KR0164505B1

KR0164505B1 - Lamp alignment system of an optical stepper

Info

Publication number: KR0164505B1
Application number: KR1019950055682A
Authority: KR
Inventors: 김성석; 정의웅; 장일진
Original assignee: 김광호; 삼성전자주식회사
Priority date: 1995-12-23
Filing date: 1995-12-23
Publication date: 1999-02-01
Also published as: KR970051885A

Abstract

본 발명은 반도체소자의 제조공정중 사진공정에 사용되는 스텝퍼장비에 관한 것으로 특히 램프의 정렬 및 고정에 사용되는 조명 정렬 시스템의 구조에 대한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stepper device used in a photographic process during the manufacturing process of a semiconductor device, and more particularly, to a structure of an illumination alignment system used for alignment and fixing of a lamp.

종래의 조명 정렬시스템은 램프의 고정부가 불안정하며 후면반사경의 정렬에 많은 공정이 필요하고, 조절 이후에도 외부에 충격에 의해 정렬이 쉽게 흐트러지기 때문에, 램프의 균일도가 변하여 웨이퍼에 형성되는 패턴의 재현성이 떨어지게 되어 제품의 품질을 저하시키는 문제점들이 있었다.Conventional lighting alignment system is unstable fixing part of the lamp and requires a lot of processes for the alignment of the rear reflector, and even after adjustment, the alignment is easily distorted by the impact on the outside, so that the uniformity of the lamp is changed and the pattern formed on the wafer is reproducible. There was a problem to fall and degrade the quality of the product.

본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 램프를 견고하게 고정하는 소켓과 조절나사에 의해 조정되는 좌우, 상하, 전후 정렬 이동되는 각각의 블록을 설치하여 후면 반사경의 정렬위치를 빠르고 간편하게 조절되도록 하여 빛의 강도 및 균일도의 재현성이 뛰어나 사진공정시 램프의 정렬결함을 방지되도록 한 것이다.The present invention is to overcome the above-mentioned problems, by installing the respective blocks to move the left and right, up and down, front and rear alignment adjusted by the socket and the adjustment screw for firmly fixing the lamp to quickly and easily adjust the alignment position of the rear reflector It is excellent in reproducibility of light intensity and uniformity so as to prevent misalignment of the lamp during the photographing process.

Description

Lighting alignment system of stepper for photo process

제1도는 본 발명의 실시예에 따른 조명 정렬시스템의 구성을 나타낸 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing the configuration of the lighting alignment system according to an embodiment of the present invention.

제2a도 및 제2b도는 각각 본 발명에 의한 후면 반사경의 좌우 및 상하 위치조절 동작상태도.2a and 2b is a left and right and up and down position adjustment operation state of the rear reflector according to the present invention, respectively.

제2c도는 본 발명에 의한 후면 반사경의 전후 위치조절 동작상태도.2c is a front and rear positioning operation state of the rear reflector according to the present invention.

제3a도는 종래 조명 정렬시스템의 개략적인 구성도.Figure 3a is a schematic diagram of a conventional lighting alignment system.

제3b도는 종래 조명 정렬시스템의 위치정렬부의 구조도.Figure 3b is a structural diagram of the alignment portion of the conventional lighting alignment system.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

110 : 소켓수단 111 : 상부소켓110: socket means 111: upper socket

112 : 하부소켓 120 : 좌우 슬라이드 블록112: lower socket 120: left and right slide block

130 : 상하 슬라이드 블록 140 : 프레임 수단130: upper and lower slide block 140: frame means

151, 152, 153 : 좌우, 상하, 전후 조절나사 210 : 램프151, 152, 153: Left, Right, Up and Down Adjustment Screw 210: Lamp

본 발명은 반도체소자의 제조공정중 사진공정에 사용되는 스텝퍼장비에 관한 것으로 특히 램프의 정렬 및 고정에 사용되는 조명 정렬 시시템의 구조에 대한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stepper device used in a photographic process during the manufacturing process of a semiconductor device, and more particularly, to a structure of an illumination alignment system used for alignment and fixing of a lamp.

일반적으로 스텝퍼장비에서는 마스크에 형성된 패턴을 광원을 통하여 웨이퍼 위에 노출시켜 원하는 패턴을 형성하는 데 사용한다.In general, stepper equipment is used to form a desired pattern by exposing the pattern formed on the mask on the wafer through a light source.

그중 노출에 필요한 광원인 램프를 고정 또는 정렬하는 데 조명 정렬 시스템을 사용한다. 이 조명 정렬시스템은 램프에 전원의 공급과 고정하는 소켓부와 램프의 빛이 전면으로 직진성향을 갖도록 고정된 후면 반사경의 위치를 조절하는 위치정렬부로 구성된다.The lighting alignment system is used to fix or align the lamp, which is a light source for exposure. The lighting alignment system comprises a socket portion for supplying and fixing power to the lamp, and a position alignment portion for adjusting the position of the fixed rear reflector so that the light of the lamp has a straight propagation toward the front side.

제3a도는 상술한 구성을 갖는 종래의 조명 정렬시스템의 개략적인 구성을 나타낸 것으로, 우측에 램프(1)를 고정하는 케소드(1a)와 애노드(1b)를 구비한 소켓부와, 상기 램프의 좌측에 위치한 후면반사경(3)을 고정하는 지지관(4)과 이 관을 상기 램프와 일직선상에 배열되도록 고정하는 조절나사(5)를 구비한 위치정렬부로 구성되어 있다.Figure 3a shows a schematic configuration of a conventional lighting alignment system having the above-described configuration, the socket portion having a cathode (1a) and an anode (1b) for fixing the lamp (1) on the right side, and It consists of a positioning tube having a support tube (4) for fixing the rear reflector (3) located on the left side and an adjusting screw (5) for fixing the tube to be arranged in line with the lamp.

상술한 구조를 갖는 종래의 조명 정렬시스템은 상기 램프(1)를 고정하는 소켓부위가 한쪽에서만 조이고 풀어 주는 구조를 가지고 있어 다른 한쪽의 고정부위는 쉽게 마멸되어 전극의 연결기능을 제대로 할 수 없는 실정이었다.The conventional lighting alignment system having the above-described structure has a structure in which the socket portion for fixing the lamp 1 is tightened and released only from one side, so that the other fixed portion is easily worn and cannot properly connect the electrodes. It was.

그리고 소켓의 재질로는 전도성을 좋게 하고 열에 잘 견디도록 알루미늄을 사용하고 있으나, 나사산이 잘 무디어 지고 변형이 발생하여 램프의 고정기능을 제대로 할 수 없었다.And the material of the socket is made of aluminum to improve the conductivity and to withstand heat well, but the screw thread dulls well and deformation occurs, so the lamp cannot be properly fixed.

제3b도는 상기 위치정렬부의 정면을 도시한 것으로, 상기 지지관(4)은 후면 반사경이 고정된 원통형의 프레임(4)에 삽입된 상태에서 상기 조절나사(5)를 통하여 3부위에서 고정된 구조를 가지고 있다.3b shows the front of the alignment portion, wherein the support tube 4 is fixed at three positions through the adjustment screw 5 while being inserted into the cylindrical frame 4 having the rear reflector fixed thereto. Have

종래의 조명 정렬시스템의 구조에서 광의 강도(Intensity)는 상기 램프(1)와 후면 반사경(3) 사이의 거리에 의하여 조절된다.In the structure of a conventional lighting alignment system, the intensity of light is controlled by the distance between the lamp 1 and the rear reflector 3.

상기 간격의 조절시 또는 램프(1)와 후면 반사경(3)이 일직선상에 위치되도록 하기 위해서 상기 조절나사(5)를 이용하여 상기 반사경의 정렬위치를 조절하게 된다.In order to adjust the gap or to arrange the lamp 1 and the rear reflector 3 in a straight line, the adjusting screw 5 is used to adjust the alignment position of the reflector.

그러나 상기 후면반사경(3)을 상하 또는 좌우로 조절하기 위해서는 3개소에 위치한 조절나사(5) 각각을 조이고 푸는 조합을 통하여 원하는 위치로 정렬 고정하나, 이와 같은 조절방법은 많은 작업공수를 필요로 하게 되며 미세한 조정이 불가능한 실정이었다.However, in order to adjust the rear reflector (3) up and down or left and right, each of the adjustment screws (5) located in three places by fixing and aligning to the desired position through a combination, but this adjustment method requires a lot of labor It was impossible to make fine adjustments.

또한 상술한 반사경의 불안정한 고정상태에서는 외부에 충격에 의해 쉽게 반사경의 정렬이 쉽게 흐트러지게 된다.In addition, in the unstable fixation state of the reflector described above, the alignment of the reflector is easily disturbed by an external impact.

때문에 공정중 램프의 균일도가 변하게 되고 웨이퍼에 형성되는 패턴의 재현성이 떨어지게 되어 제품의 품질을 저하시키는 문제점들이 있었다.As a result, the uniformity of the lamp is changed during the process, and the reproducibility of the pattern formed on the wafer is lowered, thereby degrading the quality of the product.

즉 종래의 램프고정 시스템은 램프와 후면 반사경의 고정태가 불안정하며 정렬과정이 복잡하고 공정중 램프의 균일도가 변하게 되어, 웨이퍼에 형성되는 패턴의 재현성이 떨어지게 되어 제품의 품질을 저하시키는 문제점들이 있었다.That is, the conventional lamp fixing system is unstable fixation of the lamp and the rear reflector, the alignment process is complicated, and the uniformity of the lamp is changed during the process, the reproducibility of the pattern formed on the wafer is deteriorated, there was a problem of lowering the quality of the product.

본 발명은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로, 램프의 정렬 및 강도의 조절이 용이하도록 한 사진공정용 스텝퍼의 조명정렬시스템을 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an illumination alignment system of a stepper for a photo process that facilitates alignment and intensity adjustment of a lamp.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로는 반도체소자 제조공정중 사진공정의 사용되는 램프를 고정하고 고정된 램프의 후면에 위치한 후면 반사경 고정 및 정렬하는 스텝퍼 장비의 조명 정렬시스템에 있어서, 상기 램프의 상하 전극을 고정하는 각각의 소켓수단과, 상기 후면반사경의 좌우 및 상하 위치를 각각 조절하는 위치조절수단과, 상기 소켓수단과 위치조절수단을 고정하는 중심에 소정 직경의 통공을 구비한 프레임수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.A feature of the present invention for achieving the above object is in the lighting alignment system of the stepper equipment for fixing the lamp used in the photolithography process during the semiconductor device manufacturing process and fixing and aligning the rear reflector located on the back of the fixed lamp, Each socket means for fixing the upper and lower electrodes of the frame, Position adjusting means for adjusting the left and right and up and down positions of the rear reflector, and Frame means having a through hole of a predetermined diameter in the center for fixing the socket means and the position adjusting means Characterized in that it comprises a.

이를 위하여 상기 소켓수단은 상기 램프의 애노드에 연결되는 전원단자를 구비한 하부소켓과, 상기 하부소켓이 프레임수단의 소정위치에 상호절연되도록 고정하는 고정편과, 상기 램프의 케소드에 연결되는 전원단자를 구비한 상부 소켓으로 구성한다.To this end, the socket means includes a lower socket having a power terminal connected to the anode of the lamp, a fixing piece for fixing the lower socket to be insulated from each other at a predetermined position of the frame means, and a power source connected to the cathode of the lamp. It consists of an upper socket with terminals.

이를 위하여 상기 위치조절수단은 상기 프레임수단의 통공 상하에 좌우로 소정길이를 갖는 가이드편을 소정간격으로 대칭되게 형성하고, 후면에 상기 가이드편에 끼워져 좌우 이동되는 돌기와 전면에 수직의 가이드 홈 및 이 홈의 중심에 위치한 상하 소정길이의 장공을 갖는 좌우 슬라이드 블록과, 후면에 상기 좌우 슬라이드블럭의 수직의 가이드 홈을 따라 상하 이동되는 돌기와 중심에 상기 후면 반사경의 고정부가 삽입되는 통공을 갖는 상하 슬라이드 블록과, 상기 좌우, 상하 슬라이드 블록의 위치를 조절하는 위치조절부로 구성한다.To this end, the position adjusting means is formed to be symmetrically formed at a predetermined interval in the guide piece having a predetermined length to the left and right through the upper and lower holes of the frame means, and the guide groove perpendicular to the projection and the front and left to be inserted into the guide piece on the back and the The upper and lower slide blocks having a left and right slide block having a predetermined length of the upper and lower predetermined holes located in the center of the groove, projections vertically moved along the vertical guide grooves of the left and right slide blocks at the rear, and through holes into which the fixing portion of the rear reflector is inserted at the center. And, it consists of a position adjusting unit for adjusting the position of the left and right, up and down slide block.

상술한 구성을 갖는 본 발명은 램프의 고정부의 결함을 방지하고 반사경의 정렬을 간편하게 하여 사진공정의 균일도를 높이도록 한 것이다.The present invention having the above-described configuration is to prevent the defect of the fixing portion of the lamp and to simplify the alignment of the reflector to increase the uniformity of the photographic process.

이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 작용·효과를 첨부된 도면에 따라서 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention, actions and effects will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 램프를 고정하는 소켓과 후면 반사경을 좌우, 상하, 전후로 서로 구분하여 정렬하므로서 정렬의 조절이 간편하고 안정되도록 한 것이다.The present invention is to adjust the alignment is easy and stable by aligning the socket for fixing the lamp and the rear reflector to the left and right, up and down, front and rear separately.

이하, 본 발명의 구체적인 구성 및 동작관계를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the specific configuration and operation relationship of the present invention will be described.

제1도는 본 발명의 전체적인 구성을 나타낸 사시도로, 크게 램프(210)를 고정하는 소켓수단(110)과, 후면 반사경(221)이 위치한 고정부(220)의 위치를 조절하는 위치조절수단과, 상기 소켓수단(110)과 상기 위치조절부를 고정하는 프레임수단(140)으로 구성된다.1 is a perspective view showing the overall configuration of the present invention, the position means for adjusting the position of the fixing means 220, the socket means 110 and the rear reflector 221 is largely fixed to the lamp 210, Consists of the frame means 140 for fixing the socket means 110 and the position adjusting portion.

상기 소켓수단(110)은 상기 램프(210)의 애노드(211)와 케소드(212)측에 각각 연결되는 전원단자를 구비한 하부소켓(111) 및 상부소켓과 상기 하부소켓(112)을 상기 프레임수단(140)에 절연되게 고정하는 고정편(113)으로 구성된다.The socket means 110 includes a lower socket 111 and an upper socket and the lower socket 112 having a power terminal connected to an anode 211 and a cathode 212 side of the lamp 210, respectively. It consists of a fixing piece 113 to be insulated and fixed to the frame means 140.

그리고 하부 및 상부 소켓(112),(111)은 양측이 서로 분리되어 나사에 의해 램프체결공(112a),(111a)의 간격이 조절되는 구조를 갖되 하부 소켓(112)은 일측이 상기 고정편(113)에 고정되도록 한다.In addition, the lower and upper sockets 112 and 111 have a structure in which both sides thereof are separated from each other so that the distance between the lamp fastening holes 112a and 111a is adjusted by screws, but the lower socket 112 has one side of the fixing piece. To (113).

상기 소켓(111),(112)의 소재로는 알루미늄과 텅스텐 합금을 사용하여 전도성이 좋고 열에 강하며 강도가 양호하며, 상기 고정편(113)은 세라믹재질로 형성한다.As the material of the sockets 111 and 112, aluminum and tungsten alloys are used, and the conductivity is good, strong against heat, and good in strength. The fixing piece 113 is formed of a ceramic material.

또한 상기 소켓 고정나사는 램프(210)의 전극이 끼워질수 있을 정도의 약 4㎜ 이동 여유를 갖도록 하되 완전히 분리되지 않도록 한다.In addition, the socket fixing screw to have a movement margin of about 4 mm enough to fit the electrode of the lamp 210, but not to be completely separated.

상기 위치조절수단(130)은 프레임수단(140)에 고정되는 램프의 중심부 위치의 통공(141)을 중심으로 상기 후면반사경 고정부(220)의 위치를 조절하는 좌우 슬라이드 블록(120)과, 상하 슬라이드 블록(130) 및 상기 블록의 위치를 각각 조절하는 조절부로 구성된다.The position adjusting means 130 is a left and right slide block 120 for adjusting the position of the rear reflector fixing portion 220 around the through hole 141 of the central position of the lamp fixed to the frame means 140, and up and down The slide block 130 and the adjusting unit for adjusting the position of the block, respectively.

상기 좌우 슬라이드 블록(120)은 상기 프레임수단(140)의 통공(141) 상하에 좌우로 소정길이를 갖는 가이드편(142)을 소정간격으로 대칭되게 형성하고, 이 가이드편을 따라서 슬라이드 되는 돌기(121)와 전면에 상하로 형성된 가이드 홈(122) 및 이 홈의 중심에 위치한 상하 소정길이를 갖는 장공(123)을 구비하고 있다.The left and right slide blocks 120 are formed to be symmetrically formed at predetermined intervals with guide pieces 142 having a predetermined length left and right in the upper and lower through holes 141 of the frame means 140, and the projections (sliding) along the guide pieces ( 121 and a guide groove 122 formed vertically on the front surface and a long hole 123 having a predetermined length vertically positioned at the center of the groove.

상기 상하 슬라이드 블록(130)은 후면에 상기 좌우 슬라이드블럭(120)의 상하 가이드 홈(122)을 따라 상하 이동되는 돌기(131)와 중심에 상기 후면 반사경(221)의 고정부(220)가 삽입되는 통공(132)을 구비하고 있다.The upper and lower slide block 130 is inserted into the projection 131 is moved up and down along the upper and lower guide grooves 122 of the left and right slide block 120 at the rear and the fixing portion 220 of the rear reflector 221 is inserted into the center. The through hole 132 is provided.

상기 위치조절부는 상기 좌우 슬라이드 블록(120)의 좌우 정렬위치를 조절하는 좌우 조절부와, 상기 상하 슬라이드 블록(130)의 상하 정렬위치를 조절하는 상하 조절부와, 상기 상하 슬라이드 블록(130)에 삽입되는 반사경 지지부(220)를 전후 정렬위치를 조절하는 전후 조절부로 구성된다.The position adjusting unit includes a left and right adjustment unit for adjusting the left and right alignment position of the left and right slide block 120, a vertical adjustment unit for adjusting the vertical alignment position of the vertical slide block 130, and the vertical slide block 130 The reflector support 220 is inserted into a front and rear adjustment unit for adjusting the front and rear alignment position.

상기 좌우 조절부는 상기 프레임수단(140)의 가이드편(142) 사이의 좌우측중 어느 한 측에 고정되는 조절편(143)과 이 조절편의 일측면에 상기 좌우 슬라이드 블록(120)과 일직선상 형성한 각각의 나사공(143a),(120a)과 상기 나사공에 결합되는 소정길이를 갖는 좌우 조절나사(151)로 구성된다.The left and right adjustment part is formed in a straight line with the left and right slide block 120 on one side of the control piece 143 and the adjustment piece fixed to any one of the left and right sides between the guide piece 142 of the frame means 140. Each screw hole 143a, 120a and the left and right adjustment screw 151 having a predetermined length coupled to the screw hole is composed of.

상기 상하 조절부는 좌우 슬라이드 블록(120)의 상부에 고정되는 조절편(124)과 이 조절편의 일 측면에 상기 상하 슬라이드 블록(130)과 일직선상에 위치하도록 형성한 각각의 나사공(124a),(130a)과 상기 나사공에 결합되는 소정길이를 갖는 상하 조절나사(152)로 구성된다.The upper and lower adjustment portions of the adjusting piece 124 is fixed to the upper left and right slide block 120 and each screw hole 124a formed to be in line with the upper and lower slide blocks 130 on one side of the adjusting piece, 130a and a vertical adjustment screw 152 having a predetermined length coupled to the screw hole.

상기 전후 조절부는 상하 슬라이드 블록(130)의 일 측에 통공(132)과 내통하는 나사공(130a)을 형성하고 이 나사공에 결합되는 전후 조절나사(153)로 구성된다.The front and rear adjustment unit is formed of a screw hole (130a) and the inner cylinder 132 on one side of the upper and lower slide block 130 and consists of a front and rear adjustment screw 153 coupled to the screw hole.

상술한 구성을 갖는 본 발명의 동작관계를 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation relationship of the present invention having the above configuration as follows.

제2a도는 좌우 정렬과정을 나타낸 것으로, 좌우 조절나사(151)를 조이거나 풀어 상기 좌우 슬라이드 블록(120)을 이동시켜 반사경 고정부(220)의 좌우 정렬을 한다.Figure 2a shows the left and right alignment process, by tightening or loosening the left and right adjustment screw 151 to move the left and right slide block 120 to align the left and right reflector fixing part 220.

제2b도는 상하 정렬과정을 나타낸 것으로, 상하 조절나사(152)를 조이거나 풀어 상기 상하 슬라이드 블록(130)을 상하로 원하는 위치로 이동시켜 상하 정렬을 마친다.Figure 2b shows a vertical alignment process, tightening or loosening the vertical adjustment screw 152 to move the vertical slide block 130 up and down to the desired position to complete the vertical alignment.

제2c도는 전후 정렬과정을 나타낸 것으로, 반사경(221)과 램프(210)의 거리를 조절하므로서 램프의 강도를 조절한다.Figure 2c shows the front and rear alignment process, the intensity of the lamp is adjusted by adjusting the distance between the reflector 221 and the lamp 210.

전후 조절은 상기 전후 조절나사(153)를 풀어 상기 반사경 고정부(220)를 전후로 당기거나 밀어 원하는 위치로 정렬한 후 상기 조절나사를 조여 고정한다.Front and rear adjustment is to loosen the front and rear adjustment screw 153 to align or pull the reflector fixing portion 220 back and forth to the desired position and then tighten the adjustment screw.

본 발명은 상술한 동작으로 램프의 고정부는 고정시 상하 소켓의 고정의 체결과의 간격이 나사의 동작에 의해 조절되어 견고하며 안정적인 고정과 소켓의 마멸을 방지할 수 있게 된다.According to the present invention, the fixing part of the lamp is fixed by the operation of the screw when the fixing part of the lamp is fixed by the operation of the screw, so that it is possible to prevent the fixing of the socket and the wearing of the stable and stable.

또한 후면반사경의 정렬부는 상하, 좌우, 전후를 조절나사를 통하여 미세조절까지 빠르고 간편하게 조절되며 진동이나 외부의 충격에 의해 정렬이 흐트러지는 것을 방지하고 부품의 마모율이 줄어 내구성을 높여 주므로서 장비의 수명을 연장시켜 준다.In addition, the alignment part of the rear reflector can be adjusted quickly and easily through the adjustment screw up, down, left and right, and to fine adjustment.It prevents misalignment due to vibration or external impact and increases durability by reducing the wear rate of parts. To extend.

따라서 본 발명은 상술한 정렬로 인하여 빛의 강도 및 균일도의 재현성이 뛰어나 사진공정시 램프의 정렬결함을 방지하므로서 제품의 품질향상은 물론 수율을 높일 수 있는 이점이 있다.Therefore, the present invention has an advantage of improving the quality of the product as well as increasing the yield by preventing the alignment defect of the lamp during the photographic process excellent in the reproducibility of light intensity and uniformity due to the above-described alignment.

Claims

An illumination alignment system of a stepper device for fixing a lamp used in a photographic process during a semiconductor device manufacturing process and fixing and aligning a rear reflector located at a rear side of a fixed lamp, each socket means for fixing upper and lower electrodes of the lamp, Positioning means for adjusting the left and right and up and down positions of the rear reflector, respectively, and frame means having a through hole of a predetermined diameter in the center fixing the socket means and the position adjusting means of the step of the photo process Lighting alignment system.

The method of claim 1, wherein the socket means includes a lower socket having a power terminal connected to the anode of the lamp, a fixing piece for fixing the lower socket to be insulated from each other at a predetermined position of the frame means, and the cathode of the lamp Illumination alignment system of stepper for photo process, characterized in that consisting of an upper socket having a power terminal connected to.

The photographic process according to claim 2, wherein the lower and upper sockets have a structure in which both sides thereof are separated from each other, and the distance between the lamp fastening holes is adjusted by a screw, but the lower socket has one side fixed to the fixing piece. Stepper lighting alignment system.

The lighting alignment system of claim 2 or 3, wherein the socket is formed of a tungsten and an aluminum alloy material, and the fixing piece is formed of a ceramic material.

According to claim 1, The position adjusting means is formed in the guide piece having a predetermined length to the left and right through the upper and lower holes of the frame means to be symmetrical at a predetermined interval, the projection is inserted into the guide piece on the rear and vertically perpendicular to the front surface Left and right slide blocks having a guide groove and a hole having a predetermined length up and down positioned in the center of the groove, projections vertically moved along the vertical guide grooves of the left and right slide blocks, and a cylinder having the rear reflector fixed to the center are inserted into the rear surface. And a top and bottom slide block having a through hole, and a position adjusting unit for adjusting positions of the left and right and up and down slide blocks.

The apparatus of claim 5, wherein the position adjusting unit comprises a left and right adjusting unit for adjusting left and right alignment positions of the left and right slide blocks, a vertical adjusting unit for adjusting vertical alignment positions of the vertical slide blocks, and a reflecting mirror inserted into the upper and lower slide blocks. Illumination alignment system of a stepper for photographic process, characterized in that consisting of the front and rear adjustment unit for adjusting the front and rear alignment position.

7. The screw according to claim 6, wherein the left and right adjustment portions are fixed to one of the left and right sides between the guide pieces of the frame means, and each screw formed to be in line with the left and right slide blocks on one side of the adjustment piece. And a left and right adjusting screw having a predetermined length coupled to the ball and the screw hole.

The method of claim 6, wherein the upper and lower adjustment portion is coupled to each of the screw hole and the screw hole formed to be in alignment with the upper and lower slide blocks on one side of the control piece fixed to the top of the left and right slide block; Illumination alignment system for a stepper for photographic process, characterized in that the upper and lower adjustment screw having a predetermined length.

The system of claim 6, wherein the front and rear adjustment unit has a screw hole communicating with the through hole on one side of the upper and lower slide blocks, and has a front and rear adjustment screw coupled to the screw hole.