KR0182018B1 - Common electrode substrate and manufacturing method of liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
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Description
제1도는 종래의 액정표시 장치의 공통 전극 기판을 나타낸 단면도이고,FIG. 1 is a cross-sectional view showing a common electrode substrate of a conventional liquid crystal display device,
제2도 내지 제17도는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시 장치의 공통 전극 기판을 나타낸 단면도이고,FIGS. 2 to 17 are cross-sectional views showing a common electrode substrate of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention,
제17도 내지 제24도는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시 장치의 공통 전극 기판을 나타낸 단면도이다.17 to 24 are cross-sectional views showing a common electrode substrate of a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
본 발명은 액정표시 장치의 공통 전극 기판 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 액정의 광학적 이방성에 의하여 빛이 누설되는 현상을 보상하기 위한 보상막을 형성한 액정표시 장치의 공통 전극 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a common electrode substrate of a liquid crystal display device and a method of manufacturing the common electrode substrate, and more particularly, to a common electrode substrate of a liquid crystal display device having a compensating film for compensating for a phenomenon in which light is leaked due to optical anisotropy of liquid crystal, .
일반적으로 액정 표시 장치의 패널은, 유리기판, 적·녹·청의 3가지 컬러 필터 층, 그리고 공통 전극을 포함하는 공통 전극 기판, 다수의 화소, 상기 화소에 화상 정보 신호를 전달하는 데이타선, 상기 화소에 구동 신호를 전달하는 게이트선, 상기 데이타선과 상기 게이트선의 교차부에 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판, 상기 박막 트랜지스터 기판과 상기 공통 전극 기판 사이에 채워져 있는 액정으로 이루어져 있다.In general, a panel of a liquid crystal display device includes a glass substrate, three color filter layers of red, green and blue, and a common electrode substrate including a common electrode, a plurality of pixels, a data line for transmitting an image information signal to the pixel, A thin film transistor substrate formed at an intersection of the data line and the gate line, and a liquid crystal filled between the thin film transistor substrate and the common electrode substrate.
제1도는 종래의 액정표시 장치의 공통 전극 기판을 나타낸 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view showing a common electrode substrate of a conventional liquid crystal display device.
제1도에 도시한 바와 같이, 상기한 액정표시 장치의 공통 전극 기판의 구조는, 투명한 절연 물질로 이루어진 기판(10), 상기 기판(10) 위에 형성되어 있으며 적색 필터층(R)과 녹색 필터층(G) 및 청색 필터층(B)이 일정한 간격으로 형성되어 컬러 표시를 하기 위한 색 필터층(12), 상기 색 필터층(12) 위에 형성되어 있으며 투명한 도전 물질로 이루어진 공통 전극(14)으로 이루어져 있다.1, the structure of the common electrode substrate of the liquid crystal display device includes a substrate 10 made of a transparent insulating material, a red filter layer R and a green filter layer (not shown) formed on the substrate 10, And a common electrode 14 formed on the color filter layer 12 and made of a transparent conductive material. The color filter layer 12 may be formed of a transparent conductive material.
이러한 구조를 가지는 종래의 액정 표시 장치는 비틀린 네마틱(TN: twisted-nematic) 방식의 액정 물질을 이용하므로 광학적 투과율에 대한 시야각 의존성이 있다.Conventional liquid crystal display devices having such a structure use a twisted-nematic (TN) liquid crystal material, and thus have a viewing angle dependence on optical transmittance.
따라서, 보는 각도에 따라 계조 오류가 생긴다. 계조 오류는 시야각이 증가함에 따라 증가하고 시야각을 한정한다. 이러한 각도 의존성은 액정 방향자의 특성 때문에 생기는 것으로서 특히 상하 방향으로 매우 심하여 비대칭적인 시각 특성을 나타내는 단점이 있다.Therefore, a gradation error occurs depending on the viewing angle. Gradation errors increase as the viewing angle increases and limit the viewing angle. Such an angle dependency is caused by the characteristics of the liquid crystal director, and is particularly severe in the up and down direction, and has a disadvantage of exhibiting asymmetric visual characteristics.
이러한 현상이 일어나는 이유는 네마틱 액정의 비등방성으로 인해 액정의 방향자에 나란하게 편광된 빛은 방향자에 수직으로 편광된 빛과 서로 다른 속도로 진행하기 때문이다.The reason for this phenomenon is that the light polarized parallel to the director of the liquid crystal due to the anisotropy of the nematic liquid crystal proceeds at a different speed than the light polarized perpendicular to the director.
즉, 네마틱 액정은 복굴절 물질이다. 이러한 특징은 액정이 교차하는 편광자들 사이에 있을 때 가장 잘 나타난다.Namely, a nematic liquid crystal is a birefringent material. This feature is best seen when the liquid crystal is between crossed polarizers.
두 개의 편광자 사이에 아무런 물질도 없는 경우 첫번째 편광자를 통과한 빛이 두번째 편광자에서 완전히 흡수되기 때문에, 정상적으로 교차하는 편광자에서 나오는 빛은 없다.If there is no material between the two polarizers, there is no light from the normally crossed polarizer, because the light passing through the first polarizer is completely absorbed by the second polarizer.
등방적 물질을 삽입하면 빛이 등방적 물질을 통해 나가는 동안 빛의 편광이 바뀌지 않으므로 아무런 변화도 일어나지 않는다.Insertion of an isotropic material does not change the polarization of the light as it travels through the isotropic material, so no change occurs.
그러나 두 편광자 사이에 네마틱 액정이 있는 경우에는 첫번째 편광자에서 나온 편광이 액정의 방향자와 0도 또는 90도가 아닌 다른 방향으로 있으면 두 편광은 액정을 통과해 나갈 때 위상이 달라지며 일반적으로 타원 편광된 빛이 되어 나타난다.However, if there is a nematic liquid crystal between two polarizers, if the polarized light from the first polarizer is in a direction different from 0 ° or 90 ° from the direction of the liquid crystal, the two polarized lights are different in phase when they pass through the liquid crystal, It appears as a light.
다시 말해 편광자들 사이에 액정이 없으면 어둡게 나타나지만, 액정을 편광자들 사이에 넣으면 일반적으로 시야가 밝게 나타난다. 이 효과는 O. Lehmann에 의해 발견되었는데, 이로부터 액정이 비등방적 물질이라는 결론을 내릴 수 있다.In other words, if there is no liquid crystal between the polarizers, it will appear dark, but when the liquid crystal is placed between the polarizers, the view generally appears bright. This effect was discovered by O. Lehmann, and it can be concluded that the liquid crystal is an anisotropic substance.
액정이 교차하는 편광자 사이에서는 일반적으로 밝게 보이지만, 다음의 두 조건하에서는 어둡게 보인다.It appears generally bright between polarizers where liquid crystals intersect, but dark under the following two conditions.
액정에 입사된 편광이 액정의 방향자에 수평 또는 수직한 방향으로 편광되어 있다면, 모든 빛이 액정 내에서 한 방향으로만 편광되기 때문에 이 방향에 대해 90도로 편광된 빛은 고려할 필요가 없다.If the polarized light incident on the liquid crystal is polarized in a horizontal or vertical direction to the director of the liquid crystal, light polarized at 90 degrees to this direction need not be considered since all light is polarized in one direction only in the liquid crystal.
결국 빛은 한가지 속도로 액정을 통과해 나가며 한 방향으로만 편광되어 나온다. 따라서 그것은 두번째 편광자에 의해 제거된다.Eventually, the light travels through the liquid crystal at one speed and is polarized in only one direction. Thus it is removed by the second polarizer.
한편, 액정은 전기 감수율(electric susceptibility), 자기 감수율(magnetic susceptibility)등의 물리적 성질이 방향자의 방향과 그에 수직인 방향에서 각각 다르다는 점에서 액정은 이방성을 가지고 있다고 할 수 있는데, 이는 앞에서 언급한 바와 같이 공간 대칭이 아닌 막대 모양의 분자들이 일정한 방향으로 배열하려는 방향 질서를 가지고 있기 때문이다.On the other hand, the liquid crystal has anisotropy in that the physical properties such as electric susceptibility and magnetic susceptibility are different in the direction of the director and in the direction perpendicular thereto, This is because the rod-shaped molecules, which are not spatially symmetric, have a directional order to align them in a certain direction.
예를 들어, 전기 감수율이 방향자의 방향과 그에 수직인 방향에서 각각 달라지므로 유전율(permittivity) 또한 방향에 따라 달라진다. 액정 방향자 방향의 유전율을그에 대하여 직각인 방향에서의 유전율을라고 하면,For example, the permittivity also depends on the direction since the rate of electricity acceptance differs from the direction of the director to the direction perpendicular to it. The dielectric constant in the liquid crystal director direction The dielectric constant in a direction orthogonal thereto In other words,
의 두 가지가 있으며 전자를 양의(p형 : positive) 유전율 이방성(dielectric anisotropy)이 있다고 하고, 후자를 음의 (n형 : negative) 유전율 이방성이 있다고 한다. n을 방향자라 하면 직류 전기장 E를 인가했을 때 전기 변위(electric displacement) D는,, The former has a positive (p-type) dielectric anisotropy, and the latter has a negative (n-type) negative dielectric anisotropy. When n is a direction, electric displacement D when a direct current electric field E is applied,
이므로 정전기적 에너지는,Therefore, the electrostatic energy,
가 된다. 안정된 상태가 되기 위해서는 이 값이 최소로 되어야 하므로 양의 유전율 이방성을 가지는 액정의 경우, 즉 Δε0인 경우에는 방향자가 전기장과 평행일 때가 안정하고, 음의 유전율 이방성을 가지는 경우에는 방향자가 전기장과 수직일 때가 안정하다. 따라서 양의 유전율 이방성 액정의 경우 인가된 전기장에 대하여 방향자가 평행하게 배열하려는 경향이 있고, 반대로 음의 유전율 이방성 액정의 경우에는 인가된 전기장에 대하여 수직으로 배열하려는 경향이 있다.. In the case of a liquid crystal with a positive dielectric constant anisotropy, that is, in the case of Δε0, it is stable when the director is parallel to the electric field, and when the director has a negative dielectric anisotropy, When it is stable. Therefore, in the case of a positive dielectric constant anisotropic liquid crystal, the directors tends to arrange parallel to the applied electric field, while in the case of a negative dielectric anisotropic liquid crystal, it tends to arrange perpendicularly to the applied electric field.
한편, 이방성에 따른 액정이 가지는 또 하나의 특징은 복굴절(birefringence) 현상이다. 이를 상세히 설명한다.On the other hand, another characteristic of liquid crystal according to anisotropy is birefringence phenomenon. This will be described in detail.
빛은 그 진행 방향에 대하여 수직으로 진동하고 있는 전기장과 자기장을 가지고 있다. 또한 이 전기장과 자기장의 방향은 서로 수직이다. 전자기파 내의 전기장이 공간 상의 한 방향만을 가리킨다면 이를 선편광 되었다고 한다.Light has an electric field and a magnetic field that oscillate perpendicular to its direction of travel. Also, the direction of the electric field and the magnetic field are perpendicular to each other. If the electric field in the electromagnetic wave indicates only one direction in space, it is said to be linearly polarized.
그러면, 선편광된 빛이 진공에서 진공이 아닌 다른 매질로 입사하는 경우를 생각하자. 만일 두 매질이 균일한 등방 매질이라고 한다면 굴절되어 각도는 변화한다 할지라도 빛은 한 방향으로 그대로 직진한다.Then, let us consider the case where linearly polarized light is incident on a medium other than a vacuum in a vacuum. If the medium is a homogeneous isotropic medium, the light travels straight in one direction even if the angle is changed by refraction.
그러나 광학적 이방성을 지니고 있는 액정상의 물질의 경우에는 상황이 다르다. 빛이 액정의 방향자에 대하여 비스듬히 입사한다고 하고 이 빛은 액정의 방향자와 평행 또는 수직이 아닌 상태로 선편광된 빛이 액정의 방향자에 대하여 비스듬히 입사하되 빛이 입사되는 경로와 방향자는 동일한 평면 상에 있다고 하자. 그러면 이 빛은 입사면에 평행한 편광 성분과 그에 수직인 편광 성분으로 나눌 수 있다. 먼저 입사면에 평행한 편광을 가지는 빛을 고려하자. 상기한 것처럼, 액정의 방향자에 평행인 방향과 수직인 방향에서의 유전율이 다르므로 굴절률(index of refraction) 또한 다르다. 방향자에 평행인 방향의 굴절률을라 하고, 수직한 방향의 굴절률을 n┴라 하면, 광학적 이방성 Δn은 두 방향의 굴절률의 차로 주어지고, 이 빛의 방향자 방향과 직각 방향에서의 속도는 각각However, in the case of liquid crystalline materials with optical anisotropy, the situation is different. The light is obliquely incident on the director of the liquid crystal, and the light is not parallel or perpendicular to the director of the liquid crystal, and the linearly polarized light is incident obliquely with respect to the director of the liquid crystal, . Then, this light can be divided into a polarization component parallel to the incident surface and a polarization component perpendicular to the polarization plane. Let us first consider light with polarization parallel to the incident plane. As described above, since the dielectric constant in the direction parallel to the director of the liquid crystal is different from that in the direction perpendicular to the director, the refractive index (index of refraction) is also different. The refractive index in the direction parallel to the director And n is the refractive index in the vertical direction, the optical anisotropy [ Delta] n is the refractive index difference in the two directions , And the velocities in the direction perpendicular to the director direction of this light are given by
이다. 여기에서이고 c는 진공에서의 광속, θ는 입사광의 진행 방향과 방향자가 이루는 각도이다. 그러므로 이 빛은 굴절하게 된다. 그러나 경계 면에 수직으로 편광되어 있는 빛의 경우에는 분자축 방향과 그 수직 방향의 속도 성분이 각각로 주어지고 굴절하지 않는다.to be. From here C is the flux in vacuum, and θ is the angle between the direction of the incident light and the direction of the beam. Therefore, this light is refracted. However, in the case of light vertically polarized at the interface, the velocity components in the direction of the molecular axis and in the vertical direction are And is not refracted.
결국 이 빛은 두 갈래의 경로로 진행하게 된다.Eventually, the light travels along two paths.
일반적으로 굴정하지 않은 광선을 정상 광선이라 하고 굴절한 광선을 이상광선이라고 한다. 일반적으로 입사광에는 경계면에 수직인 광선과 경계면과 평행인 광선이 함께 포함되므로, 하나의 입사광에 대하여 정상 광선과 이상광선이 함께 생긴다. 이러한 현상을 복굴절이라고 한다. 복굴절이 생기지 않는 방향의 축을 광축이라고 하는데 액정에서는 분자축 방향이 된다.Generally, a ray not defined is called a normal ray, and a refracted ray is called an abnormal ray. Generally, since the incident light includes a light beam perpendicular to the interface and a light beam parallel to the interface, a normal light beam and an extraordinary light beam are generated for one incident light. This phenomenon is called birefringence. The axis in the direction in which birefringence does not occur is called the optical axis, and in the liquid crystal, it is the direction of the molecular axis.
상기한 바와 같이 액정의 복굴절 성질은 시야각을 좁게 하는 결과를 초래한다. 따라서 본 발명의 목적은 이러한 종래 기술의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 액정의 광학적 이방성에 의하여 빛이 누설되는 현상을 보상하기 위하여 액정의 굴절율과 반대 극성인 굴절율을 갖는 보상막을 형성한 액정표시 장치의 공통 전극 기판 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.As described above, the birefringence properties of the liquid crystal result in narrow viewing angles. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device in which a compensating film having a refractive index opposite to that of a liquid crystal is formed to compensate for a phenomenon in which light is leaked due to optical anisotropy of a liquid crystal A common electrode substrate and a method of manufacturing the same.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은,According to an aspect of the present invention,
투명한 절연 물질로 이루어진 기판, 굴절율이 n1인 제1절연막과 굴절율이 n2(≠n1)인 제2절연막으로 이루어져 있는 이중 절연막으로 상기 기판 위에 형성되어 있는 보상막, 상기 보상막 위에 투명한 도전 물질로 형성되어 있는 공통 전극을 포함한다.A substrate made of a transparent insulating material, a first insulating film having a refractive index n 1 and a second insulating film having a refractive index n 2 (≠ n 1 ), a compensation film formed on the substrate, And a common electrode formed of a material.
상기 보상막은 기판과 공통 전극 사이가 아니라 공통 전극 위에 형성될 수 있다.The compensating film may be formed on the common electrode, not between the substrate and the common electrode.
이 때, 상기 제1절연막의 굴절율 n1과 상기 제2절연막의 굴절율 n2는At this time, the refractive index n 1 of the first insulating film and the refractive index n 2 of the second insulating film are
를 만족한다..
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제조 방법은,In order to achieve the above object,
투명한 절연 기판 위에 제1절연막과 굴절율이 다른 제2절연막으로 이루어지는 이중 절연막을 형성하는 제1공정과, 상기 이중 절연막 위에 투명 도전 물질로 공통 전극을 형성하는 제2공정을 포함한다.A first step of forming a double insulating film made of a second insulating film having a refractive index different from that of the first insulating film on a transparent insulating substrate; and a second step of forming a common electrode made of a transparent conductive material on the double insulating film.
한편, 상기 보상막을 형성하는 공정을 먼저하고, 상기 공통 전극을 형성하는 공정을 나중에 할 수도 있다.On the other hand, the step of forming the compensating film may be performed first, and the step of forming the common electrode may be performed later.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.
제2도 내지 제17도는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시 장치의 공통 전극 기판을 나타낸 단면도이고,FIGS. 2 to 17 are cross-sectional views showing a common electrode substrate of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention,
제17도 내지 제24도는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시 장치의 공통 전극 기판을 나타낸 단면도이다.17 to 24 are cross-sectional views showing a common electrode substrate of a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예에 따른 액정표시 장치의 공통 전극 기판은 다음과 같은 구조로 되어 있다.The common electrode substrate of the liquid crystal display according to the embodiment of the present invention has the following structure.
투명한 절연 물질로 이루어진 기판(20) 위에 굴절율이 n1인 제1절연막과 굴절율이 n2(≠n1)인 제2절연막으로 이루어진 보상막(24)이 형성되어 있으며, 상기 보상막(24) 위에 투명한 도전 물질로 형성되어 있는 공통 전극(28)이 형성되어 있다.A compensating film 24 is formed on the substrate 20 made of a transparent insulating material and includes a first insulating film having a refractive index n 1 and a second insulating film having a refractive index n 2 (≠ n 1 ) A common electrode 28 formed of a transparent conductive material is formed.
이 때 상기 제1절연막 및 제2절연막 각각의 두께는 200~500Å로 형성되어 있는 것이 바람직하다.In this case, the thickness of each of the first insulating film and the second insulating film is preferably 200 to 500 ANGSTROM.
또한 상기 보상막(24)은 상기 이중 절연막이 연속하여 두층 이상 형성되어 있는 것이 바람직하며, 특히 상기 이중 절연막이 연속하여 2~5층으로 형성되어 있는 것이 더욱 바람직하다.In addition, it is preferable that the compensation film 24 is formed by two or more layers of the double insulation film continuously, and more preferably, the double insulation film is formed continuously from 2 to 5 layers.
이 때 상기 보상막(24)은 상기 이중 절연막 SiOx와 Al2Ox또는 SiOx와 TaOx로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the compensation film 24 is preferably formed by the double SiOx insulating film and Al 2 O x or TaO x and SiOx.
한편, 상기 보상막(24)은 제17도에 도시한 바와 같이, 기판(20)과 공통 전극(28)사이가 아니라 공통 전극(28) 위에 형성될 수 있다.On the other hand, the compensation film 24 may be formed on the common electrode 28, not between the substrate 20 and the common electrode 28, as shown in FIG. 17.
또한, 제3도에 도시한 바와 같이, 상기 기판(20)과 상기 보상막(24) 사이에는 적색 필터층과 녹색 필터층 및 청색 필터층을 일정한 간격으로 형성된 컬러 표시를 하기 위한 색 필터층(22)을 형성할 수 있다.As shown in FIG. 3, a color filter layer 22 is formed between the substrate 20 and the compensating film 24 to form a red filter layer, a green filter layer, and a blue filter layer at regular intervals, can do.
한편, 상기 색 필터층(22)은 제10도에 도시한 바와 같이, 상기 공통 전극(28)과 상기 보상막(24) 사이에 형성할 수 있다.On the other hand, the color filter layer 22 can be formed between the common electrode 28 and the compensation film 24 as shown in FIG.
또한 상기 색 필터층(22)은 제18도에 도시한 바와 같이, 상기 기판(20)과 상기 공통 전극(28) 사이에 형성할 수 있다.The color filter layer 22 may be formed between the substrate 20 and the common electrode 28, as shown in FIG. 18.
한편, 제4도 및 제19도에 도시한 바와 같이, 상기 기판(20)과 상기 색 필터층(22) 사이에 색 필터 사이의 경계를 가리기 위한 블랙 매트릭스(26)를 형성할 수 있다. 이 때 상기 블랙 매트릭스(26)의 아래면은 상기 기판(20)에 접하고 옆면은 상기 색 필터에 접하게 형성되어 있다.On the other hand, as shown in FIGS. 4 and 19, a black matrix 26 for covering the boundary between the color filter and the color filter layer 22 can be formed. At this time, the lower surface of the black matrix 26 is in contact with the substrate 20 and the side surface thereof is in contact with the color filter.
또한 상기 블랙 매트릭스(26)는 제6도 및 제23도에 도시한 바와 같이, 상기 보상막(24)과 상기 공통 전극(28) 사이에 형성할 수 있다.The black matrix 26 may be formed between the compensating film 24 and the common electrode 28, as shown in FIGS. 6 and 23.
또한 상기 블랙 매트릭스(26)는 제11도에 도시한 바와 같이, 상기 보상막(24)과 상기 기판(20) 사이에 형성할 수 있다. 이 때 상기 블랙 매트릭스(26)의 아래면은 상기 보상막(24)에 접하고 옆면은 상기 색 필터에 접하게 형성되어 있다.The black matrix 26 may be formed between the compensating film 24 and the substrate 20 as shown in FIG. At this time, the lower surface of the black matrix 26 is in contact with the compensation film 24 and the side surface is in contact with the color filter.
또한 상기 블랙 매트릭스(26)는 제13도에 도시한 바와 같이, 상기 보상막(24)과 상기 색 필터층(22) 사이에 형성할 수 있다. 이 때 상기 블랙 매트릭스(26)의 아래면은 상기 보상막(24)에 접하고 옆면은 상기 색 필터에 접하게 형성되어 있다.The black matrix 26 may be formed between the compensating film 24 and the color filter layer 22 as shown in FIG. At this time, the lower surface of the black matrix 26 is in contact with the compensation film 24 and the side surface is in contact with the color filter.
상기 블랙 매트릭스(26)는 이중층으로 되어 있으며, CrOx+ Cr 또는 TaOx+ Ta로 형성할 수 있다.The black matrix 26 is a double layer, and may be formed of CrO x + Cr or TaO x + Ta.
한편, 제7도 및 제15도에 도시한 바와 같이, 상기 보상막(24)과 상기 색 필터층(22) 사이에 보호막(30)을 형성할 수 있다.7 and FIG. 15, a protective film 30 may be formed between the compensation film 24 and the color filter layer 22.
또한 상기 보호막(30)은 제21도에 도시한 바와 같이 상기 공통 전극(28)과 상기 색 필터층(22) 사이에 형성할 수 있다.The protective film 30 may be formed between the common electrode 28 and the color filter layer 22 as shown in FIG.
그리고 상기 블랙 매트릭스(26)와 상기 보호막(30)이 모두 형성되어 있는 액정 표시 장치의 공통 전극(28) 기판은 제5도, 제14도 및 제20도에 도시한 바와 같이 블랙 매트릭스(26)가 보호막(30) 보다 하부에 위치할 수 있고, 제8도, 제9도 및 제16도, 제22도, 제39도에 도시한 바와 같이 블랙 매트릭스(26)가 보호막(30)보다 상부에 위치할 수 있다.The common electrode 28 substrate of the liquid crystal display device in which both the black matrix 26 and the protective film 30 are formed has a black matrix 26 as shown in FIGS. 5, 14 and 20, The black matrix 26 may be located below the protective film 30 and the black matrix 26 may be located above the protective film 30 as shown in Figs. 8, 9, 16, Can be located.
상기와 같은 구조로 되어 있는 액정 표시 장치의 공통 전극(28) 기판의 보상막(24)은 다음과 같은 조건을 갖는다.The compensation film 24 of the substrate of the common electrode 28 of the liquid crystal display device having the above structure has the following conditions.
각각의 굴절율이 n1, n2인 서로 다른 두 종류의 절연막이 다중층(MT)으로 되어 있는 경우, 정상 광선 굴절율이 n0이고, 이상 광선 굴절율이 ne인 성질을 갖는 단일막의 성질로 변화한다. 여기에서 상호 관계식은 다음과 같다.If the respective refractive indices in the n1, n2 are different two kinds of insulating film is a multilayer (MT), and the ordinary ray refractive index n 0, is changed to a single film properties is extraordinary ray refractive index having a n e in nature. Here, the correlation is as follows.
상기한 보상막(24)의 다중층(MT)을 통과한 빛은 복굴절 현상에 의하여 정상 광선과 이상 광선이 발생된다.The light passing through the multi-layer (MT) of the compensation film (24) generates normal and extraordinary rays due to birefringence phenomenon.
이 때의 결과값인 정상 광선 굴절율 n0과 이상 광선 굴절율 ne는 다음과 같은 조건을 만족할 때 보상막(24)으로의 역할을 할 수 있다.The normal ray refraction index n 0 and the extraordinary ray refraction index n e at this time can serve as the compensation film 24 when the following condition is satisfied.
따라서 상기 다중층(MT)을 구성하는 두 물질은 SiOx와 Al2Ox, 또는 SiOx와 TaOx로 형성할 수 있다.Therefore the two materials constituting the multilayer (MT) can be formed by SiOx and Al 2 Ox, TaOx or SiOx with.
상기와 같이 다중층(MT)으로 만든 보상막(24)은 광학적 이방성이 음이 되도록 하여 액정의 광학적 이방성이 양이기 때문에 발생하는 상하 시야각이 비대칭으로 나타나는 단점을 극복할 수 있다.As described above, the compensating film 24 made of the multi-layer (MT) can overcome the disadvantage that the optical anisotropy is negative and the optical anisotropy of the liquid crystal is positive so that the up and down viewing angles appear asymmetrically.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시 장치의 공통 전극 기판의 그 제조 방법은 다음과 같은 공정 단계를 포함한다.A method of manufacturing a common electrode substrate of a liquid crystal display device according to the present invention includes the following steps.
먼저, 투명한 절연 물질로 이루어진 기판(20) 위에 굴절율이 다른 두 절연막으로 이루어져 있는 보상막(24)을 형성한다.First, a compensating film 24 composed of two insulating films having different refractive indexes is formed on a substrate 20 made of a transparent insulating material.
다음, 상기 보상막(24) 위에 공통 전극(28)을 형성한다.Next, a common electrode 28 is formed on the compensating film 24.
상기 보상막(24)의 두 절연막은 각각 그 두께가 200~500Å로 형성하는 것이 바람직하다.The two insulating films of the compensating film 24 are preferably formed to have a thickness of 200 to 500 ANGSTROM.
상기 보상막(24)은 굴절율이 다른 두 종류의 절연막을 2층 이상 연속으로 형성하여 다중층(multilayer)(MT)을 형성한다.The compensating film 24 forms two or more layers of two kinds of insulating films having different refractive indices continuously to form a multilayer (MT).
이 때 상기 다중층(MT)은 2~5층 정도가 바람직하다. 또한 상기 다중층(MT)을 이루은 두 종류의 절연막은 상기와 같은 500Å 이하로 연속하여 증착할 경우 원래의 결정 구조와는 다른 성질을 갖는 단일막과 같은 막성질을 나타낸다.At this time, the multi-layer (MT) is preferably about 2 to 5 layers. In addition, the two kinds of insulating films constituting the multi-layer (MT) exhibit a film characteristic such as a single film having properties different from the original crystal structure when continuously deposited at 500 Å or less.
한편, 상기 보상막(24)을 형성하는 공정을 먼저하고, 상기 공통 전극(28)을 형성하는 공정을 나중에 할 수도 있다.On the other hand, the step of forming the compensating film 24 may be performed first, and the step of forming the common electrode 28 may be performed later.
상기 굴절율이 다른 두 절연막으로 이루어진 보상막(24)은 반응성 스퍼터링(Reactive sputtering), 광화학 증착(Photochemical deposition) 또는 광화학 또는 플라즈마 확장 질화 및 산화(Photochemical or Plasma enhanced nitridation and Oxidation) 설비를 이용하며 형성한다.The compensation film 24 made of two insulating films having different refractive indexes is formed using reactive sputtering, photochemical deposition or photochemical or plasma enhanced nitridation and oxidation (photochemical or plasma enhanced nitridation and oxidation) .
그러므로 이 발명의 효과는, 외광에 의하여 화질이 저하되는 단점을 극복하여 저반사화를 실현할 수 있으며, 보상막을 광학적 이방성이 음이 되도록 하여 액정의 광학적 이방성이 양이기 때문에 발생하는 상하 시야각이 비대칭으로 나타나는 단점을 극복할 수 있다는 점이다.Therefore, the effect of the present invention is to overcome the disadvantage that the image quality is deteriorated by the external light to realize low reflection, and the optical anisotropy of the compensation film becomes negative so that the optical anisotropy of the liquid crystal is positive, It can overcome the disadvantages that appear.
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