KR0179194B1 - High-temperature brazing alloys for ceramic metal joints - Google Patents
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Abstract
세라믹-금속간 접합을 위한 Au-Ni-Cr-Fe 계의 접합 합금은 고온응용을 위하여 개발되어 왔다. 이 합금은 세라믹-금속간의 성공적인 접합에 반드시 필요한 낮은 항복강도, 높은 연성과 높은 인장강도를 보이고, 다른 접합 요소와 조화된 결합 성능(bondling performance)를 가진다. 이 접합합금은 고성능 고기능 접합체 형성을 위한 것으로 세라믹 엔진, 고온 연소기 내에서 사용되는 접합체에 이용될 수 있다.Au-Ni-Cr-Fe based alloys for ceramic-to-metal bonding have been developed for high temperature applications. The alloy exhibits low yield strength, high ductility and high tensile strength, which are essential for successful ceramic-to-metal bonding, and have bonding performance in combination with other bonding elements. This joining alloy is for forming high performance high performance joints and can be used for joints used in ceramic engines and high temperature combustors.
Description
제1도는 본 발명에 따른 세라믹-금속간 접합체의 모식도를 나타내며,1 shows a schematic diagram of a ceramic-metal junction according to the present invention,
제2도는 본 발명의 방법에 따른 접합체의 소결공정을 나타낸다.2 shows a sintering process of the joined body according to the method of the present invention.
본 발명은 세라믹-금속 접합체의 고온 응용을 위한 접합 합금 및 접합체의 소결 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a bonding alloy for high temperature applications of ceramic-metal joints and to a method of sintering the joints.
이러한 세라믹-금속간 접합을 위한 접합 합금으로는 응용 온도, 접합부의 형상, 기판의 재료 등에 따라 여러 접합 합금이 쓰여왔다. 특별히 고온에서 쓰이는 세라믹-금속 접합을 위한 접합 합금으로는 대부분 연성과 산화저항이 크고 용융점이 높은 금(Au), 은(Ag) 또는 팔라듐(Pd)과 같은 귀금속을 기본성분으로 하는 합금계가 사용되고 있다. 또 맣은 경우 니켈(Ni)이 같이 첨가된 고용체 형태의 합금이 주종을 이룬다. 이러한 합금에서 Pd나 Ni의 양이 증가할수록 합금의 용융점은 올라간다. 그러나, Au-Ni, Pd-Ni, Au-Pd-Ni등의 높은 용융점을 가지는 합금은 그들의 미세구조와 고용 강화등 강화기구에 의해서 고온에서의 크리프 강도가 본질적으로 약한것으로 알려져 있다. 그러므로 이런 합금의 사용온도가 400∼450℃ 정도로 제한될 뿐만 아니라 장시간 사용이 불가능하다.As such a bonding alloy for ceramic-to-metal bonding, various bonding alloys have been used depending on the application temperature, the shape of the bonding portion, the material of the substrate, and the like. Most of alloys for ceramic-metal joints, especially those used at high temperatures, are alloys based on precious metals such as gold (Au), silver (Ag), or palladium (Pd), which have high ductility, high oxidation resistance, and high melting point. . In the case of black, alloys in the form of solid solution with nickel (Ni) are predominant. In these alloys, the melting point of the alloy increases as the amount of Pd or Ni increases. However, alloys having high melting points such as Au-Ni, Pd-Ni, and Au-Pd-Ni are known to have inherently weak creep strength at high temperatures due to their microstructure and strengthening mechanisms such as solid solution strengthening. Therefore, the use temperature of such an alloy is not only limited to about 400 ~ 450 ℃ it is impossible to use for a long time.
세라믹 재료의 발달에 따라 세라믹-금속 접합체가 회전 등의 스트레스 상태와 600℃ 이상의 고온에서 장시간 사용되어야 할 경우가 빈번해졌다. 이 경우, 세라믹-금속간 접합의 가장 큰 문제는 서로 다른 종류의 물질간의 열팽창 계수 차이로 인한 잔류응력의 생성이다. 잔류응력의 완화뿐만 아니라 접합 합금이 박판 형태로 사용될 경우 압연을 위해서도 높은 인성과 연성이 필요하다. 또한, 접합체가 고온에서 장시간 사용되려면 접합체는 고온 크리프 저항을 가져야 한다.With the development of ceramic materials, ceramic-metal joints are frequently required to be used for a long time under stress conditions such as rotation and high temperatures of 600 ° C or higher. In this case, the biggest problem of ceramic-to-metal joints is the generation of residual stresses due to the difference in coefficient of thermal expansion between different kinds of materials. In addition to the relaxation of residual stress, high toughness and ductility are required for rolling when the bonding alloy is used in the form of sheet. In addition, the junction must have a high temperature creep resistance in order for the junction to be used for a long time at a high temperature.
접합체가 고온에서 사용되기 위해서는 접합합금의 융점이 높은 것이 사용되게 된다.In order for the joined body to be used at a high temperature, one having a high melting point of the joined alloy is used.
그러나, 각 접합체 구성재료들이 이 융점근처에서 안정성을 잃어버리면 합금사용의 효과를 잃어버리게 되므로 적당한 합금의 융점이 먼저 고려되어야 한다. 예를들면, 본 실험에서 쓰인 자동차 세라믹 엔진용 질화규소는 1200℃ 부근에서 탈질화를 일으키는데, 이는 액상의 접합합금의 습윤성(wettability)을 향상시키기 위해서 반응성이 좋은 티타늄(Ti)과 같은 금속을 표면에 코팅했을 때에 더욱 두드러진다. 접합체의 또다른 구성원인 저열팽창성 금속 Incoloy 909 는 1200℃ 이상의 열처리를 하는 경우 미세구조와 물성이 크게 변하므로 접합공정이 1200℃ 이하에서 이루어지는 것이 바람직하다.However, the melting point of a suitable alloy must be considered first, since each joint component loses its stability near this melting point, thus losing the effect of using the alloy. For example, silicon nitride for automotive ceramic engines used in this experiment causes denitrification around 1200 ° C, which is characterized by the addition of highly reactive metals such as titanium (Ti) to the surface to improve the wettability of liquid bonded alloys. More prominent when coated. The low thermally expandable metal Incoloy 909, which is another member of the bonded body, greatly changes its microstructure and physical properties when subjected to heat treatment of 1200 ° C or higher, and therefore, the bonding process is preferably performed at 1200 ° C or lower.
따라서 본 발명의 목적은 접합재 사이에 연성을 소유한 재료를 삽입하여 접합체를 만들므로써 접합체 내에서 세라믹 파괴의 원인이 되는 잔류응력의 영향을 효과적으로 완화하는 데에 있다.Therefore, an object of the present invention is to effectively mitigate the influence of residual stresses that cause ceramic breakdown in the joint by inserting a material possessing ductility between the joints to make the joint.
본 발명의 또하나의 목적은 합금이 세라믹-금속간의 접합에 필요한 낮은 항복강도, 높은 연성 및 높은 인장강도를 가짐으로써 다른 접합요소와 조화로운 결합성능을 동시에 보유하도록 하는 데에 있다.It is another object of the present invention to ensure that the alloy has the low yield strength, high ductility and high tensile strength required for the ceramic-to-metal joint, thereby simultaneously maintaining harmonious bonding performance with other joining elements.
이러한 물성을 얻기 위해 첫째, 안정된 고용상 형태의 미세구조를 가진 계를 찾았다. 이것은 접합의 제일 요건인 접합 합금의 연성을 위한 것으로 고용강화된 합금이 석출 강화된 합금보다 크리프 저항에서는 뒤떨어지나 접합체 형성을 용이하게 한다.In order to obtain these properties, first, a system having a stable microstructure in solid solution form was found. This is for the ductility of the joining alloy, which is the first requirement of the joining, and the solid solution hardened alloy is inferior in creep resistance to the precipitate hardened alloy, but facilitates the formation of the joined body.
둘째로 고용상 미세구조중 불혼화 영역을 가짐으로써 이중상의 고용상을 가질 수 있는 조성을 찾았다. 이는 고용 강화된 합금이 약화된 크리프 저항을 증가시키기 위한 방법으로 사용될 수 있기 때문이다. 셋째로, 고온 접합시에는 모재의 원소들이 접합재로 확산되어 오는데, 이러한 확산으로 인하여 융점이 낮아져 접합부의 여러 물성을 나쁘게 하면 안되므로, 다른 원소들이 확산되어 들어 올수록 융점이 올라가는 이른바 확산 응고가 일어나는 조성범위를 갖도록 하였다.Second, we found a composition that can have a dual phase solid solution phase by having an immiscible region in the solid phase microstructure. This is because solid solution hardened alloys can be used as a way to increase weakened creep resistance. Third, the elements of the base material are diffused into the bonding material at the time of high temperature bonding, but the melting point is lowered due to the diffusion, so that various physical properties of the joint should not be deteriorated. It was to have.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, Au-Ni-Cr-Fe계가 고온 세라믹 -금속 접합을 위한 합금재료로 선정된다. 이러한 Au-Ni-Cr-Fe계의 합금은 650℃의 온도 및 응력하에서 장시간 사용될 수 있으며, 또한 1050∼1150℃ 정도의 융점을 가진다.In order to achieve the above object, according to the present invention, Au-Ni-Cr-Fe-based is selected as an alloying material for high-temperature ceramic-metal bonding. Such an alloy of Au-Ni-Cr-Fe can be used for a long time under the temperature and stress of 650 ℃, and also has a melting point of about 1050 ~ 1150 ℃.
[실시예]EXAMPLE
본 발명의 Au-Ni-Cr-Fe 계 합금재료에 대하여 아르곤 분위기 내에서 유도 용융법을 사용하여 여러 합금조성의 연성 및 습윤성을 조사하였다. 표 1은 연구된 여러 조성에서의 연성 및 습윤성을 보여준다.The Au-Ni-Cr-Fe alloy material of the present invention was investigated for the ductility and wettability of various alloy compositions using an induction melting method in an argon atmosphere. Table 1 shows the ductility and wettability in the various compositions studied.
한편, 2.5∼10% Cr과 1.5∼10% Fe를 Au-37∼40% Ni계에 체계적으로 첨가하여 이 합금계에서의 Cr과 Fe의 연성과 습윤성에 대한 상대적 효과를 측정하였는데, 다음과 같은 사실을 알수 있었다.On the other hand, 2.5-10% Cr and 1.5-10% Fe were systematically added to Au-37-40% Ni system to measure the relative effects on the ductility and wettability of Cr and Fe in this alloy system. I could see the fact.
(1) Fe를 Au-Ni 계에 첨가하는 것은 고용체의 크리프 저항을 증가시키며 Au-Ni 계의 좋은 액체 금속의 유동성 (습윤성) 을 방해하지는 않지만, Fe의 양이 증가함에 따라 연성이 저하된다.(1) Adding Fe to the Au-Ni system increases the creep resistance of the solid solution and does not interfere with the fluidity (wetting) of the good liquid metal of the Au-Ni system, but the ductility decreases as the amount of Fe increases.
(2) 5%이상의 Cr을 Au-Ni 계에 첨가하게 되면 크리프 저항이 증가되나 합금이 경화되면서 니켈합금모재(Inconel 600) 위에서 액상 접합재의 유동 특성이 감소된다.(2) If more than 5% of Cr is added to Au-Ni system, creep resistance increases, but the flow characteristics of the liquid bonding material on the nickel alloy base material (Inconel 600) decreases as the alloy hardens.
(3) Au와 Ni의 비가 합금의 연성을 증가시키는 데에 중요한 역할을 한다.(3) The ratio of Au and Ni plays an important role in increasing the ductility of the alloy.
또, 접합에 필요한 다른 성질의 손실을 최소화하는 범위에서 고온강화원소의 양을 늘리는 연구가 이루어졌다. 여러 합금조성 중에서 Au-25∼40% Ni-3∼10% Cr-1∼5% Fe 영역의 합금은 1050∼1100℃에서 용융하며 고온 세라믹-금속 접합 공정에 필요한 요건들을 만족시켰다.In addition, studies have been made to increase the amount of high temperature strengthening elements in a range that minimizes the loss of other properties required for bonding. Among the alloy compositions, alloys in the Au-25-40% Ni-3-10% Cr-1-5% Fe region melted at 1050-1100 ° C. to meet the requirements for high temperature ceramic-metal bonding processes.
상평형도와 이러한 접합 실험결과를 바탕으로 56% Au-37% Ni-4.8% Cr-2.1% Fe 조성이 최종 박판의 조성으로 정해졌다. 이 합금 조성은 우수한 습윤성과 결합 특성을 가졌을 뿐아니라, 다른 조성에 비하여 뛰어난 연성을 가진다. 이 합금은 1000℃ 부근에서 용융하기 때문에 세라믹-금속 접합 공정의 상한 온도라고 생각되는 1050℃에서 접합시킬 수가 있었다.Based on the phase equilibrium and the results of these bonding experiments, 56% Au-37% Ni-4.8% Cr-2.1% Fe composition was determined as the final sheet composition. This alloy composition not only has excellent wettability and bonding properties, but also has excellent ductility compared to other compositions. Since this alloy melts in the vicinity of 1000 degreeC, it could join at 1050 degreeC considered to be the upper limit temperature of a ceramic-metal joining process.
이 조성의 박판형 생산을 위하여 120g의 합금을 질화 보론 도가니에 넣어 1300∼1400℃에서 유도 가열법으로 용융시킨 후 구리 모울드에 부어 2.0×0.75×0.25 의 막대형으로 만들었다. 아르곤 분위기에서 800℃, 24시간 열처리하여 균질화시킨 후에, 간헐적으로 진공 분위기에서 800℃, 2∼4시간 정도로 열처리(annealing) 하면서 0.002 두께의 박판형태(thick foil)로 압연하였다. 우수한 인성과 연성을 가졌기 때문에 이 합금은 성공적으로 압연되었다.For thin-film production of this composition, 120 g of alloy was placed in a boron nitride crucible and melted by induction heating at 1300-1400 ° C. and poured into a copper mold to form a rod of 2.0 × 0.75 × 0.25. After homogenization by heat treatment at 800 ° C. for 24 hours in an argon atmosphere, the film was rolled into a thick foil having a thickness of 0.002 with annealing at 800 ° C. for 2 to 4 hours in an intermittent vacuum atmosphere. The alloy was rolled successfully because of its good toughness and ductility.
표 2에서는 만들어진 박판형태의 합금 조성 분석결과를 나타내었고, 표 3은 상온 전단 강도 시험결과를 다른 상용 접합 합금들 Au-18% Ni (Nioro) 와 Au-5% Pd-2% Ni과 비교 하였다. 세라믹 재료로는 고온용 질화규소인 PY6(Si3N4-6%Y2O3 ; 미국 Wesgo Inc., Belmont, CA)와 금속재료로는 중간재로 가장 선호되는 Ni 200을 사용하였다. 이 실험은 접합 후 주어진 온도에서 파괴시키는 실험으로 크리프저항은 측정할 수 없으나, 합금의 적부성 검사에는 적합하여 사용되었다. 개발된 Au-Ni-Cr-Fe 합금은 기존 중온용 Au-18% Ni와 비슷한 전단강도를 나타내고 고온용으로 제공된 Au-5% Pd-2% Ni 보다는 양호한 것으로 판단된다.Table 2 shows the results of the thin alloy composition analysis, and Table 3 compares the results of room temperature shear strength with other commercially-bonded alloys Au-18% Ni (Nioro) and Au-5% Pd-2% Ni. . High-temperature silicon nitride PY6 (Si3N4-6% Y2O3; Wesgo Inc., Belmont, CA) was used as the ceramic material, and Ni 200, which is the most preferred intermediate material, was used as the metal material. This test is a test that breaks at a given temperature after joining. Creep resistance cannot be measured, but it is suitable for checking the adequacy of alloys. The developed Au-Ni-Cr-Fe alloy shows shear strength similar to that of Au-18% Ni for medium temperature, and is better than Au-5% Pd-2% Ni provided for high temperature.
실제로 이 재료가 사용되는 예로는 세라믹 자동차 엔진에 쓰이는 질화규소 터어빈과 트랜스밋션 재료로 쓰일 Incoloy 909의 접합이다. Ni를 중간재로 하여 PY6/Ni/Incoloy 909 순으로 배열하고 제1도와 같이 접합체를 형성하였다. 접합합금은 PY6-Ni 사이와 Ni-Incoloy 909 사이에 삽입되어 접합체를 이루었다. 접합체는 제2도에 도시된 소결 공정에 따라, 먼저 10℃/min의 가열속도로 800℃까지 가열되고, 800℃에서 10분간 유지된 다음, 다시 5℃/min의 가열속도로 재차 가열된 후 1050 내지 1100℃에서의 10분간 진공 브래이징 단계를 거쳐 노내에서 천천히 냉각되는 공정에 따라 생산되었다.Indeed, an example of this material is the joining of a silicon nitride turbine used in ceramic automotive engines with an Incoloy 909 as a transmission material. Ni was used as an intermediate material to arrange PY6 / Ni / Incoloy 909 in order to form a conjugate as shown in FIG. The bonded alloy was inserted between PY6-Ni and Ni-Incoloy 909 to form a bonded body. The conjugate is first heated to 800 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min, maintained at 800 ° C. for 10 minutes, and then again heated at a heating rate of 5 ° C./min according to the sintering process shown in FIG. 2. Produced according to a slow cooling process in the furnace through a vacuum brazing step at 1050 to 1100 ℃.
세라믹엔진에서 이 접합 부위가 접하게 되는 온도가 650℃이므로 이 접합체를 상온과 650℃에서 비틀림 강도를 측정하여 Au-Pd-Ni를 사용한 접합체의 비틀림 강도와 비교하였다. 이 결과는 표 4에 보인 바와 같다. 상온에서는 Au-Pd-Ni 합금을 사용한 결과가 우수하나, 650℃에서는 본 발명의 Au-Ni-Cr-Fe 가 현저하게 우수한 것으로 나타났다.Since the temperature at which the junction is in contact with the ceramic engine is 650 ° C, the torsional strength is measured at room temperature and 650 ° C and compared with the torsional strength of the joint using Au-Pd-Ni. This result is as shown in Table 4. The results using the Au-Pd-Ni alloy is excellent at room temperature, but the Au-Ni-Cr-Fe of the present invention was remarkably excellent at 650 ° C.
한편, Au-Ni-Fe와 Ni-Cr-Fe의 고용체로 이루어진 이 합금의 미세구조는 고온 크리프 강도를 향상시킬 수 있는 것으로 나타났다. Au-Ni, Au-Pd-Ni, Pd-Ni등 상용 접합 합금의 낮은 크리프 저항은 단일상의 고용체가 계에 존재하기 때문인데, 이 합금의 이중상(dual phase) 미세구조는 학연한 고온 성능 향상을 가져왔다.On the other hand, the microstructure of this alloy, consisting of a solid solution of Au-Ni-Fe and Ni-Cr-Fe, has been shown to improve high temperature creep strength. The low creep resistance of commercial junction alloys such as Au-Ni, Au-Pd-Ni, and Pd-Ni is due to the presence of a solid solution in a single phase in the system. Brought.
상기한 바와 같이 본 발명의 Au-Ni 계 합금은 Cr, Fe등의 고온 고용 강화재를 포함하고 있다. 이 합금은 결합성능(bonding performance), 강도, 그리고 연성 등에서 괄목할만한 성능을 보인다. 특별히, Au-Fe-Ni계와 Ni-Cr-Fe계의 고용상으로 이루어진 이중상 미세구조(dual phase microstructure)는 바람직한 고온 크리프 저항을 보여주고 있다. 이 합금은 인성과 연성이 매우 좋기 때문에 압연을 이용한 박판으로의 가공이 용이할 뿐만아니라, 귀금속의 함량이 줄어들었기 때문에 (〈 60%), 합금의 가격이 저렴하다는 장점이 있다. 이 접합합금은 고온 고성능 고기능용 접합체 형성에 적합하며 특히 세라믹 엔진, 화력발전용 연소기 내에서 사용되는 세라믹-금속 접합체 생산에 이용될 수 있다.As described above, the Au-Ni-based alloy of the present invention contains a high temperature solid solution reinforcing material such as Cr and Fe. This alloy has remarkable performance in bonding performance, strength and ductility. In particular, a dual phase microstructure consisting of a solid solution phase of Au-Fe-Ni-based and Ni-Cr-Fe-based shows a desirable high temperature creep resistance. Since the alloy has very good toughness and ductility, it is not only easy to process into a thin sheet by rolling, but also has an advantage that the alloy is inexpensive because the content of the precious metal is reduced (<60%). The alloy is suitable for forming high temperature, high performance, high performance joints and can be used in the production of ceramic-metal joints, especially used in ceramic engines and combustors for thermal power generation.
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