JPWO2019244602A1 - Laminator and laminator alignment adjustment method - Google Patents

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Abstract

【課題】真空ラミネートを行うラミネータのアライメント調整をより容易に行えるようにすること。
【解決手段】ラミネータは、真空チャンバと、真空チャンバ内に設置され、真空ラミネートに用いられるローラと、ローラのアライメントを調整するためのアライメント調整機構と、ローラを回転させる駆動力を発生するアクチュエータと、を備え、アクチュエータの駆動力が出力される出力側回転軸の先端が真空領域の外部に配置され、ローラを回転させる駆動力が入力される入力側回転軸の先端が真空領域の内部に配置され、出力側回転軸の先端と入力側回転軸の先端とが電磁的に連結されている。
【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To make it easier to adjust the alignment of a laminator for vacuum laminating.
SOLUTION: A laminator includes a vacuum chamber, a roller installed in the vacuum chamber and used for vacuum laminating, an alignment adjusting mechanism for adjusting the alignment of the rollers, and an actuator for generating a driving force for rotating the rollers. , The tip of the output side rotation shaft from which the driving force of the actuator is output is arranged outside the vacuum region, and the tip of the input side rotation shaft into which the driving force to rotate the roller is input is arranged inside the vacuum region. The tip of the output side rotation shaft and the tip of the input side rotation shaft are electromagnetically connected.
[Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、ラミネータ及びラミネータのアライメント調整方法に関する。 The present invention relates to a laminator and a method for adjusting the alignment of the laminator.

従来、基板等のワークに樹脂製のフィルム等をラミネートするラミネータが知られている。
このようなラミネータとして、例えば、真空チャンバ内でワークにラミネートフィルムを連続的にラミネートする真空ラミネータが知られている。真空ラミネータにおいては、フィルムロール軸（ラミネートフィルムロールの回転軸）、ラミネートローラ及び巻き取りローラ等が真空チャンバ内に設置され、フィルムロール軸及び巻き取りローラが真空チャンバ外から回転駆動される。
なお、真空ラミネータに関する技術は、例えば、特許文献１に記載されている。Conventionally, a laminator for laminating a resin film or the like on a work such as a substrate has been known.
As such a laminator, for example, a vacuum laminator in which a laminating film is continuously laminated on a work in a vacuum chamber is known. In the vacuum laminator, a film roll shaft (rotating shaft of the laminated film roll), a laminating roller, a take-up roller, and the like are installed in the vacuum chamber, and the film roll shaft and the take-up roller are rotationally driven from outside the vacuum chamber.
The technique related to the vacuum laminator is described in, for example, Patent Document 1.

特開２００３−１１８００１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-118001

しかしながら、ローラを用いた真空ラミネータにおいては、ラミネートの処理工程で求められる条件に対して、ローラのアライメントを厳密に調整する必要がある。例えば、ローラの姿勢（回転軸の傾き）をラミネートの処理工程で求められる条件に対して予め設定された許容範囲内とする必要があると共に、ラミネートフィルムのエッジの位置を制御するために巻き取りローラのスラスト方向の位置を調整する必要がある。
このとき、真空チャンバ外からローラを駆動するモータとの連結状態を併せて調整する必要があり、ローラのアライメント作業を行う上で作業負担の増大を招いている。また、真空チャンバ外からモータによってローラを駆動する場合、駆動力の伝達機構が真空チャンバを貫通する部分に真空を維持するためのシールが設置されており、ローラのアライメント調整が行われてもシールにより真空を維持する必要がある。
このように、従来の技術においては、真空ラミネートを行うラミネータのアライメント調整を容易に行うことができなかった。However, in a vacuum laminator using rollers, it is necessary to strictly adjust the alignment of the rollers with respect to the conditions required in the laminating process. For example, the posture of the roller (tilt of the rotation axis) needs to be within a preset allowable range for the conditions required in the laminating process, and winding is performed to control the position of the edge of the laminated film. It is necessary to adjust the position of the roller in the thrust direction.
At this time, it is necessary to adjust the connection state with the motor that drives the rollers from outside the vacuum chamber, which causes an increase in the work load in performing the roller alignment work. In addition, when the roller is driven by a motor from outside the vacuum chamber, a seal is installed at the part where the driving force transmission mechanism penetrates the vacuum chamber to maintain the vacuum, and the seal is installed even if the alignment of the roller is adjusted. It is necessary to maintain a vacuum.
As described above, in the conventional technique, it has not been possible to easily adjust the alignment of the laminator for vacuum laminating.

本発明の課題は、真空ラミネートを行うラミネータのアライメント調整をより容易に行えるようにすることである。 An object of the present invention is to make it easier to adjust the alignment of a laminator for vacuum laminating.

上記課題を解決するため、本発明の一実施形態に係るラミネータは、
真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に設置され、真空ラミネートに用いられるローラと、
前記ローラのアライメントを調整するためのアライメント調整機構と、
前記ローラを回転させる駆動力を発生するアクチュエータと、
を備え、
前記アクチュエータの駆動力が出力される出力側回転軸の先端が真空領域の外部に配置され、前記ローラを回転させる駆動力が入力される入力側回転軸の先端が真空領域の内部に配置され、前記出力側回転軸の先端と前記入力側回転軸の先端とが電磁的に連結されていることを特徴とする。In order to solve the above problems, the laminator according to the embodiment of the present invention is
With a vacuum chamber
A roller installed in the vacuum chamber and used for vacuum laminating,
An alignment adjustment mechanism for adjusting the alignment of the rollers and
An actuator that generates a driving force to rotate the roller, and
With
The tip of the output-side rotary shaft from which the driving force of the actuator is output is arranged outside the vacuum region, and the tip of the input-side rotary shaft into which the driving force for rotating the roller is input is arranged inside the vacuum region. The tip of the output-side rotating shaft and the tip of the input-side rotating shaft are electromagnetically connected.

本発明によれば、真空ラミネートを行うラミネータのアライメント調整をより容易に行うことができる。 According to the present invention, it is possible to more easily adjust the alignment of the laminator for vacuum laminating.

本発明に係る真空ラミネータ１全体の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the whole vacuum laminator 1 which concerns on this invention. 真空チャンバ内のラミネート機構の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the laminating mechanism in a vacuum chamber. 巻き取りローラ１４の設置構造例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the installation structure example of the take-up roller 14. 変形例１における巻き取りローラ１４の設置構造例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the installation structure example of the take-up roller 14 in the modification 1. FIG.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
［全体構成］
図１は、本発明に係る真空ラミネータ１全体の構成を示す模式図である。
なお、図１においては、真空ラミネータ１の内部を透過した斜視図として、主要な部分を示している。
また、図２は、真空チャンバ内のラミネート機構の構成を示す模式図である。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[overall structure]
FIG. 1 is a schematic view showing the configuration of the entire vacuum laminator 1 according to the present invention.
In addition, in FIG. 1, the main part is shown as a perspective view which has passed through the inside of the vacuum laminator 1.
Further, FIG. 2 is a schematic view showing the configuration of the laminating mechanism in the vacuum chamber.

図１及び図２に示すように、真空ラミネータ１は、真空チャンバ１Ａ内に、上側フィルムロール軸１１Ａと、下側フィルムロール軸１１Ｂと、上側テンションローラ１２Ａと、下側テンションローラ１２Ｂと、上側ラミネートローラ１３Ａと、下側ラミネートローラ１３Ｂと、巻き取りローラ１４と、芯出しプレート１５と、別体プレート１６と、台車１７と、を備えている。また、真空ラミネータ１は、真空チャンバ１Ａ外に、アクチュエータとしてのトルク調整用モータ２１，２２及び回転駆動用モータ２３を備えている。なお、真空チャンバ１Ａの隔壁には、部材の連結等を目的として、複数の貫通穴が形成され、各貫通穴には、貫通穴における真空漏れを防ぐためのシール部１Ｂが備えられている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the vacuum laminator 1 has an upper film roll shaft 11A, a lower film roll shaft 11B, an upper tension roller 12A, a lower tension roller 12B, and an upper side in the vacuum chamber 1A. It includes a laminating roller 13A, a lower laminating roller 13B, a take-up roller 14, a centering plate 15, a separate plate 16, and a carriage 17. Further, the vacuum laminator 1 includes a torque adjusting motors 21 and 22 as actuators and a rotation driving motor 23 outside the vacuum chamber 1A. A plurality of through holes are formed in the partition wall of the vacuum chamber 1A for the purpose of connecting members and the like, and each through hole is provided with a seal portion 1B for preventing vacuum leakage in the through holes.

上側フィルムロール軸１１Ａは、真空ラミネートに用いられる上側ラミネートフィルムを供給するフィルムロールの回転軸を構成し、トルク調整用モータ２１によって回転トルクが制御される。
下側フィルムロール軸１１Ｂは、真空ラミネートに用いられる下側ラミネートフィルムを供給するフィルムロールの回転軸を構成し、トルク調整用モータ２２によって回転トルクが制御される。
上側テンションローラ１２Ａは、上側ラミネートフィルムの張力を検出するために設置されたテンションローラである。なお、上側テンションローラ１２Ａを上側ラミネートフィルムの搬送をガイドするガイドロールとすることとしてもよい。また、上側テンションローラ１２Ａに代えてダンサローラを設置し、機械的な構造によって上側ラミネートフィルムの弛みを解消させることとしてもよい。The upper film roll shaft 11A constitutes a rotation shaft of the film roll that supplies the upper laminate film used for vacuum lamination, and the rotation torque is controlled by the torque adjusting motor 21.
The lower film roll shaft 11B constitutes a rotation shaft of the film roll that supplies the lower laminate film used for vacuum lamination, and the rotation torque is controlled by the torque adjusting motor 22.
The upper tension roller 12A is a tension roller installed for detecting the tension of the upper laminated film. The upper tension roller 12A may be used as a guide roll for guiding the transfer of the upper laminated film. Further, a dancer roller may be installed instead of the upper tension roller 12A, and the slack of the upper laminated film may be eliminated by a mechanical structure.

下側テンションローラ１２Ｂは、下側ラミネートフィルムの張力を検出するために設置されたテンションローラである。なお、下側テンションローラ１２Ｂを下側ラミネートフィルムの搬送をガイドするガイドロールとすることとしてもよい。また、下側テンションローラ１２Ｂに代えてダンサローラを設置し、機械的な構造によって下側ラミネートフィルムの弛みを解消させることとしてもよい。
上側ラミネートローラ１３Ａ及び下側ラミネートローラ１３Ｂは、ラミネートフィルムの搬送により従動的に回転し、上側ラミネートローラ１３Ａと下側ラミネートローラ１３Ｂとの間に挟み込まれた上側ラミネートフィルム及び下側ラミネートフィルムを真空環境下で圧着することにより、ラミネート処理を行う。
巻き取りローラ１４は、台車１７に固定された支持部材１７ａに回転軸を回転可能に支持されている。また、巻き取りローラ１４は、回転駆動用モータ２３によって回転駆動され、上側ラミネートローラ１３Ａ及び下側ラミネートローラ１３Ｂから搬出されたラミネート済みのフィルムを巻き取る。
なお、巻き取りローラ１４の具体的な設置構造例については後述する。The lower tension roller 12B is a tension roller installed for detecting the tension of the lower laminated film. The lower tension roller 12B may be used as a guide roll for guiding the transfer of the lower laminated film. Further, a dancer roller may be installed instead of the lower tension roller 12B, and the looseness of the lower laminated film may be eliminated by a mechanical structure.
The upper laminating roller 13A and the lower laminating roller 13B are driven to rotate by transporting the laminating film, and evacuate the upper laminating film and the lower laminating film sandwiched between the upper laminating roller 13A and the lower laminating roller 13B. Laminating is performed by crimping in an environment.
The take-up roller 14 is rotatably supported by a support member 17a fixed to the carriage 17. Further, the take-up roller 14 is rotationally driven by the rotation drive motor 23, and winds up the laminated film carried out from the upper laminate roller 13A and the lower laminate roller 13B.
A specific example of the installation structure of the take-up roller 14 will be described later.

芯出しプレート１５は、真空チャンバ１Ａ内の床面にボルト等で固定された板状部材であり、芯出しプレート１５上に別体プレート１６、台車１７及び巻き取りローラ１４が設置される。
別体プレート１６は、芯出しプレート１５に対し、ジャッキボルトによって四隅を支持された板状部材であり、ジャッキボルトを調整することにより、芯出しプレート１５及び真空チャンバ１Ａの床面に対する傾斜を調整することが可能となっている。これにより、アライメント調整として、巻き取りローラ１４の姿勢の調整（回転軸の傾き調整）を行うことができる。また、別体プレート１６の各ボルト穴は、一方向（例えば、スラスト方向と直交する方向）に長い長穴とされており、別体プレート１６全体をこの一方向に平行移動することも可能となっている。The centering plate 15 is a plate-shaped member fixed to the floor surface in the vacuum chamber 1A with bolts or the like, and a separate plate 16, a carriage 17, and a take-up roller 14 are installed on the centering plate 15.
The separate plate 16 is a plate-like member whose four corners are supported by jack bolts with respect to the centering plate 15, and the inclination of the centering plate 15 and the vacuum chamber 1A with respect to the floor surface is adjusted by adjusting the jack bolts. It is possible to do. As a result, the posture of the take-up roller 14 can be adjusted (inclination adjustment of the rotating shaft) as the alignment adjustment. Further, each bolt hole of the separate plate 16 is a long hole long in one direction (for example, a direction orthogonal to the thrust direction), and the entire separate plate 16 can be translated in this one direction. It has become.

台車１７は、別体プレート１６上を巻き取りローラ１４のスラスト方向に移動可能に構成されている。別体プレート１６と台車１７とは、例えば、リニアガイドを介してスラスト方向に直線的に移動可能に連結することができる。なお、本実施形態において、台車１７は、図１中に一点鎖線で模式的に示すように、回転駆動用モータ２３とスラスト方向の移動が連動するよう機械的に連結されている。
トルク調整用モータ２１は、伝達トルクの調整機構（例えば、パウダークラッチ等）を備え、上側フィルムロール軸１１Ａから送り出される上側ラミネートフィルムのテンションを制御するための回転トルクを発生する。
トルク調整用モータ２２は、伝達トルクの調整機構（例えば、パウダークラッチ等）を備え、下側フィルムロール軸１１Ｂから送り出される下側ラミネートフィルムのテンションを制御するための回転トルクを発生する。
回転駆動用モータ２３は、伝達トルクの調整機構（例えば、パウダークラッチ等）を備え、巻き取りローラ１４を回転駆動するための回転トルクを発生する。The carriage 17 is configured to be movable on the separate plate 16 in the thrust direction of the winding roller 14. The separate plate 16 and the carriage 17 can be connected to each other so as to be linearly movable in the thrust direction via, for example, a linear guide. In the present embodiment, the carriage 17 is mechanically connected to the rotary drive motor 23 so as to be interlocked with the movement in the thrust direction, as schematically shown by the alternate long and short dash line in FIG.
The torque adjusting motor 21 includes a transmission torque adjusting mechanism (for example, a powder clutch or the like), and generates a rotational torque for controlling the tension of the upper laminated film sent out from the upper film roll shaft 11A.
The torque adjusting motor 22 includes a transmission torque adjusting mechanism (for example, a powder clutch or the like), and generates a rotational torque for controlling the tension of the lower laminated film sent out from the lower film roll shaft 11B.
The rotary drive motor 23 includes a transmission torque adjusting mechanism (for example, a powder clutch or the like), and generates a rotary torque for rotationally driving the take-up roller 14.

なお、トルク調整用モータ２１，２２及び回転駆動用モータ２３には伝達トルクの調整機構を備えることなく、出力する回転トルクを制御することによりトルクを調整することとしてもよい。
また、トルク調整用モータ２１，２２に代えて、上側フィルムロール軸１１Ａ及び下側フィルムロール軸１１Ｂの回転抵抗を調整する機構（例えば、パウダーブレーキ等）を備えることとしてもよい。この場合にも、上側フィルムロール軸１１Ａ及び下側フィルムロール軸１１Ｂから送り出される上側ラミネートフィルム及び下側ラミネートフィルムのテンションを制御することができる。The torque adjusting motors 21 and 22 and the rotary drive motor 23 may not be provided with a transmission torque adjusting mechanism, and the torque may be adjusted by controlling the output rotational torque.
Further, instead of the torque adjusting motors 21 and 22, a mechanism (for example, a powder brake or the like) for adjusting the rotational resistance of the upper film roll shaft 11A and the lower film roll shaft 11B may be provided. Also in this case, the tension of the upper laminated film and the lower laminated film delivered from the upper film roll shaft 11A and the lower film roll shaft 11B can be controlled.

［巻き取りローラの設置構造例］
図３は、巻き取りローラ１４の設置構造例を示す模式図である。
巻き取りローラ１４は、本発明を適用したアライメント調整機能を備えている。
図３に示すように、巻き取りローラ１４は、真空チャンバ１Ａの内部において、台車１７に固定された支持部材１７ａに回転軸を回転可能に支持されている。また、巻き取りローラ１４の回転軸の先端には、マグネットカップリングのためのディスク１４ａが設置され、真空領域の境界を挟んで、回転駆動用モータ２３の回転軸の先端に設置されたディスク２３ａと電磁的に連結されている。[Example of installation structure of take-up roller]
FIG. 3 is a schematic view showing an example of an installation structure of the take-up roller 14.
The take-up roller 14 has an alignment adjusting function to which the present invention is applied.
As shown in FIG. 3, the take-up roller 14 is rotatably supported by a support member 17a fixed to a carriage 17 inside the vacuum chamber 1A. Further, a disc 14a for magnet coupling is installed at the tip of the rotating shaft of the take-up roller 14, and the disc 23a installed at the tip of the rotating shaft of the rotary drive motor 23 with the boundary of the vacuum region sandwiched between them. Is electromagnetically connected to.

本実施形態においては、巻き取りローラ１４の回転軸が真空チャンバ１Ａの隔壁を貫通し、巻き取りローラ１４の回転軸の先端に設置されたディスク１４ａが、隔壁の外部側に設置されたシール部１Ｂ内で、回転駆動用モータ２３の回転軸の先端に設置されたディスク２３ａとシール部１Ｂの封止板３１を挟んで対向している。ディスク１４ａとディスク２３ａとの間に設置される部材（ここでは封止板３１）は、渦電流を発生させない材料または渦電流をより発生させ難い材料によって構成することが望ましく、例えば、渦電流を発生させない樹脂や、渦電流を比較的発生させ難いステンレス等の金属で構成することができる。 In the present embodiment, the rotating shaft of the take-up roller 14 penetrates the partition wall of the vacuum chamber 1A, and the disc 14a installed at the tip of the rotating shaft of the take-up roller 14 is a seal portion installed on the outer side of the partition wall. Within 1B, the disc 23a installed at the tip of the rotation shaft of the rotation drive motor 23 and the sealing plate 31 of the seal portion 1B are opposed to each other. The member installed between the disc 14a and the disc 23a (here, the sealing plate 31) is preferably made of a material that does not generate an eddy current or a material that is less likely to generate an eddy current. For example, the eddy current is generated. It can be composed of a resin that does not generate eddy currents or a metal such as stainless steel that is relatively difficult to generate eddy currents.

シール部１Ｂは、巻き取りローラ１４の回転軸が真空チャンバ１Ａを貫通する貫通穴を封止する構造を有し、貫通穴を塞ぐ封止板３１がベローズ３２を介して真空チャンバ１Ａの隔壁の外側に設置されている。
また、封止板３１は、台車１７の一端と自由継手を介して連結部材３３で連結されている。そのため、封止板３１と真空チャンバ１Ａの隔壁との距離を変化させることで、巻き取りローラ１４及びディスク１４ａがスラスト方向に移動する。なお、この場合、巻き取りローラ１４及びディスク１４ａをスラスト方向に移動させる手段としては、別途、移動用のモータを備えたり、手動操作で行ったりすることが可能である。
これにより、アライメント調整として、ラミネート済みフィルムのエッジ位置の制御（スラスト方向の位置調整）が実現される。The seal portion 1B has a structure in which the rotating shaft of the take-up roller 14 seals a through hole penetrating the vacuum chamber 1A, and a sealing plate 31 that closes the through hole of the partition wall of the vacuum chamber 1A via the bellows 32. It is installed on the outside.
Further, the sealing plate 31 is connected to one end of the carriage 17 by a connecting member 33 via a free joint. Therefore, by changing the distance between the sealing plate 31 and the partition wall of the vacuum chamber 1A, the take-up roller 14 and the disk 14a move in the thrust direction. In this case, as a means for moving the take-up roller 14 and the disc 14a in the thrust direction, a motor for movement may be separately provided or manually operated.
As a result, control of the edge position of the laminated film (position adjustment in the thrust direction) is realized as alignment adjustment.

ここで、巻き取りローラ１４のアライメント調整（スラスト方向の位置調整及び回転軸の傾き調整）を行う場合、電磁的に連結されるディスク１４ａ，２３ａ同士の距離及び傾きは、厳密性を要求されず、設定された範囲内においてずれが許容される。本実施形態においては、電磁的に連結されるディスク１４ａ，２３ａ同士が電磁的に適切に連結されるための連結条件は、アライメント調整により巻き取りローラ１４のディスク１４ａが回転駆動用モータ２３のディスク２３ａに対して生じるずれ量の最大値を許容できるものとなっている。
そのため、本実施形態に係る真空ラミネータ１によれば、巻き取りローラ１４のアライメント調整をより容易に行うことができる。Here, when adjusting the alignment of the take-up roller 14 (adjusting the position in the thrust direction and adjusting the inclination of the rotating shaft), the distance and inclination between the electromagnetically connected disks 14a and 23a are not required to be strict. , The deviation is allowed within the set range. In the present embodiment, the connection condition for the electromagnetically connected disks 14a and 23a to be appropriately connected to each other is that the disk 14a of the take-up roller 14 is the disk of the rotary drive motor 23 by alignment adjustment. The maximum value of the amount of deviation that occurs with respect to 23a can be tolerated.
Therefore, according to the vacuum laminator 1 according to the present embodiment, the alignment adjustment of the take-up roller 14 can be performed more easily.

また、本実施形態において、回転駆動用モータ２３の回転軸は、封止板３１に固定された保持部材３４に対して軸方向の移動を規制して回転可能に支持されている。
そのため、図３に示す構造例の場合、ラミネート済みフィルムのエッジ位置を調整するために巻き取りローラ１４をスラスト方向に移動させたときに、保持部材３４、ディスク２３ａ、連結部材３３、台車１７、支持部材１７ａ、巻き取りローラ１４及びディスク１４ａの位置関係が維持される。即ち、スラスト方向のアライメント調整が行われる場合に、巻き取りローラ１４の回転軸の先端に設置されたディスク１４ａと回転駆動用モータ２３の回転軸の先端に設置されたディスク２３ａとの位置関係が維持され、アライメント調整を行った場合に、電磁的な連結の状態を含め、各部の調整作業を行う負担が軽減される。
また、本実施形態に係る真空ラミネータ１によれば、シール部１Ｂにおける回転軸への抵抗（回転摩擦）を発生させない構造とすることができる。Further, in the present embodiment, the rotary shaft of the rotary drive motor 23 is rotatably supported by restricting the movement in the axial direction with respect to the holding member 34 fixed to the sealing plate 31.
Therefore, in the case of the structural example shown in FIG. 3, when the take-up roller 14 is moved in the thrust direction in order to adjust the edge position of the laminated film, the holding member 34, the disc 23a, the connecting member 33, and the carriage 17 The positional relationship between the support member 17a, the take-up roller 14, and the disc 14a is maintained. That is, when the alignment adjustment in the thrust direction is performed, the positional relationship between the disk 14a installed at the tip of the rotation shaft of the take-up roller 14 and the disk 23a installed at the tip of the rotation shaft of the rotation drive motor 23 is When it is maintained and the alignment is adjusted, the burden of adjusting each part including the state of electromagnetic connection is reduced.
Further, according to the vacuum laminator 1 according to the present embodiment, the structure can be configured so as not to generate resistance (rotational friction) to the rotating shaft in the seal portion 1B.

［作用］
次に、真空ラミネータ１の作用を説明する。
真空ラミネータ１においては、真空ラミネートの実行に先立ち、各ローラの回転軸の傾きの調整を行う必要がある。
巻き取りローラ１４の回転軸の傾き調整（回転軸のアライメント調整）を行う場合、別体プレート１６のジャッキボルトを調整することにより、巻き取りローラ１４全体の姿勢が調整される。
このとき、巻き取りローラ１４のディスク１４ａと回転駆動用モータ２３のディスク２３ａとの位置関係が変化する可能性があるものの、本実施形態においては、ディスク１４ａ，２３ａが電磁的に連結されているため、これらの厳密な位置関係の調整が要求されない。
そのため、巻き取りローラ１４の回転軸のアライメント調整を行う際の作業負担が軽減される。[Action]
Next, the operation of the vacuum laminator 1 will be described.
In the vacuum laminator 1, it is necessary to adjust the inclination of the rotation axis of each roller prior to executing the vacuum laminating.
When adjusting the inclination of the rotating shaft of the take-up roller 14 (adjusting the alignment of the rotating shaft), the posture of the entire take-up roller 14 is adjusted by adjusting the jack bolt of the separate plate 16.
At this time, although the positional relationship between the disc 14a of the take-up roller 14 and the disc 23a of the rotary drive motor 23 may change, in the present embodiment, the discs 14a and 23a are electromagnetically connected. Therefore, these strict adjustments of the positional relationship are not required.
Therefore, the work load when adjusting the alignment of the rotation shaft of the take-up roller 14 is reduced.

また、真空ラミネータ１においては、各ローラの回転軸の傾き調整と併せて、巻き取りローラ１４によって巻き取られるラミネート済みフィルムのエッジ位置の調整が行われる。
巻き取りローラ１４のスラスト方向の位置調整（スラスト方向のアライメント調整）を行う場合、保持部材３４、ディスク２３ａ、連結部材３３、台車１７、支持部材１７ａ、巻き取りローラ１４及びディスク１４ａを巻き取りローラ１４のスラスト方向に移動させることにより、ラミネート済みフィルムのエッジ位置が調整される。
このとき、巻き取りローラ１４の回転軸の先端に設置されたディスク１４ａと回転駆動用モータ２３の回転軸の先端に設置されたディスク２３ａとの位置関係が維持され、スラスト方向のアライメント調整を行った場合に、電磁的な連結の状態を含め、各部の調整作業を行う負担が軽減される。Further, in the vacuum laminator 1, the inclination of the rotation axis of each roller is adjusted, and the edge position of the laminated film wound by the winding roller 14 is adjusted.
When adjusting the position of the take-up roller 14 in the thrust direction (alignment adjustment in the thrust direction), the holding member 34, the disc 23a, the connecting member 33, the carriage 17, the support member 17a, the take-up roller 14 and the disc 14a are taken up by the take-up roller. By moving in the thrust direction of 14, the edge position of the laminated film is adjusted.
At this time, the positional relationship between the disc 14a installed at the tip of the rotary shaft of the take-up roller 14 and the disc 23a installed at the tip of the rotary shaft of the rotary drive motor 23 is maintained, and the alignment in the thrust direction is adjusted. In that case, the burden of adjusting each part, including the state of electromagnetic connection, is reduced.

また、ディスク１４ａ，２３ａの厳密な位置関係の調整が要求されないため、仮にディスク１４ａとディスク２３ａとの位置関係が一定の範囲内で変化したとしても電磁的な連結が維持され、巻き取りローラ１４のスラスト方向のアライメント調整を行う際の作業負担が軽減される。
したがって、本発明によれば、真空ラミネートを行うラミネータのアライメント調整をより容易に行うことができる。Further, since the adjustment of the strict positional relationship between the discs 14a and 23a is not required, even if the positional relationship between the discs 14a and the discs 23a changes within a certain range, the electromagnetic connection is maintained and the take-up roller 14 is maintained. The work load when adjusting the alignment in the thrust direction is reduced.
Therefore, according to the present invention, it is possible to more easily adjust the alignment of the laminator for vacuum laminating.

［変形例１］
上述の実施形態において、図３に示すように、巻き取りローラ１４をスラスト方向に移動させたときに、保持部材３４、ディスク２３ａ、連結部材３３、台車１７、支持部材１７ａ、巻き取りローラ１４及びディスク１４ａの位置関係が維持される巻き取りローラ１４の設置構造例について説明した。
これに対し、巻き取りローラ１４をスラスト方向に移動させるモータを備え、回転駆動用モータ２３は位置が固定された設置構造とすることができる。[Modification 1]
In the above-described embodiment, as shown in FIG. 3, when the take-up roller 14 is moved in the thrust direction, the holding member 34, the disk 23a, the connecting member 33, the trolley 17, the support member 17a, the take-up roller 14 and An example of an installation structure of the take-up roller 14 in which the positional relationship of the disc 14a is maintained has been described.
On the other hand, a motor for moving the take-up roller 14 in the thrust direction is provided, and the rotary drive motor 23 can have an installation structure in which the position is fixed.

図４は、本変形例における巻き取りローラ１４の設置構造例を示す模式図である。
図４に示す設置構造例は、主として、スラスト方向の位置調整のためのスラスト調整用モータ２４が備えられ、台車１７と連結されていると共に、巻き取りローラ１４の回転軸に減速機構１４１が設置されている点で、図３に示す設置構造例と異なっている。
図４に示す設置構造例において、スラスト調整用モータ２４の回転軸は、真空チャンバ１Ａの隔壁に形成された貫通穴を貫通し、台車１７の一端と自由継手を介して連結されている。なお、この貫通穴の部分には、シール部１Ｂが設置されている。ただし、スラスト調整用モータ２４の出力は、回転駆動用モータ２３の出力より小さいもので足りるため、図３におけるシール部１Ｂのサイズもより小さいものとすることができる。FIG. 4 is a schematic view showing an example of the installation structure of the take-up roller 14 in this modified example.
In the installation structure example shown in FIG. 4, a thrust adjustment motor 24 for adjusting the position in the thrust direction is mainly provided, connected to the carriage 17, and a reduction mechanism 141 is installed on the rotation shaft of the take-up roller 14. This is different from the installation structure example shown in FIG.
In the installation structure example shown in FIG. 4, the rotating shaft of the thrust adjusting motor 24 penetrates a through hole formed in the partition wall of the vacuum chamber 1A and is connected to one end of the carriage 17 via a free joint. A seal portion 1B is installed in the through hole portion. However, since the output of the thrust adjusting motor 24 is smaller than the output of the rotary drive motor 23, the size of the seal portion 1B in FIG. 3 can also be smaller.

また、回転駆動用モータ２３の回転軸は、保持部材３４に保持されることなく、ディスク２３ａは、封止板３１を挟んでディスク１４ａと対向している。なお、封止板３１は、ベローズ３２を備えることなく、直接、真空チャンバ１Ａの隔壁の外側に真空を維持する状態で固定されている。図４に示す構造の場合、回転駆動用モータ２３は固定して設置することができる。
減速機構１４１には、ディスク１４ａと連結された駆動力の入力軸１４１ａと、駆動力の入力軸１４１ａを回転軸とする歯車１４１ｂと、巻き取りローラ１４の回転軸に設置され、歯車１４１ｂと咬み合う歯車１４１ｃと、が備えられている。
入力軸１４１ａ及び歯車１４１ｂは、別体プレート１６に設置された支持部材１６ａに回転可能に支持されており、スラスト方向には移動しない構成となっている。一方、巻き取りローラ１４は、台車１７に設置された支持部材１７ａに回転軸を回転可能に支持されており、台車１７がスラスト調整用モータ２４によって移動されることにより、スラスト方向に移動する。このとき、歯車１４１ｂと歯車１４１ｃとの咬み合いが維持される範囲で台車１７が移動される。Further, the rotation shaft of the rotation drive motor 23 is not held by the holding member 34, and the disc 23a faces the disc 14a with the sealing plate 31 interposed therebetween. The sealing plate 31 is fixed directly to the outside of the partition wall of the vacuum chamber 1A in a state of maintaining a vacuum without providing the bellows 32. In the case of the structure shown in FIG. 4, the rotary drive motor 23 can be fixedly installed.
The speed reduction mechanism 141 is installed on the drive force input shaft 141a connected to the disk 14a, the gear 141b having the drive force input shaft 141a as the rotation axis, and the rotation shaft of the take-up roller 14, and bites the gear 141b. A matching gear 141c is provided.
The input shaft 141a and the gear 141b are rotatably supported by a support member 16a installed on the separate plate 16 and do not move in the thrust direction. On the other hand, the take-up roller 14 is rotatably supported by a support member 17a installed on the carriage 17, and the carriage 17 is moved by the thrust adjusting motor 24 to move in the thrust direction. At this time, the carriage 17 is moved within a range in which the meshing between the gear 141b and the gear 141c is maintained.

このような構成の場合、回転駆動用モータ２３がスラスト方向に移動することなく、また、シール部１Ｂにおいてベローズ３２や保持部材３４等、スラスト方向に並ぶ部材を必要としないため、真空チャンバ１Ａから突出する部分のサイズを抑制することができる。
また、図４に示す設置構造例では、巻き取りローラ１４の回転軸の端部にディスク１４ａが設置されないことから、この部分を異なる機能に活用することができる。
例えば、図４に示す例では、巻き取りローラ１４の回転軸の端部にロータリージョイント１４ｂを設置し、ロータリージョイント１４ｂを介して、巻き取りローラ１４の回転軸に設置されたエアチャック用のエアの供給路を設置している。
この場合、ラミネート済みのフィルムが巻き取られることにより、巻き取りローラ１４に蓄積されるラミネート済みフィルムの量が変化しても、その変化に対応してエアチャックの強度を調整することができ、より適切に巻き取りローラ１４を回転軸に保持することができる。
また、変形例１に係る真空ラミネータ１においても、シール部１Ｂにおける回転軸への抵抗（回転摩擦）を発生させない構造とすることができる。In such a configuration, the rotary drive motor 23 does not move in the thrust direction, and the seal portion 1B does not require members such as bellows 32 and holding member 34 that are aligned in the thrust direction. Therefore, from the vacuum chamber 1A. The size of the protruding portion can be suppressed.
Further, in the installation structure example shown in FIG. 4, since the disc 14a is not installed at the end of the rotation shaft of the take-up roller 14, this portion can be utilized for different functions.
For example, in the example shown in FIG. 4, a rotary joint 14b is installed at the end of the rotary shaft of the take-up roller 14, and air for an air chuck installed on the rotary shaft of the take-up roller 14 via the rotary joint 14b. Supply channel is installed.
In this case, by winding the laminated film, even if the amount of the laminated film accumulated in the winding roller 14 changes, the strength of the air chuck can be adjusted in response to the change. The take-up roller 14 can be more appropriately held on the rotating shaft.
Further, the vacuum laminator 1 according to the modified example 1 can also have a structure that does not generate resistance (rotational friction) to the rotating shaft in the seal portion 1B.

なお、上述の実施形態及び変形例は、本発明の実施形態の一例であり、本発明の機能を実現する種々の実施形態が本発明の範囲に含まれる。
例えば、第１実施形態において、巻き取りローラ１４に本発明を適用する場合を例に挙げて説明したが、これに限られない。例えば、上側フィルムロール軸１１Ａあるいは下側フィルムロール軸１１Ｂ等、真空チャンバ１Ａの外部から駆動力が入力されて回転する各種ローラに本発明を適用することができる。The above-described embodiments and modifications are examples of the embodiments of the present invention, and various embodiments that realize the functions of the present invention are included in the scope of the present invention.
For example, in the first embodiment, the case where the present invention is applied to the take-up roller 14 has been described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, the present invention can be applied to various rollers that rotate by inputting a driving force from the outside of the vacuum chamber 1A, such as the upper film roll shaft 11A or the lower film roll shaft 11B.

また、上述の実施形態及び変形例において、巻き取りローラ１４の回転軸の端部にディスク１４ａを備え、回転駆動用モータ２３の回転軸の端部にディスク１４ａと対向して配置されるディスク２３ａを備え、ディスク１４ａとディスク２３ａとが電磁的に連結する構成を例に挙げて説明したが、これに限られない。即ち、巻き取りローラ１４の回転軸と回転駆動用モータ２３の回転軸とを電磁的に連結する形態として、ディスク以外を用いる各種構造を採用することが可能である。例えば、巻き取りローラ１４の回転軸及び回転駆動用モータ２３の回転軸の一方を内筒、他方を外筒とし、内筒の外周及び外筒の内周にそれぞれ磁石を設置することで、これらを電磁的に連結する構造とすることができる。 Further, in the above-described embodiment and modification, the disk 14a is provided at the end of the rotating shaft of the take-up roller 14, and the disk 23a is arranged at the end of the rotating shaft of the rotary drive motor 23 so as to face the disk 14a. However, the present invention is not limited to this, although the configuration in which the disc 14a and the disc 23a are electromagnetically connected has been described as an example. That is, it is possible to adopt various structures other than the disk as a form in which the rotation shaft of the take-up roller 14 and the rotation shaft of the rotation drive motor 23 are electromagnetically connected. For example, one of the rotation shaft of the take-up roller 14 and the rotation shaft of the rotation drive motor 23 is an inner cylinder, the other is an outer cylinder, and magnets are installed on the outer circumference of the inner cylinder and the inner circumference of the outer cylinder, respectively. Can be electromagnetically connected.

また、上述の変形例１において、巻き取りローラ１４の回転軸に減速機構１４１が設置されるものとして説明したが、これに限られない。即ち、図４に示す構成において、減速機構１４１に代えて、減速を行わないギア比の歯車機構を備えたり、ベルト等のギア以外による回転伝達機構を備えたり、あるいは、減速機構１４１を備えることなく、巻き取りローラ１４の回転軸の先端にディスク１４ａを直接設置したりすることができる。
また、上述の実施形態及び変形例を適宜組み合わせて、真空ラミネータ１を構成することができる。例えば、図３に示す設置構造例と図４に示す設置構造例とを、異なるローラにそれぞれ適用して、真空ラミネータ１に備えることができる。Further, in the above-described modification 1, the reduction mechanism 141 is installed on the rotating shaft of the take-up roller 14, but the present invention is not limited to this. That is, in the configuration shown in FIG. 4, instead of the reduction mechanism 141, a gear mechanism having a gear ratio that does not decelerate is provided, a rotation transmission mechanism other than a gear such as a belt is provided, or a reduction mechanism 141 is provided. Instead, the disc 14a can be directly installed at the tip of the rotation shaft of the take-up roller 14.
Further, the vacuum laminator 1 can be configured by appropriately combining the above-described embodiments and modifications. For example, the installation structure example shown in FIG. 3 and the installation structure example shown in FIG. 4 can be applied to different rollers to prepare the vacuum laminator 1.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限るものではない。また、本実施形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本実施形態に記載されたものに限定されるものではない。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments. Further, the effects described in the present embodiment merely list the most preferable effects arising from the present invention, and the effects according to the present invention are not limited to those described in the present embodiment.

１ 真空ラミネータ、１Ａ 真空チャンバ、１Ｂ シール部、１１Ａ 上側フィルムロール軸、１１Ｂ 下側フィルムロール軸、１２Ａ 上側テンションローラ、１２Ｂ 下側テンションローラ、１３Ａ 上側ラミネートローラ、１３Ｂ 下側ラミネートローラ、１４ 巻き取りローラ、１４ａ，２３ａ ディスク、１４１ 減速機構、１４１ａ 入力軸、１４１ｂ，１４１ｃ 歯車、１４ｂ ロータリージョイント、１５ 芯出しプレート、１６ 別体プレート、１６ａ，１７ａ 支持部材、１７ 台車、２１，２２ トルク調整用モータ、２３ 回転駆動用モータ、２４ スラスト調整用モータ、３１ 封止板、３２ ベローズ、３３ 連結部材、３４ 保持部材 1 Vacuum laminator, 1A Vacuum chamber, 1B Seal, 11A Upper film roll shaft, 11B Lower film roll shaft, 12A Upper tension roller, 12B Lower tension roller, 13A Upper laminate roller, 13B Lower laminate roller, 14 Winding Roller, 14a, 23a disc, 141 reduction mechanism, 141a input shaft, 141b, 141c gear, 14b rotary joint, 15 centering plate, 16 separate plate, 16a, 17a support member, 17 trolley, 21,22 torque adjustment motor , 23 Rotation drive motor, 24 Thrust adjustment motor, 31 Sealing plate, 32 Bellows, 33 Connecting member, 34 Holding member

Claims (8)

真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に設置され、真空ラミネートに用いられるローラと、
前記ローラのアライメントを調整するためのアライメント調整機構と、
前記ローラを回転させる駆動力を発生するアクチュエータと、
を備え、
前記アクチュエータの駆動力が出力される出力側回転軸の先端が真空領域の外部に配置され、前記ローラを回転させる駆動力が入力される入力側回転軸の先端が真空領域の内部に配置され、前記出力側回転軸の先端と前記入力側回転軸の先端とが電磁的に連結されていることを特徴とするラミネータ。With a vacuum chamber
A roller installed in the vacuum chamber and used for vacuum laminating,
An alignment adjustment mechanism for adjusting the alignment of the rollers and
An actuator that generates a driving force to rotate the roller, and
With
The tip of the output-side rotary shaft from which the driving force of the actuator is output is arranged outside the vacuum region, and the tip of the input-side rotary shaft into which the driving force for rotating the roller is input is arranged inside the vacuum region. A laminator characterized in that the tip of the output-side rotating shaft and the tip of the input-side rotating shaft are electromagnetically connected. 前記出力側回転軸の先端と前記入力側回転軸の先端との電磁的な連結条件は、前記アライメント調整機構により前記ローラのアライメントが調整された場合の前記出力側回転軸の先端と前記入力側回転軸の先端との最大ずれ量を許容するように設定されていることを特徴とする請求項１に記載のラミネータ。 The electromagnetic connection condition between the tip of the output side rotation shaft and the tip of the input side rotation shaft is the tip of the output side rotation shaft and the input side when the alignment of the roller is adjusted by the alignment adjustment mechanism. The laminator according to claim 1, wherein the laminator is set so as to allow a maximum amount of deviation from the tip of the rotating shaft. 前記アライメント調整機構は、
前記真空チャンバ内の床面に対し、傾斜を調整可能なプレートと、
前記プレート上を移動可能な台車と、
を備え、
前記ローラは、前記台車に設置された支持部材に回転軸を回転可能に支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載のラミネータ。The alignment adjustment mechanism is
A plate whose inclination can be adjusted with respect to the floor surface in the vacuum chamber,
A dolly that can move on the plate and
With
The laminator according to claim 1 or 2, wherein the roller is rotatably supported by a support member installed on the carriage. 前記真空チャンバの隔壁は、貫通穴と当該貫通穴における真空漏れを防止するシール部とを有し、
前記出力側回転軸の先端と前記入力側回転軸の先端とは、前記シール部を挟んで、真空領域の外部及び内部に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のラミネータ。The partition wall of the vacuum chamber has a through hole and a seal portion for preventing vacuum leakage in the through hole.
The laminator according to claim 3, wherein the tip of the output-side rotary shaft and the tip of the input-side rotary shaft are arranged outside and inside the vacuum region with the seal portion interposed therebetween. 前記シール部は、封止板と、当該封止板と前記真空チャンバの隔壁との間に設置された伸縮部材とを備え、
前記アライメント調整機構は、前記封止板と前記台車とを連結する連結部材を備えることを特徴とする請求項４に記載のラミネータ。The sealing portion includes a sealing plate and an elastic member installed between the sealing plate and the partition wall of the vacuum chamber.
The laminator according to claim 4, wherein the alignment adjusting mechanism includes a connecting member for connecting the sealing plate and the carriage. 前記封止板における真空領域の外部側に、前記アクチュエータにおける前記出力側回転軸の先端を、前記封止板との距離を保持して回転可能に支持する保持部材を備えることを特徴とする請求項５に記載のラミネータ。 A claim characterized in that a holding member is provided on the outer side of the vacuum region of the sealing plate to rotatably support the tip of the output-side rotating shaft of the actuator while maintaining a distance from the sealing plate. Item 5. The laminator according to item 5. 前記ローラの回転軸に備えられたローラ側歯車と、
前記入力側回転軸に備えられ、前記ローラのスラスト方向の移動に対して前記ローラ側歯車との咬み合いを維持する回転軸側歯車と、
を備え、
前記入力側回転軸は、前記真空チャンバ内の床面に設置された支持部材に回転軸を回転可能に支持されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のラミネータ。The roller side gear provided on the rotating shaft of the roller and
A rotary shaft side gear provided on the input side rotary shaft and maintaining meshing with the roller side gear with respect to movement of the roller in the thrust direction, and a rotary shaft side gear.
With
The laminator according to any one of claims 1 to 4, wherein the input-side rotating shaft is rotatably supported by a support member installed on a floor surface in the vacuum chamber. .. ローラを用いて真空ラミネートを行うラミネータで実行されるアライメント調整方法であって、
真空領域の内部に設置された前記ローラを回転させる駆動力を出力する出力側回転軸の先端を真空領域の外部に配置し、前記ローラを回転させる駆動力が入力される入力側回転軸の先端を真空領域の内部に配置し、前記出力側回転軸の先端と前記入力側回転軸の先端とを電磁的に連結させて駆動力の伝達を行う駆動力伝達ステップと、
前記ローラのアライメントを調整するアライメント調整ステップと、
を含むことを特徴とするラミネータのアライメント調整方法。An alignment adjustment method performed by a laminator that performs vacuum laminating using rollers.
The tip of the output side rotation shaft that outputs the driving force for rotating the roller installed inside the vacuum region is arranged outside the vacuum region, and the tip of the input side rotation shaft into which the driving force for rotating the roller is input. Is arranged inside the vacuum region, and the driving force transmission step of electromagnetically connecting the tip of the output side rotating shaft and the tip of the input side rotating shaft to transmit the driving force,
An alignment adjustment step for adjusting the roller alignment and
A method for adjusting the alignment of a laminator, which comprises.
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