JPWO2019220295A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019220295A5 JPWO2019220295A5 JP2021514652A JP2021514652A JPWO2019220295A5 JP WO2019220295 A5 JPWO2019220295 A5 JP WO2019220295A5 JP 2021514652 A JP2021514652 A JP 2021514652A JP 2021514652 A JP2021514652 A JP 2021514652A JP WO2019220295 A5 JPWO2019220295 A5 JP WO2019220295A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge chamber
- plasma
- discharge
- ionization source
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims description 115
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 39
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims description 7
- 230000001808 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 3
- 125000004429 atoms Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 claims description 2
- 238000011002 quantification Methods 0.000 claims description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 2
- 241000894007 species Species 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Chemical compound O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium(0) Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 2
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton(0) Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon(0) Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 xenone Chemical compound 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atoms Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
- 238000004450 types of analysis Methods 0.000 description 1
Description
特定の態様、実施例、及び実施形態を上で説明したが、本開示の利点を考慮すると、開示された例示的な態様、実施例、及び実施形態の追加、置換、修正、及び変更が可能であることが、当業者によって認識されるであろう。
なお、好ましい構成態様として、本発明を次のように構成することもできる。
1. 放電チャンバを備えるプラズマ放電イオン化源であって、
導電性エリアを備え、
前記放電チャンバが、前記放電チャンバ内にプラズマ放電を維持するように構成されており、
前記放電チャンバが、
プラズマガスを受け入れるように構成された少なくとも1つの入口と、
前記放電チャンバからイオン化されたアナライトを提供するように構成された少なくとも1つの出口と
を備える、前記プラズマ放電イオン化源。
2. 前記放電チャンバに電気的に結合された第1の電極をさらに備え、
前記第1の電極が、電源に電気的に結合するように構成されている、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
3. 前記第1の電極が、前記放電チャンバの前記少なくとも1つの入口内に配置されている、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
4. 前記放電チャンバに電気的に結合された第2の電極をさらに備える、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
5. 前記少なくとも1つの入口と前記少なくとも1つの出口との間に、少なくとも1つの湾曲部をさらに備え、
前記少なくとも1つの湾曲部が、前記少なくとも1つの出口を通って前記放電チャンバを出る準安定原子及び自由電子及び光子の数を減らすように構成されている、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
6. 前記少なくとも1つの湾曲部が、約90度の湾曲部として構成されている、上記5に記載のプラズマ放電イオン化源。
7. 前記少なくとも1つの湾曲部の上流に配置されているか、または前記少なくとも1つの湾曲部の下流に配置されている第2の湾曲部をさらに備える、上記5に記載のプラズマ放電イオン化源。
8. 前記放電チャンバが導電材料を含む、上記3に記載のプラズマ放電イオン化源。
9. 前記入口が、前記プラズマガスと、アナライトを含むサンプルとを同時に受け取るように構成されている、上記3に記載のプラズマ放電イオン化源。
10. 前記入口とは別個の第2の入口をさらに備え、
前記第2の入口が、アナライトを含むサンプルを前記放電チャンバに供給するように構成されている、上記3に記載のプラズマ放電イオン化源。
11. 前記放電チャンバが、前記少なくとも1つの入口に隣接する第1の区域、前記少なくとも1つの出口に隣接する第3の区域、及び前記第1の区域と前記第3の区域との間の第2の区域を備える、上記3に記載のプラズマ放電イオン化源。
12. 前記第3の区域の平均内径が、前記第2の区域の平均内径よりも大きい、上記11に記載のプラズマ放電イオン化源。
13. 前記第2の区域の平均内径が、前記第1の区域の平均内径よりも大きい、上記12に記載のプラズマ放電イオン化源。
14. 前記放電チャンバが、第2のプラズマガスを受け入れるように構成された第2の入口をさらに備える、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
15. 前記放電チャンバが、誘導結合を全く伴わずに前記プラズマ放電を維持するように構成されている、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
16. 前記放電チャンバに流体的に結合された第2の放電チャンバをさらに備え、
前記第2の放電チャンバが、前記第2の放電チャンバの入口区域と出口区域との間に少なくとも1つの湾曲部を備える、上記5に記載のプラズマ放電イオン化源。
17. 前記第2の放電チャンバの前記少なくとも1つの湾曲部が、前記放電チャンバの前記少なくとも1つの湾曲部とは異なる幾何学的形状を備える、上記16に記載のプラズマ放電イオン化源。
18. 前記第2の放電チャンバに電気的に結合された電極をさらに備える、上記17に記載のプラズマ放電イオン化源。
19. 前記第2の放電チャンバが、前記プラズマガスとは異なる第2のプラズマガスでプラズマ放電を維持するように構成されている、上記18に記載のプラズマ放電イオン化源。
20. 前記放電チャンバが、2つ以上の異なるプラズマガスを受け取って、前記異なるプラズマガスを使用して、異なるアナライト種を選択的にイオン化するように構成されている、上記1に記載のプラズマ放電イオン化源。
21. 第1の電極を備える放電チャンバ内に維持されたプラズマ放電に、アナライトを導入することによって、前記アナライトをイオン化することを含む方法であって、
前記放電チャンバが、少なくとも1つの入口と、少なくとも1つの出口とを備え、
前記プラズマ放電が、前記放電チャンバの前記少なくとも1つの入口を通して前記放電チャンバ内に導入されたプラズマガスの存在下で、前記第1の電極に電圧を供給することにより、前記放電チャンバ内に維持される、前記方法。
22. 前記放電チャンバの前記少なくとも1つの入口内に配置されるように前記第1の電極を構成することをさらに含む、上記21に記載の方法。
23. 前記第1の電極に、約10ボルト~約5000ボルトの直流電圧を供給することをさらに含む、上記22に記載の方法。
24. 前記第1の電極に、約20ボルト~約3000ボルトの交流電圧を供給することをさらに含む、上記22に記載の方法。
25. 前記第1の電極に無線周波数電流を供給することをさらに含み、
前記無線周波数電流の無線周波数範囲が、約100Hz~約10MHzである、上記22に記載の方法。
26. 約10
-3
~100トルの圧力で前記放電チャンバ内の前記プラズマ放電を維持することをさらに含む、上記21に記載の方法。
27. 500sccm以下のプラズマガス流量を使用して前記プラズマ放電を提供することをさらに含む、上記21に記載の方法。
28. 前記少なくとも1つの入口に隣接する第1の区域、前記少なくとも1つの出口に隣接する第3の区域、及び前記第1の区域と前記第3の区域との間の第2の区域で前記放電チャンバを構成することをさらに含み、
前記第3の区域の平均内径が、前記第2の区域の平均内径よりも大きい、上記21に記載の方法。
29. 前記イオン化されたアナライトの親アナライトイオンの生成を促進して、親アナライトイオンの質量対電荷ピーク強度を使用する前記アナライトの定量を可能にするように、前記供給電圧を選択することをさらに含む、上記21に記載の方法。
30. 前記放電チャンバ内で前記プラズマ放電が維持されるかどうかを判定するために、前記第1の電極に供給される電流を監視することをさらに含む、上記21に記載の方法。
31. 前記放電チャンバ内で前記プラズマ放電が維持されるかどうかを判定するために、光学センサを使用することをさらに含む、上記21に記載の方法。
32. 前記プラズマガスが、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素、一酸化窒素、アンモニア、酸素、空気、圧縮空気、水素、メタン、一酸化炭素、二酸化炭素、または二酸化窒素のうちの1つ以上を含む、上記21に記載の方法。
33. 前記アナライトを前記放電チャンバに導入して、前記導入されたアナライトを、第1のプラズマガスを使用してイオン化することと、
第2のアナライトを前記放電チャンバに導入する前に、前記イオン化されたアナライトが、前記少なくとも1つの出口を通って前記放電チャンバを出るのを可能にすることと、
前記第2のアナライトを前記放電チャンバに導入して、前記導入された第2のアナライトを、前記第1のプラズマガスとは異なる第2のプラズマガスを使用してイオン化することと
をさらに含む、上記21に記載の方法。
34. 第3のアナライトを前記放電チャンバに導入する前に、前記イオン化された第2のアナライトが、前記少なくとも1つの出口を通って前記放電チャンバを出るのを可能にすることと、
前記第3のアナライトを前記放電チャンバに導入して、前記導入された第3のアナライトを、前記第1のプラズマガス及び前記第2のプラズマガスとは異なる第3のプラズマガスを使用してイオン化することと
をさらに含む、上記33に記載の方法。
35. 前記第1のプラズマガス、前記第2のプラズマガス及び前記第3のプラズマガスのそれぞれが、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素、一酸化窒素、アンモニア、酸素、空気、圧縮空気、水素、メタン、一酸化炭素、二酸化炭素、及び二酸化窒素からなる群から独立して選択され、
前記第1のプラズマガス、前記第2のプラズマガス及び前記第3のプラズマガスのそれぞれが、異なる組成物を含む、上記34に記載の方法。
36. 前記アナライトを前記放電チャンバに導入して、前記導入されたアナライトを、前記少なくとも1つの電極に供給される第1の電圧を使用してイオン化することと、
第2のアナライトを前記放電チャンバに導入する前に、前記イオン化されたアナライトが、前記少なくとも1つの出口を通って前記放電チャンバを出るのを可能にすることと、
前記第2のアナライトを前記放電チャンバに導入して、前記導入された第2のアナライトを、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧を使用してイオン化することと
をさらに含む、上記21に記載の方法。
37. 第3のアナライトを前記放電チャンバに導入する前に、前記イオン化された第2のアナライトが、前記少なくとも1つの出口を通って前記放電チャンバを出るのを可能にすることと、
前記第3のアナライトを前記放電チャンバに導入して、前記導入された第3のアナライトを、前記第1の電圧及び前記第2の電圧とは異なる第3の電圧を使用してイオン化することと
をさらに含む、上記36に記載の方法。
38. 前記第2のアナライトを前記放電チャンバに導入する前に、前記プラズマガスの組成を変更することをさらに含む、上記37に記載の方法。
39. 前記少なくとも1つの入口と前記少なくとも1つの出口との間に少なくとも1つの湾曲部を備えるように前記放電チャンバを構成することをさらに含む、上記21に記載の方法。
40. 前記放電チャンバを第2の放電チャンバに結合することをさらに含み、
前記第2の放電チャンバが、第2の電極に電気的に結合されており、
前記第2の放電チャンバが、少なくとも1つの入口と、少なくとも1つの出口とを備えており、
プラズマ放電が、プラズマガスの存在下で前記第2の電極に電圧を供給することにより、前記第2の放電チャンバ内に維持される、上記21に記載の方法。
41. 前記第2の放電チャンバの前記少なくとも1つの入口と、前記第2の放電チャンバの前記少なくとも1つの出口との間に、少なくとも1つの湾曲部を有する前記第2の放電チャンバを構成することをさらに含む、上記40に記載の方法。
42. 前記プラズマ放電を、前記放電チャンバ内で、誘導結合を全く伴わずに維持することをさらに含む、上記21に記載の方法。
43. 上記1~20のいずれかに記載の前記プラズマ放電イオン化源の前記放電チャンバの前記少なくとも1つの出口に流体的に結合されているとともに、イオン化されたアナライトを前記放電チャンバから受け取るように構成されている質量分析器を備える、質量分析計システム。
44. 上記1~20のいずれかに記載の前記プラズマ放電イオン化源と、
上記1~20のいずれかに記載の前記プラズマ放電イオン化源を使用して、前記放電チャンバ内にプラズマ放電を提供するための説明書と
を備える、キット。
45. アナライトのイオン化を促進する方法であって、
放電チャンバ内にプラズマ放電を維持するように構成されている前記放電チャンバを提供することであって、
前記放電チャンバが、電源に結合するように構成された少なくとも1つの電極に電気的に結合するように構成されており、
前記放電チャンバがさらに、少なくとも1つの入口と少なくとも1つの出口とを備える、
前記放電チャンバを提供することを含み、
前記放電チャンバが、前記少なくとも1つの電極に供給される電圧を使用して、前記放電チャンバ内で前記プラズマ放電を維持するように構成されている、前記方法。
46. 前記放電チャンバが、前記少なくとも1つの入口と前記少なくとも1つの出口との間に少なくとも1つの湾曲部をさらに備える、上記45に記載の方法。
47. サンプル中のアナライトを定量する方法であって、
500sccm以下のプラズマガス流量を使用することにより、放電チャンバ内で生成されたプラズマ放電に前記アナライトを導入した後、前記アナライトのイオン化から生成された親アナライトイオンのピーク強度を測定することを含み、
前記プラズマガスが、前記生成されたプラズマ放電を使用して、前記親アナライトイオンの生成を増大させるように選択される、前記方法。
48. 親アナライトイオンの生成を増大させるようにアナライトをイオン化する方法であって、
放電チャンバに供給されるプラズマガスと、前記放電チャンバに供給される電圧とを使用して、前記放電チャンバ内に維持されるプラズマ放電に、前記アナライトを導入することを含み、
前記プラズマ放電は、200sccm以下のプラズマガス流を使用して、前記放電チャンバ内に維持され、
前記プラズマ放電が、約2000ケルビン以下の平均温度を含む、前記方法、
49. 約2000ケルビン以下の平均温度を含むプラズマ放電であって、
前記プラズマ放電が、200sccm以下のプラズマガス流量で供給されるプラズマガスの存在下で、放電チャンバに供給された電圧を使用して、前記放電チャンバ内に維持される、前記プラズマ放電。
50. プラズマ放電を維持するために供給される電圧を変更することなく、正及び負の両方のアナライトイオンを提供するように構成された、前記プラズマ放電。
Specific embodiments, examples, and embodiments have been described above, but given the advantages of the present disclosure, the disclosed exemplary embodiments, examples, and embodiments may be added, replaced, modified, and modified. Will be recognized by those skilled in the art.
In addition, as a preferable configuration mode, the present invention can also be configured as follows.
1. 1. A plasma discharge ionization source with a discharge chamber,
Equipped with a conductive area
The discharge chamber is configured to maintain plasma discharge within the discharge chamber.
The discharge chamber
With at least one inlet configured to receive plasma gas,
With at least one outlet configured to provide ionized analysts from the discharge chamber
The plasma discharge ionization source comprising.
2. 2. A first electrode electrically coupled to the discharge chamber is further provided.
The plasma discharge ionization source according to 1 above, wherein the first electrode is configured to be electrically coupled to a power source.
3. 3. The plasma discharge ionization source according to 1 above, wherein the first electrode is arranged in the at least one inlet of the discharge chamber.
4. The plasma discharge ionization source according to 1 above, further comprising a second electrode electrically coupled to the discharge chamber.
5. Further comprising at least one bend between the at least one inlet and the at least one exit.
The plasma discharge ionization source according to 1 above, wherein the at least one bend is configured to reduce the number of semi-stable atoms and free electrons and photons exiting the discharge chamber through the at least one outlet.
6. 5. The plasma discharge ionization source according to 5 above, wherein the at least one curved portion is configured as a curved portion of about 90 degrees.
7. 5. The plasma discharge ionization source according to 5 above, further comprising a second bend located upstream of the at least one bend or downstream of the at least one bend.
8. 3. The plasma discharge ionization source according to 3 above, wherein the discharge chamber contains a conductive material.
9. 3. The plasma discharge ionization source according to 3 above, wherein the inlet is configured to simultaneously receive the plasma gas and a sample containing an analyte.
10. Further provided with a second entrance separate from the entrance
3. The plasma discharge ionization source according to 3 above, wherein the second inlet is configured to supply a sample containing an analyze to the discharge chamber.
11. The discharge chamber has a first area adjacent to the at least one inlet, a third area adjacent to the at least one outlet, and a second area between the first area and the third area. The plasma discharge ionization source according to 3 above, comprising an area.
12. 11. The plasma discharge ionization source according to 11 above, wherein the average inner diameter of the third area is larger than the average inner diameter of the second area.
13. 12. The plasma discharge ionization source according to 12 above, wherein the average inner diameter of the second area is larger than the average inner diameter of the first area.
14. The plasma discharge ionization source according to 1 above, wherein the discharge chamber further comprises a second inlet configured to receive a second plasma gas.
15. The plasma discharge ionization source according to 1 above, wherein the discharge chamber is configured to maintain the plasma discharge without any inductive coupling.
16. A second discharge chamber fluidly coupled to the discharge chamber is further provided.
5. The plasma discharge ionization source according to 5 above, wherein the second discharge chamber comprises at least one curved portion between an inlet area and an outlet area of the second discharge chamber.
17. 16. The plasma discharge ionization source according to 16 above, wherein the at least one curved portion of the second discharge chamber has a different geometric shape from the at least one curved portion of the discharge chamber.
18. 17. The plasma discharge ionization source according to 17 above, further comprising an electrode electrically coupled to the second discharge chamber.
19. 18. The plasma discharge ionization source according to 18 above, wherein the second discharge chamber is configured to maintain plasma discharge with a second plasma gas different from the plasma gas.
20. The plasma discharge ionization according to 1 above, wherein the discharge chamber is configured to receive two or more different plasma gases and use the different plasma gases to selectively ionize different types of analysts. source.
21. A method comprising ionizing the announcer by introducing it into a plasma discharge maintained in a discharge chamber comprising a first electrode.
The discharge chamber comprises at least one inlet and at least one outlet.
The plasma discharge is maintained in the discharge chamber by supplying a voltage to the first electrode in the presence of plasma gas introduced into the discharge chamber through at least one inlet of the discharge chamber. The above method.
22. 21. The method of 21 above, further comprising configuring the first electrode so that it is located within the at least one inlet of the discharge chamber.
23. 22. The method of 22 above, further comprising supplying the first electrode with a DC voltage of about 10 volts to about 5000 volts.
24. 22. The method of 22 above, further comprising supplying the first electrode with an AC voltage of about 20 volts to about 3000 volts.
25. Further comprising supplying a radio frequency current to the first electrode
22. The method of 22 above, wherein the radio frequency range of the radio frequency current is from about 100 Hz to about 10 MHz.
26. 21. The method of 21 above, further comprising maintaining the plasma discharge in the discharge chamber at a pressure of about 10 -3 to 100 torr.
27. 21. The method of 21 above, further comprising providing the plasma discharge using a plasma gas flow rate of 500 sccm or less.
28. The discharge chamber in a first area adjacent to the at least one inlet, a third area adjacent to the at least one outlet, and a second area between the first area and the third area. Including further to configure
21. The method of 21 above, wherein the average inner diameter of the third area is larger than the average inner diameter of the second area.
29. The supply voltage is selected so as to facilitate the generation of the parental analyte ion of the ionized analog and allow the quantification of the announcer using the mass vs. charge peak intensity of the parental analyte ion. 21. The method according to 21 above.
30. 21. The method of 21 above, further comprising monitoring the current supplied to the first electrode to determine if the plasma discharge is maintained in the discharge chamber.
31. 21. The method of 21 above, further comprising the use of an optical sensor to determine if the plasma discharge is maintained within the discharge chamber.
32. The plasma gas is one or more of helium, neon, argon, krypton, xenone, nitrogen, nitrogen monoxide, ammonia, oxygen, air, compressed air, hydrogen, methane, carbon monoxide, carbon dioxide, or nitrogen dioxide. 21. The method according to 21 above.
33. Introducing the analysts into the discharge chamber and ionizing the introduced analysts using a first plasma gas.
Allowing the ionized analyst to exit the discharge chamber through the at least one outlet prior to introducing the second analyzer into the discharge chamber.
The second analyzer is introduced into the discharge chamber, and the introduced second analyst is ionized using a second plasma gas different from the first plasma gas.
21. The method according to 21 above.
34. Allowing the ionized second analyst to exit the discharge chamber through the at least one outlet prior to introducing the third analyst into the discharge chamber.
The third analyze is introduced into the discharge chamber, and the introduced third analyze is used as the first plasma gas and a third plasma gas different from the second plasma gas. To ionize
33. The method according to 33 above.
35. Each of the first plasma gas, the second plasma gas and the third plasma gas is helium, neon, argon, krypton, xenone, nitrogen, nitrogen monoxide, ammonia, oxygen, air, compressed air and hydrogen. , Independently selected from the group consisting of methane, carbon monoxide, carbon dioxide, and nitrogen dioxide,
34. The method of 34, wherein each of the first plasma gas, the second plasma gas and the third plasma gas comprises a different composition.
36. The analysis is introduced into the discharge chamber and the introduced analysis is ionized using a first voltage supplied to the at least one electrode.
Allowing the ionized analyst to exit the discharge chamber through the at least one outlet prior to introducing the second analyzer into the discharge chamber.
The second analyzer is introduced into the discharge chamber and the introduced second analyzer is ionized using a second voltage different from the first voltage.
21. The method according to 21 above.
37. Allowing the ionized second analyst to exit the discharge chamber through the at least one outlet prior to introducing the third analyst into the discharge chamber.
The third analyze is introduced into the discharge chamber and the introduced third analyze is ionized using a third voltage different from the first voltage and the second voltage. And that
36. The method according to 36 above.
38. 37. The method of 37, further comprising modifying the composition of the plasma gas prior to introducing the second analyst into the discharge chamber.
39. 21. The method of 21 above, further comprising configuring the discharge chamber to include at least one bend between the at least one inlet and the at least one outlet.
40. Further comprising coupling the discharge chamber to a second discharge chamber
The second discharge chamber is electrically coupled to the second electrode.
The second discharge chamber comprises at least one inlet and at least one outlet.
21. The method of 21 above, wherein the plasma discharge is maintained in the second discharge chamber by supplying a voltage to the second electrode in the presence of plasma gas.
41. Further constituting the second discharge chamber having at least one curved portion between the at least one inlet of the second discharge chamber and the at least one outlet of the second discharge chamber. 40. The method according to 40 above.
42. 21. The method of 21 above, further comprising maintaining the plasma discharge in the discharge chamber without any inductive coupling.
43. It is configured to be fluidly coupled to at least one outlet of the discharge chamber of the plasma discharge ionization source according to any one of 1 to 20 above, and to receive ionized analysts from the discharge chamber. A mass spectrometer system equipped with a mass spectrometer.
44. With the plasma discharge ionization source according to any one of 1 to 20 above,
With instructions for providing plasma discharge into the discharge chamber using the plasma discharge ionization source according to any one of 1 to 20 above.
A kit that includes.
45. It ’s a way to promote the ionization of analite.
To provide said discharge chamber configured to maintain plasma discharge within the discharge chamber.
The discharge chamber is configured to be electrically coupled to at least one electrode configured to be coupled to a power source.
The discharge chamber further comprises at least one inlet and at least one outlet.
Including providing the discharge chamber
The method, wherein the discharge chamber is configured to maintain the plasma discharge within the discharge chamber using a voltage supplied to the at least one electrode.
46. 45. The method of 45, wherein the discharge chamber further comprises at least one bend between the at least one inlet and the at least one outlet.
47. A method of quantifying the analyses in a sample,
By using a plasma gas flow rate of 500 sccm or less, after introducing the announcer into the plasma discharge generated in the discharge chamber, the peak intensity of the parent analite ion generated from the ionization of the allite is measured. Including
The method, wherein the plasma gas is selected to use the generated plasma discharge to increase the production of said parental analite ions.
48. It is a method of ionizing an analysis so as to increase the production of a parent-analyte ion.
The plasma gas supplied to the discharge chamber and the voltage supplied to the discharge chamber are used to introduce the analysts into the plasma discharge maintained in the discharge chamber.
The plasma discharge is maintained in the discharge chamber using a plasma gas stream of 200 sccm or less.
The method, wherein the plasma discharge comprises an average temperature of about 2000 Kelvin or less.
49. A plasma discharge containing an average temperature of about 2000 Kelvin or less.
The plasma discharge is maintained in the discharge chamber using the voltage supplied to the discharge chamber in the presence of plasma gas supplied at a plasma gas flow rate of 200 sccm or less.
50. The plasma discharge configured to provide both positive and negative analyze ions without changing the voltage supplied to maintain the plasma discharge.
Claims (30)
導電性エリアを備え、
前記放電チャンバが、前記放電チャンバ内にプラズマ放電を維持するように構成されており、
前記放電チャンバが、
プラズマガスを受け入れるように構成された少なくとも1つの入口と、
前記放電チャンバからイオン化されたアナライトを提供するように構成された少なくとも1つの出口と
を備える、前記プラズマ放電イオン化源。 A plasma discharge ionization source with a discharge chamber,
Equipped with a conductive area
The discharge chamber is configured to maintain plasma discharge within the discharge chamber.
The discharge chamber
With at least one inlet configured to receive plasma gas,
The plasma discharge ionization source comprising at least one outlet configured to provide ionized analysts from the discharge chamber.
前記第1の電極が、電源に電気的に結合するように構成されている、請求項1に記載のプラズマ放電イオン化源。 A first electrode electrically coupled to the discharge chamber is further provided.
The plasma discharge ionization source according to claim 1, wherein the first electrode is configured to be electrically coupled to a power source.
前記少なくとも1つの湾曲部が、前記少なくとも1つの出口を通って前記放電チャンバを出る準安定原子及び自由電子及び光子の数を減らすように構成されている、請求項1に記載のプラズマ放電イオン化源。 Further comprising at least one bend between the at least one inlet and the at least one exit.
The plasma discharge ionization source according to claim 1, wherein the at least one bend is configured to reduce the number of semi-stable atoms and free electrons and photons leaving the discharge chamber through the at least one outlet. ..
前記第2の入口が、アナライトを含むサンプルを前記放電チャンバに供給するように構成されている、請求項3に記載のプラズマ放電イオン化源。 Further provided with a second entrance separate from the entrance
The plasma discharge ionization source according to claim 3, wherein the second inlet is configured to supply a sample containing an analyze to the discharge chamber.
前記第2の放電チャンバが、前記第2の放電チャンバの入口区域と出口区域との間に少なくとも1つの湾曲部を備える、請求項5に記載のプラズマ放電イオン化源。 A second discharge chamber fluidly coupled to the discharge chamber is further provided.
The plasma discharge ionization source according to claim 5, wherein the second discharge chamber includes at least one curved portion between an inlet area and an outlet area of the second discharge chamber.
前記放電チャンバが、少なくとも1つの入口と、少なくとも1つの出口とを備え、
前記プラズマ放電が、前記放電チャンバの前記少なくとも1つの入口を通して前記放電チャンバ内に導入されたプラズマガスの存在下で、前記第1の電極に電圧を供給することにより、前記放電チャンバ内に維持される、前記方法。 A method comprising ionizing the announcer by introducing it into a plasma discharge maintained in a discharge chamber comprising a first electrode.
The discharge chamber comprises at least one inlet and at least one outlet.
The plasma discharge is maintained in the discharge chamber by supplying a voltage to the first electrode in the presence of plasma gas introduced into the discharge chamber through at least one inlet of the discharge chamber. The above method.
前記無線周波数電流の無線周波数範囲が、約100Hz~約10MHzである、請求項22に記載の方法。 Further comprising supplying a radio frequency current to the first electrode
22. The method of claim 22, wherein the radio frequency range of the radio frequency current is from about 100 Hz to about 10 MHz.
前記第3の区域の平均内径が、前記第2の区域の平均内径よりも大きい、請求項21に記載の方法。 The discharge chamber in a first area adjacent to the at least one inlet, a third area adjacent to the at least one outlet, and a second area between the first area and the third area. Including further to configure
21. The method of claim 21, wherein the average inner diameter of the third area is larger than the average inner diameter of the second area.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862673513P | 2018-05-18 | 2018-05-18 | |
US62/673,513 | 2018-05-18 | ||
PCT/IB2019/053904 WO2019220295A1 (en) | 2018-05-18 | 2019-05-10 | Discharge chambers and ionization devices, methods and systems using them |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021524664A JP2021524664A (en) | 2021-09-13 |
JPWO2019220295A5 true JPWO2019220295A5 (en) | 2022-05-18 |
Family
ID=68533976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021514652A Pending JP2021524664A (en) | 2018-05-18 | 2019-05-10 | Discharge chamber, and ionization devices, ionization methods and ionization systems using it |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11031227B2 (en) |
EP (1) | EP3794911A4 (en) |
JP (1) | JP2021524664A (en) |
CN (1) | CN112438075A (en) |
AU (1) | AU2019269175B2 (en) |
CA (1) | CA3100624A1 (en) |
WO (1) | WO2019220295A1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019201071B4 (en) * | 2019-01-29 | 2020-11-05 | Bruker Biospin Gmbh | Device for quick sample change in an NMR spectrometer with flow cell |
GB201907787D0 (en) * | 2019-05-31 | 2019-07-17 | Micromass Ltd | Ion guide |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6029602A (en) * | 1997-04-22 | 2000-02-29 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for efficient and compact remote microwave plasma generation |
US7091481B2 (en) * | 2001-08-08 | 2006-08-15 | Sionex Corporation | Method and apparatus for plasma generation |
US6891157B2 (en) * | 2002-05-31 | 2005-05-10 | Micromass Uk Limited | Mass spectrometer |
DE10362062B4 (en) * | 2002-05-31 | 2008-02-14 | Micromass Uk Ltd. | Mass spectrometer comprises ion feed having plate electrodes, inlet for collecting ions along first axis and outlet for release of ions from feed along second axis |
US7095019B1 (en) * | 2003-05-30 | 2006-08-22 | Chem-Space Associates, Inc. | Remote reagent chemical ionization source |
US20120160997A1 (en) * | 2007-09-21 | 2012-06-28 | Richard Lee Fink | Non-radioactive ion sources with ion flow control |
GB0813777D0 (en) * | 2008-07-28 | 2008-09-03 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
KR101763444B1 (en) * | 2010-02-12 | 2017-07-31 | 고쿠리츠다이가쿠호징 야마나시다이가쿠 | Ionization device and ionization analysis device |
DE102016112877B4 (en) * | 2015-09-07 | 2021-07-15 | Fuji Electric Co., Ltd. | A method of manufacturing a semiconductor device and a semiconductor manufacturing device used for the method |
EP3391405B1 (en) * | 2015-12-18 | 2021-04-07 | DH Technologies Development Pte. Ltd. | System for minimizing electrical discharge during esi operation |
US9607819B1 (en) * | 2016-02-03 | 2017-03-28 | The Charles Stark Draper Laboratory Inc. | Non-radioactive, capacitive discharge plasma ion source and method |
-
2019
- 2019-05-10 AU AU2019269175A patent/AU2019269175B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2019-05-10 JP JP2021514652A patent/JP2021524664A/en active Pending
- 2019-05-10 EP EP19803397.9A patent/EP3794911A4/en active Pending
- 2019-05-10 CN CN201980048004.8A patent/CN112438075A/en active Pending
- 2019-05-10 US US16/408,680 patent/US11031227B2/en active Active
- 2019-05-10 CA CA3100624A patent/CA3100624A1/en active Pending
- 2019-05-10 WO PCT/IB2019/053904 patent/WO2019220295A1/en unknown
-
2021
- 2021-06-06 US US17/340,041 patent/US11705319B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Na et al. | Development of a dielectric barrier discharge ion source for ambient mass spectrometry | |
Skalny et al. | An analysis of mass spectrometric study of negative ions extracted from negative corona discharge in air | |
US5393979A (en) | Photo-ionization detector for detecting volatile organic gases | |
Kim et al. | Development of open-air type electrolyte-as-cathode glow discharge-atomic emission spectrometry for determination of trace metals in water | |
US7893408B2 (en) | Methods and apparatus for ionization and desorption using a glow discharge | |
Simek et al. | Excitation of) and) states in a pulsed positive corona discharge in,-and-NO mixtures | |
Pavlik et al. | Generation of [H3O]+.(H2O) n clusters by positive corona discharge in air | |
JPH06310091A (en) | Atmospheric pressure ionization mass spectrometer | |
JP2007213934A (en) | Mass spectroscope and mass spectrometry | |
RU2426983C2 (en) | Method and device to produce positive- and/or negative-ionisation gases for gas analysis | |
US8933399B2 (en) | Mass spectrometry device including self-cleaning unit | |
Bahr et al. | Photoelectron spectra and partial photoionization cross sections for NO, N2O, CO, CO2 and NH3 | |
Malović et al. | Mass analysis of an atmospheric pressure plasma needle discharge | |
US11791147B2 (en) | Mass spectrometer and method for analysing a gas by mass spectrometry | |
JP2004257873A (en) | Method and apparatus for ionizing sample gas | |
JP5773061B2 (en) | Discharge ionization current detector and its aging treatment method | |
Barkhordari et al. | Technical characteristics of a DC plasma jet with Ar/N2 and O2/N2 gaseous mixtures | |
US11705319B2 (en) | Discharge chambers and ionization devices, methods and systems using them | |
JPWO2019220295A5 (en) | ||
CN110289203B (en) | Corona discharge ionization source structure and ion mobility spectrometer | |
JPS6215747A (en) | Mass spectrometer | |
Guillot et al. | Secondary electron emission coefficients of standard samples for GDOES | |
JPS6427156A (en) | Method and apparatus for analyzing gaseous chemical objects in atmosphere | |
CN204991648U (en) | Ion source | |
Sekimoto et al. | Dependence of negative ion formation on inhomogeneous electric field strength in atmospheric pressure negative corona discharge |