 있는 비뚤어짐에 대한 민감성을 줄이기 위해서 3개의 패드의 각부(角部)들을 변형한 여러 형상들이 만들어질 수 있다.

본 발명의 특정한 실시예에서, 슬라이더의 두 개의 외측패드는 각(角)진 내측면들 또는 내측면들 중에서 각(角)진 부분들로 형상화되어, 2개의 외측패드의 가장 넓은 부분이 경사부들과 인접하여 있다. 그러한 실시예에서, 제3의 중앙패드는 2개의각진 측면으로 형성되어 있는데, 각각의 면은 2개의 외측패드의 각진 내측면 또는 각진 내측면부에 각각 평행하다.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 서로 마주하는 2개의 외측패드는 경사부에 인접한 곳에서 갖아 넓고, 슬라이더의 후단쪽이 가장 좁다. 제3의 중앙패드는 사다리꼴형 또는 삼각형을 형성하는 각(角)진 측면을 가진다. 한 실시예에서, 패드들과 경사부들은 전체적으로 사각형이고 외측패드들은 슬라이더의 선단으로부터 후단의 도중까지만 이어진다.

이하, 본 발명을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

이해를 돕기 위해, 표준 슬라이더의 전체크기는 길이가 약 0.160인치, 폭이 약 0.125인치, 높이가 약 0.0345인치인 것으로 한정하고, 마이크로 슬라이더는 표준 슬라이더 치수의 약 70인 크기를 가진 것(즉, 길이 약 0.112인치, 폭 약 0.088인치, 높이 약0.024인치)으로 한정하며, 나노슬라이더(nanoslider)는 표준 슬라이더 치수의 약 50인 크기를 가진 것(즉, 길이 약 0.080인치, 폭 약 0.063인치, 높이 약 0.017인치)으로 한정한다.

제1도를 참조하여, 에어베어링 마이크로 슬라이더는 마이크로 슬라이더의 에어베어링면에 대해 양(+)의 에어베어링 영역이 되는 3개의 패드(10,12,14)로 형성된다.

마이크로 슬라이더의 퇴거부(recess region)들은 각(角)절단(퇴거부 16, 18을 형성)과 슬라이더의 중앙부를 가로지르는 횡절단(퇴거부 20을 형성)을 함으로써 형성된다. 다이아몬드 원형 톱날을 사용한 기계톱 장치로 세 번의 절단작업을 함으로써 3개의 패드(10,12,14)형상이 결정된다. 경사부들(22,24)은 슬라이더의 선단에 위치한다. 특정한 실시예에서 퇴거부들(16,18)은 각각 슬라이더의 세로축(longitudinal axis)에 대해 약10°의 각으로 형성된다. 제작 중에, 평바(row bar)로 된 모든 슬라이더의 3개의 패드면은 동일한 평활도를 얻기 위해 같은 래핑판으로 다듬질 가공된다. 경사부들(22,24)은 경사부 길이가 약 0.011인치이면 선단으로부터 패드들(10,12)로 향하여 약 50분(50///'의 상승각을 이루는 것이 바람직하다. 퇴거부를 형성하기 위한 절단의 깊이는 약 24밀리 인치(milli-inches)이다. 박막 트랜스듀서의 자극팁(pole tip)(26)은 도시한 바와 같이 후단(trailing edge)의 중심에 위치하지만, 비뚤어짐을 조정하고 일정한 상승높이(flying height)를 실현하기 위해 편심될 수 있다. 제1도에서 도시한 슬라이더의 실제 실시예에서, 슬라이더는 100,000사이클의 시작-정지 접촉동작이 완벽하였으며, 이 슬라이더의 정지마찰계수는 전형적인 선행기술인 쌍레일 경사형 플랫(twin rail taper flat)또는 TPC(transverse pressure contour)슬라이더의 정지마찰계수보다 상당히 낮게 나타났다.

제2(a)도 및 제2(b)도는 제1도의 슬라이더를 개정한 또 다른 실시예들을 나타낸다. 그 개정 슬라이더들은 70마이크로 슬라이더(microslider) 및 나노슬라이더(nanoslider)의 치수특성을 가진 것을 나타낸다. 이 실시예에서, 횡절단3(CUT3)은 슬라이더의 수평중심축에 대해 중심이 일치하지는 않지만, 절단부의 한쪽 가장자리선이 슬라이더의 수평중심축과 가깝고, 절단부의 다른쪽 가장자리선은 슬라이더의 후단에 가깝다. 경사부들(28,30)의 내측면은 제1도에서 설명한 경사부들(22,24)의 측면각과 반대방향으로 각져있어, 이 내측경사면은 외측패드들(32,34)의 각진 내측면과 둔각을 형성한다. 외측패드들(32,34)은 슬라이더의 수평중심축방향으로 신장되어 있고, 중앙패드(36)는 사다리꼴 형상이며 그 크기는 제1도의 슬라이더의 중앙패드(14)보다 작다.

제2(a)도 및 제2(b)도는 슬라이더의 절단축(CUT1, CUT2)과 평행한 내측면부와 슬라이더의 후단쪽으로 패드가 좁아지면서 각(角)진 인접 내측면부를 가진 외측패드들(32,34)이 있는 에어베어링 슬라이더들의 실시예를 나타낸다. 제2(b)도에서는, 디스크드라이브의 작동중에 슬라이더에 작용되는 상승력(lift force)을 수정하기 위해서 후단에 있는 사다리꼴형의 제3패드(36)가 좁아진 것이다.

제3도에서는, 경사부들 (38,40)의 선형 내측면과 패드들(42,44)의 선형 내측면을 형상화하기 위해, 사디리꼴형의 중앙패드(46)의 각(角)진 측면과 패드들(42,44)의 좁아지는 각(角)진 부분을 형성하기 위한 각(角) 절단외에 2번의 세로절단이 행해진다. 제3도의 슬라이더의 특정한 실시예에서는, 중앙패드(46)의 각진 측면은 실질적으로 일직선이고, 크기가 표준슬라이더 치수의 약 70인 마이크로 슬라이더는 로터리 액츄에이터(rotary actuator)를 사용하는 표준 3.5인치 디스크 드라이브에서 부양(浮揚)되도록 제작되었다. 달성된 상승높이는 약 5400rpm의 속도로 회전하는 디스크의 내경부터 외경에 걸쳐 약 4.5±1마이크로 인치(micro inch)였다.

제3도에서, 경사부들(38,40)은 사각형인 반면, 제4도의 슬라이더에서는 경사부들(48,50)이 슬라이더의 선단의 중앙을 향하여 각진 내측면을 가진다. 경사부들(48,50)의 각진 내측면은 외측 패드들(52,54)의 제1각 내측면부(56,58)의 일직선으로 이어진다. 외측패드들(52,54)은 제1각 내측면부(56,58)의 후방 근처에서 제2각 내측면부(60,62)로 형성된다. 제2각 내측면부(60,62)는 제1각 내측면부(56,58)보다 폭이 좁아지며 슬라이더의 선단과 후단사이 중심 가까운 곳까지 이른다. 제2각 내측면부(60,62)는 제1각 내측면부(56,58)의 절단과는 달리 제작중에 부가적으로 분리절단을 필요로 한다. 중앙패드(64)는 사다리꼴을 형성하며 이 형상의 각진 측면들은 경사부들(48,50)의 각진 내측면과 외측패드들(52,54)의 제1각 내측면부(56,58)를 형성하기 위한 상기의 절단에 의해 결정된다.

제5도에서, 제4도의 제2각 내측면부(60,620를 형성하기 위한 절삭이 배제되므로써 경사부들(66,68)의 내측면각과 외측패드들(70,72) 및 중앙패드(74)의 측면각이 동일하게 되어있다. 한 실시예에서, 절단은 슬라이더의 세로축에 대해 약 8°의 각으로 이루어진다. 후단으로부터 선단으로 이르는 단지 각이 다른 2번의 절단을 행함으로써 슬라이더의 중앙에 남아있는 D부분은 슬라이더에 부가적 상승력을 제공하게 된다. 경우에 따라서는, 상기 D부분은 일부 또는 전체를 레이저 제거법으로 제거하므로써 상승력을 원하는 크기로 조절할 수 있다.

제6도는 실질적으로 사각형의 경사부들(76,78), 외측패드들(80,82) 및 중앙패드(84)를 가지는 3-패드 슬라이더를 나타낸다. 특정한 실시예에서 상기 슬라이더는 3.5인치 디스크 드라이브 내에서 5400rpm의 속도로 회전하는 디스크에 대해 약 3마이크로인치가 뜨도록 만들어진 것이다. 경사부들(76,78)은 약 50분(50')의 상승각에 길이 약 0.011인치로 래핑 된다. 경사부들(76,78)에 인접한 2개의 패드(80,82)는 대략 넓이 0.015인치, 길이 0.015인치로 만들어진다. 퇴거부를 형성하기 위한 절삭은 약 26밀리 인치(milli-inch)의 깊이로 행해진다.

제7도의 실시예에서는, 단 2번의 각 절단만으로, 3개의 경사부(86,88,90)와, 슬라이더의 후단으로부터 3개의 경사부(86,88,90)의 각각에 이르는 3개의 연장된 패드(92,94.96)가 형성된다. 절삭 홈의 각도는 슬라이더의 중심 축에 대해 약 10°이다. 3개의 패드와 3개의 경사부사이의 부분을 형성하기 위해서는 단 2번의 절단이 필요하다. 이 실시예에 의한 에어베어링 슬라이더의 작동시에, 유입공기흐름은 퇴거부들(98,100)를 통하여 분기되어 슬라이더의 후단에 있는 변환간극(transducing gap)으로부터 동시에 유출된다.

제8도는 제7도에서 중앙경사부가 없는 변형된 슬라이더를 나타낸다.

경사부들(86,88)과 외측패드들(92,94)은 실제적으로 동일하다. 그러나 절단폭이 증가됨에 따라 중앙경사부는 점차 제거되고, 상기 중앙패드(110)는 길이와 면적이 축소되어 협소한 삼각형 형상을 이룬다.

제9도는 제7도에서 나타낸 슬라이더의 또 다른 실시예인데, 각 절단에 의해 제작된 중앙패드(96) 및 중앙경사부(90)와 더불어, 슬라이더의 중앙을 향해서 세로방향으로 톱날을 움직여서 외측패드들(102,104)을 절단하여 각(角)진 내측면을 가진 패드들(102,104) 및 경사부들(86,88)을 형성한 것이다.

제10도는 제9도의 외측패드들(102,104)과 제8도의 삼각형 형상으로 된 중앙패드(110)를 조합한 형태이다.

제11도는 실제적으로 사가형인 3개의 경사부(112,114,116)를 포함하는 종래의 슬라이더를 나타낸다. 중앙경사부(116)는 대단히 좁고, 슬라이더의 중앙경사부(116)로부터 후단에 이르면서 넓어지는 원추형의 중앙패드(122)와 인접해 있다. 외측패드들(118,120)은 경사부들(112,114)에 각각 인접한 각(角)진 내측면부들(124,126)을 가지고 있다. 사각부(128,130)는 외측패드들(118,120)의 후방 근처에 형성되는데, 슬라이더의 측면을 따라 슬라이더 길이의 중앙을 넘는 부분까지 뻗어있다.

제12도는 제11도의 중앙경사부가 제거된 또 다른 슬라이더를 도시한 것이다. 상기 슬라이더는 제11도와 유사한 사각 경사부들(112,114) 및 외측패드들(118,120)을 가진다. 그러나 중앙패드(122)는 외측패드들(118,120)에 인접한 경사부들(112,114)선단 사이의 중도상에 꼭지점을 가진 삼각형을 이룬다.

제13도는 바람직한 슬라이더 에어베어링 표면을 제공하는 패드의 형상을 결정하는 절삭 및 퇴거부를 형성하기 위해 사용된 새로운 기술을 도해한 것이다.

퇴거부의 바람직한 각을 구비하기 위해서 등간격으로 박막 트랜스듀서가 융착된 평바(row bar)들이 지그재그로 고정구위에 고정된다. 갱 타입 다이아몬드 톱장치가 다수의 지그재그로 고정된 평바들을 가로질러 계획된 각으로 절단할 때 퇴거부들이 실제적으로 각 슬라이더의 같은 지점에 같은 각으로 만들어지도록 하기 위해, 평바의 수평간격(L)과 수직간격(H)을 확정한다. 절단통로 1과 2(cutting path 1,2)는 대응각의 퇴거부를 제공하는 반면에, 절단통은 3은 슬라이더의 에어베어링면을 가로지르는 횡절단을 하기 위한 것이다. 회측패드가 슬라이더의 후단에까지 이어져 있지 않은 실시예에서는, 특정한 간격의 세로절단이 실질적으로 슬라이더의 세로축에 대해 직각으로 이루어진다. 상기 경사부들은 통상의 래핑프레이트를 사용하여 평바(row bar)를 다듬질 가공하므로써 별도로 형성된다.

제14도는 3-패드 슬라이더의 다른 실시예를 나타낸다. 3-패드 나노 슬라이더(tripad nanoslider)는 선단쪽에, 바람직하게는 40분(40')의 경사각과 길이 약 0.008인치의 형상을 갖는 사각형의 경사부들 (166,168)로 설계된 것이다. 2개의 사각형패드들(170,172)은 경사부들(166,168)에 각각 이어지는데, 이것은 길이 0.080인치 슬라이더의 선단으로부터 약 0.058인치 만큼 뻗어있다. 사각형의 경사부들(166,168)과 외측패드들(170,172)의 폭은 약 0.009인치이다. 제3중앙패드(174)는 슬라이더의 후단 중심에 위치하고 있으며 사디리꼴형이다. 중앙패드9174)의 후단에서의 폭은 약 0.013인치이고 이 중앙패드(174)의 길이는 약 0.007인치이다. 패드들의 모서리와 가장자리는 둥글게 되어있다. 패드들 사이의 퇴거부는 깊이가 최소한 0.002인치이다. 서스펜션(suspension)에 헤드 슬라이더를 조립할 때, 슬라이더는 만곡부(flexure)에 접합되어 기울어지고 흔들거리게 된다. 접합점(bonding point)은 슬라이더의 중앙 세로축에 가깝고 슬라이더의 선단으로부터 0.058인치보다 작은 것이 바람직하다. 흔들거림을 최소화하기 위해, 결합된 디스크의 외경(O.D)쪽으로 변위를 갖는, 중앙세로축으로부터의 편심(offset)이 수용된다. 슬라이더가 디스크의 내경(I.D)으로부터 외경(O.D)으로 움직일 때, 외측 디스크트랙의 더 빠른 회전속도에 기인하여 상승높이가 증가하려는 경향이 있다. 전형적으로 디스크 드라이브의 작동 중에는, 후단에서 트랜스듀서의 상승높이가 감소됨에 기인하여 슬라이더의 기울어짐은 증가하여, 그 결과 실질적으로 디스크의 전 표면에 걸쳐 일정한 높이로 상승하게 된다. 상승높이는 디스크와 가접촉 혹은 접촉상태가 되도록 충분히 낮출 수 있다. 제14도의 실시예는 마모를 최소화하므로써, 그 결과 시작과 정지 접촉, 접촉과 가접촉 기록에 대한 헤드/디스크의 접촉면 결함을 개선시켜 준다.

제15도와 제16도는 슬라이더 선단의 경사부들(132,134)과 슬라이더의 후단쪽으로 일부 연장되는 양쪽레일 즉, 패드들(136,138)로 형성된 3-패드 슬라이더의 다른 실시예를 나타낸다. 사다리꼴형의 제3패드(140)는 후단에서 슬라이더의 세로축과 실제적으로 중심이 일치되게 형성된다. 이 실시예에서, 슬라이더에는 슬라이더의 후단과 측면이 만나는 모서리에 노치(notch)부들(142,144)이 형성되어 있다. 노치(notch)부들(142,144)은 슬라이더의 전체무게를 감소시켜서 상승위치로 슬라이더의 이륙을 쉽게 한다. 또한 노치(notch)부들은 헤드 배선 조립체(head wiring assembly), 디스크 간격유지용 라이너(disk spacer), 또는 디스크 모터 허브(disk motor hub)와 슬라이더가 간섭할 가능성을 최소화한다. 이와 같은 하나의 실시예에서, 슬라이더는 전체길이가 약0.0800인치, 전체 폭이 약 0.0630인치이고, 선단의 경사부 길이가 약 0.0080인치, 경사부 폭이 0.0100인치로 된 것이다. 측면을 따라서 형성된 노치부들의 길이는 약 0.0090인치이고, 후단을 따라서 형성된 폭은 0.0075인치이다. 그러므로 후단의 합성 폭은 0.0480인치가 되고 측면을 따라서 형성된 합성길이는 0.0710인치가 된다. 사다리꼴의 제3중앙패드(140)는 후단으로부터 측정한 길이가 0.0070인치이고, 사다리꼴의 밑면인 후단에서의 최대폭은 0.0130인치이다. 외측패드들(136,138)의 길이는 경사부로부터 측정하여 약 0.0500인치이다.

지금까지 2개의 외측패드가 슬라이더의 가장자리를 따라 위치하고 중앙패드가 슬라이더의 후단에 위치하는 3-패드 자기헤드 에어베어링 슬라이더를 설명하였다. 기계톱의 작동 시에, 지그재그로 고정 배치된 다수의 슬라이더 평바를 가로질러, 갱타입 다이아몬드 원형 톱날로 동시에 각(角)절단이 행해져서, 패드와 퇴거부가 슬라이더의 에어베어링 표면에 정확하게 형성된다.

본 발명은 여기에서 언급한 특정한 실시예에 국한되지 않는다. 예를 들면, 외측패드는 폭이 다르고 비대칭일 수도 있다. 또한 패드 내측면의 각을 변화시켜 다른 부양(浮揚)특성을 얻을 수 있다. 자기 트랜스듀서 혹은 가변자기저항(MR;magnetoresistive)센서는 슬라이더의 중앙패드에 편심되어 설치될 수 있다. 또한, 패드의 형상을 제한하기 위해 이온밀링(ion milling), 리액티브 이온에칭(reactive ion etching), 방전가공(electrostatic discharge machining) 혹은 초음파가공(ultrasonic machining)등이 사용되는데, 이때 패드의 형상은 외측패드의 내측면이 중앙패드의 측면과 반드시 평행일 필요는 없으며, 슬라이더에 따라서는 기계톱 절단과 병행하여 사용하기도 한다. 언급한 3-패드 슬라이더의 실시예 이외에도, 표준 슬라이더 치수의 20 50만큼 작은 치수를 가지는 슬라이더가 만들어질 수 있다.

낮은 상승높이를 요하는 디스크 드라이브에서 사용되는 종래의 쌍레일 경사형 플랫(twin rail taper flat) 슬라이더는 좁은 레일형상에 한정된다. 그래서 레일의 후단에 배치된 박막 트랜스듀서는 폭이 한정되어 있으므로 어떤 코일층에 형성된 코일의 권취회수도 제한된다. 여기서 언급한 3-패드 슬라이더는 종래의 쌍레일 슬라이더가 안고있는 한계성을 극복하기 위해 중앙패드에 상대적으로 넓은 유효공간을 형성한 것이다.

Claims (27)

1. 선단과 후단과 좌, 우의 양측면과 자기디스크대향면을 가지고 있고 상기 양단부의 사이에 뻗어 있는 중앙세로축을 가진 에어베어링식 자기헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더는 상기 자기디스크대향면 안에 설치된 제1, 제2 및 제3패드(제1패드 및 제2패드는 상기 슬라이더의 좌, 우 양측에 배치되며, 제3패드는 상기 슬라이더의 후단 거의 중심에 설치됨)가 형성되어 있고, 상기 자기디스크대향면 내에서 상기 슬라이더의 선단부에 설치된 적어도 제1경사부와 제2경사부(이들 경사부는 각각 상기 제1패드 및 제2패드에 연접해 있음)가 형성되어 있으며, 상기 제1패드 및 제2패드는 상기 제1 및 제2경사부에서 상기 후단을 향해 도중의 길이까지 뻗어 있고, 상기 제3패드는 상기 슬라이더의 후단에서 선단 쪽으로 상기 제1패드 및 제2패드의 후단보다도 후방위치까지 뻗어 있으며, 상기 제1경사부와 제2경사부 및 제1패드와 제2패드사이에 상기 슬라이더의 상기 선단에서 상기 제3패드방향으로 뻗은 중앙퇴거부를 구비하고, 상기 제1 및 제2패드는 각각 상기 중앙 퇴거부를 면한측에 상기 중앙세로축을 향해 각(角)진 측면을 가지고 있으며, 상기 제3패드는 상기 슬라이더의 폭보다 작은 폭을 갖고 상기 슬라이드의 양측면 사이에 퇴거부를 가지고 있음과 동시에 이 퇴거부를 면한 측에 상기 중앙세로축에 대한 각(角)진 측면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
2. 제1항에 있어서, 상기 제3패드는 실제적으로 사다리꼴형이고, 이 패드의 각(角)진 측면이 상기 제1패드 및 제2패드의 각(角)진 측면에 대해 각각 평행하게 형성된 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
3. 제2항에 있어서, 상기 중앙 퇴거부에는 상기 선단과 후단 사이에서 상기 패드의 길이를 제한하기 위해 횡1방향으로 상기 중앙세로축에 직교되게 형성된 직선형의 퇴거부로 된 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
4. 제1항에 있어서, 상기 경사부는 상기 제1패드와 제2패드의 각(角)진 측면과 일직선으로 된 각(角)진 측면을 포함하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
5. 제1항에 있어서, 상기 경사부는 상기 제3패드의 각(角)진 측면과 평행하고, 상기 제1패드 및 제2패드의 각(角)진 측면과 둔각을 형성하는 각(角)진 측면을 포함하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
6. 제1항에 있어서, 상기 제1패드 및 제2패드가 상기 선단으로부터 세로방향으로 같은 치수로, 또한 중앙세로축에서 횡방향으로 등간격으로 배치된 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
7. 제1항에 있어서, 상기 제3패드의 종방향의 최대 길이는 상기 제1패드 및 제2패드의 최후단과 슬라이더의 후단과의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
8. 제1항에 있어서, 상기 제1패드 및 제2패드가 상기 후단으로부터 경사부까지 이어지고, 또 상기 제3패드는 삼각형으로 된 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
9. 제1항에 있어서, 상기 중앙 퇴거부와 퇴거부가 이어져 연속된 동일한 깊이의 퇴거부를 형성하는 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
10. 제9항에 있어서, 상기 제3패드는 마름모형상으로 되어 있고, 그 양측면이 상기 중앙세로축에 대해 경사각을 이루고 있는 것을 특징으로하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1패드 및 제2패드의 경사각은 각각 상기 중앙 퇴거부에 인접하여 상기 중앙세로축에 대해 각(角)진 적어도 일부분의 내측면을 갖고, 상기 각(角)진 내측면과 반대측면이 상기 중앙세로축에 평행한 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
12. 제11항에 있어서, 상기 제1패드 및 제2패드의 각(角)진 측면은 각각 상기 제3패드의 각(角)진 측면과 동일한 직선방향인 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
13. 제1항에 있어서, 상기 제3패드에 인접한 슬라이더의 후단에 배치된 자기트랜스듀서 또는 가변 자기저항센서를 구비한 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
14. 제13항에 있어서, 상기 트랜스듀서 또는 센서가 상기 중앙세로축에 대해 편심된 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
15. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더는 길이가 약 0.160인치, 폭이 약 0.125인치 및 높이가 약 0.0345인치로 형성된 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
16. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더는, 길이가 약 0.112인치, 폭이 약 0.088인치 및 높이가 약 0.024인치로 형성된 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
17. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더는, 길이가 약 0.080인치, 폭이 약 0.063인치 및 높이가 약 0.017인치로 형성된 것을 특징으로 하는 3-패드 에어베어링식 자기헤드 슬라이더.
18. 자기디스크를 이용하여 접촉기록을 행하기 위한 자기박막헤드 조립체에 있어서, 상기 조립체는 에어베어링면과 선단 및 후단, 좌우의 양측면을 가진 헤드 슬라이더와; 상기 슬라이더의 상기 에어베어링면에 형성된 제1, 제2 및 제3패드를 포함하며; 상기 제1패드 및 제2패드는 상기 슬라이더의 양측면 옆에 상기 슬라이더의 선단쪽에 위치해 있고, 슬라이더 길이의 중간정도를 넘으며 부분적으로 후단 쪽으로 뻗도록 설치되어 있으며, 제3패드는 상기 슬라이더의 후단에서 후방 중심부에 위치하고 상기 제1패드 및 제2패드의 후단에서 상기 슬라이더의 후단까지의 길이보다 작은 세로방향의 길이가 되도록 설치되며, 상기 제1패드 및 제2패드는 실제적으로 사각형상이며, 제3패드는 실제적으로 사다리꼴 형상이고, 상기 슬라이더의 선단과 상기 제1패드 및 제2패드사이에 설치된 사각형상의 경사부를 구비한 것을 특징으로 하는 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
19. 제18항에 있어서, 상기 제1패드 및 제2패드는 폭이 약 0.009인치인 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
20. 제18항에 있어서, 상기 경사부가 상기 슬라이더의 선단으로부터 약 0.008인치의 길이로 뻗어 있고 약 40분(40')의 경사각을 가진 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
21. 제18항에 있어서, 상기 슬라이더는 약 0.080인치이고, 상기 제1 및 제2패드는 상기 경사단으로부터 슬라이더의 선단을 기준으로 상기 슬라이더 길이의 절반 이상의 지점까지 형성된 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
22. 제21항에 있어서, 상기 제1패드 및 제2패드가 상기 선단으로부터 약 0.058인치인 지점까지 형성된 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
23. 제18항에 있어서, 최소한 0.002인치의 깊이를 갖고 상기 패드들 사이에 퇴거부를 수용하는 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
24. 제18항에 있어서, 중앙의 상기 제3패드는 약 0.007인치의 길이로 상기 후단에 형성되어 있고, 후단에서의 폭이 약 0.013인치인 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
25. 제18항에 있어서, 상기 패드들의 단과 모서리를 조화되도록 둥글게 라운딩한 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
26. 제18항에 있어서, 상기 슬라이더의 후단 모서리에 노치(notch)부를 포함하는 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.
27. 제18항에 있어서, 상기 노치(notch)부는 길이가 0.0090인치이고 폭이 0.0075인치인 자기디스크 접촉기록용 자기박막헤드 조립체.