KR0151372B1 - Window of pump - Google Patents
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Abstract
펌프의 창을 위한 글라스의 일부 영역에 필터링된 오일이 접하여 펌프의 본체내에 채워진 오일이 기상 화학 증착공정의 잔류 가스에 포함된 파우더와 혼합 하더라도 필터링된 오일의 상태로부터 오일의 양이 체크되고, 필터링되지 않은 오일로부터 오일의 변색 상태가 체크되어 오일의 교체 시기가 용이하게 체크됨으로써 오일의 부족에 따른 펌프의 트립(trip) 현상의 발생이 사전에 방지되어 화학 기상 증착 공정의 불량 원인을 제거할 수 있을 뿐 아니라 오일을 사용하는 모든 펌프를 용이하게 관리할 수 있다.Filtered oil is in contact with a portion of the glass for the window of the pump so that the amount of oil is checked from the filtered oil state even if the oil filled in the body of the pump is mixed with the powder contained in the residual gas of the vapor deposition process. It is possible to check the discoloration state of oil from oil that has not been oiled and to check the oil replacement time easily so that the occurrence of the pump trip due to the lack of oil can be prevented in advance, thus eliminating the cause of defects in the chemical vapor deposition process. In addition, all pumps that use oil can be easily managed.
Description
제1도는 종래의 펌프의 창의 구조를 나타낸 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing the structure of a conventional pump window.
제2도는 본 발명에 의한 펌프의 창의 구조를 나타낸 분해사시도.Figure 2 is an exploded perspective view showing the structure of the window of the pump according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 오일통 13 : 연결부10: oil container 13: connection
20 : 가스켓 30 : 글라스20: gasket 30: glass
31 : 캡 35 : 가스켓31 cap 35 gasket
37 : 필터 38 : 필터 본체37 filter 38 filter body
39 : 필터 창39: filter window
본 발명은 펌프의 본체내에 채워진 오일의 상태를 체크할 수 있는 창의 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 펌프의 창을 위한 사이드 글라스의 내면에 필터링된 오일과 필터링되지 않은 오일이 구분된 상태로 접하게 되어 필터링된 오일에 의한 오일의 양과 필터링되지 않은 오일에 오일의 변색 상태를 용이하게 체크할 수 있도록 구성된 펌프의 창에 관한 것이다.The present invention relates to a structure of a window that can check the state of the oil filled in the body of the pump, and more particularly to the filter oil and the unfiltered oil in contact with the inner surface of the side glass for the window of the pump separated And a window of the pump configured to easily check the amount of oil by the filtered oil and the discoloration of the oil in the unfiltered oil.
일반적으로 기상 화학 증착 공정에서는 소정의 가스가 반응 장치에 주입된 후 그 가스가 기판에 반응하여 그 기판상에 원하는 막이 증착되고, 잔류 가스가 펌프에 의해 그 반응 장치로부터 외부로 배출된다.Generally, in a gas phase chemical vapor deposition process, a predetermined gas is injected into a reaction apparatus, and then the gas reacts with a substrate to deposit a desired film on the substrate, and the residual gas is discharged from the reaction apparatus to the outside by a pump.
펌프가 가동되고 있는 동안에는 펌프의 로우타(rotor) 또는 기어의 마모를 방지하기 위해 오일이 로우타 또는 기어에 계속하여 도포되므로 반응 장치로부터 배출되는 잔류 가스와 오일이 서로 혼합된 상태로 펌프의 본체내에 채워지게 된다.While the pump is running, oil is continuously applied to the rotor or gear to prevent wear of the pump's rotor or gear, so that the body of the pump is mixed with oil and residual gas discharged from the reactor. Will be filled in.
펌프의 본체의 측면에는 오일의 상태 즉, 오일의 양을 나타내는 높이 및 오일의 변색 상태를 용이하게 체크할 수 있도록 창이 형성되어 있다.A window is formed on the side of the main body of the pump to easily check the state of the oil, that is, the height indicating the amount of oil and the discoloration state of the oil.
제1도는 종래의 펌프의 창의 구조를 나타낸 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing the structure of a conventional pump window.
펌프의 창은 펌프의 본체(10)에 개방부(11)가 형성되고, 그 개방부(11)의 주위를 따라 연결부(13)가 형성되며, 가스켓(15)과 글래스(17)가 연결부(13)에 밀착되도록 캡(19)이 나사(20)에 의해 그 연결부(13)에 결합되는 구조로 이루어져 있다.The window of the pump has an opening portion 11 formed in the main body 10 of the pump, and a connecting portion 13 is formed along the periphery of the opening portion 11, and the gasket 15 and the glass 17 are connected to the connecting portion ( Cap 19 is made of a structure that is coupled to the connecting portion 13 by a screw 20 so as to be in close contact with 13).
이와 같은 구조의 창을 갖는 펌프의 작용을 살펴 보면 다음과 같다.Looking at the action of the pump having a window of such a structure is as follows.
먼저, 화학 기상 증착용 반응 가스가 반응 장치(도시 안됨)dml 입구를 거쳐 투입되면, 그 반응 장치내의 기 설치된 기판(도시 안됨)상에 원하는 막(도시 안됨)이 증착되고, 이와 동시에 반응 장치내의 잔류 가스가 펌프(도시 안됨)에 의해 그 반응 장치로부터 외부로 배출된다.First, when a reaction gas for chemical vapor deposition is introduced through a reactor (not shown) dml inlet, a desired film (not shown) is deposited on a substrate (not shown) that is already installed in the reactor, and at the same time, Residual gas is discharged from the reaction apparatus to the outside by a pump (not shown).
가령, 질화막, HTO(hot temperature oxidation)층, 다결정 실리콘 층 등을 형성하기 위한 화학 기상 증착 공정이 진행되면, 반응 장치내에 잔류하는 잔류가스가 파우더를 많이 포함하게 된다.For example, when a chemical vapor deposition process for forming a nitride film, a hot temperature oxidation (HTO) layer, a polycrystalline silicon layer, or the like is performed, the residual gas remaining in the reaction apparatus includes a large amount of powder.
그 잔류 가스가 펌프를 거쳐 배출됨에 따라 펌프의 로우타 또는 기어에 도포된 오일이 그 잔류 가스에 포함된 파우더와 혼합한 상태로 펌프의 본체(10)내에 채워지게 되므로 그 파우더가 펌프의 창을 구성하는 평판의 글라스(17)의 내면에 응착된다.As the residual gas is discharged through the pump, the oil applied to the low oil or gear of the pump is filled in the main body of the pump 10 in a state of being mixed with the powder contained in the residual gas. It adheres to the inner surface of the glass 17 of the flat plate which comprises.
한편, 상기 화학 기상 증착용 반응 장치에 부스터(booster) 펌프가 적용되는 경우, 부스터 펌프가 화학 기상 증착 공정의 잔류 가스에 직접적으로 영향을 거의 받지않지만, 펌프가 수개월씩 구동되면 펌프용 오일의 색이 변색하게 되어 펌프의 본체(10)내에 채워진 오일의 높이에 해당하는 오일선이 글라스(17)의 내면에 나타나게 된다.On the other hand, when a booster pump is applied to the reaction apparatus for chemical vapor deposition, the booster pump is hardly directly affected by the residual gas of the chemical vapor deposition process. This discoloration causes the oil wire corresponding to the height of the oil filled in the main body 10 of the pump to appear on the inner surface of the glass 17.
이와 같이 펌프의 글라스의 내면에 파우더와 같은 오염원이 응착되어 펌프의 본체에 채워진 오일의 상태가 용이하게 체크될 수 없게 되므로 오일의 교체 시기가 적절하게 파악될 수 없고, 오일의 부족 상태가 사전에 발견되지 않는 경우 펌프의 로우타 또는 기어가 파손되어 펌프의 트립(trip) 현상이 발생하게 됨으로써 파티클(particle)이 펌프를 거쳐 반응 장치로 역류되어 원하는 기상 화학 증착 공정이 정상적으로 수행하지 않게 된다.As such, a pollutant such as powder adheres to the inner surface of the glass of the pump, so that the state of the oil filled in the main body of the pump cannot be easily checked. If not found, the pump may experience a tripping of the pump due to breakage or gears of the pump, causing particles to flow back through the pump into the reactor, thereby preventing the desired vapor phase chemical vapor deposition process from being performed normally.
따라서, 본 발명의 목적은 펌프의 본체내에 채워지는 오일의 양 및 변색 상태를 용이하게 식별하여 오일의 교체 시기를 적절하게 파악하고 오일의 부족으로 인한 펌프의 파손을 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to easily identify the amount and color change of the oil to be filled in the body of the pump to properly determine the oil replacement time and to prevent damage to the pump due to lack of oil have.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 펌프의 창은 창을 위한 글라스의 내면의 일부 영역에 필터가 접하고 있어 필터가 접하지 않는 글라스의 영역을 통해 오일의 변색 상태를 확인하고, 필터가 접한 글라스의 내면의 영역을 통해 오일의 양을 용이하게 확인할 수 있는 것을 특징으로 한다.The window of the pump according to the present invention for achieving the above object is that the filter is in contact with a region of the inner surface of the glass for the window to check the discoloration state of the oil through the area of the glass that is not in contact with the filter, It is characterized in that the amount of oil can be easily identified through the region of the inner surface of the glass.
이하, 본 발명에 의한 펌프의 창을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호가 부여되도록 한다.Hereinafter, the window of the pump according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are given to the same parts as the conventional parts.
제2도는 본 발명에 의한 펌프의 창의구조를 나타낸 분해 사시도이다.2 is an exploded perspective view showing the structure of the window of the pump according to the present invention.
제2를 참조하면, 본 발명의 펌프의 창은 펌프의 본체(10)의 일부 영역에 창을 위한 개방부(11)가 형성되고, 그 개방부(11)의 주위를 따라 연결부(13)가 형성되며, 가스켓(35)에 2개의 개방부들(36),(37)이 구분되도록 형성되는 한편, 필터(34)가 개방부(11)에 삽입되도록 설치되고, 글래스(17)와 가스켓(35)이 연결부(13)에 밀착되도록 캡(19)이 나사(20)에 의해 연결부(13)에 결합되는 구조로 이루어져 있다.Referring to the second, the window of the pump of the present invention is formed in the opening portion 11 for the window in a portion of the main body 10 of the pump, the connection portion 13 along the periphery of the opening 11 Two openings 36 and 37 are formed in the gasket 35 so as to be distinguished, while the filter 34 is installed to be inserted into the opening 11, and the glass 17 and the gasket 35 are formed. ), The cap 19 is configured to be coupled to the connecting portion 13 by the screw 20 so that the connecting portion 13 is in close contact with the connecting portion 13.
또한 가스켓(35)이 개방부(37)에 대응하여 필터(34)에 밀착된다.In addition, the gasket 35 is in close contact with the filter 34 corresponding to the opening 37.
여기서, 필터(34)는 펌프의 본체(10)내에 설치되어 있으나 본체(10)내에 설치하기 어려운 경우 본체(10)의 외부에 노출되도록 설치되어도 무방하다.Here, the filter 34 may be installed in the main body 10 of the pump, but may be installed to be exposed to the outside of the main body 10 when it is difficult to install in the main body 10.
이와 같이 구성되는 본 발명에 의한 펌프의 창의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the window of the pump according to the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 질화막, HTO(hot temperature oxidation)층, 다결정 실리콘 층 등을 형성하기 위한 화학 기상 증착 공정이 진행되면, 반응 장치내에 잔류하는 잔류 가스가 파우더를 많이 포함하게 된다.First, when a chemical vapor deposition process for forming a nitride film, a hot temperature oxidation (HTO) layer, a polycrystalline silicon layer, or the like proceeds, the residual gas remaining in the reaction apparatus includes a large amount of powder.
그 잔류 가스가 펌프를 거쳐 배출됨에 따라 펌프의 오일이 그 잔류 가스에 포함된 파우더와 혼합한 상태로 펌프의 본체(10)내에 채워지게 된다.As the residual gas is discharged through the pump, the oil of the pump is filled in the main body 10 of the pump in a state of mixing with the powder contained in the residual gas.
이때, 그 파우더가 가스켓(35)의 개방부(36)에 접한 영역의 글라스(17)의 내면에 접하게 되고, 필터(34)에 의해 필터링된 오일이 가스켓(35)의 개방부(37)에 접한 영역의 글라스(17)의 내면에 접하게 된다.At this time, the powder is in contact with the inner surface of the glass 17 of the area in contact with the opening 36 of the gasket 35, and the oil filtered by the filter 34 is applied to the opening 37 of the gasket 35. It is in contact with the inner surface of the glass 17 of the contact area.
이러한 상태에서 시간이 경과함에 따라 오일이 변색하게 되므로 변색된 오일이 개방부(36)에 해당하는 영역의 글라스(17)의 내면에 접하게 되지만 필터(34)에 의해 필터링된 오일이 개방부(37)에 해당하는 영역의 글라스(17)의 내면에 접하게 된다.In this state, since the oil discolors with time, the discolored oil comes into contact with the inner surface of the glass 17 in the region corresponding to the opening 36, but the oil filtered by the filter 34 is opened. It is in contact with the inner surface of the glass 17 of the area corresponding to).
따라서, 펌프의 본체(10)내의 오일이 파우더와 같은 오염원에 의해 오염되거나, 펌프의 본체(10)내에 오일이 장기간 채워지는 경우, 그 오일의 높이에 해당하는 글라스(17)의 내면의 위치에 오일선이 형성되더라도 검사자가 가스켓(35)의 개방부(36)에 해당하는 영역의 글라스(17)를 통하여 육안으로 오일의 변색 상태를 체크할 수 있고, 또한 가스켓(35)의 개방부(37)에 해당하는 글라스(17)를 통하여 육안으로 펌프내의 오일의 양에 해당하는 높이를 체크할 수 있다.Therefore, when the oil in the main body 10 of the pump is contaminated by a pollutant such as powder, or when the oil is filled in the main body 10 of the pump for a long time, it is located at the position of the inner surface of the glass 17 corresponding to the height of the oil. Even if the oil wire is formed, the inspector can visually check the discoloration state of the oil through the glass 17 in the region corresponding to the opening 36 of the gasket 35, and also the opening 37 of the gasket 35. The height corresponding to the amount of oil in the pump can be visually checked through the glass 17 corresponding to).
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 펌프의 창에 의하면, 창을 위한 글라스의 일부 영역에 필터에 의해 필터링된 오일이 접하도록 있어 펌프 본체에 채워진 오일이 기상 화학 증착 공정의 잔류 가스에 포함된 파우더와 혼합하여 오염되더라도 필터링된 오일로부터 본체내의 오일의 양이 체크되고, 필터링되지 않은 오염된 오일의 변색 상태가 각각 체크되어 오일의 교체 시기 및 상태가 용이하게 체크됨으로써 오일의 부족에 따른 펌프의 트립(trip) 현상의 발생이 사전에 방지되어 펌프의 관리가 용이하게 된다.As described above, according to the window of the pump according to the present invention, the oil filtered by the filter is in contact with a portion of the glass for the window so that the oil filled in the pump body is included in the residual gas of the gas phase chemical vapor deposition process Even if it is contaminated with powder, the amount of oil in the body is checked from the filtered oil, and the discolored state of the unfiltered contaminated oil is checked, and the replacement time and condition of the oil are easily checked, so The occurrence of a trip phenomenon is prevented in advance, thereby facilitating management of the pump.
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