KR100202172B1 - Atmospheric pressure increase holding circuit of criyo pump at the stoppage of electric current - Google Patents
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Abstract
본 발명은 순간 정전시 클라이오 펌프의 동작이 중지되고 그에 따라 챔버내의 진공상태가 대기압상태로 복원되는 현상을 방지하기 위한 장치에 관한 것으로, 유입되는 전원의 정상 공급여부를 판단하는 전원감지수단과, 상기 전원 감지수단에서 전원 공급이 정상적이지 않다고 판단되면 클라이오 펌프에 공급되는 전원의 전달경로를 차단하는 다수개의 스위칭 수단과, 상기 다수개의 스위칭 수단을 통해 전원이 차단되면 상기 스위칭 수단에 의해 저에되지 않는 다른 전원전달경로로 상기 클라이오 펌프의 전원 입력단을 연결하는 경로 전환 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 순간 정전시 크라이요 펌프의 대기압 상승 방지 회로에 관한 것이다.The present invention relates to a device for preventing the operation of the clinic pump during a momentary power failure and thereby restoring the vacuum in the chamber to atmospheric pressure. A plurality of switching means for blocking a transmission path of power supplied to the clinic pump if it is determined that the power supply is not normal in the power detecting means, and when the power is cut off through the plurality of switching means, It relates to a circuit for preventing the rise of atmospheric pressure of the cryo pump during a momentary power failure, characterized in that it comprises a path switching means for connecting the power input terminal of the cryo pump to another power transmission path that is not.
Description
제1도는 종래 크라이요 펌프의 구동회로와 주변 장치와의 구성 예시도.1 is a diagram illustrating a configuration of a driving circuit of a conventional cryo pump and a peripheral device.
제2도는 본 발명에 따른 순간 정전시 크라이요 펌프의 대기압 상승 방지 회로도2 is a circuit diagram for preventing an increase in atmospheric pressure of a cryo pump during a momentary power failure according to the present invention.
본 고안은 크라이요 펌프에 관한 것으로 특히, 순간 정전시 클라이오 펌프의 동작이 중지되고 그에 따라 챔버내의 진공상태가 대기압상태로 복원되는 현상을 방비하기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cryo pump, and more particularly, to an apparatus for preventing the operation of the cryo pump during a momentary power failure, and thus the vacuum in the chamber is restored to atmospheric pressure.
일반적으로, 클라이오 펌프란 고 진공을 형성하기 위한 매체로 헬륨의 기화열을 이용한 방식의 펌프를 칭하는 것으로 진공도를 약 10-7~10-9이상으로 유지시켜주기 위한 장치이다.In general, a clinic pump refers to a pump using a heat of vaporization of helium as a medium for forming a high vacuum, and is a device for maintaining a vacuum degree of about 10 −7 to 10 −9 or more.
대기압 상승을 방지하는 장치로써 펌프가 대기압으로 상승한 후, 진공 상태가 되려면 7-8시간 가량 걸리는데 크라이요 펌프가 장착된 장비의 순간 정전시 펌프로 인한 문제를 없애기 위한 것이다.It is a device that prevents the increase in atmospheric pressure, and it takes about 7-8 hours after the pump is raised to atmospheric pressure to be in a vacuum state, to eliminate the problem caused by the pump during a momentary power failure of the equipment equipped with the cryo pump.
장비의 사용할 때 갑작스런 정전으로 인하여 전원이 깨지면 전원이 공급되더라도 실제로 장비에는 전원을 공급할 수가 없으며 장비에 전원을 인가하려면 파워 온 스위치를 눌러야 되도록 제1도와 같이 회로 구성이 되어 있다.If the power is broken due to a sudden power failure during the use of the equipment, even though the power is supplied, the equipment cannot be actually supplied. In order to apply the power to the equipment, the circuit is configured as shown in FIG.
순간 정전으로 인하여 전원이 공급되지 않으면 14번 릴레이가 동작을 하지 않게 되어 장비 내부로 들어가는 전원이 차단 되게 된다. 따라서, 장비 내부로 전원을 공급하려면 파워 온 스위치를 눌러서 14번 릴레이를 동작시키고, 14번 릴레이의 6번과 9번 단자가 붙으므로 인해 1번 릴레이가 동작하게 된다. 따라서 1번 릴레이의 3,2,1의 단자가 붙으므로 인해 크라이요 펌프에 전원이 공급되도록 회로 구성이 되어 있다.If power is not supplied due to a momentary power failure, relay no.14 will not work and the power going into the equipment will be cut off. Therefore, to supply power to the equipment, relay 14 is operated by pressing the power on switch, and relay 1 is operated because terminals 6 and 9 of the relay 14 are attached. Therefore, because of the 3, 2, 1 terminals of relay 1, the circuit is configured to supply power to the cryo pump.
그러나, 상기와 같은 종래의 크라이요 펌프의 구동전원을 공급하는 구동회로는 순간 정전으로 인하여 전원이 꺼지게 되면 파워 온 스위치를 누르기 전까지는 장비에 전원이 공급되지 않는다. 따라서 크라이요 펌프는 전원이 공급되지 않아 대기압 상태로 되어 버린다. 크라이요 펌프가 준비 상태로 되려면 7-8시간 정도의 시간이 걸리게 되어 가동율이 저하된다는 문제점이 발생되었다.However, when the driving circuit for supplying the driving power of the conventional cryo pump is turned off due to a momentary power failure, power is not supplied to the equipment until the power on switch is pressed. As a result, the cryo pump is not powered and becomes atmospheric. The cryo pump takes about 7-8 hours to get ready, causing a problem of low operating rate.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 본 발명의 목적은 순간정전으로 인해 정상적인 전원 전달 경로가 폐쇄되면 자동으로 전원유입단과 클라이오 펌프의 전원 공급단을 연결하여 주기 위한 순간 정전시 크라이요 펌프의 대기압 상승 방지 회로를 제공하는 데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to increase the atmospheric pressure of the cryo pump during a momentary power failure to automatically connect the power supply terminal and the power supply terminal of the cryo pump when the normal power transmission path is closed due to the momentary power failure To provide a protection circuit.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 클라이오 펌프를 구동하는 장치에 있어서, 유입되는 전원의 정상 공급여부를 판단하는 전원감지수단과, 상기 전원감지수단에서 전원 공급이 정상적이지 않다고 판단되면 클라이오 펌프에 공급되는 전원의 전달 경로를 차단하는 다수개의 스위칭 수단과, 상기 다수개의 스위칭 수단을 통해 전원이 차단되면 상기 스위칭 수단에 의해 저에되지 않은 다른 전원전달경로로 상기 클라이오 펌프의 전원 입력단을 연결하는 경로 전환 수단을 포함하는 데 있다.A feature of the present invention for achieving the above object is, in the apparatus for driving a clinic pump, the power sensing means for determining whether or not the normal supply of the incoming power, and if it is determined that the power supply is not normal in the power sensing means A plurality of switching means for interrupting a transmission path of power supplied to the clinic pump; and when the power is cut off through the plurality of switching means, the power of the clinic pump is supplied to other power transmission paths which are not stored by the switching means. It comprises a path switching means for connecting the input terminal.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제2도는 본 발명에 따른 순간 정전시 크라이요 펌프의 대기압 상승 방지 회로이다.2 is a circuit for preventing an increase in atmospheric pressure of a cryo pump during a momentary power failure according to the present invention.
순간 정전으로 인하여 전원이 꺼지면 파워 온 스위치를 누르지 않아도 자동으로 크라이요 펌프에 전원이 공급되도록 제2도와 같이 비임라인 크라이요 펌프와 엔드 스테이션 크라이요 펌프에 예비 전원이 공급될 수 있도록 구성하였다.When the power is turned off due to a momentary power failure, the power supply to the cryo pump is automatically supplied without the power on switch being pressed. As shown in FIG.
순간 정전으로 인하여 전원이 잠시 공급되지 않으면 14번 릴레이가 동작을 하지 않게 되고 14번 릴레이의 6번과 9번 단자가 오픈이 된다. 그러면 1번 릴레이에 전원이 공급되지 않아 1번 릴레이의 3,2,1이 각각 오픈되어 크라이요 펌프로 공급되는 전원이 차단되어 지고 씨 릴레이도 전원이 공급되지 않게 된다. 씨 릴레이에 전원이 공급되지 않으면 씨릴레이의 1번과 5번, 2번과 6번, 3번과 7번, 4번과 8번이 클로스된다. 따라서 비임라인 크라이요 펌프는 씨 릴레이의 3,7번과 4,8번을 통해서 전원이 공급되어 지고 엔드스테이션 크라이요 펌프는 씨 릴레이의 1,5번과 2,6번을 통해서 전원이 공급되어 진다.If power is not supplied for a while due to a momentary power failure, relay no.14 will not work and terminals no.6 and 9 of relay no.14 will be open. Then, power is not supplied to relay 1, and 3, 2, and 1 of relay 1 are opened, and the power supplied to the cryo pump is cut off, and the seed relay is also not powered. If the seed relay is not powered, the relays 1 and 5, 2 and 6, 3 and 7, and 4 and 8 are closed. Thus, the beamline cryo pumps are powered through seed relays 3,7 and 4,8 and the end station cryo pumps are powered through seed relays 1,5 and 2,6. Lose.
상기와 같이 동작하는 본 고안에 따른 순간 정전시 크라이요 펌프가 대기압 상태로 되는 것을 방지 할 수가 있다. 따라서 크라이요 펌프를 준비상태로 만들기 위한 7-8시간을 절약할 수가 있어 가동율 향상에 도움이 된다.In the instantaneous power failure according to the present invention operating as described above, it is possible to prevent the cryo pump from being in an atmospheric pressure state. This saves 7-8 hours to get the cryo pumps ready, helping to improve uptime.
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| KR1019960075732A KR100202172B1 (en) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | Atmospheric pressure increase holding circuit of criyo pump at the stoppage of electric current |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019960075732A KR100202172B1 (en) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | Atmospheric pressure increase holding circuit of criyo pump at the stoppage of electric current |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR19980056462A KR19980056462A (en) | 1998-09-25 |
| KR100202172B1 true KR100202172B1 (en) | 1999-06-15 |
Family
ID=19492009
Family Applications (1)
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| KR1019960075732A KR100202172B1 (en) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | Atmospheric pressure increase holding circuit of criyo pump at the stoppage of electric current |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100202172B1 (en) |
-
1996
- 1996-12-28 KR KR1019960075732A patent/KR100202172B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980056462A (en) | 1998-09-25 |
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