KR100193450B1 - Isolated Sense Amplifiers in Nonvolatile Semiconductor Memory - Google Patents

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KR100193450B1
KR100193450B1 KR1019950053527A KR19950053527A KR100193450B1 KR 100193450 B1 KR100193450 B1 KR 100193450B1 KR 1019950053527 A KR1019950053527 A KR 1019950053527A KR 19950053527 A KR19950053527 A KR 19950053527A KR 100193450 B1 KR100193450 B1 KR 100193450B1
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김명재
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윤종용
삼성전자주식회사
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Abstract

1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

반도체 메모리의 센스앰프 소자.Sense amplifier element of semiconductor memory.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem to be solved by the invention

개선된 격리형 센스앰프 제공한다.Provides an improved isolated sense amplifier.

3. 발명의 해결방법의 요지3. Summary of Solution to Invention

셀 어레이에 각기 연결된 제1,2 비트라인에 연결되고 센싱동작시 인가되는 격리신호에 응답하여 상기 제1,2비트라인을 전기적으로 격리시키기 위한 격리부와, 입출력 게이팅부의 전단에 각기 연결된 제1,2증폭 비트 라인에 연결되고 인가되는 프리차아지 및 등화신호에 응답하여 상기 제1,2증폭 비트라인을 프리차아지 및 등화하는 프리차아지 및 등화부와, 상기 프리차아지 및 등화부의 전단에 위치하고 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되어 인가되는 래치전압에 따라 센싱동작을 수행하는 래치타입 센스앰프부와, 상기 래치타입 센스앰프부와 상기 격리부간에 위치되며 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 연결되고 그의 드레인 단자들은 각기 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되며 소오스 단자들은 외부제어신호에 응답되덩진 미리설정된 전원전압을 각기 수신하는 제1,2트랜지스터로 이루어진 격리 래치부를 센스앰프는 가진다.An isolation part electrically connected to the first and second bit lines connected to the cell array and electrically isolated from the first and second bit lines in response to an isolation signal applied during sensing operation, and first connected to the front end of the input / output gating part. A precharge and equalizer for precharging and equalizing the first and second amplified bit lines in response to a precharge and equalization signal connected to and applied to a second amplified bit line, and a front end of the precharge and equalizer And a latch type sense amplifier unit positioned at a position between the latch type sense amplifier unit and the isolation unit and performing a sensing operation according to a latch voltage applied to the first and second amplified bit lines. Each gate terminal is connected to a line, and drain terminals thereof are respectively connected to the first and second amplification bit lines, and source terminals are connected to a predetermined power supply. It has a latch portion consisting of a sense amplifier isolated by the first and second transistors respectively receiving.

4. 발명의 중요한 용도4. Important uses of the invention

반도체 메모리에 적합하게 사용된다.It is suitably used for semiconductor memories.

Description

불휘발성 반도체 메모리의 격리형 센스앰프Isolated Sense Amplifiers in Nonvolatile Semiconductor Memory

제1도는 종래 기술에 대한 센스앰프의 회로도.1 is a circuit diagram of a sense amplifier according to the prior art.

제2도는 제1도에 따르는 노말 센싱동작의 타이밍도.2 is a timing diagram of a normal sensing operation according to FIG.

제3도는 본 발명의 일 실시예에 따른 격리형 센스앰프의 회로도.3 is a circuit diagram of an isolated sense amplifier according to an embodiment of the present invention.

제4a,b는 각기 제3,6도에 따른 노말 센싱동작 및 인버티드 센싱동작에 대한 타이밍도.4A and 4B are timing diagrams for the normal sensing operation and the inverted sensing operation according to FIGS. 3 and 6, respectively.

제5a,b도는 각기 제3,6도에 따른 노말 센싱 및 인버티드 센싱의 시뮬레이션 결과에 대한 그래프를 보여주는 도면.5A and 5B are graphs showing simulation results of normal sensing and inverted sensing according to FIGS. 3 and 6, respectively.

제6도는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 격리형 센스앰프의 회로도.6 is a circuit diagram of an isolated sense amplifier according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 불휘발성 반도체 메모리에 관한 것으로, 특히 낸드 셀 구조를 가지는 플래쉬 메모리의 격리형 센스앰프에 관한 것이다.The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory, and more particularly to an isolated sense amplifier of a flash memory having a NAND cell structure.

일반적으로, 컴퓨터 또는 마이크로 프로쎄서에 의해 제어되는 여러 장치들은 고밀도의 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 불휘발성 반도체 메모리(이하“EEPROM”)의 개발을 필요로 하고 있다. 더욱이, 휴대용 컴퓨터 또는 노트북 크기의 바테리 전원 시스템에서 보조 메모리 장치로서 회전 자기 디스크를 가지는 하드 디스크 장치를 사용하는 것은 상대적으로 넓은 면적을 점유하기 때문에 그러한 시스템의 설계자들은 보다 작은 면적을 점유하는 고밀도, 고성능의 EEPROM의 개발에 더욱 흥미를 가지고 있다. 이러한 고밀도, 고성능의 EEPROM을 만들기 위해서는 메모리 셀들이 점유하는 면적을 줄이는 것이 중요한 과제이다. 최근에 그러한 과제를 해결한 기술들중의 하나로서 셀당 선택 트랜지스터의 갯수와 비트라인과의 접속개구들의 갯수를 줄일 수 있는 낸드 구조로 된 셀들을 가지는 EEPROM이 본 분야에서 개발되었으며, 그러한 낸드셀 유닛들이 엔(N)형 반도체 기판에 형성된 피(P)형 웰 영역상에 형성되어진 개량된 장치구조와 이 장치 구조를 사용하는 개량된 소거 및 프로그램 기술이 또한 1990년에 발행된 Symposium on VLSI Technology, 페이지 129내지 130에서 제목 “A NAND STRECTURED CELL WITH A NEW PROGRAMMING TECHNOLOGY FOR HIGHLY RELIABLE 5V-ONLY FLASH EEPROM”하에 개시되어져 있다.In general, many devices controlled by computers or microprocessors require the development of high density electrically erasable and programmable nonvolatile semiconductor memories ("EEPROM"). Moreover, the use of hard disk devices with rotating magnetic disks as auxiliary memory devices in portable computer or notebook-sized battery power systems occupies a relatively large area, so designers of such systems have a high density, high performance that occupies smaller areas. Are more interested in the development of EEPROM. In order to make such a high density and high performance EEPROM, it is important to reduce the area occupied by memory cells. Recently, as one of the technologies to solve such a problem, an EEPROM having a NAND structured cell capable of reducing the number of select transistors per cell and the number of connection openings with a bit line has been developed in the art. The improved device structure formed on the P well region formed in the N-type semiconductor substrate and the improved erase and program technology using the device structure are also disclosed in Symposium on VLSI Technology, published in 1990, Pages 129-130 are disclosed under the heading “A NAND STRECTURED CELL WITH A NEW PROGRAMMING TECHNOLOGY FOR HIGHLY RELIABLE 5V-ONLY FLASH EEPROM”.

한편, 본 분야에서는 상기한 바와 같이 낸드 셀 구조를 가지는 EEPROM이 메모리 셀 어레이 내에 있는 메모리 트랜지스터들을 일시에 소거하는 모드를 가지고 있는 바, 이를 통상 플래쉬 메모리라고 하기도 한다.Meanwhile, in the art, as described above, an EEPROM having a NAND cell structure has a mode of temporarily erasing memory transistors in a memory cell array, which is commonly referred to as a flash memory.

그러한 플래쉬 메모리에 사용되는 센스앰프는 메모리 셀 어레이의 비트라인에 나타나는 전압을 센싱 및 증폭하는 기능을 담당한다. 통상적으로 상기 메모리의 경우, 리드동작시 선택된 셀 트랜지스터의 게이트 단자에는 OV가 인가된다.The sense amplifiers used in such flash memories are responsible for sensing and amplifying the voltages appearing on the bit lines of the memory cell array. Typically, in the memory, OV is applied to the gate terminal of the selected cell transistor during the read operation.

이때 선택된 셀이 포지티프(Positive)의 문턱전압을 가지도록 프로그램된 경우라면, 이와 연결된 비트 라인은 초기의 프리차아지 레벨을 유지하는 상태로 나타나며, 이와는 반대로 네가티브(negative)의 문턱전압을 가지게끔 소거된 셀이 선택된 경우라면 상기 비트 라인은 그라운드 레벨로 유지된다.In this case, if the selected cell is programmed to have a positive threshold voltage, the connected bit line appears to maintain the initial precharge level, and conversely, to have a negative threshold voltage. If the erased cell is selected, the bit line remains at ground level.

따라서, 상기한 바와같이 리드 동작시 선택된 셀의 문턱전압에 의해 프리차아지 레벨 또는 접지레벨로 나타나는 디벨롭된 비트라인가 레페런스 비트라인사이의 전위차를 상기 센스앰프는 증폭하는 것이다.Therefore, as described above, the sense amplifier amplifies the potential difference between the reference bit line and the developed bit line represented by the precharge level or the ground level by the threshold voltage of the selected cell during the read operation.

상기한 동작을 수행하는 종래의 센스앰프는 제1도로서 나타나 있다. 제1도를 참조하면, 접힘(Folded)비트라인 구조를 가지는 비트라인에 연결되어 증폭 기능을 하는 엔 모오스(NMOS)센스앰프부 103, 피 모오스 센스앰프부 104, 셀 어레이 101를 전기적으로 스위칭하기 위한 격리(isolation)부 102, 그리고 증폭단 비트라인을 프리 차아지 시키는 트랜지스터 소자 105, 및 입출력 게이팅 및 IO라인 106등은 센스앰프를 구성한다.A conventional sense amplifier performing the above operation is shown in FIG. Referring to FIG. 1, electrically switching an NMOS sense amplifier unit 103, a PMOS signal amplifier unit 104, and a cell array 101 that are connected to a bit line having a folded bit line structure and perform an amplification function. The isolation section 102, the transistor element 105 for precharging the amplification stage bit line, and the input / output gating and the IO line 106 constitute a sense amplifier.

상기 제1도의 센스앰프에 대한 노말센싱 동작을 제2도을 참조하여 설명한다.The normal sensing operation of the sense amplifier of FIG. 1 will be described with reference to FIG.

먼저, 제1도의 셀 어레이 101의 제1단에 연결된 비트 라인 BL1에는 소거된 셀이 선택되어 디벨롭된 전압이 나타나고, 제2단에 연결된 비트 라인 BL2에는 레퍼런스 셀이 선택되어 그에 따른 전압이 나타나는 경우라고 가정한다. 이 경우에 레퍼런스 셀은 소거된 셀과 프로그램된 셀의 전압에 대한 중간 레벨로서 설계된다.First, an erased cell is selected and a developed voltage is displayed on the bit line BL1 connected to the first end of the cell array 101 of FIG. 1, and a reference cell is selected on the bit line BL2 connected to the second end to display the voltage accordingly. Assume that this is the case. In this case the reference cell is designed as an intermediate level for the voltages of the erased and programmed cells.

상기 비트 라인 BL1,2, 이 충분히 디벨롭(develop)된 상태에서 제2도의 펄스 신호 ISO가 상기 격리부 102내의 트랜지스터를 구동시킨다. 여기서, 상기 펄스신호의 하이레벨은 전원 전압과 문턱전압의 2배의 합(Vcc+2Vt)레벨 이상으로 되어야 하는데 이는 격리 트랜스터들에 의해 상기 비트라인들의 전압이 강하되는 것을 막기위해서 이다. 따라서, 제2도의 파형 BL1,2와 같이 디벨롭된 상기 셀 어레이 101단의 비트라인들의 레벨은 파형 SBL1,2로 천이된다. 이 천이된 레벨은 전원전압 Vcc 레벨까지 프리차아지된 증폭단의 비트라인 SBL1,2상에 나타난다. 센스앰프 인에이블 신호 LA, LAB가 엔 모오스 및 피모오스 센스앰프부에 인가됨에 따라 상기 증폭단 SBL1의 전압레벨은 0볼트로 센싱되고 증폭단 SBL2의 전압레벨은 전원전압 Vcc으로 센싱된다. 이 센싱된 전압은 입출력 게이팅 및 IO라인 106에 인가된다.The pulse signal ISO of FIG. 2 drives the transistor in the isolation section 102 in the bit line BL1,2, which is sufficiently developed. Here, the high level of the pulse signal must be equal to or more than the sum (Vcc + 2Vt) level of the power supply voltage and the threshold voltage twice, to prevent the voltage of the bit lines from being dropped by the isolation transformers. Accordingly, the level of the bit lines of the cell array 101 stage developed as shown by the waveforms BL1 and 2 of FIG. 2 is shifted to the waveforms SBL1 and 2. This transition level appears on the bit lines SBL1, 2 of the amplifier stage precharged to the power supply voltage Vcc level. As the sense amplifier enable signals LA and LAB are applied to the NMOS and PMOS sense amplifier units, the voltage level of the amplifier stage SBL1 is sensed at 0 volts and the voltage level of the amplifier stage SBL2 is sensed at the power supply voltage Vcc. This sensed voltage is applied to input / output gating and IO line 106.

상기 제1,2도를 통하여 설명된 종래의 센스앰프는 비트라인 격리신호 ISO가 센싱동작시 일정한 구간을 가지는 펄스형태로 유지되어야 하고, 그 펄스의 하이레벨이 전원 전압과 문턱전압의 2배의 합(Vcc+2Vt)레벨 이상으로 되어야하는 설계상의 제약을 가진다. 또한 센싱시 셀 어레이단의 비트라인 로딩이 후단의 증폭단에 영향을 주어 센싱 스피드의 지연 및 피크 전류(peak current)의 증가문제를 초래한다. 더구나, 상기의 회로는 노말센싱 동작만을 할 뿐, 선택된 셀 데이터와는 반대의 데이터가 나오도록 센싱 동작을 수행하는 인버티드 센싱동작을 수행할 수 없는 문제점을 가지고 있어 입출력 게이팅부의 설계를 프리하게 할 수 없게 만드는 요인이 된다.In the conventional sense amplifier described with reference to FIGS. 1 and 2, the bit line isolation signal ISO must be maintained in the form of a pulse having a predetermined interval during sensing operation, and the high level of the pulse is twice the power supply voltage and the threshold voltage. There is a design constraint that must be at least the sum (Vcc + 2Vt) level. In addition, bit line loading of the cell array stage affects the amplification stage of the rear stage during sensing, causing a delay in sensing speed and an increase in peak current. In addition, the above circuit has a problem that only the normal sensing operation and the inverted sensing operation that performs the sensing operation so that the data opposite to the selected cell data can be performed can free the design of the input / output gating unit. It becomes the factor to make it impossible.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해소할 수 있는 센스앰프를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a sense amplifier that can solve the above-mentioned conventional problems.

본 발명의 다른 목적은 비트라인 격리 신호를 펄스형태로 인가함이 없이도 안정된 센싱동작을 수행할 수 있는 접힘 비트라인 구조를 가지는 불휘발성 반도체 메모리의 센스앰프를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a sense amplifier of a nonvolatile semiconductor memory having a folded bit line structure capable of performing a stable sensing operation without applying a bit line isolation signal in a pulse form.

본 발명의 또 다른 목적은 센싱동작시 메모리 셀 어레이단의 비트라인을 증폭단의 비트라인과 전기적으로 격리할 수 있는 센스앰프를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a sense amplifier that can electrically isolate a bit line of a memory cell array stage from a bit line of an amplifier stage in a sensing operation.

본 발명의 또 다른 목적은 노말센싱 동작만 뿐만 아니라 선택된 셀 데이터에 대해 반대논리의 데이터가 출력되게 센싱 동작을 수행하는 인버티드 센싱동작을 수행할 수 있는 플래쉬 메모리용 센스앰프를 제공함에 있다.Still another object of the present invention is to provide a sense amplifier for flash memory capable of performing an inverted sensing operation for performing a sensing operation to output not only normal sensing operations but also opposite logic data to selected cell data.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 센스앰프에 따르면, 접힘 비트라인 구조를 가지는 불휘발성 반도체 메모리의 센스앰프 회로에서:According to the sense amplifier of the present invention for achieving the above object, in the sense amplifier circuit of a nonvolatile semiconductor memory having a folded bit line structure:

레퍼런스 셀 및 낸드 셀 구조를 가지는 셀 어레이에 각기 연결된 제1,2비트 라인에 연결되고 센싱동작시 인가되는 격리신호에 응답하여 상기 제1,2비트라인을 전기적으로 격리시키기 위한 격리부와;An isolation unit electrically connected to the first and second bit lines respectively connected to a cell array having a reference cell and a NAND cell structure and electrically isolating the first and second bit lines in response to an isolation signal applied during a sensing operation;

입출력 게이팅부의 전단에 각기 연결된 제1,2증폭 비트라인에 연결되고 인가되는 프리차아지 및 등화신호에 응답하여 상기 제1,2증폭 비트라인을 프리차아지 및 등화하는 프리차아지 및 등화부와;A precharge and equalizer for precharging and equalizing the first and second amplified bit lines in response to precharge and equalization signals connected to and applied to the first and second amplified bit lines respectively connected to the front end of the input / output gating part; ;

상기 프리차아지 및 등화부의 전단에 위치하고 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되어 인가되는 래치전압에 따라 센싱동작을 수행하는 래치타입 센스앰프부와;A latch type sense amplifier unit positioned at a front end of the precharge and equalization unit and connected to the first and second amplified bit lines to perform a sensing operation according to an applied latch voltage;

상기 래치타입 센스앰프부와 상기 격리부간에 위치되며, 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 크로스 연결되고 그의 드레인 단자들은 각기 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결된 제1,2트랜지스터와, 센싱시작을 알리는 외부제어신호에 응답하여 상기 제1,2트랜지스터의 소오스 단자들로 미리설정된 전원전압을 각기 인가하는 제3,4트랜지스터로 이루어진 격리 래치부를 가진다.First and second transistors disposed between the latch type sense amplifier and the isolation unit, each gate terminal of which is connected to the first and second bit lines and drain terminals thereof connected to the first and second amplifying bit lines, respectively; And an isolation latch part including third and fourth transistors respectively applying a predetermined power voltage to the source terminals of the first and second transistors in response to an external control signal indicating the start of sensing.

이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 센스앰프 회로가 첨부된 도면과 함께 설명될 것이다. 첨부된 도면의 참조부호들중 동일한 참조부호는 비록 다른 도면 상에 표시되어 있더라도 가능한한 동일 구성 및 기능을 가지는 것을 가르킨다.Hereinafter, a preferred sense amplifier circuit according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals among the reference numerals in the accompanying drawings indicate that they have the same configuration and function as much as possible, even if indicated on different drawings.

그러므로, 종래의 도면에서 표기된 부호가 본 발명의 도면에 나타나 있다면 균등물 또는 대응되는 등가소자로서 이해되어야 할 것이다. 다음의 설명에서, 그러한 구성에 대한 상세한 항목들이 본 발명의 보다 철저한 이해를 제공하기 위해 자세하게 설명된다. 그러나, 당해 기술분야에 숙련된 자들에게 있어서는 본 발명이 이러한 상세한 항목들이 없이도 실시될 수 있다는 것이 명백할 것이다. 또한, 잘 알려진 기본적 소자의 특징 및 구성들은 본 발명을 모호하지 않게 하기 위해 상세히 설명하지 않는다.Therefore, if a reference numeral is shown in the drawings of the prior art will be understood as equivalents or corresponding equivalent elements. In the following description, the detailed items for such configurations are described in detail in order to provide a more thorough understanding of the present invention. However, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be practiced without these specific details. Moreover, features and configurations of well-known basic elements are not described in detail in order not to obscure the present invention.

먼저, 본 발명에 따른 센스앰프의 일예를 도시한 제3도를 참조하면, 레퍼런스 셀 및 낸드 셀 구조를 가지는 셀 어레이 101에 각기 연결된 제1,2비트라인에 연결되고 센싱동작시 인가되는 격리신호에 응답하여 상기 제1,2비트라인을 전기적으로 격리시키기 위한 격리부 102와, 입출력 게이팅부 106의 전단에 각기 연결된 제1,2증폭 비트인에 연결되고 인가되는 프리차아지 및 등화신호에 응답하여 상기 제1,2증폭 비트라인을 프리차아지 및 등화하는 프리차아지 및 등화부 206와, 상기 프리차아지 및 등화부 206의 전단에 위치하고 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되어 인가되는 래치전압에 따라 센싱동작을 수행하는 래치타입 센스앰프부 103,104와, 상기 래치타입 센스앰프부 103와 상기 격리부 102간에 위치되며 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 크로스 연결되고 그의 드레인 단자들은 각기 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되며 소오스 단자들은 외부제어신호에 응답되어진 미리설정된 전원전압을 각기 수신하는 제1,2트랜지스터 N1,N2로 이루어진 격리 래치부 203로 구성된다. 여기서, 상기 미리 설정된 전원 전압 VSA은 상기 외부제어신호 PISA에 따라 구동되는 엔 모오스 트랜지스터들 N3,N4에 의해 제공된다.First, referring to FIG. 3 illustrating an example of a sense amplifier according to the present invention, an isolation signal connected to first and second bit lines respectively connected to a cell array 101 having a reference cell and a NAND cell structure and applied during a sensing operation is provided. In response to the precharge and equalization signals connected to and applied to the isolation section 102 for electrically isolating the first and second bit lines, and to the first and second amplification bits, respectively connected to the front end of the input / output gating section 106. Precharge and equalizer 206 for precharging and equalizing the first and second amplified bit lines, and placed in front of the precharge and equalizer 206 and connected to and applied to the first and second amplified bit lines. A latch type sense amplifier unit 103 and 104 and a latch type sense amplifier unit 103 and the isolation unit 102 which perform a sensing operation according to a latch voltage are located, and each gate terminal is cross-connected to the first and second bit lines. And its drain terminals are respectively connected to the first and second amplification bit lines, and the source terminals are isolated latch portions 203 made up of first and second transistors N1 and N2 respectively receiving a predetermined power supply voltage in response to an external control signal. It is composed. Here, the preset power supply voltage VSA is provided by enMOS transistors N3 and N4 driven according to the external control signal PISA.

본 발명에 따른 센스앰프의 다른 일예를 도시한 제6도를 참조하면, 격리부 102, 프리차아지 및 등화부 206, 래치타입 센스앰프부 103,104, 및 래치타입 센스앰프부 103는 상기 제3도의 구성과 동일하게 되어 있으며, 상기 센스앰프부 103는 상기 제3도의 구성과 동일하게 되어 있으며, 상기 센스앰프부 103와 격리부 102간에 위치되며 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 대응되어 연결되고 그의 드레인 단자들은 각기 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되며 소오스 단자들은 외부제어신호에 응답되어진 미리설정된 전원전압을 각기 수신하는 제1,2트랜지스터 N1,N2로 이루어진 격리 래치부 203로 구성된다. 여기서, 상기 미리 설정된 전원 전압 VSA은 상기 외부제어신호 PISA에 따라 구동되는 엔 모오스 트랜지스터들 N3,N4에 의해 제공된다.Referring to FIG. 6 showing another example of the sense amplifier according to the present invention, the isolation unit 102, the precharge and equalization unit 206, the latch type sense amplifier unit 103, 104, and the latch type sense amplifier unit 103 are shown in FIG. The sense amplifier section 103 has the same configuration as that of FIG. 3, and is located between the sense amplifier section 103 and the isolation section 102, and each gate terminal corresponds to the first and second bit lines. And the drain terminals thereof are respectively connected to the first and second amplification bit lines, and the source terminals of the first and second transistors N1 and N2 respectively receive a predetermined power supply voltage in response to an external control signal. It consists of. Here, the preset power supply voltage VSA is provided by enMOS transistors N3 and N4 driven according to the external control signal PISA.

상기 제3도와 같이 구성된 센스앰프의 동작을 제4,5도를 참조하여 이하에서 설명한다. 먼저, 제4a도를 참조하여 노말 센싱동작을 보면, 제1,2증폭 비트라인 SBL1,2는 프리차아지 및 등화부 206내의 엔형 모오스 트랜지스터에 의해 전원전압 Vcc 레벨로 프리차아지 된다. 또한, 상기 외부제어신호 PISA에 의해 인가되는 상기 미리 설정된 전원전압 VSA는 OV로서 인가된다. 래치신호 LA, LAB는 모두 전원전압 Vcc레벨로 프리차아지된다. 이러한 초기조건하에서 상기 제1,2비트라인들중의 하나가 워드라인 제어신호에 의해 선택된 셀의 상태에 따라 디벨롭되면, 제4a도에서와 같이 일정시간 이후에 상기 디벨롭된 비트 라인 및 레퍼렌스 비트라인간의 전위차를 센싱하는 동작이 시작된다. 따라서, 외부제어신호 PISA가 하이로 천이됨에 의해 트랜지스터 N3,4가 턴온되며, 래치형 센스앰프 103,104는 센싱 동작을 시작한다. 여기서, 상기 신호 PISA는 센싱이후 디벨롭된 상기 제1,2비트라인들 BL1, BL2의 게이트 바이어스에 의해 유발되는 제1,2증폭 비트라인 SBL1, SBL2의 접지 DC 전류패스를 방지하고자 일정시간 뒤에는 디스에이블되는 신호이다. 또한, 비트라인 격리신호 ISO를 계속 로우레벨로 디스에이블시켜 비트 라인 로딩이 완전히 배재된 상태에서 상기 SBL1,2라인을 디벨롭하는 것이 좋다. 여기서, 상기 제1,2증폭 비트라인 SBL1,2 라인는 Vcc로, VSA는 그라운드로 프리차아지 또는 스위칭되어있는 상태에서 센싱동작을 수행하게 되므로, BL1이 OV로, Bl2가 레퍼런스 레벨로 디벨롭되는 온 셀 데이터의 센싱인 경우 상기 라인 SBL1는 OV로, SBL2는 Vcc로 디벨롭되어 셀 데이터와 동일한 위상 데이터가 억세스된다.The operation of the sense amplifier configured as shown in FIG. 3 will be described below with reference to FIGS. 4 and 5. First, referring to FIG. 4A, in the normal sensing operation, the first and second amplified bit lines SBL1 and 2 are precharged to the power supply voltage Vcc level by the N-type transistor in the precharge and equalizer 206. In addition, the preset power supply voltage VSA applied by the external control signal PISA is applied as OV. The latch signals LA and LAB are both precharged to the power supply voltage Vcc level. Under this initial condition, if one of the first and second bit lines is developed according to the state of the cell selected by the word line control signal, the developed bit line and the referer after a predetermined time as shown in FIG. 4A. The operation of sensing the potential difference between the lance bit lines is started. Accordingly, the transistors N3 and 4 are turned on by the external control signal PISA transitioning high, and the latch type sense amplifiers 103 and 104 start a sensing operation. Here, the signal PISA is a predetermined time later to prevent the ground DC current path of the first and second amplified bit lines SBL1 and SBL2 caused by the gate bias of the first and second bit lines BL1 and BL2 which are developed after sensing. The signal is disabled. In addition, it is preferable to continuously disable the bit line isolation signal ISO to low level to develop the SBL1 and 2 lines in a state where the bit line loading is completely excluded. In this case, the first and second amplified bit lines SBL1 and 2 are sensed as Vcc and VSA is precharged or switched to ground, so that BL1 is developed to OV and Bl2 is developed to a reference level. In the case of sensing on-cell data, the line SBL1 is developed with OV and SBL2 is developed with Vcc to access the same phase data as the cell data.

다음에, 인버티드 센싱동작을 제4b도를 참조하여 살펴보면, 제1,2증폭 비트라인 SBL1,2를 상기 프리차아지 및 등화부 206를 통해 OV로 디스차아지 시키고 VSA에는 Vcc를 인가하고 LA, LAB는 둘다 OV로 디스차아지된 초기 조건하에서 상기한 동작은 수행된다. 이 경우에도 상기 노말일때와 유사한 센싱동작을 수행하므로 BL1이 OV로, BL2가 레퍼런스 레벨로 디벨롭되는 온 셀(erased 셀)데이타 센싱인 경우 상기 SBL1은 Vcc로, SBL2는 OV로 디벨롭되어 셀 데이터와 정반대의 위상의 데이터가 억세스된다.Next, the inverted sensing operation will be described with reference to FIG. 4b. The first and second amplified bit lines SBL1 and 2 are discharged to OV through the precharge and equalizer 206 and Vcc is applied to the VSA and LA. The above operation is performed under an initial condition where both LABs are charged to OV. In this case, since the sensing operation similar to the normal operation is performed, when BL1 is an OV, BL2 is an on-cell (erased cell) data sensing that is developed at a reference level, SBL1 is developed into Vcc and SBL2 is developed into OV. The data of the phase opposite to the data is accessed.

제5a,b도에는 각기 제3도에 따른 노말 센싱 및 인버티드 센싱의 시뮬레이션 결과에 대한 그래프가 도시된다. 전원전압 Vcc은 3.8V, 온도는 -5도씨 일 때 노말 및 인버티드 센싱에 대한 각 라인의 파형은 상기 제3도의 라인 번호와 대응되어 나타나 있다. 따라서, 종래에 비해 제3도는 센싱동작시 셀 어레이부의 비트 라인이 전기적으로 격리되므로 센싱 스피드 및 피크 전류가 현저히 감소함을 알 수 있다.5a and b are graphs showing simulation results of normal sensing and inverted sensing according to FIG. 3, respectively. When the power supply voltage Vcc is 3.8V and the temperature is -5 ° C, the waveform of each line for normal and inverted sensing is shown corresponding to the line number in FIG. Accordingly, in FIG. 3, since the bit lines of the cell array unit are electrically isolated during the sensing operation, the sensing speed and the peak current are significantly reduced.

한편, 상기 제6도와 같이 구성된 센스앰프의 동작을 제4,5도를 참조하여 이하에서 설명한다. 먼저, 제4a도를 참조하여 인버티드 센싱동작을 보면, 제1,2증폭 비트라인 SBL1,2는 프리차아지 및 등화부 206내의 엔형 모오스 트랜지스터에 의해 전원전압 Vcc 레벨로 프리차아지 된다. 또한, 상기 외부제어신호 PISA에 의해 인가되는 상기 미리 설정된 전원전압 VSA는 OV로서 인가된다. 래치신호 LA, LAB는 모두 전원전압 Vcc레벨로 프리차아지된다. 이러한 초기조건하에서 상기 제1,2비트라인들중의 하나가 워드라인 제어신호에 의해 선택된 셀의 상태에 따라 디벨롭되면, 제4a도에서와 같이 일정시간 이후에 상기 디벨롭된 비트 라인 및 레퍼렌스 비트라인간의 전이차를 센싱하는 동작이 시작된다. 따라서, 외부제어신호 PISA가 하이로 천이됨에 의해 트랜지스터 N3,4가 턴온되며, 래치형 센스앰프 103,104는 센싱동작을 시작한다. 여기서, 상기 신호 PISA는 센싱이후 디벨롭된 상기 제1,2비트라인들 BL1, BL2의 게이트 바이어스에 의해 유발되는 제1,2증폭 비트라인 SBL1, SBL2의 접지 DC 전류패스를 방지하고자 일정시간 뒤에는 디스에이블되는 신호이다. 또한, 비트라인 격리신호 ISO를 계속 로우레벨로 디스에이블시켜 비트 라인 로딩이 완전히 배제된 상태에서 상기 SBL1,2라인을 디벨롭하는 것이 좋다. 여기서, 상기 제1,2증폭 비트라인 SBL1,2는 Vcc로, VSA는 그라운드로 프리차아지 또는 스위칭되어있는 상태에서 센싱동작을 수행하게 되므로, BL1이 OV로, BL2가 레퍼런스 레벨로 디벨롭되는 온 셀 데이터의 센싱인 경우 상기라인 SBL1은 Vcc로, SBL2는 OV로 디벨롭되어 셀 데이터와 반대의 위상 데이터가 억세스된다.Meanwhile, the operation of the sense amplifier configured as shown in FIG. 6 will be described below with reference to FIGS. 4 and 5. First, referring to FIG. 4A, when the inverted sensing operation is performed, the first and second amplified bit lines SBL1 and 2 are precharged to the power supply voltage Vcc level by the N-type transistor in the precharge and equalizer 206. In addition, the preset power supply voltage VSA applied by the external control signal PISA is applied as OV. The latch signals LA and LAB are both precharged to the power supply voltage Vcc level. Under this initial condition, if one of the first and second bit lines is developed according to the state of the cell selected by the word line control signal, the developed bit line and the referer after a predetermined time as shown in FIG. 4A. The operation of sensing the transition difference between the lance bit lines is started. Accordingly, the transistors N3 and 4 are turned on by the external control signal PISA transitioning high, and the latch type sense amplifiers 103 and 104 start a sensing operation. Here, the signal PISA is a predetermined time later to prevent the ground DC current path of the first and second amplified bit lines SBL1 and SBL2 caused by the gate bias of the first and second bit lines BL1 and BL2 which are developed after sensing. The signal is disabled. In addition, it is preferable to continuously disable the bit line isolation signal ISO to low level to develop the SBL1, 2 lines in a state where the bit line loading is completely excluded. In this case, the first and second amplified bit lines SBL1 and 2 are sensed at Vcc, and the VSA is precharged or switched to ground, so that BL1 is OV and BL2 is developed at a reference level. In the case of sensing on-cell data, the line SBL1 is developed to Vcc and SBL2 to OV to access phase data opposite to the cell data.

다음에, 노말 센싱동작을 제4b도를 참조하여 살펴보면, 제1,2증폭 비트라인 SBL1,2를 상기 프리차아지 및 등화부 206를 통해 OV로 디스차아지 시키고 VSA에는 Vcc를 인가하고 LA, LAB는 둘다 OV로 디스차아지된 초기 조건하에서 상기한 동작은 수행된다. 이 경우에도 상기 노말일때와 유사한 센싱동작을 수행하므로 BL1이 OV로, BL2가 레퍼런스 레벨로 디벨롭되는 온 셀(erased 셀)데이타 센싱인 경우 상기 SBL1은 OV로, SBL2는 Vcc로 디벨롭되어 셀 데이터와 동일한 위상의 데이터가 억세스된다.Next, the normal sensing operation will be described with reference to FIG. 4b. The first and second amplified bit lines SBL1 and 2 are discharged to OV through the precharge and equalizer 206 and Vcc is applied to the VSA, and LA, The above operations are performed under an initial condition where both LABs are charged to OV. In this case, since the sensing operation similar to the normal operation is performed, when BL1 is OV, BL2 is on-cell (erased cell) data sensing at the reference level, SBL1 is OV and SBL2 is developed at Vcc. Data on the same phase as the data is accessed.

제5a,b도에는 각기 제6도에 따른 인버티드 센싱 및 노말 센싱의 시뮬레이션 결과에 대한 그래프가 도시된다. 전원전압 Vcc은 3.8V, 온도는 -5도씨 일때 인버티드 센싱 및 노말 센싱에 대한 각 라인의 파형은 상기 제6도의 라인 번호와 대응되어 나타나 있다. 따라서, 종래에 비해 제6도는 센싱동작시 셀 어레이부의 비트라인이 전기적으로 격리되므로 센싱 스피등 및 피크 전류가 현저히 감소함을 알 수 있다.5a and b are graphs showing simulation results of inverted and normal sensing according to FIG. 6, respectively. When the power supply voltage Vcc is 3.8V and the temperature is -5 ° C, the waveform of each line for inverted sensing and normal sensing is shown corresponding to the line number of FIG. Accordingly, it can be seen that FIG. 6 shows that the bit line of the cell array unit is electrically isolated during the sensing operation, thereby significantly reducing the sensing speed and the peak current.

상술한 바와 같이, 본 발명의 센스앰프에 따르면 비트라인 격리 신호를 펄스형태로 인가함이 없이도 안정된 센싱동작을 수행할 수 있는 효과가 있다. 또한, 센싱동작시 메모리 셀 어레이단의 비트라인을 증폭단의 비트라인과 전기적으로 격리할 수 있어 센싱 스피드의 증가 및 피크전류의 감소이점을 가진다. 더구나, 노말센싱 동작 뿐만 아니라 선택된 셀 데이터에 대해 반대논리의 데이터가 출력되게 센싱 동작을 수행하는 인버티드 센싱동자글 수행할 수 있어 설계상의 응용을 자유롭게 할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the sense amplifier of the present invention, it is possible to perform a stable sensing operation without applying the bit line isolation signal in the form of a pulse. In addition, in the sensing operation, the bit line of the memory cell array stage may be electrically isolated from the bit line of the amplifying stage, thereby increasing the sensing speed and reducing the peak current. In addition, it is possible to perform an inverted sensing operation that performs not only the normal sensing operation but also the sensing operation so that the data of the opposite logic is output to the selected cell data.

Claims (8)

접힘 비트라인 구조를 가지는 불휘발성 반도체 메모리의 센스앰프 회로에 있어서: 레퍼런스 셀 및 낸드 셀 구조를 가지는 셀 어레이에 각기 연결된 제1,2비트라인에 연결되고 센싱동작시 인가되는 격리신호에 응답하여 상기 제1,2비트라인을 전기적으로 격리시키기 위한 격리부와; 입출력 게이팅부의 전단에 각기 연결된 제1,2증폭 비트라인에 연결되고 인가되는 프리차아지 및 등화신호에 응답하여 상기 제1,2 증폭 비트라인을 프리차아지 및 등화하는 프리차아지 및 등화부와; 상기 프리차아지 및 등화부의 전단에 위치하고 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되어 인가되는 래치전압에 따라 센싱동작을 수행하는 래치타입 센스앰프부와; 상기 래치타입 센스앰프부와 상기 격리부간에 위치되며, 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 크로스 연결되고 그의 드레인 단자들은 각기 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결된 제1,2트랜지스터와, 센싱시작을 알리는 외부제어신호에 응답하여 상기 제1.2트랜지스터의 소오스 단자들로 미리설정된 전원전압을 각기 인가하는 제3,4트랜지스터로 이루어진 격리 래치부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로.A sense amplifier circuit of a nonvolatile semiconductor memory having a folded bit line structure, the sense amplifier circuit comprising: in response to an isolation signal connected to first and second bit lines respectively connected to a cell array having a reference cell and a NAND cell structure and applied during a sensing operation; An isolation portion for electrically isolating the first and second bit lines; A precharge and equalizer for precharging and equalizing the first and second amplified bit lines in response to precharge and equalization signals connected to and applied to the first and second amplified bit lines respectively connected to the front end of the input / output gating part; ; A latch type sense amplifier unit positioned at a front end of the precharge and equalization unit and connected to the first and second amplified bit lines to perform a sensing operation according to an applied latch voltage; First and second transistors disposed between the latch type sense amplifier and the isolation unit, each gate terminal of which is connected to the first and second bit lines and drain terminals thereof connected to the first and second amplifying bit lines, respectively; And an isolation latch part including third and fourth transistors respectively applying a predetermined power voltage to source terminals of the 1.2 transistor in response to an external control signal indicating the start of sensing. 제1항에 있어서, 상기 격리부는 상기 제1,2비트라인에 각기 드레인단자가 연결된 N형 모오스 트랜지스터들로 구성되며 센싱동작시 상기 트랜지스터들의 게이트에 는 OV가 인가되는 것을 특징으로 하는 회로.The circuit of claim 1, wherein the isolation unit comprises N-type MOS transistors having drain terminals connected to the first and second bit lines, and OV is applied to gates of the transistors during a sensing operation. 제1항에 있어서, 상기 격리 래치부의 제1,2트랜지스터는 N형 모오스 트랜지스터들로 구성된 것을 특징으로 하는 회로.The circuit of claim 1, wherein the first and second transistors of the isolation latch unit are formed of N-type transistors. 제1항에 있어서, 상기 외부 제어신호는 센싱시 하이 레벨로 엔에이블되는 신호임을 특징으로 하는 회로.The circuit of claim 1, wherein the external control signal is a signal enabled at a high level when sensing. 제1항에 있어서, 상기 래치타임 센스앰프는 PMOS와 NMOS 트랜지스터의 래치형태로 구성되며, 이들의 인에이블 신호의 초기 레벨은 노말 센싱일때는 모두 전원전압 또는 OV의 전압을 가짐을 특징으로 하는 회로.The circuit of claim 1, wherein the latch time sense amplifiers are configured in the form of latches of PMOS and NMOS transistors, and the initial levels of the enable signals have a power supply voltage or an OV voltage when normal sensing is performed. . 제5항에 있어서, 상기 인에이블 신호의 초기 레벨은 인버티드 센싱일때는 모두 상기 노말센싱과는 반대의 전압을 가지며, 그의 인에이블 시점은 상기 격리 래치부의 소오스단에 전압이 인가되는 시점과 동시 또는 그 이후로 됨을 특징으로 하는 회로.6. The method of claim 5, wherein the initial level of the enable signal has a voltage opposite to that of the normal sensing when inverted sensing, and the enable timing is concurrent with the time when the voltage is applied to the source terminal of the isolation latch unit. Or after that circuit. 접힘 비트라인 구조를 가지는 플래쉬 메모리의 센스앰프에 있어서: 낸드구조 셀 어레이에 각기 연결된 제1,2비트라인에 연결되고 센싱동작시 인가되는 격리신호에 응답하여 상기 제1,2비트라인을 전기적으로 격리시키기 위한 격리부와; 입출력 게이팅부의 전단에 각기 연결된 제1,2증폭 비트라인에 연결되고 인가되는 프리차아지 및 등화신호에 응답하여 상기 제1,2증폭 비트라인을 프리차아지 및 등화하는 프리차아지 및 등화부와; 상기 프리차아지 및 등화부의 전단에 위치하고 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되어 인가되는 래치전압에 따라 센싱동작을 수행하는 래치타입 센스앰프부와; 상기 래치타입 센스앰프부와 상기 격리부간에 위치되며 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 크로스 연결되고 그의 드레인 단자들은 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되며 소오스 단자들은 외부제어신호에 응답되어진 미리설정된 전원전압을 각기 수신하는 제1,2트랜지스터 및 상기 제1,2트랜지스터의 드레인단자들에 각기 연결되어 상기 전원전압을 제공하는 전류소오스 소자로 이루어진 격리 래치수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 센스앰프.A sense amplifier of a flash memory having a folded bit line structure, the sense amplifier comprising: electrically connecting the first and second bit lines in response to an isolation signal applied to a first and second bit lines respectively connected to a NAND structure cell array and applied during a sensing operation. An isolation section for isolation; A precharge and equalizer for precharging and equalizing the first and second amplified bit lines in response to precharge and equalization signals connected to and applied to the first and second amplified bit lines respectively connected to the front end of the input / output gating part; ; A latch type sense amplifier unit positioned at a front end of the precharge and equalization unit and connected to the first and second amplified bit lines to perform a sensing operation according to an applied latch voltage; Located between the latch type sense amplifier and the isolation unit, each gate terminal is cross-connected to the first and second bit lines, drain terminals thereof are connected to the first and second amplified bit lines, and source terminals are external control signals. And an isolation latch means comprising first and second transistors respectively receiving a predetermined power supply voltage responsive to the first and second drain terminals of the first and second transistors, respectively, to supply the power supply voltage. Sense amp. 접힘 비트라인 구조를 가지는 불휘발성 반도체 메모리의 센스앰프 회로에 있어서: 레퍼런스 셀 및 낸드 셀 구조를 가지는 셀 어레이에 각기 연결된 제1,2비트 라인에 연결되고 센싱동작시 인가되는 격리신호에 응답하여 상기 제1,2비트라인을 전기적으로 격리시키기 위한 격리부와; 입출력 게이팅부의 전단에 각기 연결된 제1,2증폭 비트라인에 연결되고 인가되는 프리차아지 및 등화신호에 응답하여 상기 제1,2증폭 비트라인을 프리차아지 및 등화하는 프리차아지 및 등화부와; 상기 프리차아지 및 등화부의 전단에 위치하고 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결되어 인가되는 래치전압에 따라 센싱동작을 수행하는 래치타입 센스앰프부와; 상기 래치타입 센스앰프부와 상기 격리부간에 위치되며 상기 제1,2비트라인에 각각의 게이트단자가 대응되어 연결되고 그의 드레인 단자들은 각기 상기 제1,2증폭 비트라인에 연결된 제1,2트랜지스터와, 센싱시작을 알리는 외부제어신호에 응답하여 상기 제1,2트랜지스터의 소오스 단자들로 미리설정된 전원전압을 각기 인가하는 제3,4트랜지스터로 이루어진 격리 래치부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로.A sense amplifier circuit of a nonvolatile semiconductor memory having a folded bit line structure, the sense amplifier circuit comprising: in response to an isolation signal connected to first and second bit lines respectively connected to a cell array having a reference cell and a NAND cell structure and applied during a sensing operation; An isolation portion for electrically isolating the first and second bit lines; A precharge and equalizer for precharging and equalizing the first and second amplified bit lines in response to precharge and equalization signals connected to and applied to the first and second amplified bit lines respectively connected to the front end of the input / output gating part; ; A latch type sense amplifier unit positioned at a front end of the precharge and equalization unit and connected to the first and second amplified bit lines to perform a sensing operation according to an applied latch voltage; First and second transistors disposed between the latch type sense amplifier and the isolation unit, the gate terminals corresponding to the first and second bit lines, and the drain terminals thereof respectively connected to the first and second amplification bit lines. And an isolation latch part comprising third and fourth transistors respectively applying a predetermined power voltage to source terminals of the first and second transistors in response to an external control signal indicating the start of sensing.
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