KR100186741B1 - Exposure apparatus of semiconductor device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체의 노광 장치에 관한 것으로, 종래에는 광원인 수은 램프가 어느 정도 틀어졌는지 알 수가 없고 육안으로 램프의 위치를 확인하고 손으로 램프 조절봉을 회전시켜야 하므로, 램프의 위치를 정확하게 변경하기가 힘들고 여러번 시행 착오를 거친 후에야 조도 및 조도 분포의 규정에 들어오도록 할 수 있는 불편함이 있었던 바, 본 발명의 반도체의 노광 장치는 광원인 수은 램프와, 상기 수은 램프에서 나온 빛을 통과시키는 제2콘덴서 렌즈와, 상기 제2콘덴서 렌즈의 하단에 설치되는 조도 측정기와, 패턴이 형성된 마스크와, 조사된 패턴을 축소시키는 축소 렌즈와, 패턴이 결상되는 웨이퍼를 받치는 웨이퍼 스테이지와, 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되는 조도 및 조도 분포 측정기와, 상기 수은 램프가 설치되는 램프 고정 플레이트와, 상기 램프 고정 플레이트를 자동으로 이동시켜 상기 수은 램프의 위치를 보정하도록 설치되는 램프 조절부와, 상기 조도 및 조도 분포 측정기에서 측정된 데이타를 계산하여 상기 램프 조절부를 구동시키는 조도 및 조도 분포 계산부와, 상기 조도 및 조도 분포 계산부와 메인 씨. 피. 유(CPU)를 연결하는 인터 페이스부를 포함하여 구성됨으로써, 수은 램프의 위치를 자동으로 보정하므로 램프 교환 시간이 단축되며, 매일 장비 확인시 좋은 상태를 유지하여 생산시간을 연장시킬 수 있게 한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus of a semiconductor. In the related art, it is not possible to know how much a mercury lamp, which is a light source, is turned on. Has been inconvenient to enter the definition of the illuminance and illuminance distribution only after difficult and many trials and errors, the exposure apparatus of the semiconductor of the present invention is a mercury lamp which is a light source, and the agent for passing the light from the mercury lamp A two-condenser lens, an illuminance meter provided at the lower end of the second condenser lens, a mask on which a pattern is formed, a reduction lens for reducing the irradiated pattern, a wafer stage supporting a wafer on which the pattern is formed, and the wafer stage Installed illuminance and illuminance distribution meter, lamp fixing plate on which the mercury lamp is installed, and A lamp control unit installed to automatically move a lamp fixing plate to correct the position of the mercury lamp, an illuminance and illuminance distribution calculation unit which calculates data measured by the illuminance and illuminance distribution meter to drive the lamp control unit; The illuminance and illuminance distribution calculation unit and Mr. Main. blood. It is configured to include an interface to connect the oil (CPU), so that the position of the mercury lamp is automatically corrected to shorten the lamp replacement time, it is possible to extend the production time by maintaining a good state when checking the equipment every day.

Description

반도체의 노광 장치Semiconductor exposure apparatus

본 발명은 반도체의 노광 장치에 관한 것으로, 특히 램프의 위치를 자동으로 보정하여 램프 교환시 시간이 단축되며 매일 장비를 확인할 때 좋은 상태를 유지하여 생산 시간을 연장시킬 수 있는 반도체의 노광 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exposure apparatus for semiconductors, and more particularly, to an exposure apparatus for semiconductors that can automatically correct the position of a lamp to shorten the time for lamp replacement and to extend the production time by maintaining a good state when checking equipment daily. will be.

종래의 반도체의 노광 장치는, 제1도에 도시한 바와 같이, 광원인 수은 램프(1)와, 상기 수은 램프(1)에서 나온 빛을 통과시키는 제1콘덴서 렌즈(2)와, 플라이 아이렌즈(3)와, 제2콘덴서 렌즈(4)와, 패턴이 형성된 마스크(5)와, 조사된 패턴을 축소시키는 축소 렌즈(9)와, 패턴이 결상되는 웨이퍼(6)를 받치는 웨이퍼 스테이지(10)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, a conventional semiconductor exposure apparatus includes a mercury lamp 1 as a light source, a first condenser lens 2 through which light from the mercury lamp 1 passes, and a fly eye lens. (3), the second capacitor lens 4, the mask 5 on which the pattern is formed, the reduction lens 9 for reducing the irradiated pattern, and the wafer stage 10 supporting the wafer 6 on which the pattern is formed. It is configured to include).

상기 제2콘덴서 렌즈(4)와 마스크(5) 사이에는 조도 측정기(8)가 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지(10)에는 조도 및 조도 분포 측정기(11)가 설치된다.An illuminance measuring instrument 8 is provided between the second capacitor lens 4 and the mask 5, and an illuminance and illuminance distribution measuring instrument 11 is provided on the wafer stage 10.

상기와 같은 구성의 종래의 반도체의 노광 장치는, 제2도에 도시한 바와 같이, 상기 수은 램프(1) 위치에 의하여 조도 및 조도 분포를 조절할 수 있도록 램프 조절부(7)가 설치된다.In the conventional exposure apparatus of the semiconductor having the above-described configuration, as shown in FIG. 2, a lamp control unit 7 is provided so that the illuminance and illuminance distribution can be adjusted by the position of the mercury lamp 1.

상기 램프 조절부(7)의 상부에는 수은 램프(1) 위치를 확인 할 수 있도록 좌우에 아크 모니터(12)가 설치되어 있다.The upper part of the lamp control unit 7 is provided with an arc monitor 12 on the left and right to check the position of the mercury lamp (1).

상기 램프 조절부(7)은, 제3도 내지 제4도에 도시한 바와 같이, 수은 램프(1)를 받치고 있는 램프 고정 플레이트(14)와 연결되어 상하, 전후, 좌우의 방향으로 움직이도록 설치된 조절 스크류(15a,15b,15c)와, 상기 조절 스크류(15a,15b,15c)에 연결되어 수동으로 조절 스크류(15a,15b,15c)를 회전시켜 상기 램프 고정 플레이트(14)를 조절하는 램프 조절봉(13a,13b,13c)으로 구성된다.As shown in FIGS. 3 to 4, the lamp control unit 7 is connected to the lamp fixing plate 14 which supports the mercury lamp 1 and installed to move in the up, down, front and rear directions. Lamp adjustment, which is connected to the adjustment screws 15a, 15b and 15c and the adjustment screws 15a, 15b and 15c and manually adjusts the lamp fixing plate 14 by rotating the adjustment screws 15a, 15b and 15c. It consists of the rods 13a, 13b, 13c.

상기와 같은 구성의 반도체의 노광 장치는 상기 아크 모니터(12)를 눈으로 보면서 램프 조절부(7)의 램프 조절봉(13a,13b,13c)을 손으로 돌려 조절 스크류(15a,15b,15c)를 회전시켜 이 회전력을 전달받은 램프 고정 플레이트(14)가 움직여 수은 램프(1)의 위치를 조절하게 된다.The exposure apparatus of the semiconductor having the above-described configuration rotates the lamp control rods 13a, 13b, and 13c of the lamp control unit 7 by hand while looking at the arc monitor 12 with the eyes, and adjusts the screws 15a, 15b, and 15c. Rotating the lamp fixing plate 14 received this rotational force is moved to adjust the position of the mercury lamp (1).

상기와 같은 종래의 반도체의 노광 장치는 광원인 수은 램프(1)의 위치에 따라서 조도 및 조도 분포가 결정되는데, 램프(1)의 사용 시간의 증가와 램프 고정 플레이트(14)의 열화 등에 의하여 램프(1)의 위치가 틀어지게 되므로 램프(1)의 위치를 수시로 조절하여 램프(1)의 조도와 조도 분포를 확인해 주어야 한다.In the exposure apparatus of the conventional semiconductor as described above, illuminance and illuminance distribution are determined according to the position of the mercury lamp 1, which is a light source, and the lamp is increased due to an increase in the use time of the lamp 1 and deterioration of the lamp fixing plate 14. Since the position of (1) is distorted, the position of the lamp 1 should be adjusted at any time to confirm the illuminance and illuminance distribution of the lamp 1.

그러나, 램프(1)가 어느 정도 틀어졌는지 알 수가 없고 육안으로 램프(1)의 위치를 확인하고 손으로 램프 조절봉(13a,13b,13c)을 회전시켜야 하므로, 램프(1)의 위치를 정확하게 변경하기가 힘들고 여러번 시행착오를 거친 후에야 조도 및 조도 분포의 규정에 들어오도록 할 수 있는 불편함이 있었던 바, 이에 대한 보완이 요구되어 왔다.However, since it is impossible to know how much the lamp 1 is twisted, it is necessary to visually check the position of the lamp 1 and to rotate the lamp adjusting rods 13a, 13b, and 13c by hand. Since it was difficult to change and after several trials and errors, it was inconvenient to enter the regulation of illuminance and illuminance distribution.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 램프 조절봉에 구동용 모터를 장착하고 조도 측정기에서 측정된 데이타로 모터를 구동시킴으로써, 램프의 위치를 자동으로 보정하므로 램프 교환시 시간이 단축되며 매일 장비 확인시 좋은 상태를 유지하여 생산 시간을 연장시킬 수 있는 반도체의 노광 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, by mounting a driving motor to the lamp control rod and driving the motor with the data measured by the illuminance meter, so that the lamp position is automatically corrected, so the time of lamp replacement The purpose of this is to provide a semiconductor exposure apparatus that can be shortened and can extend the production time by maintaining a good state during daily equipment check.

제1도는 종래의 반도체의 노광 장치를 도시한 분해 사시도.1 is an exploded perspective view showing an exposure apparatus of a conventional semiconductor.

제2도는 종래의 반도체의 노광 장치를 도시한 사시도.2 is a perspective view showing an exposure apparatus of a conventional semiconductor.

제3도는 종래의 반도체 노광 장치를 도시한 부분 종단면도.3 is a partial longitudinal cross-sectional view showing a conventional semiconductor exposure apparatus.

제4도는 종래의 램프 조절부를 도시한 부분 종단면도.4 is a partial longitudinal cross-sectional view showing a conventional lamp control unit.

제5도는 본 발명의 램프 조절부를 도시한 부분 종단면도.5 is a partial longitudinal cross-sectional view showing the lamp control of the present invention.

제6도는 본 발명의 블록 선도.6 is a block diagram of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

20 : 램프 조절부 21 : 램프 고정 플레이트20: lamp control unit 21: lamp fixing plate

22a, 22b, 22c : 조절 스크류 23a, 23b, 23c : 램프 조절봉22a, 22b, 22c: adjusting screw 23a, 23b, 23c: lamp adjusting rod

24a, 24b, 24c : 모터 25b, 25c : 포토 센서24a, 24b, 24c: motor 25b, 25c: photo sensor

26b, 26c : 센서 감지 플레이트26b, 26c: sensor sensing plate

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 광원인 수은 램프와, 상기 수은 램프에서 나온 빛을 통과시키는 제2콘덴서 렌즈와, 상기 제2콘덴서 렌즈의 하단에 설치되는 조도 측정기와, 패턴이 형성된 마스크와, 조사된 패턴을 축소시키는 축소 렌즈와, 패턴이 결상되는 웨이퍼를 받치는 웨이퍼 스테이지와, 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되는 조도 및 조도 분포 측정기와, 상기 수은 램프가 설치되는 램프 고정 플레이트와, 상기 램프 고정 플레이트를 자동으로 이동시켜 상기 수은 램프의 위치를 보정하도록 설치되는 램프 조절부와, 상기 조도 및 조도 분포 측정기에서 측정된 데이타를 계산하여 상기 램프 조절부를 구동시키는 조도 및 조도 분포 계산부와 상기 조도 및 조도 분포 계산부와 메인 씨. 피. 유(CPU)를 연결하는 인터페이스부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 노광 장치가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a mercury lamp as a light source, a second condenser lens through which light from the mercury lamp passes, an illuminance meter installed at a lower end of the second condenser lens, and a patterned mask. And a reduction lens for reducing the irradiated pattern, a wafer stage supporting the wafer on which the pattern is formed, an illuminance and illuminance distribution measuring instrument provided on the wafer stage, a lamp fixing plate on which the mercury lamp is installed, and the lamp fixing A lamp control unit installed to automatically move a plate to correct the position of the mercury lamp, an illuminance and illuminance distribution calculator and the illuminance and the illuminance and illuminance distribution calculator for calculating the data measured by the illuminance and illuminance distribution measuring instrument to drive the lamp control unit; Illuminance distribution calculation unit and Mr. Maine. blood. There is provided a semiconductor exposure apparatus, comprising an interface unit for connecting an oil (CPU).

이하, 본 발명의 반도체의 노광 장치를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the exposure apparatus of the semiconductor of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 반도체의 노광 장치는 광원인 수은 램프와, 상기 수은 램프에서 나온 빛을 통과시키는 제2콘덴서 렌즈와, 상기 제2콘덴서 렌즈의 하단에 설치되는 조도 측정기와, 패턴이 형성된 마스크와, 조사된 패턴을 축소시키는 축소 렌즈와, 패턴이 결상되는 웨이퍼를 받치는 웨이퍼 스테이지와, 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되는 조도 및 조도 분포 측정기와, 상기 수은 램프가 설치되는 램프 고정 플레이트를 포함하여 구성되는 것은 종래와 동일하다.An exposure apparatus of a semiconductor according to the present invention includes a mercury lamp as a light source, a second capacitor lens through which light from the mercury lamp passes, an illuminance meter installed at a lower end of the second capacitor lens, a mask with a pattern formed thereon, It is conventionally configured to include a reduction lens for reducing the irradiated pattern, a wafer stage supporting the wafer on which the pattern is formed, an illuminance and illuminance distribution measuring instrument installed on the wafer stage, and a lamp fixing plate on which the mercury lamp is installed. Is the same as

본 발명의 반도체의 노광 장치는 상기 램프 고정 플레이트를 자동으로 이동시켜 상기 수은 램프의 위치를 보정하도록 설치되는 램프 조절부와, 상기 조도 및 조도 분포 측정기에서 측정된 데이타를 계산하여 상기 램프 조절부를 구동시키는 조도 및 조도 분포 계산부와, 상기 조도 및 조도 분포 계산부와 메인 씨. 피. 유(CPU)를 연결하는 인터 페이스부를 포함하여 구성된다.The exposure apparatus of the semiconductor of the present invention is a lamp control unit is installed to automatically move the lamp fixing plate to correct the position of the mercury lamp, and calculates the data measured by the illuminance and illuminance distribution measuring instrument to drive the lamp control unit Illuminance and illuminance distribution calculating section, said illuminance and illuminance distribution calculating section, and Mr. Main. blood. It is configured to include an interface for connecting the CPU (CPU).

상기 램프 조절부는, 제5도에 도시한 바와 같이, 상기 램프 고정 플레이트(21)와 연결되도록 설치되는 조절 스크류(22a,22b,22c)와, 상기 조절 스크류(22a,22b,22c)와 커플링(coupling)되는 램프 조절봉(23a,23b,23c)과, 상기 램프 조절봉(23a,23b,23c)에 연결되어 상기 조도 및 조도 분포 계산부에 의해 계산된 데이타에 따라 작동되는 모터(24a,24b,24c)와, 상기 램프 고정 플레이트(21)의 위치를 감지하는 포토 센서(25b,25c)와, 상기 포토 센서(25b,25c)가 상기 램프 고정 플레이트(21)의 위치를 감지할 수 있도록 상기 램프 고정 플레이트(21)에 연결된 센서 감지 플레이트(26b,26c)로 구성된다.As illustrated in FIG. 5, the lamp control unit is coupled to the adjustment screws 22a, 22b and 22c installed to be connected to the lamp fixing plate 21, and the adjustment screws 22a, 22b and 22c. The motor 24a, which is connected to the lamp control rods 23a, 23b, 23c and the lamp control rods 23a, 23b, 23c that are coupled to the lamp control rods 23a, 23b, 23c and is operated according to the data calculated by the illuminance and illuminance distribution calculator. 24b and 24c, photo sensors 25b and 25c for detecting the position of the lamp fixing plate 21, and the photo sensors 25b and 25c to detect the position of the lamp fixing plate 21. And sensor sensing plates 26b and 26c connected to the lamp fixing plate 21.

상기와 같은 구성의 반도체의 노광 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of the exposure apparatus of the semiconductor having the above configuration will be described below.

본 발명에 따른 반도체의 노광 장치는, 제6도에 도시한 바와 같이, 램프(1)나 장비의 확인시 조도 측정기(8)에서 조도를 측정하고, 측정된 조도의 데이타를 조도 및 조도 분포 계산부로 보내면, 상기 포토 센서(25b,25c)에서 감지한 램프 고정 플레이트(21)의 위치가 메인 씨. 피. 유(CPU)에 의해 제어를 받으며 조도 및 조도 분포 계산부로 인터페이스(interface)된다.In the exposure apparatus of the semiconductor according to the present invention, as shown in FIG. 6, the illuminance measuring instrument 8 measures illuminance upon confirmation of the lamp 1 or the equipment, and calculates illuminance and illuminance distribution data of the measured illuminance data. If it is sent to the negative, the position of the lamp fixing plate 21 detected by the photo sensor (25b, 25c) is the main Mr .. blood. It is controlled by the CPU and is interfaced to the illuminance and illuminance distribution calculation unit.

상기 조도 및 조도 분포 계산부에서 계산된 데이타에 따라 가장 높은 조도를 확인 하도록 상기 모터(24a,24b,24c)를 구동시켜 램프 고정 플레이트(21)를 가장 높은 위치로 이동시킨다.The lamp fixing plate 21 is moved to the highest position by driving the motors 24a, 24b, and 24c to confirm the highest illuminance according to the data calculated by the illuminance and illuminance distribution calculator.

조도가 맞추어지면, 웨이퍼 스테이지(10)에 설치되는 조도 및 조도 분포 측정기(11)에서 측정한 데이타를 조도 및 조도 분포 계산부에 보내 데이타를 분석하고, 분석된 계산값에 따라 전후, 좌우의 방향으로 조도 분포가 균등하게 되도록 모터(24a,24b,24c)를 구동시켜 램프(1)의 위치를 자동으로 보정한다.When the illuminance is matched, the data measured by the illuminance and illuminance distribution measuring instrument 11 installed in the wafer stage 10 are sent to the illuminance and illuminance distribution calculation unit to analyze the data, and the front, rear, left and right directions are analyzed according to the calculated calculated values. By driving the motors 24a, 24b, and 24c so that the illuminance distribution is equal, the position of the lamp 1 is automatically corrected.

렌즈가 열화되거나 오염되어 램프(1)의 위치를 보정하기 위해 상기 모터(24a,24b,24c)를 구동시키기가 어려울 때에는 램프 조절봉(23a,23b,23c)을 손으로 회전시켜 램프(1)의 위치를 조절할 수 있다.When the lens is deteriorated or contaminated and it is difficult to drive the motors 24a, 24b, 24c to correct the position of the lamp 1, the lamp adjusting rods 23a, 23b, 23c are rotated by hand to make the lamp 1 You can adjust the position of.

본 발명의 반도체의 노광 장치에 의하면 광원으로 사용되는 수은 램프의 위치를 자동으로 보정하므로 램프 교환 시간이 단축되며, 매일 장비 확인시 좋은 상태를 유지하여 생산시간을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.According to the exposure apparatus of the semiconductor of the present invention, since the position of the mercury lamp used as the light source is automatically corrected, the lamp replacement time is shortened, and the production time can be extended by maintaining a good state when checking the equipment every day.

Claims (2)

광원인 수은 램프와, 상기 수은 램프에서 나온 빛을 통과시키는 제2콘덴서 렌즈와, 상기 제2콘덴서 렌즈의 하단에 설치되는 조도 측정기와, 패턴이 형성된 마스크와, 조사된 패턴을 축소시키는 축소 렌즈와, 패턴이 결상되는 웨이퍼를 받치는 웨이퍼 스테이지와, 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되는 조도 및 조도 분포 측정기와, 상기 수은 램프가 설치되는 램프 고정 플레이트와, 상기 램프 고정 플레이트를 자동으로 이동시켜 상기 수은 램프의 위치를 보정하도록 설치되는 램프 조절부와, 상기 조도 및 조도 분포 측정기에서 측정된 데이타를 계산하여 상기 램프 조절부를 구동시키는 조도 및 조도 분포 계산부와, 상기 조도 및 조도 분포 계산부와 메인 씨. 피. 유(CPU)를 연결하는 인터 페이스부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체의 노광 장치.A mercury lamp as a light source, a second condenser lens for passing the light from the mercury lamp, an illuminance meter installed at the lower end of the second condenser lens, a patterned mask, a reduction lens for reducing the irradiated pattern, A position of the mercury lamp by automatically moving a wafer stage supporting a wafer on which a pattern is formed, an illuminance and illuminance distribution measuring instrument installed on the wafer stage, a lamp fixing plate on which the mercury lamp is installed, and the lamp fixing plate; And a lamp control unit installed to correct the light, an illuminance and illuminance distribution calculating unit for driving the lamp control unit by calculating data measured by the illuminance and illuminance distribution measuring instrument, and the illuminance and illuminance distribution calculating unit and the main MR. blood. An exposure apparatus for a semiconductor, comprising an interface portion for connecting oil (CPU). 제1항에 있어서, 상기 램프 조절부는 상기 램프 고정 플레이트와 연결되도록 설치되는 조절 스크류와, 상기 조절 스크류와 커플링(coupling)되는 램프 조절봉과, 상기 램프 조절봉에 연결되어 상기 조도 및 조도 분포 계산부에 의해 계산된 데이터에 따라 작동되는 모터와, 상기 램프 고정 플레이트의 위치를 감지하는 포토 센서와, 상기 포토 센서가 상기 램프 고정 플레이트의 위치를 감지할 수 있도록 상기 램프 고정 플레이트에 연결된 센서 감지 플레이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체의 노광 장치.The lamp adjusting unit of claim 1, wherein the lamp adjusting unit is installed to be connected to the lamp fixing plate, a lamp adjusting rod coupled to the adjusting screw, and the lamp adjusting rod is used to calculate the illuminance and illuminance distribution. A motor operated according to the data calculated by the unit, a photo sensor for detecting the position of the lamp fixing plate, and a sensor detection plate connected to the lamp fixing plate so that the photo sensor can detect the position of the lamp fixing plate. The exposure apparatus of the semiconductor characterized by the above-mentioned.
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