KR0172412B1 - Method for testing semiconductor memory device - Google Patents

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KR0172412B1
KR0172412B1 KR1019950053526A KR19950053526A KR0172412B1 KR 0172412 B1 KR0172412 B1 KR 0172412B1 KR 1019950053526 A KR1019950053526 A KR 1019950053526A KR 19950053526 A KR19950053526 A KR 19950053526A KR 0172412 B1 KR0172412 B1 KR 0172412B1
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윤석재
박진성
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김광호
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술 분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

반도체 메모리 장치의 테스트 기술에 관한 것이다.A test technique for semiconductor memory devices.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem to be solved by the invention

웨이퍼 레벨에서 결함이 있는 쎌에 대해 초기 스크린으로 페일을 유발하면 수율을 높게할 수 있을 뿐만 아니라 테스트 및 조립비용을 절감할 수 있는 반도체 메모리 장치 및 테스트회로를 제공함에 있다.By failing early screens for defective wafers at the wafer level, semiconductor devices and test circuits can be used to increase yields and reduce test and assembly costs.

3. 발명의 해결방법의 요지3. Summary of Solution to Invention

데이터의 기입 및 독출을 할 수 있는 다수개의 메모리 쎌들을 가지는 메모리 쎌 어레이와, 상기 메모리 쎌들과 접속된 비트라인들과, 상기 비트라인과 접속된 프리차아지 트랜지스터들을 가지는 반도체 메모리 장치에 있어서: 상기 메모리 쎌들을 테스트할 때의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 오프시킨후 기입동작을 수행하고, 패키지 단계에서의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 턴온시켜 상기 비트라인들을 프리차아지 시킨후 기입동작을 수행하기 위한 프리차아지 제어신호를 발생하는 제어수단을 가짐을 특징으로 한다.A semiconductor memory device having a memory cell array having a plurality of memory cells capable of writing and reading data, bit lines connected to the memory cells, and precharge transistors connected to the bit lines. A write operation when testing memory cells performs a write operation after turning off the precharge transistors, and a write operation in a package step turns on the precharge transistors to precharge the bit lines and then write them. And control means for generating a precharge control signal for performing the operation.

4. 발명의 중요한 용도4. Important uses of the invention

반도체 메모리 장치에 적합하게 사용된다.It is suitably used for semiconductor memory devices.

Description

반도체 메모리 장치의 테스트방법Test Method of Semiconductor Memory Device

제1도는 종래의 기술에 따라 구성된 스태틱램의 개략적인 회로도.1 is a schematic circuit diagram of a static ram constructed in accordance with the prior art.

제2도는 제1도에서 사용되는 여러 제어신호들의 타이밍 관계를 나타낸 타이밍도.2 is a timing diagram showing the timing relationship of various control signals used in FIG.

제3도는 일반적인 스태틱램의 메모리 쎌 어레이를 타나낸 도면.3 is a diagram showing a memory array of a general static RAM.

제4도는 본 발명에 따라 구성된 스태틱램의 개략적인 회로도.4 is a schematic circuit diagram of a static ram constructed in accordance with the present invention.

제5도는 제4도에서 사용되는 여러 제어신호들의 타이밍 관계를 나타낸 타이밍도.5 is a timing diagram showing a timing relationship of various control signals used in FIG.

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 메모리 장치의 메모리 쎌들을 테스트하기 위한 테스트 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to semiconductor memory devices, and more particularly, to a test technique for testing memory chips of a semiconductor memory device.

반도체 메모리 장치에 있어서 일반적으로 웨이퍼레벨로부터 패키지까지의 후단 검사과정은 웨이퍼 레벨 테스트인 프리레이져(Pre-Laser)의 결과로 페일된 쎌을 스페어(Spare)쎌로 대치하는 과정으로부터 진행된다. 그리고 패키지 조립후 프리-번(Pre-burn)으로 우선 동작확인후 칩에 스트레스를 가하여 결함이 있는 쎌은 페일 처리하는 번-인(Buen-in) 테스트 과정후 마지막으로 다시동작을 확인하는 테스트를 진행한다. 상기 언급한 후단 검사 과정에서 조립과정이나 번-인 과정에서 페일되는 쎌을 프리레이져에서 페일처리하여 리페어(Repair)함으로서 양호한 다이(die)를 만들 수 있으면 수율을 높일 수 있을뿐만 아니라 후단 검사과정의 불필요한 테스트 비용 및 조리비용을 줄일 수 있다.In the semiconductor memory device, the post-inspection process from the wafer level to the package generally proceeds from replacing the failed pins with spares as a result of the pre-laser, which is a wafer level test. After assembling the package, check the operation with pre-burn first, and then stress test the chip to check the operation again after the burn-in test process to process defective short fail. Proceed. In the above-mentioned post inspection process, repair and repair of the chips that are failed during the assembly process or the burn-in process by pre-laser can be used to improve the yield. Unnecessary test and cooking costs can be reduced.

반도체 메모리장치는 외부신호에 의해 선택된 쎌을 동작시키는데 외부에서 데이터를 입력하는 기입(Write) 동작과 쎌의 데이터를 외부로 출력하는 독출(Read) 동작모드로 구분할 수 있다. 또한, 일반적으로, 랜덤 액세스 메모리(RAM)인 스태틱 램(SRAM)은 두 개의 교차 연결된 인버터들의 플립-플롭의 구조를 포함하고 있다. 스태틱 램의 이러한 구조는 1990년 4월 10일 출원된 미국 특허번호 4,916,668인 INTERNAL SYNCRONIZATION TYPE MOS SRAM WITH ADDRESS TRANSITION DETECTING CIRCUIT과 1985 INTERNATIONAL SOLID-STATE CIRCUITS CONFERENCE DIGEST OF TECHNICAL PAPER page 64, 65A 17ns 64K COMS RAM WITH A SCHMITT TRIGGER SENSE AMPLIFIER에 자세히 개재되어 있다.The semiconductor memory device may be classified into a write operation for inputting data from an external signal and a read operation mode for outputting the data of the pin to an external device. Also, static RAM (SRAM), which is generally a random access memory (RAM), includes a flip-flop structure of two cross-connected inverters. This structure of the static ram was filed in US Pat. A SCHMITT TRIGGER SENSE AMPLIFIER

제1도는 종래의 기술에 따른 스태틱램(Static RAM)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 제2도는 제1도에 도시된 스태틱램의 기입동작을 나타낸 타이밍도이다.FIG. 1 is a view schematically showing a structure of a static RAM according to the related art, and FIG. 2 is a timing diagram showing a writing operation of the static RAM shown in FIG.

제1도를 참조하여 구조를 살펴보면, 메모리 쎌 MC1-1은 고저항 부하 소자인 R1, R2와 엔채널형의 구동 모오스 트랜지스터 Q3, Q4와, 그리고 엔채널형의 패스 모오스 트랜지스터 Q1, Q2를 포함한다.Referring to FIG. 1, the memory 쎌 MC1-1 includes a high resistance load element R1, R2, an en-channel driving MOS transistor Q3, Q4, and an en-channel pass MOS transistor Q1, Q2. do.

상기 고저항 부하소자 R1, 그리고 R2의 일단은 전원전압이 인가되고 타단은 상기 트랜지스터 Q3, Q4의 드레인 단자와 연결된다. 그리고, 상기 트랜지스터 Q3, Q4 소오스 단자는 접지전압과 연결된다. 상기 트랜지스터 Q3의 게이트 단자는 상기 고저항성 소자 R2와 상기 트랜지스터 Q4의 접합점인 노드 N2에 공통 연결된다. 상기 트랜지스터 Q4의 게이트 단자는 상기 고저항성 소자 R1과 상기 트랜지스터 Q3의 접합점인 노드 N1에 공통 연결된다. 모오스 트랜지스터 Q1의 전류 패스는 비트라인 B/L0과 상기 노드 N1사이에 연결되며, 게이트는 워드라인 WL1에 연결된다. 상기 트랜지스터 Q2의 전류패스는 비트라인와 상기 노드 N2사이에 연결되며, 게이트는 상기 워드라인 W/L1에 연결된다. 상기 노드 N1 그리고 N2는 상보적인 데이터를 가지며 상기 트랜지스터 Q1, 그리고 Q2가 턴-온 되었을때는 상기 상보적 데이터가 상기 비트라인 B/L0, 그리고에 전달되어 진다. 이와같은 메모리 쎌을 4-트랜지스터 형의 스태틱 메모리 쎌이라 칭한다. 상기 메모리 쎌들 MC1-1~MC1-j로 구성된 스트링이 각 비트라인쌍들 B/L1,, ... , B/L1,사이에 접속된 메모리 쎌 어레이가 도시되어 있다. 상기 메모리 쎌들은 8개 내지 32개 및 그 이상의 메모리 쎌들로 구성될 수도 있다.One end of the high resistance load elements R1 and R2 is supplied with a power supply voltage and the other end thereof is connected to the drain terminals of the transistors Q3 and Q4. The transistor Q3 and Q4 source terminals are connected to a ground voltage. The gate terminal of the transistor Q3 is commonly connected to the node N2 which is the junction of the high resistive element R2 and the transistor Q4. The gate terminal of the transistor Q4 is commonly connected to the node N1 which is the junction of the high resistive element R1 and the transistor Q3. The current path of MOS transistor Q1 is connected between bit line B / L0 and the node N1, and the gate is connected to word line WL1. The current path of the transistor Q2 is a bit line Is connected between the node and the node N2, and a gate is connected to the word line W / L1. The nodes N1 and N2 have complementary data, and when the transistors Q1 and Q2 are turned on, the complementary data is the bit line B / L0, and Is delivered to. Such a memory shock is called a 4-transistor static memory shock. Each of the bit line pairs B / L1 includes a string consisting of the memory cells MC1-1 to MC1-j. , ..., B / L1, An array of memory chips connected between them is shown. The memory chips may be comprised of 8 to 32 and more memory chips.

상기 메모리 쎌들중 선택된 쎌의 비트라인 B/L과 접속된 프리차아지 트랜지스터들 P1, P2중 프리차아지 트랜지스터 P2는 기입 동작시 오프가 되나, 다른 상기 프리차아지 트랜지스터 P1은 항상 온이 되어 있다. 이는 기입 동작후의 독출 동작시 동작속도를 빠르게 하는데 도움이 된다. 그런데 이러한 구조는 일반 독출 및 기입에는 문제가 없으나 초기불량 스크린(Screen)을 위한 테스트 패턴 적용에는 문제가 있다.The precharge transistors P1 and P2 of the precharge transistors P1 and P2 connected to the bit line B / L of the selected one of the memory cells are turned off during the write operation, but the other precharge transistor P1 is always on. . This helps to speed up the operation speed in the read operation after the write operation. However, such a structure has no problem in general reading and writing, but there is a problem in applying a test pattern for an initial defective screen.

상기 패스 트랜지스터들 Q1, Q2의 불량을 스크린하기 위하여 사용하는 테스트 패턴을 일반적으로 디스터브(Disturb)패턴이라 하는데, 종래의 구조로는 효과적인 디스터브를 구현할 수 없다.The test pattern used to screen the defects of the pass transistors Q1 and Q2 is generally called a disturb pattern. However, a conventional structure does not provide effective disturb.

이러한 디스터브는 제3도에 도시된 메모리 쎌 어레이에서와 같이 로우형태(Row Stripe)로 논리 데이터 1 또는 0를 기입한후에 짝수 워드라인 W/L만을 선택하여 홀수 워드라인 W/L에 해당하는 쎌에 기입되어 있는 쎌 노드 즉 상기 패스 트랜지스터 Q1, Q2의 드레인이 워드라인 WL과 접속된 노드(이하 쎌노드 CN이라 칭함)전압과 비트라인들 B/L,사이의 위상을 반대로 가져감으로써, 상기 팩스 트랜지스터 Q1, Q2에 스트레스를 가하는 효과를 얻어 결함이 있는 패스 트랜지스터 Q1, Q2을 가진 쎌을 페일 시키는 방법이다. 상기 디스터브 패턴의 가장 효과적인 방법은 쎌 노드 CN과 비트라인 B/L사이의 위상차이를 가능한한 최대로 하여 테스트하는 방법이다.This disturb can be performed by writing the logical data 1 or 0 in a row stripe as shown in the memory array of FIG. 3, and then selecting only the even word lines W / L to correspond to the odd word lines W / L. A node (i.e., a "node node CN") to which the drain node of the pass transistors Q1 and Q2 which are written is connected to the word line WL (hereinafter referred to as the "node node CN"), and the bit lines B / L; By inverting the phases between them, the effect of stressing the fax transistors Q1 and Q2 is obtained, and a fault with the defective pass transistors Q1 and Q2 is failed. The most effective method of the disturb pattern is a method of testing with the maximum possible phase difference between the n-node CN and the bit line B / L.

그런데 제2도에서와 같이 선택된 비트라인 B/L0,의 위상조차도 외부 데이터로 기입함에도 불구하고 항상 온상태인 상기 프리차아지 트랜지스터 P1에 의해 완전한 그라운드 레벨의 위상이 되지 못하며, 그 외의 나머지 B/Li,의 위상은 외부입력이 없을뿐 아니라 프리차아지 트랜지스터 P1에 의해 비트라인쌍 B/L,전원전압으로 프리차아지 되어 있어 상기 언급된 디스터브 패턴에 의한 상기 패스 트랜지스터 Q1, Q2에 스트레스 효과가 거의 없어 효과적인 페일 스크린이 되지 못하여 후단 검사 과정중 페일이 발생하면 수율의 감소와 불필요한 테스트 비용의 증가를 직접적으로 유발할 수 있다.However, as shown in FIG. 2, the selected bit line B / L0, Even when the phase of is written to the external data, the precharge transistor P1, which is always on, does not become a complete ground level phase, and the rest of B / Li, In addition to the external input, the phase of the bit line pairs B / L, Precharged to the power supply voltage, the pass transistors Q1 and Q2 due to the above-mentioned disturbance pattern have almost no stress effect and thus fail to be an effective fail screen. Therefore, if a failure occurs during the post inspection process, yield decreases and unnecessary test cost increases. Can be induced directly.

따라서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 레벨의 테스트의 효율을 높일 수 있는 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device and a test method capable of increasing the efficiency of wafer-level testing.

본 발명의 다른 목적은 수율을 높일 수 있는 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor memory device and a test method which can increase the yield.

본 발명의 또 다른 목적은 메모리 쎌의 페일의 초기에 발견함으로써 비용을 절감할 수 있는 반도체 메모리 장치 및 테스트 방법을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a semiconductor memory device and a test method which can reduce costs by early detection of a failing memory chip.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따르면, 데이터의 기입 및 독출을 할 수 있는 다수개의 메모리 쎌들을 가지는 메모리 쎌 어레이와, 상기 메모리 쎌들과 접속된 비트라인들과, 상기 비트라인과 접속된 프리차아지 트랜지스터들을 가지는 반도체 메모리 장치에 있어서: 상기 메모리 쎌들을 테스트할 때의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 오프시킨후 기입동작을 수행하고, 패키지 단계에서의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 턴온시켜 상기 비트라인들을 프리차아지 시킨후 기입동작을 수행하기 위한 프리차아지 제어신호를 발생하는 제어수단을 가짐을 특징으로 한다.According to the technical idea of the present invention for achieving the above object, a memory array having a plurality of memory pins capable of writing and reading data, a bit line connected to the memory pins, A semiconductor memory device having connected precharge transistors, the write operation when testing the memory cells performs a write operation after turning off the precharge transistors, and a write operation in a package step includes the precharge. And control means for generating a precharge control signal for performing a write operation after precharging the bit lines by turning on azi transistors.

이하 본 발명의 바람직한 실시예들의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 설명된다.DETAILED DESCRIPTION A detailed description of preferred embodiments of the present invention will now be described with reference to the accompanying drawings.

도면들 중 동일한 구성요소 및 부분들은 가능한한 어느곳에서든지 동일한 부호들을 나타내고 있음을 유의하여야 한다.It should be noted that like elements and parts in the drawings represent like reference numerals wherever possible.

제4도는 본 발명에 따라 구성된 스태틱 램의 상태모드를 설명하기 위해 구성된 개략적인 회로도이다.4 is a schematic circuit diagram for explaining a state mode of a static RAM constructed in accordance with the present invention.

제4도에 도시된 메모리 쎌 어레이는 제1도에 도시된 회로와 동일하고, 상기 비트라인 BL과를 제어하기 위해 구성된 제어회로가 변경되었다. 상기 변경된 제어회로는 기입인에이블신호 WE와 워드라인제어신호 PWL를 인가받는 낸드게이트 G3와, 상기 낸드게이트 G3의 출력신호를 인가받는 낸드게이트 G4와, 프리차아지 제어신호 φPRE, φPRES를 제어하기 위해 생성된 외부 프리차아지 제어신호 XPC(이하 제어신호라 칭함)를 인버어터들 G5~G8을 통해 소정시간 지연하는 회로들로 구성된다. 상기 낸드 게이트 G4를 통해 출력되는 프리차아지 제어신호 φPRE는 상기 프리차아지 트랜지스터들 P2의 게이트를 제어하는 신호로써 상기 신호들 WE, PWL, XPC에 의해 온 혹은 오프되고, 상기 인버어터 G8의 출력신호인 프리차아지 제어신호 φPRES는 일반적인 독출 및 기입동작시에는 항상 온상태가 된다. 그리고 상태모드시 즉 상기 신호 XPC가 하이레벨이면 따른 외부신호에 관계없이 프리차아지 제어신호 φPRE와 φPRES는 하이레벨 상태로 되고, 따라서, 어드레스 디코더, 클럭 신호등에는 아무런 영향 미치지 않고 원하는 모드에서의 동작을 행할 수 있다.The memory chip array shown in FIG. 4 is the same as the circuit shown in FIG. The control circuit configured to control the was changed. The modified control circuit controls the NAND gate G3 receiving the write enable signal WE and the word line control signal PWL, the NAND gate G4 receiving the output signal of the NAND gate G3, and the precharge control signals φ PRE and φ PRES. The external precharge control signal XPC (hereinafter referred to as a control signal) generated for this purpose is composed of circuits which delay a predetermined time through the inverters G5 to G8. The precharge control signal? PRE output through the NAND gate G4 is a signal for controlling the gates of the precharge transistors P2 and is turned on or off by the signals WE, PWL, and XPC, and is output from the inverter G8. The precharge control signal? PRES, which is a signal, is always on during normal read and write operations. In the state mode, that is, the precharge control signals? PRE and? PRES are in the high level regardless of the external signal according to the signal XPC at the high level, and thus the operation in the desired mode has no effect on the address decoder, the clock signal, or the like. Can be done.

제5도는 제4도에서 사용되는 여러신호들의 타이밍 관계를 나타낸 타이밍도이다.5 is a timing diagram illustrating a timing relationship of various signals used in FIG. 4.

제4도와 제5도를 통하여 동작을 설명하면, 상기 신호 XPC가 하이레벨이 되면, 프리차아지 제어신호들 φPRE, φPRES은 하이레벨이 되어 다른 신호에 관계없이 칩의 전체 프리차아지 트랜지스터 P1, P2는 오프되고, 기입 드라이버에 의해 비트라인 B/L,의 레벨이 결정되어진다. 예를 들어 제3도에서와 같이 디스터브 테스트시 워드라인 W/L 방향으로 0,1 데이터를 기입한후 짝수 워드라인 W/L에 해당하는 쎌을 기입하는 동작을 반복할 때 종래 기술에서는 선택되지 않은 비트라인 B/L의 전압위상은 프리차아지 회로에 의해서 완전한 그라운드 레벨로 가지 않아 선택되지 않은 홀수 어드라인에 연결된 쎌의 1 데이터는 불량한 패스 트랜지스터에 의해 소실될 가능성이 줄어든다. 즉, 초기 불량 스크린이 되지 않는다.4 and 5, when the signal XPC becomes high level, the precharge control signals φPRE and φPRES become high level so that the entire precharge transistor P1, P2 is turned off, and the bit line B / L, The level of is determined. For example, when repeating the operation of writing 0,1 data in the word line W / L direction and then writing a corresponding number of even word line W / L during the disassembly test as shown in FIG. The voltage phase of the unused bit line B / L is not taken to the full ground level by the precharge circuit, reducing the possibility that one data of 연결된 connected to an unselected odd number of odd lines is lost by a bad pass transistor. That is, it does not become an initial bad screen.

본 발명의 제4도에서는 디스터브 테스트시 XPC 패드에 하이레벨의 신호를 인가하여 φPRE를 끊어 주게 돠므로 선택되지 않은 홀수 워드라인 W/L에 연결된 쎌의 1 데이터는 해당 쎌의 패스 트랜지스터가 불량할 때 누스(Leakage)가 발생하는 좋은 조건(비트라인이 그라운드 레벨로 되는 것)으로 되어 초기 불량 스크린이 용이하게 되는 것이다.In FIG. 4 of the present invention, a high-level signal is applied to the XPC pad during the disturb test so that φ PRE is disconnected. Therefore, 1 data of the pin connected to the unselected odd word line W / L may cause the pass transistor of the corresponding pin to be bad. This is a good condition where leakage occurs (the bit line is at ground level), which facilitates an initial bad screen.

본 발명은 스태틱 램에 한정하여 실시하였지만 이들은 동일한 효과를 얻는 범위내에서 디램(DRAM)에도 실시되어질 수도 있다.Although the present invention has been limited to static RAM, they may also be implemented on DRAM (DRAM) within the scope of obtaining the same effect.

상기 페일여부를 판단하는 기능은 짧은 사이클 타임보다는 긴 사이클 타임에서 패스 트랜지스터의 누수(Leakage)를 유발할 수 있어 더욱 효과적이다.The function of determining whether the fail may cause leakage of the pass transistor in a long cycle time rather than a short cycle time is more effective.

전술한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼 레벨에서 결함이 있는 쎌에 대해 초기 스크린으로 페일을 유발하면 수율을 높게할 수 있을뿐만 아니라 테스트 및 조립비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention has the effect of not only increasing the yield but also reducing the test and assembly costs by causing the initial screen to fail on the defective wafer at the wafer level.

상기한 본 발명은 도면을 중심으로 예를들어 한정되었지만, 그동일한 것은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 변화와 변형이 가능함이 본 분야의 숙련된 자에게 있어 명백할 것이다.Although the present invention described above is limited to, for example, the drawings, the same will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

Claims (3)

데이터의 기입 및 독출을 할 수 있는 다수개의 메모리 쎌들을 가지는 메모리 쎌 어레이와, 상기 메모리 쎌들과 접속된 비트라인들과, 상기 베트라인과 접속된 프리차아지 트랜지스터들을 가지는 반도체 메모리 장치에 있어서: 상기 메모리 쎌들을 테스트할 때의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 오프시킨후 기입동작을 수행하고, 패키지 단계에서의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 턴온시켜 상기 비트라인들을 프리차아지 시킨후 기입동작을 수행하기 위한 프리차아지 제어신호를 발생하는 제어수단을 가짐을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.A semiconductor memory device having a memory cell array having a plurality of memory cells capable of writing and reading data, bit lines connected to the memory cells, and precharge transistors connected to the betaine. A write operation when testing memory cells performs a write operation after turning off the precharge transistors, and a write operation in a package step turns on the precharge transistors to precharge the bit lines and then write them. And control means for generating a precharge control signal for performing an operation. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 기입인에이블 신호와 워드라인 제어신호를 인가받는 제1낸드게이트와, 상기 프리차이지 제어신호를 제어하기 위해 생성된 외부 프리차아지 제어신호를 소정시간 지연한 뒤 반전시킨 반전제어신호와 상기 제1낸드게이트의 출력신호를 인가받는 제2낸드게이트와, 상기 반전제어신호를 반전시키는 인버어터로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.The method of claim 1, wherein the control unit delays a predetermined time delay between the first NAND gate receiving the write enable signal and the word line control signal, and the external precharge control signal generated to control the precharge control signal. And a second NAND gate receiving the inverted control signal inverted later, an output signal of the first NAND gate, and an inverter inverting the inverted control signal. 데이터의 기입 및 독출을 할 수 있는 다수개의 메모리 쎌들을 가지는 메모리 쎌 어레이와, 상기 메모리 쎌들과 접속된 비트라인들과, 상기 비트라인과 접속된 프리차아지 트랜지스터들을 가지는 반도체 메모리 장치의 웨이퍼레벨 테스트 방법에 있어서: 상기 메모리 쎌들을 테스트할 때의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 오프시킨후 기입동작을 수행하고, 패키지 단계에서의 기입동작은 상기 프리차아지 트랜지스터들을 턴온시켜 상기 비트라인들을 프리차아지 시킨후 기입동작을 수행하는 웨이퍼레벨 테스트방법.A wafer level test of a semiconductor memory device having a memory array having a plurality of memory chips capable of writing and reading data, bit lines connected to the memory chips, and precharge transistors connected to the bit lines. A method: A write operation when testing the memory chips performs a write operation after turning off the precharge transistors, and a write operation in a package step turns on the precharge transistors to free the bit lines. A wafer level test method that performs a write operation after charging.
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