KR0140421Y1

KR0140421Y1 - High power supply detecting apparatus

Info

Publication number: KR0140421Y1
Application number: KR2019960002316U
Authority: KR
Inventors: 김광빈; 이은미
Original assignee: 김광호; 삼성전자주식회사
Priority date: 1996-02-14
Filing date: 1996-02-14
Publication date: 1999-03-20
Also published as: KR970052872U

Abstract

본 고안은 실리콘 웨이퍼상에 이온 주입을 하기 위한 장치중 웨이퍼 가공실에 있는 일렉트론 플러드 건(electron flood gun)을 구성하는 부품인 절연체의 폭과 높이를 크게 하고, 절연체의 조성 물질인 세라믹의 밀도를 크게 하고 동시에 불순물을 배제하여 볼트를 분해한 후, 조립 시 사람의 힘에 의해 절연체가 부서지는 것을 방지하여 고전력 공급 단자를 통하여 공급되는 고전력의 단락을 방지할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 고전력 공급 보호 장치에 관한 것이다.The present invention increases the width and height of the insulator, which is a component of the electron flood gun in the wafer processing chamber, and increases the density of the ceramic, the material of the insulator. High power supply protection characterized in that the bolts are disassembled by increasing the size and excluding impurities and preventing the insulator from being broken by human force during assembly to prevent the short circuit of high power supplied through the high power supply terminal. Relates to a device.

Description

High Power Supply Protection Device

제1도는 고전력 공급 장치의 일부 단면도.1 is a partial cross-sectional view of a high power supply.

제2도는 고전력 공급 보호 장치의 요부 분해 사시도.2 is an exploded perspective view showing main parts of a high power supply protection device.

제3도는 제2도의 결합 단면도.3 is a cross sectional view of FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 볼트 2 : 고전력 공급 단자1: Volt 2: High power supply terminal

3 : 절연체 4 : 접지판3: insulator 4: ground plate

5 : 와셔 6 : 전력 배출 단자5 washer 6 power outlet

7 : 너트7: nut

본 고안은 고전력 공급 보호 장치에 관한 것으로, 특히 절연체의 크기를 변경하고, 불순물을 배제하여 일렉트론 플러드 건(electron flood gun) 장치 내의 절연체와 접지판 사이에 안정적인 절연 상태를 유지하여 고전력 공급을 원활히 할 수 있고 볼트를 분해한 후, 조립시 절연체가 부서지지 않도록 한 것을 특징으로 하는 일렉트론 플러드 건(electron flood gun) 장치의 고전력 공급 보호 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high power supply protection device, and in particular, to change the size of the insulator and remove impurities to maintain a stable insulation state between the insulator and the ground plate in the electron flood gun device to facilitate high power supply. And a high power supply protection device for an electron flood gun device, characterized in that after the bolt is disassembled, the insulator does not break during assembly.

일반적으로 이온 주입이란 원자 이온을 목표물의 표면을 뚫고 들어 갈 만큼의 큰 에너지를 갖게 하여 목표물 속으로 넣어 주는 것을 말하며 가장 흔하게 사용되는 경우는 소자 제작시 실리콘 웨이퍼에 불순물을 넣어 주는 공정이다. 이온 주입 장치는 흔히 집적회로 제작에 이용되고 있으나 어디에 사용되는 지에 관계없이 진공부, 이온 공급부, 분류기, 가속기, 집중기, 중성빔 포획장치, 주사기, 웨이퍼 가공실의 기본 요소로 구성되어 있다.In general, ion implantation refers to placing atomic ions into a target by having a large amount of energy enough to penetrate the surface of the target, and in most cases, impurity is added to a silicon wafer during device fabrication. Ion implanters are often used in integrated circuit fabrication, but they consist of the basic elements of a vacuum, ion supply, classifier, accelerator, concentrator, neutral beam trap, syringe, and wafer processing chamber.

이온 주입에는 통상적으로 일렉트론 플러드 건(electron flood gun)이 사용되는 데 고에너지로 이온을 주입하기 위해서는 상기 일렉트론 플러드 건에는 고전력을 공급하여야 한다. 따라서 공급되는 고전력의 누설을 방지하기 위해서는 신뢰성이 높은 고전력 보호 장치가 요구된다.Electron flood guns are commonly used for ion implantation. In order to inject ions with high energy, the electron flood gun must be supplied with high power. Therefore, in order to prevent the leakage of the high power supplied, a highly reliable high power protection device is required.

제1도는 고전력 공급 장치의 단면도이고, 제2도는 고전력 공급 보호 장치의 요부 분해 사시도이며, 제3도는 제2도의 결합 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of the high power supply device, FIG. 2 is an exploded perspective view of the main portion of the high power supply protection device, and FIG. 3 is a combined cross-sectional view of FIG.

도전성이 있는 볼트(1)에 순차적으로 고전력 공급 단자(2)와 절연체(3)가 끼워져 있다. 다음에 접지판(4)에 형성되어 있는 통과공(4')을 경계로, 그 아래에 와셔(5)와 전력 배출 단자(6)가 끼워져 있고 볼트(1)의 끝단에는 너트(7)가 조립된다.The high power supply terminal 2 and the insulator 3 are sequentially inserted in the conductive bolt 1. Next, the washer 5 and the power discharging terminal 6 are inserted below the through hole 4 'formed in the ground plate 4, and the nut 7 is provided at the end of the bolt 1. Are assembled.

따라서, 고전력을 공급할 시 고전력 공급 단자(2)를 통해 고전력이 공급되면 도전성이 있는 볼트(1)를 매개체로 하여, 전력 배출 단자(6)에 고전력을 공급한다.Therefore, when high power is supplied through the high power supply terminal 2 when high power is supplied, the high power is supplied to the power discharging terminal 6 by using the conductive bolt 1 as a medium.

이와 같은 구조의 전력 공급 보호 장치에 있어서 종래의 세라믹으로 된 절연체(3)는 입자의 밀도가 낮고 불순물이 함유되어 있어 강도가 낮으며, 폭이 좁고, 두께가 작아 사람의 힘으로 볼트를 끼울 때 절연체가 파손되는 경우가 발생한다. 이로 인해 전력 공급단자를 통해 공급되었던 고전압이 단락이 되어 접지판(4)으로 고전력이 누설되며, 고전력의 공급이 제대로 되지 않은 문제점이 있었다.In the power supply protection device of such a structure, the insulator 3 made of a conventional ceramic has a low density because of low particle density and impurities, and has a low strength, a narrow width, and a small thickness. The insulation breaks down. As a result, the high voltage supplied through the power supply terminal is short-circuited, so that high power is leaked to the ground plate 4, and there is a problem that high power is not properly supplied.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 일렉트론 플러드 건(electron flood gun)에 있어서 절연체의 입자 밀도를 크게 하고 불순물을 제거하여 절연체 자체의 강도를 크게 하여 조립시 파손되지 않게 함으로써 고전력의 단락을 방지하고 고전력 공급을 확실하게 할 수 있는 절연체를 공급하는 데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the conventional problems as described above, by increasing the particle density of the insulator in the electron flood gun and removing impurities to increase the strength of the insulator itself so as not to be damaged during assembly. The purpose is to provide an insulator that can prevent short circuits of high power and ensure high power supply.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제2도는 일렉트론 플러드 건 장치의 요부 분해 사시도이고, 제3도는 제2도의 결합 단면도이다.FIG. 2 is an exploded perspective view of main parts of the electron flood gun apparatus, and FIG. 3 is a cross sectional view of FIG.

볼트(1)에 순차적으로 고전력 공급 단자(2)와 절연체(3)가 끼워져 있고 이어 접지판(4)에 형성되어 있는 통과공(4')을 경계로, 이 아래에 와셔(5)와 전력 배출 단자(6)가 끼워져 있으며, 볼트(1)의 끝단에는 너트(7)가 조립된다.The high power supply terminal 2 and the insulator 3 are inserted in the bolt 1 in sequence, and then the washer 5 and the electric power thereunder, bordered by a through hole 4 'formed in the ground plate 4. The discharge terminal 6 is fitted, and a nut 7 is assembled at the end of the bolt 1.

이때 절연체(3)는 그 재질이 세라믹으로 조성되어 있는 바, 세라믹의 입자 밀도를 크게 하고, 절연체 내부의 불순물을 제거한다. 또한 절연체 자체의 외형적인 폭과 높이를 크게 한다.At this time, since the material of the insulator 3 is made of ceramic, the particle density of the ceramic is increased, and impurities in the insulator are removed. It also increases the apparent width and height of the insulator itself.

이와 같은 구성으로 이루어진 본 고안의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation and effects of the present invention made of such a configuration as follows.

절연체를 구성하는 세락믹의 입자 밀도가 크고 절연체 내부에 불순물이 없기 때문에 강도가 증대된다. 또한 외형적인 폭과 높이가 커졌기 때문에 외부의 물리적인 힘에 대해 파손되기 어렵다.Since the particle density of the ceramic forming the insulator is high and there are no impurities inside the insulator, the strength is increased. In addition, since the outer width and height are increased, it is difficult to be damaged by external physical force.

이와 같이, 절연체 자체의 강도가 크게 향상됨으로써 볼트(1)를 분해한 후, 조립시 사람의 힘으로 볼트를 끼울 때 절연체가 파손되는 경우가 발생되지 않는다.In this way, since the strength of the insulator itself is greatly improved, the insulator is not broken when the bolt 1 is disassembled and the bolt is inserted by human force during assembly.

따라서, 일렉트론 플러드 건(electron flood gun)의 고전력 공급 단자(2)에 고전력이 공급되어 전력 배출 단자(6)로 공급되는 경우에도 절연체의 절연 신뢰성이 높기 때문에 누설의 염려가 없으며 전력의 원할한 공급을 확보할 수 있다.Therefore, even when high power is supplied to the high power supply terminal 2 of the electron flood gun and supplied to the power discharge terminal 6, the insulation reliability of the insulator is high, so there is no fear of leakage and a smooth supply of power. Can be secured.

이상 살펴본 바와 같이, 일렉트론 플러드 건 내의 절연체의 크기를 크게 하고 그 재질인 세라믹에서 불순물을 배제함으로써, 절연체 자체가 높은 강도를 지니게 되어 사람의 힘으로 볼트를 분해한 후 다시 끼울 때 절연체가 파손되는 일이 발생하지 않아 접지판으로의 전력 누설을 방지할 수 있는 효과가 있다.As discussed above, by increasing the size of the insulator in the electron flood gun and excluding impurities from the ceramic of the material, the insulator itself has a high strength so that the insulator breaks when the bolt is disassembled and reinserted by human force. This does not occur, there is an effect that can prevent the leakage of power to the ground plate.

Claims

A high power supply protection device formed by inserting a power supply terminal 2, an insulator 3, a ground plate 4, a washer 5, a power discharge terminal 6, and a nut 7 to a conductive bolt 1. The high power supply protection device according to claim 1, wherein the insulator (3) has a shape and an inner composition modified to improve strength.

The high power supply protection device according to claim 1, wherein the width and size of the insulator are increased.

The high power supply protection device according to claim 2, wherein the particle density of the material constituting the insulator is increased.

4. The high power supply protection device according to claim 3, wherein impurities in the insulator are removed.