KR0112078Y1 - Wafer pusher apparatus - Google Patents

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KR0112078Y1
KR0112078Y1 KR2019940005897U KR19940005897U KR0112078Y1 KR 0112078 Y1 KR0112078 Y1 KR 0112078Y1 KR 2019940005897 U KR2019940005897 U KR 2019940005897U KR 19940005897 U KR19940005897 U KR 19940005897U KR 0112078 Y1 KR0112078 Y1 KR 0112078Y1
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Abstract

본 고안은 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치에 관한 것으로, 특히 카세트에 담긴 다수개의 웨이퍼를 여러군, 예컨대 홀수군과 짝수군 등으로 분할하여 교호로 번갈아 가면서 들어 올림으로써 웨이퍼 간의 간격을 넓혀 웨이퍼 검사등을 위한 트위저에 의한 웨이퍼 핸들링시 이웃하는 웨이퍼의 손상을 방지하도록 하는데 목적이 있는 본 고안은 상부에 카세트를 장착, 지지하는 카세트 가이드(1a)가 구비된 본체 프레임(1)과, 상기 본체 프레임(1)내에 설치되어 카세트에 담긴 각각의 웨이퍼 지지구(2)를 상, 하 방향으로 이동시키기 위한 구동수단(5)을 구비하고, 상기 웨이퍼 지지구(2)를 여러군으로 구분하여 군별로 동작하도록 구동 수단에 연결하는 연결체(3)와, 상기 구동 수단이 웨이퍼 지지구(2)의 군별 구분에 따라 동작하도록 제어하는 키 판넬(4)를 구비하여 웨이퍼 검사시 웨이퍼간의 간격을 넓히도록 구성되어 있으며, 상기 구동 수단의 동작에 의한 웨이퍼 지지구(2)의 적정 상, 하한 위치를 센싱하는 업/다운 홈 센서(11)(11') 및 한계 위치를 센싱하는 업/다운 리미트 센서(12)(12')와, 장치의 오동작시 웨이퍼 지지구(2)가 상기 업/다운 리미트 센서(12)(12')의 위치를 벗어나지 않도록 한계를 규정하는 업/다운 하드 스톱퍼(13)(13')를 포함하여 장치의 오동작으로 인한 웨이퍼의 손상을 방지하도록 구성됨을 특징으로 하고 있다.The present invention relates to a wafer pusher device for inspecting wafers in a cassette, and in particular, a plurality of wafers in a cassette are divided into several groups, for example, odd groups and even groups, and alternately lifted alternately to widen the wafer gap. The present invention, which aims to prevent damage to neighboring wafers when handling a wafer by a tweezer for inspection, etc., has a main body frame (1) having a cassette guide (1a) for mounting and supporting a cassette thereon, and the main body. It is provided in the frame 1 and provided with a driving means (5) for moving each wafer support (2) contained in the cassette in the vertical direction, the wafer support (2) is divided into groups A connecting body 3 connected to the driving means to operate separately, and a key for controlling the driving means to operate according to the grouping of the wafer support 2. An up / down groove sensor 11 having a channel 4 configured to widen the gap between wafers during wafer inspection, and sensing an appropriate upper and lower position of the wafer support 2 by the operation of the driving means. Up / down limit sensors 12 and 12 'for sensing the position 11' and the limit position, and the wafer support 2 when the device malfunctions, the position of the up / down limit sensor 12 and 12 '. Up and down hard stoppers 13 and 13 ′ which define a limit so as not to be out of the way, characterized in that it is configured to prevent damage to the wafer due to malfunction of the device.

Description

카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치Wafer pusher for inspection of wafers in cassette

제1도는 본 고안 장치의 전체 구성을 개략적으로 보인 사시도.1 is a perspective view schematically showing the overall configuration of the device.

제2도는 (가)(나)는 본 고안 장치의 요부 구성도.2 is (a) (b) is a main configuration diagram of the device of the present invention.

제3도는 본 고안 장치의 동작 원리도.3 is a principle of operation of the device of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1 : 본체 프레임 1a : 카세트 가이드1: body frame 1a: cassette guide

2 : 웨이퍼 지지구 3 : 연결체2 wafer support 3 connector

4 : 키 판넬 5 : 에어 실린더4: key panel 5: air cylinder

6 : 솔레노이드 밸브 8 : 니들 밸브6: solenoid valve 8: needle valve

11, 11' : 업/다운 홈 센서 12, 12' : 업/다운 리미트 센서11, 11 ': Up / down home sensor 12, 12': Up / down limit sensor

13, 13' : 업/다운 하드 스톱퍼13, 13 ': up / down hard stopper

본 고안은 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치에 관한 것으로, 특히 카세트에 담긴 다수개의 웨이퍼를 여러군, 예컨대 홀수군과 짝수군 등으로 분할하여 교호를 번갈아 가면서 들어 올림으로써 웨이퍼 간의 간격을 넓혀 웨이퍼 검사등을 위한 트위저에 의한 웨이퍼 핸들링시 이웃하는 웨이퍼의 손상을 방지하도록 한 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치에 관한 것이다. 일반적으로 반도체를 제조하는 공정에 있어서는, 다수매의 웨이퍼를 카세트에 수납하여 카세트 단위로 각 공정을 이동하면서 공정을 진행하고 있다. 이때 각각의 공정으로 이동 중, 중간 중간에 웨이퍼를 검사하게 되는데, 통상 카세트에 담긴 다수매의 웨이퍼를 낱개로 꺼내 핸들링하여 검사를 하게 된다. 상기와 같이 카세트에 담긴 웨이퍼를 픽-업함에 있어서는 트위저란 집게를 이용하게 되는데, 이때 카세트에는 다수매의 웨이퍼가 조밀하게 수납되어 있으므로 트위저에 의한 픽-업시 이웃하는 웨이퍼가 손상을 입게 된다. 즉, 최근 디바이스가 고집적화 되고 웨이퍼의 사이지가 커짐에 따라 카세트내의 웨이퍼 간격기 좁아짐으로써 카세트내에 있는 웨이퍼를 검사등을 위하여 꺼내 힌들링함에 있어 트위저에 의해 이웃하는 다른 웨이퍼의 전면에 스크래치가 발생하여 불량을 초래하고 있으며 웨이퍼 로스의 원인되고 있어, 이의 시급한 해결이 요구되었다.The present invention relates to a wafer pusher device for inspecting wafers in a cassette, and in particular, a plurality of wafers in a cassette are divided into several groups, for example, odd groups and even groups, and alternately lifted alternately to widen the wafer gap. The present invention relates to a wafer pusher device for inspecting wafers in a cassette to prevent damage to a neighboring wafer during handling of the wafer by a tweezer for inspection or the like. In general, in the process of manufacturing a semiconductor, a process is performed while storing a plurality of wafers in a cassette and moving each process in units of cassettes. At this time, during the movement to each process, the wafer is inspected in the middle, usually, a plurality of wafers contained in the cassette are individually taken out and handled for inspection. Tweezers are used to pick up the wafers contained in the cassette as described above. In this case, since a plurality of wafers are densely stored in the cassette, neighboring wafers are damaged during pick-up by the tweezers. In other words, as the device becomes more integrated and the wafer size increases, the wafer gap in the cassette becomes narrower. Thus, when the wafer in the cassette is taken out for inspection or the like, the tweezer causes scratches on the entire surface of neighboring wafers. It is causing the wafer loss, and an urgent solution for this has been required.

이를 감안하여 안출한 본 고안은 목적은 카세트에 담긴 다수매의 웨이퍼를 여러군으로 구분하고, 이 군별로 번갈아 가면서 들어올림으로써 웨이퍼간의 간격을 보다 넓혀 웨이퍼 검사등을 위한 트위저에 의한 웨이퍼 핸들링시 이웃하는 웨이퍼의 스크래치 불량을 방지하도록 한 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치를 제공함에 있다. 상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 상부에 카세트를 장착, 지지하는 카세트 가이드가 구비된 본체 프레임과 상기 본체 프레임내에 설치되어 카세트에 담긴 각각의 웨이퍼를 하부에서 지지하는 다수개의 웨이퍼 지지구와, 상기 웨어퍼 지지구를 상, 하 방향으로 이동시키기 위한 구동 수단을 구비하고, 상기 웨이퍼 지지구를 여러군으로 구분하여 군별로 동작하도록 구동 수단에 연결하는 연결체와, 상기 구동 수단이 웨이퍼 지지구의 군별 구분에 따라 동작하도록 제어하는 키 판넬을 구비하여 웨이퍼 검사시 웨이퍼간의 간격을 넓히도록 구성함을 특징으로 하는 카세트내 웨어퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치가 제공 된다. 이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치를 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.In view of this, the present invention is designed to divide a plurality of wafers contained in a cassette into several groups, and by lifting them alternately by these groups to widen the gap between wafers, and to handle the wafers by a tweezer for wafer inspection. The present invention provides a wafer pusher for inspecting wafers in a cassette to prevent scratches of a wafer. In order to achieve the object of the present invention as described above, a main body frame having a cassette guide for mounting and supporting the cassette on the top, and a plurality of wafer supporters installed in the body frame to support each wafer contained in the cassette from below; And a connecting means for moving the wafer supporter in the up and down directions, and connecting the wafer supporter to the driving means to divide the wafer support into several groups and to operate the group by the group. Provided is a wafer pusher apparatus for inspecting wafers in a cassette, comprising a key panel for controlling the operation according to the district group. Hereinafter, the wafer pusher device for inspecting the wafer in the cassette according to the present invention as described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

첨부한 제1도는 본 고안 장치의 전체 구성을 개략적으로 보인사시도 이고, 제2도는 본 고안 장치의 요부 구성도 이며, 제3도는 본 고안 장치의 동작 원리도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 췌이퍼 푸셔장치는 상부에 카세트(도시되지 않음)을 장착, 지지하는 카세트 가이드(1a)가 구비된 본체 프레임(1)과, 상기 본체 프레임(1)내에 설치되어 카세트에 담긴 각각의 웨이퍼(도시되지 않음)을 하부에서 지지하는 다수개의 웨이퍼 지지구(2)와, 상기 웨이퍼 지지구(2)를 상, 하 방향으로 이동시키기위한 구동 수단을 구비하고, 상기 웨이퍼 지지구(2)를 여러군으로 구분하여 군별로 동작하도록 구동 수단에 연결하는 연결체(3)와, 상기 구동 수단이 웨이퍼 지지구(2)의 군별 구분에 따라 동작하도록 제어하는 키 판넬(4)를 구비하여 웨이퍼 검사시 웨어퍼간의 간결을 넓히도록 구성되어 있다. 여기서, 상기 웨이퍼 지지구(2)는 홀/짝수에 의한 2군으로 구분하거나, 또는 도시예서와 같이, 3군으로 구분할 수 있으며, 그외에도 지지구 전체를 하나의 군으로 구분할 수도 있고, 지지구 각각을 독립적으로, 예컨대 25개의 웨어퍼 지지구(2) 각각을 25개의 군으로 구분하여 구성할 수 있다.1 is a perspective view schematically showing the overall configuration of the device of the present invention, Figure 2 is a main configuration of the device of the present invention, Figure 3 is a principle diagram of the device of the present invention, as shown here, The pancreatic pusher device for inspecting wafers in a cassette by means of a main body frame (1) having a cassette guide (1a) for mounting and supporting a cassette (not shown) thereon, and installed in the main body frame (1). And a plurality of wafer supports 2 for supporting each wafer (not shown) contained in the cassette from below, and drive means for moving the wafer supports 2 in the up and down directions. Connecting body (3) for dividing the support (2) into several groups to be connected to the drive means to operate for each group, and key panel (4) for controlling the drive means to operate in accordance with the classification of the group of the wafer support (2) Sphere And it is configured to expand upon the brevity of spyware embedded wafer inspection. Here, the wafer supporter 2 may be divided into two groups by holes / even numbers, or may be divided into three groups, as shown in the example of the drawings, and the whole supporter may be divided into one group or the supporter. Each can be configured independently, for example, by dividing each of the 25 wafer supports 2 into 25 groups.

그리고, 상기 구동 수단은 에어 실린더(5)가 사용되는 바, 이는 웨이퍼 지지구(2)를 구분하는 수만큼 구비된다. 도시예에서는 3개의 에어 실린더(5)를 구비하고 웨이퍼 지지구(2)를 3개의 군으로 구분한 예를 도시하고 있다. 즉, 웨이퍼 지지구(2)를 편이상 처음것을 A, 그다음을 B, 또 그 다음을 C라 했을 때 상기 부호순으로 군을 구분하는데, 다시 말하면 처음의 웨어퍼 지지구(2)와 그로부터 네 번째 위치하는 웨이퍼 지지구(2) 및 같은 원리로 그로부터 다시 네 번째 위치하는 웨이퍼 지지구(2)가 A 그룹이 되고, B 그룹은 A 그룹 바로 다음의 웨이퍼 지지구(2)들이 되며, 같은 이치로 C 그룹이 정해져 구분되는 것이다. 이와같이 각각 구분된 A, B, C, 그룹의 웨이퍼 지지구(2)들은 각 군별로 중복되지 않게 별개로 동작되도록 각각의 에어 실린더(5)에 연결체(3)에 연결되어 있고, 이 각각의 에어 실린더(5)들은 키판넬(4)에 각각 연결되어 작업자가 키 패널(4)을 조작하는 것에 의하여 그에 따른 웨이퍼군의 상부로 올려지는 것이다. 따라서, 올려진 웨이퍼들의 간결을 보면 3그룹으로 구분했을 경우, 웨이퍼 두 장 만큼의 간격으로 넓어지므로 트위저에 의한 웨이퍼 픽-업시 이웃하는 웨이퍼가 손상될 우려가 훨씬 격감되게 되는 것이다. 상기 에어 실린더(5)는 키 판넬(4)에 연결되는 솔레노이드 밸브(6)에 의해 그 업/다운 동작이 컨트롤되도록 되어 있고, 구동원인에어를 공급하는 에어 라인(7)의 인레트 부위에는 업/다운 스피드를 컨트롤하기 위한 니들 밸브(8)가 착설되어 있다.In addition, the driving means is an air cylinder (5) is used, which is provided with a number to distinguish the wafer support (2). In the example of illustration, the example which provided three air cylinders 5, and divided | segmented the wafer support tool 2 into three groups is shown. That is, when the first and second wafer supports 2 are A, then B, and then C, the groups are distinguished by the above code order, that is, the first wafer support 2 and the fourth from there. The wafer support 2 positioned and the wafer support 2 positioned fourth from it again become the A group, the B group the wafer supports 2 immediately following the A group, and the same reason C Groups are defined and separated. The wafer supports 2 of the A, B, C, and groups separated in this way are connected to the connecting bodies 3 to the respective air cylinders 5 so as to operate separately so as not to overlap each group. The air cylinders 5 are respectively connected to the key panel 4 so as to be lifted to the upper part of the wafer group by the operator operating the key panel 4. Therefore, when looking at the simplification of the raised wafers, when divided into three groups, since the wafers are widened at intervals of two sheets, the possibility of damage to neighboring wafers during wafer pick-up by the tweezers is greatly reduced. The air cylinder 5 has its up / down operation controlled by the solenoid valve 6 connected to the key panel 4, and the air cylinder 5 has an up inlet portion of the air line 7 for supplying driving cause air. A needle valve 8 is installed for controlling the down speed.

한편, 상기 구동 수단으로서 도시예에서는 에어 실린더(5)를 사용한 예를 도시하고 있으나, 이를 꼭 한정하는 것은 아니며, 그외에도 직류, 또는 교류 모터등을 구동 수단으로 사용하여 구성할 수도 있다.In addition, although the example which uses the air cylinder 5 is shown in the example of illustration as the said drive means, it does not necessarily limit to this, In addition, it can also be comprised using DC or an AC motor etc. as a drive means.

이와 같이 구성되는 본 고안 장치에서는 상기 구동 수단(도시예서는 에어 실린더)의 동작에 의한 웨이퍼 지지구(2)의 적정 상, 하한 위치를 센싱하는 업/다운 홈 센서(11)(11') 및 한계 위치를 센서하는 업/다운 리미트 센서(12)(12')와, 장치의 오동작시 웨이퍼 지지구(2)가 상기 업/다운 리미트 센서(12)(12')의 위치를 벗어나지 않도록 한계를 규정하는 업/다운 하드 스톱퍼(13)(13')가 포함되어 장치의 오동작으로 인한 웨이퍼의 손상, 예컨대 상기 센서들의 동작 불량으로 웨이퍼 지지구(2)가 멈추지 않고 계속 상승하거나 하강함으로써 그 상부에 지지되어 있는 웨이퍼가 파손되는 등의 현상을 방지하도록 구성되어 있다. 이하에서는 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치의 동작 및 그에 따른 효과를 설명하겠다.In the device of the present invention configured as described above, an up / down groove sensor 11 (11 ') for sensing an appropriate upper and lower position of the wafer support tool 2 by the operation of the driving means (air cylinder in the illustrated example) and The up / down limit sensor 12 (12 ') that senses the limit position and the limit is set so that the wafer support (2) does not leave the position of the up / down limit sensor 12 (12') when the device malfunctions. A prescribed up / down hard stopper (13) (13 ') is included to allow the wafer support (2) to continuously rise or fall without stopping due to damage to the wafer due to malfunction of the device, such as malfunction of the sensors. It is configured to prevent a phenomenon such as breakage of a supported wafer. Hereinafter, the operation of the wafer pusher device for inspecting the wafer in the cassette according to the present invention as described above and the effects thereof will be described.

카세트에 담긴 웨이퍼를 검사하고자 할 때, 카세트를 본체 프레임(1)의 카세트 가이드(1a)에 올려 놓고, 키 판넬(4)의 버튼(A B C 중 하나)을 누르면, 솔레노이드 밸브(6가 동작하여 해당 에어 실린더(5)를 상승시키게된다. 상기와 같이 상승하는 에어 실린더(5)가 업 홈 센서(11)에 위치하게 되면, 에어 실린더(5)이 상승 동작은 멈추게 되고, 이에 따라 해당 그룹에 상당하여 인접 웨이퍼와 일정간격을 유지하여 올라와 있는 웨이퍼들을 트위저로 픽-업, 핸들링하여 검사를 하게 된다. 이때 종래에는 카세트내에 웨이퍼가 조밀하게 위치되어 있어 트위저에 의한 웨이퍼 핸들링시 인접 웨이퍼의 전면 이 스크래칭 될 우려가 있었으나, 본 고안에 의하면, 인접 웨이퍼간의 간격이 보다 넓어져 이웃하는 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있는 것이다. 이와 같이 하여 검사가 끝나게 되면, 키 판넬(4)의 버튼 중, 업 동작시 누른 버튼을 다시 눌러 에어 실린더(5)를 다운 홈 센서(11')까지 하강 시켜 한 군의 검사를 종료하게 되는 것이다. 이때 본 고안은 상기와 같이 검사가 완료되면 부저가 울리도록 구성되어 있으며, 또한 동작 도중 업/다운 홈 센서(11)(11')의 동작불량시 제1안전 장치로서, 그 센서의 상부및 하부에 에어 실린더(5)가 계속 올라가는 것을 방지하기 위한 업/다운 리미트 센서(12)(12')를 각각 설치하여 구성하였고, 또 상기 업/다운 리미트 센서(12)(12')를 설치하여 웨이퍼가 파손되는 것을 사전에 방지할 수 있도록 구성하였다. 이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 장치에 의하면, 카세트에 담긴 다수개의 웨이퍼를 여러군으로 구분하여 군별로 상승시켜 웨이퍼간의 간격이 넙어진 상태에서 트위저에 의한 웨이퍼 핸들링을 실시하므로 종래와 같이 인접 웨이퍼의 전면이 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다. 즉, 본 고안은 웨이퍼의 손상없이 다수매의 웨이퍼를 검사함으로써 웨이퍼 손상으로 인한 불량 및 웨이퍼 손실을 방지할 수 있는 효과가 있는 것이다.When the wafer contained in the cassette is to be inspected, the cassette is placed on the cassette guide 1a of the main body frame 1, and the button (one of ABC) of the key panel 4 is pressed, and the solenoid valve 6 is operated. When the air cylinder 5 rising as described above is positioned in the up-home sensor 11, the air cylinder 5 stops the lifting operation, and thus corresponds to the corresponding group. As a result, the wafers are picked up and handled by a tweezer to maintain a predetermined distance from the adjacent wafers, and the wafer is densely positioned in the cassette, so that the entire surface of the adjacent wafer is scratched when the wafer is handled by the tweezers. However, according to the present invention, the distance between adjacent wafers is wider, and damage to neighboring wafers can be prevented. When it is finished, the button of the key panel 4 is pressed again during the up operation, and the air cylinder 5 is lowered to the down home sensor 11 'to end a group of tests. When the inspection is completed as described above, the buzzer sounds, and as a first safety device in case of malfunction of the up / down home sensors 11 and 11 'during operation, 5) Up and down limit sensors 12 and 12 'are installed and configured to prevent the continuous up, and the up and down limit sensors 12 and 12' are installed to prevent the wafer from being broken. As described in detail above, according to the device of the present invention, a plurality of wafers contained in a cassette are divided into several groups to be raised by each group so that the wafers are separated by a tweezer in a state where the gaps between the wafers are separated. By handling, the entire surface of adjacent wafers can be prevented from being damaged as in the prior art, that is, the present invention can prevent defects and wafer loss due to wafer damage by inspecting a plurality of wafers without damaging the wafers. It works.

Claims (6)

상부에 카세트를 장착, 지지하는 카세트 가이드가 구비된 본체프레임과, 상기 본체 프레임내에 설치되어 카세트에 담긴 각각의 웨이퍼를 하부에서 지지하는 다수개의 웨이퍼 지지구와, 상기 웨이퍼 지지구를 상, 하 방향으로 이동시키기 위한 구동 수단을 구비하고, 상기 웨이퍼 지지구를 여러군으로 구분하여 군별로 동작하도록 구동 수단에 연결하는 연결체와, 상기 구동 수단의 웨이퍼 지지구의 군별 구분에 따라 동작하도록 제어하는 키판넬을 구비하여 웨이퍼 검사시 웨이퍼간의 간격을 넓히도록 구성함을 특징으로 하는 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨어퍼 푸셔장치.A main body frame provided with a cassette guide for mounting and supporting a cassette at an upper portion, a plurality of wafer supports installed in the main body frame to support each wafer contained in the cassette from below, and the wafer support in an up and down direction And a connecting means for moving the wafer supporter, which is divided into several groups, connected to the driving means to operate according to the group, and a key panel for controlling to operate according to the grouping of the wafer supporters of the driving means. And a pusher device for inspecting a wafer in a cassette, wherein the wafer pusher is configured to widen a gap between wafers during wafer inspection. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지구를 3개의 군으로 구분하여 구동 수단의 동작에 따라 3개군의 웨이퍼 지지구가 중복되지 않도록 군별로 동작하여 웨이퍼를 들어 올리도록 구성된 것을 특징으로 한느 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치.The wafer in one cassette according to claim 1, wherein the wafer supports are divided into three groups, and the wafer supports are configured to be lifted by operating the groups so that the wafer supports of the three groups do not overlap according to the operation of the driving means. Wafer pusher for inspection. 제1항에 있어서, 상기 구동 수단의 동작에 의한 웨이퍼 지지구의 적정 상, 하한 위치를 센싱하는 업/다운 홈 센서 및 한계 위치를 센싱하는 업/다운 리미트 센서와, 장치의 오동작시 웨이퍼 지지구가 상기 업/다운 리미트 센서의 위치를 벗어나지 않도록 한계를 규정하는 업/다운 하드 수톱퍼를 포함하여 장치의 오동작으로 인한 웨이퍼의 손상을 방지하도록 구성됨을 특징으로 하는 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치.The wafer support tool according to claim 1, wherein an up / down groove sensor for sensing an appropriate upper and lower position of the wafer support tool by the operation of the driving means, an up / down limit sensor for sensing a limit position, and a wafer support tool for malfunctioning of the apparatus And an up / down hard topper defining a limit so as not to be out of the position of the up / down limit sensor, wherein the wafer pusher device for inspecting the wafer in the cassette is configured to prevent damage to the wafer due to malfunction of the device. 제1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 수단은 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치.The wafer pusher device according to any one of claims 1 to 3, wherein the drive means is an air cylinder. 제4항에 있어서, 상기 에어 실린더는 키 판넬과 연결된 솔레노이드 밸브에 의해 그의 업/다운 동작이 컨트롤 되고, 에어 라인의 인레트 부위에는 업/다운 스피드를 컨트롤하기 위한 니들 밸브가 착설됨을 특징으로 하는 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치.[5] The air cylinder of claim 4, wherein the up / down operation of the air cylinder is controlled by a solenoid valve connected to the key panel, and a needle valve for controlling the up / down speed is installed at the inlet portion of the air line. Wafer pusher device for wafer inspection in cassettes. 제1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 수단은 교류 또는 직류 모터인 것을 특징으로 하는 카세트내 웨이퍼 검사를 위한 웨이퍼 푸셔장치.The wafer pusher device according to any one of claims 1 to 3, wherein the driving means is an alternating current or a direct current motor.
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