JPWO2022010699A5 - - Google Patents
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Claims (21)
標本の第１層上にある一組のデバイスフィーチャを備え、その一組のデバイスフィーチャのうち少なくとも一部分が周期的でデバイス周期を有しており、
前記標本の第２層上にあり前記一組のデバイスフィーチャと重なっている第１組のターゲットフィーチャを備え、その第１組のターゲットフィーチャが周期的で第１計測周期を有しており、その第１計測周期が、検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第１組のモアレフリンジがもたらされるように、選定されており、
前記標本の前記第２層上にあり前記一組のデバイスフィーチャと重なっている第２組のターゲットフィーチャを備え、その第２組のターゲットフィーチャが周期的で第２計測周期を有しており、その第２計測周期が、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第２組のモアレフリンジがもたらされるように、選定されており、
前記第１組のモアレフリンジ及び前記第２組のモアレフリンジの相対位置により、前記標本の前記第１層と前記標本の前記第２層との間のオーバレイ誤差が示され、
前記標本の第３層上の第２組のデバイスフィーチャを備え、前記第２組のデバイスフィーチャの少なくとも一部分が周期的でデバイス周期を有しており、
前記標本の第４層上の第３組のターゲットフィーチャを備え、前記第２組のデバイスフィーチャと重なっており、前記第３組のターゲットフィーチャは周期的で第３計測周期を有しており、前記第３計測周期は、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第３組のモアレフリンジがもたらされるように、選定されており、
前記標本の第４層上の第４組のターゲットフィーチャを備え、前記第２組のデバイスフィーチャと重なっており、前記第４組のターゲットフィーチャは周期的で第４計測周期を有しており、前記第４計測周期は、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第４組のモアレフリンジがもたらされるように、選定されている、
オーバレイ計量ターゲット。 an overlay metrology target,
a set of device features on a first layer of the specimen, at least a portion of the set of device features being periodic and having a device period;
a first set of target features on a second layer of the specimen overlapping the set of device features, the first set of target features being periodic and having a first measurement period; a first measurement period is selected such that imaging the target by a detector results in a first set of Moiré fringes visible to the detector;
a second set of target features on the second layer of the specimen overlapping the set of device features, the second set of target features being periodic and having a second measurement period; the second measurement period is selected such that imaging the target by the detector results in a second set of moiré fringes visible to the detector;
the relative positions of the first set of moire fringes and the second set of moire fringes are indicative of an overlay error between the first layer of the specimen and the second layer of the specimen;
a second set of device features on a third layer of the specimen, at least a portion of the second set of device features being periodic and having a device period;
a third set of target features on a fourth layer of the specimen, overlapping the second set of device features, the third set of target features being periodic and having a third measurement period; the third measurement period is selected such that imaging the target by the detector results in a third set of moiré fringes visible to the detector;
a fourth set of target features on a fourth layer of the specimen, overlapping the second set of device features, the fourth set of target features being periodic and having a fourth measurement period; the fourth measurement period is selected such that when the target is imaged by the detector, a fourth set of moiré fringes is visible to the detector;
Overlay metrology target.
前記標本の前記第１層上にある全部のデバイスフィーチャのうち一部分の複製部分を含んでいるオーバレイ計量ターゲット。 The overlay metrology target of claim 1, wherein the set of device features comprises:
an overlay metrology target including a duplicate portion of a portion of all device features on the first layer of the specimen;
前記標本の前記第１層上にある全部のデバイスフィーチャのうち一部分を含んでいるオーバレイ計量ターゲット。 The overlay metrology target of claim 1, wherein the set of device features comprises:
an overlay metrology target that includes a portion of all device features on the first layer of the specimen;
ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）フィーチャ及びスタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）フィーチャのうち少なくとも一方を含んでいるオーバレイ計量ターゲット。 8. The overlay metric target of claim 7, wherein the random access memory (RAM) feature comprises:
An overlay metric target including at least one of dynamic random access memory (DRAM) features and static random access memory (SRAM) features.
標本を照明する照明源を備え、但し前記標本が、
前記標本の第１層上にある一組のデバイスフィーチャであり、そのうち少なくとも一部分が周期的でデバイス周期を有している一組のデバイスフィーチャ、
前記標本の第２層上にあり前記一組のデバイスフィーチャと重なっている第１組のターゲットフィーチャであり、周期的で第１計測周期を有している第１組のターゲットフィーチャ、
前記標本の前記第２層上にあり前記一組のデバイスフィーチャと重なっている第２組のターゲットフィーチャであり、周期的で第２計測周期を有している第２組のターゲットフィーチャ、
前記標本の第３層上の第２組のデバイスフィーチャであり、前記第２組のデバイスフィーチャの少なくとも一部分が周期的でデバイス周期を有している第２組のデバイスフィーチャ、
前記標本の第４層上の第３組のターゲットフィーチャであり、前記第２組のデバイスフィーチャと重なっており、前記第３組のターゲットフィーチャは周期的で第３計測周期を有しており、前記第３計測周期は、検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第３組のモアレフリンジがもたらされるように選定されている、第３組のターゲットフィーチャ、
前記標本の第４層上の第４組のターゲットフィーチャであり、前記第２組のデバイスフィーチャと重なっており、前記第４組のターゲットフィーチャは周期的で第４計測周期を有しており、前記第４計測周期は、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第４組のモアレフリンジがもたらされるように選定されている、第４組のターゲットフィーチャ、
が備わるオーバレイターゲットを有するものであり、
前記照明源により照明されているときに前記オーバレイターゲットを撮像するよう構成された検出器を備え、前記第１計測周期が、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第１組のモアレフリンジがもたらされるよう選定されており、且つ、前記第２計測周期が、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第２組のモアレフリンジがもたらされるよう選定されており、
前記検出器に可通信結合されたコントローラを備え、前記コントローラが、プログラム命令を実行するよう構成された１個又は複数個のプロセッサを有していて、それらプログラム命令に従い前記１個又は複数個のプロセッサが、
前記オーバレイターゲットの画像を受け取り、
前記画像における前記第１組のモアレフリンジ及び前記第２組のモアレフリンジの相対位置を、見掛け上のオーバレイ誤差として計測し、且つ
前記デバイス周期、前記第１計測周期及び前記第２計測周期に係るモアレ利得因数により前記見掛け上のオーバレイ誤差を調整することによって、前記標本の前記第１層と前記標本の前記第２層との間のオーバレイ誤差を判別する、
オーバレイ計量システム。 An overlay weighing system,
an illumination source for illuminating a specimen, with the proviso that the specimen is
a set of device features on a first layer of the specimen, at least a portion of which are periodic and have a device period;
a first set of target features on a second layer of the specimen overlapping the set of device features, the first set of target features being periodic and having a first measurement period ;
a second set of target features on the second layer of the specimen overlapping the set of device features, a second set of target features that are periodic and have a second measurement period;
a second set of device features on a third layer of the specimen, at least a portion of the second set of device features being periodic and having a device period;
a third set of target features on a fourth layer of the specimen overlapping the second set of device features, the third set of target features being periodic and having a third measurement period; a third set of target features, wherein the third measurement period is selected such that when the target is imaged by a detector, a third set of moiré fringes are visible to the detector;
a fourth set of target features on a fourth layer of the specimen, overlapping the second set of device features, the fourth set of target features being periodic and having a fourth measurement period; a fourth set of target features, wherein the fourth measurement period is selected such that when the target is imaged by the detector, a fourth set of moiré fringes are visible to the detector;
has an overlay target with
a detector configured to image the overlay target when illuminated by the illumination source, the first measurement period being a first measurement period visible to the detector when the target is imaged by the detector; a set of Moire fringes, and the second measurement period is selected to provide a second set of Moire fringes visible to the detector when the target is imaged by the detector. and
a controller communicatively coupled to the detector, the controller having one or more processors configured to execute program instructions, and in accordance with the program instructions, the one or more processors. The processor
receiving an image of the overlay target;
The relative positions of the first set of moire fringe and the second set of moire fringe in the image are measured as an apparent overlay error, and according to the device period, the first measurement period, and the second measurement period. determining an overlay error between the first layer of the specimen and the second layer of the specimen by adjusting the apparent overlay error by a moiré gain factor;
Overlay weighing system.
前記標本の前記第１層上にある全部のデバイスフィーチャのうち一部分の複製部分を含んでいるオーバレイ計量システム。 10. The overlay metrology system of claim 9, wherein the set of device features comprises:
An overlay metrology system including a duplicate portion of a portion of all device features on the first layer of the specimen.
前記標本の前記第１層上にある全部のデバイスフィーチャのうち一部分を含んでいるオーバレイ計量システム。 10. The overlay metrology system of claim 9, wherein the set of device features comprises:
An overlay metrology system including a portion of all device features on the first layer of the specimen.
ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）フィーチャ及びスタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）フィーチャのうち少なくとも一方を含んでいるオーバレイ計量システム。 15. The overlay metrology system of claim 14, wherein the random access memory (RAM) feature comprises:
An overlay metrology system including at least one of dynamic random access memory (DRAM) features and static random access memory (SRAM) features.
一組のデバイスフィーチャを標本の第１層上に作成し、但しその一組のデバイスフィーチャのうち少なくとも一部分を周期的でありデバイス周期を有するものとし、
第１組のターゲットフィーチャを前記標本の第２層上に作成し且つ前記一組のデバイスフィーチャに重ね、その第１組のターゲットフィーチャを周期的であり第１計測周期を有するものとし、その第１計測周期を、検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第１組のモアレフリンジがもたらされるよう選定されたものとし、
第２組のターゲットフィーチャを前記標本の前記第２層上に作成し且つ前記一組のデバイスフィーチャに重ね、その第２組のターゲットフィーチャを周期的であり第２計測周期を有するものとし、その第２計測周期を、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第２組のモアレフリンジがもたらされるよう選定されたものとし、
第２組のデバイスフィーチャを前記標本の第３層上に作成し、但しその第２組のデバイスフィーチャのうち少なくとも一部分を周期的であり前記デバイス周期を有するものとし、
第３組のターゲットフィーチャを前記標本の第４層上に作成し且つ前記第２組のデバイスフィーチャに重ね、但しその第３組のターゲットフィーチャを周期的であり第３計測周期を有するものとし、その第３計測周期を、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第３組のモアレフリンジがもたらされるよう選択されたものとし、
第４組のターゲットフィーチャを前記標本の前記第４層上に作成し且つ前記第２組のデバイスフィーチャに重ね、但しその第４組のターゲットフィーチャを周期的であり第４計測周期を有するものとし、その第４計測周期を、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第４組のモアレフリンジがもたらされるよう選択されたものとする、
オーバレイ計量方法。 An overlay weighing method, comprising:
creating a set of device features on a first layer of the specimen, with at least a portion of the set of device features being periodic and having a device period;
A first set of target features is created on a second layer of the specimen and overlies the set of device features, the first set of target features being periodic and having a first measurement period; one measurement period is selected such that imaging the target by a detector results in a first set of moiré fringes visible to the detector;
a second set of target features is created on the second layer of the specimen and overlies the set of device features, the second set of target features being periodic and having a second measurement period; a second measurement period is selected to result in a second set of Moiré fringes visible to the detector when the target is imaged by the detector;
creating a second set of device features on a third layer of the specimen, with at least a portion of the second set of device features being periodic and having the device period;
creating a third set of target features on a fourth layer of the specimen and overlapping the second set of device features, with the third set of target features being periodic and having a third measurement period; the third measurement period is selected to result in a third set of moiré fringes visible to the detector when the target is imaged by the detector;
a fourth set of target features is created on the fourth layer of the specimen and overlies the second set of device features, with the fourth set of target features being periodic and having a fourth measurement period; , the fourth measurement period being selected to result in a fourth set of moiré fringes visible to the detector when the target is imaged by the detector;
Overlay weighing method.
照明源を用い標本を照明し、但し前記標本が、
前記標本の第１層上にある一組のデバイスフィーチャであり、そのうち少なくとも一部分が周期的でデバイス周期を有している一組のデバイスフィーチャ、
前記標本の第２層上にあり前記一組のデバイスフィーチャと重なっている第１組のターゲットフィーチャであり、周期的で第１計測周期を有している第１組のターゲットフィーチャ、
前記標本の前記第２層上にあり前記一組のデバイスフィーチャと重なっている第２組のターゲットフィーチャであり、周期的で第２計測周期を有している第２組のターゲットフィーチャ、
前記標本の第３層上の第２組のデバイスフィーチャであり、前記第２組のデバイスフィーチャの少なくとも一部分が周期的でデバイス周期を有している第２組のデバイスフィーチャ、
前記標本の第４層上の第３組のターゲットフィーチャであり、前記第２組のデバイスフィーチャと重なっており、前記第３組のターゲットフィーチャは周期的で第３計測周期を有している第３組のターゲットフィーチャ、
前記標本の第４層上の第４組のターゲットフィーチャであり、前記第２組のデバイスフィーチャと重なっており、前記第４組のターゲットフィーチャは周期的で第４計測周期を有している第４組のターゲットフィーチャ、
が備わるオーバレイターゲットを有するものであり、
検出器を用い前記オーバレイターゲットを撮像し、但し前記第１計測周期が、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第１組のモアレフリンジがもたらされるよう選定されており、且つ、前記第２計測周期が、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第２組のモアレフリンジがもたらされるよう選定されており、前記第３計測周期は、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第３組のモアレフリンジがもたらされるように選定されており、前記第４計測周期は、前記検出器により前記ターゲットを撮像したときその検出器にとり可視な第４組のモアレフリンジがもたらされるように選定されており、
前記検出器に可通信結合されたコントローラを用い、
前記オーバレイターゲットの画像を受け取り、
前記画像における前記第１組のモアレフリンジ及び前記第２組のモアレフリンジの相対位置を、見掛け上のオーバレイ誤差として計測し、且つ
前記デバイス周期、前記第１計測周期及び前記第２計測周期に係るモアレ利得因数により前記見掛け上のオーバレイ誤差を調整することによって、前記標本の前記第１層と前記標本の前記第２層との間のオーバレイ誤差を判別する、
オーバレイ計量方法。 An overlay weighing method, comprising:
illuminating a specimen using an illumination source, with the proviso that the specimen is
a set of device features on a first layer of the specimen, at least a portion of which are periodic and have a device period;
a first set of target features on a second layer of the specimen overlapping the set of device features, the first set of target features being periodic and having a first measurement period ;
a second set of target features on the second layer of the specimen overlapping the set of device features, a second set of target features that are periodic and have a second measurement period;
a second set of device features on a third layer of the specimen, at least a portion of the second set of device features being periodic and having a device period;
a third set of target features on a fourth layer of the specimen overlapping the second set of device features, the third set of target features being periodic and having a third measurement period; 3 sets of target features,
a fourth set of target features on a fourth layer of the specimen, overlapping the second set of device features, the fourth set of target features being periodic and having a fourth measurement period; 4 sets of target features,
has an overlay target with
imaging the overlay target using a detector, wherein the first measurement period is selected to result in a first set of Moiré fringes visible to the detector when the target is imaged by the detector; and the second measurement period is selected to provide a second set of Moiré fringes visible to the detector when the target is imaged by the detector, and the third measurement period is selected to provide a second set of Moiré fringes that are visible to the detector when the target is imaged by the detector. is selected to provide a third set of moiré fringes that are visible to the detector when the target is imaged by the detector, and the fourth measurement period is selected to provide a third set of Moiré fringes that are visible to the detector when the target is imaged by the detector. selected to provide a fourth set of visible moiré fringes;
using a controller communicatively coupled to the detector;
receiving an image of the overlay target;
The relative positions of the first set of moire fringe and the second set of moire fringe in the image are measured as an apparent overlay error, and according to the device period, the first measurement period, and the second measurement period. determining an overlay error between the first layer of the specimen and the second layer of the specimen by adjusting the apparent overlay error by a moiré gain factor;
Overlay weighing method.
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