JPWO2019044277A1 - Manufacturing method of color filter, manufacturing method of solid-state image sensor, manufacturing method of image display device and color filter - Google Patents

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宙夢 小泉
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Abstract

画素のパターン形成性が良好であり、かつ、画素形成後の他の画素上の残渣の発生や、隣接する画素間における色移りの発生を抑制できるカラーフィルタの製造方法を提供する。また、固体撮像素子の製造方法、画像表示装置の製造方法およびカラーフィルタを提供する。このカラーフィルタの製造方法は、支持体1上に形成された第1の画素2の表面に透明層形成用組成物を適用して平均厚さ300nm以下の透明層3を形成する工程と、透明層3が形成された第1の画素2上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層4aを形成する工程と、画素形成用組成物層4aに対してパターン形成を行い、第1の画素2とは異なる色の第2の画素4を形成する工程とを含む。Provided is a method for manufacturing a color filter, which has good pixel pattern formation and can suppress the generation of residues on other pixels after pixel formation and the generation of color transfer between adjacent pixels. In addition, a method for manufacturing a solid-state image sensor, a method for manufacturing an image display device, and a color filter are provided. The method for producing this color filter includes a step of applying a transparent layer forming composition to the surface of the first pixel 2 formed on the support 1 to form a transparent layer 3 having an average thickness of 300 nm or less, and a transparent layer. A step of applying the pixel forming composition on the first pixel 2 on which the layer 3 is formed to form the pixel forming composition layer 4a, and a pattern forming on the pixel forming composition layer 4a are performed. It includes a step of forming a second pixel 4 having a color different from that of the first pixel 2.

Description

本発明は、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法、画像表示装置の製造方法およびカラーフィルタに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, a method for manufacturing a solid-state image sensor, a method for manufacturing an image display device, and a color filter.

近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子(CCD)イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。 In recent years, with the spread of digital cameras, camera-equipped mobile phones, and the like, demand for solid-state image sensors such as charge-coupling elements (CCD) image sensors has increased significantly. Color filters are used as key devices for displays and optical elements.

また、特許文献1には、透明基板上に、少なくともパターン形状の赤緑青画素、および非パターン形状の透明保護膜を有し、赤および緑画素の領域は、赤および緑画素上に透明保護膜が形成され、青画素の領域は、透明保護膜上に青画素が積層されているカラーフィルタの製造方法であって、赤および緑画素がパターン状に形成された透明基板上に、透明非感光性樹脂を非パターン形状に塗布後、80〜160℃で予備加熱処理し、透明非感光性樹脂層を形成する工程と、透明非感光性樹脂層上に青色感光性樹脂を塗布後、80〜160℃で予備加熱処理し、青色感光性樹脂層を形成する工程と、青色感光性樹脂層にフォトマスクを介して露光する工程と、現像液により青色感光性樹脂層のみをエッチングする工程と、透明非感光性樹脂層および青色感光性樹脂層を160〜210℃で一括加熱処理する工程と、を含むカラーフィルタの製造方法に関する発明が記載されている。また、段落番号0021には、青画素領域の透明保護膜の膜厚は、1.5μm以上が好ましく、1.6μm以上がより好ましいと記載されている。特許文献1によれば、このような構成とすることにより、青画素の透過率低下を抑制でき、高透過率とホワイトバランスを両立できると記載されている。 Further, Patent Document 1 has at least a patterned red-green-blue pixel and a non-patterned transparent protective film on a transparent substrate, and a region of the red and green pixels is a transparent protective film on the red and green pixels. Is formed, and the blue pixel region is a method for manufacturing a color filter in which blue pixels are laminated on a transparent protective film, and is transparent and non-photosensitive on a transparent substrate in which red and green pixels are formed in a pattern. After applying the sex resin to a non-patterned shape, it is preheated at 80 to 160 ° C. to form a transparent non-photosensitive resin layer, and after applying a blue photosensitive resin on the transparent non-photosensitive resin layer, 80 to 80 to A step of preheating at 160 ° C. to form a blue photosensitive resin layer, a step of exposing the blue photosensitive resin layer via a photomask, and a step of etching only the blue photosensitive resin layer with a developing solution. An invention relating to a method for producing a color filter including a step of collectively heat-treating a transparent non-photosensitive resin layer and a blue photosensitive resin layer at 160 to 210 ° C. is described. Further, paragraph No. 0021 describes that the film thickness of the transparent protective film in the blue pixel region is preferably 1.5 μm or more, and more preferably 1.6 μm or more. According to Patent Document 1, it is described that such a configuration can suppress a decrease in the transmittance of blue pixels and can achieve both high transmittance and white balance.

また、特許文献2には、(1)基板上に第1色目の着色層を形成し、レーザー光を着色画素となる領域以外の部分に照射して、第1色目の着色層のレーザー光に照射された部分を蒸散させることにより、第1色目の着色画素を形成する工程、(2)第1色目の着色画素と混合しない第1透明樹脂層を第1色目の着色画素の上から基板上に形成する工程、(3)第2色目の着色層を第1透明樹脂層の上に形成し、レーザー光を第2色目の着色画素となる領域以外の部分に照射すると共に、レーザー光の出力を制御して、第1透明樹脂層の上にある第2色目の着色層を蒸散させることにより第2色目の着色画素を形成する工程、(4)第2色目の着色画素と混合しない第2透明樹脂層を第2色目の着色画素の上から基板上に形成する工程、及び(5)第3色目の着色層を第2透明樹脂層の上に形成し、レーザー光を第3色目の着色画素となる領域以外の部分に照射すると共に、レーザー光の出力を制御して、第2透明樹脂層の上にある第3色目の着色層を蒸散させることにより第3色目の着色画素を形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法に関する発明が記載されている。 Further, in Patent Document 2, (1) a first color colored layer is formed on a substrate, and a laser beam is applied to a portion other than a region to be a colored pixel to obtain a laser beam of the first color colored layer. A step of forming colored pixels of the first color by evaporating the irradiated portion, (2) a first transparent resin layer that is not mixed with the colored pixels of the first color is placed on the substrate from above the colored pixels of the first color. (3) A second color colored layer is formed on the first transparent resin layer, and laser light is applied to a portion other than the region to be the second color colored pixel, and the laser light is output. The step of forming the second color colored pixel by evaporating the second color colored layer on the first transparent resin layer, (4) the second not mixed with the second color colored pixel. The step of forming the transparent resin layer on the substrate from above the colored pixels of the second color, and (5) forming the colored layer of the third color on the second transparent resin layer and coloring the laser beam of the third color. A third-color colored pixel is formed by irradiating a portion other than the area to be a pixel and controlling the output of the laser beam to evaporate the third-color colored layer on the second transparent resin layer. An invention relating to a method for manufacturing a color filter including a step is described.

特開2013−88691号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-88691 特開平09−113719号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 09-113719

一般的に、カラーフィルタは複数色の画素を有している。このような複数色の画素を有するカラーフィルタは、1色ずつ画素を順次形成して製造される。例えば、支持体50上に第1の画素51を形成し(図4参照)、次いで、第1の画素51が形成された支持体50に画素形成用の組成物を塗布して組成物層52aを形成し(図5参照)、次いで、この組成物層52aに対してパターン形成を行って第2の画素52を形成する(図6参照)。このような工程を繰り返し行うことで複数色の画素を有するカラーフィルタが製造される。 Generally, a color filter has pixels of a plurality of colors. Such a color filter having pixels of a plurality of colors is manufactured by sequentially forming pixels one by one. For example, the first pixel 51 is formed on the support 50 (see FIG. 4), and then the composition for pixel formation is applied to the support 50 on which the first pixel 51 is formed to apply the composition layer 52a. (See FIG. 5), and then a pattern is formed on the composition layer 52a to form a second pixel 52 (see FIG. 6). By repeating such a process, a color filter having pixels of a plurality of colors is manufactured.

しかしながら、従来の方法では、第2の画素52のパターン形成後において、第1の画素51上に残渣100が生じたり、隣接する画素(例えば、第1の画素51と第2の画素52)間で色移りが生じて混色が生じたりすることがあった。各色の画素の色分解性能の観点から、このような残渣の発生や色移りの発生は抑制することが望ましい。 However, in the conventional method, after the pattern formation of the second pixel 52, the residue 100 is generated on the first pixel 51, or between adjacent pixels (for example, the first pixel 51 and the second pixel 52). In some cases, color transfer occurred and color mixing occurred. From the viewpoint of the color separation performance of the pixels of each color, it is desirable to suppress the generation of such residues and the generation of color transfer.

また、本発明者が特許文献1、2に記載された発明について検討したところ、特許文献1、2に記載された発明では、画素のパターン形成性が不十分であることが分かった。 Further, when the present inventor examined the inventions described in Patent Documents 1 and 2, it was found that the inventions described in Patent Documents 1 and 2 had insufficient pixel pattern forming property.

よって、本発明の目的は、画素のパターン形成性が良好であり、かつ、画素形成後の他の画素上の残渣の発生や、隣接する画素間における色移りの発生を抑制できるカラーフィルタの製造方法を提供することにある。また、本発明の目的は、固体撮像素子の製造方法、画像表示装置の製造方法およびカラーフィルタを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to manufacture a color filter that has good pixel pattern formation and can suppress the generation of residues on other pixels after pixel formation and the generation of color transfer between adjacent pixels. To provide a method. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a solid-state image sensor, a method for manufacturing an image display device, and a color filter.

本発明者は鋭意検討した結果、後述する工程を経てカラーフィルタを製造することにより、画素のパターン形成性が良好であり、かつ、画素形成後の他の画素上の残渣の発生や、隣接する画素間における色移りの発生を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の通りである。
<1> 支持体上に形成された第1の画素の表面に硬化性化合物を含む透明層形成用組成物を適用して平均厚さ300nm以下の透明層を形成する工程と、
透明層が形成された第1の画素上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層を形成する工程と、
画素形成用組成物層に対してパターン形成を行い、第1の画素とは異なる色の第2の画素を形成する工程とを含む、カラーフィルタの製造方法。
<2> 画素形成用組成物層に対してフォトリソグラフィー法にてパターン形成を行い、第2の画素を形成する、<1>に記載のカラーフィルタの製造方法。
<3> 第1の画素および第2の画素の少なくとも一方は、着色剤を50質量%以上含有する、<1>または<2>に記載のカラーフィルタの製造方法。
<4> 画素形成用組成物は、有彩色着色剤および黒色着色剤から選ばれる少なくとも1種を含有する、<1>〜<3>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法。
<5> 第1の画素の表面に透明層形成用組成物を適用して平均厚さ5〜100nmの透明層を形成する、<1>〜<4>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法。
<6> 透明層形成用組成物は、硬化性化合物として架橋性基を有する化合物を含む、<1>〜<5>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法。
<7> <1>〜<6>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法を含む固体撮像素子の製造方法。
<8> <1>〜<6>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法を含む画像表示装置の製造方法。
<9> 支持体上に、第1の画素と、第1の画素とは異なる色の第2の画素とを有し、
第1の画素の表面に平均厚さ300nm以下の透明層を有し、
第2の画素と支持体との間に平均厚さ300nm以下の透明層を有する、
カラーフィルタ。
<10> 第1の画素と第2の画素との間に平均厚さ300nm以下の透明層を有する、<9>に記載のカラーフィルタ。
As a result of diligent studies by the present inventor, by manufacturing the color filter through the steps described later, the pattern formability of the pixels is good, and the residue on other pixels after the pixel formation is generated and adjacent to each other. We have found that the occurrence of color transfer between pixels can be suppressed, and have completed the present invention. That is, the present invention is as follows.
<1> A step of applying a transparent layer forming composition containing a curable compound to the surface of the first pixel formed on the support to form a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less.
A step of applying a pixel-forming composition on a first pixel on which a transparent layer is formed to form a pixel-forming composition layer, and
A method for manufacturing a color filter, which comprises a step of forming a pattern on a pixel-forming composition layer to form a second pixel having a color different from that of the first pixel.
<2> The method for manufacturing a color filter according to <1>, wherein a pattern is formed on the pixel-forming composition layer by a photolithography method to form a second pixel.
<3> The method for producing a color filter according to <1> or <2>, wherein at least one of the first pixel and the second pixel contains 50% by mass or more of a colorant.
<4> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <3>, wherein the pixel forming composition contains at least one selected from a chromatic colorant and a black colorant.
<5> The color filter according to any one of <1> to <4>, wherein a transparent layer forming composition is applied to the surface of the first pixel to form a transparent layer having an average thickness of 5 to 100 nm. Manufacturing method.
<6> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <5>, wherein the composition for forming a transparent layer contains a compound having a crosslinkable group as a curable compound.
<7> A method for manufacturing a solid-state image sensor, which comprises the method for manufacturing a color filter according to any one of <1> to <6>.
<8> A method for manufacturing an image display device, which includes the method for manufacturing a color filter according to any one of <1> to <6>.
<9> The support has a first pixel and a second pixel having a color different from that of the first pixel.
A transparent layer having an average thickness of 300 nm or less is provided on the surface of the first pixel.
A transparent layer having an average thickness of 300 nm or less is provided between the second pixel and the support.
Color filter.
<10> The color filter according to <9>, which has a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less between the first pixel and the second pixel.

本発明によれば、画素のパターン形成性が良好であり、かつ、画素形成後の他の画素上の残渣の発生や、隣接する画素間における色移りの発生を抑制できるカラーフィルタの製造方法を提供することができる。また、固体撮像素子の製造方法、画像表示装置の製造方法およびカラーフィルタを提供することができる。 According to the present invention, there is a method for manufacturing a color filter that has good pixel pattern formation and can suppress the generation of residues on other pixels after pixel formation and the generation of color transfer between adjacent pixels. Can be provided. Further, a method for manufacturing a solid-state image sensor, a method for manufacturing an image display device, and a color filter can be provided.

本発明のカラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of the color filter of this invention. 従来のカラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of the conventional color filter. 従来のカラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of the conventional color filter. 従来のカラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of the conventional color filter.

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計質量をいう。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定したポリスチレン換算値として定義される。
The contents of the present invention will be described in detail below.
In the notation of a group (atomic group) in the present specification, the notation not describing substitution and non-substitution includes those having no substituent as well as those having a substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
In the present specification, "exposure" includes not only exposure using light but also drawing using particle beams such as an electron beam and an ion beam, unless otherwise specified. Further, as the light used for exposure, generally, the emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet rays typified by an excimer laser, extreme ultraviolet rays (EUV light), X-rays, active rays such as electron beams, or radiation can be mentioned.
The numerical range represented by using "~" in the present specification means a range including the numerical values before and after "~" as the lower limit value and the upper limit value.
In the present specification, the total solid content means the total mass of all the components of the composition excluding the solvent.
As used herein, "(meth) acrylate" represents both acrylate and methacrylate, or either, and "(meth) acrylic" represents both acrylic and methacrylic, or either. ) Allyl ”represents both allyl and methacrylic, or either, and“ (meth) acryloyl ”represents both acryloyl and methacrylic, or either.
In the present specification, the term "process" is included in this term not only as an independent process but also as long as the desired action of the process is achieved even if it cannot be clearly distinguished from other processes. ..
In the present specification, the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) are defined as polystyrene-equivalent values measured by gel permeation chromatography (GPC).

<カラーフィルタの製造方法>
本発明のカラーフィルタの製造方法は、支持体上に形成された第1の画素の表面に硬化性化合物を含む透明層形成用組成物を適用して平均厚さ300nm以下の透明層を形成する工程と、
透明層が形成された第1の画素上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層を形成する工程と、
画素形成用組成物層に対してパターン形成を行い、第1の画素とは異なる色の第2の画素を形成する工程とを含むことを特徴とする。
<Manufacturing method of color filter>
In the method for producing a color filter of the present invention, a transparent layer forming composition containing a curable compound is applied to the surface of a first pixel formed on a support to form a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less. Process and
A step of applying a pixel-forming composition on a first pixel on which a transparent layer is formed to form a pixel-forming composition layer, and
It is characterized by including a step of forming a pattern on the pixel-forming composition layer and forming a second pixel having a color different from that of the first pixel.

本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上記透明層が形成された第1の画素上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層を形成し、この画素形成用組成物層に対してパターン形成を行い、第1の画素とは異なる色の第2の画素を形成するので、第2の画素のパターン形成後において、第1の画素上で画素形成用組成物層に由来する残渣の発生を効果的に抑制できる。また、第1の画素の表面に上記透明層を形成することにより、第1の画素と第2の画素との間での色移りを効果的に抑制することができる。また、透明層の平均厚さが300nm以下であるので、第2の画素のパターン形成性への影響がなく、第2の画素のパターン形成性が良好である。 According to the method for producing a color filter of the present invention, a pixel forming composition is applied onto a first pixel on which the transparent layer is formed to form a pixel forming composition layer, and the pixel forming composition is formed. Since the layer is patterned to form a second pixel having a color different from that of the first pixel, the pixel-forming composition layer is formed on the first pixel after the pattern is formed on the second pixel. The generation of the derived residue can be effectively suppressed. Further, by forming the transparent layer on the surface of the first pixel, color transfer between the first pixel and the second pixel can be effectively suppressed. Further, since the average thickness of the transparent layer is 300 nm or less, there is no influence on the pattern forming property of the second pixel, and the pattern forming property of the second pixel is good.

本発明のカラーフィルタの製造方法においては、第1の画素および第2の画素の少なくとも一方が着色剤を50質量%以上(より好ましくは55質量%以上、更に好ましくは60質量%以上)含有する場合において本発明の効果がより顕著に得られ、少なくとも第2の画素が着色剤を50質量%以上(より好ましくは55質量%以上、更に好ましくは60質量%以上)含有する場合において本発明の効果がさらに顕著に得られ、第1の画素および第2の画素の両方が着色剤を50質量%以上(より好ましくは55質量%以上、更に好ましくは60質量%以上)含有する場合において本発明の効果が特に顕著に得られる。すなわち、従来の方法では、第1の画素や第2の画素が着色剤をより多く含むカラーフィルタを製造しようとした場合、第1の画素上に残渣が生じたり、画素間で色移りが生じやすい傾向にあったが、本発明によれば、第1の画素や第2の画素が着色剤を多く含むカラーフィルタを製造する場合であっても、画素上の残渣の発生や、画素間での色移りの発生を効果的に抑制できるので、本発明の効果がより顕著に得られる。 In the method for producing a color filter of the present invention, at least one of the first pixel and the second pixel contains 50% by mass or more (more preferably 55% by mass or more, still more preferably 60% by mass or more) of the colorant. In some cases, the effect of the present invention can be obtained more remarkably, and the present invention can be obtained when at least the second pixel contains 50% by mass or more (more preferably 55% by mass or more, still more preferably 60% by mass or more) of the colorant. The effect is more remarkable, and the present invention is obtained when both the first pixel and the second pixel contain 50% by mass or more (more preferably 55% by mass or more, still more preferably 60% by mass or more) of the colorant. The effect of is particularly remarkable. That is, in the conventional method, when an attempt is made to manufacture a color filter in which the first pixel or the second pixel contains a larger amount of a colorant, a residue is generated on the first pixel or color transfer occurs between pixels. However, according to the present invention, even in the case of producing a color filter in which the first pixel and the second pixel contain a large amount of a colorant, the generation of residues on the pixels and the inter-pixels tend to be easy. Since the occurrence of color transfer can be effectively suppressed, the effect of the present invention can be obtained more remarkably.

また、本発明のカラーフィルタの製造方法において、透明層形成用組成物は、硬化性化合物として架橋性基を有する化合物を含むことが好ましい。このような透明層形成用組成物を用いて透明層を形成することにより、支持体や第1の画素に対する密着性や耐溶剤性などの特性に優れた透明層を形成することができる。さらには、画素上の残渣の発生や、画素間の混色なども効果的に抑制することができる。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程について詳細に説明する。
Further, in the method for producing a color filter of the present invention, the composition for forming a transparent layer preferably contains a compound having a crosslinkable group as a curable compound. By forming the transparent layer using such a transparent layer forming composition, it is possible to form a transparent layer having excellent properties such as adhesion to the support and the first pixel and solvent resistance. Furthermore, the generation of residues on the pixels and the color mixing between the pixels can be effectively suppressed.
Hereinafter, each step of the method for manufacturing the color filter of the present invention will be described in detail.

(透明層を形成する工程)
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、まず、支持体1上に形成された第1の画素2の表面に硬化性化合物を含む透明層形成用組成物を適用して平均厚さ300nm以下の透明層3を形成する。これにより、図1に示されるように、透明層3が、第1の画素2の形状にほぼ沿って、支持体1および第1の画素2の表面に形成される。なお、本発明でいう透明とは、可視光の透過率が75%以上であることを示し、好ましくは80%以上であり、特に好ましくは90%以上である。
(Step of forming a transparent layer)
In the method for producing a color filter of the present invention, first, a composition for forming a transparent layer containing a curable compound is applied to the surface of the first pixel 2 formed on the support 1, and the average thickness is 300 nm or less. The transparent layer 3 is formed. As a result, as shown in FIG. 1, the transparent layer 3 is formed on the surfaces of the support 1 and the first pixel 2 substantially along the shape of the first pixel 2. In addition, "transparency" in the present invention means that the transmittance of visible light is 75% or more, preferably 80% or more, and particularly preferably 90% or more.

透明層3の平均厚さは、300nm以下であり、5〜300nmであることが好ましく、5〜100nmであることがより好ましく、5〜50nmであることが更に好ましい。透明層3の平均厚さが300nm以下であることにより、次工程で設ける第2の画素のパターン形成性を良好にしつつ、第1の画素上の残渣の発生や、画素間における色移りの発生を効果的に抑制することができる。 The average thickness of the transparent layer 3 is 300 nm or less, preferably 5 to 300 nm, more preferably 5 to 100 nm, and even more preferably 5 to 50 nm. Since the average thickness of the transparent layer 3 is 300 nm or less, the pattern formation property of the second pixel provided in the next step is improved, and the residue on the first pixel and the color transfer between the pixels are generated. Can be effectively suppressed.

なお、本発明において、透明層の厚さは、第1の画素の表面または側面から透明層の表面までの距離、および、支持体1の表面から透明層の表面までの距離のうち、短い方の値を透明層の厚さとする。例えば、図1において、第1の画素の表面2aに形成されている透明層の厚さはt1である。また、第1の画素の側面2bに形成されている透明層の厚さはt2である。また、支持体の表面1a上に形成されている透明層の厚さはt3である。また、透明層の厚さは、支持体に対して垂直に切断した断面の走査型電子顕微鏡(SEM)像から測定することができる。第1の画素および第2の画素の厚さについても同様である。
また、本発明のカラーフィルタの製造方法における透明層3の平均厚さとは、第1の画素の上面2aに形成された透明層の任意の3か所の厚さと、支持体の表面1a上に形成された透明層の任意の3か所の厚さとの平均値を意味する。
In the present invention, the thickness of the transparent layer is the shorter of the distance from the surface or side surface of the first pixel to the surface of the transparent layer and the distance from the surface of the support 1 to the surface of the transparent layer. Let the value of be the thickness of the transparent layer. For example, in FIG. 1, the thickness of the transparent layer formed on the surface 2a of the first pixel is t1. Further, the thickness of the transparent layer formed on the side surface 2b of the first pixel is t2. The thickness of the transparent layer formed on the surface 1a of the support is t3. In addition, the thickness of the transparent layer can be measured from a scanning electron microscope (SEM) image of a cross section cut perpendicular to the support. The same applies to the thickness of the first pixel and the second pixel.
Further, the average thickness of the transparent layer 3 in the method for manufacturing a color filter of the present invention is the thickness of any three transparent layers formed on the upper surface 2a of the first pixel and the thickness on the surface 1a of the support. It means the average value with the thickness of any three places of the formed transparent layer.

第1の画素2の種類としては、カラーフィルタを構成する画素であればよく、特に限定はされない。例えば、赤色画素、青色画素、緑色画素、イエロー画素、マゼンタ画素、シアン画素等の着色画素、透明画素、黒色画素などが挙げられる。また、第1の画素2は、着色剤を含有する画素であることが好ましく、有彩色着色剤および黒色着色剤から選ばれる少なくとも1種を含有する画素であることがより好ましい。 The type of the first pixel 2 may be any pixel constituting the color filter, and is not particularly limited. For example, colored pixels such as red pixels, blue pixels, green pixels, yellow pixels, magenta pixels, and cyan pixels, transparent pixels, and black pixels can be mentioned. Further, the first pixel 2 is preferably a pixel containing a colorant, and more preferably a pixel containing at least one selected from a chromatic colorant and a black colorant.

第1の画素2の厚さは、0.1〜10.0μmであることが好ましい。上限は、5.0μm以下であることが好ましく、2.0μm以下であることがより好ましく、1.0μm以下であることが更に好ましい。下限は、0.3μm以上であることが好ましく、0.4μm以上であることがより好ましい。また、第1の画素2の厚さは、透明層3の平均厚さの2〜1000倍であることが好ましく、4〜400倍であることがより好ましく、8〜200倍であることが更に好ましい。 The thickness of the first pixel 2 is preferably 0.1 to 10.0 μm. The upper limit is preferably 5.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or less, and further preferably 1.0 μm or less. The lower limit is preferably 0.3 μm or more, and more preferably 0.4 μm or more. Further, the thickness of the first pixel 2 is preferably 2 to 1000 times, more preferably 4 to 400 times, and further preferably 8 to 200 times the average thickness of the transparent layer 3. preferable.

第1の画素2は、例えば、画素形成用組成物を支持体上に適用して画素形成用組成物層を形成し、この画素形成用組成物層に対して、従来公知の方法でパターン形成を行うことで形成することができる。画素形成用組成物としては、後述する画素形成用組成物が挙げられる。パターン形成方法としては、フォトリソグラフィー法やドライエッチング法が挙げられる。フォトリソグラフィー法でのパターン形成方法としては、画素形成用組成物層に対しパターン状に露光する工程(露光工程)と、未露光部の画素形成用組成物層を現像除去してパターン(画素)を形成する工程(現像工程)と、を含むことが好ましい。必要に応じて、現像されたパターン(画素)をベークする工程(ポストベーク工程)を設けてもよい。ドライエッチング法でのパターン形成としては、画素形成用組成物層を硬化して硬化物層を形成する工程と、この硬化物層上にパターニングされたフォトレジスト層を形成する工程と、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングする工程とを含むことが好ましい。 For the first pixel 2, for example, a pixel forming composition is applied onto a support to form a pixel forming composition layer, and a pattern is formed on the pixel forming composition layer by a conventionally known method. It can be formed by performing. Examples of the pixel-forming composition include a pixel-forming composition described later. Examples of the pattern forming method include a photolithography method and a dry etching method. The pattern forming method in the photolithography method includes a step of exposing the pixel forming composition layer in a pattern (exposure step) and a pattern (pixel) by developing and removing the pixel forming composition layer of the unexposed portion. It is preferable to include a step of forming (development step). If necessary, a step (post-baking step) of baking the developed pattern (pixels) may be provided. The pattern formation by the dry etching method includes a step of curing the composition layer for pixel formation to form a cured product layer and a step of forming a patterned photoresist layer on the cured product layer. It is preferable to include a step of dry etching the cured product layer with an etching gas using the photoresist layer as a mask.

支持体1の種類としては特に限定はない。固体撮像素子などの各種電子デバイスなどで使用されている基板(シリコンウエハ、炭化ケイ素ウエハ、窒化ケイ素ウエハ、サファイアウエハ、ガラスウエハなど)を用いることができる。また、フォトダイオードが形成された固体撮像素子用基板などを用いることもできる。 The type of the support 1 is not particularly limited. Substrates (silicon wafers, silicon carbide wafers, silicon nitride wafers, sapphire wafers, glass wafers, etc.) used in various electronic devices such as solid-state imaging elements can be used. Further, a substrate for a solid-state image sensor on which a photodiode is formed can also be used.

透明層形成用組成物の適用方法としては、特に限定は無く、スピンコート法、スリットコート法、インクジェット法、ディップコート法、スクリーン印刷法などが挙げられる。なかでも、少量で均一に製膜できるという理由からスピンコート法が好ましい。 The method of applying the composition for forming a transparent layer is not particularly limited, and examples thereof include a spin coating method, a slit coating method, an inkjet method, a dip coating method, and a screen printing method. Of these, the spin coating method is preferable because it can form a uniform film with a small amount.

第1の画素2の表面に透明層形成用組成物を適用した後、更に乾燥を行うことも好ましい。乾燥条件は、特に限定はない。例えば、乾燥温度は、60〜150℃が好ましい。乾燥温度の上限は、130℃以下が好ましく、110℃以下がより好ましい。乾燥温度の下限は、80℃以上が好ましく、90℃以上がより好ましい。乾燥時間は、60秒〜600秒が好ましい。乾燥時間の上限は、300秒以下が好ましく、180秒以下がより好ましい。乾燥時間の下限は、80秒以上が好ましく、100秒以上がより好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。 It is also preferable that the composition for forming a transparent layer is applied to the surface of the first pixel 2 and then further dried. The drying conditions are not particularly limited. For example, the drying temperature is preferably 60 to 150 ° C. The upper limit of the drying temperature is preferably 130 ° C. or lower, more preferably 110 ° C. or lower. The lower limit of the drying temperature is preferably 80 ° C. or higher, more preferably 90 ° C. or higher. The drying time is preferably 60 seconds to 600 seconds. The upper limit of the drying time is preferably 300 seconds or less, more preferably 180 seconds or less. The lower limit of the drying time is preferably 80 seconds or more, more preferably 100 seconds or more. Drying can be performed using a hot plate, an oven, or the like.

また、上記乾燥を施した後に、更に加熱処理(ポストベーク)を行うことが好ましい。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば180〜260℃が好ましい。ポストベーク温度の上限は、250℃以下が好ましく、240℃以下がより好ましい。ポストベーク温度の下限は、190℃以上が好ましく、200℃以上がより好ましい。ポストベーク時間は、60秒〜600秒が好ましい。ポストベーク時間の上限は、300秒以下が好ましく、180秒以下がより好ましい。ポストベーク時間の下限は、80秒以上が好ましく、100秒以上がより好ましい。ポストベークは、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。 Further, it is preferable to perform further heat treatment (post-baking) after the above-mentioned drying. When post-baking is performed, the post-baking temperature is preferably 180 to 260 ° C., for example. The upper limit of the post-bake temperature is preferably 250 ° C. or lower, more preferably 240 ° C. or lower. The lower limit of the post-bake temperature is preferably 190 ° C. or higher, more preferably 200 ° C. or higher. The post-baking time is preferably 60 seconds to 600 seconds. The upper limit of the post-baking time is preferably 300 seconds or less, more preferably 180 seconds or less. The lower limit of the post-baking time is preferably 80 seconds or more, more preferably 100 seconds or more. Post-baking can be performed using a hot plate, an oven, or the like.

また、上記の加熱処理にかえて、露光を行ってもよい。例えば、露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく、i線がより好ましい。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cmが好ましく、0.05〜1.0J/cmがより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができる。露光後の透明層に対して、更に加熱処理(ポストベーク)を行ってもよい。Further, instead of the above heat treatment, exposure may be performed. For example, as the radiation (light) that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-ray and i-line are preferable, and i-ray is more preferable. Irradiation dose (exposure dose), for example, preferably 0.03~2.5J / cm 2, 0.05~1.0J / cm 2 is more preferable. The oxygen concentration at the time of exposure can be appropriately selected. The transparent layer after exposure may be further heat-treated (post-baked).

(画素形成用組成物層を形成する工程)
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上述のようにして透明層3が形成された第1の画素2上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層4aを形成する(図2参照)。ここで、図2に示すように、透明層3が形成された第1の画素2上以外の透明層3が形成された領域にも、画素形成用組成物層4aを形成しても良い。透明層3が形成された第1の画素2上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層4aを形成する工程と、透明層3が形成された第1の画素2上以外の領域に画素形成用組成物層4aを形成する工程は、同一工程で行っても良い。画素形成用組成物としては、第1の画素とは異なる色の画素が形成されるものを適宜選択して用いる。例えば、第1の画素が緑色画素の場合、この工程では、画素形成用組成物として、緑色画素形成用の組成物以外の組成物(例えば、赤色画素形成用の組成物、青色画素形成用の組成物など)を用いる。画素形成用組成物の詳細については後述する。
(Step of forming a composition layer for pixel formation)
Next, in the method for producing a color filter of the present invention, the pixel forming composition is applied onto the first pixel 2 on which the transparent layer 3 is formed as described above to form the pixel forming composition layer 4a. Form (see FIG. 2). Here, as shown in FIG. 2, the pixel-forming composition layer 4a may be formed in a region where the transparent layer 3 is formed other than on the first pixel 2 on which the transparent layer 3 is formed. Except for the step of applying the pixel forming composition on the first pixel 2 on which the transparent layer 3 is formed to form the pixel forming composition layer 4a and on the first pixel 2 on which the transparent layer 3 is formed. The step of forming the pixel-forming composition layer 4a in the region of the above may be performed in the same step. As the pixel-forming composition, a composition in which pixels having a color different from that of the first pixel are formed is appropriately selected and used. For example, when the first pixel is a green pixel, in this step, the composition for forming a pixel is a composition other than the composition for forming a green pixel (for example, a composition for forming a red pixel, a composition for forming a blue pixel). Composition etc.) is used. Details of the pixel forming composition will be described later.

画素形成用組成物の適法方法としては、従来公知の方法を用いることができる。例えば、スピンコート法、スリットコート法、インクジェット法、ディップコート法、スクリーン印刷法などが挙げられる。 As a legal method for the pixel forming composition, a conventionally known method can be used. For example, a spin coating method, a slit coating method, an inkjet method, a dip coating method, a screen printing method and the like can be mentioned.

支持体1上に形成された画素形成用組成物層4aに対して、乾燥を行うことも好ましい。乾燥条件は、特に限定はない。例えば、乾燥温度は、60〜150℃が好ましい。乾燥温度の上限は、130℃以下が好ましく、110℃以下がより好ましい。乾燥温度の下限は、80℃以上が好ましく、90℃以上がより好ましい。乾燥時間は、10〜600秒が好ましい。乾燥時間の上限は、300秒以下が好ましく、180秒以下がより好ましい。乾燥時間の下限は、40秒以上が好ましく、60秒以上がより好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。 It is also preferable to dry the pixel-forming composition layer 4a formed on the support 1. The drying conditions are not particularly limited. For example, the drying temperature is preferably 60 to 150 ° C. The upper limit of the drying temperature is preferably 130 ° C. or lower, more preferably 110 ° C. or lower. The lower limit of the drying temperature is preferably 80 ° C. or higher, more preferably 90 ° C. or higher. The drying time is preferably 10 to 600 seconds. The upper limit of the drying time is preferably 300 seconds or less, more preferably 180 seconds or less. The lower limit of the drying time is preferably 40 seconds or more, more preferably 60 seconds or more. Drying can be performed using a hot plate, an oven, or the like.

(第2の画素を形成する工程)
次に、上述のように形成した支持体1上の画素形成用組成物層4aに対してパターン形成を行い、第1の画素2とは異なる色の第2の画素4を支持体1上に形成する(図3)。このようにすることで、図3に示されるように、支持体1上に第1の画素2と第2の画素4とがそれぞれ形成されており、かつ、第1の画素2の表面、および、第2の画素4と支持体1との間のそれぞれに、平均厚さ300nm以下の透明層3が形成されている構造を有するカラーフィルタを製造することができる。
(Step of forming the second pixel)
Next, a pattern is formed on the pixel-forming composition layer 4a on the support 1 formed as described above, and the second pixel 4 having a color different from that of the first pixel 2 is placed on the support 1. Form (Fig. 3). By doing so, as shown in FIG. 3, the first pixel 2 and the second pixel 4 are formed on the support 1, respectively, and the surface of the first pixel 2 and the surface of the first pixel 2 are formed. , A color filter having a structure in which a transparent layer 3 having an average thickness of 300 nm or less is formed between the second pixel 4 and the support 1 can be manufactured.

本発明においては、画素形成用組成物層4aに対してフォトリソグラフィー法にてパターン形成を行い、第2の画素4を形成することが好ましい。フォトリソグラフィー法でのパターン形成方法としては、画素形成用組成物層4aに対しパターン状に露光する工程(露光工程)と、未露光部の画素形成用組成物層4aを現像除去してパターンを形成する工程(現像工程)と、を含むことが好ましい。必要に応じて、現像されたパターンをベークする工程(ポストベーク工程)を設けてもよい。以下、各工程について詳細に説明する。 In the present invention, it is preferable that the pixel-forming composition layer 4a is patterned by a photolithography method to form the second pixel 4. As a pattern forming method in the photolithography method, a step of exposing the pixel forming composition layer 4a in a pattern (exposure step) and a step of developing and removing the pixel forming composition layer 4a of the unexposed portion to form a pattern. It is preferable to include a step of forming (development step). If necessary, a step of baking the developed pattern (post-baking step) may be provided. Hereinafter, each step will be described in detail.

露光工程では、画素形成用組成物層4aに対してパターン状に露光する。例えば、画素形成用組成物層4aに対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cmが好ましく、0.05〜1.0J/cmがより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(例えば、15体積%、5体積%、実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(例えば、22体積%、30体積%、50体積%)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常1000W/m〜100000W/m(例えば、5000W/m、15000W/m、35000W/m)の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m、酸素濃度35体積%で照度20000W/mなどとすることができる。In the exposure step, the pixel-forming composition layer 4a is exposed in a pattern. For example, the pixel-forming composition layer 4a can be exposed in a pattern by exposing the pixel-forming composition layer 4a through a mask having a predetermined mask pattern using an exposure device such as a stepper. As a result, the exposed portion can be cured. As the radiation (light) that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-line and i-line are preferably used (particularly preferably i-line). Irradiation dose (exposure dose), for example, preferably 0.03~2.5J / cm 2, 0.05~1.0J / cm 2 is more preferable. The oxygen concentration at the time of exposure can be appropriately selected, and in addition to the operation in the atmosphere, for example, in a low oxygen atmosphere having an oxygen concentration of 19% by volume or less (for example, 15% by volume, 5% by volume, substantially anoxic). ), Or in a high oxygen atmosphere where the oxygen concentration exceeds 21% by volume (for example, 22% by volume, 30% by volume, 50% by volume). The exposure intensity is can be set appropriately, usually 1000W / m 2 ~100000W / m 2 ( e.g., 5000W / m 2, 15000W / m 2, 35000W / m 2) can be selected from the range of .. Oxygen concentration and exposure illuminance may appropriately combined conditions, for example, illuminance 10000 W / m 2 at an oxygen concentration of 10 vol%, oxygen concentration of 35 vol% can be such illuminance 20000W / m 2.

現像工程では、画素形成用組成物層4aの未露光部を現像除去する。画素形成用組成物層4aの未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。現像液としては、アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。 In the developing step, the unexposed portion of the pixel-forming composition layer 4a is developed and removed. The unexposed portion of the pixel-forming composition layer 4a can be developed and removed using a developing solution. An alkaline developer is desirable as the developer. The temperature of the developing solution is preferably, for example, 20 to 30 ° C. The development time is preferably 20 to 180 seconds.

現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス(2−ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、0.001〜10質量%が好ましく、0.01〜1質量%がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、後述する界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば1.5〜100倍の範囲に設定することができる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後純水で洗浄(リンス)することが好ましい。 As the developing solution, an alkaline aqueous solution obtained by diluting an alkaline agent with pure water is preferably used. Examples of the alkaline agent include aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, diglycolamine, diethanolamine, hydroxyamine, ethylenediamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, and tetrabutylammonium hydroxide. Do, benzyltrimethylammonium hydroxide, dimethylbis (2-hydroxyethyl) ammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene and other organic alkaline compounds, and water. Examples thereof include inorganic alkaline compounds such as sodium oxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium silicate, and sodium metasilicate. The concentration of the alkaline agent in the alkaline aqueous solution is preferably 0.001 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 1% by mass. In addition, the developing solution may further contain a surfactant. Examples of the surfactant include the surfactant described later, and a nonionic surfactant is preferable. From the viewpoint of convenience of transfer and storage, the developer may be once produced as a concentrated solution and diluted to a concentration required for use. The dilution ratio is not particularly limited, but can be set in the range of, for example, 1.5 to 100 times. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is preferable to wash (rinse) with pure water after development.

現像後、乾燥を施した後に加熱処理(ポストベーク)を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば100〜240℃が好ましい。膜硬化の観点から、200〜230℃がより好ましい。 It is also possible to perform heat treatment (post-baking) after developing and drying. Post-baking is a post-development heat treatment to complete the curing of the film. When post-baking is performed, the post-baking temperature is preferably 100 to 240 ° C., for example. From the viewpoint of film hardening, 200 to 230 ° C. is more preferable.

第2の画素4の厚さは、0.1〜10.0μmであることが好ましい。上限は、5.0μm以下であることが好ましく、2.0μm以下であることがより好ましく、1.0μm以下であることが更に好ましい。下限は、0.3μm以上であることが好ましく、0.4μm以上であることがより好ましい。また、第2の画素4の厚さは、透明層3の平均厚さの2〜1000倍であることが好ましく、4〜400倍であることがより好ましく、8〜200倍であることが更に好ましい。 The thickness of the second pixel 4 is preferably 0.1 to 10.0 μm. The upper limit is preferably 5.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or less, and further preferably 1.0 μm or less. The lower limit is preferably 0.3 μm or more, and more preferably 0.4 μm or more. Further, the thickness of the second pixel 4 is preferably 2 to 1000 times, more preferably 4 to 400 times, and further preferably 8 to 200 times the average thickness of the transparent layer 3. preferable.

このようにして、第1の画素と第2の画素とを備えたカラーフィルタを製造することができる。また、上述した各工程を順次繰り返すことで、3種類以上の画素を有するカラーフィルタを製造することができる。 In this way, a color filter including the first pixel and the second pixel can be manufactured. Further, by sequentially repeating each of the above steps, a color filter having three or more types of pixels can be manufactured.

<透明層形成用組成物>
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法で用いられる透明層形成用組成物について説明する。
<Composition for forming a transparent layer>
Next, the composition for forming a transparent layer used in the method for producing a color filter of the present invention will be described.

透明層形成用組成物の粘度は、25℃において0.1〜5.0mPa・sであることが好ましい。下限は、0.5mPa・s以上であることが好ましく、0.7mPa・s以上であることがより好ましい。上限は、4.0mPa・s以下であることが好ましく、3.0mPa・s以下であることがより好ましい。透明層形成用組成物の粘度が上記範囲であれば、透明層形成用組成物の塗布性が良好で、薄膜で、膜厚のばらつきの少ない透明層を形成しやすい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製 粘度計 RE85L(ローター:1°34’×R24、測定範囲0.6〜1200mPa・s)を使用し、25℃に温度調整を施した状態で測定することができる。また、透明層形成用組成物の固形分濃度は、0.01〜10質量%であることが好ましく、0.01〜5質量%であることがより好ましく、0.01〜3質量%であることが更に好ましく、0.01〜1質量%であることが特に好ましい。透明層形成用組成物の固形分濃度が上記範囲であれば、透明層形成用組成物の塗布性が良好で、薄膜で、膜厚のばらつきの少ない透明層を形成しやすい。以下、透明層形成用組成物に用いられる成分について説明する。 The viscosity of the composition for forming a transparent layer is preferably 0.1 to 5.0 mPa · s at 25 ° C. The lower limit is preferably 0.5 mPa · s or more, and more preferably 0.7 mPa · s or more. The upper limit is preferably 4.0 mPa · s or less, and more preferably 3.0 mPa · s or less. When the viscosity of the transparent layer forming composition is within the above range, the coating property of the transparent layer forming composition is good, and it is easy to form a transparent layer which is a thin film and has little variation in film thickness. As a method for measuring the viscosity, for example, a viscometer RE85L (rotor: 1 ° 34'× R24, measuring range 0.6 to 1200 mPa · s) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. is used, and the temperature is adjusted to 25 ° C. Can be measured. The solid content concentration of the transparent layer forming composition is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 5% by mass, and 0.01 to 3% by mass. It is more preferable, and it is particularly preferable that it is 0.01 to 1% by mass. When the solid content concentration of the transparent layer forming composition is within the above range, the coating property of the transparent layer forming composition is good, and it is easy to form a thin film having a transparent layer having little variation in film thickness. Hereinafter, the components used in the composition for forming a transparent layer will be described.

<<硬化性化合物>>
透明層形成用組成物は、硬化性化合物を含む。硬化性化合物としては、架橋性基を有する化合物や、架橋性基を有さない樹脂などが挙げられる。本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由から、本発明で用いられる硬化性化合物は、架橋性基を有する化合物を含むことが好ましい。架橋性基としては、エチレン性不飽和結合を有する基、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基などが挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。硬化性化合物は、架橋性基を有する化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物であることがより好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物は、モノマーであってもよく、ポリマーなどの樹脂であってもよい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物としては、樹脂であることが好ましい。樹脂タイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を用いた場合においては、第1の画素に対して透明層形成用組成物をより均一に塗布しやすい。このため、透明層形成用組成物の製膜性を向上できる。また、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物として、モノマータイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物と、樹脂タイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物とを併用することも好ましい。以下、モノマータイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を、モノマーAともいう。また、樹脂タイプのエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を、樹脂Aともいう。
<< Curable compound >>
The composition for forming a transparent layer contains a curable compound. Examples of the curable compound include a compound having a crosslinkable group and a resin having no crosslinkable group. The curable compound used in the present invention preferably contains a compound having a crosslinkable group, because the effect of the present invention can be obtained more remarkably. Examples of the crosslinkable group include a group having an ethylenically unsaturated bond, an epoxy group, a methylol group, an alkoxymethyl group and the like. Examples of the group having an ethylenically unsaturated bond include a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group. The curable compound is preferably a compound having a crosslinkable group, and more preferably a compound having a group having an ethylenically unsaturated bond. The compound having a group having an ethylenically unsaturated bond may be a monomer or a resin such as a polymer. The compound having a group having an ethylenically unsaturated bond is preferably a resin. When a resin-type compound having a group having an ethylenically unsaturated bond is used, it is easy to more uniformly apply the composition for forming a transparent layer to the first pixel. Therefore, the film-forming property of the transparent layer forming composition can be improved. Further, as a compound having a group having an ethylenically unsaturated bond, a compound having a group having a monomer type ethylenically unsaturated bond and a compound having a group having a resin type ethylenically unsaturated bond may be used in combination. Is also preferable. Hereinafter, a compound having a group having a monomer-type ethylenically unsaturated bond is also referred to as monomer A. Further, a compound having a group having a resin-type ethylenically unsaturated bond is also referred to as resin A.

モノマーAの分子量としては、100〜3000であることが好ましい。上限は、2000以下が好ましく、1500以下が更に好ましい。下限は、150以上が好ましく、250以上が更に好ましい。樹脂Aの重量平均分子量としては、5000〜20000であることが好ましい。上限は、19000以下が好ましく、18000以下がより好ましい。下限は、8000以上が好ましく、10000以上がより好ましい。 The molecular weight of the monomer A is preferably 100 to 3000. The upper limit is preferably 2000 or less, and more preferably 1500 or less. The lower limit is preferably 150 or more, and more preferably 250 or more. The weight average molecular weight of the resin A is preferably 5000 to 20000. The upper limit is preferably 19000 or less, more preferably 18000 or less. The lower limit is preferably 8000 or more, and more preferably 10000 or more.

(モノマーA)
モノマーAとしては、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。具体例としては、特開2009−288705号公報の段落番号0095〜0108、特開2013−29760号公報の段落番号0227、特開2008−292970号公報の段落番号0254〜0257に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
(Monomer A)
The monomer A is preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 15 functions, and more preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 6 functions. Specific examples include the compounds described in paragraph numbers 0995 to 0108 of JP2009-288705, paragraph numbers 0227 of JP2013-29760, and paragraphs 0254 to 0257 of JP2008-292970. These contents are incorporated herein by reference.

モノマーAとしては、式(MO−1)〜式(MO−5)で表される化合物も好適に用いることができる。なお、式中、Tがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がRに結合する。 As the monomer A, compounds represented by the formulas (MO-1) to (MO-5) can also be preferably used. In the formula, when T is an oxyalkylene group, the end on the carbon atom side is bonded to R.

上記式において、nは0〜14であり、mは1〜8である。一分子内に複数存在するR、T、は、各々同一であっても、異なっていてもよい。式(MO−1)〜(MO−5)で表される化合物の各々において、複数存在するRの少なくとも1つは、−OC(=O)CH=CH、又は、−OC(=O)C(CH)=CHで表される基を表す。式(MO−1)〜(MO−5)で表される化合物の具体例としては、特開2007−269779号公報の段落番号0248〜0251に記載されている化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。In the above formula, n is 0 to 14 and m is 1 to 8. A plurality of R and T existing in one molecule may be the same or different. In each of the compounds represented by the formulas (MO-1) to (MO-5), at least one of a plurality of Rs is -OC (= O) CH = CH 2 or -OC (= O). Represents a group represented by C (CH 3 ) = CH 2 . Specific examples of the compounds represented by the formulas (MO-1) to (MO-5) include the compounds described in paragraphs 0248 to 0251 of JP-A-2007-269779, the contents of which are described in the present invention. Incorporated into the specification.

また、モノマーAとしては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−330;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−320;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D−310;日本化薬(株)製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA;日本化薬(株)製、A−DPH−12E;新中村化学工業(株)製)、およびこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコールおよび/またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)を好ましく用いることができる。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、モノマーAとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどの3官能の(メタ)アクリレート化合物を用いることも好ましい。3官能の(メタ)アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスM−309、M−310、M−321、M−350、M−360、M−313、M−315、M−306、M−305、M−303、M−452、M−450(東亞合成(株)製)、NKエステル A9300、A−GLY−9E、A−GLY−20E、A−TMM−3、A−TMM−3L、A−TMM−3LM−N、A−TMPT、TMPT(新中村化学工業(株)製)、KAYARAD GPO−303、TMPTA、THE−330、TPA−330、PET−30(日本化薬(株)製)などが挙げられる。 The monomer A includes dipentaerythritol triacrylate (commercially available KAYARAD D-330; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and dipentaerythritol tetraacrylate (commercially available KAYARAD D-320; Nippon Kayaku). (Made by Co., Ltd.), Dipentaerythritol penta (meth) acrylate (commercially available KAYARAD D-310; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (commercially available KAYARAD DPHA; Japan) Yakuhin Co., Ltd., A-DPH-12E; manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.), and compounds having a structure in which these (meth) acryloyl groups are bonded via ethylene glycol and / or propylene glycol residues. (For example, SR454, SR499 commercially available from Sartmer) can be preferably used. These oligomer types can also be used. The monomer A includes trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane propyleneoxy-modified tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethyleneoxy-modified tri (meth) acrylate, and isocyanurate ethyleneoxy-modified tri (meth) acrylate. It is also preferable to use a trifunctional (meth) acrylate compound such as pentaerythritol trimethylolpropane (meth) acrylate. Commercially available products of trifunctional (meth) acrylate compounds include Aronix M-309, M-310, M-321, M-350, M-360, M-313, M-315, M-306, and M-305. , M-303, M-452, M-450 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), NK ester A9300, A-GLY-9E, A-GLY-20E, A-TMM-3, A-TMM-3L, A -TMM-3LM-N, A-TMPT, TMPT (manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.), KAYARAD GPO-303, TMPTA, THE-330, TPA-330, PET-30 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) And so on.

モノマーAとしては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等の酸基を有する化合物を用いることも好ましい。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のアロニックスM−305、M−510、M−520などが挙げられる。 As the monomer A, it is also preferable to use a compound having an acid group such as a carboxyl group, a sulfo group, and a phosphoric acid group. Examples of commercially available products include Aronix M-305, M-510, and M-520 manufactured by Toagosei Co., Ltd.

モノマーAとしては、カプロラクトン構造を有する化合物を用いることも好ましい。市販品としては、例えば、KAYARAD DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120(日本化薬(株)製)等が挙げられる。
モノマーAとしては、アルキレンオキシ基を有する化合物を用いることも好ましい。アルキレンオキシ基を有する化合物としては、エチレンオキシ基および/またはプロピレンオキシ基を有する化合物であることが好ましく、エチレンオキシ基を有する化合物であることがより好ましく、エチレンオキシ基を4〜20個有する3〜6官能(メタ)アクリレート化合物であることがさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する化合物の市販品としては、SR−494(サートマー社製、エチレンオキシ基を4個有する4官能(メタ)アクリレート)、KAYARAD TPA−330(日本化薬(株)製、イソブチレンオキシ基を3個有する3官能(メタ)アクリレート)などが挙げられる。
As the monomer A, it is also preferable to use a compound having a caprolactone structure. Examples of commercially available products include KAYARAD DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like.
As the monomer A, it is also preferable to use a compound having an alkyleneoxy group. The compound having an alkyleneoxy group is preferably a compound having an ethyleneoxy group and / or a propyleneoxy group, more preferably a compound having an ethyleneoxy group, and having 4 to 20 ethyleneoxy groups3. It is more preferably a ~ hexafunctional (meth) acrylate compound. Commercially available products of compounds having an alkyleneoxy group include SR-494 (manufactured by Sartmer, tetrafunctional (meth) acrylate having four ethyleneoxy groups) and KAYARAD TPA-330 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., isobutyleneoxy). Trifunctional (meth) acrylate having three groups) and the like can be mentioned.

(樹脂A)
樹脂Aとしては、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する繰り返し単位を含むポリマーであることが好ましく、式(1)で表される繰り返し単位を有するポリマーであることがより好ましい。

式中、Rは、水素原子又はアルキル基を表し、Lは、単結合または2価の連結基を表し、Pはエチレン性不飽和結合を有する基を表す。
(Resin A)
The resin A is preferably a polymer containing a repeating unit having a group having an ethylenically unsaturated bond in the side chain, and more preferably a polymer having a repeating unit represented by the formula (1).

In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group, L 1 represents a single bond or a divalent linking group, and P 1 represents a group having an ethylenically unsaturated bond.

が表すアルキル基は、炭素数1〜3のアルキル基が好ましく、メチル基が好ましい。Rは、水素原子またはメチル基であることが好ましい。The alkyl group represented by R 1 is preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and preferably a methyl group. R 1 is preferably a hydrogen atom or a methyl group.

は、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基としては、炭素数1〜30のアルキレン基、炭素数6〜12のアリーレン基、これらと−CO−、−OCO−、−O−、−NH−および−SO−から選ばれる1種とを組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基およびアリーレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基などが挙げられる。ヒドロキシル基が好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。L 1 represents a single bond or a divalent linking group. The divalent linking group is selected from an alkylene group having 1 to 30 carbon atoms, an arylene group having 6 to 12 carbon atoms, and -CO-, -OCO-, -O-, -NH- and -SO 2-. There is a group formed by combining one of the above types. The alkylene group and the arylene group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include a halogen atom, an alkyl group, an aryl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an alkoxy group, an aryloxy group and the like. Hydroxyl group is preferred. The alkylene group may be linear, branched or cyclic.

はエチレン性不飽和結合を有する基を表す。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基が好ましく、重合反応性が高く、更にはより優れた耐湿性が得られやすいという理由から(メタ)アクリロイル基がより好ましい。P 1 represents a group having an ethylenically unsaturated bond. As the group having an ethylenically unsaturated bond, a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group are preferable, and the polymerization reactivity is high, and more excellent moisture resistance can be easily obtained (meth). ) Acryloyl groups are more preferred.

樹脂Aにおいて、側鎖にエチレン性不飽和結合を有する基を有する繰り返し単位の含有量は、全繰り返し単位の5〜100質量%であることが好ましい。下限は、10質量%以上が好ましく、15質量%以上がより好ましい。上限は、90質量%以下が好ましく、80質量%以下がより好ましく、75質量%以下が更に好ましく、70質量%以下が特に好ましい。 In the resin A, the content of the repeating unit having a group having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is preferably 5 to 100% by mass of all the repeating units. The lower limit is preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more. The upper limit is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, further preferably 75% by mass or less, and particularly preferably 70% by mass or less.

樹脂Aは、更に、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が例示される。酸基は1種類のみ含まれていても良いし、2種類以上含まれていても良い。酸基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマーを構成する全繰り返し単位の1〜50質量%であることが好ましい。下限は、2質量%以上がより好ましく、3質量%以上が更に好ましい。上限は、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。 The resin A preferably further contains a repeating unit having an acid group. Examples of the acid group include a carboxyl group, a sulfo group, and a phosphoric acid group. Only one type of acid group may be contained, or two or more types may be contained. The proportion of the repeating unit having an acid group is preferably 1 to 50% by mass of all the repeating units constituting the polymer. The lower limit is more preferably 2% by mass or more, further preferably 3% by mass or more. The upper limit is more preferably 35% by mass or less, and further preferably 30% by mass or less.

樹脂Aが酸基を有する場合、樹脂Aの酸価としては、10〜100mgKOH/gであることが好ましい。下限は、15mgKOH/g以上であることが好ましく、20mgKOH/g以上であることがより好ましい。上限は、90mgKOH/g以下であることが好ましく、80mgKOH/g以下であることがより好ましく、70mgKOH/g以下であることが更に好ましく、60mgKOH/g以下であることが特に好ましい。 When the resin A has an acid group, the acid value of the resin A is preferably 10 to 100 mgKOH / g. The lower limit is preferably 15 mgKOH / g or more, and more preferably 20 mgKOH / g or more. The upper limit is preferably 90 mgKOH / g or less, more preferably 80 mgKOH / g or less, further preferably 70 mgKOH / g or less, and particularly preferably 60 mgKOH / g or less.

樹脂Aは、更に、アリール基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことも好ましい。アリール基を側鎖に有する繰り返し単位の割合は、ポリマーを構成する全繰り返し単位の1〜80質量%であることが好ましい。下限は、10質量%以上がより好ましく、15質量%以上が更に好ましい。上限は、70質量%以下がより好ましく、60質量%以下が更に好ましい。 The resin A also preferably contains a repeating unit having an aryl group in the side chain. The proportion of repeating units having an aryl group in the side chain is preferably 1 to 80% by mass of all the repeating units constituting the polymer. The lower limit is more preferably 10% by mass or more, further preferably 15% by mass or more. The upper limit is more preferably 70% by mass or less, and further preferably 60% by mass or less.

樹脂Aは、下記式(ED1)で示される化合物および特開2010−168539号公報の式(1)で表される化合物から選ばれる少なくとも1種の化合物(以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。)を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。 The resin A is at least one compound selected from the compound represented by the following formula (ED1) and the compound represented by the formula (1) of JP2010-168539 (hereinafter, these compounds are referred to as "ether dimer". It is also preferable to include a polymer obtained by polymerizing a monomer component containing).

式(ED1)中、RおよびRは、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基を表す。In the formula (ED1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a hydrogen atom or a substituent.

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0317を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。 As a specific example of the ether dimer, for example, paragraph No. 0317 of JP2013-29760A can be referred to, and the content thereof is incorporated in the present specification. The ether dimer may be of only one type or of two or more types.

樹脂Aの具体例としては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。以下の構造式において、Meはメチル基を表す。
Specific examples of the resin A include a polymer having the following structure. In the following structural formula, Me represents a methyl group.

樹脂Aは、市販品を用いることもできる。例えば、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン株式会社製)、Photomer6173(COOH含有 polyurethane acrylic oligomer.Diamond Shamrock Co.,Ltd製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業株式会社製)、プラクセル CF200シリーズ((株)ダイセル製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)、アクリキュアーRD−F8(日本触媒社製)などが挙げられる。 As the resin A, a commercially available product can also be used. For example, Dianal NR series (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), Photomer 6173 (COOH-containing polyurethane acrylic oligomer. Diamond Shamrock Co., manufactured by Ltd.), Viscort R-264, KS resist 106 (all manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) , Praxel CF200 series (manufactured by Daicel Co., Ltd.), Ebeclyl3800 (manufactured by Daicel UCB Co., Ltd.), Acrylic RD-F8 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) and the like.

硬化性化合物の含有量は、透明層形成用組成物の全質量に対して0.01〜1質量%であることが好ましい。下限は、0.05質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましい。上限は、0.9質量%以下が好ましく、0.8質量%以下がより好ましい。また、透明層形成用組成物の全固形分中における硬化性化合物の含有量は、50〜100質量%であることが好ましく、下限は、70質量%以上が好ましく、90質量%以上がより好ましい。また、硬化性化合物の全量中における架橋性基を有する化合物の含有量は、50〜100質量%であることが好ましく、下限は、70質量%以上が好ましく、90質量%以上がより好ましく、実質的に架橋性基を有する化合物のみで構成されていることが特に好ましい。なお、硬化性化合物が実質的に架橋性基を有する化合物のみで構成されている場合、硬化性化合物の全量中における架橋性基を有する化合物の含有量が99質量%以上であることが好ましく、99.5質量%以上であることが更に好ましく、99.9質量%以上であることがより好ましく、架橋性基を有する化合物のみで構成されていることが特に好ましい。 The content of the curable compound is preferably 0.01 to 1% by mass with respect to the total mass of the composition for forming a transparent layer. The lower limit is preferably 0.05% by mass or more, and more preferably 0.1% by mass or more. The upper limit is preferably 0.9% by mass or less, more preferably 0.8% by mass or less. The content of the curable compound in the total solid content of the composition for forming a transparent layer is preferably 50 to 100% by mass, and the lower limit is preferably 70% by mass or more, more preferably 90% by mass or more. .. The content of the compound having a crosslinkable group in the total amount of the curable compound is preferably 50 to 100% by mass, and the lower limit is preferably 70% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and substantially. It is particularly preferable that the compound is composed only of a compound having a crosslinkable group. When the curable compound is composed only of a compound having a substantially crosslinkable group, the content of the compound having a crosslinkable group in the total amount of the curable compound is preferably 99% by mass or more. It is more preferably 99.5% by mass or more, more preferably 99.9% by mass or more, and particularly preferably composed only of a compound having a crosslinkable group.

また、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物の含有量は、透明層形成用組成物の全質量に対して0.01〜1質量%であることが好ましい。下限は、0.05質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましい。上限は、0.9質量%以下が好ましく、0.8質量%以下がより好ましい。また、透明層形成用組成物の全固形分中におけるエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物の含有量は、50〜100質量%であることが好ましい、下限は、70質量%以上が好ましく、90質量%以上がより好ましい。 The content of the compound having a group having an ethylenically unsaturated bond is preferably 0.01 to 1% by mass with respect to the total mass of the composition for forming a transparent layer. The lower limit is preferably 0.05% by mass or more, and more preferably 0.1% by mass or more. The upper limit is preferably 0.9% by mass or less, more preferably 0.8% by mass or less. The content of the compound having a group having an ethylenically unsaturated bond in the total solid content of the composition for forming a transparent layer is preferably 50 to 100% by mass, and the lower limit is preferably 70% by mass or more. , 90% by mass or more is more preferable.

硬化性化合物の全量中における樹脂Aの含有量は、50〜100質量%であることが好ましく、70〜100質量%であることがより好ましく、90〜100質量%であることが更に好ましく、実質的に樹脂Aのみで構成されていることが特に好ましい。この態様によれば、透明層形成用組成物の製膜性が良好である。なお、硬化性化合物が実質的に樹脂Aのみで構成されている場合、硬化性化合物の全量中における樹脂Aの含有量が99質量%以上であることが好ましく、99.5質量%以上であることが更に好ましく、99.9質量%以上であることがより好ましく、樹脂Aのみで構成されていることが特に好ましい。 The content of the resin A in the total amount of the curable compound is preferably 50 to 100% by mass, more preferably 70 to 100% by mass, further preferably 90 to 100% by mass, and substantially. It is particularly preferable that the resin A is used alone. According to this aspect, the film-forming property of the composition for forming a transparent layer is good. When the curable compound is substantially composed only of the resin A, the content of the resin A in the total amount of the curable compound is preferably 99% by mass or more, preferably 99.5% by mass or more. It is more preferable, it is more preferably 99.9% by mass or more, and it is particularly preferable that it is composed of only the resin A.

<<界面活性剤>>
透明層形成用組成物は、界面活性剤を含有してもよい。透明層形成用組成物に界面活性剤を含有させることで、透明層形成用組成物の塗布性を向上できる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。なかでもフッ素系界面活性剤が好ましい。透明層形成用組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、より優れた塗布性が得られやすい。このため、薄膜で、均一な膜厚の透明層を形成しやすい。
<< Surfactant >>
The composition for forming a transparent layer may contain a surfactant. By containing a surfactant in the transparent layer forming composition, the coatability of the transparent layer forming composition can be improved. As the surfactant, various surfactants such as a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and a silicone-based surfactant can be used. Of these, a fluorine-based surfactant is preferable. By including a fluorine-based surfactant in the composition for forming a transparent layer, more excellent coatability can be easily obtained. Therefore, it is easy to form a transparent layer having a uniform film thickness with a thin film.

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好ましく、より好ましくは5〜30質量%であり、特に好ましくは7〜25質量%である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的である。 The fluorine content in the fluorine-based surfactant is preferably 3 to 40% by mass, more preferably 5 to 30% by mass, and particularly preferably 7 to 25% by mass. A fluorine-based surfactant having a fluorine content within the above range is effective in terms of uniformity of coating film thickness and liquid saving.

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、FC431、FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、SC−101、SC−103、SC−104、SC−105、SC−1068、SC−381、SC−383、S−393、KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上、OMNOVA社製)等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開2015−117327号公報の段落番号0015〜0158に記載の化合物、特開2011−132503号公報の段落番号0117〜0132に記載の化合物を用いることもできる。 Examples of the fluorine-based surfactant include Megafuck F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F144, R30, F437, F475, F479, F482, F554, and F780 (above, DIC Corporation). , Florard FC430, FC431, FC171 (all manufactured by Sumitomo 3M Ltd.), Surfron S-382, SC-101, SC-103, SC-104, SC-105, SC-1068, SC-381, SC -383, S-393, KH-40 (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656, PF6320, PF6520, PF7002 (above, manufactured by OMNOVA) and the like. As the fluorine-based surfactant, the compounds described in paragraphs 0015 to 0158 of JP2015-117327 and the compounds described in paragraphs 0117 to 0132 of JP2011-132503 can also be used.

フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、DIC(株)製のメガファックDSシリーズ(化学工業日報、2016年2月22日)(日経産業新聞、2016年2月23日)、例えばメガファックDS−21が挙げられる。 The fluorine-based surfactant has a molecular structure having a functional group containing a fluorine atom, and an acrylic compound in which a portion of the functional group containing a fluorine atom is cleaved when heat is applied and the fluorine atom volatilizes can also be preferably used. .. Examples of such a fluorine-based surfactant include the Mega Fvck DS series manufactured by DIC Corporation (The Chemical Daily, February 22, 2016) (Nikkei Sangyo Shimbun, February 23, 2016), for example, Mega Fvck DS. -21 can be mentioned.

フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開2016−216602号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。 As the fluorine-based surfactant, it is also preferable to use a polymer of a fluorine atom-containing vinyl ether compound having a fluorinated alkyl group or a fluorinated alkylene ether group and a hydrophilic vinyl ether compound. For such a fluorine-based surfactant, the description in JP-A-2016-216602 can be referred to, and the content thereof is incorporated in the present specification.

フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開2011−89090号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%はモル%である。

上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜50,000であり、例えば、14,000である。
As the fluorine-based surfactant, a block polymer can also be used. For example, the compounds described in JP-A-2011-89090 can be mentioned. The fluorine-based surfactant has a repeating unit derived from a (meth) acrylate compound having a fluorine atom and 2 or more (preferably 5 or more) alkyleneoxy groups (preferably ethyleneoxy groups and propyleneoxy groups) (meth). A fluorine-containing polymer compound containing a repeating unit derived from an acrylate compound can also be preferably used. The following compounds are also exemplified as the fluorine-based surfactant used in the present invention. In the formula below,% indicating the ratio of the repeating unit is mol%.

The weight average molecular weight of the above compounds is preferably 3,000 to 50,000, for example 14,000.

フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開2010−164965号公報の段落番号0050〜0090および段落番号0289〜0295に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばDIC(株)製のメガファックRS−101、RS−102、RS−718−K、RS−72−K等が挙げられる。 As the fluorine-based surfactant, a fluorine-containing polymer having an ethylenically unsaturated bond group in the side chain can also be used. Specific examples include the compounds described in paragraphs 0050 to 0090 and 0289 to 0295 of JP2010-164965. Examples of commercially available products include Megafvck RS-101, RS-102, RS-718-K, RS-72-K manufactured by DIC Corporation.

ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF社製)、テトロニック304、701、704、901、904、150R1(BASF社製)、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製)、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002(和光純薬工業(株)製)、パイオニンD−6112、D−6112−W、D−6315(竹本油脂(株)製)、オルフィンE1010、サーフィノール104、400、440(日信化学工業(株)製)などが挙げられる。 Nonionic surfactants include glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane, their ethoxylates and propoxylates (eg, glycerol propoxylates, glycerol ethoxylates, etc.), polyoxyethylene lauryl ethers, polyoxyethylene stearyl ethers, etc. Polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester, Pluronic L10, L31, L61, L62, 10R5, 17R2, 25R2 (BASF) , Tetronic 304, 701, 704, 901, 904, 150R1 (BASF), Solsparse 20000 (Nippon Lubrizol Co., Ltd.), NCW-101, NCW-1001, NCW-1002 (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) Industrial Co., Ltd.), Pionin D-6112, D-6112-W, D-6315 (manufactured by Takemoto Yushi Co., Ltd.), Orphine E1010, Surfinol 104, 400, 440 (manufactured by Nissin Chemical Industry Co., Ltd.) And so on.

カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株)製)等が挙げられる。 Examples of the cationic surfactant include organosiloxane polymer KP-341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid-based (co) polymer Polyflow No. 75, No. 90, No. Examples include 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.).

アニオン系界面活性剤としては、W004、W005、W017(裕商(株)製)、サンデットBL(三洋化成(株)製)等が挙げられる。 Examples of the anionic surfactant include W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), Sandet BL (manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.) and the like.

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA、トーレシリコーンSH21PA、トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400(以上、東レ・ダウコーニング(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4460、TSF−4452(以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、KP−341、KF6001、KF6002(以上、信越シリコーン株式会社製)、BYK307、BYK323、BYK330(以上、ビックケミー社製)等が挙げられる。また、下記構造の化合物を用いることも好ましい。
Examples of the silicone-based surfactant include Torre Silicone DC3PA, Torre Silicone SH7PA, Torre Silicone DC11PA, Torre Silicone SH21PA, Torre Silicone SH28PA, Torre Silicone SH29PA, Torre Silicone SH30PA, Torre Silicone SH8400 (all, Toray Dow Corning Co., Ltd.). ), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4460, TSF-4452 (all manufactured by Momentive Performance Materials), KP-341, KF6001, KF6002 (all manufactured by Shinetsu Silicone Co., Ltd.) (Manufactured by), BYK307, BYK323, BYK330 (all manufactured by Big Chemie) and the like. It is also preferable to use a compound having the following structure.

界面活性剤の含有量は、透明層形成用組成物の全質量に対して0.0001〜0.1質量%であることが好ましい、下限は、0.0005質量%以上が好ましく、0.001質量%以上がより好ましい。上限は、0.05質量%以下が好ましく、0.01質量%以下がより好ましい。透明層形成用組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、0.01〜2.0質量%であることが好ましい、下限は、0.05質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましい。上限は、1.5質量%以下が好ましく、1.0質量%以下がより好ましい。界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。2種以上を組み合わせて用いる場合は、合計量が上記範囲であることが好ましい。 The content of the surfactant is preferably 0.0001 to 0.1% by mass, preferably 0.0005% by mass or more, and 0.001 by mass, based on the total mass of the composition for forming a transparent layer. More preferably by mass% or more. The upper limit is preferably 0.05% by mass or less, more preferably 0.01% by mass or less. The content of the surfactant in the total solid content of the composition for forming a transparent layer is preferably 0.01 to 2.0% by mass, and the lower limit is preferably 0.05% by mass or more, preferably 0.1. More preferably by mass% or more. The upper limit is preferably 1.5% by mass or less, more preferably 1.0% by mass or less. Only one type of surfactant may be used, or two or more types may be used in combination. When two or more types are used in combination, the total amount is preferably in the above range.

<<溶剤>>
透明層形成用組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や透明層形成用組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
<< Solvent >>
The composition for forming a transparent layer preferably contains a solvent. The solvent is preferably an organic solvent. The solvent is not particularly limited as long as it satisfies the solubility of each component and the coatability of the composition for forming a transparent layer.

有機溶剤の例としては、例えば、以下の有機溶剤が挙げられる。エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、アルキルオキシ酢酸アルキル(例えば、アルキルオキシ酢酸メチル、アルキルオキシ酢酸エチル、アルキルオキシ酢酸ブチル(例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等))、3−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−アルキルオキシプロピオン酸メチル、3−アルキルオキシプロピオン酸エチル等(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等))、2−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−アルキルオキシプロピオン酸メチル、2−アルキルオキシプロピオン酸エチル、2−アルキルオキシプロピオン酸プロピル等(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル))、2−アルキルオキシ−2−メチルプロピオン酸メチル及び2−アルキルオキシ−2−メチルプロピオン酸エチル(例えば、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル等)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等が挙げられる。エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等が挙げられる。芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。また、3−メトキシ−N,N−ジメチルプロパンアミド、3−ブトキシ−N,N−ジメチルプロパンアミドも溶解性向上の観点から好ましい。有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等)は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、有機溶剤全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下、10質量ppm以下、あるいは1質量ppm以下とすることができる)。 Examples of the organic solvent include the following organic solvents. Examples of esters include ethyl acetate, -n-butyl acetate, isobutyl acetate, cyclohexyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, methyl lactate, ethyl lactate, alkyloxyoxyacetate. (For example, methyl alkyloxyacetate, ethyl alkyloxyacetate, butyl alkyloxyacetate (eg, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc.)), alkyl 3-alkyloxypropionate Esters (eg, methyl 3-alkyloxypropionate, ethyl 3-alkyloxypropionate, etc. (eg, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionate) (Ethyl, etc.)), 2-alkyloxypropionate alkyl esters (eg, methyl 2-alkyloxypropionate, ethyl 2-alkyloxypropionate, propyl 2-alkyloxypropionate, etc. (eg, methyl 2-methoxypropionate)) , 2-Methyl propionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate)), 2-alkyloxy-2-methylpropionate methyl and 2-alkyloxy-2- Ethyl methyl propionate (eg, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, etc.), methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate , 2-Oxobutanoate methyl, 2-oxobutanoate ethyl and the like. Examples of ethers include diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol. Examples thereof include monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, and propylene glycol monopropyl ether acetate. Examples of the ketones include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, 2-heptanone, 3-heptanone and the like. Preferred examples of aromatic hydrocarbons include toluene and xylene. Further, 3-methoxy-N, N-dimethylpropanamide and 3-butoxy-N, N-dimethylpropanamide are also preferable from the viewpoint of improving solubility. The organic solvent may be used alone or in combination of two or more. However, it may be better to reduce aromatic hydrocarbons (benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, etc.) as a solvent for environmental reasons (for example, 50 mass ppm (parts per) with respect to the total amount of the organic solvent. Million) or less, 10 mass ppm or less, or 1 mass ppm or less).

本発明においては、溶剤として金属含有量の少ない溶剤を用いることが好ましい。溶剤中の金属含有量は、例えば10質量ppb(parts per billion)以下であることが好ましい。必要に応じて金属含有量が質量ppt(parts per trillion)レベルの溶剤を用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している(化学工業日報、2015年11月13日)。 In the present invention, it is preferable to use a solvent having a low metal content as the solvent. The metal content in the solvent is preferably, for example, 10 mass ppb (parts per parts) or less. If necessary, a solvent having a metal content of mass ppt (parts per tension) level may be used, and such a high-purity solvent is provided by, for example, Toyo Synthetic Co., Ltd. (The Chemical Daily, November 13, 2015). Day).

溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留(分子蒸留や薄膜蒸留等)やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、10μm以下が好ましく、5μm以下がより好ましく、3μm以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。 Examples of the method for removing impurities such as metals from the solvent include distillation (molecular distillation, thin film distillation, etc.) and filtration using a filter. The filter pore diameter of the filter used for filtration is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and even more preferably 3 μm or less. The filter material is preferably polytetrafluoroethylene, polyethylene or nylon.

溶剤は、異性体(原子数が同じであるが構造が異なる化合物)が含まれていてもよい。また、異性体は、1種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。 The solvent may contain isomers (compounds having the same number of atoms but different structures). Further, only one kind of isomer may be contained, or a plurality of kinds may be contained.

本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が0.8mmol/L以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。 In the present invention, the organic solvent preferably has a peroxide content of 0.8 mmol / L or less, and more preferably contains substantially no peroxide.

溶剤の含有量は、透明層形成用組成物の全質量に対して90〜99.99質量%であることが好ましい、下限は、95質量%以上が好ましく、97質量%以上がより好ましく、99質量%以上が更に好ましい。溶剤の含有量が上記範囲であれば、透明層形成用組成物の塗布性が良好で、薄膜で、膜厚のばらつきの少ない透明層を形成しやすい。 The content of the solvent is preferably 90 to 99.99% by mass, preferably 95% by mass or more, more preferably 97% by mass or more, and 99% by mass, based on the total mass of the composition for forming a transparent layer. More preferably by mass% or more. When the content of the solvent is within the above range, the coating property of the composition for forming a transparent layer is good, and it is easy to form a transparent layer which is a thin film and has little variation in film thickness.

<<光重合開始剤>>
本発明で用いられる透明層形成用組成物が、硬化性化合物としてエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物を含有する場合、透明層形成用組成物は、更に光重合開始剤を含有することができる。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する化合物であってもよい。
<< Photopolymerization Initiator >>
When the transparent layer forming composition used in the present invention contains a compound having a group having an ethylenically unsaturated bond as a curable compound, the transparent layer forming composition further contains a photopolymerization initiator. Can be done. The photopolymerization initiator is not particularly limited and may be appropriately selected from known photopolymerization initiators. For example, a compound having photosensitivity to light rays in the ultraviolet region to the visible region is preferable. Further, it may be a compound that produces an active radical by causing some action with a photoexcited sensitizer.

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など)、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および3−アリール置換クマリン化合物が好ましく、オキシム化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光重合開始剤としては、特開2014−130173号公報の段落0065〜0111の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。 Examples of the photopolymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives (for example, compounds having a triazine skeleton, compounds having an oxadiazole skeleton, etc.), acylphosphine compounds, hexaarylbiimidazole, oxime compounds, organic peroxides, and the like. Examples thereof include thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, α-hydroxyketone compounds and α-aminoketone compounds. From the viewpoint of exposure sensitivity, the photopolymerization initiator includes trihalomethyltriazine compound, benzyldimethylketal compound, α-hydroxyketone compound, α-aminoketone compound, acylphosphine compound, phosphine oxide compound, metallocene compound, oxime compound, and triarylimidazole. Dimer, onium compounds, benzothiazole compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds, cyclopentadiene-benzene-iron complexes, halomethyloxaziazole compounds and 3-aryl substituted coumarin compounds are preferred, oxime compounds, α-hydroxyketone compounds, α- A compound selected from an aminoketone compound and an acylphosphine compound is more preferable, and an oxime compound is further preferable. As the photopolymerization initiator, the description in paragraphs 0065 to 0111 of JP-A-2014-130173 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959、IRGACURE−127(以上、BASF社製)などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、IRGACURE−907、IRGACURE−369、IRGACURE−379、及び、IRGACURE−379EG(以上、BASF社製)などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、IRGACURE−819、DAROCUR−TPO(以上、BASF社製)などが挙げられる。 Examples of commercially available α-hydroxyketone compounds include IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, and IRGACURE-127 (all manufactured by BASF). Examples of commercially available α-aminoketone compounds include IRGACURE-907, IRGACURE-369, IRGACURE-379, and IRGACURE-379EG (all manufactured by BASF). Examples of commercially available acylphosphine compounds include IRGACURE-819 and DAROCUR-TPO (all manufactured by BASF).

オキシム化合物としては、例えば、特開2001−233842号公報に記載の化合物、特開2000−80068号公報に記載の化合物、特開2006−342166号公報に記載の化合物を用いることができる。オキシム化合物の具体例としては、例えば、3−ベンゾイルオキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、および2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどが挙げられる。 As the oxime compound, for example, the compound described in JP-A-2001-233842, the compound described in JP-A-2000-80068, and the compound described in JP-A-2006-342166 can be used. Specific examples of the oxime compound include, for example, 3-benzoyloxyiminobutane-2-one, 3-acetoxyiminovtan-2-one, 3-propionyloxyiminovtan-2-one, and 2-acetoxyiminopentane-3-3. On, 2-acetoxyimino-1-phenylpropane-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropane-1-one, 3- (4-toluenesulfonyloxy) iminobutane-2-one, and 2-ethoxy Examples thereof include carbonyloxyimino-1-phenylpropan-1-one.

オキシム化合物としては、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.156−162)、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年、pp.202−232)、特開2000−66385号公報、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、特開2006−342166号公報に記載された化合物等を用いることもできる。市販品としては、IRGACURE−OXE01、IRGACURE−OXE02、IRGACURE−OXE03、IRGACURE−OXE04(以上、BASF社製)も好適に用いられる。また、TRONLY TR−PBG−304、TRONLY TR−PBG−309、TRONLY TR−PBG−305(常州強力電子新材料有限公司(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製)、アデカアークルズNCI−930、アデカオプトマーN−1919(特開2012−14052号公報の光重合開始剤2)(以上、(株)ADEKA製)を用いることができる。 Examples of the oxime compound include J. C. S. Perkin II (1979, pp. 1653-1660), J. Mol. C. S. Perkin II (1979, pp. 156-162), Journal of Photosystem Science and Technology (1995, pp. 202-232), JP-A-2000-66385, JP-A-2000-80068, JP-A-2004. Compounds and the like described in JP-A-534977 and JP-A-2006-342166 can also be used. As commercially available products, IRGACURE-OXE01, IRGACURE-OXE02, IRGACURE-OXE03, and IRGACURE-OXE04 (all manufactured by BASF) are also preferably used. In addition, TRONLY TR-PBG-304, TRONLY TR-PBG-309, TRONLY TR-PBG-305 (manufactured by Changzhou Powerful Electronic New Materials Co., Ltd. , ADEKA PUTMER N-1919 (Photopolymerization Initiator 2 of JP2012-14052A) (all manufactured by ADEKA Corporation) can be used.

また上記以外のオキシム化合物として、カルバゾール環のN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報および米国特許公開2009−292039号に記載の化合物、国際公開第2009/131189号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許第7556910号公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有し、g線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報に記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0274〜0306を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。 Further, as an oxime compound other than the above, a compound described in JP-A-2009-5199004 in which an oxime is linked to the N-position of the carbazole ring, and a compound described in US Pat. No. 7,626,957 in which a heterosubstituted group is introduced at a benzophenone moiety. , The compounds described in JP-A-2010-15025 and US Patent Publication No. 2009-292039, the keto-oxime compounds described in International Publication No. 2009/131189, the triazine skeleton and the oxime skeleton, in which a nitro group was introduced into the dye moiety. The compound described in US Pat. No. 7,556,910, which is contained in the same molecule, and the compound described in JP-A-2009-221114, which has an absorption maximum at 405 nm and has good sensitivity to a g-ray light source, are used. You may. Preferably, for example, paragraph numbers 0274 to 0306 of JP2013-29760A can be referred to, the contents of which are incorporated herein.

また、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2014−137466号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
また、光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第2015/036910号公報に記載の化合物OE−01〜OE−75が挙げられる。
Further, as the photopolymerization initiator, an oxime compound having a fluorene ring can also be used. Specific examples of the oxime compound having a fluorene ring include the compounds described in JP-A-2014-137466. This content is incorporated herein by reference.
Further, as the photopolymerization initiator, an oxime compound having a benzofuran skeleton can also be used. Specific examples thereof include compounds OE-01 to OE-75 described in International Publication No. 2015/036910.

また、光重合開始剤として、カルバゾール環の少なくとも1つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開第2013/083505号公報に記載の化合物が挙げられる。 Further, as the photopolymerization initiator, an oxime compound having a skeleton in which at least one benzene ring of the carbazole ring is a naphthalene ring can also be used. Specific examples of such an oxime compound include the compounds described in International Publication No. 2013/083505.

また、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010−262028号公報に記載の化合物、特表2014−500852号公報に記載の化合物24、36〜40、特開2013−164471号公報に記載の化合物(C−3)などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。 Further, as the photopolymerization initiator, an oxime compound having a fluorine atom can also be used. Specific examples of the oxime compound having a fluorine atom are described in the compounds described in JP-A-2010-262028, compounds 24, 36-40 described in JP-A-2014-500852, and JP-A-2013-164471. Compound (C-3) and the like. This content is incorporated herein by reference.

また、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2013−114249号公報の段落番号0031〜0047、特開2014−137466号公報の段落番号0008〜0012、0070〜0079に記載の化合物、特許第4223071号公報の段落番号0007〜0025に記載の化合物、アデカアークルズNCI−831((株)ADEKA製)などが挙げられる。 Further, as the photopolymerization initiator, an oxime compound having a nitro group can be used. The oxime compound having a nitro group is also preferably a dimer. Specific examples of the oxime compound having a nitro group include the compounds described in paragraphs 0031 to 0047 of JP2013-114249A and paragraphs 0008-0012 and 0070-0079 of JP2014-137466, and Patent No. Examples thereof include the compounds described in paragraphs 0007 to 0025 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 4223071, ADEKA ARKULS NCI-831 (manufactured by ADEKA Corporation), and the like.

本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the oxime compound preferably used in the present invention are shown below, but the present invention is not limited thereto.


オキシム化合物は、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、360nm〜480nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物は、365nmおよび405nmの吸光度が高い化合物が好ましい。 The oxime compound is preferably a compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 350 nm to 500 nm, and more preferably a compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 360 nm to 480 nm. Further, the oxime compound is preferably a compound having high absorbance at 365 nm and 405 nm.

オキシム化合物の365nmまたは405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary−5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。 From the viewpoint of sensitivity, the molar extinction coefficient of the oxime compound at 365 nm or 405 nm is preferably 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, and 5,000 to 200, It is particularly preferably 000. The molar extinction coefficient of a compound can be measured using a known method. For example, it is preferable to measure at a concentration of 0.01 g / L using an ethyl acetate solvent with an ultraviolet-visible spectrophotometer (Cary-5 spectrophotometer manufactured by Varian).

本発明は、光重合開始剤として、2官能あるいは3官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。そのような光重合開始剤の具体例としては、特表2010−527339号公報、特表2011−524436号公報、国際公開第2015/004565号公報、特表2016−532675号公報の段落番号0417〜0412、国際公開第2017/033680号公報の段落番号0039〜0055に記載されているオキシム化合物の2量体や、特表2013−522445号公報に記載されている化合物(E)および化合物(G)、国際公開2016/034963号公報に記載されているCmpd1〜7などが挙げられる。 In the present invention, a bifunctional or trifunctional or higher functional photopolymerization initiator may be used as the photopolymerization initiator. Specific examples of such a photopolymerization initiator include paragraph numbers 0417 to JP-A-2010-527339, JP-A-2011-524436, WO2015 / 004565, and JP-A-2016-532675. 0412, Dimers of oxime compounds described in paragraphs 0039 to 0055 of International Publication No. 2017/033680, and compounds (E) and compounds (G) described in Japanese Patent Publication No. 2013-522445. , Cmpd1 to 7 described in International Publication No. 2016/034963, and the like.

光重合開始剤の含有量は、透明層形成用組成物の全質量に対して3質量%以下であることが好ましく、2.5質量%以下であることがより好ましく、1.5質量%以下であることが更に好ましい。下限は、例えば、0.01質量%以上とすることもできる。また、透明層形成用組成物の全固形分中における光重合開始剤の含有量は、35質量%以下であることが好ましく、30質量%以下であることがより好ましく、25質量%以下であることが更に好ましい。下限は、5質量%以上が好ましい。
また、透明層形成用組成物は、光重合開始剤を実質的含有しないことも好ましい。なお、光重合開始剤を実質的に含有しない場合、光重合開始剤の含有量が透明層形成用組成物の全固形分に対して1質量%以下であることが好ましく、0.1質量%以下であることがより好ましく、0.01質量%以下であることが更に好ましく、含有しないことが特に好ましい。
The content of the photopolymerization initiator is preferably 3% by mass or less, more preferably 2.5% by mass or less, and 1.5% by mass or less, based on the total mass of the composition for forming a transparent layer. Is more preferable. The lower limit may be, for example, 0.01% by mass or more. The content of the photopolymerization initiator in the total solid content of the transparent layer forming composition is preferably 35% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, and more preferably 25% by mass or less. Is even more preferable. The lower limit is preferably 5% by mass or more.
It is also preferable that the composition for forming a transparent layer does not substantially contain a photopolymerization initiator. When the photopolymerization initiator is not substantially contained, the content of the photopolymerization initiator is preferably 1% by mass or less, preferably 0.1% by mass, based on the total solid content of the composition for forming a transparent layer. It is more preferably less than or equal to, more preferably 0.01% by mass or less, and particularly preferably not contained.

<<他の添加剤>>
透明層形成用組成物は、更に、シランカップリング剤、重合禁止剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等の添加剤を配合することができる。これらの他の添加剤の含有量は、透明層形成用組成物の全固形分に対して5質量%以下であることが好ましく、3質量%以下であることがより好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。なお、他の添加剤を実質的に含有しない場合、他の添加剤の含有量が透明層形成用組成物の全固形分に対して0.01質量%以下であることが好ましく、0.005質量%以下であることがより好ましく、0.001質量%以下であることが更に好ましく、含有しないことが特に好ましい。
<< Other additives >>
The transparent layer forming composition can further contain additives such as a silane coupling agent, a polymerization inhibitor, an antioxidant, an ultraviolet absorber, and an antiaggregating agent. The content of these other additives is preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, and 1% by mass or less, based on the total solid content of the composition for forming a transparent layer. It is more preferable that it is present, and it is particularly preferable that it is not substantially contained. When substantially no other additive is contained, the content of the other additive is preferably 0.01% by mass or less based on the total solid content of the composition for forming a transparent layer, preferably 0.005. It is more preferably 0% by mass or less, further preferably 0.001% by mass or less, and particularly preferably not contained.

<画素形成用組成物>
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法で用いられる画素形成用組成物について説明する。本発明で用いられる画素形成用組成物としては、カラーフィルタにおける着色画素の形成用の組成物であることが好ましい。着色画素としては、赤色画素、青色画素、緑色画素、イエロー画素、マゼンタ画素、シアン画素等が挙げられる。
<Pixel forming composition>
Next, the pixel forming composition used in the method for producing a color filter of the present invention will be described. The pixel-forming composition used in the present invention is preferably a composition for forming colored pixels in a color filter. Examples of the colored pixel include a red pixel, a blue pixel, a green pixel, a yellow pixel, a magenta pixel, and a cyan pixel.

<<着色剤>>
画素形成用組成物は、着色剤を含有することが好ましい。着色剤としては、有彩色着色剤、黒色着色剤が挙げられる。有彩色着色剤としては、黄色着色剤、オレンジ色着色剤、赤色着色剤、緑色着色剤、紫色着色剤、青色着色剤などが挙げられる。有彩色着色剤の具体例として、以下を挙げることができる。
<< Colorant >>
The pixel-forming composition preferably contains a colorant. Examples of the colorant include a chromatic colorant and a black colorant. Examples of the chromatic colorant include a yellow colorant, an orange colorant, a red colorant, a green colorant, a purple colorant, and a blue colorant. Specific examples of the chromatic colorant include the following.

カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214(以上、黄色顔料);
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73(以上、オレンジ色顔料);
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279(以上、赤色顔料);
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59(以上、緑色顔料);
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42,58,59(以上、紫色顔料);
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80(以上、青色顔料)。
Color Index (CI) Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34, 35,35: 1,36,36: 1,37,37: 1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86, 93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128, 129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174 175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214 (above, yellow pigment);
C. I. Pigment Orange 2,5,13,16,17: 1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73 ( Above, orange pigment);
C. I. Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48: 1,48: 2,48: 3,48: 4, 49,49: 1,49: 2,52: 1,52: 2,53: 1,57: 1,60: 1,63: 1,66,67,81: 1,81: 2,81: 3, 83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184 185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279 (above, red pigment) );
C. I. Pigment Green 7,10,36,37,58,59 (above, green pigment);
C. I. Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42,58,59 (above, purple pigment);
C. I. Pigment Blue 1,2,15,15: 1,15: 2,15: 3,15: 4,15: 6,16,22,60,64,66,79,80 (above, blue pigment).

また、緑色着色剤として、分子中のハロゲン原子数が平均10〜14個であり、臭素原子数が平均8〜12個であり、塩素原子数が平均2〜5個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることも可能である。具体例としては、国際公開第2015/118720号公報に記載された化合物が挙げられる。 Further, as a green colorant, a halogenated zinc phthalocyanine pigment having an average of 10 to 14 halogen atoms in a molecule, an average of 8 to 12 bromine atoms, and an average of 2 to 5 chlorine atoms. It is also possible to use. Specific examples include the compounds described in WO 2015/118720.

また、青色着色剤として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開2012−247591号公報の段落番号0022〜0030、特開2011−157478号公報の段落番号0047に記載された化合物などが挙げられる。 Further, as the blue colorant, an aluminum phthalocyanine compound having a phosphorus atom can also be used. Specific examples include the compounds described in paragraph numbers 0022 to 0030 of JP2012-247591A and paragraph numbers 0047 of JP2011-157478A.

また、黄色着色剤として、特開2013−54339号公報の段落番号0011〜0034に記載のキノフタロン化合物、特開2014−26228号公報の段落番号0013〜0058に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。 Further, as the yellow colorant, the quinophthalone compounds described in paragraphs 0011 to 0034 of JP2013-54339A, the quinophthalone compounds described in paragraphs 0013 to 0058 of JP2014-262228, and the like can also be used. ..

有彩色着色剤として染料を用いることもできる。染料としては、例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、米国特許第4808501号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に開示されている染料が挙げられる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等が挙げられる。 Dyes can also be used as the chromatic colorant. Examples of the dye include JP-A-64-90403, JP-A-64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, US Pat. No. 4,808,501, JP-A-5. Examples thereof include dyes disclosed in JP-A-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115, JP-A-6-194828, and the like. When classified as a chemical structure, pyrazole azo compound, pyromethene compound, anilino azo compound, triarylmethane compound, anthraquinone compound, benzylidene compound, oxonor compound, pyrazorotriazole azo compound, pyridone azo compound, cyanine compound, phenothiazine compound, pyropyrazole azomethin compound, etc. Can be mentioned.

また、着色剤として色素多量体を用いてもよい。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は、色素多量体を溶剤などに分散して用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができる。粒子状態の色素多量体としては、例えば、特開2015−214682号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、色素多量体として、特開2011−213925号公報、特開2013−041097号公報、特開2015−028144号公報、特開2015−030742号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。 Moreover, you may use a dye multimer as a colorant. The dye multimer is preferably a dye that is used by being dissolved in a solvent, but may form particles. When the dye multimer is a particle, the dye multimer is used by dispersing it in a solvent or the like. The pigment multimer in the particle state can be obtained, for example, by emulsion polymerization. Examples of the pigment multimer in the particle state include compounds described in JP-A-2015-214682. Further, as the dye multimer, compounds described in JP-A-2011-213925, JP-A-2013-041097, JP-A-2015-028144, JP-A-2015-030742 and the like can also be used. ..

黒色着色剤としては、カーボンブラック、チタンブラック等の無機系黒色着色剤や、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物などの有機系黒色着色剤が挙げられる。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表2010−534726号公報、特表2012−515233号公報、特表2012−515234号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、BASF社製の「Irgaphor Black」として入手可能である。ペリレン化合物としては、C.I.Pigment Black 31、32などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平1−170601号公報、特開平2−34664号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックA1103」として入手できる。 Examples of the black colorant include inorganic black colorants such as carbon black and titanium black, and organic black colorants such as bisbenzofuranone compounds, azomethine compounds, and perylene compounds. Examples of the bisbenzofuranone compound include the compounds described in JP-A-2010-534726, JP-A-2012-515233, and JP-A-2012-515234. For example, as "Irgaphor Black" manufactured by BASF. It is available. Examples of the perillene compound include C.I. I. Pigment Black 31, 32 and the like can be mentioned. Examples of the azomethine compound include those described in JP-A-1-170601 and JP-A-2-34664, and are available as, for example, "Chromofine Black A1103" manufactured by Dainichiseika.

着色剤の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対して、30質量%以上であることが好ましく、40質量%以上がより好ましく、50質量%以上がさらに好ましく、55質量%以上がより一層好ましく、60質量%以上が更に一層好ましく、65質量%以上が特に好ましい。上限は、80質量%以下であることが好ましく、75質量%以下がより好ましく、70質量%以下がさらに好ましい。画素形成用組成物に含まれる着色剤は、1種であってもよく、2種以上であってもよい。着色剤が2種以上含まれる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。 The content of the colorant is preferably 30% by mass or more, more preferably 40% by mass or more, further preferably 50% by mass or more, and 55% by mass or more, based on the total solid content of the pixel-forming composition. Is even more preferable, 60% by mass or more is even more preferable, and 65% by mass or more is particularly preferable. The upper limit is preferably 80% by mass or less, more preferably 75% by mass or less, and even more preferably 70% by mass or less. The colorant contained in the pixel forming composition may be one kind or two or more kinds. When two or more kinds of colorants are contained, the total amount is preferably in the above range.

<<重合性化合物>>
画素形成用組成物は重合性化合物を含有することができる。重合性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物などが挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、100〜3000が好ましい。上限は、2000以下がより好ましく、1500以下が更に好ましい。下限は、150以上がより好ましく、250以上が更に好ましい。重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落番号0095〜0108、特開2013−29760号公報の段落0227、特開2008−292970号公報の段落番号0254〜0257に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、重合性化合物としては、上述した透明層形成用組成物の項で説明したエチレン性不飽和結合を有する基を有する化合物(例えば、モノマーA)を好ましく用いることもできる。
<< Polymerizable compound >>
The pixel-forming composition can contain a polymerizable compound. As the polymerizable compound, a known compound that can be crosslinked by radicals, acids, or heat can be used. Examples of the polymerizable compound include compounds having a group having an ethylenically unsaturated bond.
Examples of the group having an ethylenically unsaturated bond include a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group.
The polymerizable compound is more preferably a radically polymerizable compound. The polymerizable compound may be in any chemical form such as a monomer, a prepolymer or an oligomer, but a monomer is preferable. The molecular weight of the polymerizable compound is preferably 100 to 3000. The upper limit is more preferably 2000 or less, and even more preferably 1500 or less. The lower limit is more preferably 150 or more, and even more preferably 250 or more. The polymerizable compound is preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 15 functionalities, and more preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 6 functionalities. Specific examples of these compounds are described in paragraphs 0905 to 0108 of JP2009-288705A, paragraph 0227 of JP2013-29760A, and paragraphs 0254 to 0257 of JP2008-292970. Compounds are mentioned and these contents are incorporated herein. Further, as the polymerizable compound, a compound having a group having an ethylenically unsaturated bond described in the above-mentioned section of the composition for forming a transparent layer (for example, monomer A) can also be preferably used.

重合性化合物の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対し、0.1〜50質量%が好ましい。下限は、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましい。上限は、45質量%以下がより好ましく、40質量%以下が更に好ましい。重合性化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。 The content of the polymerizable compound is preferably 0.1 to 50% by mass with respect to the total solid content of the pixel-forming composition. The lower limit is more preferably 0.5% by mass or more, and further preferably 1% by mass or more. The upper limit is more preferably 45% by mass or less, and further preferably 40% by mass or less. The polymerizable compound may be used alone or in combination of two or more. When two or more types are used in combination, the total amount is preferably in the above range.

<<光重合開始剤>>
画素形成用組成物は、光重合開始剤を含有することができる。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。これらの詳細については、上述した透明層形成用組成物の項で説明した光重合開始剤が挙げられる。光重合開始剤の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、0.5〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が更に好ましい。光重合開始剤は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<< Photopolymerization Initiator >>
The pixel-forming composition can contain a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited and may be appropriately selected from known photopolymerization initiators. Examples of these details include the photopolymerization initiator described in the section of the composition for forming a transparent layer described above. The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 0.5 to 30% by mass, still more preferably 1 to 20% by mass, based on the total solid content of the pixel-forming composition. The photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more. When two or more types are used in combination, the total amount is preferably in the above range.

<<エポキシ基を有する化合物>>
画素形成用組成物は、エポキシ基を有する化合物を含有することができる。この態様によれば、膜の機械強度などを向上できる。エポキシ基を有する化合物としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物が好ましい。エポキシ基の上限は、100個以下であることが好ましく、10個以下であることがより好ましく、5個以下であることが更に好ましい。
<< Compound with epoxy group >>
The pixel-forming composition can contain a compound having an epoxy group. According to this aspect, the mechanical strength of the film can be improved. As the compound having an epoxy group, a compound having two or more epoxy groups in one molecule is preferable. The upper limit of the epoxy group is preferably 100 or less, more preferably 10 or less, and further preferably 5 or less.

エポキシ基を有する化合物は、芳香族環および/または脂肪族環を有する構造の化合物であることが好ましく、脂肪族環を有する構造の化合物であることが更に好ましい。エポキシ基は、単結合または、連結基を介して、芳香族環および/または脂肪族環に結合していることが好ましい。連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、−NR’−(R’は、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基または置換基を有していてもよいアリール基を表し、水素原子が好ましい)、−SO−、−CO−、−COO−、−OCO−、−O−、−S−およびこれらを組み合わせてなる基が挙げられる。
脂肪族環を有する化合物の場合、エポキシ基は、脂肪族環に直接結合(単結合)してなる化合物が好ましい。芳香族環を有する化合物の場合、エポキシ基は、芳香族環に、連結基を介して結合してなる化合物が好ましい。連結基は、アルキレン基、または、アルキレン基と−O−との組み合わせからなる基が好ましい。
また、エポキシ基を有する化合物は、2以上の芳香族環が炭化水素基で連結した構造を有する化合物を用いることもできる。炭化水素基は、炭素数1〜6のアルキレン基が好ましい。エポキシ基は、上記連結基を介して連結していることが好ましい。
The compound having an epoxy group is preferably a compound having a structure having an aromatic ring and / or an aliphatic ring, and more preferably a compound having a structure having an aliphatic ring. The epoxy group is preferably attached to the aromatic ring and / or the aliphatic ring via a single bond or a linking group. As the linking group, an alkylene group, an arylene group, and -NR'-(R'represents a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent or an aryl group which may have a substituent, and hydrogen. Atoms are preferred), -SO 2- , -CO-, -COO-, -OCO-, -O-, -S- and groups consisting of a combination thereof.
In the case of a compound having an aliphatic ring, the epoxy group is preferably a compound directly bonded (single bond) to the aliphatic ring. In the case of a compound having an aromatic ring, the epoxy group is preferably a compound formed by bonding to the aromatic ring via a linking group. The linking group is preferably an alkylene group or a group composed of a combination of an alkylene group and —O—.
Further, as the compound having an epoxy group, a compound having a structure in which two or more aromatic rings are linked by a hydrocarbon group can also be used. The hydrocarbon group is preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. The epoxy group is preferably linked via the linking group.

エポキシ基を有する化合物は、エポキシ当量(=エポキシ基を有する化合物の分子量/エポキシ基の数)が500g/eq以下であることが好ましく、100〜400g/eqであることがより好ましく、100〜300g/eqであることがさらに好ましい。 The epoxy equivalent (= molecular weight of the compound having an epoxy group / number of epoxy groups) of the compound having an epoxy group is preferably 500 g / eq or less, more preferably 100 to 400 g / eq, and 100 to 300 g. It is more preferably / eq.

エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物(例えば、分子量1000未満)でもよいし、高分子化合物(macromolecule)(例えば、分子量1000以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が1000以上)のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の分子量(ポリマーの場合は、重量平均分子量)は、200〜100000が好ましく、500〜50000がより好ましい。分子量(ポリマーの場合は、重量平均分子量)の上限は、3000以下が好ましく、2000以下がより好ましく、1500以下が更に好ましい。 The compound having an epoxy group may be either a low molecular weight compound (for example, a molecular weight of less than 1000) or a high molecular weight compound (macromethylule) (for example, a molecular weight of 1000 or more, and in the case of a polymer, a weight average molecular weight of 1000 or more). .. The molecular weight of the compound having an epoxy group (in the case of a polymer, the weight average molecular weight) is preferably 200 to 100,000, more preferably 500 to 50,000. The upper limit of the molecular weight (in the case of a polymer, the weight average molecular weight) is preferably 3000 or less, more preferably 2000 or less, and further preferably 1500 or less.

エポキシ基を有する化合物は、特開2013−011869号公報の段落番号0034〜0036、特開2014−043556号公報の段落番号0147〜0156、特開2014−089408号公報の段落番号0085〜0092に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。市販品としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、jER825、jER827、jER828、jER834、jER1001、jER1002、jER1003、jER1055、jER1007、jER1009、jER1010(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON860、EPICLON1050、EPICLON1051、EPICLON1055(以上、DIC(株)製)等であり、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、jER806、jER807、jER4004、jER4005、jER4007、jER4010(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON830、EPICLON835(以上、DIC(株)製)、LCE−21、RE−602S(以上、日本化薬(株)製)等であり、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、jER152、jER154、jER157S70、jER157S65(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON N−740、EPICLON N−770、EPICLON N−775(以上、DIC(株)製)等であり、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、EPICLON N−660、EPICLON N−665、EPICLON N−670、EPICLON N−673、EPICLON N−680、EPICLON N−690、EPICLON N−695(以上、DIC(株)製)、EOCN−1020(日本化薬(株)製)等であり、脂肪族エポキシ樹脂としては、ADEKA RESIN EP−4080S、同EP−4085S、同EP−4088S(以上、(株)ADEKA製)、セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド2083、セロキサイド2085、EHPE3150、EPOLEAD PB 3600、同PB 4700(以上、(株)ダイセル製)、デナコール EX−212L、EX−214L、EX−216L、EX−321L、EX−850L(以上、ナガセケムテックス(株)製)等である。その他にも、ADEKA RESIN EP−4000S、同EP−4003S、同EP−4010S、同EP−4011S(以上、(株)ADEKA製)、NC−2000、NC−3000、NC−7300、XD−1000、EPPN−501、EPPN−502(以上、(株)ADEKA製)、jER1031S(三菱化学(株)製)等が挙げられる。 Compounds having an epoxy group are described in paragraphs 0034 to 0036 of JP2013-011869, paragraphs 0147 to 0156 of JP2014-043556, and paragraph numbers 0085-0092 of JP2014-089408. It is also possible to use the compound. These contents are incorporated in the present specification. As commercially available products, for example, as bisphenol A type epoxy resins, jER825, jER827, jER828, jER834, jER1001, jER1002, jER1003, jER1055, jER1007, jER1009, jER1010 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), EPICLON860, EPICLON1050 , EPICLON1051, EPICLON1055 (all manufactured by DIC Corporation), etc., and examples of the bisphenol F type epoxy resin include jER806, jER807, jER4004, jER4005, jER4007, jER4010 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), EPICLON830, and EPICLON835. (Above, manufactured by DIC Corporation), LCE-21, RE-602S (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), etc. As phenol novolac type epoxy resins, jER152, jER154, jER157S70, jER157S65 (above, Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), EPICLON N-740, EPICLON N-770, EPICLON N-775 (all manufactured by DIC Corporation), etc. As cresol novolac type epoxy resins, EPICLON N-660 and EPICLON N -665, EPICLON N-670, EPICLON N-673, EPICLON N-680, EPICLON N-690, EPICLON N-695 (all manufactured by DIC Corporation), EOCN-1020 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), etc. As the aliphatic epoxy resin, ADEKA RESIN EP-4080S, EP-4085S, EP-4088S (all manufactured by ADEKA Co., Ltd.), celoxide 2021P, celoxide 2081, celoxide 2083, celoxide 2085, EHPE3150, EPOLEAD. PB 3600, PB 4700 (manufactured by DIC CORPORATION), Denacol EX-212L, EX-214L, EX-216L, EX-321L, EX-850L (manufactured by Nagase ChemteX Corporation), etc. .. In addition, ADEKA RESIN EP-4000S, EP-4003S, EP-4010S, EP-4011S (all manufactured by ADEKA Corporation), NC-2000, NC-3000, NC-7300, XD-1000, Examples thereof include EPPN-501, EPPN-502 (all manufactured by ADEKA Corporation), jER1031S (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.

エポキシ基を有する化合物の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対し、0.1〜40質量%が好ましい。下限は、例えば0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましい。上限は、例えば、30質量%以下がより好ましく、20質量%以下が更に好ましい。エポキシ基を有する化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。また、重合性化合物と、エポキシ基を有する化合物とを併用する場合、両者の割合(質量比)は、重合性化合物の質量:エポキシ基を有する化合物の質量=100:1〜100:400が好ましく、100:1〜100:100がより好ましく、100:1〜100:50がさらに好ましい。 The content of the compound having an epoxy group is preferably 0.1 to 40% by mass with respect to the total solid content of the pixel-forming composition. The lower limit is, for example, more preferably 0.5% by mass or more, further preferably 1% by mass or more. The upper limit is, for example, more preferably 30% by mass or less, further preferably 20% by mass or less. The compound having an epoxy group may be used alone or in combination of two or more. When two or more types are used in combination, the total amount is preferably in the above range. When the polymerizable compound and the compound having an epoxy group are used in combination, the ratio (mass ratio) of the two is preferably mass of the polymerizable compound: mass of the compound having an epoxy group = 100: 1 to 100: 400. , 100: 1 to 100: 100 is more preferable, and 100: 1 to 100: 50 is even more preferable.

<<樹脂>>
画素形成用組成物は樹脂を含有することができる。樹脂としては、(メタ)アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。樹脂の重量平均分子量(Mw)は、5000〜100,000が好ましい。また、樹脂の数平均分子量(Mn)は、1000〜20,000が好ましい。
<< Resin >>
The pixel-forming composition can contain a resin. Examples of the resin include (meth) acrylic resin, en-thiol resin, polycarbonate resin, polyether resin, polyarylate resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene resin, polyarylene ether phosphine oxide resin, polyimide resin, and polyamideimide resin. , Polyolefin resin, cyclic olefin resin, polyester resin, styrene resin, siloxane resin and the like. The resin is blended, for example, for the purpose of dispersing particles such as pigments in the composition and for the purpose of a binder. A resin mainly used for dispersing particles such as pigments is also referred to as a dispersant. However, such an application of the resin is an example, and it can be used for a purpose other than such an application. The weight average molecular weight (Mw) of the resin is preferably 5000 to 100,000. The number average molecular weight (Mn) of the resin is preferably 1000 to 20,000.

本発明において、樹脂として酸基を有する樹脂を用いることも好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する樹脂の酸価としては、25〜200mgKOH/gであることが好ましい。下限は、30mgKOH/g以上がより好ましく、40mgKOH/g以上が更に好ましい。上限は、150mgKOH/g以下がより好ましく、120mgKOH/g以下が更に好ましく、100mgKOH/g以下が特に好ましい。酸基を有する樹脂は、アルカリ可溶性樹脂として好ましく用いることができる。 In the present invention, it is also preferable to use a resin having an acid group as the resin. Examples of the acid group include a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfo group, a phenolic hydroxyl group and the like, and a carboxyl group is preferable. The acid value of the resin having an acid group is preferably 25 to 200 mgKOH / g. The lower limit is more preferably 30 mgKOH / g or more, and further preferably 40 mgKOH / g or more. The upper limit is more preferably 150 mgKOH / g or less, further preferably 120 mgKOH / g or less, and particularly preferably 100 mgKOH / g or less. A resin having an acid group can be preferably used as an alkali-soluble resin.

本発明において、樹脂としてエチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂を用いることも好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基を有する樹脂としては、上述した透明層形成用組成物の項で説明した樹脂Aを用いることもできる。 In the present invention, it is also preferable to use a resin having a group having an ethylenically unsaturated bond as the resin. As the resin having a group having an ethylenically unsaturated bond, the resin A described in the above-mentioned section of the composition for forming a transparent layer can also be used.

本発明において、分散剤として樹脂を用いることもできる。分散剤としては、特開2015−151530号公報の段落0173〜0179に記載された顔料分散剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。分散剤の市販品としては、例えば、Disperbyk−161(BYKChemie社製)などが挙げられる。また、特開2012−137564号公報の段落番号0129に記載された製品を分散剤として用いることもできる。 In the present invention, a resin can also be used as the dispersant. Examples of the dispersant include pigment dispersants described in paragraphs 0173 to 0179 of JP-A-2015-151530, the contents of which are incorporated in the present specification. Examples of commercially available dispersants include Disperbyk-161 (manufactured by BYK Chemie). Further, the product described in paragraph No. 0129 of JP2012-137564A can also be used as a dispersant.

樹脂の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対し、1〜80質量%であることが好ましい。下限は、5質量%以上であることがより好ましく、10質量%以上がさらに好ましい。上限は、70質量%以下であることがより好ましく、60質量%以下がさらに好ましい。 The content of the resin is preferably 1 to 80% by mass with respect to the total solid content of the pixel-forming composition. The lower limit is more preferably 5% by mass or more, and further preferably 10% by mass or more. The upper limit is more preferably 70% by mass or less, and further preferably 60% by mass or less.

<<溶剤>>
画素形成用組成物は溶剤を含有することが好ましい。溶剤としては、上述した透明層形成用組成物の項で説明した溶剤などが挙げられる。溶剤の含有量は、画素形成用組成物の全固形分が5〜80質量%となる量が好ましい。下限は10質量%以上が好ましい。上限は、60質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましく、40質量%以下がさらに好ましい。
<< Solvent >>
The pixel-forming composition preferably contains a solvent. Examples of the solvent include the solvent described in the above-mentioned section of the composition for forming a transparent layer. The content of the solvent is preferably such that the total solid content of the pixel-forming composition is 5 to 80% by mass. The lower limit is preferably 10% by mass or more. The upper limit is preferably 60% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, and even more preferably 40% by mass or less.

<<界面活性剤>>
画素形成用組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、上述した透明層形成用組成物の項で説明した界面活性剤が挙げられ、フッ素系界面活性剤が好ましい。界面活性剤の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%が好ましく、0.005〜1.0質量%がより好ましい。界面活性剤は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
<< Surfactant >>
The pixel-forming composition can contain a surfactant. Examples of the surfactant include the surfactant described in the above-mentioned section of the composition for forming a transparent layer, and a fluorine-based surfactant is preferable. The content of the surfactant is preferably 0.001 to 2.0% by mass, more preferably 0.005 to 1.0% by mass, based on the total solid content of the pixel-forming composition. The surfactant may be used alone or in combination of two or more. When two or more types are used in combination, the total amount is preferably in the above range.

<<顔料誘導体>>
画素形成用組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アンスラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開2011−252065号公報の段落番号0162〜0183の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。画素形成用組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料100質量部に対し、1〜30質量部が好ましく、3〜20質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
<< Pigment derivative >>
The pixel-forming composition can contain a pigment derivative. Examples of the pigment derivative include compounds having a structure in which a part of the chromophore is replaced with an acid group, a basic group or a phthalimide methyl group. The colorants constituting the pigment derivative include quinoline skeleton, benzoimidazolone skeleton, diketopyrrolopyrrole skeleton, azo skeleton, phthalocyanine skeleton, anthracinone skeleton, quinacridone skeleton, dioxazine skeleton, and perinone skeleton. Skeletons, perylene skeletons, thioindigo skeletons, isoindolin skeletons, isoindolinone skeletons, quinophthalone skeletons, slene skeletons, metal complex skeletons, etc., quinoline skeletons, benzoimidazolone skeletons, diketo Pyrrolopyrrole skeleton, azo skeleton, quinophthalone skeleton, isoindolin skeleton and phthalocyanine skeleton are preferable, and azo skeleton and benzoimidazolone skeleton are more preferable. As the acid group contained in the pigment derivative, a sulfo group and a carboxyl group are preferable, and a sulfo group is more preferable. As the basic group contained in the pigment derivative, an amino group is preferable, and a tertiary amino group is more preferable. As a specific example of the pigment derivative, for example, the description in paragraphs 0162 to 0183 of JP-A-2011-52065 can be referred to, and this content is incorporated in the present specification. When the composition for forming a pixel contains a pigment derivative, the content of the pigment derivative is preferably 1 to 30 parts by mass, more preferably 3 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment. Only one kind of pigment derivative may be used, or two or more kinds may be used in combination.

<<シランカップリング剤>>
画素形成用組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応および/または縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられる。シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも1種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の詳細については、特開2013−254047号公報の段落番号0155〜0158の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。画素形成用組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対して、0.001〜20質量%が好ましく、0.01〜10質量%がより好ましく、0.1〜5質量%が特に好ましい。画素形成用組成物は、シランカップリング剤を1種のみ含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。
<< Silane Coupling Agent >>
The pixel-forming composition can contain a silane coupling agent. In the present invention, the silane coupling agent means a silane compound having a hydrolyzable group and other functional groups. Further, the hydrolyzable group refers to a substituent that is directly linked to a silicon atom and can form a siloxane bond by a hydrolysis reaction and / or a condensation reaction. Examples of the hydrolyzable group include a halogen atom, an alkoxy group, an acyloxy group and the like. The silane coupling agent has at least one group selected from a vinyl group, an epoxy group, a methacryl group, an amino group, an isocyanurate group, a ureido group, a mercapto group, a sulfide group, and an isocyanate group, and an alkoxy group. Silane compounds are preferred. For details of the silane coupling agent, the description in paragraphs 0155 to 0158 of JP2013-254847A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. When the pixel-forming composition contains a silane coupling agent, the content of the silane coupling agent is preferably 0.001 to 20% by mass, preferably 0.01, based on the total solid content of the pixel-forming composition. 10% by mass is more preferable, and 0.1 to 5% by mass is particularly preferable. The pixel-forming composition may contain only one type of silane coupling agent, or may contain two or more types of silane coupling agent.

<<重合禁止剤>>
画素形成用組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)等が挙げられる。画素形成用組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、画素形成用組成物の全固形分に対して、0.01〜5質量%が好ましい。画素形成用組成物は、重合禁止剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。
<< Polymerization inhibitor >>
The pixel-forming composition can contain a polymerization inhibitor. Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), and the like. Examples thereof include 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol) and N-nitrosophenylhydroxyamine salts (ammonium salt, primary cerium salt, etc.). When the pixel-forming composition contains a polymerization inhibitor, the content of the polymerization inhibitor is preferably 0.01 to 5% by mass with respect to the total solid content of the pixel-forming composition. The pixel-forming composition may contain only one type of polymerization inhibitor, or may contain two or more types of polymerization inhibitors.

<<その他の添加剤>>
画素形成用組成物は、更に、紫外線吸収剤、酸化防止剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等の他の添加剤を更に配合することができる。これらの他の添加剤としては、特開2016−102191号公報の段落番号0164〜0300に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
<< Other additives >>
The pixel-forming composition can further contain other additives such as an ultraviolet absorber, an antioxidant, a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, and an antioxidant. Examples of these other additives include the additives described in paragraphs 0164 to 0300 of JP2016-102191A, the contents of which are incorporated in the present specification.

<カラーフィルタ>
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、支持体上に、第1の画素と、この第1の画素とは異なる色の第2の画素とを有し、第1の画素の表面に平均厚さ300nm以下の透明層を有し、第2の画素と支持体との間に平均厚さ300nm以下の透明層を有することを特徴とする。
<Color filter>
Next, the color filter of the present invention will be described. The color filter of the present invention has a first pixel on a support and a second pixel having a color different from that of the first pixel, and has an average thickness of 300 nm or less on the surface of the first pixel. It has a transparent layer, and has a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less between the second pixel and the support.

図3をあわせて参照すると、第1の画素2の厚さは、0.1〜10.0μmであることが好ましい。上限は、5.0μm以下であることが好ましく、2.0μm以下であることがより好ましく、1.0μm以下であることが更に好ましい。下限は、0.3μm以上であることが好ましく、0.4μm以上であることがより好ましい。また、第1の画素2の表面に形成されている透明層3の平均厚さは、5〜300nmであることが好ましく、5〜100nmであることがより好ましく、5〜50nmであることが更に好ましい。また、第1の画素2の厚さは、第1の画素2の表面に形成されている透明層3の平均厚さの2〜1000倍であることが好ましく、4〜400倍であることがより好ましく、8〜200倍であることが更に好ましい。 With reference to FIG. 3, the thickness of the first pixel 2 is preferably 0.1 to 10.0 μm. The upper limit is preferably 5.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or less, and further preferably 1.0 μm or less. The lower limit is preferably 0.3 μm or more, and more preferably 0.4 μm or more. The average thickness of the transparent layer 3 formed on the surface of the first pixel 2 is preferably 5 to 300 nm, more preferably 5 to 100 nm, and further preferably 5 to 50 nm. preferable. Further, the thickness of the first pixel 2 is preferably 2 to 1000 times, preferably 4 to 400 times, the average thickness of the transparent layer 3 formed on the surface of the first pixel 2. More preferably, it is 8 to 200 times more preferably.

第2の画素4の厚さは、0.1〜10.0μmであることが好ましい。上限は、5.0μm以下であることが好ましく、2.0μm以下であることがより好ましく、1.0μm以下であることが更に好ましい。下限は、0.3μm以上であることが好ましく、0.4μm以上であることがより好ましい。また、第2の画素4と支持体1との間に形成されている透明層3の平均厚さは、5〜300nmであることが好ましく、5〜100nmであることがより好ましく、5〜50nmであることが更に好ましい。また、第2の画素4の厚さは、第2の画素4と支持体1との間に形成されている透明層3の平均厚さの2〜1000倍であることが好ましく、4〜400倍であることがより好ましく、8〜200倍であることが更に好ましい。 The thickness of the second pixel 4 is preferably 0.1 to 10.0 μm. The upper limit is preferably 5.0 μm or less, more preferably 2.0 μm or less, and further preferably 1.0 μm or less. The lower limit is preferably 0.3 μm or more, and more preferably 0.4 μm or more. The average thickness of the transparent layer 3 formed between the second pixel 4 and the support 1 is preferably 5 to 300 nm, more preferably 5 to 100 nm, and more preferably 5 to 50 nm. Is more preferable. Further, the thickness of the second pixel 4 is preferably 2 to 1000 times the average thickness of the transparent layer 3 formed between the second pixel 4 and the support 1, and is 4 to 400 times. It is more preferably double, and even more preferably 8 to 200 times.

本発明のカラーフィルタは、第1の画素と第2の画素との間に平均厚さ300nm以下の透明層を有することが好ましい。第1の画素と第2の画素の間にある透明層の平均厚さは、5〜300nmであることが好ましく、5〜100nmであることがより好ましく、5〜50nmであることが更に好ましい。 The color filter of the present invention preferably has a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less between the first pixel and the second pixel. The average thickness of the transparent layer between the first pixel and the second pixel is preferably 5 to 300 nm, more preferably 5 to 100 nm, and even more preferably 5 to 50 nm.

なお、本発明のカラーフィルタにおいて、第1の画素の表面に形成されている透明層の平均厚さとは、前述の透明層の任意の3か所の厚さの平均値である。また、第2の画素4と支持体との間に形成されている透明層の平均厚さとは、前述の透明層の任意の3か所の厚さの平均値である。また、第1の画素と第2の画素との間に形成されている透明層の平均厚さとは、前述の透明層の任意の3か所の厚さの平均値である。また、透明層の厚さは、支持体に対して垂直に切断した断面の走査型電子顕微鏡(SEM)像から測定することができる。第1の画素および第2の画素の厚さについても同様である。 In the color filter of the present invention, the average thickness of the transparent layer formed on the surface of the first pixel is the average value of the thicknesses of the above-mentioned transparent layers at any three locations. Further, the average thickness of the transparent layer formed between the second pixel 4 and the support is an average value of the thicknesses of any three places of the transparent layer described above. Further, the average thickness of the transparent layer formed between the first pixel and the second pixel is an average value of the thicknesses of any three places of the transparent layer described above. In addition, the thickness of the transparent layer can be measured from a scanning electron microscope (SEM) image of a cross section cut perpendicular to the support. The same applies to the thickness of the first pixel and the second pixel.

本発明のカラーフィルタにおいて、第1の画素および第2の画素の少なくとも一方は、着色剤を55質量%以上含有することが好ましく、少なくとも第2の画素が着色剤を55質量%以上含有することがより好ましく、第1の画素および第2の画素の両方が着色剤を55質量%以上含有することが更に好ましい。 In the color filter of the present invention, at least one of the first pixel and the second pixel preferably contains 55% by mass or more of a colorant, and at least the second pixel contains 55% by mass or more of a colorant. It is more preferable that both the first pixel and the second pixel contain 55% by mass or more of the colorant.

本発明のカラーフィルタは、さらに保護層などの機能層が形成されていてもよい。本発明のカラーフィルタは、CCD(電荷結合素子)やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)などの固体撮像素子や、画像表示装置などに用いることができる。 The color filter of the present invention may be further formed with a functional layer such as a protective layer. The color filter of the present invention can be used for a solid-state image sensor such as a CCD (charge coupling element) or CMOS (complementary metal oxide semiconductor), an image display device, or the like.

<固体撮像素子の製造方法>
本発明の固体撮像素子の製造方法は、上述した本発明のカラーフィルタの製造方法を含む。固体撮像素子の構成としては、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
<Manufacturing method of solid-state image sensor>
The method for manufacturing a solid-state image sensor of the present invention includes the above-mentioned method for manufacturing a color filter of the present invention. The configuration of the solid-state image sensor is not particularly limited as long as it functions as a solid-state image sensor, and examples thereof include the following configurations.

基板上に、固体撮像素子(CCD(電荷結合素子)イメージセンサ、CMOS(相補型金属酸化膜半導体)イメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上にカラーフィルタを有する構成が挙げられる。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下(基板に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器(携帯電話等)の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。 On the substrate, there are a plurality of photodiodes constituting the light receiving area of a solid-state image sensor (CCD (charge coupling element) image sensor, CMOS (complementary metal oxide semiconductor) image sensor, etc.) and a transfer electrode made of polysilicon or the like. A device protective film made of silicon nitride or the like formed on the photodiode and the transfer electrode so as to have a light-shielding film in which only the light receiving portion of the photodiode is opened, and to cover the entire surface of the light-shielding film and the light-receiving part of the photodiode. And has a color filter on the device protective film. Further, a configuration having a condensing means (for example, a microlens or the like; the same applies hereinafter) on the device protective film under the color filter (near the substrate), a configuration having a condensing means on the color filter, and the like. There may be. An image pickup device provided with a solid-state image sensor can be used not only for a digital camera and an electronic device having an image pickup function (mobile phone, etc.), but also for an in-vehicle camera and a surveillance camera.

<画像表示装置の製造方法>
画像表示装置の製造方法は、上述した本発明のカラーフィルタの製造方法を含む。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
<Manufacturing method of image display device>
The manufacturing method of the image display device includes the manufacturing method of the color filter of the present invention described above. Examples of the image display device include a liquid crystal display device and an organic electroluminescence display device. For details on the definition of image display devices and the details of each image display device, see, for example, "Electronic Display Device (Akio Sasaki, Kogyo Chosakai Co., Ltd., 1990)", "Display Device (Junaki Ibuki, Sangyo Tosho Co., Ltd.)" )) ”, Etc. Further, the liquid crystal display device is described in, for example, "Next Generation Liquid Crystal Display Technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Chosakai Co., Ltd. in 1994)". The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and for example, it can be applied to various types of liquid crystal display devices described in the above-mentioned "next-generation liquid crystal display technology".

以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は、質量基準である。 The present invention will be specifically described below with reference to examples. The materials, amounts used, ratios, treatment contents, treatment procedures, etc. shown in the following examples can be appropriately changed as long as they do not deviate from the gist of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below. Unless otherwise specified, "parts" and "%" are based on mass.

<透明層形成用組成物の調製>
(透明層形成用組成物1)
以下に示す原料を混合して透明層形成用組成物を調製した。この透明層形成用組成物の25℃における粘度は1.20mPa・sであった。
硬化性化合物1・・・0.35質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)・・・99.65質量部
<Preparation of composition for forming transparent layer>
(Composition for forming a transparent layer 1)
The raw materials shown below were mixed to prepare a composition for forming a transparent layer. The viscosity of this transparent layer forming composition at 25 ° C. was 1.20 mPa · s.
Curable compound 1 ... 0.35 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) ... 99.65 parts by mass

(透明層形成用組成物2)
以下に示す原料を混合して透明層形成用組成物を調製した。この透明層形成用組成物の25℃における粘度は1.20mPa・sであった。
硬化性化合物2・・・0.35質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)・・・99.65質量部
(Composition for forming a transparent layer 2)
The raw materials shown below were mixed to prepare a composition for forming a transparent layer. The viscosity of this transparent layer forming composition at 25 ° C. was 1.20 mPa · s.
Curable compound 2 ... 0.35 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) ... 99.65 parts by mass

(透明層形成用組成物3)
以下に示す原料を混合して透明層形成用組成物を調製した。この透明層形成用組成物の25℃における粘度は1.20mPa・sであった。
硬化性化合物1・・・0.35質量部
光重合開始剤1・・・0.005質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)・・・99.65質量部
(Composition for forming a transparent layer 3)
The raw materials shown below were mixed to prepare a composition for forming a transparent layer. The viscosity of this transparent layer forming composition at 25 ° C. was 1.20 mPa · s.
Curable compound 1 ... 0.35 parts by mass Photopolymerization initiator 1 ... 0.005 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) ... 99.65 parts by mass

硬化性化合物1:下記構造の樹脂(Mw=14000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比である。)

硬化性化合物2:下記構造の樹脂(Mw=11000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比である。)

光重合開始剤1:下記構造の化合物
Curable compound 1: Resin having the following structure (Mw = 14000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit).

Curable compound 2: Resin having the following structure (Mw = 11000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit).

Photopolymerization Initiator 1: Compound with the following structure

<画素形成用組成物の調製>
<<Green分散液の調製>>
下記表に記載のGreen顔料の9.5質量部と、C.I.ピグメントイエロー185の2.4質量部と、下記表に記載の誘導体の1.2質量部と、下記表に記載の分散剤の4.6質量部と、PGMEAの82.3質量部との混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm系)を用いて3時間混合および分散した。その後、さらに減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cmの圧力下で流量500g/minとして分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返しGreen分散液を得た。
<Preparation of composition for pixel formation>
<< Preparation of Green dispersion >>
9.5 parts by mass of the Green pigments listed in the table below and C.I. I. A mixture of 2.4 parts by mass of Pigment Yellow 185, 1.2 parts by mass of the derivatives listed in the table below, 4.6 parts by mass of the dispersant listed in the table below, and 82.3 parts by mass of PGMEA. The liquid was mixed and dispersed for 3 hours using a bead mill (zirconia beads 0.3 mm system). Then, using a high-pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon BEE Co., Ltd.) with a decompression mechanism, dispersion treatment was performed at a flow rate of 500 g / min under a pressure of 2000 kg / cm 3 . This dispersion treatment was repeated 10 times to obtain a Green dispersion.

<<Red分散液の調製>>
下記表に記載のRed顔料の8.3質量部と、C.I.ピグメントイエロー139の2.3質量部と、下記表に記載の誘導体の2.4質量部と、下記表に記載の分散剤の3.9質量部と、PGMEAの83.1質量部との混合液をビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm系)を用いて3時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cmの圧力下で流量500g/minとして分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返し、Red分散液を得た。
<< Preparation of Red dispersion >>
8.3 parts by mass of Red pigments listed in the table below and C.I. I. A mixture of 2.3 parts by mass of Pigment Yellow 139, 2.4 parts by mass of the derivatives listed in the table below, 3.9 parts by mass of the dispersant listed in the table below, and 83.1 parts by mass of PGMEA. The liquid was mixed and dispersed for 3 hours using a bead mill (zirconia beads 0.3 mm system), and then 2000 kg / cm 3 was further used with a high pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon BEE Co., Ltd.) with a decompression mechanism. The dispersion treatment was carried out under pressure at a flow rate of 500 g / min. This dispersion treatment was repeated 10 times to obtain a Red dispersion.

Green分散液およびRed分散液の調製に用いた原料は以下の通りである。
(Green顔料)
Green顔料1:C.I.ピグメントグリーン7
Green顔料2:C.I.ピグメントグリーン36
Green顔料3:C.I.ピグメントグリーン58
(Red顔料)
Red顔料1:C.I.ピグメントレッド254
Red顔料2:C.I.ピグメントレッド264
(誘導体)
誘導体1:下記構造の化合物

誘導体2:下記構造の化合物

(分散剤)
分散剤1:下記構造の樹脂(Mw=20000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。)

分散剤2:下記構造の樹脂(Mw=24000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。)

分散剤3:下記構造の樹脂(Mw=38900、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。)

分散剤4:下記構造の樹脂(Mw=32683、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。)
The raw materials used for the preparation of the Green dispersion and the Red dispersion are as follows.
(Green pigment)
Green Pigment 1: C.I. I. Pigment Green 7
Green Pigment 2: C.I. I. Pigment Green 36
Green Pigment 3: C.I. I. Pigment Green 58
(Red pigment)
Red Pigment 1: C.I. I. Pigment Red 254
Red Pigment 2: C.I. I. Pigment Red 264
(Derivative)
Derivative 1: Compound with the following structure

Derivative 2: Compound with the following structure

(Dispersant)
Dispersant 1: Resin having the following structure (Mw = 20000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit, and the numerical value added to the side chain is the number of repeating units).

Dispersant 2: Resin having the following structure (Mw = 24000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit, and the numerical value added to the side chain is the number of repeating units).

Dispersant 3: Resin having the following structure (Mw = 38900, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit, and the numerical value added to the side chain is the number of repeating units).

Dispersant 4: Resin having the following structure (Mw = 32683, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit, and the numerical value added to the side chain is the number of repeating units).

<<Green組成物の調製>>
下記の原料を混合してGreen組成物を調製した。
[Green処方1]
下記表に記載のGreen分散液・・・71.8質量部
下記表に記載の樹脂・・・1.1質量部
下記表に記載の重合性化合物・・・1.8質量部
下記表に記載の光重合開始剤・・・0.8質量部
下記表に記載の界面活性剤・・・0.3質量部
下記表に記載の重合禁止剤・・・0.0009質量部
PGMEA・・・24.1質量部
<< Preparation of Green Composition >>
The following raw materials were mixed to prepare a Green composition.
[Green Prescription 1]
Green dispersions listed in the table below: 71.8 parts by mass Resins listed in the table below: 1.1 parts by mass Polymerizable compounds listed in the table below: 1.8 parts by mass Described in the table below Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 0.8 parts by mass Surfactants listed in the table below ・ ・ ・ 0.3 parts by mass Polymerization inhibitors listed in the table below ・ ・ ・ 0.009 parts by mass PGMEA ・ ・ ・ 24 .1 part by mass

[Green処方2]
下記表に記載のGreen分散液・・・78.2質量部
下記表に記載の樹脂・・・0.3質量部
下記表に記載の重合性化合物・・・1.6質量部
下記表に記載の光重合開始剤・・・0.7質量部
下記表に記載の界面活性剤・・・0.3質量部
下記表に記載の重合禁止剤・・・0.00079質量部
PGMEA・・・18.8質量部
[Green prescription 2]
Green dispersion described in the table below ... 78.2 parts by mass Resin listed in the table below ... 0.3 parts by mass Polymerized compound described in the table below ... 1.6 parts by mass Described in the table below Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 0.7 parts by mass Surfactants listed in the table below ・ ・ ・ 0.3 parts by mass Polymerization inhibitors listed in the table below ・ ・ ・ 0.00079 parts by mass PGMEA ・ ・ ・ 18 .8 parts by mass

[Green処方3]
下記表に記載のGreen分散液・・・85.9質量部
下記表に記載の樹脂・・・0.3質量部
下記表に記載の重合性化合物・・・0.6質量部
下記表に記載の光重合開始剤・・・0.3質量部
下記表に記載の界面活性剤・・・0.3質量部
下記表に記載の重合禁止剤・・・0.00032質量部
PGMEA・・・12.5質量部
[Green prescription 3]
Green dispersions listed in the table below: 85.9 parts by mass Resins listed in the table below: 0.3 parts by mass Polymerizable compounds listed in the table below: 0.6 parts by mass Described in the table below Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 0.3 parts by mass Surfactants listed in the table below ・ ・ ・ 0.3 parts by mass Polymerization inhibitors listed in the table below ・ ・ ・ 0.00032 parts by mass PGMEA ・ ・ ・ 12 .5 parts by mass

<<Red組成物の調製>>
下記の原料を混合してRed組成物を調製した。
[Red処方1]
下記表に記載のRed分散液・・・66.2質量部
下記表に記載の樹脂・・・1.3質量部
下記表に記載の重合性化合物・・・1.1質量部
下記表に記載の光重合開始剤・・・0.5質量部
下記表に記載の界面活性剤・・・0.04質量部
下記表に記載の重合禁止剤・・・0.00054質量部
PGMEA・・・30.9質量部
<< Preparation of Red Composition >>
The following raw materials were mixed to prepare a Red composition.
[Red prescription 1]
Red dispersions listed in the table below ... 66.2 parts by mass Resins listed in the table below ... 1.3 parts by mass Polymerizable compounds listed in the table below ... 1.1 parts by mass Described in the table below Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 0.5 parts by mass Surfactants listed in the table below ・ ・ ・ 0.04 parts by mass Polymerization inhibitors listed in the table below ・ ・ ・ 0.00054 parts by mass PGMEA ・ ・ ・ 30 .9 parts by mass

[Red処方2]
下記表に記載のRed分散液・・・72.9質量部
下記表に記載の樹脂・・・0.4質量部
下記表に記載の重合性化合物・・・0.9質量部
下記表に記載の光重合開始剤・・・0.4質量部
下記表に記載の界面活性剤・・・0.04質量部
下記表に記載の重合禁止剤・・・0.00045質量部
PGMEA・・・25.4質量部
[Red prescription 2]
Red dispersions listed in the table below: 72.9 parts by mass Resins listed in the table below: 0.4 parts by mass Polymerizable compounds listed in the table below: 0.9 parts by mass Described in the table below Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 0.4 parts by mass Surfactants listed in the table below ・ ・ ・ 0.04 parts by mass Polymerization inhibitors listed in the table below ・ ・ ・ 0.00045 parts by mass PGMEA ・ ・ ・ 25 .4 parts by mass

[Red処方3]
下記表に記載のRed分散液・・・79.5質量部
下記表に記載の樹脂・・・0.1質量部
下記表に記載の重合性化合物・・・0.3質量部
下記表に記載の光重合開始剤・・・0.1質量部
下記表に記載の界面活性剤・・・0.04質量部
下記表に記載の重合禁止剤・・・0.00016質量部
PGMEA・・・19.9質量部
[Red prescription 3]
Red dispersions listed in the table below: 79.5 parts by mass Resins listed in the table below: 0.1 parts by mass Polymerizable compounds listed in the table below: 0.3 parts by mass Described in the table below Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 0.1 parts by mass Surfactants listed in the table below ・ ・ ・ 0.04 parts by mass Polymerization inhibitors listed in the table below ・ ・ ・ 0.00016 parts by mass PGMEA ・ ・ ・ 19 .9 parts by mass

Green組成物、Red組成物の調製に用いた原料は以下の通りである。
(Green分散液)
Green分散液1〜12:上述したGreen分散液1〜12
(Red分散液)
Red分散液1〜10:上述したRed分散液1〜10
(樹脂)
樹脂1:下記構造の樹脂(Mw=14000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比である。)

樹脂2:下記構造の樹脂(Mw=5000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比である。)

樹脂3:下記構造の樹脂(Mw=11000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比である。)

樹脂4:下記構造の樹脂(Mw=11000、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比である。)

(重合性化合物)
重合性化合物1:下記化合物の混合物(左側化合物と右側化合物とのモル比が7:3の混合物)

重合性化合物2:下記化合物

重合性化合物3:下記構造の化合物

(光重合開始剤)
光重合開始剤1:上述した光重合開始剤1
光重合開始剤2:下記構造の化合物

光重合開始剤3:下記構造の化合物

光重合開始剤4:下記構造の化合物

(界面活性剤)
界面活性剤1:下記混合物(Mw=14000)。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%はモル%である。

界面活性剤2:下記構造の化合物

(重合禁止剤)
重合禁止剤1:p−メトキシフェノール
The raw materials used for preparing the Green composition and Red composition are as follows.
(Green dispersion)
Green dispersions 1-12: The above-mentioned Green dispersions 1-12
(Red dispersion)
Red dispersions 1-10: The above-mentioned Red dispersions 1-10
(resin)
Resin 1: Resin having the following structure (Mw = 14000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit).

Resin 2: Resin having the following structure (Mw = 5000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit).

Resin 3: Resin having the following structure (Mw = 11000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit).

Resin 4: Resin having the following structure (Mw = 11000, the numerical value added to the main chain is the molar ratio of the repeating unit).

(Polymerizable compound)
Polymerizable compound 1: Mixture of the following compounds (mixture of left side compound and right side compound with a molar ratio of 7: 3)

Polymerizable compound 2: The following compounds

Polymerizable compound 3: A compound having the following structure

(Photopolymerization initiator)
Photopolymerization Initiator 1: Photopolymerization Initiator 1 described above
Photopolymerization Initiator 2: Compound with the following structure

Photopolymerization Initiator 3: Compound with the following structure

Photopolymerization Initiator 4: Compound with the following structure

(Surfactant)
Surfactant 1: The following mixture (Mw = 14000). In the formula below,% indicating the ratio of the repeating unit is mol%.

Surfactant 2: A compound having the following structure

(Polymerization inhibitor)
Polymerization inhibitor 1: p-methoxyphenol

<評価>
(残渣、パターン形成性の評価)
支持体上に、下記表に記載の第1の画素形成用組成物を製膜後の膜厚が0.5μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、0.9μmのベイヤーパターンを有するマスクを介して、150mJ/cmの露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて220℃で5分間加熱して、パターンを有する第1の画素を形成した。
次に、第1の画素が形成された支持体上に、透明層形成用組成物をスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。透明層形成用組成物1、2を用いた場合については、次いで、ホットプレートを用いて230℃で2分間加熱して、第1の画素および支持体上に下記表に記載の平均厚さの透明層を形成した。透明層形成用組成物3を用いた場合については、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、150mJ/cmの露光量で露光して、第1の画素および支持体上に下記表に記載の平均厚さの透明層を形成した。なお、下記表中の透明層の平均厚さの数値は、第1の画素の上面に形成された透明層の任意の3か所の厚さと、支持体の表面上に形成された透明層の任意の3か所の厚さとの平均値である。また、透明層の厚さは、支持体に対して垂直に切断した断面の走査型電子顕微鏡(SEM)像から測定した。
MCPD−3700(大塚電子(株)製)を使用して、透明層を形成した後の第1の画素の波長400〜700nmの範囲の透過率(分光1)を測定した。
次に、透明層が形成された支持体上に、下記表に記載の第2の画素形成用組成物を、製膜後の膜厚が0.5μmになるようにスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、0.9μmのアイランドパターンを有するマスクを介して、150mJ/cmの露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて220℃で5分間加熱して、第2の画素を形成した。
MCPD−3700(大塚電子(株)製)を使用して、第2の画素を形成した後の第1の画素の波長400〜700nmの範囲の透過率(分光2)を測定した。
第1の画素の分光1と分光2とを用いて透過率の変化量の最大値T1を求めた。なお、透過率の変化量の最大値とは、第2の画素形成前後における第1の画素について、波長400〜700nmの範囲における透過率の変化量が最も大きい波長におけるその変化量のことである。
<Evaluation>
(Evaluation of residue and pattern formation)
The first pixel-forming composition described in the table below was applied onto the support by a spin coating method so that the film thickness after film formation was 0.5 μm. Then, it was heated at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), exposure was performed at an exposure amount of 150 mJ / cm 2 through a mask having a Bayer pattern of 0.9 μm. Then, paddle development was carried out at 23 ° C. for 60 seconds using a 0.3% by mass aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH). Then, the mixture was rinsed with a spin shower, washed with pure water, and then heated at 220 ° C. for 5 minutes using a hot plate to form a first pixel having a pattern.
Next, the composition for forming a transparent layer was applied on the support on which the first pixel was formed by a spin coating method, and then heated at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate. When the lucidum lucidum compositions 1 and 2 were used, they were then heated at 230 ° C. for 2 minutes using a hot plate to the average thickness shown in the table below on the first pixel and support. A transparent layer was formed. When the transparent layer forming composition 3 is used, it is exposed with an exposure amount of 150 mJ / cm 2 using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), and the first pixel and the support are used. A transparent layer having the average thickness shown in the table below was formed on the body. The values of the average thickness of the transparent layer in the table below are the thicknesses of any three transparent layers formed on the upper surface of the first pixel and the transparent layer formed on the surface of the support. It is the average value with the thickness of any three places. The thickness of the transparent layer was measured from a scanning electron microscope (SEM) image of a cross section cut perpendicular to the support.
Using MCPD-3700 (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the transmittance (spectroscopy 1) of the first pixel after forming the transparent layer in the wavelength range of 400 to 700 nm was measured.
Next, the second pixel-forming composition described in the table below was applied onto the support on which the transparent layer was formed by a spin coating method so that the film thickness after film formation was 0.5 μm. It was then heated at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), exposure was performed at an exposure amount of 150 mJ / cm 2 through a mask having an island pattern of 0.9 μm. Then, paddle development was carried out at 23 ° C. for 60 seconds using a 0.3% by mass aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH). Then, the mixture was rinsed with a spin shower, washed with pure water, and then heated at 220 ° C. for 5 minutes using a hot plate to form a second pixel.
Using MCPD-3700 (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the transmittance (spectroscopy 2) in the wavelength range of 400 to 700 nm of the first pixel after forming the second pixel was measured.
The maximum value T1 of the amount of change in the transmittance was obtained using the spectroscopy 1 and the spectroscopy 2 of the first pixel. The maximum value of the amount of change in the transmittance is the amount of change in the first pixel before and after the formation of the second pixel at the wavelength where the amount of change in the transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm is the largest. ..

次に、透明層を形成しない以外は、上記と同様の方法で、第1の画素および第2の画素を形成し、第1の画素の分光1と分光2とを用いて透過率の変化量の最大値T2を求めた。 Next, the first pixel and the second pixel are formed in the same manner as described above except that the transparent layer is not formed, and the amount of change in the transmittance is changed by using the spectra 1 and 2 of the first pixels. The maximum value T2 of was obtained.

透明層を形成しない場合における透過率の変化量の最大値T2と、透明層を形成した場合における透過率の変化量の最大値T1を用い、以下の基準で残渣を評価した。T1/T2の値が1未満であれば、透明層を形成しない場合に比べて残渣の発生を抑制できたことを意味する。
(残渣の判定基準)
5:T1/T2の値が0.2未満
4:T1/T2の値が0.2以上0.5未満
3:T1/T2の値が0.5以上0.8未満
2:T1/T2の値が0.8以上1.0未満
1:T1/T2の値が1.0
The residue was evaluated according to the following criteria using the maximum value T2 of the change in transmittance when the transparent layer was not formed and the maximum value T1 of the change in transmittance when the transparent layer was formed. When the value of T1 / T2 is less than 1, it means that the generation of the residue can be suppressed as compared with the case where the transparent layer is not formed.
(Criteria for determining residue)
5: T1 / T2 value is less than 0.2 4: T1 / T2 value is 0.2 or more and less than 0.5 3: T1 / T2 value is 0.5 or more and less than 0.8 2: T1 / T2 Value is 0.8 or more and less than 1.0 1: T1 / T2 value is 1.0

パターン形成性は、第2の画素の上部の横幅をL1、第2の画素の下部の横幅をL2とし、以下の基準で評価した。
(パターン形成性の判定基準)
5:L1−L2が0.05μm未満
4:L1−L2が0.05μm以上0.10μm未満
3:L1−L2が0.10μm以上0.15μm未満
2:L1−L2が0.15μm以上0.20μm未満
1:L1−L2が0.20μm以上
The pattern formability was evaluated according to the following criteria, with the width of the upper part of the second pixel being L1 and the width of the lower part of the second pixel being L2.
(Criteria for pattern formation)
5: L1-L2 is less than 0.05 μm 4: L1-L2 is 0.05 μm or more and less than 0.10 μm 3: L1-L2 is 0.10 μm or more and less than 0.15 μm 2: L1-L2 is 0.15 μm or more and 0. Less than 20 μm 1: L1-L2 is 0.20 μm or more

(混色の評価)
以下の原料を混合して下塗り層用組成物を調製した。
PGMEA ・・・19.20質量部
乳酸エチル ・・・36.67質量部
樹脂:(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60:20:20)41%酢酸エチル溶液) ・・・30.51質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・・・12.20質量部
重合禁止剤1 ・・・0.006質量部
界面活性剤1 ・・・0.83質量部
光重合開始剤(TAZ−107、みどり化学社製) ・・・0.59質量部
(Evaluation of color mixing)
The following raw materials were mixed to prepare a composition for an undercoat layer.
PGMEA ・ ・ ・ 19.20 parts by mass
Ethyl lactate: 36.67 parts by mass
Resin: (Benzyl methacrylate / methacrylic acid / -2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (molar ratio = 60: 20: 20) 41% ethyl acetate solution) ... 30.51 parts by mass dipentaerythritol hexaacrylate.・ ・ 12.20 parts by mass
Polymerization inhibitor 1 ・ ・ ・ 0.006 parts by mass
Surfactant 1 ・ ・ ・ 0.83 parts by mass Photopolymerization initiator (TAZ-107, manufactured by Midori Chemical Co., Ltd.) ・ ・ ・ 0.59 parts by mass

200mm(8インチ)ガラスウェハ上に、上記下塗り層用組成物をスピンコートで塗布して塗布膜を形成し、形成された塗布膜を120℃のホットプレートで120秒間加熱処理した。尚、スピンコートの塗布回転数は、加熱処理後の塗布膜の膜厚が約0.5μmとなるように調整した。加熱処理後の塗布膜を、さらに220℃のオーブンで1時間処理し、塗布膜を硬化させ、下塗り層を形成した。以上のようにして、ガラスウェハ上に下塗り層が形成された、下塗り層付ガラスウェハを得た。
下塗り層付ガラスウェハ上に、下記表に記載の第1の画素形成用組成物を製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、7.0μmのベイヤーパターンを有するマスクを介して、1000mJ/cmの露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて220℃で5分間加熱して、パターンを有する第1の画素を形成した。
次に、第1の画素が形成された支持体上に、下記表に記載の透明層形成用組成物をスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。透明層形成用組成物1、2を用いた場合については、次いで、ホットプレートを用いて230℃で2分間加熱して、第1の画素および支持体上に下記表に記載の平均厚さの透明層を形成した。透明層形成用組成物3を用いた場合については、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、150mJ/cmの露光量で露光して、第1の画素および支持体上に下記表に記載の平均厚さの透明層を形成した。
次に、透明層が形成された支持体上に、下記表に記載の第2の画素形成用組成物を、製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を用い、7.0μmのアイランドパターンを有するマスクを介して、1000mJ/cmの露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗して第2の画素を形成した。次いで、ホットプレートを用いて220℃で5分間加熱した。
第2の画素への加熱処理前後の第1の画素と第2の画素の波長400〜700nmにおける吸光度を、顕微分光測定装置(大塚電子(株)製LCF−1500M)にて測定した。第2の画素への加熱前後の第1の画素の吸光度の変化率の最大値、および、第2の画素の吸光度の変化率の最大値を求めた。なお、吸光度の変化率の最大値とは、第2の画素への加熱処理前後における各画素について、波長400〜700nmの範囲における吸光度の変化量が最も大きい波長におけるその変化量のことである。
また、吸光度の変化率は以下のようにして求めた。
第1の画素の吸光度の変化率(%)=|1−第2の画素への加熱処理後の第1の画素の吸光度/第2の画素への加熱処理前の第1の画素の吸光度|×100
第2の画素の吸光度の変化率(%)=|1−第2の画素への加熱処理後の第2の画素の吸光度/第2の画素への加熱処理前の第2の画素の吸光度|×100
−判定基準−
A:吸光度の変化率が10%未満
B:吸光度の変化率が10%以上
The composition for an undercoat layer was applied on a 200 mm (8 inch) glass wafer by spin coating to form a coating film, and the formed coating film was heat-treated on a hot plate at 120 ° C. for 120 seconds. The coating rotation speed of the spin coating was adjusted so that the film thickness of the coating film after the heat treatment was about 0.5 μm. The coating film after the heat treatment was further treated in an oven at 220 ° C. for 1 hour to cure the coating film and form an undercoat layer. As described above, a glass wafer with an undercoat layer having an undercoat layer formed on the glass wafer was obtained.
The first pixel-forming composition described in the table below was applied onto a glass wafer with an undercoat layer by a spin coating method so that the film thickness after film formation was 1.0 μm. Then, it was heated at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), exposure was performed at an exposure amount of 1000 mJ / cm 2 through a mask having a Bayer pattern of 7.0 μm. Then, paddle development was carried out at 23 ° C. for 60 seconds using a 0.3% by mass aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH). Then, the mixture was rinsed with a spin shower, washed with pure water, and then heated at 220 ° C. for 5 minutes using a hot plate to form a first pixel having a pattern.
Next, the composition for forming a transparent layer described in the following table was applied onto the support on which the first pixel was formed by a spin coating method, and then heated at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate. When the lucidum lucidum compositions 1 and 2 were used, they were then heated at 230 ° C. for 2 minutes using a hot plate to the average thickness shown in the table below on the first pixel and support. A transparent layer was formed. When the transparent layer forming composition 3 is used, it is exposed with an exposure amount of 150 mJ / cm 2 using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), and the first pixel and the support are used. A transparent layer having the average thickness shown in the table below was formed on the body.
Next, the second pixel-forming composition described in the table below was applied onto the support on which the transparent layer was formed by a spin coating method so that the film thickness after film formation was 1.0 μm. It was then heated at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), exposure was performed at an exposure amount of 1000 mJ / cm 2 through a mask having an island pattern of 7.0 μm. Then, paddle development was carried out at 23 ° C. for 60 seconds using a 0.3% by mass aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH). Then, it was rinsed with a spin shower and then washed with pure water to form a second pixel. Then, it was heated at 220 ° C. for 5 minutes using a hot plate.
The absorbances of the first pixel and the second pixel at wavelengths of 400 to 700 nm before and after the heat treatment of the second pixel were measured with a microspectroscopic light measuring device (LCF-1500M manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The maximum value of the rate of change in the absorbance of the first pixel before and after heating to the second pixel and the maximum value of the rate of change in the absorbance of the second pixel were determined. The maximum value of the change rate of the absorbance is the amount of change in the wavelength in which the amount of change in the absorbance in the wavelength range of 400 to 700 nm is the largest for each pixel before and after the heat treatment of the second pixel.
The rate of change in absorbance was determined as follows.
Rate of change in absorbance of the first pixel (%) = | 1-2 Absorbance of the first pixel after heat treatment to the second pixel / Absorbance of the first pixel before heat treatment to the second pixel | × 100
Rate of change in absorbance of the second pixel (%) = | 1-2 Absorbance of the second pixel after heat treatment to the second pixel / Absorbance of the second pixel before heat treatment to the second pixel | × 100
-Criteria-
A: Absorbance change rate is less than 10% B: Absorbance change rate is 10% or more

上記表に示す通り、実施例は、残渣、パターン形成性、混色の評価が良好であった。
Green組成物中またはRed組成物中の顔料を青色顔料に置き換えて調製したBlue組成物を用いて第1の画素または第2の画素を形成した場合であっても、上記実施例と同様の結果が得られた。
As shown in the above table, the examples had good evaluations of residue, pattern forming property, and color mixing.
Even when the first pixel or the second pixel is formed by using the Blue composition prepared by replacing the pigment in the Green composition or the Red composition with a blue pigment, the same result as in the above Example is obtained. was gotten.

1:支持体
2:第1の画素
3:透明層
4:第2の画素
4a:画素形成用組成物層
50:支持体
51:第1の画素
52:第2の画素
52a:組成物層
1: Support 2: First pixel 3: Transparent layer 4: Second pixel 4a: Pixel-forming composition layer 50: Support 51: First pixel 52: Second pixel 52a: Composition layer

Claims (10)

支持体上に形成された第1の画素の表面に硬化性化合物を含む透明層形成用組成物を適用して平均厚さ300nm以下の透明層を形成する工程と、
前記透明層が形成された第1の画素上に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層を形成する工程と、
前記画素形成用組成物層に対してパターン形成を行い、前記第1の画素とは異なる色の第2の画素を形成する工程とを含む、カラーフィルタの製造方法。
A step of applying a transparent layer forming composition containing a curable compound to the surface of the first pixel formed on the support to form a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less, and
A step of applying a pixel-forming composition on the first pixel on which the transparent layer is formed to form a pixel-forming composition layer, and
A method for manufacturing a color filter, which comprises a step of forming a pattern on the pixel-forming composition layer to form a second pixel having a color different from that of the first pixel.
前記画素形成用組成物層に対してフォトリソグラフィー法にてパターン形成を行い、前記第2の画素を形成する、請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。 The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein a pattern is formed on the pixel-forming composition layer by a photolithography method to form the second pixel. 前記第1の画素および前記第2の画素の少なくとも一方は、着色剤を50質量%以上含有する、請求項1または2に記載のカラーフィルタの製造方法。 The method for producing a color filter according to claim 1 or 2, wherein at least one of the first pixel and the second pixel contains 50% by mass or more of a colorant. 前記画素形成用組成物は、有彩色着色剤および黒色着色剤から選ばれる少なくとも1種を含有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。 The method for producing a color filter according to any one of claims 1 to 3, wherein the pixel-forming composition contains at least one selected from a chromatic colorant and a black colorant. 前記透明層を形成する工程は、支持体上に形成された第1の画素の表面に硬化性化合物を含む透明層形成用組成物を適用して平均厚さ5〜100nmの透明層を形成する工程である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。 In the step of forming the transparent layer, a transparent layer forming composition containing a curable compound is applied to the surface of the first pixel formed on the support to form a transparent layer having an average thickness of 5 to 100 nm. The method for manufacturing a color filter according to any one of claims 1 to 4, which is a step. 前記透明層形成用組成物は、前記硬化性化合物として架橋性基を有する化合物を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。 The method for producing a color filter according to any one of claims 1 to 5, wherein the composition for forming a transparent layer contains a compound having a crosslinkable group as the curable compound. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法を含む固体撮像素子の製造方法。 A method for manufacturing a solid-state image sensor, which comprises the method for manufacturing a color filter according to any one of claims 1 to 6. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法を含む画像表示装置の製造方法。 A method for manufacturing an image display device, which comprises the method for manufacturing a color filter according to any one of claims 1 to 6. 支持体上に、第1の画素と、前記第1の画素とは異なる色の第2の画素とを有し、
前記第1の画素の表面に平均厚さ300nm以下の透明層を有し、
前記第2の画素と前記支持体との間に平均厚さ300nm以下の透明層を有する、
カラーフィルタ。
On the support, a first pixel and a second pixel having a color different from that of the first pixel are provided.
A transparent layer having an average thickness of 300 nm or less is provided on the surface of the first pixel.
A transparent layer having an average thickness of 300 nm or less is provided between the second pixel and the support.
Color filter.
前記第1の画素と前記第2の画素との間に平均厚さ300nm以下の透明層を有する、請求項9に記載のカラーフィルタ。 The color filter according to claim 9, further comprising a transparent layer having an average thickness of 300 nm or less between the first pixel and the second pixel.
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