KR100209403B1 - Lightpath modulation device - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 광로조절장치는 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 2 개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸도록 분리되어 형성된 지지부와, 상기 지지부와 일단이 접촉되고 타단은 상기 구동기판과 소정 간격 이격된 제1멤브레인과, 상기 지지부와 제1멤브레인을 관통하여 상기 접속단자와 전기적으로 연결된 플러그와, 상기 제1멤브레인의 상부 전면에 형성되며, 상기 플러그와 전기적 접속을 이루는 신호전극과, 상기 신호전극의 상부 전면에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부중에서 상기 지지부의 상측부분에 형성된 바이어스 전극, 상기 변형부의 상부중에서 상기 바이어스 전극이 형성되지 않은 부분에 형성된 제2멤브레인과, 상기 제2멤브레인의 상부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 액츄에이터가 구동될 때 구동기판과 이격된 자유단부가 펄럭이는 것이 방지되므로 화상신호에 따라 반사막의 기울기를 정확하게 조절할 수 있어 광특성을 향상시킬 수 있다.An optical path control apparatus according to the present invention includes a driving substrate having a transistor embedded in a matrix form and having two connection terminals electrically connected to each transistor on a surface thereof, and a support part formed so as to surround the connection terminals on the driving substrate, respectively. And a first membrane having one end in contact with the support portion and the other end spaced apart from the driving substrate by a predetermined distance, a plug electrically connected to the connection terminal through the support portion and the first membrane, and an upper front surface of the first membrane. A signal electrode which is formed in the electrical connection with the plug, a deformable portion formed on the upper front surface of the signal electrode, a bias electrode formed on an upper portion of the support portion among the upper portion of the deformed portion, and the bias electrode in the upper portion of the deformed portion Of the second membrane formed on the non-formed portion and the second membrane An actuator comprising a reflective film formed on the upper portion is provided. Therefore, since the free end spaced apart from the driving substrate is prevented from fluttering when the actuator is driven, the inclination of the reflective film can be precisely adjusted according to the image signal, thereby improving optical characteristics.
Description
제1도는 본 발명에 따른 광로조절장치의 평면도.1 is a plan view of an optical path control apparatus according to the present invention.
제2도는 제1도를 a-a선으로 자른 단면도.2 is a cross-sectional view taken along the line a-a of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11 : 구동기판 13 : 접속단자11: drive board 13: connection terminal
15 : 지지부 19 : 제1멤브레인15: support portion 19: the first membrane
21 : 플러그 23 : 신호전극21 plug 23 signal electrode
25 : 변형부 26 : 제2멤브레인25: deformation part 26: second membrane
27 : 바이어스전극 29 : 반사막27: bias electrode 29: reflective film
본 발명은 투사형화상표시기에 이용되는 광로조절장치에 관한 것으로서, 특히, 인가되는 화상신호에 비례하여 반사막이 정확하게 구동되는 광로조절장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical path adjusting device used for a projection image display, and more particularly, to an optical path adjusting device for accurately driving a reflective film in proportion to an applied image signal.
화상표시장치는 표시방법에 따라, 직시형화상표시장치와 투사형화상표시장치로 구분된다.An image display apparatus is classified into a direct image display apparatus and a projection image display apparatus according to a display method.
직시형화상표시장치는 CRT(Cathode Ray Tube)등이 있는데, 이러한 CRT 화상표시장치는 화질은 좋으나 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증대와, 가격이 비싸지는 등의 문제점이 있어 대화면을 구비하는데 한계가 있다.Direct image display device includes CRT (Cathode Ray Tube), which has good image quality but it has problems such as increase of weight and thickness as the screen is enlarged and price is expensive. There is.
투사형화상표시장치는 대화면 액정표시장치(Liquid Crystal Display: 이하 LCD 라 칭함)등이 있는데, 이러한 대화면 LCD 의 박형화가 가능하여 중량을 작게할 수 있다. 그러나, 이러한 LCD 는 편광판에 의한 광손실이 크고 LCD 를 구동하기 위한 박막트랜지스터가 화소마다 형성되어 있어 개구율(광의 투과면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.Projection type image display apparatuses include a large crystal display (hereinafter referred to as an LCD), and such a large-screen LCD can be thinned to reduce weight. However, such an LCD has a high light loss due to a polarizing plate, and a thin film transistor for driving the LCD is formed for each pixel, so that there is a limit in increasing the aperture ratio (light transmission area).
따라서, 미합중국 Aura 사에 의해 액츄에이티드 미러 어레이(Actuated Mirror Arrays: 이하 AMA 라 칭함)를 이용한 투사형 화상표시장치가 개발되었다.Therefore, a projection type image display apparatus using Actuated Mirror Arrays (hereinafter referred to as AMA) has been developed by Aura, United States.
투사형 화상표시장치는 1차원 AMA 를 이용하는 것과 2차원 AMA 를 이용하는 것으로 구별된다. 1차원 AMA는 거울면들이 M ×1 어레이로 배열되고, 2차원 AMA는 거울면이 M ×N 어레이로 배열되고 있다. 따라서 1차원 AMA를 이용하는 투사형 화상표시장치는 주사거울을 이용하여 M ×1개의 광속들을 선주사시키고, 2차원 AMA를 이용하는 투사형 화상표시장치는 M ×N 개의 광속들을 투사시켜 M ×N화소의 어레이를 가지는 영상을 나타내게 된다.Projection type image display apparatuses are classified into using one-dimensional AMA and two-dimensional AMA. The one-dimensional AMA has mirror surfaces arranged in an M × 1 array, and the two-dimensional AMA has mirror surfaces arranged in an M × N array. Therefore, a projection image display device using a one-dimensional AMA pre-scans M × 1 beams using a scanning mirror, and a projection image display device using a two-dimensional AMA projects M × N beams to produce an array of M × N pixels. Branches represent images.
종래의 박막의 액츄에이터를 이용한 광로조절장치의 제조방법은 본 출원인이 대한민국 특허청에 1993년 12월 30일에 특허 출원한 특허 제93-31717 호(발명의 명칭 ;투사형화상표시장치의 광로조절장치의 제조방법)에 개시되어 있다. 상기 방법은 구동기판 상부의 소정 부분에 한 화소당 2개의 지지부를 이격되도록 선택적으로 형성하고 이 지지부들의 상부에 일측의 소정부분이 걸치도록 각 화소의 영역에 멤브레인을 형성한다. 그 다음, 멤브레인 상부의 지지부들과 중첩되는 부분을 포함하여 타측으로 소정 부분 신장된 신호전극을 선택적으로 형성한 후 전면에 변형부와 바이어스전극으로도 이용되는 반사막을 순차적으로 형성한다. 그러고, 반사막부터 멤브레인까지 식각하여 각 화소단위로 분리함과 동시에 지지부들 사이의 멤브레인이 움직일 수 있도록 일측으로 부터 타측 방향으로 신장된 신호전극까지 전달한다.The conventional method for manufacturing an optical path control device using a thin-film actuator is disclosed in Patent No. 93-31717, filed by the applicant of the Korean Patent Office on December 30, 1993 (name of the invention; of the optical path control device of the projection image display device). Manufacturing method). The method selectively forms two support portions per pixel on a predetermined portion of the drive substrate, and forms a membrane in the region of each pixel so that a predetermined portion on one side is placed over the support portions. Thereafter, a signal electrode that is partially extended to the other side is selectively formed, including a portion overlapping with the supporting portions of the upper portion of the membrane, and then a reflective film, which is also used as a deformation portion and a bias electrode, is sequentially formed on the front surface. Then, the substrate is etched from the reflective film to the membrane and separated by each pixel unit, and at the same time, the membrane is transferred from one side to the signal electrode extending in the other direction so that the membrane between the supporting parts can move.
상술한 종래의 방법에 의해 제조된 광로조절장치는 신호전극에 화상신호와 반사막에 바이어스전압이 인가되면 변형부는 신호전극과 반사막이 중첩되는 부분에서만 전계가 발생되어 휘어진다. 상기에서 신호전극이 형성되어 있지 않은 부분은 변형부가 휘어지지 않지만 휘어진 부분에 의해 평탄하게 경사지게 되어 광효율이 크게 된다.In the optical path control apparatus manufactured by the above-described conventional method, when a bias voltage is applied to an image signal and a reflective film to a signal electrode, the deformation part is generated and bent only at a portion where the signal electrode and the reflective film overlap. The portion where the signal electrode is not formed is not deformed, but is inclined flat by the bent portion, thereby increasing the light efficiency.
그러나, 상술한 종래의 광로조절장치는 반사부와 중첩되는 각층들(즉, 구동기판과 이격되어 소정 각도로 틸팅되는 자유단부)의 두께의 합이 반사부의 가로 및 세로의 길이보다 매우 작으므로 액츄에이터가 구동시 액츄에이터의 자유단부가 펄럭거려 반사막의 기울기를 정확히 조절할 수 없어 광특성이 저하되는 문제점이 있었다.However, the conventional optical path adjusting device described above has an actuator because the sum of the thicknesses of the layers overlapping the reflecting portion (ie, the free end spaced apart from the driving substrate and tilted at a predetermined angle) is much smaller than the horizontal and vertical lengths of the reflecting portion. The free end of the actuator flutters during driving, and thus the inclination of the reflecting film cannot be precisely adjusted, resulting in a problem of deterioration of optical characteristics.
따라서, 본 발명의 목적은 액츄에이터 구동시 액츄에이터의 자유단부가 펄럭거리는 것을 방지하여 반사막의 기울기를 정확히 조절하므로써 광특성을 향상시킬 수 있는 광로조절장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical path control apparatus which can improve optical characteristics by preventing the free end of the actuator from fluttering during driving of the actuator so as to accurately adjust the inclination of the reflective film.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광로조절장치는, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 2개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸도록 분리되어 형성된 지지부와, 상기 지지부와 일단이 접촉되고 타단은 상기 구동기판과 소정 간격 이격된 제1멤브레인과, 상기 지지부와 제1멤브레인을 관통하여 상기 접속단자와 전기적으로 연결된 플러그와, 상기 제1멤브레인의 상부 전면에 형성되며, 상기 플러그와 전기적 접속을 이루는 신호전극과, 상기 신호전극의 상부 전면에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부중에서 상기 지지부의 상측부분에 형성된 바이어스 전극, 상기 변형부의 상부중에서 상기 바이어스 전극이 형성되지 않은 부분에 형성된 제2멤브레인과, 상기 제2멤브레인의 상부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다.An optical path control device according to the present invention for achieving the above object is a drive substrate having a transistor is built in a matrix form and has two connection terminals electrically connected to each transistor on the surface, and each of the connection terminals on the drive substrate A support part formed to be separated and enclosed, a first membrane contacting one end of the support part and the other end spaced apart from the driving substrate, and a plug electrically connected to the connection terminal through the support part and the first membrane; A signal electrode formed on an upper front surface of the first membrane, the signal electrode making electrical connection with the plug, a deformation portion formed on the upper front surface of the signal electrode, a bias electrode formed on an upper portion of the support part among the upper parts of the deformation portion, A second member formed on a portion of the upper portion of the deformed portion where the bias electrode is not formed; And an actuator including a lane and a reflective film formed on the second membrane.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제1도는 본 발명에 따른 광로조절장치의 평면도이고, 제2도는 제1도를 a-a선으로 자른 단면도이다.1 is a plan view of an optical path control apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line a-a of FIG.
광로조절장치는 구동기판(11) 및 액츄에이터(30)를 포함한다. 구동기판(11)은 유리 또는 알루미나(A12O3)등의 절연물질이나, 또는, 실리콘등의 반도체로 이루어지며 M ×N개의 트랜지스터(도시되지 않음)가 매트릭스 형태로 내장되어 있다. 또한, 구동기판(11)의 표면에 트랜지스터와 전기적으로 연결된 접속단자(13)가 형성되어 있는데, 각 트랜지스터마다 2개의 접속단자(13)가 연결되도록 형성되어 있다.The optical path control device includes a driving substrate 11 and an actuator 30. The driving substrate 11 is made of an insulating material such as glass or alumina (A1 2 O 3 ), or a semiconductor such as silicon, and M x N transistors (not shown) are embedded in a matrix form. In addition, a connection terminal 13 electrically connected to a transistor is formed on the surface of the driving substrate 11, and two connection terminals 13 are connected to each transistor.
액츄에이터(30)는 지지부(15), 제1 및 제2멤브레인(19)(26), 플러그(plug: 21), 신호 및 바이어스 전극(23)(27), 변형부(25)와 반사막(29)으로 이루어져 이웃하는 액츄에이터(도시되지 않음)와 분리되어 있다.Actuator 30 includes support 15, first and second membranes 19 and 26, plug 21, signal and bias electrodes 23 and 27, deformable portion 25 and reflective film 29. It is separated from neighboring actuators (not shown).
상기 지지부(15)는 구동기판(11)의 상부에 동일한 트랜지스터와 전기적으로 연결된 2개의 접속단자(13)를 각각 분리되어 덮도록 형성되며, 제1멤브레인(19)은 지지부(15)의 상부에 하부표면의 소정부분만 접촉되고 지지부(15) 사이를 포함하는 나머지 부분은 공간에 노출되게 형성된다. 또한, 제1멤브레인(19)은 지지부(15)의 대향면과 일치되도록 x 축을 따라 소정길이만큼 절단되어 있다. 그리고, 신호전극(23)과 변형부(25)는 멤브레인(19)의 상부에 적층된다. 지지부(15) 및 제1멤브레인(19)은 질화실리콘, 탄화실리콘 또는 산콰실리콘을 스퍼터링(sputtering) 또는 화학기상침적(Chemical Vapor Deposition: 이하 CVD 라 칭함)등의 방법에 의해 형성된다. 그리고, 상기 변형부(25)는 BaTiO3PZT(Pb(Zr, Ti)O3) 또는 PLZT(Pb, La)(Zr, Ti)O3)등의 압전세라믹이나, 또는 PMN(Pb(Mg, Nb)O3) 등의 전왜세라믹을 0.7∼2㎛정도의 두께로 도포하여 형성된다. 신호전극(23)은 백금(Pt) 또는 백금/티타늄(Pt/Ti)등을 500∼2000Å 정도의 두께로 도포하여 형성된다.The support part 15 is formed to separately cover two connection terminals 13 electrically connected to the same transistor on an upper portion of the driving substrate 11, and the first membrane 19 is formed on the upper part of the support part 15. Only a predetermined portion of the lower surface is contacted and the remaining portion including between the support portions 15 is formed to be exposed to the space. In addition, the first membrane 19 is cut by a predetermined length along the x axis so as to coincide with the opposing surface of the support 15. The signal electrode 23 and the deformable portion 25 are stacked on the membrane 19. The support 15 and the first membrane 19 are formed by a method such as sputtering or chemical vapor deposition (CVD) of silicon nitride, silicon carbide, or sanqua silicon. The deformable portion 25 may be a piezoelectric ceramic such as BaTiO 3 PZT (Pb (Zr, Ti) O 3 ) or PLZT (Pb, La) (Zr, Ti) O 3 ), or PMN (Pb (Mg, Nb) O 3 ) and the like is formed by applying a total distortion ceramic, such as 0.7 to 2㎛ thickness. The signal electrode 23 is formed by applying platinum (Pt), platinum / titanium (Pt / Ti), or the like to a thickness of about 500 to 2000 mW.
플러그(21)는 지지부(15) 및 제1멤브레인(19)을 관통하여 접속단자(13)와 신호전극(23)을 전기적으로 연결시키는 것으로 텅스텐(W) 또는 티타늄으로 형성된다.The plug 21 is formed of tungsten (W) or titanium by electrically connecting the connection terminal 13 and the signal electrode 23 through the support part 15 and the first membrane 19.
제2멤브레인(26)은 변형부(25) 상부에 지지부(15)를 포함하는 소정부분, 즉, 제1멤브레인(19)을 자른 끝 부분과 일치하는 부분을 제외한 부분에 凸자 형태로 형성된다. 상기 제2멤브레인(26)은 제1멤브레인(19)과 동일한 물질로 2∼4㎛ 정도의 두께로 형성된다. 상기에서 제2멤브레인(26)은 열처리한 변형부(25)의 상부에 접촉되어 형성되나 이후에 열처리 공정이 없으므로 변형부(25)와 상호작용이 발생되지 않는다.The second membrane 26 is formed in a U-shape at a portion other than a predetermined portion including the support portion 15 on the upper portion of the deformable portion 25, that is, the portion corresponding to the end portion of the first membrane 19 cut off. . The second membrane 26 is formed of the same material as the first membrane 19 and has a thickness of about 2 to 4 μm. The second membrane 26 is formed in contact with the upper portion of the heat-deformed deformable portion 25, but there is no interaction with the deformable portion 25 since there is no heat treatment thereafter.
반사막(29)은 변형부(25) 및 제2멤브레인(26)의 상부 표면에 알루미늄 또는 은등의 반사특성 및 전기적 특성이 양호한 금속을 스퍼터링 또는 진공증착등에 의해 500∼2000Å 정도의 두께로 도포하여 형성된다. 상기에서, 반사막(29)을 형성하는 알루미늄이나 은등은 전기적 특성이 우수한 물질이므로 변형부(25)의 상부에 형성된 것은 바이어스전극(27)의 기능을 동시에 수행한다.Reflective film 29 is applied to the upper surface of the deformable portion 25 and the second membrane 26 by coating a metal having good reflection and electrical properties such as aluminum or silver to a thickness of about 500 to 2000 kPa by sputtering or vacuum deposition. Is formed. In the above, since aluminum or silver forming the reflective film 29 is a material having excellent electrical characteristics, the upper portion of the deformable portion 25 performs the function of the bias electrode 27 at the same time.
상술한 구조의 광로조절장치는 구동기판(11)의 동일한 트랜지스터에 전기적으로 연결된 2개의 접속단자(13)와 플러그(21)를 통해 신호전극(23)에 동일한 화상신호가 인가되고, 바이어스전극(27)에 바이어스전압이 인가되면 신호전극(23)과 바이어스전극(27)의 사이에 개재되어 있는 변형부(25)에 전계가 발생된다. 이에 의해 변형부(25)는 수축 변형을 하게 된다. 이때, 변형부(25)는 제1멤브레인(19)과의 변형량의 차이에 의해 휘어져 경사진다. 그러나, 신호전극(23)과 반사막(29) 사이의 변형부(25)에는 전계가 발생되지 않아 제1 및 제2멤브레인(19)(26)과 사이에서 변형이 발생되지 않으므로 휘어짐이 발생되지 않고 평탄하게 경사지게 되는데, 이때, 신호전극(23)과 제2멤브레인(26)에 의해 반사막(29)과 중첩되는 각층들의 두께의 합이 크게되어 액츄에이터(30)의 자유단부가 펄럭이는 것이 방지된다.In the optical path control apparatus having the above-described structure, the same image signal is applied to the signal electrode 23 through two connection terminals 13 and a plug 21 electrically connected to the same transistor of the driving substrate 11, and the bias electrode ( When a bias voltage is applied to the 27, an electric field is generated in the deformable portion 25 interposed between the signal electrode 23 and the bias electrode 27. As a result, the deformable portion 25 is contracted and deformed. At this time, the deformable portion 25 is bent and inclined by the difference in the amount of deformation with the first membrane 19. However, since no electric field is generated in the deformable portion 25 between the signal electrode 23 and the reflective film 29, no deformation occurs between the first and second membranes 19 and 26, and thus no warpage occurs. In this case, the sum of the thicknesses of the layers overlapping the reflective layer 29 is increased by the signal electrode 23 and the second membrane 26, thereby preventing the free end of the actuator 30 from fluttering. .
따라서, 본 발명의 액츄에이터가 구동될 때 액츄에이터의 자유단부가 펄럭이는 것이 방지되므로 화상신호에 따라 반사막의 기울기를 정확히 조절할 수 있어 광특성을 향상시킬 수 있는 잇점이 있다.Therefore, since the free end of the actuator is prevented from fluttering when the actuator of the present invention is driven, the inclination of the reflective film can be precisely adjusted according to the image signal, thereby improving optical characteristics.
Claims (3)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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