KR100196903B1 - Alarm system of semiconductor gas supply equipment - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조장치의 가스 공급장치의 경보 시스템에 관한 것으로, 작업자의 착시 혹은 실수에 기인한 판단 착오에 의해 발생하는 작업 사고를 방지하여 작업 효율을 향상시키는데 목적이 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alarm system of a gas supply device of a semiconductor manufacturing apparatus, and aims to improve work efficiency by preventing work accidents caused by judgment and error caused by an illusion or a mistake of an operator.
이를 위한 본 발명은 반도체 가스 공급장치의 경보 시스템에 있어서, 유니트들의 작동상태를 제어하는 시스템 콘트롤러와, 상기 시스템 콘트롤러로부터 제어신호를 입력받아 작동하는 동작 유니트부 및 음성 발생부와, 상기 동작 유니트부의 작동 상태를 표시하고 음성출력하는 표시/음성출력부로 구성된 것을 특징으로 한다.To this end, the present invention provides an alarm system for a semiconductor gas supply device, comprising: a system controller for controlling operation states of units, an operation unit unit and a voice generator for receiving a control signal from the system controller, and an operation unit unit; Characterized in that it consists of a display / voice output unit for displaying the operation status and output voice.
이에 따라 작업자는 표시부에 의한 시각적인 확인 이외에 음성 출력장치에 의한 청각적인 확인도 병용할 수 있어 착시나 실수에 의한 확인 미스를 상호보완할 수 있으며, 이에 따라 작업 사고를 방지할 수 있어 결과적으로 작업 효율을 향상시킬 수 있다.As a result, the operator can use audible confirmation by the audio output device in addition to the visual confirmation by the display unit, and can complement each other and make a mistake of optical illusion or mistake, thereby preventing work accidents. The efficiency can be improved.
Description
본 발명은 반도체 제조장치의 가스 공급장치의 경보 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 가스 공급장치에서 가스 실린더 등의 가스 공급장치의 교체 시기를 음성으로 작업자에게 알려줌으로써 시각적 감지의 오류를 보완할 수 있는 경보 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an alarm system of a gas supply device of a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to compensate for errors in visual detection by informing a worker by voice of a replacement time of a gas supply device such as a gas cylinder in a semiconductor gas supply device. An alarm system that can be.
일반적으로 반도체 소자를 제조하는데 있어서, 여러 가지의 가스가 중요한 재료로써 이용되고 있다.In general, various gases are used as important materials in manufacturing semiconductor devices.
도 1에는 종래의 반도체 소자 제조용 가스 공급 처리 장치의 일실시예로써 LP CVD 확산로의 가스 공급장치가 개략적으로 도시되어 있다.FIG. 1 schematically illustrates a gas supply apparatus of an LP CVD diffusion furnace as one embodiment of a conventional gas supply processing apparatus for manufacturing a semiconductor device.
도시된 바와 같이, 반도체 소자 제조용 가스 공급 처리 장치는 반도체 소자(미도시)가 내재되어 있는 확산로(1)와, 이 확산로(1)와 가스 실린더(2)를 연결하는 주 공급관(3)과, 제 1 배출 통로(4), 제 2 배출 통로(6)상에 설치된 진공 펌프(5)와, 가스 세정기(7)로 구성되어 있다.As shown, the gas supply processing apparatus for manufacturing a semiconductor element includes a diffusion path 1 in which a semiconductor element (not shown) is embedded, and a main supply pipe 3 connecting the diffusion path 1 and the gas cylinder 2. And a vacuum pump 5 provided on the first discharge passage 4, the second discharge passage 6, and a gas scrubber 7.
여기서, 상기 가스 실린더(2)에는 가스의 공급 및 차단을 할 수 있는 스톱 밸브(9)가 있고, 가스 실린더내의 자체 압력에 의해 확산로로 배출되는 가스의 최저 압력을 감지하는 가스 압력 센서(10)가 부착되어 있으며, 가스 압력이 최저 압력일 때 작업자가 가스 실린더내의 가스가 모두 소모되었음을 인식할 수 있도록 작동되는 경보 수단(11)이 있다. 상기 경보 수단은 일반적으로 경고등이 사용되고 있으며 시스템 콘트롤러(20)에 의해 제어된다.Here, the gas cylinder (2) has a stop valve (9) that can supply and shut off the gas, the gas pressure sensor (10) for detecting the minimum pressure of the gas discharged to the diffusion path by the pressure in the gas cylinder itself Is attached, and there is an alarm means 11 which is operated so that the operator can recognize that all the gas in the gas cylinder has been exhausted when the gas pressure is at the lowest pressure. The alarm means is generally a warning light is used and is controlled by the system controller 20.
이와 같은 구성으로 이루어진 종래의 반도체 소자 제조용 가스의 공급 처리 장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the conventional gas supply processing apparatus for producing a semiconductor device having such a configuration as follows.
가스 실린더(2)내의 자체 압력에 의해 배출되는 가스는 필요에 따라 가스 공급통로(3)를 경유하여 확산로(1)에 주입되어 반도체 소자에 일정 시간동안 반응을 일으킨다. 여기서, 확산로(1)내에 주입된 일정량의 가스는 전량 모두 반도체 소자와 반응을 일으키지 않고 소량의 미 반응 가스가 생기게 된다.The gas discharged by its own pressure in the gas cylinder 2 is injected into the diffusion path 1 via the gas supply passage 3 as needed to cause a reaction for a predetermined time in the semiconductor device. Here, all of a predetermined amount of gas injected into the diffusion path 1 does not react with the semiconductor element, and a small amount of unreacted gas is generated.
이후 진공 펌프(5)를 가동하여 확산로(1) 내부에 들어 있는 미 반응 가스를 배출통로(4)로 진공 배출시킨다. 이후 미 반응 가스는 진공 펌프(5)의 펌핑 압력에 의해 배출통로(5)를 거쳐 가스 세정기(7)로 이송된다. 가스 세정기(7)에서는 진공 펌프(5)로부터 이송되어 온 미 반응 가스를 인체에 무해하도록 만든 다음, 배기관(8)을 통해 대기중으로 배출한다.Thereafter, the vacuum pump 5 is operated to vacuum discharge unreacted gas contained in the diffusion path 1 into the discharge passage 4. Thereafter, the unreacted gas is transferred to the gas scrubber 7 via the discharge passage 5 by the pumping pressure of the vacuum pump 5. In the gas scrubber 7, the unreacted gas transferred from the vacuum pump 5 is made harmless to the human body, and then discharged into the atmosphere through the exhaust pipe 8.
여기서, 필요에 따라 확산로(1)내로 가스를 일정 시간 주입하고 나면, 가스 실린더(2)내의 자체 압력이 점차로 떨어져 가스를 확산로내로 주입되지 못하는 최저 압력에 도달하게 된다.Here, if gas is injected into the diffusion furnace 1 for a predetermined time, the pressure in the gas cylinder 2 itself gradually decreases to reach the minimum pressure at which gas cannot be injected into the diffusion furnace 1.
가스 압력 센서(10)에 의해 최저 압력이 감지되면, 가스 실린더(2)내의 가스 압력이 최저 압력에 도달하였음을 경보 수단(11)을 통해 작업자에게 통고하여 스톱 밸브(9)를 잠글 수 있도록 한다. 이후 가스가 가득 채워진 새로운 가스 실린더로 교체해야 하는 바, 확산로(1)에 연결되어 있는 가스 공급통로(3)내에는 여전히 잔량의 가스가 남아 있기 때문에 설비의 가동을 정지시키고 나서, 가스 공급통로(3)내에 잔재해 있는 잔량의 가스를 퍼지(purge)시켜 모두 제거한다. 이후 가스가 가득 채워진 새로운 가스 실린더로 교체한다.When the minimum pressure is sensed by the gas pressure sensor 10, the operator is notified through the alarm means 11 that the gas pressure in the gas cylinder 2 has reached the minimum pressure so that the stop valve 9 can be locked. . After that, the gas should be replaced with a new gas cylinder filled with gas, and since the remaining gas remains in the gas supply passage 3 connected to the diffusion passage 1, the operation of the equipment is stopped, and then the gas supply passage (3) purge residual gas remaining in inside and remove all. Then replace it with a new gas cylinder filled with gas.
상기와 같은 구조를 같은 반도체 소자 제조용 가스 공급 처리 장치에서는 게이지나 밸브 등의 동작 유니트들의 작동 상태와 그 결과 혹은 가스 실린더의 교체시기 등을 램프(Lamp)나 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED)에 디스플레이한다.In the gas supply processing apparatus for manufacturing a semiconductor device having the above-described structure, the operation state of the operation units such as gauges and valves, and the result or the replacement time of the gas cylinder, etc., are applied to a lamp or a light emitting diode (LED). Display.
이를 도 2를 참조하여 구체적으로 설명하면, 시스템 콘트롤러(20)는 동작 유니트부(22)내 밸브나 게이지 등의 각종 유니트들(22a, 22b, 22c)에 작동 명령을 내리고 유니트들의 작동에 따른 작동상태나 결과를 디스플레이부(24)의 디스플레이장치(24a, 24b, 24c)에 표시하도록 한다.Specifically, referring to FIG. 2, the system controller 20 issues an operation command to various units 22a, 22b, 22c such as a valve or a gauge in the operation unit unit 22, and operates according to the operation of the units. The state or result is displayed on the display devices 24a, 24b, 24c of the display unit 24.
이때 상기 디스플레이장치들은 주로 램프(Lamp)나 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED) 등이 사용되었기 때문에 작업자들은 주로 시각적으로 작동상태와 결과를 확인하면서 상황에 맞도록 후속 공정을 진행한다.At this time, since the display apparatuses are mainly used lamps or light emitting diodes (LEDs), the workers usually proceed with the subsequent processes to suit the situation while visually confirming the operation status and results.
그러나 종래와 같이 시각적 방법과 같은 한 가지 방법에 의해서만 작동 상황을 확인할 때, 작업자의 착시 혹은 실수에 의해 표시된 내용을 혼돈하는 경우에는 이에 따른 작업 사고가 발생하여 안전과 정확성이 떨어지고 이로 인해 작업 효율이 떨어진다는 문제점이 있었다.However, when checking the operation status by only one method such as the visual method as in the prior art, when the contents displayed by the optical illusion or mistake of the operator are confused, a work accident occurs according to this, resulting in inferior safety and accuracy. There was a problem of falling.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 작업자의 착시 혹은 실수에 기인한 판단 착오에 의해 발생하는 작업 사고를 방지하여 작업 효율을 향상시키는데 목적이 있다.The present invention is to solve such a problem is to improve the work efficiency by preventing the work accident caused by the decision and error caused by the optical illusion or mistake of the operator.
도 1 은 종래의 경보 시스템을 나타내는 블록도1 is a block diagram showing a conventional alarm system
도 2 는 본 발명에 의한 경보 시스템을 나타내는 블록도2 is a block diagram showing an alarm system according to the present invention.
* 도면의 중요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for important parts of the drawings
20 : 시스템콘트롤러25 : 음성 출력부20: system controller 25: audio output unit
22 : 유니트26 : 음성 발생부22: unit 26: sound generator
24 : 디스플레이부24: display unit
이를 위한 본 발명은 반도체 가스 공급장치의 경보 시스템에 있어서, 유니트들의 작동 상태를 제어하는 시스템 콘트롤러와, 상기 시스템 콘트롤러로부터 제어신호를 입력받아 작동하는 동작 유니트부 및 음성 발생부와, 상기 동작 유니트부의 작동 상태를 표시하고 음성출력하는 표시/음성출력부로 구성된 것을 특징으로 한다.To this end, the present invention provides an alarm system for a semiconductor gas supply device, comprising: a system controller for controlling operating states of units, an operation unit unit and a voice generator for receiving a control signal from the system controller, and an operation unit unit; Characterized in that it is composed of a display / voice output unit for displaying the operation status and outputting voice.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 의한 가스 공급장치의 경보 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다.3 is a block diagram schematically showing an alarm system of a gas supply device according to the present invention.
도시된 바와 같이 본 발명의 가스 공급장치의 경보 시스템은 크게 동작 유니트들의 작동 상태를 제어하는 시스템 콘트롤러(20)와, 시스템 콘트롤러(20)로부터 제어신호를 입력받아 작동하는 동작 유니트부(26) 및 음성 발생부(26)와, 동작 유니트부(26)의 작동 상태를 표시하고 음성출력하는 표시/음성출력부(28)로 구성된다.As shown, the alarm system of the gas supply apparatus of the present invention includes a system controller 20 which largely controls the operation state of the operation units, an operation unit unit 26 which operates by receiving a control signal from the system controller 20 and And a display / voice output section 28 for displaying the operation state of the operation unit section 26 and outputting the voice.
상기 동작 유니트부(26)는 밸브, 게이지 등의 각종 유니트들(22a, 22b, 22c)로 구성되어 있으며, 상기 음성 발생부(26)는 시스템 콘트롤러(20)의 제어 신호를 입력받아 제어 신호의 종류에 대응하는 음성으로 변환하는 음성칩 및 관련 회로들(26a, 26b, 26c)로 구성되어 있다. 또한 표시/음성출력부(28)는 음성출력부(25)와 표시부(24)로 구성되며 음성출력부(25)는 스피커 등의 음성출력장치(25a, 25b, 25c)로 구성되고 표시부(24)는 종래와 같이 램프(Lamp)나 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED) 등의 디스플레이장치(24a, 24b, 24c)로 구성되어 있다.The operation unit 26 is composed of various units 22a, 22b, 22c, such as a valve and a gauge, and the voice generator 26 receives a control signal from the system controller 20 to control the control signal. It consists of a voice chip and associated circuits 26a, 26b, 26c for converting to voice corresponding to the type. In addition, the display / voice output unit 28 is composed of a voice output unit 25 and a display unit 24, the voice output unit 25 is composed of voice output devices 25a, 25b, 25c, such as a speaker and the display unit 24 ) Is conventionally comprised of display devices 24a, 24b, 24c such as a lamp and a light emitting diode (LED).
이와 같은 구성의 본 발명의 경보 시스템에 의하면 시스템 콘트롤러로부터 유니트들에 작동 명령이 전달됨에 따라 각 유니트들의 작동 상태는 표시부의 LED나 램프 등을 통하여 표시되며 이와 동시에 음성 발생부에도 작동 명령이 전달되어 음성 출력장치를 통하여 메시지가 출력된다.According to the alarm system of the present invention configured as described above, as the operation command is transmitted from the system controller to the units, the operation state of each unit is displayed through the LED or the lamp of the display unit and at the same time, the operation command is also transmitted to the voice generator. The message is output through the voice output device.
따라서 작업자는 표시부에 의한 시각적인 확인 이외에 음성 출력장치에 의한 청각적인 확인도 병용할 수 있어 착시나 실수에 의한 확인 미스를 상호보완할 수 있으며, 이에 따라 작업 사고를 방지할 수 있어 결과적으로 작업 효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, in addition to visual confirmation by the display unit, the operator can also use audio confirmation by the audio output device to complement each other, and to make up for a mistake in optical illusion or mistake, thereby preventing work accidents. Can improve.
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