JPWO2017150069A1 - Resin composition, resin film, color filter, light shielding film, solid-state imaging device, and image display device - Google Patents

Resin composition, resin film, color filter, light shielding film, solid-state imaging device, and image display device Download PDF

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Abstract

低反射性に優れ、かつ、耐湿性にも優れた樹脂膜を形成できる樹脂組成物、並びに、低反射性に優れ、かつ、耐湿性にも優れた樹脂膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子及び画像表示装置を提供する。樹脂組成物は、チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、フィラー、並びに、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物から選ばれる少なくともいずれかと、を含有する。Resin composition capable of forming a resin film excellent in low reflectivity and moisture resistance, and a resin film, color filter, light-shielding film, solid-state imaging excellent in low reflectivity and moisture resistance An element and an image display device are provided. The resin composition is at least any selected from titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms, a binder resin, a filler, and a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom. Contains heels.

Description

本発明は、樹脂組成物、樹脂膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像装置、及び、画像表示装置に関する。   The present invention relates to a resin composition, a resin film, a color filter, a light-shielding film, a solid-state imaging device, and an image display device.

固体撮像装置は、撮影レンズと、この撮影レンズの背後に配されるCCD(電荷結合素子)及びCMOS(相補性金属酸化膜半導体)等の固体撮像素子と、この固体撮像素子が実装される回路基板とを備える。この固体撮像装置は、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、及び、スマートフォン等に搭載される。
固体撮像装置においては、可視光の反射によるノイズが発生する場合がある。そこで、特許文献1においては、固体撮像装置内に所定の遮光膜を設けることにより、ノイズの発生の抑制を図っている。遮光膜を形成するための組成物としては、チタンブラック等の黒色顔料を含有する遮光性組成物が使用されている。
A solid-state imaging device includes a photographing lens, a solid-state imaging device such as a CCD (charge coupled device) and a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) disposed behind the photographing lens, and a circuit on which the solid-state imaging device is mounted. A substrate. This solid-state imaging device is mounted on a digital camera, a camera-equipped mobile phone, a smartphone, and the like.
In a solid-state imaging device, noise due to reflection of visible light may occur. Therefore, in Patent Document 1, the generation of noise is suppressed by providing a predetermined light shielding film in the solid-state imaging device. As the composition for forming the light shielding film, a light shielding composition containing a black pigment such as titanium black is used.

特開2007−115921号公報JP 2007-115921 A

一方、遮光膜には、近年、様々な特性が求められている。
例えば、固体撮像装置の小型化、薄型化、及び、高感度化に伴い、遮光膜のより一層の低反射化が求められている。
また、本発明者らは、チタンブラックを含む遮光膜が高温高湿下に曝されるとその分光性能が低下する(すなわち「耐湿性」に劣る)ことを知見するに至った。遮光膜の分光性能が低下すると所望の遮光能を発現しない場合があるため、改善が望まれる。
On the other hand, in recent years, various characteristics are required for the light shielding film.
For example, as the solid-state imaging device is reduced in size, thickness, and sensitivity is increased, further reduction in reflection of the light shielding film is required.
In addition, the present inventors have found that the spectral performance of the light-shielding film containing titanium black is lowered (that is, inferior to “humidity resistance”) when exposed to high temperature and high humidity. Since the desired light-shielding ability may not be exhibited when the spectral performance of the light-shielding film deteriorates, improvement is desired.

本発明は、上記実情に鑑みて、低反射性に優れ、かつ、耐湿性にも優れた樹脂膜を形成できる樹脂組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、低反射性に優れ、かつ、耐湿性にも優れた樹脂膜、上記樹脂膜を備えるカラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子及び画像表示装置を提供することも目的とする。
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a resin composition capable of forming a resin film having excellent low reflectivity and excellent moisture resistance.
Another object of the present invention is to provide a resin film excellent in low reflectivity and excellent in moisture resistance, a color filter including the resin film, a light shielding film, a solid-state imaging device, and an image display device.

本発明者らは、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、所定のチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、フィラー、並びに、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物から選ばれる少なくともいずれかと、を組み合わせた樹脂組成物を使用することにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、以下の構成により上記目的を達成できることを見出した。
As a result of intensive studies to achieve the above-mentioned problems, the present inventors have at least selected from compounds containing predetermined titanium nitride-containing particles, a binder resin, a filler, and at least one of a fluorine atom and a silicon atom. The present inventors have found that the above problems can be solved by using a resin composition in combination with any of the above, and thus completed the present invention.
That is, it has been found that the above object can be achieved by the following configuration.

(1) チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子と、
バインダー樹脂と、
フィラー、並びに、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物から選ばれる少なくともいずれかと、を含有する、樹脂組成物。
(2) CuKα線をX線源として上記チタン窒化物含有粒子のX線回折スペクトルを測定した場合において、上記チタン窒化物含有粒子のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θが42.5°以上43.5°以下の範囲にある、(1)に記載の樹脂組成物。
(3) 上記フィラーが、シリカ粒子及びアクリル粒子の少なくとも1種である、(1)又は(2)に記載の樹脂組成物。
(4) 上記フィラーが中空シリカである、(3)に記載の樹脂組成物。
(5) 上記フィラーの粒径分布における極大値が、50〜500nmである、(1)〜(4)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(6) 上記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含有し、上記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物の含有量が、上記樹脂組成物中の全固形分に対して、1〜15質量%である、(1)〜(5)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(7) 上記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する繰り返し単位と、重合性基を有する繰り返し単位と、を含む高分子化合物である、(1)〜(6)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(8) 上記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が、反応性シリコーンである、(1)〜(6)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(9) 更に、分散樹脂を含有する、(1)〜(8)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(10) 更に、重合開始剤を含有する、(1)〜(9)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(11) 上記重合開始剤がオキシム化合物である、(10)に記載の樹脂組成物。
(12) 更に、エポキシ基を有するシランカップリング剤を含有する、(1)〜(11)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(13) 更に、カルド骨格を有する重合性化合物を含有する、(1)〜(12)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(14) 上記カルド骨格を有する重合性化合物が、9,9−ビスアリールフルオレン骨格を有する重合性化合物である、(13)に記載の樹脂組成物。
(15) 上記チタン窒化物含有粒子の含有量が、上記樹脂組成物中の全固形分に対して、30〜60質量%である、(1)〜(14)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(16) チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子と、
バインダー樹脂と、を含む樹脂膜であって、
上記樹脂膜の最表面の表面粗さRaが100〜2000Åである、樹脂膜。
(17) 更に、フィラーを含む、(16)に記載の樹脂膜。
(18) 上記フィラーの粒径分布における極大値が、50〜500nmである、(17)に記載の樹脂膜。
(19) 更に、ポリシロキサン構造を有する樹脂を含む、(16)〜(18)のいずれかに記載の樹脂膜。
(20) 上記樹脂膜が、上記チタン窒化物含有粒子をそれぞれ含有する顔料層X1及び顔料層X2を隣接して積層した樹脂膜であり、
上記顔料層X2に含まれる上記チタン窒化物含有粒子の濃度が、上記顔料層X1に含まれる上記チタン窒化物含有粒子の濃度よりも小さく、
上記樹脂膜の上記顔料層X2側の表面の表面粗さRaが100〜2000Åである、(16)〜(19)のいずれかに記載の樹脂膜。
(21) チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子を含む顔料層と、
上記顔料層上に隣接して配置された、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層と、を含む樹脂膜。
(22) 上記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する樹脂を含む、(21)に記載の樹脂膜。
(23) 上記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する樹脂が、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する繰り返し単位と、重合性基を有する繰り返し単位と、を含む、(22)に記載の樹脂膜。
(24) チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子をそれぞれ含有する顔料層Y1及び顔料層Y2を隣接して積層した樹脂膜であり、
上記顔料層Y1と上記顔料層Y2中に含まれる上記チタン窒化物含有粒子の濃度が互いに異なる、樹脂膜。
(25) (1)〜(15)のいずれかに記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び(16)〜(24)のいずれかに記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えたカラーフィルタ。
(26) (1)〜(15)のいずれかに記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び(16)〜(24)のいずれかに記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えた遮光膜。
(27) (1)〜(15)のいずれかに記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び(16)〜(24)のいずれかに記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えた固体撮像素子。
(28) (1)〜(15)のいずれかに記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び(16)〜(24)のいずれかに記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えた画像表示装置。
(1) a titanium nitride-containing particle containing at least one metal atom other than a titanium atom;
A binder resin,
A resin composition comprising a filler and at least one selected from a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom.
(2) When the X-ray diffraction spectrum of the titanium nitride-containing particles is measured using CuKα rays as an X-ray source, the peak diffraction angle 2θ derived from the TiN (200) plane of the titanium nitride-containing particles is 42. The resin composition as described in (1) which exists in the range of 5 degrees or more and 43.5 degrees or less.
(3) The resin composition according to (1) or (2), wherein the filler is at least one of silica particles and acrylic particles.
(4) The resin composition according to (3), wherein the filler is hollow silica.
(5) The resin composition according to any one of (1) to (4), wherein the maximum value in the particle size distribution of the filler is 50 to 500 nm.
(6) A compound containing at least one of the fluorine atom and silicon atom is contained, and the content of the compound containing at least one of the fluorine atom and silicon atom is based on the total solid content in the resin composition. The resin composition according to any one of (1) to (5), which is 1 to 15% by mass.
(7) The compound containing at least one of the fluorine atom and the silicon atom is a polymer compound containing a repeating unit containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom and a repeating unit having a polymerizable group. The resin composition according to any one of (1) to (6).
(8) The resin composition according to any one of (1) to (6), wherein the compound containing at least one of the fluorine atom and the silicon atom is a reactive silicone.
(9) The resin composition according to any one of (1) to (8), further containing a dispersion resin.
(10) The resin composition according to any one of (1) to (9), further comprising a polymerization initiator.
(11) The resin composition according to (10), wherein the polymerization initiator is an oxime compound.
(12) Furthermore, the resin composition in any one of (1)-(11) containing the silane coupling agent which has an epoxy group.
(13) The resin composition according to any one of (1) to (12), further comprising a polymerizable compound having a cardo skeleton.
(14) The resin composition according to (13), wherein the polymerizable compound having a cardo skeleton is a polymerizable compound having a 9,9-bisarylfluorene skeleton.
(15) The resin composition according to any one of (1) to (14), wherein the content of the titanium nitride-containing particles is 30 to 60% by mass with respect to the total solid content in the resin composition. object.
(16) titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms;
A resin film containing a binder resin,
The resin film whose surface roughness Ra of the outermost surface of the said resin film is 100-2000 mm.
(17) The resin film according to (16), further comprising a filler.
(18) The resin film according to (17), wherein the maximum value in the particle size distribution of the filler is 50 to 500 nm.
(19) The resin film according to any one of (16) to (18), further including a resin having a polysiloxane structure.
(20) The resin film is a resin film in which the pigment layer X1 and the pigment layer X2 each containing the titanium nitride-containing particles are laminated adjacently,
The concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X2 is smaller than the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X1,
The resin film according to any one of (16) to (19), wherein the surface roughness Ra of the surface of the resin film on the pigment layer X2 side is 100 to 2000 mm.
(21) a pigment layer containing titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms;
And a surface layer containing a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom, which is disposed adjacent to the pigment layer.
(22) The resin film according to (21), wherein the compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom contains a resin containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom.
(23) The resin containing at least one of the fluorine atom and the silicon atom includes a repeating unit containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom, and a repeating unit having a polymerizable group. Resin film.
(24) A resin film in which a pigment layer Y1 and a pigment layer Y2 each containing titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than a titanium atom are laminated adjacently,
Resin films having different concentrations of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer Y1 and the pigment layer Y2.
(25) A color provided with any one selected from the resin film formed from the resin composition according to any one of (1) to (15) and the resin film according to any one of (16) to (24) filter.
(26) Light shielding provided with any one selected from the resin film formed from the resin composition according to any one of (1) to (15) and the resin film according to any one of (16) to (24) film.
(27) A solid provided with any of the resin film formed from the resin composition according to any one of (1) to (15) and the resin film according to any one of (16) to (24) Image sensor.
(28) An image including any one selected from the resin film formed from the resin composition according to any one of (1) to (15) and the resin film according to any one of (16) to (24). Display device.

本発明によれば、低反射性に優れ、かつ、耐湿性にも優れた樹脂膜を形成できる樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、低反射性に優れ、かつ、耐湿性にも優れた樹脂膜、上記樹脂膜を備えるカラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子及び画像表示装置を提供することもできる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the resin composition which can form the resin film excellent in low reflectivity and excellent in moisture resistance can be provided.
According to the present invention, it is also possible to provide a resin film excellent in low reflectivity and excellent in moisture resistance, a color filter including the resin film, a light shielding film, a solid-state imaging device, and an image display device.

以下、本発明を実施するための形態について説明する。
なお、本明細書に於ける基(原子団)の表記に於いて、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書中において、“(メタ)アクリレート”はアクリレート及びメタクリレートを表し、“(メタ)アクリル”はアクリル及びメタクリルを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイル及びメタクリロイルを表す。
本発明における「顔料」とは、例えば、溶剤に溶解しない不溶性の色素化合物を意味する。ここで、「溶剤」とは、後述する溶剤の欄で例示する溶剤が挙げられる。したがって、これらの溶剤に溶解しない色素化合物が本発明における顔料に該当する。
また、本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等を意味する。また本発明において「光」とは、活性光線又は放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、EUV光などによる露光のみならず、電子線及びイオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
本明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
また、本発明書において、「1Å」とは「0.1ナノメートル(nm)」と同義である。
Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described.
In addition, in the description of the group (atomic group) in this specification, the description which does not describe substitution and unsubstituted includes the thing which has a substituent with the thing which does not have a substituent. For example, the “alkyl group” includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
In the present specification, “(meth) acrylate” represents acrylate and methacrylate, “(meth) acryl” represents acryl and methacryl, and “(meth) acryloyl” represents acryloyl and methacryloyl.
The “pigment” in the present invention means, for example, an insoluble coloring compound that does not dissolve in a solvent. Here, examples of the “solvent” include the solvents exemplified in the solvent column described later. Therefore, the coloring compound which does not melt | dissolve in these solvents corresponds to the pigment in this invention.
In addition, “active light” or “radiation” in the present specification means, for example, an emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet rays represented by an excimer laser, extreme ultraviolet rays (EUV light), X-rays, electron beams, and the like. . In the present invention, “light” means actinic rays or radiation. Unless otherwise specified, “exposure” in this specification is not limited to exposure with a bright line spectrum of a mercury lamp, deep ultraviolet rays represented by excimer laser, X-rays, EUV light, etc., but also particles such as electron beams and ion beams. Line drawing is also included in the exposure.
In the present specification, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value.
Further, in the present invention, “1 同” is synonymous with “0.1 nanometer (nm)”.

〔第1の実施形態:Raが100〜2000Åの樹脂膜〕
第1の実施形態における樹脂膜は、チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子とバインダー樹脂とを含み、その最表面の表面粗さRaが100〜2000Åであることを特徴とする。
今般、本発明者らは、チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子を含有する樹脂膜の最表面の表面粗さを上記数値範囲とすることで、得られる膜が低反射性と耐湿性に優れることを見出している。特に、樹脂膜中にフィラー(好ましくは、シリカ粒子)又はポリシロキサン構造を有する樹脂を含有させて膜表面を荒らす手法を用いた場合(それぞれ、後述する実施形態1A、1B)には、得られる膜の低反射性能がより向上するほか、耐湿性が顕著に優れることを確認している。
[First embodiment: resin film with Ra of 100 to 2000 mm]
The resin film in the first embodiment includes titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms and a binder resin, and the surface roughness Ra of the outermost surface is 100 to 2000 mm. It is characterized by.
Now, the present inventors have obtained a film obtained by setting the surface roughness of the outermost surface of a resin film containing titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms within the above numerical range. Has been found to be excellent in low reflectivity and moisture resistance. In particular, it is obtained when a method of roughening the film surface by containing a filler (preferably silica particles) or a resin having a polysiloxane structure in the resin film (Embodiments 1A and 1B, respectively) is obtained. In addition to further improving the low reflection performance of the film, it has been confirmed that the moisture resistance is remarkably excellent.

樹脂膜の表面粗さ(算術平均粗さRa)は、本発明の効果がより優れる点で、表面粗さRaが300〜2000Å(オングストローム)が好ましく、300〜1500Åがより好ましい。
表面粗さRaは、BRUKER社製DektakXTを用い、1μm/点の解像度で樹脂膜1mmの距離を測定し、算出する。
The surface roughness (arithmetic mean roughness Ra) of the resin film is preferably such that the surface roughness Ra is from 300 to 2,000 (angstroms), more preferably from 300 to 1,500 で in that the effect of the present invention is more excellent.
The surface roughness Ra is calculated by measuring the distance of 1 mm of the resin film with a resolution of 1 μm / point using DektakXT manufactured by BRUKER.

樹脂膜の厚みは特に制限されず、本発明の効果がより優れる点で、0.2〜10μmが好ましく、0.5〜3μmがより好ましい。上記厚みは平均厚みであり、樹脂膜の任意の5点以上の厚みを測定し、それらを算術平均した値である。   The thickness of the resin film is not particularly limited, and is preferably 0.2 to 10 μm, more preferably 0.5 to 3 μm, from the viewpoint that the effect of the present invention is more excellent. The above thickness is an average thickness, and is a value obtained by measuring the thickness of any five or more points of the resin film and arithmetically averaging them.

以下、第1の実施態様の樹脂膜を構成するための各種材料、製造方法について説明する。
以下ではまず、膜表面を荒らす手法として、樹脂膜中にフィラーを含有させる態様を説明する。
Hereinafter, various materials and manufacturing methods for constituting the resin film of the first embodiment will be described.
Below, the aspect which makes a resin film contain a filler first is demonstrated as a method of roughening the film | membrane surface first.

〔実施形態1A〕
樹脂膜を構成する材料としては、チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、更にフィラーが挙げられる。樹脂膜は、上述の構成材料又はその前駆体材料を含有する樹脂組成物を基板上に塗布することで形成することができる。
また、上記樹脂組成物は露光・現像性を有する感光性樹脂組成物とすることもできる。この場合には、樹脂組成物中に、重合開始剤、重合性化合物等を更に配合すればよい。更に、バインダー樹脂、重合性化合物、後述する分散樹脂等をアルカリ可溶性材料としてもよい。
以下に、上述した樹脂組成物(以下、「樹脂組成物A」とする)に含まれる各種材料について詳述する。
[Embodiment 1A]
Examples of the material constituting the resin film include titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms, a binder resin, and a filler. The resin film can be formed by applying a resin composition containing the above-described constituent materials or precursor materials thereof onto a substrate.
Moreover, the said resin composition can also be used as the photosensitive resin composition which has exposure and developability. In this case, a polymerization initiator, a polymerizable compound, etc. may be further blended in the resin composition. Furthermore, a binder resin, a polymerizable compound, a dispersion resin described later, and the like may be used as the alkali-soluble material.
Hereinafter, various materials contained in the above-described resin composition (hereinafter referred to as “resin composition A”) will be described in detail.

[樹脂組成物A]
<チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子>
樹脂組成物Aは、黒色顔料として、チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子(以下、「チタン窒化物含有粒子」ともいう。)を含む。チタン窒化物含有粒子は、チタン原子と、チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上とを含有する。また、以下の説明において「金属原子」とは「チタン原子以外の金属原子」を意味する。
[Resin composition A]
<Titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms>
Resin composition A contains, as a black pigment, titanium nitride-containing particles (hereinafter also referred to as “titanium nitride-containing particles”) containing at least one metal atom other than titanium atoms. Titanium nitride-containing particles contain titanium atoms and at least one metal atom other than titanium atoms. In the following description, “metal atom” means “metal atom other than titanium atom”.

上述のチタン窒化物含有粒子は、チタン窒化物粒子と金属微粒子とからなる複合微粒子である。「複合微粒子」とは、チタン窒化物粒子と金属微粒子とが複合化しているか、高度に分散した状態にある粒子のことをいう。ここで、「複合化している」とは、チタン窒化物と金属の両成分によって粒子が構成されていることを意味し、「高度に分散した状態」とは、チタン窒化物粒子と金属粒子がそれぞれ個別で存在し、かつ少量成分の粒子が凝集せず均一、一様に分散していることを意味する。
また、「チタン窒化物粒子」とは、主成分として窒化チタンを含み、通常、副成分として酸化チタンTiO、Ti2n−1(1≦n≦20)で表される低次酸化チタン及びTiN(y、zはそれぞれ0より大きく2未満の数)で表される酸窒化チタンを含有する。
The titanium nitride-containing particles described above are composite fine particles composed of titanium nitride particles and metal fine particles. “Composite fine particles” refers to particles in which titanium nitride particles and metal fine particles are complexed or in a highly dispersed state. Here, “composite” means that the particles are composed of both titanium nitride and metal components, and “highly dispersed” means that the titanium nitride particles and metal particles are It means that the particles exist individually and the small amount of particles are not aggregated and are uniformly and uniformly dispersed.
Further, the “titanium nitride particles” include titanium nitride as a main component, and are usually low-order titanium oxides represented by titanium oxide TiO 2 and Ti n O 2n-1 (1 ≦ n ≦ 20) as subcomponents. And TiN y O z (y and z are each greater than 0 and less than 2).

金属原子の含有量及びチタン原子の含有量はICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析法により分析し、窒素原子の含有量は不活性ガス融解−熱伝導度法により分析し、酸素原子の含有量は不活性ガス融解−熱伝導度法により分析することができる。これらの分析結果を基に、粒子中に含まれる元素量を算出する。但し、微粒子の製造方法によっては、上記チタン原子、窒素原子、酸素原子、金属原子以外の原子を不純物として含有することがあるが、不純物量が僅かで特定が困難な場合には、不純物を考慮せずに算出を行う。
分散安定性及び遮光性の観点から、チタン窒化物含有粒子の比表面積は5m/g以上100m/g以下が好ましく、10m/g以上60m/g以下がより好ましい。比表面積はBET法により求めることができる。
The content of metal atoms and the content of titanium atoms are analyzed by ICP (high frequency inductively coupled plasma) emission spectroscopy, and the content of nitrogen atoms is analyzed by inert gas melting-thermal conductivity method, and the content of oxygen atoms The amount can be analyzed by an inert gas melting-thermal conductivity method. Based on these analysis results, the amount of elements contained in the particles is calculated. However, depending on the method of producing the fine particles, atoms other than the titanium atom, nitrogen atom, oxygen atom, and metal atom may be contained as impurities. However, if the amount of impurities is small and difficult to specify, the impurities are considered. Calculation without
From the viewpoint of dispersion stability and light-shielding property, the specific surface area is preferably 5 m 2 / g or more 100 m 2 / g or less of titanium nitride-containing particles, 10 m 2 / g or more 60 m 2 / g or less is more preferable. The specific surface area can be determined by the BET method.

金属原子(金属微粒子)としては特に限定されず、例えば、銅、銀、金、バナジウム、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、カルシウム、チタン、ビスマス、アンチモン及び鉛、並びにこれらの合金、から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。中でも、銅、銀、金、鉄、白金、パラジウム、ニッケル、バナジウム、錫、コバルト、ロジウム及びイリジウム、並びにこれらの合金から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、銅、銀、金、ニッケル、バナジウム、白金、錫及び鉄、並びにこれらの合金から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。耐湿性により優れる観点から、銀及び鉄から選ばれる少なくとも1種であることが更に好ましく、銀であることが特に好ましい。
チタン窒化物含有粒子中、金属原子(金属微粒子)の含有量としては、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して0.001質量%超50質量%未満であることが好ましく、0.01質量%以上30質量%以下であることがより好ましく、0.2質量%以上30質量%以下であることが特に好ましい。なお、金属原子(金属微粒子)を複数種含む場合には、その総含有量が上記の数値範囲に含まれる意味である。
金属原子の含有量が0.001質量%超であることで、硬化膜のパターニング性が優れる。金属原子の含有量が50質量%未満であることで、耐湿性及び耐擦り性に優れる。硬化膜による電極の防食性が優れる。つまり、硬化膜が電極を腐食することを抑制できる。
チタン窒化物含有粒子中に含まれる金属原子は、電極および基板に対する密着性に優れており、チタン窒化物含有粒子中のチタン窒化物は、金属原子を介して、電極および基板に付着していたと考えられる。そのため、現像処理などの硬化膜のパターニング後において、金属原子が電極および基板上に残留し、チタン窒化物が除去されやすくなったと考えられる。そのため、チタン窒化物含有粒子中の金属原子の含有量を所定量以上にすることで、硬化膜のパターニング性が向上するものと推測される。
The metal atom (metal fine particle) is not particularly limited. For example, copper, silver, gold, vanadium, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium, iridium, iron, ruthenium, osmium, manganese, molybdenum, tungsten, niobium , Tantalum, calcium, titanium, bismuth, antimony and lead, and alloys thereof. Among these, at least one selected from copper, silver, gold, iron, platinum, palladium, nickel, vanadium, tin, cobalt, rhodium and iridium, and alloys thereof is preferable, copper, silver, gold, nickel, More preferably, it is at least one selected from vanadium, platinum, tin and iron, and alloys thereof. From the viewpoint of better moisture resistance, at least one selected from silver and iron is more preferable, and silver is particularly preferable.
In the titanium nitride-containing particles, the content of metal atoms (metal fine particles) is preferably more than 0.001% by mass and less than 50% by mass with respect to the total mass of the titanium nitride-containing particles, and 0.01% by mass. % To 30% by mass, more preferably 0.2% to 30% by mass. In addition, when multiple types of metal atoms (metal fine particles) are included, the total content is included in the above numerical range.
When the content of the metal atom is more than 0.001% by mass, the patterning property of the cured film is excellent. When the metal atom content is less than 50% by mass, the moisture resistance and rubbing resistance are excellent. The corrosion resistance of the electrode by the cured film is excellent. That is, it can suppress that a cured film corrodes an electrode.
The metal atom contained in the titanium nitride-containing particle has excellent adhesion to the electrode and the substrate, and the titanium nitride in the titanium nitride-containing particle was attached to the electrode and the substrate via the metal atom. Conceivable. For this reason, it is considered that metal atoms remain on the electrode and the substrate after the patterning of the cured film such as development processing, and the titanium nitride is easily removed. Therefore, it is presumed that the patterning property of the cured film is improved by setting the content of metal atoms in the titanium nitride-containing particles to a predetermined amount or more.

この他、高温高湿での保管をする場合においては、金属原子の含有量が0.001質量%以上0.4質量%未満であることが好ましい。チタン窒化物含有粒子中の金属原子の含有量を0.4質量%未満にすることで、電極の防食性が優れたものになったと推測される。この効果を得る場合には、0.01〜0.2質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることがさらに好ましい。   In addition, when storing at high temperature and high humidity, the content of metal atoms is preferably 0.001% by mass or more and less than 0.4% by mass. It is presumed that the anticorrosion property of the electrode became excellent by setting the content of metal atoms in the titanium nitride-containing particles to less than 0.4% by mass. When obtaining this effect, it is more preferably 0.01 to 0.2% by mass, and further preferably 0.02 to 0.1% by mass.

チタン窒化物含有粒子における金属微粒子は、表面被覆等の処理を行うことなく微粒子として安定な状態で存在している。
金属微粒子としてより高い遮光性を得るためには、適度に微粒子化することが好ましい。金属微粒子のX線回折スペクトルにおいて最も強度の強いメインピークの半値幅より求めた結晶子サイズとしては、50nm以下であることが好ましく、20nm以上50nm以下であることがより好ましい。結晶子サイズはX線回折ピークの半値幅より、シェラーの式を用いて算出することができる。
例えば、銀のX線回折スペクトルはCuKα線をX線源とした場合、最も強度の強いピークとして(111)面に由来するピークが2θ=38.1°近傍にみられる。この(111)面の半値幅より求めた結晶子サイズとしては、50nm以下であることが好ましく、20nm以上50nm以下であることがより好ましい。
The metal fine particles in the titanium nitride-containing particles exist in a stable state as fine particles without performing surface coating or the like.
In order to obtain higher light-shielding properties as metal fine particles, it is preferable that the fine particles be appropriately formed. The crystallite size determined from the half-width of the strongest main peak in the X-ray diffraction spectrum of the metal fine particles is preferably 50 nm or less, and more preferably 20 nm or more and 50 nm or less. The crystallite size can be calculated from the full width at half maximum of the X-ray diffraction peak using Scherrer's equation.
For example, in the case of an X-ray diffraction spectrum of silver, when CuKα ray is used as an X-ray source, a peak derived from the (111) plane is seen in the vicinity of 2θ = 38.1 ° as the strongest peak. The crystallite size obtained from the half width of the (111) plane is preferably 50 nm or less, and more preferably 20 nm or more and 50 nm or less.

チタン窒化物粒子は、遮光性を向上させるべく、下記の特徴を有していることが好ましい。
窒化チタンのX線回折スペクトルはCuKα線をX線源とした場合、最も強度の強いピークとしてTiNは(200)面に由来するピークが2θ=42.5°近傍にみられ、TiOは(200)面に由来するピークが2θ=43.4°近傍にみられる。一方、最も強度の強いピークではないが、アナターゼ型TiOは(200)面に由来するピークが2θ=48.1°近傍に観測され、ルチル型TiOは(200)面に由来するピークが2θ=39.2°近傍に観測される。よって、窒素原子及び酸素原子を有する結晶構造をとるチタン化合物は回折角2θが42.5°から43.4°の範囲において最も強度の強いピークがみられ、酸素原子を多く含有する結晶状態であるほどピーク位置は42.5°に対して高角度側にシフトする。
The titanium nitride particles preferably have the following characteristics in order to improve light shielding properties.
In the X-ray diffraction spectrum of titanium nitride, when CuKα ray is used as an X-ray source, TiN has a peak with the strongest intensity, and a peak derived from the (200) plane is observed in the vicinity of 2θ = 42.5 °. ) A peak derived from the surface is seen in the vicinity of 2θ = 43.4 °. On the other hand, most if not strength strong peaks, anatase TiO 2 is observed in peak 2 [Theta] = 48.1 ° near derived from (200) plane, rutile TiO 2 has a peak derived from the (200) plane It is observed in the vicinity of 2θ = 39.2 °. Therefore, a titanium compound having a crystal structure having nitrogen atoms and oxygen atoms has the strongest peak in the diffraction angle 2θ range of 42.5 ° to 43.4 °, and is in a crystalline state containing a large amount of oxygen atoms. The more the peak position is shifted to the higher angle side with respect to 42.5 °.

遮光性の観点から、チタン窒化物粒子は、主成分としてTiNを含み、その(200)面に由来するピークの回折角2θが42.5°以上43.5°以下であることが好ましく、42.5°以上42.8°以下であることがより好ましく、42.5°以上42.7°未満であることが更に好ましい。チタン窒化物粒子は、粒子表面の酸化などにより、通常、一部酸素原子を含有して酸窒化物の形態をとっている。通常、チタン窒化物粒子の合成時における酸素の混入は、粒子径が小さい場合に特に顕著となる。含有する酸素量が少ない方がより高い遮光性が得られるため好ましく、とりわけ副成分としてTiOを含有しないことが好ましい。酸素原子の含有量としては、チタン窒化物粒子の質量に対して10質量%以下であることが好ましく、6.0質量%以下であることがより好ましい。From the viewpoint of light shielding properties, the titanium nitride particles preferably contain TiN as a main component, and the peak diffraction angle 2θ derived from the (200) plane is preferably 42.5 ° or more and 43.5 ° or less, 42 The angle is more preferably from 5 ° to 42.8 °, still more preferably from 42.5 ° to less than 42.7 °. Titanium nitride particles are usually partially in the form of oxynitrides containing oxygen atoms due to oxidation of the particle surface. Usually, the mixing of oxygen during the synthesis of titanium nitride particles becomes particularly noticeable when the particle size is small. A smaller amount of oxygen is preferable because higher light shielding properties can be obtained, and it is particularly preferable not to contain TiO 2 as a subcomponent. The oxygen atom content is preferably 10% by mass or less, and more preferably 6.0% by mass or less, based on the mass of the titanium nitride particles.

遮光性の観点から、チタン窒化物粒子の結晶子サイズとしては50nm以下であることが好ましく、20nm以上50nm以下であることが更に好ましい。結晶子サイズが20nm以上であることで、活性の有する粒子表面が粒子体積に対して占める割合が小さくなり良好なバランスとなる。その結果、耐熱性又は耐久性が顕著に優れたチタン窒化物含有粒子が得られる。   From the viewpoint of light shielding properties, the crystallite size of the titanium nitride particles is preferably 50 nm or less, and more preferably 20 nm or more and 50 nm or less. When the crystallite size is 20 nm or more, the proportion of the active particle surface with respect to the particle volume becomes small and a good balance is obtained. As a result, titanium nitride-containing particles that are remarkably excellent in heat resistance or durability can be obtained.

上記チタン窒化物含有粒子のTIN(200)面に由来するピークの回折角2θは、遮光性の観点から、42.5°以上43.5°以下であることが好ましく、遮光性を高めるためには、42.5°以上42.8°以下であることがより好ましく、42.5°以上42.7°未満であることが更に好ましい。また、副成分として酸化チタンTiOを含有する場合、最も強度の強いピークとしてアナターゼ型TiO(101)に由来するピークが2θ=25.3°近傍に見られ、ルチル型TiO(110)に由来するピークが2θ=27.4°近傍に見られる。しかし、TiOは白色であり、遮光性を低下させる要因となるため、ピークとして観察されない程度に低減されていることが好ましい。The diffraction angle 2θ of the peak derived from the TIN (200) plane of the titanium nitride-containing particles is preferably 42.5 ° or more and 43.5 ° or less from the viewpoint of light shielding properties, in order to improve the light shielding properties. Is more preferably 42.5 ° or more and 42.8 ° or less, and further preferably 42.5 ° or more and less than 42.7 °. When titanium oxide TiO 2 is contained as a subcomponent, a peak derived from anatase TiO 2 (101) is seen as the strongest peak in the vicinity of 2θ = 25.3 °, and rutile TiO 2 (110). The peak derived from is seen in the vicinity of 2θ = 27.4 °. However, since TiO 2 is white and causes light-shielding properties to decrease, it is preferably reduced to such an extent that it is not observed as a peak.

チタン窒化物含有粒子は、Tiと金属元素とを気相状態で混合・凝縮する工程を経て製造されたものであることが好ましく、窒素含有ガスをプラズマガスとして用いる熱プラズマ法により製造されたものであることがより好ましい。   The titanium nitride-containing particles are preferably produced through a process of mixing and condensing Ti and a metal element in a gas phase, and produced by a thermal plasma method using a nitrogen-containing gas as a plasma gas. It is more preferable that

チタン窒化物含有粒子としては、更に、国際公開第2010/147098号、特開2007−153662号公報等に記載のものを参照することができる。
チタン窒化物含有粒子の含有量は、樹脂組成物中の全固形分に対して、30〜60質量%であることが好ましく、35〜60質量%であることがより好ましく、40〜55質量%であることが更に好ましい。
As the titanium nitride-containing particles, those described in International Publication No. 2010/147098, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-153662, and the like can be further referred to.
The content of titanium nitride-containing particles is preferably 30 to 60% by mass, more preferably 35 to 60% by mass, and 40 to 55% by mass with respect to the total solid content in the resin composition. More preferably.

チタン窒化物含有粒子の製造方法としては、国際公開第2010/147098号の段落<0037>〜<0089>に記載のものを参照することができる。
さらに、チタン窒化物含有粒子は、粒子を製造した後、直ちに大気にさらすことなく、酸素濃度が制御された密閉容器内において、所定時間(好ましくは12〜72時間、より好ましくは12〜48時間、さらに好ましくは12〜24時間)静置することが好ましい。なお、その際、水分の含有量が制御されているとより好ましい。これにより、チタン窒化物含有粒子の表面および結晶粒界が安定となり、組成物の性能が良化するものと推測される。具体的には、本発明の組成物を用いて得られる硬化膜のピンホールの発生を抑制できる。
上記酸素濃度が制御された密閉容器内における酸素(O)濃度、及び水分の含有量がそれぞれ100質量ppm以下であることが好ましく、10質量ppm以下であることがより好ましく、1質量ppm以下であることがさらに好ましい。上記の酸素(O)濃度、及び水分の含有量の調整については、上記の酸素(O)濃度、及び水分の含有量の上記の範囲内の酸素(O)、及び水分を含む窒素ガス又はアルゴンガスなどの不活性ガスを用いることが好ましく、この中でも窒素ガスを用いることがより好ましい。これにより、チタン窒化物含有粒子の表面および結晶粒界が安定となり、組成物の性能が良化するものと推測される。具体的には、光学濃度が高いチタン窒化物含有粒子が得られる他、本発明の組成物を用いて得られる硬化膜のピンホールの発生を抑制できる。また、所定時間静置する温度は300℃以下であることが好ましく、200℃以下であることがより好ましく、100℃以下であることが特に好ましい。この範囲であるとより光学濃度が高いチタン窒化物含有粒子が得られる。
As a method for producing titanium nitride-containing particles, the ones described in paragraphs <0037> to <0089> of International Publication No. 2010/147098 can be referred to.
Further, the titanium nitride-containing particles are produced for a predetermined time (preferably 12 to 72 hours, more preferably 12 to 48 hours) in a closed container in which the oxygen concentration is controlled without immediately exposing the titanium nitride-containing particles to the atmosphere. And more preferably 12 to 24 hours). At that time, it is more preferable that the water content is controlled. Thereby, the surface and crystal grain boundary of the titanium nitride-containing particles are stabilized, and it is estimated that the performance of the composition is improved. Specifically, the generation of pinholes in a cured film obtained using the composition of the present invention can be suppressed.
The oxygen (O 2 ) concentration and the moisture content in the closed container in which the oxygen concentration is controlled are each preferably 100 mass ppm or less, more preferably 10 mass ppm or less, and more preferably 1 mass ppm or less. More preferably. Nitrogen above oxygen (O 2) concentration, and the adjustment of the water content, the above oxygen (O 2) concentration, and oxygen (O 2) in the above range of the content of water, and a water-containing It is preferable to use an inert gas such as gas or argon gas, and among these, it is more preferable to use nitrogen gas. Thereby, the surface and crystal grain boundary of the titanium nitride-containing particles are stabilized, and it is estimated that the performance of the composition is improved. Specifically, titanium nitride-containing particles having a high optical density can be obtained, and generation of pinholes in a cured film obtained using the composition of the present invention can be suppressed. Further, the temperature for standing for a predetermined time is preferably 300 ° C. or less, more preferably 200 ° C. or less, and particularly preferably 100 ° C. or less. Within this range, titanium nitride-containing particles having a higher optical density can be obtained.

チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料は、高純度のものであることが好ましい。チタン粉末材料としては、特に限定されず、チタン元素の純度が99.99質量%以上であるものが好ましく、99.999質量%以上のものがより好ましく用いられる。   It is preferable that the titanium powder material used for manufacturing the titanium nitride-containing particles is of high purity. The titanium powder material is not particularly limited, and a titanium element having a purity of 99.99% by mass or more is preferable, and a material having 99.999% by mass or more is more preferably used.

また、チタン粉末材料中におけるケイ素原子の含有量は、チタン粉末材料全量に対して0.3質量%未満であることが好ましく、0.1質量%未満であることがより好ましく、実質的に含まないことが特に好ましい。
また、チタン粉末材料中における水分の含有量は、チタン粉末材料全量に対して1質量%未満であることが好ましく、0.1質量%未満であることがより好ましく、実質的に含まないことが特に好ましい。上記の範囲であると、所望の効果をより顕著に得ることができる。
Further, the content of silicon atoms in the titanium powder material is preferably less than 0.3% by mass, more preferably less than 0.1% by mass, substantially including the total amount of the titanium powder material. It is particularly preferred not to.
In addition, the water content in the titanium powder material is preferably less than 1% by mass, more preferably less than 0.1% by mass with respect to the total amount of the titanium powder material, and substantially no inclusion. Particularly preferred. A desired effect can be acquired more notably that it is said range.

チタン窒化物含有粒子を分散させるプロセスとしては、分散に用いる機械力として圧縮、圧搾、衝撃、剪断又はキャビテーションなどを使用するプロセスが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散及びマイクロフルイダイザー等が挙げられる。また「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」又は「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」に記載のプロセス及び分散機を好適に使用できる。ソルトミリング工程による顔料の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開2015−194521号公報、特開2012−046629号公報に記載のものを使用することができる。
これらの中でもサンドミル(ビーズミル)が好ましい。またサンドミル(ビーズミル)における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、又は、ビーズの充填率を大きくすること等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましく、更に粉砕処理後に濾過、遠心分離などで素粒子を除去することが好ましい。
Examples of the process for dispersing the titanium nitride-containing particles include a process using compression, squeezing, impact, shearing, cavitation or the like as a mechanical force used for dispersion. Specific examples of these processes include a bead mill, a sand mill, a roll mill, a ball mill, a high speed impeller, a sand grinder, a flow jet mixer, high pressure wet atomization, ultrasonic dispersion, and a microfluidizer. Also, “Dispersion Technology Taizen, Issued by Information Technology Corporation, July 15, 2005” or “Dispersion Technology and Industrial Application Centered on Suspension (Solid / Liquid Dispersion System)” The process and disperser described in “Issuance, October 10, 1978” can be preferably used. You may perform the refinement | miniaturization process of the pigment by a salt milling process. As materials, equipment, processing conditions and the like used in the salt milling process, for example, those described in JP-A-2015-194521 and JP-A-2012-046629 can be used.
Among these, a sand mill (bead mill) is preferable. In the grinding of pigments in a sand mill (bead mill), it is preferable to use beads having a small diameter or to process under conditions where the grinding efficiency has been increased by increasing the filling rate of beads. It is preferable to remove the elementary particles by centrifugation or the like.

上記のチタン窒化物含有粒子は後述する顔料を分散させるプロセスにも好適に用いられる。   Said titanium nitride containing particle | grains are used suitably also for the process of disperse | distributing the pigment mentioned later.

<バインダー樹脂>
樹脂組成物Aは、バインダー樹脂を含む。
バインダー樹脂は、フッ素原子及び珪素原子をいずれも含まないことが好ましい。ここで、「フッ素原子及び珪素原子をいずれも含まない」とは、樹脂中においてフッ素原子及び珪素原子が実質的に含まれないことを意味し、それぞれの含有量が樹脂全質量に対して3質量%以下であることが好ましく、0.1質量%以下であることがより好ましい。
<Binder resin>
Resin composition A contains a binder resin.
The binder resin preferably contains neither fluorine atoms nor silicon atoms. Here, “containing neither fluorine atom nor silicon atom” means that fluorine atom and silicon atom are not substantially contained in the resin, and each content is 3 with respect to the total mass of the resin. It is preferable that it is mass% or less, and it is more preferable that it is 0.1 mass% or less.

バインダー樹脂としては、特に限定されず、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用することができる。
バインダー樹脂の分子量としては、特に定めるものではなく、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)法によるポリスチレン換算値として、重量平均分子量(Mw)が5000〜100,000であることが好ましい。また、数平均分子量(Mn)は、1000〜20,000であることが好ましい。
GPC法は、HLC−8020GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM−H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
It does not specifically limit as binder resin, It is preferable to use a linear organic polymer. As such a linear organic polymer, a well-known thing can be used arbitrarily.
The molecular weight of the binder resin is not particularly defined, and it is preferable that the weight average molecular weight (Mw) is 5000 to 100,000 as a polystyrene converted value by GPC (gel permeation chromatography) method. The number average molecular weight (Mn) is preferably 1000 to 20,000.
The GPC method uses HLC-8020 GPC (manufactured by Tosoh Corporation), TSKgel SuperHZM-H, TSKgel SuperHZ4000, TSKgel SuperHZ2000 (manufactured by Tosoh Corporation, 4.6 mm ID × 15 cm) as columns and THF (tetrahydrofuran) as an eluent. ).

上述のとおり樹脂組成物Aは露光・現像性を有することができる。したがって、樹脂組成物Aが感光性樹脂組成物である場合、バインダー樹脂としては、水現像又は弱アルカリ水現像が可能な樹脂であることが好ましく、水又は弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーであることがより好ましい。なかでも、バインダー樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂(アルカリ可溶性を促進する基を有する樹脂)が特に好ましい。   As described above, the resin composition A can have exposure / developability. Therefore, when the resin composition A is a photosensitive resin composition, the binder resin is preferably a resin that can be developed with water or weakly alkaline water, and is soluble or swellable in water or weakly alkaline water. More preferably, it is a linear organic polymer. Among these, as the binder resin, an alkali-soluble resin (a resin having a group that promotes alkali-solubility) is particularly preferable.

アルカリ可溶性樹脂の分子量としては、特に定めるものではなく、重量平均分子量(Mw)が5000〜100,000であることが好ましい。また、数平均分子量(Mn)は、1000〜20,000であることが好ましい。重量平均分子量及び数平均分子量は、上述の方法により測定することができる。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子ポリマーであってもよく、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
The molecular weight of the alkali-soluble resin is not particularly defined, and the weight average molecular weight (Mw) is preferably 5,000 to 100,000. The number average molecular weight (Mn) is preferably 1000 to 20,000. A weight average molecular weight and a number average molecular weight can be measured by the above-mentioned method.
The alkali-soluble resin may be a linear organic polymer, and promotes at least one alkali-solubility in the molecule (preferably a molecule having an acrylic copolymer or styrene copolymer as the main chain). It can be suitably selected from alkali-soluble resins having a group to be used.

アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂がより好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられ、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましい。酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
The alkali-soluble resin is preferably a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, an acrylic resin, an acrylamide resin, or an acrylic / acrylamide copolymer resin from the viewpoint of heat resistance. An acrylic resin, an acrylamide resin, and an acrylic / acrylamide copolymer resin are more preferable.
Examples of the group that promotes alkali solubility (hereinafter also referred to as an acid group) include a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, and a phenolic hydroxyl group, and are soluble in an organic solvent and developed with a weakly alkaline aqueous solution. What is possible is preferred. Only one type of acid group may be used, or two or more types may be used.

アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。   For production of the alkali-soluble resin, for example, a known radical polymerization method can be applied. Polymerization conditions such as temperature, pressure, type and amount of radical initiator, type of solvent, etc. when producing an alkali-soluble resin by radical polymerization can be easily set by those skilled in the art, and the conditions are determined experimentally. It can also be done.

アルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましく、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂等、並びに側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシル基を有するポリマーに酸無水物を付加させたものが挙げられる。特に、(メタ)アクリル酸と、(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物、N位置換マレイミドモノマーなどが挙げられる。アルキル(メタ)アクリレート及びアリール(メタ)アクリレートとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等、特開平10−300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマーとして、N―フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等を挙げることができる。なお、これらの(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   As the alkali-soluble resin, a polymer having a carboxyl group in the side chain is preferable, and a methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, and a partial esterification are used. Examples include maleic acid copolymers, alkali-soluble phenol resins such as novolak resins, acidic cellulose derivatives having a carboxyl group in the side chain, and polymers having a hydroxyl group added with an acid anhydride. In particular, a copolymer of (meth) acrylic acid and another monomer copolymerizable with (meth) acrylic acid is suitable as the alkali-soluble resin. Examples of other monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid include alkyl (meth) acrylates, aryl (meth) acrylates, vinyl compounds, and N-substituted maleimide monomers. As alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, Examples of vinyl compounds such as hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, glycidyl methacrylate, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, tetrahydrofurfuryl methacrylate, polystyrene monomer Romonoma, polymethyl methacrylate macromonomer, as N-position-substituted maleimide monomer described in JP-A-10-300922, N- phenylmaleimide, mention may be made of N- cyclohexyl maleimide and the like. In addition, only 1 type may be sufficient as the other monomer copolymerizable with these (meth) acrylic acids, and 2 or more types may be sufficient as it.

また、樹脂組成物Aの架橋効率を向上させるために、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。重合性基としては、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。
重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂としては、ダイヤナ−ルNRシリーズ(三菱レイヨン株式会社製)、Photomer6173(COOH含有、polyurethane acrylic oligomer.Diamond Shamrock Co.Ltd.,製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業株式会社製)、サイクロマーPシリーズ(例えば、ACA230AA)、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業株式会社製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)、アクリキュア−RD−F8(日本触媒社製)などが挙げられる。
In order to improve the crosslinking efficiency of the resin composition A, an alkali-soluble resin having a polymerizable group may be used. Examples of the polymerizable group include a (meth) allyl group and a (meth) acryloyl group. As the alkali-soluble resin having a polymerizable group, an alkali-soluble resin having a polymerizable group in the side chain is useful.
Examples of the alkali-soluble resin having a polymerizable group include NR series (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), Photomer 6173 (COOH-containing, polyurethane acrylic oligomer. Diamond Shamrock Co. Ltd., biscort R-264, KS resist). 106 (both manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.), Cyclomer P series (for example, ACA230AA), Plaxel CF200 series (both manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Ebecryl 3800 (manufactured by Daicel UCB Co., Ltd.), Acrycure-RD -F8 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.).

アルカリ可溶性樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体を好ましく用いることができる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートを共重合したもの、特開平7−140654号公報に記載の、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。
また、市販品としては、例えばFF−426(藤倉化成社製)などを用いることもできる。
Examples of the alkali-soluble resin include benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer, and benzyl (meth) acrylate. A multi-component copolymer composed of / (meth) acrylic acid / other monomers can be preferably used. Further, a copolymer of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, a 2-hydroxypropyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer described in JP-A-7-140654, 2 -Hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate / polystyrene macromonomer / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate / polystyrene A macromonomer / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer can also be preferably used.
Moreover, as a commercial item, FF-426 (made by Fujikura Kasei Co., Ltd.) etc. can also be used, for example.

アルカリ可溶性樹脂は、下記一般式(ED1)で表される化合物及び/又は下記一般式(ED2)で表される化合物(以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。)を含むモノマー成分を重合してなるポリマー(a)を含むことも好ましい。   The alkali-soluble resin includes a compound represented by the following general formula (ED1) and / or a compound represented by the following general formula (ED2) (hereinafter, these compounds may be referred to as “ether dimers”). It is also preferable to include a polymer (a) obtained by polymerizing monomer components.

一般式(ED1)中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基を表す。In General Formula (ED1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent.

一般式(ED2)中、Rは、水素原子又は炭素数1〜30の有機基を表す。一般式(ED2)の具体例としては、特開2010−168539号公報の記載を参酌できる。   In General Formula (ED2), R represents a hydrogen atom or an organic group having 1 to 30 carbon atoms. As a specific example of the general formula (ED2), the description of JP 2010-168539 A can be referred to.

一般式(ED1)中、R及びRで表される置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基としては、特に制限はなく、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、tert−アミル基、ステアリル基、ラウリル基、2−エチルヘキシル基等の直鎖状又は分岐状のアルキル基;フェニル基等のアリール基;シクロヘキシル基、tert−ブチルシクロヘキシル基、ジシクロペンタジエニル基、トリシクロデカニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、2−メチル−2−アダマンチル基等の脂環式基;1−メトキシエチル基、1−エトキシエチル基等のアルコキシで置換されたアルキル基;ベンジル基等のアリール基で置換されたアルキル基;等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ベンジル基等のような酸又は熱で脱離しにくい1級又は2級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。In the general formula (ED1), the hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent represented by R 1 and R 2 is not particularly limited, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, linear or branched alkyl groups such as n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, tert-amyl group, stearyl group, lauryl group, 2-ethylhexyl group; phenyl group An alicyclic group such as cyclohexyl group, tert-butylcyclohexyl group, dicyclopentadienyl group, tricyclodecanyl group, isobornyl group, adamantyl group, 2-methyl-2-adamantyl group; Alkyl groups substituted by alkoxy such as methoxyethyl group and 1-ethoxyethyl group; alkyl groups substituted by aryl group such as benzyl group; and the like It is. Among these, a primary or secondary carbon substituent which is difficult to be removed by an acid or heat, such as a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, and a benzyl group, is particularly preferable in terms of heat resistance.

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0317を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。一般式(ED1)で表される化合物及び/又は一般式(ED2)で表される化合物由来の構造体は、その他のモノマーを共重合させてもよい。   As a specific example of the ether dimer, for example, paragraph 0317 of JP 2013-29760 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. Only one type of ether dimer may be used, or two or more types may be used. The compound represented by the general formula (ED1) and / or the structure derived from the compound represented by the general formula (ED2) may be copolymerized with other monomers.

アルカリ可溶性樹脂は、下記式(X)で示される化合物に由来する構造単位を含んでいてもよい。   The alkali-soluble resin may contain a structural unit derived from a compound represented by the following formula (X).

式(X)において、R1は、水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数2〜10のアルキレン基を表し、R3は、水素原子又はベンゼン環を含んでもよい炭素数1〜20のアルキル基を表す。nは1〜15の整数を表す。In Formula (X), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms, and R 3 represents a hydrogen atom or a benzene ring that may contain a benzene ring. Represents an alkyl group. n represents an integer of 1 to 15.

上記式(X)において、Rのアルキレン基の炭素数は、2〜3が好ましい。また、Rのアルキル基の炭素数は1〜20であり、より好ましくは1〜10であり、Rのアルキル基はベンゼン環を含んでもよい。Rで表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、2−フェニル(イソ)プロピル基等を挙げることができる。In the formula (X), the number of carbon atoms of the alkylene group R 2 is preferably 2-3. The number of carbon atoms in the alkyl group of R 3 is from 1 to 20, more preferably 1 to 10, alkyl group of R 3 may include a benzene ring. Examples of the alkyl group containing a benzene ring represented by R 3 include a benzyl group and a 2-phenyl (iso) propyl group.

アルカリ可溶性樹脂の具体例としては、以下が挙げられる。なお、「Me」とはメチル基を意味する。   Specific examples of the alkali-soluble resin include the following. “Me” means a methyl group.

アルカリ可溶性樹脂は、特開2012−208494号公報の段落番号0558〜0571(対応する米国特許出願公開第2012/0235099号明細書の<0685>〜<0700>)以降の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
更に、特開2012−32767号公報の段落番号0029〜0063に記載の共重合体(B)及び実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開2012−208474号公報の段落番号0088〜0098に記載のバインダー樹脂及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−137531号公報の段落番号0022〜0032に記載のバインダー樹脂及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2013−024934号公報の段落番号0132〜0143に記載のバインダー樹脂及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2011−242752号公報の段落番号0092〜0098及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−032770号公報の段落番号0030〜0072に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
For the alkali-soluble resin, paragraphs 0558 to 0571 in JP 2012-208494 A (corresponding to <0685> to <0700> in the corresponding US Patent Application Publication No. 2012/0235099) can be referred to, and these can be referred to. The contents are incorporated herein.
Further, the copolymer (B) described in paragraphs 0029 to 0063 of JP2012-32767A and the alkali-soluble resin used in Examples, paragraphs 0088 to 0098 of JP2012-208474A The binder resin described and the binder resin used in the examples, the binder resin described in paragraph Nos. 0022 to 0032 of JP 2012-137531 A and the binder resin used in the examples, JP 2013-024934 A The binder resin described in paragraph Nos. 0132 to 0143 of the gazette and the binder resin used in the examples, the binder numbers used in the paragraphs 0092 to 0098 and the examples of JP 2011-242752 A, and JP 2012 Paragraph Nos. 0030 to 0072 of JP-032770 It is also possible to use a binder resin according. These contents are incorporated herein.

アルカリ可溶性樹脂の酸価は、30〜500mgKOH/gが好ましい。下限は、50mgKOH/g以上がより好ましく、70mgKOH/g以上が更に好ましい。上限は、400mgKOH/g以下がより好ましく、200mgKOH/g以下が更に好ましく、150mgKOH/g以下が特に好ましく、120mgKOH/g以下が最も好ましい。   The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 30 to 500 mgKOH / g. The lower limit is more preferably 50 mgKOH / g or more, and still more preferably 70 mgKOH / g or more. The upper limit is more preferably 400 mgKOH / g or less, further preferably 200 mgKOH / g or less, particularly preferably 150 mgKOH / g or less, and most preferably 120 mgKOH / g or less.

また、その他の樹脂として、国際公開第2008/123097号に記載のポリイミド樹脂も有用である。   Further, as other resins, polyimide resins described in International Publication No. 2008/123097 are also useful.

樹脂組成物Aにおけるバインダー樹脂の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.01〜40質量%が好ましい。下限は、0.1質量%以上がより好ましく、0.5質量%以上が更に好ましく、1質量%以上が特に好ましく、1.5質量%以上が最も好ましい。上限は、30質量%以下がより好ましく、20質量%以下が更に好ましい。樹脂組成物A中、バインダー樹脂を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。   As for content of the binder resin in the resin composition A, 0.01-40 mass% is preferable with respect to the total solid of a composition. The lower limit is more preferably 0.1% by mass or more, still more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and most preferably 1.5% by mass or more. The upper limit is more preferably 30% by mass or less, and still more preferably 20% by mass or less. In the resin composition A, only one type of binder resin may be included, or two or more types may be included. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

<フィラー>
樹脂組成物Aは、フィラーを含む。ここで、「フィラー」とは表面を荒らす目的で付与される粒子である。なお、上述のチタン窒化物含有粒子は、フィラーには含まれない。また、その他の顔料等の着色性付与に用いられる粒子はフィラーには含まれず、フィラーとしては非着色性のものが好ましい。
フィラーの組成は特に限定されず、無機粒子及び有機粒子のいずれを用いてもよい。
無機粒子としては特に限定されず、例えば、珪素、チタン、アルミニウム、スズ、亜鉛、アンチモンなどの酸化物が挙げられる。無機粒子としては、内部が多孔質又は空洞(中空)構造であってもよい。
有機粒子としては特に限定されず、その材料としては、例えば、セルロース誘導体、アクリル樹脂、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリカーポネート、ポリスチレン、ビニルアセテート、ビニルアルコール、塩化ビニル又はビニルブチラールのホモ重合体あるいは共重合体のようなビニルポリマー、ジエンのホモ重合体及び共重合体等の樹脂が挙げられる。
低反射性の観点から、なかでも、シリカ粒子、アクリル粒子であることが好ましく、中空構造を有する中空シリカ(中空シリカ粒子)であることがより好ましい。
<Filler>
Resin composition A contains a filler. Here, the “filler” is a particle provided for the purpose of roughening the surface. The above-mentioned titanium nitride-containing particles are not included in the filler. Moreover, the particle | grains used for coloring property provision, such as another pigment, are not contained in a filler, and a non-coloring thing is preferable as a filler.
The composition of the filler is not particularly limited, and either inorganic particles or organic particles may be used.
The inorganic particles are not particularly limited, and examples thereof include oxides such as silicon, titanium, aluminum, tin, zinc, and antimony. The inorganic particles may have a porous or hollow (hollow) structure inside.
The organic particles are not particularly limited, and examples thereof include cellulose derivatives, acrylic resins, polyolefins, polyamides, polycarbonates, polystyrene, vinyl acetate, vinyl alcohol, vinyl chloride or vinyl butyral homopolymer or copolymer. Resins such as vinyl polymers such as coalescence, diene homopolymers and copolymers, and the like.
Among these, silica particles and acrylic particles are preferable from the viewpoint of low reflectivity, and hollow silica having a hollow structure (hollow silica particles) is more preferable.

フィラーの粒径分布における極大値は50〜1000nmであることが好ましく、耐湿性及び耐擦り性がより優れる観点から50〜500nmであることがより好ましい。
フィラーの粒径分布における極大値は、マイクロトラック・ベル社製ナノトラックUPA−EXにより測定することができる。
The maximum value in the particle size distribution of the filler is preferably 50 to 1000 nm, and more preferably 50 to 500 nm from the viewpoint of more excellent moisture resistance and scratch resistance.
The maximum value in the particle size distribution of the filler can be measured by Nanotrac UPA-EX manufactured by Microtrac Bell.

フィラーを樹脂組成物Aに含有させる場合、その含有量は、組成物中の全固形分に対して、1〜25質量%であることが好ましく、2〜20質量%であることがより好ましく、3〜15質量%であることが更に好ましい。
樹脂組成物A中、フィラーを、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
When the resin composition A contains a filler, the content thereof is preferably 1 to 25% by mass, more preferably 2 to 20% by mass, based on the total solid content in the composition, More preferably, it is 3-15 mass%.
In the resin composition A, only one type of filler may be included, or two or more types of fillers may be included. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

<分散樹脂>
樹脂組成物Aは、分散樹脂を含有してもよい。分散樹脂は、上述したチタン窒化物含有粒子(以後、適宜「黒色顔料」とも称する)のほか、所望により併用するその他の顔料などの着色顔料の分散性向上に寄与する。
分散樹脂としては、例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物等を挙げることができる。
分散樹脂(以下、「高分子化合物」ともいう)は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及びブロック型高分子に分類することができる。
<Dispersed resin>
The resin composition A may contain a dispersion resin. The dispersion resin contributes to the improvement of the dispersibility of the above-described titanium nitride-containing particles (hereinafter, also referred to as “black pigment” as appropriate) and other pigments such as other pigments used in combination as desired.
Examples of the dispersion resin include polyamidoamine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified poly (meth) acrylate, (meth) acrylic copolymer, naphthalene. Examples include sulfonic acid formalin condensate.
Dispersion resins (hereinafter also referred to as “polymer compounds”) can be further classified into linear polymers, terminal-modified polymers, graft polymers, and block polymers, based on their structures.

高分子化合物は、黒色顔料及び所望により併用する顔料等の被分散体の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。
一方で、チタン窒化物含有粒子の表面を改質することにより、これらに対する高分子化合物の吸着性を促進させることもできる。
The polymer compound is adsorbed on the surface of a dispersion such as a black pigment and, if desired, a pigment used together, and acts to prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be mentioned as preferred structures.
On the other hand, by modifying the surface of the titanium nitride-containing particles, the adsorptivity of the polymer compound to these can be promoted.

高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位を有することが好ましい。なお、本明細書において、「構造単位」とは「繰り返し単位」と同義である。
このようなグラフト鎖を有する構造単位を有する高分子化合物は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、黒色顔料等の着色顔料の分散性、及び、経時後の分散安定性に優れるものである。また、組成物においては、グラフト鎖の存在により重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂などとの親和性を有するので、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり分散性は向上するが、一方グラフト鎖が長すぎると黒色顔料等の着色顔料への吸着力が低下して分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が40〜10000の範囲であるものが好ましく、水素原子を除いた原子数が50〜2000であるものがより好ましく、水素原子を除いた原子数が60〜500であるものが更に好ましい。
ここで、「グラフト鎖」とは、共重合体の主鎖の根元(主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子)から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。
The polymer compound preferably has a structural unit having a graft chain. In the present specification, “structural unit” is synonymous with “repeating unit”.
Such a polymer compound having a structural unit having a graft chain is excellent in dispersibility of a colored pigment such as a black pigment and dispersion stability after a lapse of time because it has an affinity for a solvent by the graft chain. It is. In addition, since the composition has an affinity with a polymerizable compound or other resin that can be used in combination due to the presence of the graft chain, a residue is hardly generated by alkali development.
When the graft chain becomes longer, the steric repulsion effect becomes higher and the dispersibility is improved. On the other hand, when the graft chain is too long, the adsorptive power to a colored pigment such as a black pigment is lowered and the dispersibility tends to be lowered. For this reason, the graft chain preferably has a number of atoms excluding hydrogen atoms in the range of 40 to 10,000, more preferably a number of atoms excluding hydrogen atoms of 50 to 2000, and atoms excluding hydrogen atoms. More preferably, the number is 60 to 500.
Here, the “graft chain” means from the base of the main chain of the copolymer (the atom bonded to the main chain in a group branched from the main chain) to the end of the group branched from the main chain. .

グラフト鎖は、ポリマー構造を有することが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリ(メタ)アクリレート構造(例えば、ポリ(メタ)アクリル構造)、ポリエステル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、及び、ポリエーテル構造などを挙げることができる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造及びポリ(メタ)アクリレート構造からなる群から選ばれた少なくとも1種を有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル構造及びポリエーテル構造の少なくともいずれかを有するグラフト鎖であることがより好ましい。
The graft chain preferably has a polymer structure. Examples of such a polymer structure include a poly (meth) acrylate structure (for example, a poly (meth) acrylic structure), a polyester structure, a polyurethane structure, a polyurea structure, and a polyamide structure. And a polyether structure.
In order to improve the interaction between the graft chain and the solvent and thereby increase the dispersibility, the graft chain is at least one selected from the group consisting of a polyester structure, a polyether structure and a poly (meth) acrylate structure. The graft chain is preferably a graft chain having at least one of a polyester structure and a polyether structure.

このようなポリマー構造をグラフト鎖として有するマクロモノマーの構造としては、特に限定されず、好ましくは、反応性二重結合性基を有するマクロモノマーを好適に使用することができる。   The structure of the macromonomer having such a polymer structure as a graft chain is not particularly limited, and a macromonomer having a reactive double bond group can be preferably used.

高分子化合物が有するグラフト鎖を有する構造単位に対応し、高分子化合物の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA−6(商品名、東亜合成(株))、AA−10(商品名、東亜合成(株)製)、AB−6(商品名、東亜合成(株)製)、AS−6(商品名、東亜合成(株))、AN−6(商品名、東亜合成(株)製)、AW−6(商品名、東亜合成(株)製)、AA−714(商品名、東亜合成(株)製)、AY−707(商品名、東亜合成(株)製)、AY−714(商品名、東亜合成(株)製)、AK−5(商品名、東亜合成(株)製)、AK−30(商品名、東亜合成(株)製)、AK−32(商品名、東亜合成(株)製)、アロニックスM−110(商品名、東亜合成(株)製)、アロニックスM−5300(商品名、東亜合成(株)製)、アロニックスM−5400(商品名、東亜合成(株)製)、アロニックスM−5700(商品名、東亜合成(株)製)、ブレンマーPP−100(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPP−500(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPP−800(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPP−1000(商品名、日油(株)製)、ブレンマー55−PET−800(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPME−4000(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPSE−400(商品名、日油(株)製)、ブレンマーPSE−1300(商品名、日油(株)製)、ブレンマー43PAPE−600B(商品名、日油(株)製)などが用いられる。このなかでも、好ましくは、AA−6(商品名、東亜合成(株)製)、AA−10(商品名、東亜合成(株))、AB−6(商品名、東亜合成(株)製)、AS−6(商品名、東亜合成(株))、AN−6(商品名、東亜合成(株)製)、アロニックスM−110(商品名、東亜合成(株)製)、アロニックスM−5300(商品名、東亜合成(株)製)、ブレンマーPME−4000(商品名、日油(株)製)などが用いられる。   Corresponding to the structural unit having a graft chain of the polymer compound, commercially available macromonomers suitably used for the synthesis of the polymer compound include AA-6 (trade name, Toa Gosei Co., Ltd.), AA-10 ( Product name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AB-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AS-6 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.), AN-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) Co., Ltd.), AW-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AA-714 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AY-707 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AY-714 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AK-5 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AK-30 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AK-32 (product) Name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Aronix M-110 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Aronix M-530 (Trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Aronix M-5400 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Aronix M-5700 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Blemmer PP-100 (product) Name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER PP-500 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER PP-800 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER PP-1000 (trade name, NOF Corporation), BLEMMER 55-PET-800 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER PME-4000 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER PSE-400 (trade name, NOF Corporation), BLEMMER PSE-1300 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER 43PAPE-600B (trade name, manufactured by NOF Corporation) and the like are used. Among these, AA-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AA-10 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AB-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) AS-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AN-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Aronix M-110 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Aronix M-5300 (Trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), Bremer PME-4000 (trade name, manufactured by NOF Corporation) and the like are used.

高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位として、下記式(1)〜式(4)のいずれかで表される構造単位を含むことが好ましく、下記式(1A)、下記式(2A)、下記式(3A)、下記式(3B)、及び下記(4)のいずれかで表される構造単位を含むことがより好ましい。   The polymer compound preferably includes a structural unit represented by any one of the following formulas (1) to (4) as a structural unit having a graft chain. The following formula (1A), the following formula (2A), More preferably, it contains a structural unit represented by any one of the following formula (3A), the following formula (3B), and the following (4).

式(1)〜式(4)において、W、W、W、及びWはそれぞれ独立に酸素原子又はNHを表す。W、W、W、及びWは酸素原子であることが好ましい。
式(1)〜式(4)において、X、X、X、X、及びXは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X、X、X、X、及びXとしては、合成上の制約の観点からは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜12のアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。
In formulas (1) to (4), W 1, W 2, W 3, and W 4 represents an oxygen atom or NH independently. W 1 , W 2 , W 3 , and W 4 are preferably oxygen atoms.
In the formulas (1) to (4), X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group. X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 are each independently preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms from the viewpoint of synthesis constraints. Further, a hydrogen atom or a methyl group is more preferable, and a methyl group is particularly preferable.

式(1)〜式(4)において、Y、Y、Y、及びYは、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Y、Y、Y、及びYで表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y−1)〜(Y−21)の連結基などが例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ、式(1)〜式(4)における左末端基、右末端基との結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y−2)又は(Y−13)であることがより好ましい。In Formula (1) to Formula (4), Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 each independently represent a divalent linking group, and the linking group is not particularly limited in structure. Specific examples of the divalent linking group represented by Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 include the following (Y-1) to (Y-21) linking groups. . In the structure shown below, A and B each represent a binding site with the left terminal group and the right terminal group in Formulas (1) to (4). Of the structures shown below, (Y-2) or (Y-13) is more preferable from the viewpoint of ease of synthesis.

式(1)〜式(4)において、Z、Z、Z、及びZは、それぞれ独立に1価の有機基を表す。有機基の構造は、特に限定されず、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基などが挙げられる。これらの中でも、Z、Z、Z、及びZで表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を有するものが好ましく、各々独立に炭素数5から24のアルキル基又はアルコキシ基が好ましく、その中でも、特に各々独立に炭素数5から24の分岐アルキル基、炭素数5から24の環状アルキル基、又は、炭素数5から24のアルコキシ基が好ましい。なお、アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。In the formulas (1) to (4), Z 1 , Z 2 , Z 3 , and Z 4 each independently represent a monovalent organic group. The structure of the organic group is not particularly limited, and specific examples include an alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a heteroaryloxy group, an alkylthioether group, an arylthioether group, a heteroarylthioether group, and an amino group. Is mentioned. Among these, as the organic group represented by Z 1 , Z 2 , Z 3 , and Z 4 , those having a steric repulsion effect are particularly preferable from the viewpoint of improving dispersibility, and each independently has 5 to 24 carbon atoms. Of these, a branched alkyl group having 5 to 24 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 5 to 24 carbon atoms, or an alkoxy group having 5 to 24 carbon atoms is particularly preferable. The alkyl group contained in the alkoxy group may be linear, branched or cyclic.

式(1)〜式(4)において、n、m、p、及びqは、それぞれ独立に、1から500の整数である。
また、式(1)及び式(2)において、j及びkは、それぞれ独立に、2〜8の整数を表す。式(1)及び式(2)におけるj及びkは、分散安定性、現像性の観点から、4〜6の整数が好ましく、5が最も好ましい。
In Formula (1)-Formula (4), n, m, p, and q are the integers of 1 to 500 each independently.
Moreover, in Formula (1) and Formula (2), j and k represent the integer of 2-8 each independently. J and k in Formula (1) and Formula (2) are preferably integers of 4 to 6, and most preferably 5, from the viewpoints of dispersion stability and developability.

式(3)中、Rは分岐若しくは直鎖のアルキレン基を表し、炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基がより好ましい。pが2〜500のとき、複数存在するRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式(4)中、Rは水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。Rとして好ましくは、水素原子、アルキル基、アリール基、及びヘテロアリール基が挙げられ、より好ましくは、水素原子、又はアルキル基である。Rがアルキル基である場合、アルキル基としては、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基、炭素数3〜20の分岐状アルキル基、又は炭素数5〜20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基が更に好ましい。式(4)において、qが2〜500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するX及びRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
In Formula (3), R 3 represents a branched or straight chain alkylene group, preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms. When p is 2 to 500, a plurality of R 3 may be the same as or different from each other.
In the formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and the monovalent organic group is not particularly limited in terms of structure. R 4 preferably includes a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, and a heteroaryl group, and more preferably a hydrogen atom or an alkyl group. When R 4 is an alkyl group, the alkyl group is preferably a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a branched alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a cyclic alkyl group having 5 to 20 carbon atoms, A linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is more preferable, and a linear alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable. In the formula (4), when q is 2 to 500, a plurality of X 5 and R 4 present in the graft copolymer may be the same or different from each other.

また、高分子化合物は、2種以上の構造が異なる、グラフト鎖を有する構造単位を有することができる。即ち、高分子化合物の分子中に、互いに構造の異なる式(1)〜式(4)で示される構造単位を含んでいてもよく、また、式(1)〜式(4)においてn、m、p、及びqがそれぞれ2以上の整数を表す場合、式(1)及び式(2)においては、側鎖中にj及びkが互いに異なる構造を含んでいてもよく、式(3)及び式(4)においては、分子内に複数存在するR、R及びXは互いに同じであっても異なっていてもよい。In addition, the polymer compound may have a structural unit having a graft chain, which has two or more different structures. That is, in the molecule of the polymer compound, structural units represented by the formulas (1) to (4) having different structures from each other may be included, and in the formulas (1) to (4), n, m , P, and q each represent an integer of 2 or more, in formula (1) and formula (2), j and k may contain structures different from each other in the side chain. In the formula (4), a plurality of R 3 , R 4 and X 5 present in the molecule may be the same or different from each other.

式(1)で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式(1A)で表される構造単位であることがより好ましい。
また、式(2)で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式(2A)で表される構造単位であることがより好ましい。
The structural unit represented by the formula (1) is more preferably a structural unit represented by the following formula (1A) from the viewpoints of dispersion stability and developability.
Further, the structural unit represented by the formula (2) is more preferably a structural unit represented by the following formula (2A) from the viewpoint of dispersion stability and developability.

式(1A)中、X、Y、Z及びnは、式(1)におけるX、Y、Z及びnと同義であり、好ましい範囲も同様である。式(2A)中、X、Y、Z及びmは、式(2)におけるX、Y、Z及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。Wherein (1A), X 1, Y 1, Z 1 and n are as defined X 1, Y 1, Z 1 and n in Formula (1), and preferred ranges are also the same. Wherein (2A), X 2, Y 2, Z 2 and m are as defined X 2, Y 2, Z 2 and m in the formula (2), and preferred ranges are also the same.

また、式(3)で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式(3A)又は式(3B)で表される構造単位であることがより好ましい。   Moreover, as a structural unit represented by Formula (3), it is more preferable that it is a structural unit represented by following formula (3A) or Formula (3B) from a viewpoint of dispersion stability and developability.

式(3A)又は(3B)中、X、Y、Z及びpは、式(3)におけるX、Y、Z及びpと同義であり、好ましい範囲も同様である。Wherein (3A) or (3B), X 3, Y 3, Z 3 and p are as defined X 3, Y 3, Z 3 and p in formula (3), and preferred ranges are also the same.

高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位として、式(1A)で表される構造単位を有することがより好ましい。   The polymer compound preferably has a structural unit represented by the formula (1A) as a structural unit having a graft chain.

高分子化合物において、グラフト鎖を有する構造単位(例えば、上記式(1)〜式(4)で表される構造単位)は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し2〜90%の範囲で含まれることが好ましく、5〜30%の範囲で含まれることがより好ましい。グラフト鎖を有する構造単位が、この範囲内で含まれると黒色顔料等の着色顔料の分散性が高く、着色層を形成する際の現像性が良好である。   In the polymer compound, the structural unit having a graft chain (for example, the structural unit represented by the above formula (1) to formula (4)) is 2 to 90% of the total mass of the polymer compound in terms of mass. It is preferably included in a range, and more preferably in a range of 5 to 30%. When the structural unit having a graft chain is contained within this range, the dispersibility of a colored pigment such as a black pigment is high, and the developability when forming a colored layer is good.

また、高分子化合物は、グラフト鎖を有する構造単位とは異なる(すなわち、グラフト鎖を有する構造単位には相当しない)疎水性構造単位を有することが好ましい。ただし、本発明において、疎水性構造単位は、酸基(例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸基等)を有さない構造単位である。   The polymer compound preferably has a hydrophobic structural unit different from the structural unit having a graft chain (that is, not corresponding to the structural unit having a graft chain). However, in the present invention, the hydrophobic structural unit is a structural unit having no acid group (for example, carboxylic acid group, sulfonic acid group, phosphoric acid group, phenolic hydroxyl group, etc.).

疎水性構造単位は、好ましくは、ClogP値が1.2以上の化合物(モノマー)に由来する(対応する)構造単位であり、より好ましくは、ClogP値が1.2〜8の化合物に由来する構造単位である。これにより、本発明の効果をより確実に発現することができる。   The hydrophobic structural unit is preferably a structural unit derived from (corresponding to) a compound (monomer) having a ClogP value of 1.2 or more, more preferably derived from a compound having a ClogP value of 1.2 to 8. A structural unit. Thereby, the effect of this invention can be expressed more reliably.

ClogP値は、Daylight Chemical Information System, Inc.から入手できるプログラム“CLOGP”で計算された値である。このプログラムは、Hansch, Leoのフラグメントアプローチ(下記文献参照)により算出される“計算logP”の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造(フラグメント)に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたlogP寄与分を合計することにより化合物のlogP値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本発明では、プログラムCLOGP v4.82により計算したClogP値を用いる。
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol.4, C. Hansch, P. G. Sammnens, J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds., p.295, Pergamon Press, 1990 C. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A.J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev., 93, 1281−1306, 1993.
ClogP values can be obtained from Daylight Chemical Information System, Inc. It is a value calculated by the program “CLOGP” available from This program provides the value of “computation logP” calculated by Hansch, Leo's fragment approach (see below). The fragment approach is based on the chemical structure of a compound, which divides the chemical structure into substructures (fragments) and estimates the logP value of the compound by summing the logP contributions assigned to that fragment. Details thereof are described in the following documents. In the present invention, the ClogP value calculated by the program CLOGP v4.82 is used.
A. J. et al. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol. 4, C.I. Hansch, P.A. G. Sammunens, J. et al. B. Taylor and C.M. A. Ramsden, Eds. , P. 295, Pergamon Press, 1990 C.I. Hansch & A. J. et al. Leo. Substituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A. J. et al. Leo. Calculating logPoch from structure. Chem. Rev. , 93, 1281-1306, 1993.

logPは、分配係数P(Partition Coefficient)の常用対数を意味し、ある有機化合物が油(一般的には1−オクタノール)と水の2相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
logP=log(Coil/Cwater)
式中、Coilは油相中の化合物のモル濃度を、Cwaterは水相中の化合物のモル濃度を表す。
logPの値が0をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増すことを意味し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。
log P means the common logarithm of the partition coefficient P (Partition Coefficient), and quantitatively determines how an organic compound is distributed in the equilibrium of a two-phase system of oil (generally 1-octanol) and water. It is a physical property value expressed as a numerical value, and is represented by the following formula.
logP = log (Coil / Cwater)
In the formula, Coil represents the molar concentration of the compound in the oil phase, and Cwater represents the molar concentration of the compound in the aqueous phase.
When the logP value increases to a positive value across 0, the oil solubility increases. When the logP value increases to a negative value, the water solubility increases. There is a negative correlation with the water solubility of the organic compound. It is widely used as a parameter for estimating aqueous properties.

高分子化合物は、疎水性構造単位として、下記一般式(i)〜(iii)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を有することが好ましい。   It is preferable that a high molecular compound has 1 or more types of structural units selected from the structural unit derived from the monomer represented by the following general formula (i)-(iii) as a hydrophobic structural unit.

上記式(i)〜(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素原子数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
、R、及びRは、より好ましくは水素原子、又は炭素原子数が1〜3のアルキル基であり、更に好ましくは、水素原子又はメチル基である。R及びRは、水素原子であることが特に好ましい。
Xは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
In the above formulas (i) to (iii), R 1 , R 2 , and R 3 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon atom number 1-6 alkyl groups (for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.) are represented.
R 1 , R 2 , and R 3 are more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and still more preferably a hydrogen atom or a methyl group. R 2 and R 3 are particularly preferably a hydrogen atom.
X represents an oxygen atom (—O—) or an imino group (—NH—), and is preferably an oxygen atom.

Lは、単結合又は2価の連結基である。2価の連結基としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル基(−CO−)、又は、これらの組合せ等が挙げられる。L is a single bond or a divalent linking group. As the divalent linking group, a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, a substituted alkynylene group), a divalent aromatic group (for example, an arylene group) , Substituted arylene group), divalent heterocyclic group, oxygen atom (—O—), sulfur atom (—S—), imino group (—NH—), substituted imino group (—NR 31 —, where R 31 Is an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl group (—CO—), or a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよく、飽和脂肪族基であることが好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基等が挙げられる。   The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for the carbon atom number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group may be an unsaturated aliphatic group or a saturated aliphatic group, and is preferably a saturated aliphatic group. Further, the aliphatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aromatic group and a heterocyclic group.

2価の芳香族基の炭素原子数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基等が挙げられる。   6-20 are preferable, as for the carbon atom number of a bivalent aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aliphatic group, an aromatic group, and a heterocyclic group.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基、又は、複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably has a 5-membered or 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocyclic ring, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocyclic ring. Moreover, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, oxo groups (═O), thioxo groups (═S), imino groups (═NH), substituted imino groups (═N—R 32 , where R 32 is a fatty acid. Aromatic group, aromatic group or heterocyclic group), aliphatic group, aromatic group, or heterocyclic group.

Lは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L is preferably a single bond, an alkylene group or a divalent linking group containing an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more oxyalkylene structures. The polyoxyalkylene structure is preferably a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure. The polyoxyethylene structure is represented by — (OCH 2 CH 2 ) n—, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

Zとしては、脂肪族基(例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、置換不飽和アルキル基、)、芳香族基(例えば、アリール基、置換アリール基、アリーレン基、置換アリーレン基)、複素環基、又は、これらの組み合わせが挙げられる。これらの基には、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル基(−CO−)が含まれていてもよい。Z is an aliphatic group (eg, alkyl group, substituted alkyl group, unsaturated alkyl group, substituted unsaturated alkyl group), aromatic group (eg, aryl group, substituted aryl group, arylene group, substituted arylene group). , A heterocyclic group, or a combination thereof. These groups include an oxygen atom (—O—), a sulfur atom (—S—), an imino group (—NH—), a substituted imino group (—NR 31 —, wherein R 31 is an aliphatic group, an aromatic group. Group or heterocyclic group) or a carbonyl group (—CO—) may be contained.

脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基には、更に環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、4−シクロヘキシルフェニル基などが含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環(ビシクロ[2.2.2]オクタン環、ビシクロ[3.2.1]オクタン環等)などの2環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、トリシクロ[4.3.1.12,5]ウンデカン環などの3環式炭化水素環、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、パーヒドロ−1,4−メタノ−5,8−メタノナフタレン環などの4環式炭化水素環などが挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン(デカリン)、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、パーヒドロフェナレン環などの5〜8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。
The aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for the carbon atom number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group further includes a ring assembly hydrocarbon group and a bridged cyclic hydrocarbon group. Examples of the ring assembly hydrocarbon group include a bicyclohexyl group, a perhydronaphthalenyl group, a biphenyl group, and 4-cyclohexyl. A phenyl group and the like are included. As the bridged cyclic hydrocarbon ring, for example, bicyclic such as pinane, bornane, norpinane, norbornane, bicyclooctane ring (bicyclo [2.2.2] octane ring, bicyclo [3.2.1] octane ring, etc.) Hydrocarbon ring, homobredan, adamantane, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane, tricyclic hydrocarbon ring such as tricyclo [4.3.1.1 2,5 ] undecane ring, tetracyclo [4 .4.0.1 2,5 . 1 7,10 ] dodecane, and tetracyclic hydrocarbon rings such as perhydro-1,4-methano-5,8-methanonaphthalene ring. The bridged cyclic hydrocarbon ring includes a condensed cyclic hydrocarbon ring such as perhydronaphthalene (decalin), perhydroanthracene, perhydrophenanthrene, perhydroacenaphthene, perhydrofluorene, perhydroindene, perhydroindene. A condensed ring in which a plurality of 5- to 8-membered cycloalkane rings such as a phenalene ring are condensed is also included.
The aliphatic group is preferably a saturated aliphatic group rather than an unsaturated aliphatic group. Further, the aliphatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aromatic group, and a heterocyclic group. However, the aliphatic group does not have an acid group as a substituent.

芳香族基の炭素原子数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。   6-20 are preferable, as for the carbon atom number of an aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aliphatic group, an aromatic group, and a heterocyclic group. However, the aromatic group does not have an acid group as a substituent.

複素環基は、複素環として5員環又は6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。The heterocyclic group preferably has a 5-membered or 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocyclic ring, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocyclic ring. Moreover, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, oxo groups (═O), thioxo groups (═S), imino groups (═NH), substituted imino groups (═N—R 32 , where R 32 is a fatty acid. Aromatic group, aromatic group or heterocyclic group), aliphatic group, aromatic group and heterocyclic group. However, the heterocyclic group does not have an acid group as a substituent.

上記式(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素原子数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、Z、又は−L−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるものと同義である。R、R、及びRとしては、水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In said formula (iii), R < 4 >, R < 5 > and R < 6 > are respectively independently a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), a C1-C6 alkyl. Represents a group (for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), Z, or -LZ. Here, L and Z are as defined above. As R < 4 >, R < 5 > and R < 6 >, a hydrogen atom or a C1-C3 alkyl group is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.

本発明においては、上記一般式(i)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基若しくはオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
また、上記一般式(ii)で表される単量体として、Rが水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。また、上記一般式(iii)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
In the present invention, as the monomer represented by the general formula (i), R 1 , R 2 , and R 3 are a hydrogen atom or a methyl group, and L is a single bond, an alkylene group, or an oxyalkylene structure. A compound in which X is an oxygen atom or an imino group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group is preferable.
Further, as the monomer represented by the general formula (ii), R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, L is an alkylene group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group. Is preferred. Further, as the monomer represented by the general formula (iii), R 4 , R 5 , and R 6 are a hydrogen atom or a methyl group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group, or an aromatic group. Certain compounds are preferred.

式(i)〜(iii)で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、及びスチレン類などから選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
なお、式(i)〜(iii)で表される代表的な化合物の例としては、特開2013−249417号公報の段落0089〜0093に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Examples of typical compounds represented by formulas (i) to (iii) include radical polymerizable compounds selected from acrylic acid esters, methacrylic acid esters, styrenes, and the like.
As examples of typical compounds represented by formulas (i) to (iii), the compounds described in paragraphs 0089 to 0093 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are described in the present specification. Incorporated into.

高分子化合物において、疎水性構造単位は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し10〜90%の範囲で含まれることが好ましく、20〜80%の範囲で含まれることがより好ましい。含有量が上記範囲において十分なパターン形成が得られる。   In the polymer compound, the hydrophobic structural unit is preferably contained in a range of 10 to 90% and more preferably in a range of 20 to 80% with respect to the total mass of the polymer compound in terms of mass. When the content is in the above range, sufficient pattern formation can be obtained.

高分子化合物は、黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を導入することができる。ここで、高分子化合物は、黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位を更に有することが好ましい。
この黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、反応性を有する官能基等が挙げられる。
高分子化合物が、酸基、塩基性基、配位性基、又は、反応性を有する官能基を有する場合、それぞれ、酸基を有する構造単位、塩基性基を有する構造単位、配位性基を有する構造単位、又は、反応性を有する官能基を有する構造単位を有することが好ましい。
特に、高分子化合物が、更に、酸基として、カルボン酸基などのアルカリ可溶性基を有することで、高分子化合物に、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与することができる。
すなわち、高分子化合物にアルカリ可溶性基を導入することで、樹脂組成物Aは、黒色顔料等の着色顔料の分散に寄与する分散樹脂としての高分子化合物がアルカリ可溶性を有することになる。このような高分子化合物を含有する組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、且つ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
また、高分子化合物が酸基を有する構造単位を有することにより、高分子化合物が溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を有する構造単位における酸基が黒色顔料等の着色顔料と相互作用しやすく、高分子化合物が黒色顔料等の着色顔料を安定的に分散すると共に、黒色顔料等の着色顔料を分散する高分子化合物の粘度が低くなっており、高分子化合物自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。
The polymer compound can introduce a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment. Here, the polymer compound preferably further has a structural unit having a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment.
Examples of the functional group capable of forming an interaction with the colored pigment such as the black pigment include an acid group, a basic group, a coordination group, and a reactive functional group.
When the polymer compound has an acid group, a basic group, a coordinating group, or a reactive functional group, the structural unit having an acid group, the structural unit having a basic group, or a coordinating group, respectively. Or a structural unit having a functional group having reactivity.
In particular, when the polymer compound further has an alkali-soluble group such as a carboxylic acid group as an acid group, developability for pattern formation by alkali development can be imparted to the polymer compound.
That is, by introducing an alkali-soluble group into the polymer compound, in the resin composition A, the polymer compound as a dispersion resin that contributes to the dispersion of a colored pigment such as a black pigment has alkali solubility. A composition containing such a polymer compound has excellent light-shielding properties in the exposed area, and the alkali developability in the unexposed area is improved.
Moreover, when a high molecular compound has a structural unit which has an acid group, it becomes easy for a high molecular compound to become compatible with a solvent, and it exists in the tendency for applicability | paintability to improve.
This is because the acid group in the structural unit having an acid group easily interacts with a color pigment such as a black pigment, and the polymer compound stably disperses the color pigment such as a black pigment, This is presumably because the viscosity of the polymer compound to be dispersed is low and the polymer compound itself is easily dispersed stably.

ただし、酸基としてのアルカリ可溶性基を有する構造単位は、上記したグラフト鎖を有する構造単位と同一の構造単位であっても、異なる構造単位であってもよく、酸基としてのアルカリ可溶性基を有する構造単位は、上記した疎水性構造単位とは異なる構造単位である。すなわち、上記した疎水性構造単位には相当しない。   However, the structural unit having an alkali-soluble group as an acid group may be the same structural unit as the above-described structural unit having a graft chain or a different structural unit. The structural unit possessed is a structural unit different from the hydrophobic structural unit described above. That is, it does not correspond to the hydrophobic structural unit described above.

黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又は、フェノール性水酸基などがあり、好ましくは、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種であり、特に好ましいものは、黒色顔料等の着色顔料への吸着力が良好で、且つ、その分散性が高いカルボン酸基である。
すなわち、高分子化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種を有する構造単位を更に有することが好ましい。
Examples of the acid group that is a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, and a phenolic hydroxyl group, and preferably a carboxylic acid Group, sulfonic acid group, and phosphoric acid group, and particularly preferred is a carboxylic acid group that has good adsorptive power to colored pigments such as black pigments and has high dispersibility. .
That is, the polymer compound preferably further has a structural unit having at least one of a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group.

高分子化合物は、酸基を有する構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、酸基を有する構造単位を含有してもしなくてもよく、含有する場合、酸基を有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは5〜80%であり、より好ましくは、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10〜60%である。
The polymer compound may have one or more structural units having an acid group.
The polymer compound may or may not contain a structural unit having an acid group, and when it is contained, the content of the structural unit having an acid group is, in terms of mass, with respect to the total mass of the polymer compound, Preferably, it is 5 to 80%, and more preferably 10 to 60% from the viewpoint of suppressing damage of image strength due to alkali development.

黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含むヘテロ環、アミド基などがあり、特に好ましいものは、黒色顔料等の着色顔料への吸着力が良好で、且つ、その分散性が高い第3級アミノ基である。高分子化合物は、これらの塩基性基を1種或いは2種以上、有することができる。
高分子化合物は、塩基性基を有する構造単位を含有してもしなくてもよく、含有する場合、塩基性基を有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは0.01%以上50%以下であり、より好ましくは、現像性阻害抑制という観点から、0.01%以上30%以下である。
Examples of the basic group that is a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment include a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, and a heterocyclic ring containing an N atom, There are amide groups and the like, and particularly preferred is a tertiary amino group which has a good adsorptive power to colored pigments such as black pigments and has high dispersibility. The polymer compound can have one or more of these basic groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit having a basic group. When it is contained, the content of the structural unit having a basic group is based on the total mass of the polymer compound in terms of mass. The content is preferably 0.01% or more and 50% or less, and more preferably 0.01% or more and 30% or less from the viewpoint of suppressing the development inhibition.

黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、酸塩化物などが挙げられる。特に好ましいものは、黒色顔料等の着色顔料への吸着力が良好で分散性が高いアセチルアセトキシ基である。高分子化合物は、これらの基を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、配位性基を有する構造単位、又は、反応性を有する官能基を有する構造単位を含有してもしなくてもよく、含有する場合、これらの構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは10%以上80%以下であり、より好ましくは、現像性阻害抑制という観点から、20%以上60%以下である。
As a coordinating group that is a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment, and a functional group having reactivity, for example, an acetylacetoxy group, a trialkoxysilyl group, an isocyanate group, an acid anhydride, Examples include acid chlorides. Particularly preferred is an acetylacetoxy group which has a good adsorptive power to colored pigments such as black pigments and high dispersibility. The polymer compound may have one or more of these groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit having a coordinating group or a structural unit having a reactive functional group, and if included, the content of these structural units is In terms of conversion, it is preferably 10% or more and 80% or less with respect to the total mass of the polymer compound, and more preferably 20% or more and 60% or less from the viewpoint of suppressing developability inhibition.

本発明における高分子化合物が、グラフト鎖以外に、黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を有する場合、上述したような、各種の黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を含有していればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされず、高分子化合物は、下記一般式(iv)〜(vi)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を有することが好ましい。   When the polymer compound in the present invention has a functional group capable of interacting with a colored pigment such as a black pigment in addition to the graft chain, it forms an interaction with various colored pigments such as the black pigment as described above. It is only necessary to contain functional groups that can be used, and how these functional groups are introduced is not particularly limited, and the polymer compound is represented by the following general formulas (iv) to (vi). It is preferable to have one or more structural units selected from structural units derived from monomers.

一般式(iv)〜一般式(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素原子数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
一般式(iv)〜一般式(vi)中、R11、R12、及びR13は、より好ましくは、それぞれ独立に水素原子、又は炭素原子数が1〜3のアルキル基であり、より好ましくは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基である。一般式(iv)中、R12及びR13は、それぞれ水素原子であることが特に好ましい。
In general formula (iv) to general formula (vi), R 11 , R 12 , and R 13 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon atom. An alkyl group having 1 to 6 numbers (for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.) is represented.
In general formula (iv) to general formula (vi), R 11 , R 12 and R 13 are more preferably each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably Are each independently a hydrogen atom or a methyl group. In general formula (iv), R 12 and R 13 are each particularly preferably a hydrogen atom.

一般式(iv)中のXは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
また、一般式(v)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
X 1 in the general formula (iv) represents an oxygen atom (—O—) or an imino group (—NH—), and is preferably an oxygen atom.
Y in the general formula (v) represents a methine group or a nitrogen atom.

また、一般式(iv)〜一般式(v)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、及び置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、及び置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ結合(−NR31’−、ここでR31’は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル結合(−CO−)、又は、これらの組合せ等が挙げられる。Moreover, L < 1 > in general formula (iv)-general formula (v) represents a single bond or a bivalent coupling group. Examples of the divalent linking group include a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, and a substituted alkynylene group), a divalent aromatic group (for example, , Arylene group and substituted arylene group), divalent heterocyclic group, oxygen atom (—O—), sulfur atom (—S—), imino group (—NH—), substituted imino bond (—NR 31 ′ — Here, R 31 ′ includes an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl bond (—CO—), or a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。   The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for the carbon atom number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group is preferably a saturated aliphatic group rather than an unsaturated aliphatic group. Further, the aliphatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxyl group, an aromatic group, and a heterocyclic group.

2価の芳香族基の炭素原子数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基を挙げられる。   6-20 are preferable, as for the carbon atom number of a bivalent aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxyl group, an aliphatic group, an aromatic group, and a heterocyclic group.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基を挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably has a 5-membered or 6-membered ring as the heterocycle. One or more heterocycles, aliphatic rings or aromatic rings may be condensed with the heterocycle. Moreover, the heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, oxo groups (═O), thioxo groups (═S), imino groups (═NH), substituted imino groups (═N—R 32 , where R 32 is a fatty acid. Aromatic group, aromatic group or heterocyclic group), aliphatic group, aromatic group and heterocyclic group.

は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L 1 is preferably a single bond, an alkylene group or a divalent linking group containing an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L 1 may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more oxyalkylene structures. The polyoxyalkylene structure is preferably a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure. The polyoxyethylene structure is represented by — (OCH 2 CH 2 ) n—, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

一般式(iv)〜一般式(vi)中、Zは、グラフト鎖以外に黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を表し、カルボン酸基、第三級アミノ基であることが好ましく、カルボン酸基であることがより好ましい。In general formula (iv) to general formula (vi), Z 1 represents a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment in addition to the graft chain, and is a carboxylic acid group or a tertiary amino group. It is preferable that it is a carboxylic acid group.

一般式(vi)中、R14、R15、及びR16は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素原子数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、−Z、又は−L−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R14、R15、及びR16としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In the general formula (vi), R 14 , R 15 , and R 16 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or an alkyl having 1 to 6 carbon atoms. group (e.g., methyl group, ethyl group, propyl group, etc.), - represents a Z 1, or -L 1 -Z 1. Wherein L 1 and Z 1 are the same meaning as L 1 and Z 1 in the above, it is the preferable examples. R 14 , R 15 , and R 16 are each independently preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom.

本発明においては、一般式(iv)で表される単量体として、R11、R12、及びR13がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
また、一般式(v)で表される単量体として、R11が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、一般式(vi)で表される単量体として、R14、R15、及びR16がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
In the present invention, as the monomer represented by the general formula (iv), R 11 , R 12 , and R 13 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, and L 1 is an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound in which X 1 is an oxygen atom or an imino group and Z 1 is a carboxylic acid group is preferable.
Further, as the monomer represented by the general formula (v), R 11 is a hydrogen atom or a methyl group, L 1 is an alkylene group, Z 1 is a carboxylic acid group, and Y is methine. Compounds that are groups are preferred.
Furthermore, as the monomer represented by the general formula (vi), R 14 , R 15 , and R 16 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, and L 1 is a single bond or an alkylene group, A compound in which Z is a carboxylic acid group is preferred.

以下に、一般式(iv)〜一般式(vi)で表される単量体(化合物)の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を有する化合物(例えば、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル)とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を有する化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を有する化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を有する化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を有する化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4−ビニル安息香酸、ビニルフェノール、4−ヒドロキシフェニルメタクリルアミドなどが挙げられる。
Below, the typical example of the monomer (compound) represented by general formula (iv)-general formula (vi) is shown.
Examples of monomers include methacrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, a reaction product of a compound having an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule (for example, 2-hydroxyethyl methacrylate) and succinic anhydride. , A reaction product of a compound having an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule with phthalic anhydride, a reaction product of a compound having an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and tetrahydroxyphthalic anhydride , A reaction product of a compound having an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and trimellitic anhydride, a reaction product of a compound having an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule and pyromellitic anhydride, Acrylic acid, acrylic acid dimer, acrylic acid oligomer, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, 4-vinylbenzoic acid, vinylphenol, 4-hydroxyphenol Such as Le methacrylamide.

黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位の含有量は、黒色顔料等の着色顔料との相互作用、分散安定性、及び現像液への浸透性の観点から、高分子化合物の全質量に対して、0.05〜90質量%が好ましく、1.0〜80質量%がより好ましく、10〜70質量%が更に好ましい。   The content of the structural unit having a functional group capable of forming an interaction with a colored pigment such as a black pigment is from the viewpoint of interaction with a colored pigment such as a black pigment, dispersion stability, and permeability to a developer. 0.05-90 mass% is preferable with respect to the total mass of a high molecular compound, 1.0-80 mass% is more preferable, and 10-70 mass% is still more preferable.

更に、高分子化合物は、画像強度などの諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、グラフト鎖を有する構造単位、疎水性構造単位、及び、黒色顔料等の着色顔料と相互作用を形成しうる官能基を有する構造単位とは異なる、種々の機能を有する他の構造単位(例えば、分散物に用いられる分散媒との親和性を有する官能基などを有する構造単位)を更に有していてもよい。
このような、他の構造単位としては、例えば、アクリロニトリル類、メタクリロニトリル類などから選ばれるラジカル重合性化合物に由来の構造単位が挙げられる。
高分子化合物は、これらの他の構造単位を1種或いは2種以上用いることができ、その含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは0%以上80%以下であり、特に好ましくは、10%以上60%以下である。含有量が上記範囲において、十分なパターン形成性が維持される。
Furthermore, for the purpose of improving various performances such as image strength, the polymer compound is a structural unit having a graft chain, a hydrophobic structural unit, and a colored pigment such as a black pigment, as long as the effects of the present invention are not impaired. Other structural units having various functions different from structural units having a functional group capable of forming an interaction (for example, structural units having a functional group having an affinity for a dispersion medium used in a dispersion) Furthermore, you may have.
Examples of such other structural units include structural units derived from radically polymerizable compounds selected from acrylonitriles, methacrylonitriles, and the like.
The polymer compound may use one or more of these other structural units, and the content thereof is preferably 0% or more and 80% or less in terms of mass with respect to the total mass of the polymer compound. Especially preferably, it is 10% or more and 60% or less. When the content is in the above range, sufficient pattern formability is maintained.

高分子化合物の酸価は、0mgKOH/g以上160mgKOH/g以下の範囲であることが好ましく、より好ましくは10mgKOH/g以上140mgKOH/g以下の範囲であり、更に好ましくは20mgKOH/g以上120mgKOH/g以下の範囲である。
高分子化合物の酸価が160mgKOH/g以下であれば、樹脂層を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、高分子化合物の酸価が10mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、高分子化合物の酸価が20mgKOH/g以上であれば、黒色顔料等の着色顔料の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくすることができ、組成物の経時安定性をより向上できる。
The acid value of the polymer compound is preferably in the range of 0 mgKOH / g to 160 mgKOH / g, more preferably in the range of 10 mgKOH / g to 140 mgKOH / g, and still more preferably in the range of 20 mgKOH / g to 120 mgKOH / g. The range is as follows.
When the acid value of the polymer compound is 160 mgKOH / g or less, pattern peeling during development when forming the resin layer is more effectively suppressed. Moreover, if the acid value of a high molecular compound is 10 mgKOH / g or more, alkali developability will become more favorable. Further, if the acid value of the polymer compound is 20 mgKOH / g or more, precipitation of colored pigments such as black pigments can be further suppressed, the number of coarse particles can be reduced, and the temporal stability of the composition is further improved. it can.

本発明において、高分子化合物の酸価は、例えば、高分子化合物中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、高分子化合物の構成成分である酸基を含有する構造単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。   In the present invention, the acid value of the polymer compound can be calculated, for example, from the average content of acid groups in the polymer compound. Moreover, the resin which has a desired acid value can be obtained by changing content of the structural unit containing the acid group which is a structural component of a high molecular compound.

本発明における高分子化合物の重量平均分子量は、樹脂膜を形成する際において、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)法によるポリスチレン換算値として、4,000以上300,000以下であることが好ましく、5,000以上200,000以下であることがより好ましく、6,000以上100,000以下であることが更に好ましく、10,000以上50,000以下であることが特に好ましい。
GPC法は、HLC−8020GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM−H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
The weight average molecular weight of the polymer compound in the present invention is 4,000 as a polystyrene conversion value by GPC (gel permeation chromatography) method from the viewpoint of pattern peeling inhibition during development and developability when forming a resin film. It is preferably 300 or more and 300 or less, more preferably 5,000 or more and 200,000 or less, further preferably 6,000 or more and 100,000 or less, and 10,000 or more and 50,000 or less. It is particularly preferred.
The GPC method uses HLC-8020 GPC (manufactured by Tosoh Corporation), TSKgel SuperHZM-H, TSKgel SuperHZ4000, TSKgel SuperHZ2000 (manufactured by Tosoh Corporation, 4.6 mm ID × 15 cm) as columns and THF (tetrahydrofuran) as an eluent. ).

高分子化合物は、公知の方法に基づいて合成でき、高分子化合物を合成する際に用いられる溶剤としては、例えば、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどが挙げられる。これらの溶剤は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。   The polymer compound can be synthesized based on a known method, and examples of the solvent used when synthesizing the polymer compound include ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, propanol, butanol, and ethylene glycol monomethyl. Ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, 1-methoxy-2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, toluene, Examples include ethyl acetate, methyl lactate, and ethyl lactate. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明に用いうる高分子化合物の具体例としては、楠木化成株式会社製「DA−7301」、BYKChemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、111(リン酸系分散剤)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170、190(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)」、EFKA社製「EFKA4047、4050〜4010〜4165(ポリウレタン系)、EFKA4330〜4340(ブロック共重合体)、4400〜4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール(株)製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、12000、17000、20000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト共重合体)」、日光ケミカルズ社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル(株)製 ヒノアクトT−8000E等、信越化学工業(株)製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商(株)製「W001:カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「W004、W005、W017」等のアニオン系界面活性剤、森下産業(株)製「EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ(株)製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」等の高分子分散剤、(株)ADEKA製「アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123」、及び三洋化成(株)製「イオネット(商品名)S−20」等が挙げられる。また、アクリベースFFS−6752、アクリベースFFS−187、アクリキュア−RD−F8、サイクロマーPを用いることもできる。
また、両性樹脂の市販品としては、例えば、ビックケミー社製のDISPERBYK−130、DISPERBYK−140、DISPERBYK−142、DISPERBYK−145、DISPERBYK−180、DISPERBYK−187、DISPERBYK−191、DISPERBYK−2001、DISPERBYK−2010、DISPERBYK−2012、DISPERBYK−2025、BYK−9076、味の素ファインテクノ社製のアジスパーPB821、アジスパーPB822、アジスパーPB881等が挙げられる。
これらの高分子化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
Specific examples of the polymer compound that can be used in the present invention include “DA-7301” manufactured by Kashiwagi Kasei Co., Ltd., “Disperbyk-101 (polyamideamine phosphate)” manufactured by BYK Chemie, 107 (carboxylic acid ester), 110 (acid group). ), 111 (phosphate dispersant), 130 (polyamide), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170, 190 (polymer copolymer) ”,“ BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid) "," EFKA 4047, 4050 to 4010 to 4165 (polyurethane) ", EFKA 4330 to 4340 (block copolymer), 4400 to 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyester) manufactured by EFKA Amide), 5765 (high molecular weight polycarboxylate), 622 (Fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine derivative), 6750 (azo pigment derivative) ”,“ Ajisper PB821, PB822, PB880, PB881 ”manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co.,“ Floren TG-710 (urethane oligomer) ”manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. “Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer)”, “Disparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polycarboxylic acid), # 7004 (polyetherester)” manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd. , DA-703-50, DA-705, DA-725 "," Demol RN, N (naphthalenesulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate) manufactured by Kao Corporation ) "," Homogenol L-18 (polymeric polycarboxylic acid) ", "Emulgen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether)", "Acetamine 86 (stearylamine acetate)", "Solsperse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative)" manufactured by Nippon Lubrizol Co., Ltd. 13240 (polyesteramine), 3000, 12000, 17000, 20000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft copolymer) ”,“ Nikkor T106 (Nikkor Chemicals) ” Polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ", Kawaken Fine Chemical Co., Ltd. Hinoact T-8000E, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Organosi Xan polymer KP341, “W001: cationic surfactant” manufactured by Yusho Co., Ltd., polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl Nonionic surfactants such as ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester, anionic surfactants such as “W004, W005, W017”, “EFKA-46, EFKA manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.” -47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400, EFKA polymer 401, EFKA polymer 450 ", manufactured by San Nopco" Disperse Aid 6, D Polymer dispersing agents such as “Sparse Aid 8, Disperse Aid 15, Disperse Aid 9100”, “Adeka Pluronic L31, F38, L42, L44, L61, L64, F68, L72, P95, F77, P84 manufactured by ADEKA Corporation , F87, P94, L101, P103, F108, L121, P-123 ”,“ Ionet (trade name) S-20 ”manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd., and the like. Also, Acrybase FFS-6752, Acrybase FFS-187, Acrycure-RD-F8, and Cyclomer P can be used.
Moreover, as a commercial product of amphoteric resin, for example, DISPERBYK-130, DISPERBYK-140, DISPERBYK-142, DISPERBYK-145, DISPERBYK-180, DISPERBYK-187, DISPERBYK-191, DISPERBYK-2001, DISPERB manufactured by BYK Chemie. 2010, DISPERBYK-2012, DISPERBYK-2025, BYK-9976, Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd. Ajisper PB821, Ajisper PB822, Ajisper PB881 and the like.
These polymer compounds may be used alone or in combination of two or more.

なお、高分子化合物の具体例の例としては、特開2013−249417号公報の段落0127〜0129に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。   As specific examples of the polymer compound, the polymer compounds described in paragraphs 0127 to 0129 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

また、分散樹脂としては、上述した高分子化合物以外に、特開2010−106268号公報の段落0037〜0115(対応するUS2011/0124824の段落0075〜0133)のグラフト共重合体が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
また、上記以外にも、特開2011−153283号公報の段落0028〜0084(対応するUS2011/0279759の段落0075〜0133)の酸性基が連結基を介して結合してなる側鎖構造を有する構成成分を含む高分子化合物が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
Further, as the dispersion resin, in addition to the above-described polymer compound, graft copolymers of paragraphs 0037 to 0115 of JP 2010-106268 A (corresponding paragraphs 0075 to 0133 of US2011 / 0124824) can be used. The contents can be incorporated and incorporated herein.
In addition to the above, a structure having a side chain structure in which acidic groups of paragraphs 0028 to 0084 of JP 2011-153283 A (corresponding paragraphs 0075 to 0133 of US2011 / 0279759) are bonded via a linking group Polymeric compounds containing components can be used, the contents of which can be incorporated and incorporated herein.

樹脂組成物Aにおける分散樹脂の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.1〜50質量%が好ましく、1〜40質量%がより好ましく、1〜30質量%が更に好ましい。   0.1-50 mass% is preferable with respect to the total solid of a composition, as for content of the dispersion resin in the resin composition A, 1-40 mass% is more preferable, and 1-30 mass% is still more preferable.

なお、顔料を分散させるプロセスとしては、分散に用いる機械力として圧縮、圧搾、衝撃、剪断、又は、キャビテーションなどを使用するプロセスが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散、又は、マイクロフルイダイザー等などが挙げられる。また「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」又は「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」に記載のプロセス及び分散機を好適に使用できる。ソルトミリング工程による顔料の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、及び、処理条件等は、例えば、特開2015−194521号公報、特開2012−046629号公報に記載のものを使用することができる。
これらの中でもサンドミル(ビーズミル)が好ましい。またサンドミル(ビーズミル)における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましく、更に粉砕処理後に濾過、遠心分離などで素粒子を除去することが好ましい。
Examples of the process for dispersing the pigment include a process using compression, squeezing, impact, shearing, cavitation or the like as the mechanical force used for dispersion. Specific examples of these processes include a bead mill, a sand mill, a roll mill, a ball mill, a high-speed impeller, a sand grinder, a flow jet mixer, high-pressure wet atomization, ultrasonic dispersion, or a microfluidizer. Also, “Dispersion Technology Taizen, Issued by Information Technology Corporation, July 15, 2005” or “Dispersion Technology and Industrial Application Centered on Suspension (Solid / Liquid Dispersion System)” The process and disperser described in “Issuance, October 10, 1978” can be preferably used. You may perform the refinement | miniaturization process of the pigment by a salt milling process. As materials, equipment, processing conditions and the like used in the salt milling process, for example, those described in JP-A-2015-194521 and JP-A-2012-046629 can be used.
Among these, a sand mill (bead mill) is preferable. In the grinding of pigments in sand mills (bead mills), it is preferable to use beads with small diameters and to treat them under conditions that increase the grinding efficiency by increasing the filling rate of beads. It is preferable to remove the elementary particles by separation or the like.

<重合開始剤>
樹脂組成物Aは、重合開始剤を含有していてもよい。
重合開始剤としては特に制限はなく、公知の重合開始剤の中から適宜選択することができ、例えば、感光性を有するもの(いわゆる、光重合開始剤)が好ましい。
光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
<Polymerization initiator>
The resin composition A may contain a polymerization initiator.
There is no restriction | limiting in particular as a polymerization initiator, It can select suitably from well-known polymerization initiators, For example, what has photosensitivity (what is called a photoinitiator) is preferable.
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate polymerization of a polymerizable compound, and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators. For example, those having photosensitivity to visible light from the ultraviolet region are preferable. Further, it may be an activator that generates some action with a photoexcited sensitizer and generates an active radical, or may be an initiator that initiates cationic polymerization according to the type of monomer.
The photopolymerization initiator preferably contains at least one compound having a molar extinction coefficient of at least about 50 within a range of about 300 nm to 800 nm (more preferably 330 nm to 500 nm).

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、など)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。上記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53−133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)記載の化合物、特開昭62−58241号公報記載の化合物、特開平5−281728号公報記載の化合物、特開平5−34920号公報記載の化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物、などが挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives (for example, those having a triazine skeleton, those having an oxadiazole skeleton, etc.), acylphosphine compounds such as acylphosphine oxide, hexaarylbiimidazole, and oxime derivatives. Oxime compounds such as organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketoxime ethers, aminoacetophenone compounds, and hydroxyacetophenones. Examples of the halogenated hydrocarbon compound having a triazine skeleton include those described in Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. Japan, 42, 2924 (1969), a compound described in British Patent 1388492, a compound described in JP-A-53-133428, a compound described in German Patent 3337024, F.I. C. J. Schaefer et al. Org. Chem. 29, 1527 (1964), a compound described in JP-A-62-258241, a compound described in JP-A-5-281728, a compound described in JP-A-5-34920, and U.S. Pat. No. 4,221,976. And the compounds described in the specification.

また、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、及び3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。   From the viewpoint of exposure sensitivity, trihalomethyltriazine compounds, benzyldimethylketal compounds, α-hydroxyketone compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, metallocene compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, oniums Preferred are compounds selected from the group consisting of compounds, benzothiazole compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, halomethyloxadiazole compounds, and 3-aryl substituted coumarin compounds. .

更に好ましくは、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物であり、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、及びベンゾフェノン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物が特に好ましい。   More preferred are trihalomethyltriazine compound, α-aminoketone compound, acylphosphine compound, phosphine oxide compound, oxime compound, triallylimidazole dimer, onium compound, benzophenone compound, acetophenone compound, trihalomethyltriazine compound, α-aminoketone Particularly preferred is at least one compound selected from the group consisting of a compound, an oxime compound, a triallylimidazole dimer, and a benzophenone compound.

特に、本発明の樹脂膜を固体撮像素子の遮光膜の作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが好ましい。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、光重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細パターンを形成するには光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが特に好ましい。また、オキシム化合物を用いることにより、色移り性をより良化できる。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0265〜0268を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
In particular, when the resin film of the present invention is used for the production of a light-shielding film for a solid-state imaging device, it is necessary to form a fine pattern with a sharp shape. It is preferred that From such a viewpoint, it is particularly preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator. In particular, when a fine pattern is formed in a solid-state imaging device, stepper exposure is used for curing exposure, but this exposure machine may be damaged by halogen, and the amount of photopolymerization initiator added must be kept low. Therefore, in view of these points, it is particularly preferable to use an oxime compound as a photopolymerization initiator for forming a fine pattern such as a solid-state imaging device. Further, the use of an oxime compound can improve the color transfer.
As specific examples of the photopolymerization initiator, for example, paragraphs 0265 to 0268 of JP2013-29760A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

光重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィン系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及び、IRGACURE−379EG(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤は、365nm又は405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179号公報に記載の化合物も用いることができる。
アシルホスフィン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−819又はDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
As the photopolymerization initiator, hydroxyacetophenone compounds, aminoacetophenone compounds, and acylphosphine compounds can also be suitably used. More specifically, for example, an aminoacetophenone initiator described in JP-A-10-291969 and an acylphosphine initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
As the hydroxyacetophenone-based initiator, IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, IRGACURE-127 (trade names: all manufactured by BASF) can be used.
As the aminoacetophenone initiator, commercially available products IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379EG (trade names: all manufactured by BASF) can be used. As the aminoacetophenone-based initiator, a compound described in JP-A-2009-191179 in which an absorption wavelength is matched with a long-wave light source such as 365 nm or 405 nm can also be used.
As the acylphosphine-based initiator, commercially available products such as IRGACURE-819 or DAROCUR-TPO (trade names: all manufactured by BASF) can be used.

樹脂組成物Aは、重合開始剤として、下記式(I)で表されるオキシム化合物を含むことが好ましい。   The resin composition A preferably contains an oxime compound represented by the following formula (I) as a polymerization initiator.

式(I)中、Rは、アルキル基、アシル基、アリール基又はヘテロ環基を表し、Rは、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表し、複数のRは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は、−ORで表される基を表す。Rは、電子求引性基、又は、アルキルエーテル基を表す。ただし、複数のRの少なくともいずれかは、−ORで表される基を表す。In formula (I), R a represents an alkyl group, an acyl group, an aryl group or a heterocyclic group, R b represents an alkyl group, an aryl group or a heterocyclic group, and a plurality of R c are each independently , A hydrogen atom, an alkyl group, or a group represented by -OR h . R h represents an electron withdrawing group or an alkyl ether group. However, at least one of the plurality of R c represents a group represented by —OR h .

式(I)中、Rは、アルキル基、アシル基、アリール基又はヘテロ環基を表し、アリール基又はヘテロ環基が好ましく、ヘテロ環基がより好ましい。
アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましく、1〜4が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖又は分岐が好ましい。
アシル基の炭素数は、2〜20が好ましく、2〜15がより好ましい。アシル基としては、アセチル基、ベンゾイル基などが挙げられる。
アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。
ヘテロ環基は、5員環又は6員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。縮合数は、2〜8が好ましく、2〜6がより好ましく、3〜5が更に好ましく、3〜4が特に好ましい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は3〜40が好ましく、3〜30がより好ましく、3〜20がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は1〜3が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子又は硫黄原子が好ましく、窒素原子がより好ましい。
In formula (I), R a represents an alkyl group, an acyl group, an aryl group or a heterocyclic group, preferably an aryl group or a heterocyclic group, and more preferably a heterocyclic group.
1-20 are preferable, as for carbon number of an alkyl group, 1-15 are more preferable, 1-10 are still more preferable, and 1-4 are especially preferable. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched.
2-20 are preferable and, as for carbon number of an acyl group, 2-15 are more preferable. Examples of the acyl group include an acetyl group and a benzoyl group.
6-20 are preferable, as for carbon number of an aryl group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aryl group may be a single ring or a condensed ring.
The heterocyclic group is preferably a 5-membered ring or a 6-membered ring. The heterocyclic group may be a single ring or a condensed ring. The number of condensation is preferably 2 to 8, more preferably 2 to 6, still more preferably 3 to 5, and particularly preferably 3 to 4. 3-40 are preferable, as for the number of the carbon atoms which comprise a heterocyclic group, 3-30 are more preferable, and 3-20 are more preferable. As for the number of the hetero atoms which comprise a heterocyclic group, 1-3 are preferable. The hetero atom constituting the heterocyclic group is preferably a nitrogen atom, an oxygen atom or a sulfur atom, and more preferably a nitrogen atom.

が表す上述した基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン原子、−ORX1、−SRX1、−CORX1、−COORX1、−OCORX1、−NRX1X2、−NHCORX1、−CONRX1X2、−NHCONRX1X2、−NHCOORX1、−SO2X1、−SO2ORX1、−NHSO2X1などが挙げられる。RX1及びRX2は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。
ハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられ、フッ素原子が好ましい。
置換基としてのアルキル基、並びに、RX1及びRX2が表すアルキル基の炭素数は、1〜20が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖又は分岐が好ましい。アルキル基は、水素原子の一部又は全部がハロゲン原子(好ましくは、フッ素原子)で置換されていてもよい。また、アルキル基は、水素原子の一部又は全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
置換基としてのアリール基、並びに、RX1及びRX2が表すアリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。また、アリール基は、水素原子の一部又は全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
置換基としてのヘテロ環基、並びに、RX1及びRX2が表すヘテロ環基は、5員環又は6員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は3〜30が好ましく、3〜18がより好ましく、3〜12がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は1〜3が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子又は硫黄原子が好ましい。また、ヘテロ基は、水素原子の一部又は全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
The above-described group represented by R a may be unsubstituted or may have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group, an aryl group, a heterocyclic group, a nitro group, a cyano group, a halogen atom, -OR X1 , -SR X1 , -COR X1 , -COOR X1 , -OCOR X1 , -NR X1 R X2 , —NHCOR X1 , —CONR X1 R X2 , —NHCONR X1 R X2 , —NHCOOR X1 , —SO 2 R X1 , —SO 2 OR X1 , —NHSO 2 R X1 and the like can be mentioned. R X1 and R X2 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or a heterocyclic group.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and a fluorine atom is preferable.
As for carbon number of the alkyl group as a substituent and the alkyl group which R <X1> and R <X2> represent, 1-20 are preferable. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched. In the alkyl group, part or all of the hydrogen atoms may be substituted with a halogen atom (preferably a fluorine atom). In the alkyl group, part or all of the hydrogen atoms may be substituted with the above substituents.
6-20 are preferable, as for carbon number of the aryl group which R < X1> and R <X2> represent as a substituent and R < X1> and R <X2 >, 6-10 are still more preferable. The aryl group may be a single ring or a condensed ring. In the aryl group, part or all of the hydrogen atoms may be substituted with the above substituents.
The heterocyclic group as a substituent and the heterocyclic group represented by R X1 and R X2 are preferably 5-membered rings or 6-membered rings. The heterocyclic group may be a single ring or a condensed ring. 3-30 are preferable, as for the number of the carbon atoms which comprise a heterocyclic group, 3-18 are more preferable, and 3-12 are more preferable. As for the number of the hetero atoms which comprise a heterocyclic group, 1-3 are preferable. The hetero atom constituting the heterocyclic group is preferably a nitrogen atom, an oxygen atom or a sulfur atom. In the hetero group, part or all of the hydrogen atoms may be substituted with the above substituents.

が表すヘテロ環基は、下記式(II)で表される基であることが好ましい。The heterocyclic group represented by R a is preferably a group represented by the following formula (II).

式(II)中、Ar1及びAr2は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表し、R3は、アルキル基又はアリール基を表し、*は結合位置を表す。
式(II)中、Ar1及びAr2は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表す。
芳香族炭化水素環は、単環でもよく、縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環の環を構成する炭素原子数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が特に好ましい。芳香族炭化水素環は、ベンゼン環及びナフタレン環が好ましい。なかでも、Ar1及びAr2の少なくとも一方がベンゼン環であることが好ましく、Ar1がベンゼン環であることがより好ましい。Arは、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、ナフタレン環がより好ましい。
Ar1及びAr2が有してもよい置換基としては、Rで説明した置換基が挙げられる。
Ar1は、無置換が好ましい。Arは、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、−CORX1が好ましい。RX1は、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基が好ましく、アリール基がより好ましい。アリール基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基などが挙げられる。
式(II)中、R3は、アルキル基又はアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基及びアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述したRで説明した置換基が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖又は分岐が好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。
In the formula (II), Ar 1 and Ar 2 each independently represents an aromatic hydrocarbon ring which may have a substituent, R 3 represents an alkyl group or an aryl group, and * represents a bonding position. Represents.
In formula (II), Ar 1 and Ar 2 each independently represents an aromatic hydrocarbon ring which may have a substituent.
The aromatic hydrocarbon ring may be a single ring or a condensed ring. 6-20 are preferable, as for the carbon atom number which comprises the ring of an aromatic hydrocarbon ring, 6-15 are more preferable, and 6-10 are especially preferable. The aromatic hydrocarbon ring is preferably a benzene ring or a naphthalene ring. Of these, at least one of Ar 1 and Ar 2 is preferably a benzene ring, and Ar 1 is more preferably a benzene ring. Ar 2 is preferably a benzene ring or a naphthalene ring, and more preferably a naphthalene ring.
Examples of the substituent that Ar 1 and Ar 2 may have include the substituent described in Ra .
Ar 1 is preferably unsubstituted. Ar 2 may be unsubstituted or may have a substituent. As the substituent, —COR X1 is preferable. R X1 is preferably an alkyl group, an aryl group or a heterocyclic group, more preferably an aryl group. The aryl group may have a substituent or may be unsubstituted. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.
In formula (II), R 3 represents an alkyl group or an aryl group, and an alkyl group is preferred. The alkyl group and the aryl group may be unsubstituted or may have a substituent. Examples of the substituent include the substituents described in the above-mentioned R a.
1-20 are preferable, as for carbon number of an alkyl group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched.
6-20 are preferable, as for carbon number of an aryl group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aryl group may be a single ring or a condensed ring.

式(I)中、Rは、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表し、アルキル基又はアリール基が好ましく、アルキル基がより好ましい。アルキル基、アリール基及びヘテロ環基は、Rで説明した基と同義である。これらの基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、Rで説明した置換基が挙げられる。In formula (I), Rb represents an alkyl group, an aryl group or a heterocyclic group, preferably an alkyl group or an aryl group, and more preferably an alkyl group. An alkyl group, an aryl group, and a heterocyclic group are synonymous with the group demonstrated by Ra . These groups may be unsubstituted or may have a substituent. Examples of the substituent include the substituents described for Ra .

式(I)中、複数のRは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は、−ORで表される基を表す。Rは、電子求引性基、又は、アルキルエーテル基を表す。ただし、複数のRの少なくともいずれかは、−ORで表される基を表す。In formula (I), a plurality of R c s each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, or a group represented by —OR h . R h represents an electron withdrawing group or an alkyl ether group. However, at least one of the plurality of R c represents a group represented by —OR h .

が表すアルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましく、1〜4が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖又は分岐が好ましい。Number of carbon atoms of the alkyl group R c represents preferably 1 to 20, more preferably from 1 to 15, more preferably 1 to 10, 1 to 4 are particularly preferred. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched.

−ORにおけるRが表す電子求引性基としては、例えば、ニトロ基、シアノ基、フッ素原子、少なくとも1個の水素原子がフッ素原子で置換された炭素数1〜20のアルキル基などが挙げられる。
これらのうち、少なくとも1個の水素原子がフッ素原子で置換された炭素数1〜20のアルキル基が好ましい。このアルキル基は、炭素数が1〜15であることが好ましく、1〜10がより好ましく、1〜4が更に好ましく、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖又は分岐が好ましい。
As the electron withdrawing group represented by R h in -OR h, for example, a nitro group, a cyano group, a fluorine atom, at least one hydrogen atom and an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms which is substituted with a fluorine atom Can be mentioned.
Of these, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom is preferable. The alkyl group preferably has 1 to 15 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched.

−ORにおけるRが表すアルキルエーテル基は、アルコキシ基で置換されているアルキル基を意味する。アルキルエーテル基におけるアルキル基、及び、アルキルエーテル基におけるアルコキシ基におけるアルキル基は、炭素数が、1〜20であることが好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましく、1〜4が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖又は分岐が好ましい。
アルキルエーテル基の炭素数の総数は、2〜8が好ましく、2〜6がより好ましく、2〜4がより好ましい。
Alkyl ether group represented by R h in -OR h refers to an alkyl group substituted with an alkoxy group. The alkyl group in the alkyl ether group and the alkyl group in the alkoxy group in the alkyl ether group preferably have 1 to 20 carbon atoms, more preferably 1 to 15 carbon atoms, still more preferably 1 to 10 carbon atoms, and 1 to 4 carbon atoms. Is particularly preferred. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, and is preferably linear or branched.
2-8 are preferable, as for the total number of carbon number of an alkyl ether group, 2-6 are more preferable, and 2-4 are more preferable.

複数のRのうち、1個又は2個が、−ORで表される基であることが好ましい。このとき、−ORにおけるRが電子求引性基(例えば、少なくとも1個の水素原子がフッ素原子で置換された炭素数1〜20のアルキル基)である場合、残りのRは、水素原子であることが好ましい。一方、−ORにおけるRがアルキルエーテル基である場合、残りのRは、1個がアルキル基でその他が水素原子であることが好ましい。
また、Rが結合しているベンゼン環において、Rが結合していない1個の炭素に対して、Rが表すアルキル基、又は、−ORで表される基は、オルト位又はパラ位に位置することが好ましい。
Of the plurality of R c , one or two are preferably groups represented by —OR h . In this case, when R h in -OR h is an electron withdrawing group (e.g., at least one alkyl group of 1 to 20 carbon atoms in which a hydrogen atom has been substituted with a fluorine atom), and the remaining R c, A hydrogen atom is preferred. On the other hand, when R h in -OR h is an alkyl ether group, the remaining R c, it is preferred that one is an other is hydrogen atom in an alkyl group.
Further, in the benzene ring to which R c is attached, relative to 1 carbons R c is not bound, the alkyl group represented by R c, or group represented by -OR h, the ortho or It is preferably located in the para position.

式(I)又は式(II)で表される光重合開始剤の具体例としては、例えば、下記化合物が挙げられる。   Specific examples of the photopolymerization initiator represented by formula (I) or formula (II) include the following compounds.

樹脂組成物Aは、重合開始剤として、下記式(III)で表されるオキシム化合物を含むことも好ましい。   It is also preferable that the resin composition A contains an oxime compound represented by the following formula (III) as a polymerization initiator.

式(III)において、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基、炭素数6〜30のアリール基、又は、炭素数7〜30のアリールアルキル基を表し、R及びRがフェニル基の場合、フェニル基どうしが結合してフルオレン基を形成してもよく、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In Formula (III), R 1 and R 2 are each independently an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or When an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms is represented and R 1 and R 2 are phenyl groups, the phenyl groups may be bonded to each other to form a fluorene group, and R 3 and R 4 are each independently Represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and X is a direct bond or carbonyl Indicates a group.

式(III)において、Rは、−R、−OR、−SR、−COR、−CONR、−NRCOR、−OCOR、−COOR、−SCOR、−OCSR、−COSR、−CSOR、−CN、ハロゲン原子又は水酸基を表し、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、aは0〜5の整数を表す。In the formula (III), R 5 represents —R 6 , —OR 6 , —SR 6 , —COR 6 , —CONR 6 R 6 , —NR 6 COR 6 , —OCOR 6 , —COOR 6 , —SCOR 6 , -OCSR 6, -COSR 6, -CSOR 6 , -CN, a halogen atom or a hydroxyl group, R 6 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, 7 to 30 carbon atoms An arylalkyl group or a C4-C20 heterocyclic group is represented, and a represents an integer of 0-5.

上記式(III)において、R及びRは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル、シクロヘキシル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はキシリル基が好ましい。Rは炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
式(III)で表される化合物の具体例としては、例えば、特開2014−137466号公報の段落番号0076〜0079に記載された化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
In the above formula (III), R 1 and R 2 are preferably each independently a methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl, cyclohexyl group or phenyl group. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a xylyl group. R 4 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group. R 5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a naphthyl group. X is preferably a direct bond.
Specific examples of the compound represented by the formula (III) include compounds described in paragraph numbers 0076 to 0079 of JP-A No. 2014-137466. This content is incorporated herein.

一般式(III)で表されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されない。   Specific examples of the oxime compound represented by the general formula (III) are shown below, but the present invention is not limited thereto.

また、市販されている重合開始剤としては、特に限定はされず、BASFジャパン社製 IRGACURE OXE 01(1,2−オクタンジオン1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)])、IRGACURE OXE 02(エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム))、2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、O−アシルオキシム系化合物(例えば、ADEKA社製 アデカオプトマー N−1919、アデカアークルズ NCI−831)、アデカアークルズ NCI−930等も挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。   Moreover, it does not specifically limit as a polymerization initiator marketed, IRSFACURE OXE 01 (1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyl oxime)] by BASF Japan ), IRGACURE OXE 02 (ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime)), 2- (acetyloxyiminomethyl) Examples include thioxanthen-9-one, O-acyloxime compounds (for example, Adekaoptomer N-1919, Adeka Arcles NCI-831, manufactured by ADEKA), Adeka Arcles NCI-930, and the like. Incorporated in the description.

重合開始剤の含有量は、組成物の全固形分に対し0.1〜30質量%が好ましく、より好ましくは0.5〜20質量%であり、更に好ましくは1〜10質量%であり、特に好ましくは1〜7質量%である。
樹脂組成物Aは、重合開始剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
As for content of a polymerization initiator, 0.1-30 mass% is preferable with respect to the total solid of a composition, More preferably, it is 0.5-20 mass%, More preferably, it is 1-10 mass%, Especially preferably, it is 1-7 mass%.
Resin composition A may contain only one type of polymerization initiator, or may contain two or more types. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

<シランカップリング剤>
樹脂組成物Aは、シランカップリング剤を含んでもよい。
「シランカップリング剤」とは、分子中に加水分解性基とそれ以外の官能基とを有する化合物である。なお、アルコキシ基等の加水分解性基は、珪素原子に結合している。
「加水分解性基」とは、珪素原子に直結し、加水分解反応及び/又は縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、アルケニルオキシ基が挙げられる。加水分解性基が炭素原子を有する場合、その炭素数は6以下であることが好ましく、4以下であることがより好ましい。特に、炭素数4以下のアルコキシ基又は炭素数4以下のアルケニルオキシ基が好ましい。
また、シランカップリング剤は基板と硬化膜間の密着性を向上させるため、フッ素原子及び珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)を含まないことが好ましく、フッ素原子、珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)、珪素原子で置換されたアルキレン基、炭素数8以上の直鎖アルキル基、及び、炭素数3以上の分鎖アルキル基は含まないことが好ましい。
<Silane coupling agent>
Resin composition A may contain a silane coupling agent.
The “silane coupling agent” is a compound having a hydrolyzable group and other functional group in the molecule. Note that a hydrolyzable group such as an alkoxy group is bonded to a silicon atom.
The “hydrolyzable group” refers to a substituent that is directly bonded to a silicon atom and can form a siloxane bond by a hydrolysis reaction and / or a condensation reaction. Examples of the hydrolyzable group include a halogen atom, an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkenyloxy group. When the hydrolyzable group has a carbon atom, the number of carbon atoms is preferably 6 or less, and more preferably 4 or less. In particular, an alkoxy group having 4 or less carbon atoms or an alkenyloxy group having 4 or less carbon atoms is preferable.
In order to improve the adhesion between the substrate and the cured film, the silane coupling agent preferably does not contain a fluorine atom and a silicon atom (excluding a silicon atom to which a hydrolyzable group is bonded). Includes silicon atoms (excluding silicon atoms bonded with hydrolyzable groups), alkylene groups substituted with silicon atoms, straight chain alkyl groups having 8 or more carbon atoms, and branched alkyl groups having 3 or more carbon atoms Preferably not.

シランカップリング剤は、以下の式(Z)で表される基を有することが好ましい。*は結合位置を表す。
式(Z) *−Si−(RZ1
式(Z)中、RZ1は加水分解性基を表し、その定義は上述の通りである。
The silane coupling agent preferably has a group represented by the following formula (Z). * Represents a bonding position.
Formula (Z) * -Si- (R Z1 ) 3
In the formula (Z), R Z1 represents a hydrolyzable group, and the definition thereof is as described above.

シランカップリング剤は、(メタ)アクリロイルオキシ基、エポキシ基、及び、オキセタニル基からなる群から選択される1種以上の硬化性官能基を有することが好ましい。硬化性官能基は、直接、珪素原子に結合してもよく、連結基を介して珪素原子に結合していてもよい。なかでも、密着性向上、耐現像性、及び、耐溶剤性の観点から、エポキシ基が好ましい。
なお、上記シランカップリング剤に含まれる硬化性官能基の好適態様としては、ラジカル重合性基も挙げられる。
The silane coupling agent preferably has one or more curable functional groups selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxy group, an epoxy group, and an oxetanyl group. The curable functional group may be directly bonded to the silicon atom, or may be bonded to the silicon atom via a linking group. Among these, an epoxy group is preferable from the viewpoints of improving adhesion, developing resistance, and solvent resistance.
In addition, a radically polymerizable group is also mentioned as a suitable aspect of the curable functional group contained in the said silane coupling agent.

シランカップリング剤の分子量は特に制限されず、取り扱い性の点から、100〜1000の場合が多く、本発明の効果がより優れる点で、270以上が好ましく、270〜1000がより好ましい。   The molecular weight of the silane coupling agent is not particularly limited, and is preferably 100 to 1000 from the viewpoint of handleability, and is preferably 270 or more and more preferably 270 to 1000 in terms of more excellent effects of the present invention.

シランカップリング剤の好適態様の一つとしては、式(W)で表されるシランカップリング剤Xが挙げられる。
式(W) RZ2−Lz−Si−(RZ1
z1は、加水分解性基を表し、定義は上述の通りである。
z2は、硬化性官能基を表し、定義は上述のとおりであり、好適範囲も上述の通りである。
Lzは、単結合又は2価の連結基を表す。Lzが2価の連結基を表す場合、2価の連結基としては、ハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、ハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基、−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、−SO−、又は、これらの組み合わせが挙げられる。なかでも、炭素数2〜10のハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基及び炭素数6〜12のハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基からなる群から選択される少なくとも1種、又は、これらの基と−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、及びSO−からなる群から選択される少なくとも1種の基との組み合わせからなる基が好ましく、炭素数2〜10のハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、−CO−、−O−、−CO−、−CONR12−、又は、これらの基の組み合わせからなる基がより好ましい。ここで、上記R12は、水素原子又はメチル基を表す。
One preferred embodiment of the silane coupling agent is a silane coupling agent X represented by the formula (W).
Formula (W) R Z2 -Lz-Si- (R Z1) 3
R z1 represents a hydrolyzable group, and the definition is as described above.
R z2 represents a curable functional group, the definition is as described above, and the preferred range is also as described above.
Lz represents a single bond or a divalent linking group. If Lz represents a divalent linking group, the divalent As the linking group, an alkylene group optionally substituted with a halogen atom, an arylene group optionally halogen atoms substituted, -NR 12 -, - CONR 12 -, - CO -, - CO 2 -, SO 2 NR 12 -, - O -, - S -, - SO 2 -, or combinations thereof. Especially, at least 1 sort (s) selected from the group which consists of the alkylene group which the C2-C10 halogen atom may substitute, and the arylene group which the C6-C12 halogen atom may substitute, or , At least selected from the group consisting of these groups and —NR 12 —, —CONR 12 —, —CO—, —CO 2 —, SO 2 NR 12 —, —O—, —S—, and SO 2 —. A group consisting of a combination with one kind of group is preferable, an alkylene group which may be substituted by a halogen atom having 2 to 10 carbon atoms, —CO 2 —, —O—, —CO—, —CONR 12 —, or A group consisting of a combination of these groups is more preferred. Here, R 12 represents a hydrogen atom or a methyl group.

シランカップリング剤Xとしては、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−メチルジメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBM−602)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBM−603)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBE−602)、γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBM−903)、γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBE−903)、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBM−503)、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBM−402)、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 LS−2940)、グリシドキシオクチルトリメトキシシラン(信越化学工業社製商品名 KBM−4803)などが挙げられる。   As the silane coupling agent X, N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-methyldimethoxysilane (trade name KBM-602 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-trimethoxy Silane (trade name KBM-603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-triethoxysilane (trade name KBE-602, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), γ-aminopropyl-trimethoxysilane (Trade name KBM-903 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), γ-aminopropyl-triethoxysilane (trade name KBE-903 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (trade name manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) KBM-503), 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane (trade name KB manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) -402), 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. trade name LS-2940), glycidoxypropyltrimethoxysilane octyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., trade name KBM-4803), and the like.

シランカップリング剤の他の好適態様としては、分子内に少なくとも珪素原子と窒素原子と硬化性官能基とを有し、かつ、珪素原子に結合した加水分解性基を有するシランカップリング剤Yが挙げられる。
このシランカップリング剤Yは、分子内に少なくとも1つの珪素原子を有すればよく、珪素原子は、以下の原子、置換基と結合できる。それらは同じ原子、置換基であっても異なっていてもよい。結合しうる原子、置換基は、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、炭素数1から20のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキル基及び/又はアリール基で置換可能なアミノ基、シリル基、炭素数1から20のアルコキシ基、アリーロキシ基などが挙げられる。これらの置換基は、更に、シリル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、チオアルコキシ基、アルキル基及び/又はアリール基で置換可能なアミノ基、ハロゲン原子、スルホンアミド基、アルコキシカルボニル基、アミド基、ウレア基、アンモニウム基、アルキルアンモニウム基、カルボキシル基、又はその塩、スルホ基、又はその塩などで置換されていてもよい。
なお、珪素原子には少なくとも一つの加水分解性基が結合している。加水分解性基の定義は、上述の通りである。
シランカップリング剤Yには、上記式(Z)で表される基が含まれていてもよい。
As another preferred embodiment of the silane coupling agent, a silane coupling agent Y having at least a silicon atom, a nitrogen atom and a curable functional group in the molecule and having a hydrolyzable group bonded to the silicon atom is provided. Can be mentioned.
The silane coupling agent Y only needs to have at least one silicon atom in the molecule, and the silicon atom can be bonded to the following atoms and substituents. They may be the same atom, substituent or different. Atoms and substituents that can be bonded are a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkyl group and / or an aryl group, a silyl group Group, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an aryloxy group, and the like. These substituents further include a silyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a thioalkoxy group, an alkyl group and / or an aryl group, an amino group, a halogen atom, and a sulfonamide group. , An alkoxycarbonyl group, an amide group, a urea group, an ammonium group, an alkylammonium group, a carboxyl group, a salt thereof, a sulfo group, or a salt thereof may be substituted.
Note that at least one hydrolyzable group is bonded to the silicon atom. The definition of the hydrolyzable group is as described above.
The silane coupling agent Y may contain a group represented by the above formula (Z).

シランカップリング剤Yは、分子内に窒素原子を少なくとも1つ以上有し、窒素原子は、2級アミノ基或いは3級アミノ基の形態で存在することが好ましく、即ち、窒素原子は置換基として少なくとも1つの有機基を有することが好ましい。なお、アミノ基の構造としては、含窒素ヘテロ環の部分構造の形態で分子内に存在してもよく、アニリンなど置換アミノ基として存在していてもよい。
ここで、有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、又は、これらの組み合わせなどが挙げられる。これらは更に置換基を有してもよく、導入可能な置換基としては、シリル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、チオアルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子、スルホンアミド基、アルコキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミド基、ウレア基、アルキレンオキシ基アンモニウム基、アルキルアンモニウム基、カルボキシル基、又はその塩、スルホ基などが挙げられる。
また、窒素原子は、任意の有機連結基を介して硬化性官能基と結合していることが好ましい。好ましい有機連結基としては、上述の窒素原子及びそれに結合する有機基に導入可能な置換基を挙げることができる。
The silane coupling agent Y has at least one nitrogen atom in the molecule, and the nitrogen atom is preferably present in the form of a secondary amino group or a tertiary amino group, that is, the nitrogen atom is used as a substituent. It preferably has at least one organic group. The amino group structure may exist in the molecule in the form of a partial structure of a nitrogen-containing heterocycle, or may exist as a substituted amino group such as aniline.
Here, examples of the organic group include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, or a combination thereof. These may further have a substituent. Examples of the substituent that can be introduced include a silyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a thioalkoxy group, an amino group, a halogen atom, and a sulfonamide. Group, alkoxycarbonyl group, carbonyloxy group, amide group, urea group, alkyleneoxy group ammonium group, alkylammonium group, carboxyl group, or a salt thereof, sulfo group and the like.
Moreover, it is preferable that the nitrogen atom is couple | bonded with the curable functional group through arbitrary organic coupling groups. Preferred examples of the organic linking group include the above-described nitrogen atom and a substituent that can be introduced into the organic group bonded thereto.

シランカップリング剤Yに含まれる硬化性官能基の定義は、上述の通りであり、好適範囲も上述の通りである。
シランカップリング剤Yには、硬化性官能基は一分子中に少なくとも一つ以上有していればよいが、硬化性官能基を2以上有することも可能であり、感度、安定性の観点からは、硬化性官能基を2〜20有することが好ましく、4〜15有することがより好ましく、更に好ましくは分子内に硬化性官能基を6〜10有する。
The definition of the curable functional group contained in the silane coupling agent Y is as described above, and the preferred range is also as described above.
The silane coupling agent Y only needs to have at least one curable functional group in one molecule, but it is also possible to have two or more curable functional groups from the viewpoint of sensitivity and stability. Preferably has 2-20 curable functional groups, more preferably 4-15, and still more preferably 6-10 curable functional groups in the molecule.

シランカップリング剤X及びシランカップリング剤Yの分子量は特に制限されず、上述した範囲(270以上が好ましい)が挙げられる。   The molecular weights of the silane coupling agent X and the silane coupling agent Y are not particularly limited, and include the above-described ranges (preferably 270 or more).

樹脂組成物A中におけるシランカップリング剤の含有量は、組成物中の全固形分に対して、0.1〜10質量%が好ましく、0.5〜8質量%がより好ましく、1.0〜6質量%が更に好ましい。
樹脂組成物Aは、シランカップリング剤を1種単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。組成物がシランカップリング剤を2種以上含む場合は、その合計が上記範囲内であればよい。
The content of the silane coupling agent in the resin composition A is preferably 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.5 to 8% by mass, with respect to the total solid content in the composition. -6 mass% is still more preferable.
The resin composition A may contain one silane coupling agent or two or more silane coupling agents. When a composition contains 2 or more types of silane coupling agents, the sum should just be in the said range.

<重合性化合物>
樹脂組成物Aは、重合性化合物を含有してもよい。
重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を有する基を1個以上有する化合物が好ましく、2個以上有する化合物がより好ましく、3個以上有することが更に好ましく、5個以上有することが特に好ましい。上限は、たとえば、15個以下である。エチレン性不飽和結合を有する基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
<Polymerizable compound>
The resin composition A may contain a polymerizable compound.
The polymerizable compound is preferably a compound having one or more groups having an ethylenically unsaturated bond, more preferably a compound having 2 or more, further preferably 3 or more, and particularly preferably 5 or more. The upper limit is 15 or less, for example. Examples of the group having an ethylenically unsaturated bond include a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group.

重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。モノマーが好ましい。
重合性化合物の分子量は、100〜3000が好ましく、250〜1500がより好ましい。
重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
モノマー、プレポリマーの例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)又はそのエステル類、アミド類、並びにこれらの多量体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、及び不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類、並びにこれらの多量体である。また、ヒドロキシル基、アミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物や、上記不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との反応物、ハロゲン基やトシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との反応物も好適である。また、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン等のビニルベンゼン誘導体、ビニルエーテル、アリルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落〔0095〕〜〔0108〕に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
The polymerizable compound may be in any chemical form such as, for example, a monomer, a prepolymer, and an oligomer, or a mixture thereof and a multimer thereof. Monomers are preferred.
100-3000 are preferable and, as for the molecular weight of a polymeric compound, 250-1500 are more preferable.
The polymerizable compound is preferably a 3-15 functional (meth) acrylate compound, and more preferably a 3-6 functional (meth) acrylate compound.
Examples of monomers and prepolymers include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.) or esters thereof, amides, and multimers thereof. Preferred are esters of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric alcohol compounds, amides of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyvalent amine compounds, and multimers thereof. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, an amino group, or a mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, or the above unsaturated carboxylic acid. A dehydration condensation reaction product of an acid ester or amide with a monofunctional or polyfunctional carboxylic acid is also preferably used. Reaction products of unsaturated carboxylic acid esters or amides having electrophilic substituents such as isocyanate groups and epoxy groups with monofunctional or polyfunctional alcohols, amines and thiols, halogen groups and tosyloxy groups A reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as monofunctional or polyfunctional alcohols, amines or thiols is also suitable. Moreover, it is also possible to use a compound group in which the unsaturated carboxylic acid is replaced with an unsaturated phosphonic acid, a vinylbenzene derivative such as styrene, vinyl ether, allyl ether or the like.
As these specific compounds, the compounds described in paragraphs [0095] to [0108] of JP-A-2009-288705 can also be suitably used in the present invention.

本発明において、重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する基を1個以上有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物も好ましい。その例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0227、特開2008−292970号公報の段落0254〜0257に記載の化合物を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。   In the present invention, the polymerizable compound is also preferably a compound having at least one group having an ethylenically unsaturated bond and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure. As examples thereof, for example, compounds described in paragraph 0227 of JP 2013-29760 A and paragraphs 0254 to 0257 of JP 2008-292970 A can be referred to, the contents of which are incorporated herein.

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−330;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−320;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D−310;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA;日本化薬株式会社製、A−DPH−12E;新中村化学社製)、及びこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、NKエステルA−TMMT(ペンタエリスリトールテトラアクリレート、新中村化学(株)製)、KAYARAD RP−1040(日本化薬株式会社製)などを使用することもできる。
以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。
The polymerizable compounds are dipentaerythritol triacrylate (KAYARAD D-330 as a commercial product; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol tetraacrylate (KAYARAD D-320 as a commercial product; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). , Dipentaerythritol penta (meth) acrylate (as a commercially available product, KAYARAD D-310; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (as a commercially available product, KAYARAD DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., A-DPH-12E (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and structures in which these (meth) acryloyl groups are mediated by ethylene glycol and propylene glycol residues (for example, SR454, SR499, commercially available from Sartomer) preferable. These oligomer types can also be used. Moreover, NK ester A-TMMT (pentaerythritol tetraacrylate, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), KAYARAD RP-1040 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like can also be used.
Preferred embodiments of the polymerizable compound are shown below.

重合性化合物は、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を有する重合性化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが好ましく、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた重合性化合物がより好ましく、更に好ましくは、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び/又はジペンタエリスリトールであるものである。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製の、アロニックスTO−2349、M−305、M−510、M−520などが挙げられる。   The polymerizable compound may have an acid group such as a carboxyl group, a sulfonic acid group, or a phosphoric acid group. As the polymerizable compound having an acid group, an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid is preferable, and a non-aromatic carboxylic acid anhydride is reacted with an unreacted hydroxyl group of the aliphatic polyhydroxy compound. A polymerizable compound having a group is more preferable, and in this ester, the aliphatic polyhydroxy compound is pentaerythritol and / or dipentaerythritol. Examples of commercially available products include Aronix TO-2349, M-305, M-510, and M-520 manufactured by Toagosei Co., Ltd.

酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、0.1〜40mgKOH/gであり、より好ましくは5〜30mgKOH/gである。重合性化合物の酸価が0.1mgKOH/g以上であれば、現像溶解特性が良好であり、40mgKOH/g以下であれば、製造及び取扱い上、有利である。更には、光重合性能が良好で、硬化性に優れる。   A preferable acid value of the polymerizable compound having an acid group is 0.1 to 40 mgKOH / g, and more preferably 5 to 30 mgKOH / g. When the acid value of the polymerizable compound is 0.1 mgKOH / g or more, the development dissolution characteristics are good, and when it is 40 mgKOH / g or less, it is advantageous in production and handling. Furthermore, the photopolymerization performance is good and the curability is excellent.

重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物も好ましい態様である。
カプロラクトン構造を有する化合物としては、分子内にカプロラクトン構造を有する限り特に限定されず、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸及びε−カプロラクトンとをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートを挙げることができる。なかでも下記一般式(Z−1)で表されるカプロラクトン構造を有する化合物が好ましい。
The polymerizable compound is also preferably a compound having a caprolactone structure.
The compound having a caprolactone structure is not particularly limited as long as it has a caprolactone structure in the molecule, for example, trimethylolethane, ditrimethylolethane, trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, Mention may be made of ε-caprolactone-modified polyfunctional (meth) acrylates obtained by esterifying polyhydric alcohols such as glycerin, diglycerol, trimethylolmelamine, (meth) acrylic acid and ε-caprolactone. Especially, the compound which has a caprolactone structure represented with the following general formula (Z-1) is preferable.

一般式(Z−1)中、6個のRは全てが下記一般式(Z−2)で表される基であるか、又は6個のRのうち1〜5個が下記一般式(Z−2)で表される基であり、残余が下記一般式(Z−3)で表される基である。   In general formula (Z-1), all six R are groups represented by the following general formula (Z-2), or 1 to 5 of the six Rs are represented by the following general formula (Z -2), and the remainder is a group represented by the following general formula (Z-3).

一般式(Z−2)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、mは1又は2の数を示し、
「*」は結合手であることを示す。
In general formula (Z-2), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, m represents a number of 1 or 2,
“*” Indicates a bond.

一般式(Z−3)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、「*」は結合手であることを示す。In General Formula (Z-3), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and “*” represents a bond.

カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬(株)からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA−20(上記式(Z−1)〜(Z−3)においてm=1、式(Z−2)で表される基の数=2、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−30(同式、m=1、式(Z−2)で表される基の数=3、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−60(同式、m=1、式(Z−2)で表される基の数=6、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−120(同式においてm=2、式(Z−2)で表される基の数=6、R1が全て水素原子である化合物)等が挙げられる。The polymerizable compound having a caprolactone structure is commercially available, for example, from Nippon Kayaku Co., Ltd. as KAYARAD DPCA series, and DPCA-20 (m = 1 in the above formulas (Z-1) to (Z-3), Number of groups represented by (Z-2) = 2, a compound in which R 1 is all hydrogen atoms, DPCA-30 (formula, m = 1, number of groups represented by formula (Z-2)) = 3, a compound in which R 1 is all hydrogen atoms), DPCA-60 (same formula, m = 1, number of groups represented by formula (Z-2) = 6, a compound in which R 1 is all hydrogen atoms ), DPCA-120 (a compound in which m = 2 in the formula, the number of groups represented by formula (Z-2) = 6, and all R 1 are hydrogen atoms).

重合性化合物は、下記一般式(Z−4)又は(Z−5)で表される化合物を用いることもできる。   As the polymerizable compound, a compound represented by the following general formula (Z-4) or (Z-5) can also be used.

一般式(Z−4)及び(Z−5)中、Eは、各々独立に、−((CH2yCH2O)−、又は−((CH2yCH(CH3)O)−を表し、yは、各々独立に0〜10の整数を表し、Xは、各々独立に、(メタ)アクリロイル基、水素原子、又はカルボキシル基を表す。
一般式(Z−4)中、(メタ)アクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mは各々独立に0〜10の整数を表し、各mの合計は0〜40の整数である。
一般式(Z−5)中、(メタ)アクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nは各々独立に0〜10の整数を表し、各nの合計は0〜60の整数である。
In general formulas (Z-4) and (Z-5), each E independently represents — ((CH 2 ) y CH 2 O) — or — ((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O). -, Y represents each independently an integer of 0 to 10, and X each independently represents a (meth) acryloyl group, a hydrogen atom, or a carboxyl group.
In general formula (Z-4), the total of (meth) acryloyl groups is 3 or 4, each m independently represents an integer of 0 to 10, and the total of each m is an integer of 0 to 40. .
In general formula (Z-5), the total of (meth) acryloyl groups is 5 or 6, each n independently represents an integer of 0 to 10, and the total of each n is an integer of 0 to 60. .

一般式(Z−4)中、mは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
また、各mの合計は、2〜40の整数が好ましく、2〜16の整数がより好ましく、4〜8の整数が更に好ましい。
一般式(Z−5)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
また、各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が更に好ましい。
また、一般式(Z−4)又は一般式(Z−5)中の−((CH2yCH2O)−又は−((CH2yCH(CH3)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
In general formula (Z-4), m is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
Moreover, the integer of 2-40 is preferable, as for the sum total of each m, the integer of 2-16 is more preferable, and the integer of 4-8 is still more preferable.
In general formula (Z-5), n is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
Moreover, the integer of 3-60 is preferable, the total of each n is more preferable, the integer of 3-24 is more preferable, and the integer of 6-12 is still more preferable.
In general formula (Z-4) or general formula (Z-5) in the - ((CH 2) y CH 2 O) - or - ((CH 2) y CH (CH 3) O) - , the oxygen A form in which the end on the atom side is bonded to X is preferred.

一般式(Z−4)又は一般式(Z−5)で表される化合物は1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。特に、一般式(Z−5)において、6個のX全てがアクリロイル基である形態、一般式(Z−5)において、6個のX全てがアクリロイル基である化合物と、6個のXのうち、少なくとも1個が水素原子ある化合物との混合物である態様が好ましい。このような構成とすることにより、現像性をより向上できる。   The compound represented by general formula (Z-4) or general formula (Z-5) may be used individually by 1 type, and may be used together 2 or more types. In particular, in the general formula (Z-5), a form in which all six X are acryloyl groups, in the general formula (Z-5), a compound in which all six Xs are acryloyl groups, Among these, an embodiment in which at least one is a mixture with a compound having a hydrogen atom is preferable. With such a configuration, the developability can be further improved.

また、一般式(Z−4)又は一般式(Z−5)で表される化合物の重合性化合物中における全含有量としては、20質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましい。   Moreover, as a total content in the polymeric compound of the compound represented by general formula (Z-4) or general formula (Z-5), 20 mass% or more is preferable, and 50 mass% or more is more preferable.

一般式(Z−4)又は一般式(Z−5)で表される化合物は、従来公知の工程である、ペンタエリスリト−ル又はジペンタエリスリト−ルにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを開環付加反応により開環骨格を結合する工程と、開環骨格の末端ヒドロキシル基に、例えば(メタ)アクリロイルクロライドを反応させて(メタ)アクリロイル基を導入する工程と、から合成することができる。各工程はよく知られた工程であり、当業者は容易に一般式(Z−4)又は(Z−5)で表される化合物を合成することができる。   The compound represented by the general formula (Z-4) or the general formula (Z-5) is a ring-opening addition of ethylene oxide or propylene oxide to pentaerythritol or dipentaerythritol, which is a conventionally known process. It can be synthesized from a step of bonding a ring-opening skeleton by reaction and a step of introducing a (meth) acryloyl group by reacting, for example, (meth) acryloyl chloride with a terminal hydroxyl group of the ring-opening skeleton. Each step is a well-known step, and those skilled in the art can easily synthesize a compound represented by the general formula (Z-4) or (Z-5).

一般式(Z−4)又は一般式(Z−5)で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び/又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
具体的には、下記式(a)〜(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)〜(f)」とも称する。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
Among the compounds represented by the general formula (Z-4) or the general formula (Z-5), a pentaerythritol derivative and / or a dipentaerythritol derivative are more preferable.
Specific examples include compounds represented by the following formulas (a) to (f) (hereinafter also referred to as “exemplary compounds (a) to (f)”), among which exemplary compounds (a) and ( b), (e) and (f) are preferred.

一般式(Z−4)、(Z−5)で表される重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ鎖を4個有する4官能アクリレートであるSR−494、日本化薬株式会社製のペンチレンオキシ鎖を6個有する6官能アクリレートであるDPCA−60、イソブチレンオキシ鎖を3個有する3官能アクリレートであるTPA−330などが挙げられる。   Examples of commercially available polymerizable compounds represented by the general formulas (Z-4) and (Z-5) include SR-494, which is a tetrafunctional acrylate having four ethyleneoxy chains manufactured by Sartomer, Nippon Kayaku Examples thereof include DPCA-60, which is a hexafunctional acrylate having 6 pentyleneoxy chains, and TPA-330, which is a trifunctional acrylate having 3 isobutyleneoxy chains.

重合性化合物としては、特公昭48−41708号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類のほか、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。また、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される、分子内にアミノ構造又はスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによって、非常に感光スピードに優れた樹脂組成物Aを得ることができる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)などが挙げられる。
Examples of the polymerizable compound include urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, and JP-B-2-16765. Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP-B-58-49860, JP-B-56-17654, JP-B-62-39417, and JP-B-62-39418 are also suitable. Further, addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238 are used. Thus, it is possible to obtain a resin composition A having an excellent photosensitive speed.
Commercially available products include urethane oligomers UAS-10, UAB-140 (manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.), UA-7200 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA- 306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 (manufactured by Kyoeisha) and the like.

また、本発明に使用される重合性化合物は、SP(溶解パラメータ)値が、9.50以上であることが好ましく、10.40以上であることがより好ましく、10.60以上が更に好ましい。
なお、本明細書においてSP値は、特に断らない限り、Hoy法によって求める(H.L.Hoy Journal of Painting,1970,Vol.42,76−118)。また、SP値については単位を省略して示しているが、その単位はcal1/2cm−3/2である。
The polymerizable compound used in the present invention has an SP (solubility parameter) value of preferably 9.50 or more, more preferably 10.40 or more, and still more preferably 10.60 or more.
In this specification, the SP value is obtained by the Hoy method unless otherwise specified (HL Hoy Journal of Paining, 1970, Vol. 42, 76-118). The SP value is shown with the unit omitted, but the unit is cal 1/2 cm −3/2 .

また、樹脂組成物Aは、耐現像性向上の観点から、カルド骨格を有する重合性化合物を有することも好ましい。
カルド骨格を有する重合性化合物としては、9,9−ビスアリールフルオレン骨格を有する重合性化合物が好ましく、下記式(Q3)で表される化合物がより好ましい。
Moreover, it is also preferable that the resin composition A has a polymerizable compound having a cardo skeleton from the viewpoint of improving development resistance.
As the polymerizable compound having a cardo skeleton, a polymerizable compound having a 9,9-bisarylfluorene skeleton is preferable, and a compound represented by the following formula (Q3) is more preferable.

一般式(Q3)
General formula (Q3)

上記一般式(Q3)中、Ar11〜Ar14はそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を含むアリール基を表す。
a及びbはそれぞれ独立に1〜5の整数を表し、c及びdはそれぞれ独立に0〜4の整数を表す。R〜Rはそれぞれ独立に置換基を表し、e、f、g及びhはそれぞれ独立に0以上の整数を表し、e、f、g及びhの上限値はそれぞれAr11〜Ar14が有することができる置換基の数からa、b、c又はdを減じた値である。但し、Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含む多環芳香族炭化水素基である場合は、X〜X及びR〜Rはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In the general formula (Q3), Ar 11 to Ar 14 each independently represents an aryl group containing a benzene ring surrounded by a broken line.
a and b each independently represent an integer of 1 to 5, and c and d each independently represents an integer of 0 to 4. R 1 to R 4 each independently represent a substituent, e, f, g and h each independently represent an integer of 0 or more, and the upper limit values of e, f, g and h are Ar 11 to Ar 14, respectively. This is a value obtained by subtracting a, b, c or d from the number of substituents which can be possessed. However, when Ar 11 to Ar 14 are each a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, X 1 to X 4 and R 1 to R 4 are respectively It may be independently substituted with a benzene ring surrounded by a broken line, or may be substituted with a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

上記一般式(Q3)中、Ar11〜Ar14が表す破線で囲まれたベンゼン環を含むアリール基は、炭素数6〜14のアリール基であることが好ましく、炭素数6〜10のアリール基(例えば、フェニル基、ナフチル基)であることがより好ましく、フェニル基(破線で囲まれたベンゼン環のみ)であることが更に好ましい。In the general formula (Q3), the aryl group including a benzene ring surrounded by a broken line represented by Ar 11 to Ar 14 is preferably an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 10 carbon atoms. (For example, a phenyl group or a naphthyl group) is more preferable, and a phenyl group (only a benzene ring surrounded by a broken line) is further preferable.

上記一般式(Q3)中、X〜Xはそれぞれ独立に重合性基を有する置換基を表し、上記置換基中の炭素原子はヘテロ原子によって置換されていてもよい。X〜Xが表す重合性基を有する置換基としては特に制限はなく、重合性基を有する脂肪族基であることが好ましい。
〜Xが表す重合性基を有する脂肪族基としては、特に制限はなく、重合性基以外における炭素数が1〜12のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2〜10のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数2〜5のアルキレン基であることが更に好ましい。
また、X〜Xが表す重合性基を有する脂肪族基において、上記脂肪族基がヘテロ原子によって置換される場合は、−NR−(Rは置換基)、酸素原子、硫黄原子によって置換されていることが好ましく、上記脂肪族基中の隣り合わない−CH−が酸素原子又は硫黄原子で置換されていることがより好ましく、上記脂肪族基中の隣り合わない−CH−が酸素原子で置換されていることが更に好ましい。X〜Xが表す重合性基を有する脂肪族基は、ヘテロ原子によって1〜2箇所置換されていることが好ましく、ヘテロ原子によって1箇所置換されていることがより好ましく、Ar11〜Ar14が表す破線で囲まれたベンゼン環を含むアリール基に隣接する1箇所がヘテロ原子によって置換されていることが更に好ましい。
〜Xが表す重合性基を有する脂肪族基に含まれる重合性基としては、ラジカル重合又はカチオン重合可能な重合性基(以下、それぞれラジカル重合性基及びカチオン重合性基とも言う)が好ましい。
ラジカル重合性基としては、一般に知られているラジカル重合性基を用いることができ、好適なものとしてラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する重合性基を挙げることができ、具体的にはビニル基、(メタ)アクリロイルオキシ基などを挙げることができる。中でも、(メタ)アクリロイルオキシ基が好ましく、アクリロイルオキシ基がより好ましい。
カチオン重合性基としては、一般に知られているカチオン重合性を用いることができ、具体的には、脂環式エーテル基、環状アセタール基、環状ラクトン基、環状チオエーテル基、スピロオルソエステル基、ビニルオキシ基などを挙げることができる。中でも、脂環式エーテル基、ビニルオキシ基が好適であり、エポキシ基、オキセタニル基、ビニルオキシ基が特に好ましい。
Ar〜Arが含む置換基が有する上記重合性基は、ラジカル重合性基であることが好ましい。
Ar〜Arのうち2つ以上は重合性基を有する置換基を含み、Ar〜Arのうち2〜4個が重合性基を有する置換基を含むことが好ましく、Ar〜Arのうち2又は3個が重合性基を有する置換基を含むことがより好ましく、Ar〜Arのうち2個が重合性基を有する置換基を含むことが更に好ましい。
Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含む多環芳香族炭化水素基である場合は、X〜Xはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In the general formula (Q3), X 1 to X 4 each independently represent a substituent having a polymerizable group, and the carbon atom in the substituent may be substituted with a hetero atom. The substituent having a polymerizable group represented by X 1 to X 4 is not particularly limited, and is preferably an aliphatic group having a polymerizable group.
The aliphatic group having a polymerizable group represented by X 1 to X 4 is not particularly limited, and is preferably an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms other than the polymerizable group, and an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms. It is more preferably a group, and further preferably an alkylene group having 2 to 5 carbon atoms.
In the aliphatic group having a polymerizable group represented by X 1 to X 4 , when the aliphatic group is substituted with a heteroatom, it is substituted with —NR— (R is a substituent), an oxygen atom, or a sulfur atom. The non-adjacent —CH 2 — in the aliphatic group is more preferably substituted with an oxygen atom or a sulfur atom, and the non-adjacent —CH 2 — in the aliphatic group is More preferably, it is substituted with an oxygen atom. The aliphatic group having a polymerizable group represented by X 1 to X 4 is preferably substituted with 1 to 2 sites by hetero atoms, more preferably 1 site with hetero atoms, Ar 11 to Ar More preferably, one position adjacent to the aryl group containing a benzene ring surrounded by a broken line 14 is substituted with a heteroatom.
As the polymerizable group contained in the aliphatic group having a polymerizable group represented by X 1 to X 4 , a polymerizable group capable of radical polymerization or cationic polymerization (hereinafter also referred to as a radical polymerizable group and a cationic polymerizable group, respectively). Is preferred.
As the radical polymerizable group, a generally known radical polymerizable group can be used, and a polymerizable group having an ethylenically unsaturated bond capable of radical polymerization can be mentioned as a preferred one. Specifically, Examples thereof include a vinyl group and a (meth) acryloyloxy group. Among these, a (meth) acryloyloxy group is preferable, and an acryloyloxy group is more preferable.
As the cationic polymerizable group, generally known cationic polymerizable groups can be used. Specifically, alicyclic ether group, cyclic acetal group, cyclic lactone group, cyclic thioether group, spiro orthoester group, vinyloxy group Examples include groups. Of these, alicyclic ether groups and vinyloxy groups are preferable, and epoxy groups, oxetanyl groups, and vinyloxy groups are particularly preferable.
The polymerizable group contained in the substituent contained in Ar 1 to Ar 4 is preferably a radical polymerizable group.
Two or more of Ar 1 to Ar 4 include a substituent having a polymerizable group, preferably contains a substituent with 2-4 polymerizable group of Ar 1 ~Ar 4, Ar 1 ~Ar more preferably comprising a substituent group having 2 or 3 polymerizable groups of four, and more preferably comprising a substituent group having two polymerizable groups of Ar 1 to Ar 4.
When Ar 11 to Ar 14 are each independently a polycyclic aromatic hydrocarbon group including a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, X 1 to X 4 are each independently benzene surrounded by a broken line. Even if it is substituted with a ring, it may be substituted with a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

上記一般式(Q3)中、a及びbはそれぞれ独立に1〜5の整数を表し、1又は2であることが好ましく、a及びbがいずれも1であることがより好ましい。
上記一般式(Q3)中、c及びdはそれぞれ独立に0〜4の整数を表し、0又は1であることが好ましく、c及びdがいずれも0であることがより好ましい。
In the general formula (Q3), a and b each independently represent an integer of 1 to 5, preferably 1 or 2, and more preferably a and b are all 1.
In the general formula (Q3), c and d each independently represent an integer of 0 to 4, preferably 0 or 1, and more preferably c and d are both 0.

上記一般式(Q3)中、R〜Rはそれぞれ独立に置換基を表す。R〜Rが表す置換基としては特に制限はなく、例えば、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、アルキル基、アルケニル基、アシル基、ヒドロキシル基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシ基、アリール基、ヘテロアリール基、脂環基などを挙げることができる。R〜Rが表す置換基はアルキル基、アルコキシ基又はアリール基であることが好ましく、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシ基又はフェニル基であることがより好ましく、メチル基、メトキシ基又はフェニル基であることが更に好ましい。
上記一般式(Q3)中、Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含む多環芳香族炭化水素基である場合は、R〜Rはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In the general formula (Q3), R 1 to R 4 each independently represents a substituent. R 1 to R 4 is not particularly limited as substituents represented by, for example, a halogen atom, a halogenated alkyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an acyl group, a hydroxyl group, a hydroxyalkyl group, an alkoxy group, an aryl group, a heteroaryl Group, alicyclic group and the like. The substituent represented by R 1 to R 4 is preferably an alkyl group, an alkoxy group or an aryl group, more preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms or a phenyl group. And more preferably a methyl group, a methoxy group or a phenyl group.
In the general formula (Q3), when Ar 11 to Ar 14 are each independently a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, R 1 to R 4 are each It may be independently substituted with a benzene ring surrounded by a broken line, or may be substituted with a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

上記一般式(Q3)中、e、f、g及びhはそれぞれ独立に0以上の整数を表し、e、f、g及びhの上限値はそれぞれAr11〜Ar14が有することができる置換基の数からa、b、c又はdを減じた値である。
e、f、g及びhはそれぞれ独立に0〜4であることが好ましく、0〜2であることがより好ましく、0であることが更に好ましい。
Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含む多環芳香族炭化水素基である場合、e、f、g及びhは0又は1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
In the general formula (Q3), e, f, g, and h each independently represent an integer of 0 or more, and the upper limit values of e, f, g, and h can each be a substituent that Ar 11 to Ar 14 can have. The value obtained by subtracting a, b, c, or d from the number of.
e, f, g and h are each independently preferably 0 to 4, more preferably 0 to 2, and still more preferably 0.
When Ar 11 to Ar 14 are each independently a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, e, f, g and h are preferably 0 or 1 , 0 is more preferable.

上記式(Q3)で表される化合物としては、例えば、9,9−ビス[4−(2−アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン等が挙げられる。9,9−ビスアリールフルオレン骨格を有する重合性化合物としては、特開2010-254732号公報記載の化合物類も好適に用いることができる。   Examples of the compound represented by the formula (Q3) include 9,9-bis [4- (2-acryloyloxyethoxy) phenyl] fluorene. As the polymerizable compound having a 9,9-bisarylfluorene skeleton, compounds described in JP2010-254732A can also be suitably used.

市販のカルド骨格を有する重合性化合物としては、限定されず、例えば、オンコートEXシリーズ(長瀬産業社製)、オグソール(大阪ガスケミカル社製)等が挙げられる。   Examples of the commercially available polymerizable compound having a cardo skeleton include, but are not limited to, ONCOAT EX series (manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd.), Ogsol (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.), and the like.

樹脂組成物Aにおいて、重合性化合物の含有量は、組成物の全固形分に対し、0.1〜40質量%が好ましい。下限は、例えば0.5質量%以上がより好ましく、2質量%以上が更に好ましい。上限は、例えば、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
重合性化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
In the resin composition A, the content of the polymerizable compound is preferably 0.1 to 40% by mass with respect to the total solid content of the composition. The lower limit is, for example, more preferably 0.5% by mass or more, and further preferably 2% by mass or more. For example, the upper limit is more preferably 35% by mass or less, and still more preferably 30% by mass or less.
One type of polymerizable compound may be used alone, or two or more types may be used in combination. When using 2 or more types together, it is preferable that a total amount becomes the said range.

なお、樹脂組成物Aにおいて、上述する分散樹脂とバインダー樹脂との総含有量(B)に対する重合性化合物の総含有量(M)の質量比(M/B)は、0.3〜2.0が好ましく、耐擦り性により優れる観点から、0.45〜1.5がより好ましい。   In the resin composition A, the mass ratio (M / B) of the total content (M) of the polymerizable compound to the total content (B) of the dispersion resin and the binder resin described above is 0.3-2. 0 is preferable, and 0.45 to 1.5 is more preferable from the viewpoint of better abrasion resistance.

<有機溶剤>
樹脂組成物Aは、有機溶剤を含有してもよい。
有機溶剤は、各成分の溶解性又は樹脂組成物Aの塗布性を満足すれば基本的には特に制限はなく、重合性化合物、バインダー樹脂等の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
<Organic solvent>
The resin composition A may contain an organic solvent.
The organic solvent is basically not particularly limited as long as it satisfies the solubility of each component or the coating property of the resin composition A. In consideration of the solubility, coating property, and safety of the polymerizable compound, the binder resin, and the like. It is preferable to be selected.

有機溶剤としては、エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル(例えば、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル(例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等))、3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等))、2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル))、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル及び2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル(例えば、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル等)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。   Examples of organic solvents include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, cyclohexyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, methyl lactate, and ethyl lactate. Alkyl oxyacetate (eg, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate (eg, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate)), alkyl 3-oxypropionate Esters (eg, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, etc. (eg, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate) )), 2-oxypropionic acid alkyl esters (for example, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, etc. (for example, methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropionic acid) Ethyl, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate), methyl 2-oxy-2-methylpropionate and ethyl 2-oxy-2-methylpropionate (for example 2 -Methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, etc.), methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, 2 -Ethyl oxobutanoate and the like, and As ethers, for example, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol Monomethyl ether acetate (PGMEA), propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate and the like, and ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, 2-heptanone, 3-heptanone, and the like, and Suitable examples of aromatic hydrocarbons include toluene and xylene.

これらの有機溶剤は、重合性化合物、バインダー樹脂等の溶解性、塗布面状の改良などの観点から、2種以上を混合することも好ましい。この場合、特に好ましくは、上記の3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液である。
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が0.8mmol/L以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。
It is also preferable to mix two or more kinds of these organic solvents from the viewpoints of solubility of the polymerizable compound, the binder resin and the like, and improvement of the coated surface. In this case, particularly preferably, the above-mentioned methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl It is a mixed solution composed of two or more selected from carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl ether acetate.
In the present invention, the organic solvent preferably has a peroxide content of 0.8 mmol / L or less, and more preferably contains substantially no peroxide.

有機溶剤の樹脂組成物Aにおける含有量は、塗布性の観点から、組成物の全固形分濃度が5〜80質量%になる量とすることが好ましく、5〜60質量%がより好ましく、10〜50質量%が更に好ましい。
樹脂組成物Aは、有機溶剤を、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
The content of the organic solvent in the resin composition A is preferably such that the total solid concentration of the composition is 5 to 80% by mass, more preferably 5 to 60% by mass, from the viewpoint of applicability. -50 mass% is still more preferable.
The resin composition A may contain only one type of organic solvent, or may contain two or more types. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

<その他添加剤>
樹脂組成物Aには、必要に応じて、各種添加物、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、重合禁止剤、凝集防止剤、界面活性剤、赤外線吸収剤、紫外線吸収剤等を含有することができる。これらの添加物としては、例えば、特開2004−295116号公報の段落0155〜0156に記載のものを挙げることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
樹脂組成物Aは、例えば、特開2004−295116号公報の段落0078に記載の増感剤又は光安定剤、同公報の段落0081に記載の熱重合防止剤などを含有することができる。
また、上記チタン窒化物含有粒子以外の顔料又は染料も配合することができる。その他の顔料としては、例えば下記のものが挙げられる。
<Other additives>
In the resin composition A, various additives such as a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, a polymerization inhibitor, an anti-aggregation agent, a surfactant, an infrared absorber, an ultraviolet absorber and the like are added as necessary. Can be contained. Examples of these additives include those described in paragraphs 0155 to 0156 of JP-A No. 2004-295116, the contents of which are incorporated herein.
The resin composition A can contain, for example, a sensitizer or light stabilizer described in paragraph 0078 of JP-A No. 2004-295116, a thermal polymerization inhibitor described in paragraph 0081 of the same publication, and the like.
Moreover, pigments or dyes other than the titanium nitride-containing particles can also be blended. Examples of other pigments include the following.

<その他の顔料>
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を挙げることができる。
無機顔料としては、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン、タングステン等の金属酸化物のほか、上記金属の複合酸化物を挙げることができる。
有機顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されない。
カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等、
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等、
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80
カーボンブラック、リグニンブラック、アセチレンブラック、アニリンブラック、C.I.ピグメントブラック27
<Other pigments>
Examples of the pigment include conventionally known various inorganic pigments or organic pigments.
Examples of inorganic pigments include metal oxides such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, and tungsten, and composite oxides of the above metals.
The following can be mentioned as an organic pigment. However, the present invention is not limited to these.
Color Index (CI) Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 72,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214, etc.,
C. I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73, etc. ,
C. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 2, 81: 3 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184 185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58, 59
C. I. Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 80
Carbon black, lignin black, acetylene black, aniline black, C.I. I. Pigment Black 27

<染料>
また、染料としては、従来公知の種々の染料を挙げることができる。
<Dye>
Examples of the dye include various conventionally known dyes.

染料としては、例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特許第2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、米国特許5667920号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報及び特開平6−194828号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物及びピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。また、染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開2011−213925号公報及び特開2013−041097号公報に記載されている化合物が挙げられる。   Examples of the dye include JP-A 64-90403, JP-A 64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP 2592207, and US Pat. No. 4,808,501. U.S. Pat. No. 5,667,920, U.S. Pat. No. 505950, U.S. Pat. No. 5,667,920, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115, and JP-A-6-51115. The pigment | dye currently disclosed by 194828 gazette etc. can be used. When classified as chemical structures, pyrazole azo compounds, pyromethene compounds, anilinoazo compounds, triphenylmethane compounds, anthraquinone compounds, benzylidene compounds, oxonol compounds, pyrazolotriazole azo compounds, pyridone azo compounds, cyanine compounds, phenothiazine compounds and pyrrolopyrazole azomethine compounds, etc. Can be used. A dye multimer may be used as the dye. Examples of the dye multimer include compounds described in JP2011-213925A and JP2013-041097A.

これら有機顔料又は染料は、単独若しくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。2種以上併用してもよい。   These organic pigments or dyes can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Two or more kinds may be used in combination.

例えば、色味を調整する観点から赤色顔料と上記チタン窒化物含有粒子とを併用することが好ましく、特に限定はされないが赤色顔料としてはピグメントレッド254であることが好ましい。また、遮光性を高める観点から黄色顔料と上記チタン窒化物含有粒子とを併用することが好ましく、特に限定はされないが黄色顔料としてはピグメントイエロー150であることが好ましい。   For example, it is preferable to use a red pigment and the titanium nitride-containing particles in combination from the viewpoint of adjusting the color, and the red pigment is preferably Pigment Red 254, although not particularly limited. Moreover, it is preferable to use a yellow pigment and the said titanium nitride containing particle together from a viewpoint of improving light-shielding property, Although it does not specifically limit, It is preferable that it is pigment yellow 150 as a yellow pigment.

<界面活性剤>
本発明の組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
<Surfactant>
The composition of the present invention may contain various surfactants from the viewpoint of further improving applicability. As the surfactant, various surfactants such as a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and a silicone-based surfactant can be used.

本発明の組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性(特に、流動性)がより向上し、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力が低下して、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行うことができる。   By including a fluorosurfactant in the composition of the present invention, liquid properties (particularly fluidity) when prepared as a coating liquid are further improved, and uniformity of coating thickness and liquid-saving properties are further improved. be able to. That is, in the case of forming a film using a coating liquid to which a composition containing a fluorosurfactant is applied, the interfacial tension between the coated surface and the coating liquid decreases, and the wettability to the coated surface is reduced. It improves and the applicability | paintability to a to-be-coated surface improves. For this reason, it is possible to more suitably form a film having a uniform thickness with small thickness unevenness.

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好適であり、より好ましくは5〜30質量%であり、特に好ましくは7〜25質量%である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。   3-40 mass% is suitable for the fluorine content rate in a fluorine-type surfactant, More preferably, it is 5-30 mass%, Most preferably, it is 7-25 mass%. A fluorine-based surfactant having a fluorine content within this range is effective in terms of uniformity of coating film thickness and liquid-saving properties, and has good solubility in the composition.

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC1068、同SC−381、同SC−383、同S393、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(OMNOVA社製)等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
Examples of the fluorosurfactant include Megafac F171, F172, F173, F176, F176, F177, F141, F142, F143, F144, R30, F437, F475, F479, F482, F554, F780 (above DIC Corporation), Florard FC430, FC431, FC171 (above, Sumitomo 3M Limited), Surflon S-382, SC-101, SC- 103, SC-104, SC-105, SC1068, SC-381, SC-383, S393, S393, KH-40 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656, PF6320, PF6520, PF7002 (made by OMNOVA) etc. are mentioned.
The fluorine-based surfactant has a repeating unit derived from a (meth) acrylate compound having a fluorine atom and 2 or more (preferably 5 or more) alkyleneoxy groups (preferably ethyleneoxy group or propyleneoxy group) (meth). A fluorine-containing polymer compound containing a repeating unit derived from an acrylate compound can also be preferably used, and the following compounds are also exemplified as the fluorine-based surfactant used in the present invention.

上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜50,000であり、例えば、14,000である。
なお、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物は、ここで述べるフッ素系界面活性剤には含まれない。
The weight average molecular weight of the above compound is preferably 3,000 to 50,000, for example, 14,000.
A compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom is not included in the fluorine-based surfactant described here.

ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製)等が挙げられる。また、和光純薬工業社製の、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002を使用することもできる。   Specific examples of the nonionic surfactant include glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane, and ethoxylates and propoxylates thereof (for example, glycerol propoxylate, glycerol ethoxylate, etc.), polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene Stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester (Pluronic L10, L31, L61, L62 manufactured by BASF, 10R5, 17R2, 25R2, Tetronic 304, 701, 704, 901, 904, 150R1, Sparse 20000 (manufactured by Lubrizol Japan Ltd.) and the like. Further, the product of Wako Pure Chemical Industries, Ltd., may be used NCW-101, NCW-1001, NCW-1002.

カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体(商品名:EFKA−745、森下産業(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株)製)等が挙げられる。   Specific examples of the cationic surfactant include phthalocyanine derivatives (trade name: EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid ( Co) polymer polyflow no. 75, no. 90, no. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.) and the like.

アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017(裕商(株)製)、サンデットBL(三洋化成(株)製)等が挙げられる。   Specific examples of the anionic surfactant include W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), Sandet BL (manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd.), and the like.

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA、トーレシリコーンSH21PA、トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400(以上、東レ・ダウコーニング(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4460、TSF−4452(以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、KP341、KF6001、KF6002(以上、信越シリコーン株式会社製)、BYK307、BYK323、BYK330(以上、ビックケミー社製)等が挙げられる。なお、後述するポリシロキサン構造を有する樹脂、反応性シリコーンは、ここで述べるシリコーン系界面活性剤には含まれない。   Examples of silicone-based surfactants include Torre Silicone DC3PA, Torre Silicone SH7PA, Torre Silicone DC11PA, Torresilicone SH21PA, Torree Silicone SH28PA, Torree Silicone SH29PA, Torree Silicone SH30PA, Torree Silicone SH8400 (above, Toray Dow Corning Co., Ltd.) )), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4460, TSF-4442 (above, manufactured by Momentive Performance Materials), KP341, KF6001, KF6002 (above, manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) , BYK307, BYK323, BYK330 (above, manufactured by BYK Chemie) and the like. Note that a resin having a polysiloxane structure, which will be described later, and reactive silicone are not included in the silicone-based surfactant described here.

界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。界面活性剤の含有量は、本発明の組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%が好ましく、0.005〜1.0質量%がより好ましく、0.005〜0.98質量%が最も好ましい。   Only one type of surfactant may be used, or two or more types may be combined. The content of the surfactant is preferably 0.001 to 2.0 mass%, more preferably 0.005 to 1.0 mass%, more preferably 0.005 to the total solid content of the composition of the present invention. 0.98% by mass is most preferred.

〔実施形態1B〕
次に、膜表面を荒らす手法として、樹脂膜中にポリシロキサン構造を有する樹脂を含有させる態様について説明する。
樹脂膜を構成する材料としては、少なくとも上述するチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、更にポリシロキサン構造を有する樹脂が挙げられる。樹脂膜は、上述の構成材料又はその前駆体材料を含有する樹脂組成物を形成し、これを基板上に塗布することで形成することができる。
また、上記樹脂組成物は露光・現像性を有する感光性樹脂組成物とすることもできる。この場合には、樹脂組成物中に、重合開始剤、重合性化合物等を更に配合すればよい。更に、バインダー樹脂、重合性化合物、後述する分散樹脂等をアルカリ可溶性材料としてもよい。
以下に、上述した樹脂組成物(以下、「樹脂組成物B」とする)に含まれる各種材料について詳述する。
樹脂組成物Bにおける材料は、樹脂組成物A中のフィラーを反応性シリコーンとした以外は同様であり、また、好適態様についても同様である。
[Embodiment 1B]
Next, as a method for roughening the film surface, an embodiment in which a resin having a polysiloxane structure is contained in the resin film will be described.
Examples of the material constituting the resin film include at least the titanium nitride-containing particles described above, a binder resin, and a resin having a polysiloxane structure. The resin film can be formed by forming a resin composition containing the above-described constituent materials or precursor materials thereof and applying the resin composition onto a substrate.
Moreover, the said resin composition can also be used as the photosensitive resin composition which has exposure and developability. In this case, a polymerization initiator, a polymerizable compound, etc. may be further blended in the resin composition. Furthermore, a binder resin, a polymerizable compound, a dispersion resin described later, and the like may be used as the alkali-soluble material.
Below, the various materials contained in the resin composition mentioned above (henceforth "resin composition B") are explained in full detail.
The material in the resin composition B is the same except that the filler in the resin composition A is a reactive silicone, and the same applies to preferred embodiments.

[樹脂組成物B]
<ポリシロキサン構造を有する樹脂、反応性シリコーン>
本発明においては、樹脂膜の表面を荒らす他の手段として、樹脂膜中にポリシロキサン構造を有する樹脂を含有させることもできる。
ここでいう、ポリシロキサン構造を有する樹脂とは、後述する反応性シリコーンから形成される樹脂であることが好ましい。反応性シリコーンは有機無機ハイブリッド材料であり、かつ、自由表面エネルギーが小さい。このため、反応性シリコーンとバインダー樹脂(更に、前述する重合性化合物)とを含有する樹脂組成物を基板上に塗布すると、反応性シリコーンがバインダー樹脂(更に、後述する重合性化合物)に対して相溶せずに表面に偏在し、凹凸形状を形成する。
なお、ポリシロキサン構造を有する樹脂についても、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物に相当する。
[Resin composition B]
<Resin having a polysiloxane structure, reactive silicone>
In the present invention, as another means for roughening the surface of the resin film, a resin having a polysiloxane structure can be contained in the resin film.
Here, the resin having a polysiloxane structure is preferably a resin formed from reactive silicone described later. Reactive silicone is an organic-inorganic hybrid material and has a low free surface energy. For this reason, when a resin composition containing reactive silicone and a binder resin (further, the above-described polymerizable compound) is applied on a substrate, the reactive silicone is in contrast to the binder resin (further described below). It is unevenly distributed on the surface without being compatible, and forms an uneven shape.
A resin having a polysiloxane structure also corresponds to a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom.

反応性シリコーン樹脂としては、ポリシロキサンの側鎖、片末端又は両末端にアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、水酸基、メタクリル基、メルカプト基、フェノール基等の置換基が置換した反応性タイプの変性シリコーン樹脂である。アミノ変性シリコーン樹脂として、具体的にはKF−860、KF−861、X−22―161A、X−22―161B(以上、信越化学工業株式会社製)、FM−3311、FM−3325(以上、チッソ株式会社製)、エポキシ変性シリコーン樹脂としては、KF−105、X−22−163A、X−22−163B、KF−101、KF−1001(以上、信越化学工業株式会社製)、ポリエーテル変性シリコーン樹脂としてはX−22−4272、X−22−4952、カルボキシル変性シリコーン樹脂としてはX−22−3701E、X−22−3710(以上、信越化学工業株式会社製)、カルビノール変性シリコーン樹脂としてはKF−6001、KF−6003(以上、信越化学工業株式会社製)、メタクリル変性シリコーン樹脂としてはX−22−164C(以上、信越化学工業株式会社製)、メルカプト変性シリコーン樹脂としてはKF−2001(以上、信越化学工業株式会社製)、フェノール変性シリコーン樹脂としてはX−22−1821(以上、信越化学工業株式会社製)等が挙げられる。水酸基変性シリコーン樹脂としては、FM−4411、FM−4421、FM−DA21、FM−DA26(以上、チッソ株式会社製)が挙げられる。   Reactive silicone resin is a reactive type modified by substitution of substituents such as amino group, epoxy group, carboxyl group, hydroxyl group, methacryl group, mercapto group, phenol group at the side chain, one end or both ends of polysiloxane. Silicone resin. Specific examples of the amino-modified silicone resin include KF-860, KF-861, X-22-161A, X-22-161B (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), FM-3331, FM-3325 (and above, Chisso Corporation), epoxy-modified silicone resins such as KF-105, X-22-163A, X-22-163B, KF-101, KF-1001 (above, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), polyether-modified X-22-4272, X-22-4952 as silicone resins, X-22-3701E, X-22-3710 (above, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as carboxyl-modified silicone resins, and carbinol-modified silicone resins KF-6001, KF-6003 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), methacryl-modified silicone X-22-164C (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as the resin, KF-2001 (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as the mercapto-modified silicone resin, and X-22-1821 as the phenol-modified silicone resin (The above is manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Examples of the hydroxyl group-modified silicone resin include FM-4411, FM-4421, FM-DA21, and FM-DA26 (manufactured by Chisso Corporation).

その他、片末端反応性シリコーン樹脂のX−22−170DX、X−22−2426、X−22−176F(以上、信越化学工業株式会社製)等も反応性シリコーン樹脂として用いることができる。   In addition, one-terminal reactive silicone resins X-22-170DX, X-22-2426, X-22-176F (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and the like can also be used as the reactive silicone resin.

また、凹凸形状を安定してより良く発現する点、及び塗布液の安定性からバインダー樹脂に対して反応性シリコーンの含有質量比率(バインダー樹脂:反応性シリコーン)は、100:1〜100:30であることが好ましく、100:5〜100:30であることがより好ましい。   Moreover, the content mass ratio (binder resin: reactive silicone) of reactive silicone with respect to binder resin from the point which expresses uneven | corrugated shape stably and better and the stability of a coating liquid is 100: 1-100: 30. It is preferable that it is 100: 5 to 100: 30.

反応性シリコーンを樹脂組成物Bに含有させる場合、その含有量は、組成物中の全固形分に対して、0.2〜20質量%であることが好ましく、0.5〜15質量%であることがより好ましく、1〜15質量%であることが更に好ましく、1〜10質量%であることが特に好ましい。
樹脂組成物Bは、反応性シリコーンを、1種類のみを含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
When the reactive silicone is contained in the resin composition B, the content is preferably 0.2 to 20% by mass, and 0.5 to 15% by mass with respect to the total solid content in the composition. More preferably, it is 1 to 15% by mass, further preferably 1 to 10% by mass.
Resin composition B may contain only one type of reactive silicone or two or more types of reactive silicone. When two or more types are included, the total amount is preferably within the above range.

[樹脂組成物A、Bの調製方法]
樹脂組成物A、Bは、それぞれ前述の成分を混合して調製できる。
樹脂組成物A、Bの調製に際しては、樹脂組成物A、Bを構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序及び作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解又は分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液又は分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
樹脂組成物A、Bは、異物の除去又は欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素樹脂、ナイロン−6、ナイロン−6,6等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)が好ましい。
フィルタの孔径は、0.01〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01〜3.0μm程度、より好ましくは0.05〜0.5μm程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一及び平滑な樹脂組成物の調製を阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
[Method for Preparing Resin Compositions A and B]
Resin compositions A and B can be prepared by mixing the aforementioned components, respectively.
In preparing the resin compositions A and B, the respective components constituting the resin compositions A and B may be mixed together, or may be sequentially mixed after each component is dissolved or dispersed in a solvent. In addition, the charging sequence and working conditions when blending are not particularly limited. For example, the composition may be prepared by dissolving or dispersing all the components in a solvent at the same time, and if necessary, each component is appropriately used as two or more solutions or dispersions at the time of use (at the time of application). ) May be mixed to prepare a composition.
The resin compositions A and B are preferably filtered with a filter for the purpose of removing foreign substances or reducing defects. Any filter can be used without particular limitation as long as it has been conventionally used for filtration. For example, fluorine resins such as polytetrafluoroethylene (PTFE), polyamide resins such as nylon-6 and nylon-6,6, polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene (PP) (including high density and ultra high molecular weight), etc. Filter. Among these materials, polypropylene (including high density polypropylene) is preferable.
The pore size of the filter is suitably about 0.01 to 7.0 μm, preferably about 0.01 to 3.0 μm, more preferably about 0.05 to 0.5 μm. By setting it as this range, it becomes possible to remove reliably the fine foreign material which inhibits preparation of the uniform and smooth resin composition in a post process.

フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。
また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社(DFA4201NXEYなど)、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
例えば、第1のフィルタでのフィルタリングは、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタリングを行ってもよい。
When using filters, different filters may be combined. At that time, the filtering by the first filter may be performed only once or may be performed twice or more.
Moreover, you may combine the 1st filter of a different hole diameter within the range mentioned above. The pore diameter here can refer to the nominal value of the filter manufacturer. As a commercially available filter, for example, selected from various filters provided by Nippon Pole Co., Ltd. (DFA4201NXEY, etc.), Advantech Toyo Co., Ltd., Japan Integris Co., Ltd. (formerly Nihon Microlith Co., Ltd.) or KITZ Micro Filter Co., Ltd. can do.
As the second filter, a filter formed of the same material as the first filter described above can be used.
For example, the filtering by the first filter may be performed only with the dispersion, and the second filtering may be performed after mixing other components.

[樹脂膜の製造方法]
次に、樹脂膜の製造方法について説明する。
第1の実施形態の樹脂膜は、樹脂組成物A又は樹脂組成物Bを用いて製造することが好ましい。
樹脂組成物A又はBを用いて第1の実施形態の樹脂膜を製造する場合、樹脂膜の製造方法としては、樹脂組成物A又はBを基板上に付与し、樹脂膜を形成する工程(樹脂膜形成工程)を少なくとも有することが好ましい。
樹脂組成物A又はBが重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料を含有する硬化性組成物である場合には、樹脂膜の製造方法としては、樹脂組成物A又はBを基板上に付与して、塗膜を形成する工程(塗膜形成工程)と、塗膜を露光する工程(露光工程)とを有することが好ましい。
さらに、樹脂組成物A又はBが重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料を含有する硬化性組成物である場合には、パターン状の樹脂膜を形成することが可能となる。具体的な手順としては、上記塗膜形成工程と、塗膜をパターン状に露光する工程(パターン露光工程)と、未露光部を現像除去してパターン状の樹脂膜を形成する工程(現像工程)とを有することが好ましい。
以下、上記手順のうち、代表例として、塗膜形成工程と、パターン露光工程と、現像工程とを有する樹脂膜の製造方法について詳述する。
なお、後段で詳述するように、樹脂膜形成工程の手順自体は塗膜形成工程の手順と同じである。また、露光工程とパターン露光工程とは、パターン露光工程において露光をパターン状に行う点以外は、同じ手順である。
[Production method of resin film]
Next, a method for manufacturing a resin film will be described.
The resin film of the first embodiment is preferably manufactured using the resin composition A or the resin composition B.
When manufacturing the resin film of 1st Embodiment using the resin composition A or B, as a manufacturing method of a resin film, the process of providing the resin composition A or B on a board | substrate and forming a resin film ( It is preferable to have at least a resin film forming step.
When the resin composition A or B is a curable composition containing an actinic radiation curable material such as a polymerization initiator and a polymerizable compound, the resin composition A or B is a substrate as a method for producing a resin film. It is preferable to have a process of forming a coating film (coating film forming process) and a process of exposing the coating film (exposure process).
Furthermore, when the resin composition A or B is a curable composition containing an actinic radiation curable material such as a polymerization initiator and a polymerizable compound, a patterned resin film can be formed. Specifically, the coating film forming step, the step of exposing the coating film in a pattern (pattern exposure step), and the step of developing and removing unexposed portions to form a patterned resin film (developing step) ).
Hereinafter, the manufacturing method of the resin film which has a coating-film formation process, a pattern exposure process, and a image development process as a representative example among the said procedures is explained in full detail.
As will be described in detail later, the procedure itself of the resin film forming step is the same as the procedure of the coating film forming step. The exposure process and the pattern exposure process are the same procedure except that the exposure is performed in a pattern in the pattern exposure process.

<塗膜形成工程>
本工程では、樹脂組成物A又はBを用いて、基板上に塗膜を形成する。
塗膜は、樹脂組成物A又はBによって形成される膜である。樹脂組成物Aを用いた場合、上述したチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、フィラーと、重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料とを有する塗膜が形成される。また、樹脂組成物Bを用いた場合、上述したチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、反応性シリコーン等から形成されたポリシロキサン構造を有する樹脂と、重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料とを有する塗膜が形成される。
基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等から構成される透明基板を挙げることができる。これらの透明基板上に、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子を駆動するための薄膜トランジスタが形成されていてもよい。
また、基板上にCCD(電荷結合素子)又はCMOS(相補性金属酸化膜半導体)等の固体撮像素子(受光素子)が設けられた固体撮像素子用基板を用いることができる。
基板上への樹脂組成物A又はBの適用方法としては、スリット塗布法、インクジェット法、回転塗布法、スプレー塗布法、流延塗布法、ロール塗布法、スクリーン印刷法等の各種の方法を用いることができる。
塗膜の膜厚が均一で得られる点から、回転塗布法、スプレー塗布法が好ましい。基板表面が平らでない場合、膜厚が均一で得られる点から、スプレー塗布法、インクジェット法が好ましい。
<Coating film formation process>
In this step, a coating film is formed on the substrate using the resin composition A or B.
The coating film is a film formed by the resin composition A or B. When the resin composition A is used, a coating film having the above-described titanium nitride-containing particles, a binder resin, a filler, and an actinic radiation curable material such as a polymerization initiator and a polymerizable compound is formed. Further, when the resin composition B is used, the activity of the above-described titanium nitride-containing particles, a binder resin, a resin having a polysiloxane structure formed from reactive silicone, and the like, a polymerization initiator, a polymerizable compound, and the like A coating film having a wire curable material is formed.
Examples of the substrate include a transparent substrate made of glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, and the like. A thin film transistor for driving an organic electroluminescence (organic EL) element may be formed on these transparent substrates.
In addition, a solid-state imaging device substrate in which a solid-state imaging device (light receiving device) such as a CCD (charge coupled device) or a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) is provided on the substrate can be used.
As a method for applying the resin composition A or B on the substrate, various methods such as a slit coating method, an ink jet method, a spin coating method, a spray coating method, a casting coating method, a roll coating method, and a screen printing method are used. be able to.
From the point that the film thickness of the coating film can be obtained uniformly, the spin coating method and the spray coating method are preferable. In the case where the substrate surface is not flat, the spray coating method and the ink jet method are preferable because the film thickness is uniform.

なお、基板上に形成した塗膜に対して、加熱処理(プリベーク)を施してもよく、この際の温度は、150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、100℃以下が更に好ましい。
プリベーク時間は、10〜300秒が好ましく、40〜250秒がより好ましい。加熱は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
In addition, you may heat-process (prebaking) with respect to the coating film formed on the board | substrate, and the temperature in this case has preferable 150 degrees C or less, 120 degrees C or less is more preferable, 100 degrees C or less is still more preferable.
The pre-bake time is preferably 10 to 300 seconds, and more preferably 40 to 250 seconds. Heating can be performed with a hot plate, oven, or the like.

なお、上述したように、樹脂組成物A又はBに活性線硬化型材料が含まれていない場合は、上記塗膜形成工程で述べた手順を実施することにより、基板上に樹脂膜を形成することができる。   As described above, when the resin composition A or B does not contain an actinic radiation curable material, a resin film is formed on the substrate by performing the procedure described in the coating film forming step. be able to.

<パターン露光工程>
本工程は、塗膜形成工程で得られた塗膜をパターン状に露光する工程である。露光の方法としては、例えば、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は、例えば、30〜1500mJ/cmが好ましく、50〜1000mJ/cmがより好ましく、80〜500mJ/cmが更に好ましい。
なお、露光部においては活性線硬化型材料の硬化が進行する。
<Pattern exposure process>
This step is a step of exposing the coating film obtained in the coating film forming step in a pattern. As an exposure method, for example, pattern exposure can be performed by exposing through a mask having a predetermined mask pattern using an exposure apparatus such as a stepper. Thereby, an exposed part can be hardened.
As radiation (light) that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-line and i-line are preferable (particularly preferably i-line). Irradiation dose (exposure dose), for example, preferably 30~1500mJ / cm 2, more preferably 50~1000mJ / cm 2, more preferably 80~500mJ / cm 2.
In the exposed portion, the actinic radiation curable material is cured.

<現像工程>
本工程は、未露光部を現像除去してパターン状の樹脂膜を形成する工程である。未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の塗膜が現像液に溶出し、光硬化した部分(樹脂膜)だけが残る。
現像液としては、下地の固体撮像素子及び回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。
現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。
<Development process>
This step is a step of developing and removing an unexposed portion to form a patterned resin film. The development removal of the unexposed portion can be performed using a developer. Thereby, the coating film of the unexposed part in an exposure process elutes in a developing solution, and only the photocured part (resin film) remains.
The developer is preferably an organic alkali developer that does not damage the underlying solid-state imaging device and circuit.
As for the temperature of a developing solution, 20-30 degreeC is preferable, for example. The development time is preferably 20 to 180 seconds.

現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。これらのアルカリ剤を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.005〜6質量%、特に好ましくは0.01〜5質量%となるように溶解した水溶液が挙げられる。
また、現像液には無機アルカリを用いてもよい。無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、又はメタ硅酸ナトリウムなどが好ましい。
また、現像液には、界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤の例としてはノニオン系界面活性剤が好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)することが好ましい。
Examples of the alkaline agent used in the developer include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, benzyltrimethylammonium hydroxide. And organic alkaline compounds such as choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene. An aqueous solution in which these alkali agents are dissolved so as to have a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.005 to 6% by mass, particularly preferably 0.01 to 5% by mass.
Moreover, you may use an inorganic alkali for a developing solution. As the inorganic alkali, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, sodium oxalate, or sodium metasuccinate is preferable.
Further, a surfactant may be used for the developer. As an example of the surfactant, a nonionic surfactant is preferable.
In addition, when using the developing solution which consists of such alkaline aqueous solution, generally it is preferable to wash | clean (rinse) with a pure water after image development.

[樹脂膜の層構成]
樹脂膜は、チタン窒化物含有粒子を含む顔料層の1層からなる構成であってもよいし、複数の顔料層を有していてもよい。低反射性と耐湿性をより向上させる観点から、チタン窒化物含有粒子をそれぞれ含有する顔料層X1及び顔料層X2を隣接して積層した構成とすることが好ましい。このとき、顔料層X2に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度が、顔料層X1に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度よりも小さく、かつ、樹脂膜の顔料層X2側の表面の表面粗さRaを100Å以上2000Å以下とすることが好ましい。つまり、樹脂膜の最表面側(基板と最も離れた層位置)にチタン窒化物含有粒子の含有濃度が最も小さい顔料層(顔料層X2)が位置することで、顔料層X2側表面からの入光に対して優れた光散乱を発現して、より低反射性に優れたものとすることができる。
ここで、「顔料層X1中に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度」及び「顔料層X2中に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度」とは、各顔料層の全固形分に対するチタン窒化物含有粒子の含有量に相当する。
[Layer structure of resin film]
The resin film may be composed of one layer of a pigment layer containing titanium nitride-containing particles, or may have a plurality of pigment layers. From the viewpoint of further improving the low reflectivity and moisture resistance, it is preferable that the pigment layer X1 and the pigment layer X2 each containing titanium nitride-containing particles are laminated adjacently. At this time, the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X2 is smaller than the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X1, and the surface roughness of the surface on the pigment layer X2 side of the resin film Ra is preferably 100 to 2000 cm. That is, the pigment layer (pigment layer X2) having the smallest concentration of titanium nitride-containing particles is located on the outermost surface side (layer position farthest from the substrate) of the resin film, so It can exhibit excellent light scattering with respect to light and can be more excellent in low reflectivity.
Here, “the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X1” and “the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X2” are titanium nitride relative to the total solid content of each pigment layer. This corresponds to the content of the contained particles.

樹脂膜を顔料層X1と顔料層X2の2層構成とする場合、高濃度となる顔料層X1中のチタン窒化物含有粒子の濃度は、10〜65質量%であることが好ましく、20〜55質量%であることがより好ましい。一方、低濃度となる顔料層X2中のチタン窒化物含有粒子の濃度は、0.1〜50質量%であることが好ましく、0.1〜40質量%であることがより好ましい。また、(顔料層X1に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度)−(顔料層X2に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度)は、5〜40質量%であることが好ましい。   When the resin film has a two-layer structure of the pigment layer X1 and the pigment layer X2, the concentration of the titanium nitride-containing particles in the pigment layer X1 having a high concentration is preferably 10 to 65% by mass. More preferably, it is mass%. On the other hand, the concentration of the titanium nitride-containing particles in the pigment layer X2 having a low concentration is preferably 0.1 to 50% by mass, and more preferably 0.1 to 40% by mass. Further, (concentration of titanium nitride-containing particles contained in pigment layer X1) − (concentration of titanium nitride-containing particles contained in pigment layer X2) is preferably 5 to 40% by mass.

〔第2の実施形態:フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方が表面偏在した樹脂膜〕
第2の実施形態における樹脂膜は、上述するチタン原子以外の金属原子を1種以上含むチタン窒化物含有粒子を含む顔料層(以下、単に「顔料層」という。)と、顔料層上に隣接して配置された、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層(以下、単に「表面層」という。)と、を有する構成であることを特徴とする。
樹脂膜の厚みは特に制限されず、0.2〜25μmが好ましく、1.0〜10μmがより好ましい。上記厚みは平均厚みであり、樹脂膜の任意の5点以上の厚みを測定し、それらを算術平均した値である。
また、樹脂層中における表面層の厚みは、0.050〜0.200μmが好ましい。
[Second embodiment: a resin film in which at least one of fluorine atoms and silicon atoms is unevenly distributed on the surface]
The resin film according to the second embodiment is adjacent to a pigment layer (hereinafter simply referred to as “pigment layer”) including a titanium nitride-containing particle containing one or more metal atoms other than the above-described titanium atoms. And a surface layer containing a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom (hereinafter simply referred to as “surface layer”).
The thickness in particular of a resin film is not restrict | limited, 0.2-25 micrometers is preferable and 1.0-10 micrometers is more preferable. The above thickness is an average thickness, and is a value obtained by measuring the thickness of any five or more points of the resin film and arithmetically averaging them.
The thickness of the surface layer in the resin layer is preferably 0.050 to 0.200 μm.

上記樹脂膜は、上述するチタン原子以外の金属原子を1種以上含むチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物とを少なくとも含有する樹脂組成物(以下、「樹脂組成物C」という。)を調製し、これを基板上に塗布することで形成することができる。   The resin film contains at least a titanium nitride-containing particle containing at least one metal atom other than the titanium atom described above, a binder resin, and a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom ( Hereinafter, it can be formed by preparing “resin composition C”) and applying it onto a substrate.

樹脂組成物Cは、上述のとおり、後述するフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物(好ましくは、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する樹脂)を用いるが、これらの化合物は低表面自由エネルギーを示す。そのため、例えば、基板上に樹脂組成物Cを塗布して形成される塗膜においては、基板とは反対側の塗膜表面近傍に上記化合物が濃縮して存在しやすい。この表面偏在性は、上記化合物として、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する樹脂を用いた場合に特に顕著に発現する。結果として、得られる塗膜は、黒色顔料であるチタン窒化物含有粒子を含む顔料層(下側層)と、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含んで形成される表面層(上側層)との2層構造を有する。このような2層構造が形成されると、表面層の表面で反射される光と、表面層と顔料層との界面で反射される光とが干渉により打ち消されて、低反射性とすることができる。
更に、上記の樹脂膜は、顔料層中に黒色顔料としてチタン窒化物含有粒子を含んでおり、このチタン窒化物含有粒子とフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物とが相乗することで、優れた耐湿性を示すことが確認されている。
(メタ)アクリル系ポリマー等の樹脂には微量のラジカル開始剤及び未反応モノマーが存在しており、湿熱環境下、熱、酸素、及び、水分により、ポリマーの切断、切断時に発生したラジカルによる連鎖的な分解が原因となる樹脂の黄変を伴うヘイズ及び透明性の悪化を引き起こす(特開2011−65146号公報段落〔0017〕参照)。
疎水的なフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が表面に偏在することで、水分の膜中への混入を防ぎ、上記樹脂の劣化を防ぐ。
また、メカニズムは定かではないが、膜中に混入した水分があっても、チタン原子以外の金属原子を1種以上含むチタン窒化物含有粒子が、生じたラジカルを補足するものと考えている。
As described above, the resin composition C uses a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom described below (preferably a resin containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom). Indicates surface free energy. Therefore, for example, in a coating film formed by applying the resin composition C on a substrate, the compound is likely to be concentrated in the vicinity of the coating film surface on the side opposite to the substrate. This surface uneven distribution is particularly prominent when a resin containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom is used as the compound. As a result, the resulting coating film has a pigment layer (lower layer) containing titanium nitride-containing particles that are black pigments, and a surface layer (including a compound containing at least one of fluorine atoms and silicon atoms). It has a two-layer structure with the upper layer). When such a two-layer structure is formed, the light reflected on the surface of the surface layer and the light reflected on the interface between the surface layer and the pigment layer are canceled out by interference, and low reflectivity is achieved. Can do.
Further, the resin film includes titanium nitride-containing particles as a black pigment in the pigment layer, and the titanium nitride-containing particles and the compound containing at least one of fluorine atoms and silicon atoms synergize. It has been confirmed that it exhibits excellent moisture resistance.
Resins such as (meth) acrylic polymers contain a small amount of radical initiators and unreacted monomers. In a humid heat environment, the polymer is cleaved by heat, oxygen, and moisture, and the chain caused by radicals generated at the time of cleaving. Cause degradation of haze and transparency due to yellowing of the resin due to mechanical decomposition (see paragraph [0017] of JP 2011-65146 A).
A compound containing at least one of a hydrophobic fluorine atom and a silicon atom is unevenly distributed on the surface, thereby preventing moisture from being mixed into the film and preventing the resin from deteriorating.
Further, although the mechanism is not clear, it is considered that even if there is moisture mixed in the film, titanium nitride-containing particles containing one or more metal atoms other than titanium atoms supplement the generated radicals.

また、上記樹脂組成物Cは露光・現像性を有する感光性樹脂組成物とすることもできる。この場合には、樹脂組成物C中に、重合開始剤、重合性化合物等を更に配合すればよい。更に、バインダー樹脂、重合性化合物、分散樹脂等をアルカリ可溶性材料としてもよい。
以下、樹脂組成物Cの各種材料、製造方法について説明する。
Moreover, the said resin composition C can also be used as the photosensitive resin composition which has exposure and developability. In this case, a polymerization initiator, a polymerizable compound, etc. may be further blended in the resin composition C. Furthermore, a binder resin, a polymerizable compound, a dispersion resin, or the like may be used as the alkali-soluble material.
Hereinafter, various materials and manufacturing methods of the resin composition C will be described.

[樹脂組成物C]
<フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物>
樹脂組成物Cは、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含有する。
フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物(以下、「特定化合物」ともいう。)としては、特に限定されず、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方、並びに、硬化性官能基を有することが好ましい。なお、樹脂膜の反射率がより低い、樹脂膜のパターン直線性がより優れる、及び、樹脂膜の欠けがより生じにくい観点から、特定化合物は、フッ素原子を有することが好ましい。
また、特定化合物は、単量体であっても、多量体であっても、重合体であってもよい。特定化合物が重合体である場合、(メタ)アクリレートポリマーであることが好ましく、フッ素原子を有する(メタ)アクリレートポリマーであることがより好ましい。
なお、特定化合物の好適態様の一つとしては、ベンゼン環構造を有しない化合物であることが挙げられ、フッ素原子を有し、かつ、ベンゼン環構造を有しない化合物であることがより好ましい。
なお、上述したシランカップリング剤は、特定化合物には含まれない。
[Resin composition C]
<Compound containing at least one of fluorine atom and silicon atom>
Resin composition C contains a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom.
The compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom (hereinafter also referred to as “specific compound”) is not particularly limited, and may have at least one of a fluorine atom and a silicon atom, and a curable functional group. preferable. In addition, it is preferable that a specific compound has a fluorine atom from a viewpoint that the reflectance of a resin film is lower, the pattern linearity of a resin film is more excellent, and the crack of a resin film does not produce more easily.
The specific compound may be a monomer, a multimer, or a polymer. When the specific compound is a polymer, it is preferably a (meth) acrylate polymer, more preferably a (meth) acrylate polymer having a fluorine atom.
One preferred embodiment of the specific compound is a compound having no benzene ring structure, and more preferably a compound having a fluorine atom and not having a benzene ring structure.
In addition, the silane coupling agent mentioned above is not contained in a specific compound.

特定化合物がフッ素原子を含む場合、特定化合物は、フッ素原子で置換されたアルキレン基、フッ素原子で置換されたアルキル基、及び、フッ素原子で置換されたアリール基からなる群から選択される少なくとも1つを有することが好ましい。
フッ素原子で置換されたアルキレン基は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された直鎖状、分岐状又は環状のアルキレン基であることが好ましい。
フッ素原子で置換されたアルキル基は、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基であることが好ましい。
フッ素原子で置換されたアルキレン基及びフッ素原子で置換されたアルキル基中の炭素数は、1〜20であることが好ましく、1〜10であることがより好ましく、1〜5であることが更に好ましい。
フッ素原子で置換されたアリール基は、アリール基がフッ素原子で直接に置換されているか、トリフルオロメチル基で置換されていることが好ましい。
フッ素原子で置換されたアルキレン基、フッ素原子で置換されたアルキル基、及び、フッ素原子で置換されたアリール基は、フッ素原子以外の置換基を更に有していてもよい。
フッ素原子で置換されたアルキル基及びフッ素原子で置換されたアリール基の例としては、例えば、特開2011−100089号公報の段落0266〜0272を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
When the specific compound contains a fluorine atom, the specific compound is at least one selected from the group consisting of an alkylene group substituted with a fluorine atom, an alkyl group substituted with a fluorine atom, and an aryl group substituted with a fluorine atom. It is preferable to have one.
The alkylene group substituted with a fluorine atom is preferably a linear, branched or cyclic alkylene group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom.
The alkyl group substituted with a fluorine atom is preferably a linear, branched or cyclic alkyl group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom.
The number of carbon atoms in the alkylene group substituted with a fluorine atom and the alkyl group substituted with a fluorine atom is preferably 1-20, more preferably 1-10, and even more preferably 1-5. preferable.
In the aryl group substituted with a fluorine atom, the aryl group is preferably directly substituted with a fluorine atom or substituted with a trifluoromethyl group.
The alkylene group substituted with a fluorine atom, the alkyl group substituted with a fluorine atom, and the aryl group substituted with a fluorine atom may further have a substituent other than the fluorine atom.
As examples of the alkyl group substituted with a fluorine atom and the aryl group substituted with a fluorine atom, for example, paragraphs 0266 to 0272 of JP2011-100089A can be referred to, and the contents thereof are described in this specification. Incorporated.

なかでも、樹脂膜の反射率がより低い、樹脂膜のパターン直線性がより優れる、及び、樹脂膜の欠けがより生じにくい観点から、特定化合物は、フッ素原子で置換されたアルキレン基と酸素原子とが連結した基X(式(X)で表される基(繰り返し単位))を含むことが好ましく、パーフルオロアルキレンエーテル基を含むことがより好ましい。
式(X) −(L−O)−
上記Lは、フッ素原子で置換されたアルキレン基を表す。なお、アルキレン基中の炭素数は、1〜20であることが好ましく、1〜10であることがより好ましく、1〜5であることが更に好ましい。なお、上記フッ素原子で置換されたアルキレン基中には、酸素原子が含まれていてもよい。
また、フッ素原子で置換されたアルキレン基は直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
「パーフルオロアルキレンエーテル基」とは、上記Lがパーフルオロアルキレン基であることを意図する。「パーフルオロアルキレン基」とは、アルキレン基中の水素原子がすべてフッ素原子で置換された基を意図する。
式(X)で表される基(繰り返し単位)は繰り返して連結していてもよく、その繰り返し単位数は特に制限されず、本発明の効果がより優れる点で、1〜50が好ましく、1〜20がより好ましい。
つまり、式(X−1)で表される基であることが好ましい。
式(X−1) −(L−O)
式(X−1)中、Lは上記の通りであり、rは繰り返し単位数を表し、その好適範囲は上述の通りである。
なお、複数の−(L−O)−中のLは同一であっても異なっていてもよい。
Among these, from the viewpoint of lower reflectivity of the resin film, better pattern linearity of the resin film, and less likely to cause chipping of the resin film, the specific compound includes an alkylene group substituted with a fluorine atom and an oxygen atom. And a group X (group represented by the formula (X) (repeating unit)) linked to each other, and more preferably a perfluoroalkylene ether group.
Formula (X) - (L A -O ) -
L A represents an alkylene group substituted with a fluorine atom. In addition, it is preferable that it is 1-20, as for carbon number in an alkylene group, it is more preferable that it is 1-10, and it is still more preferable that it is 1-5. The alkylene group substituted with the fluorine atom may contain an oxygen atom.
The alkylene group substituted with a fluorine atom may be linear or branched.
The “perfluoroalkylene ether group” intends that L A is a perfluoroalkylene group. The “perfluoroalkylene group” intends a group in which all hydrogen atoms in the alkylene group are substituted with fluorine atoms.
The group represented by formula (X) (repeating unit) may be linked repeatedly, and the number of repeating units is not particularly limited, and is preferably 1 to 50 in terms of more excellent effects of the present invention. ~ 20 is more preferred.
That is, the group represented by the formula (X-1) is preferable.
Formula (X-1) - (L A -O) r -
Wherein (X-1), L A is as defined above, r is represents the number of repeating units, the preferred range is as described above.
The plurality of - (L A -O) - L A medium may be different even in the same.

特定化合物が珪素原子を含む場合、アルキルシリル基、アリールシリル基又は以下の部分構造(S)(*は他の原子との結合部位を表す。)を含むものが好ましい。
部分構造(S)
When the specific compound contains a silicon atom, an alkylsilyl group, an arylsilyl group, or the following partial structure (S) (* represents a bonding site with another atom) is preferable.
Partial structure (S)

アルキルシリル基が有するアルキル鎖の炭素数は、合計で、1〜20が好ましく、1〜10がより好ましく、1〜6が更に好ましい。アルキルシリル基、トリアルキルシリル基が好ましい。
アリールシリル基におけるアリール基としては、例えば、フェニル基が挙げられる。
上記部分構造(S)を含む場合、部分構造(S)を含んで環状構造を形成していてもよい。本発明で好ましく採用される部分構造(S)としては、−Si(R)−O−Si(R)−(Rは炭素数1〜3のアルキル基)、アルコキシシリル基が好ましい。部分構造(S)を含む構造の例としては、例えば、特開2011−100089号公報の段落0277〜0279を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
As for carbon number of the alkyl chain which an alkyl silyl group has, 1-20 are preferable in total, 1-10 are more preferable, and 1-6 are still more preferable. Alkylsilyl groups and trialkylsilyl groups are preferred.
Examples of the aryl group in the arylsilyl group include a phenyl group.
When the partial structure (S) is included, a cyclic structure may be formed including the partial structure (S). The partial structure (S) preferably employed in the present invention is preferably —Si (R) 2 —O—Si (R) 2 — (R is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms) or an alkoxysilyl group. As an example of the structure including the partial structure (S), for example, paragraphs 0277 to 0279 of JP 2011-100089 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in this specification.

特定化合物は、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を1つ以上有していればよく、2つ以上有していてもよい。また、特定化合物は、フッ素原子及び珪素原子の組み合わせを有していてもよい。   The specific compound should just have at least 1 or more of a fluorine atom and a silicon atom, and may have 2 or more. Moreover, the specific compound may have a combination of a fluorine atom and a silicon atom.

特定化合物は、硬化性官能基を1つ以上有していることが好ましく、2つ以上の硬化性官能基を有していてもよい。硬化性官能基は、1種のみでもよく、2種以上であってもよい。硬化性官能基は、熱硬化性の官能基であっても、光硬化性の官能基であってもよい。
硬化性官能基は、(メタ)アクリロイルオキシ基、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアナート基、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、チオール基、アルコキシシリル基、メチロール基、ビニル基、(メタ)アクリルアミド基、スチリル基、及び、マレイミド基からなる群から選択される1種以上であることが好ましく、(メタ)アクリロイルオキシ基、エポキシ基、及びオキセタニル基からなる群から選択される1種以上であることがより好ましい。
なお、硬化性官能基としてエチレン性不飽和基が含まれる場合、特定化合物中におけるエチレン性不飽和基の量は0.001〜10.0mmol/gが好ましく、0.01〜5.00mmol/gがより好ましい。
The specific compound preferably has one or more curable functional groups, and may have two or more curable functional groups. Only one type of curable functional group may be used, or two or more types may be used. The curable functional group may be a thermosetting functional group or a photocurable functional group.
The curable functional group is (meth) acryloyloxy group, epoxy group, oxetanyl group, isocyanate group, hydroxyl group, amino group, carboxyl group, thiol group, alkoxysilyl group, methylol group, vinyl group, (meth) acrylamide group It is preferably at least one selected from the group consisting of styryl group and maleimide group, and at least one selected from the group consisting of (meth) acryloyloxy group, epoxy group and oxetanyl group Is more preferable.
In addition, when an ethylenically unsaturated group is contained as a curable functional group, the amount of the ethylenically unsaturated group in the specific compound is preferably 0.001 to 10.0 mmol / g, and 0.01 to 5.00 mmol / g. Is more preferable.

特定化合物が単量体である場合、1分子中における、フッ素原子及び珪素原子から選ばれる1種以上の基の数が1〜20であることが好ましく、3〜15であることがより好ましい。
また、1分子中における、硬化性官能基の数は特に制限されず、本発明の効果がより優れる点で、2つ以上が好ましく、4つ以上がより好ましい。上限は特に制限されず、10つ以下の場合が多く、6つ以下の場合がより多い。
When the specific compound is a monomer, the number of one or more groups selected from a fluorine atom and a silicon atom in one molecule is preferably 1-20, and more preferably 3-15.
In addition, the number of curable functional groups in one molecule is not particularly limited, and is preferably 2 or more and more preferably 4 or more in terms of more excellent effects of the present invention. The upper limit is not particularly limited and is often 10 or less, more often 6 or less.

特定化合物が重合体である場合、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する繰り返し単位と、重合性基を有する繰り返し単位と、を含む構造であることが好ましく、下記式(B1)で表される繰り返し単位と、下記式(B2)で表される繰り返し単位及び式(B3)で表される繰り返し単位の少なくとも一方とを有することが好ましい。   When the specific compound is a polymer, the structure preferably includes a repeating unit containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom and a repeating unit having a polymerizable group, and is represented by the following formula (B1). And a repeating unit represented by the following formula (B2) and a repeating unit represented by the formula (B3).

式(B1)〜(B3)中、R〜R11は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、又は、ハロゲン原子を表す。L〜Lは、それぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表す。Xは、(メタ)アクリロイルオキシ基、エポキシ基、又はオキセタニル基を表し、Xはフッ素原子で置換されたアルキル基、フッ素原子で置換されたアリール基、アルキルシリル基、アリールシリル基、又は、上記部分構造(S)を含む基を表し、Xは式(X−1)で表される繰り返し単位を表す。In formulas (B1) to (B3), R 1 to R 11 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group, or a halogen atom. L 1 to L 4 each independently represents a single bond or a divalent linking group. X 1 represents a (meth) acryloyloxy group, an epoxy group, or an oxetanyl group, and X 2 represents an alkyl group substituted with a fluorine atom, an aryl group substituted with a fluorine atom, an alkylsilyl group, an arylsilyl group, or Represents a group containing the partial structure (S), and X 3 represents a repeating unit represented by the formula (X-1).

式(B1)〜(B3)中、R〜R11は、それぞれ独立に、水素原子又はアルキル基であることが好ましい。
〜R11がアルキル基を表す場合、炭素数1〜3のアルキル基が好ましい。R〜R11がハロゲン原子を表す場合、フッ素原子が好ましい。
式(B1)〜(B3)中、L〜Lが2価の連結基を表す場合、2価の連結基としては、ハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、ハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基、−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、−SO−、又は、これらの組み合わせが挙げられる。なかでも、ハロゲン原子が置換していてもよい炭素数2〜10のアルキレン基及びハロゲン原子が置換していてもよい炭素数6〜12のアリーレン基からなる群から選択される少なくとも1種、又は、これらの基と−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、及びSO−からなる群から選択される少なくとも1種の基との組み合わせからなる基が好ましく、ハロゲン原子が置換していてもよい炭素数2〜10のアルキレン基、−CO−、−O−、−CO−、−CONR12−、又は、これらの基の組み合わせからなる基がより好ましい。ここで、上記R12は、水素原子又はメチル基を表す。
In formulas (B1) to (B3), R 1 to R 11 are preferably each independently a hydrogen atom or an alkyl group.
When R < 1 > -R < 11 > represents an alkyl group, a C1-C3 alkyl group is preferable. When R 1 to R 11 represent a halogen atom, a fluorine atom is preferable.
In formulas (B1) to (B3), when L 1 to L 4 represent a divalent linking group, the divalent linking group includes an alkylene group which may be substituted with a halogen atom, and a halogen atom substituted. which may be an arylene group, -NR 12 -, - CONR 12 -, - CO -, - CO 2 -, SO 2 NR 12 -, - O -, - S -, - SO 2 -, or combinations thereof Is mentioned. Among them, at least one selected from the group consisting of an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms that may be substituted by a halogen atom and an arylene group having 6 to 12 carbon atoms that may be substituted by a halogen atom, or , At least selected from the group consisting of these groups and —NR 12 —, —CONR 12 —, —CO—, —CO 2 —, SO 2 NR 12 —, —O—, —S—, and SO 2 —. group is preferred, which consist of a combination of one group, alkylene group which may C2-10 be halogen atoms substituted, -CO 2 -, - O - , - CO -, - CONR 12 -, or A group consisting of a combination of these groups is more preferred. Here, R 12 represents a hydrogen atom or a methyl group.

式(B1)で表される繰り返し単位の具体例としては、以下が挙げられるが、本発明はこれらに限定されない。   Specific examples of the repeating unit represented by the formula (B1) include the following, but the present invention is not limited thereto.

また、上記式(B2)で表される繰り返し単位の具体例としては、以下が挙げられるが、本発明はこれらに限定されない。具体例中、Xは、水素原子、−CH、−F又は−CFを表し、水素原子又はメチル基がより好ましい。Meはメチル基を表す。Specific examples of the repeating unit represented by the formula (B2) include the following, but the present invention is not limited thereto. In specific examples, X 1 represents a hydrogen atom, —CH 3 , —F or —CF 3, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group. Me represents a methyl group.

また、上記式(B3)で表される繰り返し単位の具体例としては、以下が挙げられるが、本発明はこれらに限定されない。具体例中、l、m、n、h、j及びkは、1〜100の整数を表す。   Specific examples of the repeating unit represented by the formula (B3) include the following, but the present invention is not limited to these. In specific examples, l, m, n, h, j, and k represent an integer of 1 to 100.

上記式(B1)で表される繰り返し単位の含有量は、特定化合物中の全繰り返し単位に対して、5〜98モル%であることが好ましく、30〜95モル%であることがより好ましい。
上記式(B2)で表される繰り返し単位及び式(B3)で表される繰り返し単位の合計含有量は、特定化合物中の全繰り返し単位に対して、1〜70モル%であることが好ましく、5〜60モル%であることがより好ましい。
なお、式(B2)で表される繰り返し単位が含まれず、式(B3)で表される繰り返し単位が含まれる場合は、式(B2)で表される繰り返し単位の含有量は0モル%として、式(B3)で表される繰り返し単位の含有量が上記範囲であることが好ましい。
The content of the repeating unit represented by the formula (B1) is preferably 5 to 98 mol% and more preferably 30 to 95 mol% with respect to all the repeating units in the specific compound.
The total content of the repeating unit represented by the formula (B2) and the repeating unit represented by the formula (B3) is preferably 1 to 70 mol% with respect to all the repeating units in the specific compound, More preferably, it is 5 to 60 mol%.
In addition, when the repeating unit represented by Formula (B2) is not included and the repeating unit represented by Formula (B3) is included, the content of the repeating unit represented by Formula (B2) is 0 mol%. The content of the repeating unit represented by the formula (B3) is preferably in the above range.

また、特定化合物は、上記式(B1)〜(B3)で表される繰り返し単位以外の他の繰り返し単位を有していてもよい。他の繰り返し単位の含有量は、特定化合物中の全繰り返し単位に対して、50モル%以下であることが好ましく、30モル%以下であることがより好ましい。   Moreover, the specific compound may have other repeating units other than the repeating unit represented by the said formula (B1)-(B3). The content of other repeating units is preferably 50 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, based on all repeating units in the specific compound.

特定化合物が重合体である場合、重量平均分子量(Mw:ポリスチレン換算)が2,000〜100,000であることが好ましく、5,000〜50,000であることがより好ましい。また、特定化合物が重合体である場合、分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は、1.80〜3.00であることが好ましく、2.00〜2.90であることがより好ましい。
GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)法は、HLC−8020GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM−H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
When the specific compound is a polymer, the weight average molecular weight (Mw: polystyrene conversion) is preferably 2,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. When the specific compound is a polymer, the dispersity (weight average molecular weight / number average molecular weight) is preferably 1.80 to 3.00, and more preferably 2.00 to 2.90. .
The GPC (gel permeation chromatography) method uses HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh Corporation), and TSKgel SuperHZM-H, TSKgel SuperHZ4000, TSKgel SuperHZ2000 (4.6 mm ID × 15 cm) manufactured by Tosoh Corporation as columns. Based on a method using THF (tetrahydrofuran) as an eluent.

特定化合物の市販品としては、例えば、フッ素原子を有する特定化合物として、DIC社製のメガファックRS−72−K、メガファックRS−75、メガファックRS−76−E、メガファックRS−76−NS、メガファックRS−77、珪素原子を有する特定化合物として、BYK社製のBYK−UV 3500、BYK−UV 3530、BYK−UV3570、EVONIK社製のTEGO Rad 2010、TEGO Rad 2011、TEGO Rad 2100、TEGO Rad 2200N、TEGO Rad 2250、TEGO Rad 2300、TEGO Rad 2500、TEGO Rad 2600、TEGO Rad 2650、TEGO Rad 2700等を利用することができる。   As a commercial item of a specific compound, for example, as a specific compound having a fluorine atom, MegaFac RS-72-K, MegaFac RS-75, MegaFac RS-76-E, MegaFac RS-76- manufactured by DIC NS, Megafax RS-77, BYK-UV 3500 manufactured by BYK, BYK-UV 3530, BYK-UV3570 manufactured by BYK, TEGO Rad 2010, TEGO Rad 2011, TEGO Rad 2100 manufactured by EVONIK TEGO Rad 2200N, TEGO Rad 2250, TEGO Rad 2300, TEGO Rad 2500, TEGO Rad 2600, TEGO Rad 2650, TEGO Rad 2700, and the like can be used.

特定化合物は、特定化合物単独で波長550nmにおける屈折率が1.1〜1.5の膜を形成可能であることが好ましい。つまり、特定化合物のみから形成される膜の波長550nmにおける屈折率が1.1〜1.5であることが好ましい。
上記屈折率の好適範囲としては、樹脂膜の低反射性の点で、1.2〜1.5であることが好ましく、1.3〜1.5であることがより好ましい。
The specific compound is preferably capable of forming a film having a refractive index of 1.1 to 1.5 at a wavelength of 550 nm with the specific compound alone. That is, it is preferable that the refractive index at a wavelength of 550 nm of a film formed only from the specific compound is 1.1 to 1.5.
The preferred range of the refractive index is preferably 1.2 to 1.5, more preferably 1.3 to 1.5, from the viewpoint of low reflectivity of the resin film.

また、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物として、樹脂組成物Bに含まれる反応性シリコーンも使用することができる。なお、反応性シリコーンの好適態様は上述した通りである。   Moreover, the reactive silicone contained in the resin composition B can also be used as a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom. The preferred embodiment of the reactive silicone is as described above.

組成物中における特定化合物の含有量は、樹脂組成物中の全固形分に対して、0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜15質量%がより好ましく、1〜15質量%が更に好ましく、1〜10質量%が特に好ましい。
組成物は、特定化合物を1種単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。組成物が特定化合物を2種以上含む場合は、その合計が上記範囲内であればよい。
The content of the specific compound in the composition is preferably 0.1 to 20% by mass, more preferably 0.5 to 15% by mass, and 1 to 15% by mass with respect to the total solid content in the resin composition. More preferred is 1 to 10% by mass.
The composition may contain one specific compound or two or more specific compounds. When a composition contains 2 or more types of specific compounds, the total should just be in the said range.

<その他の材料>
樹脂組成物Cにおける材料は、樹脂組成物A中のフィラーを、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物とした以外は同様であり、また、好適態様についても同様である。
<Other materials>
The material in the resin composition C is the same except that the filler in the resin composition A is a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom, and the same applies to preferred embodiments.

[樹脂組成物Cの調製方法]
樹脂組成物Cは、前述の成分を混合して調製できる。樹脂組成物Cの調製方法についても、前述した樹脂組成物A,Bと同様であり、好適態様も同様である。
[Method for Preparing Resin Composition C]
Resin composition C can be prepared by mixing the aforementioned components. The method for preparing the resin composition C is also the same as that of the resin compositions A and B described above, and the preferred embodiment is also the same.

本発明の樹脂組成物は、チタン窒化物含有粒子に含まれるもの以外の金属、ハロゲンを含む金属塩、酸及びアルカリ等の不純物を含まないことが好ましい。これら材料に含まれる不純物の含有量としては、1ppm以下が好ましく、1ppb以下がより好ましく、100ppt以下が更に好ましく、10ppt以下が特に好ましく、実質的に含まないこと(測定装置の検出限界以下であること)が最も好ましい。
各種材料から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、フィルタを用いた濾過、又は、蒸留による精製工程(特に薄膜蒸留、分子蒸留等)を挙げることができる。蒸留による精製工程は例えば、「<工場操作シリーズ>増補・蒸留、1992年7月31日発行、化学工業社」又は「化学工学ハンドブック、2004年9月30日発行、朝倉書店、95頁〜102頁」が挙げられる。フィルタ孔径としては、ポアサイズ10nm以下が好ましく、5nm以下がより好ましく、3nm以下が更に好ましい。フィルタの材質としては、ポリテトラフロロエチレン製、ポリエチレン製又はナイロン製のフィルタが好ましい。フィルタは、これらの材質とイオン交換メディアを組み合わせた複合材料であってもよい。フィルタは、有機溶剤であらかじめ洗浄したものを用いてもよい。フィルタ濾過工程では、複数種類のフィルタを直列又は並列に接続して用いてもよい。複数種類のフィルタを使用する場合は、孔径及び/又は材質が異なるフィルタを組み合わせて使用しても良い。また、各種材料を複数回濾過してもよく、複数回濾過する工程が循環濾過工程であっても良い。
また、各種材料に含まれる金属等の不純物を低減する方法としては、各種材料を構成する原料として金属含有量が少ない原料を選択する、各種材料を構成する原料に対してフィルタ濾過を行う、又は、装置内をテフロン(登録商標)でライニングする等してコンタミネーションを可能な限り抑制した条件下で蒸留を行う等の方法を挙げることができる。各種材料を構成する原料に対して行うフィルタ濾過における好ましい条件は、上記した条件と同様である。
フィルタ濾過の他、吸着材による不純物の除去を行っても良く、フィルタ濾過と吸着材を組み合わせて使用しても良い。吸着材としては、公知の吸着材を用いることができ、例えば、シリカゲル又はゼオライトなどの無機系吸着材、活性炭などの有機系吸着材を使用することができる。
The resin composition of the present invention preferably does not contain impurities such as metals other than those contained in titanium nitride-containing particles, metal salts containing halogens, acids and alkalis. The content of impurities contained in these materials is preferably 1 ppm or less, more preferably 1 ppb or less, still more preferably 100 ppt or less, particularly preferably 10 ppt or less, and substantially free (below the detection limit of the measuring device). Is most preferable.
Examples of the method for removing impurities such as metals from various materials include filtration using a filter or purification steps by distillation (particularly thin film distillation, molecular distillation, etc.). The purification process by distillation is, for example, “<Factory Operation Series> Augmentation / Distillation, Issued July 31, 1992, Chemical Industry Co., Ltd.” or “Chemical Engineering Handbook, Issued September 30, 2004, Asakura Shoten, pages 95-102” Page ". The filter pore diameter is preferably 10 nm or less, more preferably 5 nm or less, and still more preferably 3 nm or less. The filter material is preferably a polytetrafluoroethylene, polyethylene or nylon filter. The filter may be a composite material combining these materials and ion exchange media. You may use the filter previously wash | cleaned with the organic solvent. In the filter filtration step, a plurality of types of filters may be connected in series or in parallel. When a plurality of types of filters are used, filters having different hole diameters and / or materials may be used in combination. Moreover, various materials may be filtered a plurality of times, and the step of filtering a plurality of times may be a circulating filtration step.
Moreover, as a method of reducing impurities such as metals contained in various materials, a raw material having a low metal content is selected as a raw material constituting each material, filter filtration is performed on the raw materials constituting various materials, or Examples of the method include distillation under a condition in which contamination is suppressed as much as possible by lining the inside of the apparatus with Teflon (registered trademark). The preferable conditions for filter filtration performed on the raw materials constituting the various materials are the same as those described above.
In addition to filter filtration, impurities may be removed with an adsorbent, or a combination of filter filtration and adsorbent may be used. As the adsorbent, a known adsorbent can be used. For example, an inorganic adsorbent such as silica gel or zeolite, and an organic adsorbent such as activated carbon can be used.

[樹脂膜の製造方法]
次に、樹脂膜の製造方法について説明する。
第2の実施形態の樹脂膜は、樹脂組成物Cを用いて製造することが好ましい。なお、顔料層を形成した後に、顔料層の上面にフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を用いて表面層を形成する手法を妨げるものではない。
樹脂組成物Cを用いて第2の実施形態の樹脂膜を製造する場合、樹脂組成物Cを基板上に付与して、顔料層と表面層とからなる樹脂膜を形成する工程(樹脂層形成工程)を少なくとも有することが好ましい。
樹脂組成物Cが重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料を含有する硬化性組成物である場合には、樹脂膜の製造方法としては、樹脂組成物Cを基板上に付与して、塗膜を形成する工程(塗膜形成工程)と、塗膜を露光する工程(露光工程)とを有することが好ましい。
さらに、樹脂組成物Cが重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料を含有する硬化性組成物である場合には、パターン状の樹脂膜を形成することが可能となる。具体的な手順としては、上記塗膜形成工程と、塗膜をパターン状に露光する工程(パターン露光工程)と、未露光部を現像除去してパターン状の樹脂膜を形成する工程(現像工程)とを有することが好ましい。
上記各工程の具体的な手順は、第1の実施形態における各工程の手順と同様であり、またその好適態様も同様である。
[Production method of resin film]
Next, a method for manufacturing a resin film will be described.
The resin film of the second embodiment is preferably manufactured using the resin composition C. In addition, after forming a pigment layer, the method of forming a surface layer using the compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom on the upper surface of a pigment layer is not prevented.
When manufacturing the resin film of 2nd Embodiment using the resin composition C, the resin composition C is provided on a board | substrate, and the process (resin layer formation) which forms the resin film which consists of a pigment layer and a surface layer It is preferable to have at least a step.
When the resin composition C is a curable composition containing an actinic radiation curable material such as a polymerization initiator and a polymerizable compound, as a method for producing a resin film, the resin composition C is applied on a substrate. It is preferable to have a step of forming a coating film (coating layer forming step) and a step of exposing the coating film (exposure step).
Furthermore, when the resin composition C is a curable composition containing an actinic radiation curable material such as a polymerization initiator and a polymerizable compound, a patterned resin film can be formed. Specifically, the coating film forming step, the step of exposing the coating film in a pattern (pattern exposure step), and the step of developing and removing unexposed portions to form a patterned resin film (developing step) ).
The specific procedure of each step is the same as the procedure of each step in the first embodiment, and the preferred mode is also the same.

〔第3の実施形態:Raが100〜2000Åであり、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が表面偏在した樹脂膜〕
更に、第1の実施形態の変形例(第3の実施形態)として、第1の実施形態の樹脂膜を、上述するチタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子を含む顔料層と、顔料層上に隣接して配置されたフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層とを含む2層構成とし、樹脂膜の最表面となる表面層の表面粗さRaを100〜2000Åとしてもよい。
樹脂膜を上記構成とすることで、優れた耐湿性を示すとともに、更に優れた低反射性を示す。
[Third embodiment: a resin film in which Ra is 100 to 2000 、 and a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom is unevenly distributed on the surface]
Furthermore, as a modification of the first embodiment (third embodiment), the resin film of the first embodiment is made of titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than the above-described titanium atoms. The surface of the surface layer that is the outermost surface of the resin film, and has a two-layer structure including a pigment layer that includes and a surface layer that includes a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom disposed adjacently on the pigment layer The roughness Ra may be 100 to 2000 mm.
When the resin film has the above-described configuration, it exhibits excellent moisture resistance and also exhibits excellent low reflectivity.

上記態様とする場合には、上述した樹脂組成物Aに、更にフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を配合すればよい。
なお、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含む化合物は樹脂組成物Cで上述したものと同様であり、好適態様(配合量を含む)についても同様である。
また、第3の実施形態の樹脂膜の製造方法も、第1の実施形態と同様であり、その好適態様も同様である。
When setting it as the said aspect, what is necessary is just to mix | blend the compound which contains at least one of a fluorine atom and a silicon atom with the resin composition A mentioned above.
In addition, the compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom is the same as that of what was mentioned above with the resin composition C, and the same also about a suitable aspect (a compounding quantity is included).
Moreover, the manufacturing method of the resin film of 3rd Embodiment is the same as that of 1st Embodiment, The suitable aspect is also the same.

〔第4の実施形態:光学濃度の異なる顔料層を積層した樹脂膜〕
第4の実施形態における樹脂膜は、上述するチタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子をそれぞれ含有する顔料層Y1及び顔料層Y2を隣接して積層した樹脂膜であり、顔料層Y1と顔料層Y2中に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度が互いに異なることを特徴とする。
ここで、「顔料層Y1中に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度」及び「顔料層Y2中に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度」とは、各顔料層の全固形分に対するチタン窒化物含有粒子の含有量に相当する。
[Fourth Embodiment: Resin Film Laminated with Pigment Layers with Different Optical Densities]
The resin film in the fourth embodiment is a resin film in which a pigment layer Y1 and a pigment layer Y2 each containing titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than the above-described titanium atom are laminated adjacently. Yes, the concentration of titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer Y1 and the pigment layer Y2 is different from each other.
Here, “the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer Y1” and “the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer Y2” are titanium nitride relative to the total solid content of each pigment layer. This corresponds to the content of the contained particles.

第4の実施形態における樹脂膜を製造する方法としては、特に限定されず、顔料層Y1を形成する樹脂組成物(以下、「樹脂組成物D」ともいう。)を用いて基板上に顔料層Y1を形成する工程(顔料層Y1形成工程)と、顔料層Y2を形成する樹脂組成物(以下、「樹脂組成物E」ともいう。)を用いて顔料層Y1上に顔料層Y2を形成する工程(顔料層Y2形成工程)と、を少なくとも有する。
顔料層Y1と顔料層Y2中に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度は互いに異なり、顔料層Y1と顔料層Y2のいずれか一方がチタン窒化物含有粒子の濃度がより小さい顔料層となる。このような2層構造が形成されると、チタン窒化物含有粒子の濃度がより小さい顔料層側から入射する光に対して低反射性を発現する。例えば、顔料層Y2をチタン窒化物含有粒子の濃度がより小さい顔料層として、顔料層Y2側から光を入射した場合、顔料層Y1の表面で反射される光と、顔料層Y1と顔料層Y2との界面で反射される光とが干渉により打ち消されて、低反射性とすることができる。一方、基板側の顔料層Y1をチタン窒化物含有粒子の濃度がより小さい顔料層として、顔料層Y1側から光を入射した場合にも同様の効果が得られる。
The method for producing the resin film in the fourth embodiment is not particularly limited, and the pigment layer is formed on the substrate using a resin composition for forming the pigment layer Y1 (hereinafter also referred to as “resin composition D”). The pigment layer Y2 is formed on the pigment layer Y1 using a step of forming Y1 (pigment layer Y1 formation step) and a resin composition (hereinafter also referred to as “resin composition E”) that forms the pigment layer Y2. Step (pigment layer Y2 forming step).
The concentrations of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer Y1 and the pigment layer Y2 are different from each other, and either the pigment layer Y1 or the pigment layer Y2 is a pigment layer having a smaller concentration of titanium nitride-containing particles. When such a two-layer structure is formed, low reflectivity is exhibited with respect to light incident from the pigment layer side where the concentration of titanium nitride-containing particles is smaller. For example, when the pigment layer Y2 is a pigment layer having a smaller concentration of titanium nitride-containing particles and light is incident from the pigment layer Y2 side, the light reflected from the surface of the pigment layer Y1, the pigment layer Y1 and the pigment layer Y2 The light reflected at the interface with the light is canceled out by the interference, so that low reflectivity can be achieved. On the other hand, the same effect can be obtained when the pigment layer Y1 on the substrate side is a pigment layer having a smaller concentration of titanium nitride-containing particles and light is incident from the pigment layer Y1 side.

高濃度となる顔料層中のチタン窒化物含有粒子の濃度は、10〜65質量%であることが好ましく、30〜55質量%であることがより好ましい。低濃度となる顔料層中のチタン窒化物含有粒子の濃度は、1〜45質量%であることが好ましく、1〜40質量%であることがより好ましい。(顔料層Y1に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度)−(顔料層Y2に含まれるチタン窒化物含有粒子の濃度)の絶対値は、5〜40質量%であることが好ましい。   The concentration of titanium nitride-containing particles in the pigment layer having a high concentration is preferably 10 to 65% by mass, and more preferably 30 to 55% by mass. The concentration of titanium nitride-containing particles in the pigment layer at a low concentration is preferably 1 to 45% by mass, and more preferably 1 to 40% by mass. The absolute value of (concentration of titanium nitride-containing particles contained in pigment layer Y1) − (concentration of titanium nitride-containing particles contained in pigment layer Y2) is preferably 5 to 40% by mass.

顔料層Y1及びY2の膜厚は、それぞれ0.3〜1.2μmであることが好ましく、0.4〜1.0μmであることがより好ましい。また、両層を合わせた全体の膜厚は、0.5〜2.0μmであることが好ましく、1.0〜1.5μmであることがより好ましい。上記厚みは平均厚みであり、膜の任意の5点以上の厚みを測定し、それらを算術平均した値である。   The film thicknesses of the pigment layers Y1 and Y2 are each preferably 0.3 to 1.2 μm, and more preferably 0.4 to 1.0 μm. Moreover, it is preferable that it is 0.5-2.0 micrometers, and, as for the whole film thickness which match | combined both layers, it is more preferable that it is 1.0-1.5 micrometers. The above-mentioned thickness is an average thickness, and is a value obtained by measuring the thickness of any five or more points of the film and arithmetically averaging them.

樹脂膜の光学濃度(optical density、以下、「OD値」)は、波長380〜700nmの可視光域において3以上が好ましく、4〜5がより好ましい。全体のOD値が3未満であると、バックライトの光が一部透過してコントラストの低下原因となる。一方で、5を超えると、黒色顔料の添加量が増えて相対的に反射率が高くなる傾向がある。   The optical density (optical density, hereinafter referred to as “OD value”) of the resin film is preferably 3 or more, and more preferably 4 to 5 in the visible light region having a wavelength of 380 to 700 nm. If the overall OD value is less than 3, part of the light from the backlight is transmitted, causing a reduction in contrast. On the other hand, when it exceeds 5, the addition amount of the black pigment increases and the reflectance tends to be relatively high.

チタン窒化物含有粒子の濃度が低濃度となる顔料層のOD値は、0.5〜2.0が好ましく、0.8〜1.5がより好ましい。一方、チタン窒化物含有粒子の濃度が高濃度となる顔料層のOD値は、1.0〜5.0が好ましく、2.0〜3.5がより好ましい。   The OD value of the pigment layer at which the concentration of titanium nitride-containing particles is low is preferably 0.5 to 2.0, and more preferably 0.8 to 1.5. On the other hand, the OD value of the pigment layer in which the concentration of the titanium nitride-containing particles is high is preferably 1.0 to 5.0, and more preferably 2.0 to 3.5.

樹脂組成物D、Eに含まれる材料としては、第1実施形態の樹脂組成物Aに含まれる材料が例示され、また好適範囲も同様である。
樹脂組成物D、Eが重合開始剤及び重合性化合物等の活性線硬化型材料を含有する硬化性組成物である場合には、更に顔料層を露光する工程(露光工程)と、を備えていてもよい。露光工程を、顔料層をパターン状に露光する工程とする場合は、この露光工程の後に、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程(現像工程)を更に備えていてもよい。
上記塗膜形成工程、露光工程、現像工程の好適態様については、第1の実施形態における顔料層形成工程、露光工程、現像工程とそれぞれ同様であり、またその好適態様も同様である。
Examples of the materials included in the resin compositions D and E include the materials included in the resin composition A of the first embodiment, and the preferred ranges are also the same.
In the case where the resin compositions D and E are curable compositions containing an actinic radiation curable material such as a polymerization initiator and a polymerizable compound, the method further comprises a step of exposing the pigment layer (exposure step). May be. When the exposure step is a step of exposing the pigment layer in a pattern, a step (development step) of forming a colored pattern by developing and removing unexposed portions after the exposure step may be further provided.
The preferred embodiments of the coating film forming step, the exposure step, and the developing step are the same as the pigment layer forming step, the exposing step, and the developing step in the first embodiment, respectively, and the preferred embodiments are also the same.

〔カラーフィルタ、遮光膜〕
本発明の第1〜第4の実施形態の樹脂膜は、カラーフィルタ又は遮光膜として好ましく用いることができる。特に、上記樹脂膜が露光により硬化された膜を好ましく用いることができる。なお、後述するように、遮光膜は各部材上に適宜配置され、例えば、額縁状に配置されていてもよい。
[Color filter, light shielding film]
The resin film of the first to fourth embodiments of the present invention can be preferably used as a color filter or a light shielding film. In particular, a film obtained by curing the resin film by exposure can be preferably used. In addition, as will be described later, the light shielding film is appropriately disposed on each member, and may be disposed in a frame shape, for example.

カラーフィルタは、CCD(電荷結合素子)又はCMOS(相補性金属酸化膜半導体)等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD又はCMOS等に好適である。カラーフィルタは、例えば、CCD又はCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置して用いることができる。   The color filter can be suitably used for a solid-state imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor), and particularly suitable for a CCD or CMOS having a high resolution exceeding 1 million pixels. It is. For example, the color filter can be used by being disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD or CMOS and a microlens for condensing light.

また、カラーフィルタは、有機EL素子用として好ましく用いることができる。有機EL素子としては、白色有機EL素子が好ましい。有機EL素子は、タンデム構造であることが好ましい。有機EL素子のタンデム構造については、特開2003−45676号公報、三上明義監修、「有機EL技術開発の最前線−高輝度・高精度・長寿命化・ノウハウ集−」、技術情報協会、326−328ページ、2008年などに記載されている。有機EL素子のタンデム構造としては、例えば、基板の一面において、光反射性を備えた下部電極と光透過性を備えた上部電極との間に有機EL層を設けた構造などが挙げられる。下部電極は、可視光の波長域において十分な反射率を有する材料により構成されていることが好ましい。有機EL層は、複数の発光層を含み、それら複数の発光層が積層された積層構造(タンデム構造)を有していることが好ましい。有機EL層は、例えば、複数の発光層には、赤色発光層、緑色発光層及び青色発光層を含むことができる。そして、複数の発光層とともに、それらは発光層を発光させるための複数の発光補助層を併せて有することが好ましい。有機EL層は、例えば、発光層と発光補助層とが交互に積層する積層構造とすることができる。こうした構造の有機EL層を有する有機EL素子は、白色光を発光することができる。その場合、有機EL素子が発光する白色光のスペクトルは、青色領域(430nm−485nm)、緑色領域(530nm−580nm)及び黄色領域(580nm−620nm)に強い極大発光ピークを有するものが好ましい。これらの発光ピークに加え更に赤色領域(650nm−700nm)に極大発光ピークを有するものがより好ましい。白色光を発光する有機EL素子(白色有機EL素子)と、本発明のカラーフィルタとを組み合わせることにより、色再現性上優れた分光が得られ、より鮮明な映像又は画像を表示可能である。   The color filter can be preferably used for an organic EL element. As the organic EL element, a white organic EL element is preferable. The organic EL element preferably has a tandem structure. Regarding the tandem structure of organic EL elements, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-45676, supervised by Akiyoshi Mikami, “The Forefront of Organic EL Technology Development-High Brightness, High Accuracy, Long Life, Know-how Collection”, Technical Information Association, 326-328 pages, 2008, etc. Examples of the tandem structure of the organic EL element include a structure in which an organic EL layer is provided between a lower electrode having light reflectivity and an upper electrode having light transmittance on one surface of a substrate. The lower electrode is preferably made of a material having a sufficient reflectance in the visible light wavelength region. The organic EL layer preferably includes a plurality of light emitting layers and has a stacked structure (tandem structure) in which the plurality of light emitting layers are stacked. For example, the organic EL layer may include a red light emitting layer, a green light emitting layer, and a blue light emitting layer in the plurality of light emitting layers. And it is preferable that they have a some light emission auxiliary layer for light-emitting a light emitting layer together with a some light emitting layer. The organic EL layer can have, for example, a stacked structure in which light emitting layers and light emitting auxiliary layers are alternately stacked. An organic EL element having an organic EL layer having such a structure can emit white light. In that case, the spectrum of white light emitted from the organic EL element preferably has a strong maximum emission peak in the blue region (430 nm to 485 nm), the green region (530 nm to 580 nm) and the yellow region (580 nm to 620 nm). In addition to these emission peaks, those having a maximum emission peak in the red region (650 nm to 700 nm) are more preferable. By combining an organic EL element that emits white light (white organic EL element) and the color filter of the present invention, a spectrum excellent in color reproducibility can be obtained, and a clearer image or image can be displayed.

遮光膜は、画像表示装置又はセンサモジュール内の各種部材(例えば、赤外光カットフィルタ、固体撮像素子の外周部、ウェハーレベルレンズ外周部、固体撮像素子裏面など)などに形成して用いることができる。
また、赤外光カットフィルタの表面上の少なくとも一部に、遮光膜を形成して、遮光膜付き赤外光カットフィルタとしてもよい。
遮光膜の厚さは特に制限されず、0.2〜25μmが好ましく、1.0〜10μmがより好ましい。上記厚さは平均厚さであり、遮光膜の任意の5点以上の厚さを測定し、それらを算術平均した値である。
遮光膜の反射率は、10%以下が好ましく、8%以下がより好ましく、6%以下が更に好ましく、4%以下が特に好ましい。なお、遮光膜の反射率は、遮光膜に、入射角度5°で400〜700nmの光を入射し、その反射率を日立ハイテクノロジー社製分光器UV4100(商品名)により測定した値である。
The light shielding film is formed and used on various members in the image display device or the sensor module (for example, an infrared light cut filter, an outer peripheral portion of a solid-state imaging device, an outer peripheral portion of a wafer level lens, a back surface of a solid-state imaging device, etc.). it can.
Moreover, it is good also as an infrared light cut filter with a light shielding film by forming a light shielding film in at least one part on the surface of an infrared light cut filter.
The thickness of the light shielding film is not particularly limited and is preferably 0.2 to 25 μm, more preferably 1.0 to 10 μm. The thickness is an average thickness, and is a value obtained by measuring the thickness of any five or more points of the light shielding film and arithmetically averaging them.
The reflectance of the light shielding film is preferably 10% or less, more preferably 8% or less, still more preferably 6% or less, and particularly preferably 4% or less. The reflectance of the light shielding film is a value obtained by making the light of 400 to 700 nm incident on the light shielding film at an incident angle of 5 ° and measuring the reflectance with a spectrometer UV4100 (trade name) manufactured by Hitachi High Technology.

〔固体撮像素子〕
本発明の固体撮像素子は、上述した第1〜4の実施形態の樹脂膜(カラーフィルタ、遮光膜など)を備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の樹脂膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はなく、例えば、以下のような構成が挙げられる。
[Solid-state image sensor]
The solid-state imaging device of the present invention includes the resin film (color filter, light shielding film, etc.) of the first to fourth embodiments described above. The configuration of the solid-state imaging device of the present invention is not particularly limited as long as the configuration includes the resin film of the present invention and functions as a solid-state imaging device, and examples thereof include the following configurations.

基板上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサー等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオード及び転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。
更に、デバイス保護層上であってカラーフィルタの下(基板に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等)を有する構成、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成などであってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像素子の例としては、特開2012−227478号公報、特開2014−179577号公報に記載の装置が挙げられる。
On the substrate, there are a plurality of photodiodes constituting a light receiving area of a solid-state imaging device (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.) and transfer electrodes made of polysilicon, etc., and the photodiodes receive light on the photodiodes and transfer electrodes. A light-shielding film having an opening only in the part, a device protective film made of silicon nitride or the like formed on the light-shielding film so as to cover the entire surface of the light-shielding film and the photodiode light-receiving part, and a color filter on the device protective film It is the composition which has.
Further, it may be a configuration having a light collecting means (for example, a microlens) on the device protective layer and under the color filter (on the side close to the substrate), a structure having the light collecting means on the color filter, or the like. . In addition, the color filter may have a structure in which a cured film that forms each color pixel is embedded in a space partitioned by a partition, for example, in a lattice shape. The partition in this case preferably has a low refractive index for each color pixel. Examples of the image sensor having such a structure include apparatuses described in JP 2012-227478 A and JP 2014-179577 A.

〔画像表示装置〕
本発明の硬化膜(カラーフィルタ、遮光膜など)は、液晶表示装置又は有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。
(Image display device)
The cured film (color filter, light-shielding film, etc.) of the present invention can be used for an image display device such as a liquid crystal display device or an organic electroluminescence display device.

表示装置の定義又は各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。   For the definition of the display device or details of each display device, refer to, for example, “Electronic Display Device (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Device (written by Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issued in the first year). The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to, for example, various types of liquid crystal display devices described in the “next generation liquid crystal display technology”.

本発明におけるカラーフィルタは、カラーTFT(Thin Film Transistor)方式の液晶表示装置に用いてもよい。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。更に、本発明はIPS(In Plane Switching)などの横電界駆動方式、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)などの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置のほか、STN(Super−Twist Nematic)、TN(Twisted Nematic)、VA(Vertical Alignment)、OCS(on−chip spacer)、FFS(fringe field switching)、及び、R−OCB(Reflective Optically Compensated Bend)等にも適用できる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color−filter On Array)方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタに対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率及び剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタは、耐光性などに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。
The color filter in the present invention may be used for a color TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Furthermore, the present invention is not limited to a liquid crystal display device such as a horizontal electric field driving method such as IPS (In Plane Switching), a pixel division method such as MVA (Multi-domain Vertical Alignment), and an STN (Super-Twist). Nematic), TN (Twisted Nematic), VA (Vertical Alignment), OCS (On-chip spacer), FFS (Fringe field switching), R-OCB (Reflective Optics), etc.
In addition, the color filter in the present invention can be used for a bright and high-definition COA (Color-filter On Array) system. In the COA type liquid crystal display device, the required characteristics for the color filter require the required characteristics for the interlayer insulating film, that is, the low dielectric constant and the stripping solution resistance, in addition to the normal required characteristics as described above. Sometimes. Since the color filter of the present invention is excellent in light resistance and the like, it is possible to provide a COA liquid crystal display device with high resolution and excellent long-term durability. In order to satisfy the required characteristics of a low dielectric constant, a resin film may be provided on the color filter layer.
These image display methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-Technology and latest trends in the market (issued by Toray Research Center Research Division 2001)".

本発明の液晶表示装置は、本発明におけるカラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成されてもよい。本発明のカラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「'94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)のほか、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
In addition to the color filter of the present invention, the liquid crystal display device of the present invention may be composed of various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The color filter of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. Regarding these components, for example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Markets Current Status and Future Prospects (Volume 2)” Fuji Chimera Research Institute, Ltd., published in 2003) ”.
Regarding backlights, in addition to SID meeting Digest 1380 (2005) (A. Konno et.al), Monthly Display December 2005 pages 18-24 (Yasuhiro Shima), pages 25-30 (Yukiaki Yagi), etc. It is described in.

また、硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォン又はデジタルカメラなどのポータブル機器;プリンタ複合機又はスキャナなどのOA(Office Automation)機器;監視カメラ、バーコードリーダ、現金自動預け払い機(ATM)、ハイスピードカメラ、又は顔画像認証を使用した本人認証などの産業用機器;車載用カメラ機器;内視鏡、カプセル内視鏡、又はカテーテルなどの医療用カメラ機器;生体センサー、バイオセンサー、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象・海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラ、又は宇宙の天文・深宇宙ターゲット用の探査カメラなどの宇宙用機器などに使用される光学フィルタ又はモジュールの遮光部材、遮光層、反射防止部材又は反射防止層に用いることができる。   Moreover, the cured film obtained by curing the curable composition is a portable device such as a personal computer, a tablet, a mobile phone, a smartphone, or a digital camera; an OA (Office Automation) device such as a printer multifunction device or a scanner; , Barcode readers, automated teller machines (ATMs), high-speed cameras, or industrial devices such as personal authentication using facial image authentication; in-vehicle camera devices; endoscopes, capsule endoscopes, catheters, etc. Medical camera equipment; space equipment such as biosensors, biosensors, military reconnaissance cameras, 3D map cameras, weather / ocean observation cameras, land resource exploration cameras, or exploration cameras for space astronomy and deep space targets Shielding member and shielding layer for optical filter or module It can be used for anti-reflective member or anti-reflective layer.

また、硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、マイクロLED(Light Emitting Diode)又はマイクロOLED(Organic Light Emitting Diode)などの用途にも用いることができる。特に限定されず、マイクロLED又はマイクロOLEDに使用される光学フィルタ又は光学フィルムのほか、遮光機能又は反射防止機能を付与する部材に対して好適に用いられる。
マイクロLED又はマイクロOLEDの例としては特表2015−500562号公報又は特表2014−533890号公報のものが挙げられる。
Moreover, the cured film obtained by hardening | curing a curable composition can also be used for uses, such as micro LED (Light Emitting Diode) or micro OLED (Organic Light Emitting Diode). It does not specifically limit, In addition to the optical filter or optical film used for micro LED or micro OLED, it uses suitably with respect to the member which provides a light-shielding function or an antireflection function.
Examples of the micro LED or the micro OLED include those disclosed in JP-T-2015-500562 or JP-A-2014-533890.

また、硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜は、量子ドットディスプレイなどの用途にも用いることができる。特に限定されず、量子ドットディスプレイに使用される光学フィルタ又は光学フィルムのほか、遮光機能又は反射防止機能を付与する部材に対して好適に用いられる。
量子ドットディスプレイの例としては、米国特許出願公開第2013/0335677号、米国特許出願公開第2014/0036536号、米国特許出願公開第2014/0036203号又は米国特許出願公開第2014/0035960号のものが挙げられる。
Moreover, the cured film obtained by hardening | curing a curable composition can be used also for uses, such as a quantum dot display. It does not specifically limit, In addition to the optical filter or optical film used for a quantum dot display, it uses suitably with respect to the member which provides a light-shielding function or an antireflection function.
Examples of quantum dot displays include those of U.S. Patent Application Publication No. 2013/0335677, U.S. Patent Application Publication No. 2014/0036536, U.S. Patent Application Publication No. 2014/0036203, or U.S. Patent Application Publication No. 2014/0035960. Can be mentioned.

以下に実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は、質量基準である。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the following examples. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.

以下、実施例及び比較例で用いた各成分について詳述する。   Hereinafter, each component used in the Examples and Comparative Examples will be described in detail.

(顔料)
(黒色顔料Pig−1)
黒色顔料Pig−1を以下の条件で作製した。
高周波電力 5.5kW
プラズマガス流量 アルゴン5L/min+窒素5L/min
噴霧ガス流量 窒素 20L/min
粉体供給 日本電子製粉末供給装置 TP−99010FDR
供給ガス 窒素 15L/min
供給量 15g/min
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ag粉末 三井金属製SPQ03R
Fe粉末 JFEスチール製JIP 270M
(Pigment)
(Black Pigment Pig-1)
A black pigment Pig-1 was produced under the following conditions.
High frequency power 5.5kW
Plasma gas flow rate Argon 5L / min + Nitrogen 5L / min
Spray gas flow rate Nitrogen 20L / min
Powder supply JEOL powder supply equipment TP-99010FDR
Supply gas Nitrogen 15L / min
Supply amount 15g / min
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ag powder Mitsui Kinzoku SPQ03R
Fe powder JIP steel JIP 270M

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、30℃の条件で24時間静置した後、O濃度が100ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において30℃の条件で24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand for 24 hours in an Ar gas atmosphere under an O 2 concentration of 50 ppm or less and 30 ° C., the O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 100 ppm. And allowed to stand at 30 ° C. for 24 hours.

得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−1)について、ICP発光分光分析法によって、チタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
黒色顔料Pig−1の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が60質量%、Ag原子の含有量が15質量%、Fe原子の含有量が1質量%であった。なお、ICP発光分光分析法には、セイコーインスツルメンツ社製のICP発光分光分析装置「SPS3000」(商品名)を用いた。
また、窒素原子、酸素原子の含有量については、堀場製作所製の酸素・窒素分析装置「EMGA−620W/C」(商品名)を用いて測定し、不活性ガス融解−熱伝導度法により算出した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−1の全量(100質量%)に対して19質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−1の全量(100質量%)に対して5質量%であった。
About the obtained titanium nitride containing particle | grains (black pigment Pig-1), content of a titanium (Ti) atom and a metal atom was measured by the ICP emission spectroscopy analysis method.
The content of Ti atoms was 60% by mass, the content of Ag atoms was 15% by mass, and the content of Fe atoms was 1% by mass with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-1. For the ICP emission spectroscopic analysis, an ICP emission spectroscopic analyzer “SPS3000” (trade name) manufactured by Seiko Instruments Inc. was used.
In addition, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms is measured using an oxygen / nitrogen analyzer “EMGA-620W / C” (trade name) manufactured by Horiba, Ltd., and is calculated by an inert gas melting-thermal conductivity method. did. As a result, the nitrogen atom content is 19% by mass with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-1, and the oxygen atom content is the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-1. It was 5 mass% with respect to.

また、黒色顔料Pig−1について、下記の方法によりX線回折試験を行った。
X線回折は粉末試料をアルミ製標準試料ホルダーに詰め、広角X線回折法(理学電機社製 RU−200R)により測定した。測定条件としては、X線源はCuKα線とし、出力は50kV/200mA、スリット系は1°−1°−0.15mm−0.45mm、測定ステップ(2θ)は0.02°、スキャン速度は2°/分とした。回折角2θ=46°付近に観察されるTiN(200)面に由来するピークの回折角を測定した。
その結果、黒色顔料Pig−1のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、42.5°であった。
The black pigment Pig-1 was subjected to an X-ray diffraction test by the following method.
X-ray diffraction was measured by a wide-angle X-ray diffraction method (RU-200R manufactured by Rigaku Corporation) with a powder sample packed in an aluminum standard sample holder. As measurement conditions, the X-ray source is CuKα ray, the output is 50 kV / 200 mA, the slit system is 1 ° -1 ° -0.15 mm-0.45 mm, the measurement step (2θ) is 0.02 °, and the scan speed is It was 2 ° / min. The diffraction angle of the peak derived from the TiN (200) plane observed near the diffraction angle 2θ = 46 ° was measured.
As a result, the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-1 was 42.5 °.

黒色顔料Pig−1の比表面積は、日本ベル(株)製高精度全自動ガス吸着装置(“BELSORP”36)を用い、100℃で真空脱気後、Nガスの液体窒素温度(77K)における吸着等温線を測定し、この等温線をBET法で解析して求めた。その結果、BET法を用いて求められた黒色顔料Pig−1の比表面積は、29m/gであった。The specific surface area of the black pigment Pig-1 uses a Nippon Bell Co., Ltd. precision fully automatic gas adsorption apparatus ( "BELSORP" 36), after vacuum degassing at 100 ° C., N 2 gas liquid nitrogen temperature (77K) The adsorption isotherm in was measured, and this isotherm was determined by the BET method. As a result, the specific surface area of the black pigment Pig-1 obtained by using the BET method was 29 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−2)
黒色顔料Pig−2を以下の条件で作製した。
高周波電力 5.5kW
プラズマガス流量 アルゴン5L/min+窒素5L/min
噴霧ガス流量 窒素 20L/min
粉体供給 日本電子製粉末供給装置 TP−99010FDR
供給ガス 窒素 15L/min
供給量 15g/min
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ag粉末 三井金属製SPQ03R
Ni粉末 東邦チタニウム製
(Black Pigment Pig-2)
A black pigment Pig-2 was produced under the following conditions.
High frequency power 5.5kW
Plasma gas flow rate Argon 5L / min + Nitrogen 5L / min
Spray gas flow rate Nitrogen 20L / min
Powder supply JEOL powder supply equipment TP-99010FDR
Supply gas Nitrogen 15L / min
Supply amount 15g / min
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ag powder Mitsui Kinzoku SPQ03R
Ni powder Toho Titanium

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、30℃の条件で24時間静置した後、O濃度が100ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において30℃の条件で24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand for 24 hours in an Ar gas atmosphere under an O 2 concentration of 50 ppm or less and 30 ° C., the O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 100 ppm. And allowed to stand at 30 ° C. for 24 hours.

得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−2)について、ICP発光分光分析法によって、チタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
黒色顔料Pig−2の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が65質量%、Ag原子の含有量が8質量%、Ni原子の含有量が2質量%であった。なお、ICP発光分光分析法には、セイコーインスツルメンツ社製のICP発光分光分析装置「SPS3000」(商品名)を用いた。
また、窒素原子、酸素原子の含有量については、堀場製作所製の酸素・窒素分析装置「EMGA−620W/C」(商品名)を用いて測定し、不活性ガス融解−熱伝導度法により算出した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−2の全量(100質量%)に対して20質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−2の全量(100質量%)に対して5質量%であった。
About the obtained titanium nitride containing particle | grains (black pigment Pig-2), content of a titanium (Ti) atom and a metal atom was measured by ICP emission spectroscopy analysis.
The content of Ti atoms was 65% by mass, the content of Ag atoms was 8% by mass, and the content of Ni atoms was 2% by mass with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-2. For the ICP emission spectroscopic analysis, an ICP emission spectroscopic analyzer “SPS3000” (trade name) manufactured by Seiko Instruments Inc. was used.
In addition, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms is measured using an oxygen / nitrogen analyzer “EMGA-620W / C” (trade name) manufactured by Horiba, Ltd., and is calculated by an inert gas melting-thermal conductivity method. did. As a result, the content of nitrogen atoms is 20% by mass with respect to the total amount of black pigment Pig-2 (100% by mass), and the content of oxygen atoms is the total amount of black pigment Pig-2 (100% by mass). It was 5 mass% with respect to.

また、黒色顔料Pig−2について、下記の方法によりX線回折試験を行った。
X線回折は粉末試料をアルミ製標準試料ホルダーに詰め、広角X線回折法(理学電機社製 RU−200R)により測定した。測定条件としては、X線源はCuKα線とし、出力は50kV/200mA、スリット系は1°−1°−0.15mm−0.45mm、測定ステップ(2θ)は0.02°、スキャン速度は2°/分とした。回折角2θ=46°付近に観察されるTiN(200)面に由来するピークの回折角を測定した。
その結果、黒色顔料Pig−2のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、42.6°であった。
Moreover, about the black pigment Pig-2, the X-ray-diffraction test was done with the following method.
X-ray diffraction was measured by a wide-angle X-ray diffraction method (RU-200R manufactured by Rigaku Corporation) with a powder sample packed in an aluminum standard sample holder. As measurement conditions, the X-ray source is CuKα ray, the output is 50 kV / 200 mA, the slit system is 1 ° -1 ° -0.15 mm-0.45 mm, the measurement step (2θ) is 0.02 °, and the scan speed is It was 2 ° / min. The diffraction angle of the peak derived from the TiN (200) plane observed near the diffraction angle 2θ = 46 ° was measured.
As a result, the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-2 was 42.6 °.

黒色顔料Pig−2の比表面積は、日本ベル(株)製高精度全自動ガス吸着装置(“BELSORP”36)を用い、100℃で真空脱気後、Nガスの液体窒素温度(77K)における吸着等温線を測定し、この等温線をBET法で解析して求めた。その結果、BET法を用いて求められた黒色顔料Pig−2の比表面積は、33m/gであった。The specific surface area of the black pigment Pig-2 uses a Nippon Bell Co., Ltd. precision fully automatic gas adsorption apparatus ( "BELSORP" 36), after vacuum degassing at 100 ° C., N 2 gas liquid nitrogen temperature (77K) The adsorption isotherm in was measured, and this isotherm was determined by the BET method. As a result, the specific surface area of the black pigment Pig-2 determined using the BET method was 33 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−3)
以下の粉体を用いた他は黒色顔料Pig−2と同じ方法により、黒色顔料Pig−3を作製した。なお、V粉末はバナジウム粉末を指す。
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ag粉末 三井金属製SPQ03R
V粉末 太陽鉱工製VN200
(Black Pigment Pig-3)
A black pigment Pig-3 was produced in the same manner as the black pigment Pig-2 except that the following powder was used. V powder refers to vanadium powder.
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ag powder Mitsui Kinzoku SPQ03R
V powder made by Taiyo Mining Co., Ltd. VN200

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、100℃の条件で24時間静置した後、O濃度が100ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において100℃の温度下、24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand in an Ar gas atmosphere under an O 2 concentration of 50 ppm or less and 100 ° C. for 24 hours, O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 100 ppm. And left at a temperature of 100 ° C. for 24 hours.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で、得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−3)のチタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
結果、黒色顔料Pig−3の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が50質量%、Ag原子の含有量が20質量%、V原子の含有量が1質量%であった。
また、窒素原子、酸素原子の含有量についても黒色顔料Pig−2と同じ方法で測定した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−3の全量(100質量%)に対して19質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−3の全量(100質量%)に対して10質量%であった。
The content of titanium (Ti) atoms and metal atoms in the obtained titanium nitride-containing particles (black pigment Pig-3) was measured by the same method as that of the black pigment Pig-2.
As a result, with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-3, the content of Ti atoms was 50% by mass, the content of Ag atoms was 20% by mass, and the content of V atoms was 1% by mass. .
Further, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms was also measured by the same method as that for the black pigment Pig-2. As a result, the content of nitrogen atoms is 19% by mass with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-3, and the content of oxygen atoms is the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-3. It was 10 mass% with respect to.

黒色顔料Pig−2と同じ方法でTiN(200)面に由来するピークの回折角2θ評価したところ、黒色顔料Pig−3のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、42.8°であった。   When the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane was evaluated by the same method as that of the black pigment Pig-2, the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-3 was 42.8. °.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で黒色顔料Pig−3の比表面積を求めたところ、比表面積は、25m/gであった。When the specific surface area of the black pigment Pig-3 was determined by the same method as that for the black pigment Pig- 2 , the specific surface area was 25 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−4)
以下の粉体を用いた他は黒色顔料Pig−2と同じ方法により、黒色顔料Pig−4を作製した。なお、W粉末はタングステン粉末を指す。
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
W粉末 日本新金属製W−H
Fe粉末 JFEスチール製JIP 270M
(Black Pigment Pig-4)
A black pigment Pig-4 was produced in the same manner as the black pigment Pig-2 except that the following powder was used. Note that W powder refers to tungsten powder.
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
W powder Nippon New Metal W-H
Fe powder JIP steel JIP 270M

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、200℃の条件で24時間静置した後、O濃度が100ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において200℃の温度下、24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand for 24 hours under an Ar gas atmosphere at an O 2 concentration of 50 ppm or less and 200 ° C., the O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 100 ppm. And left at a temperature of 200 ° C. for 24 hours.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で、得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−4)のチタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
結果、黒色顔料Pig−4の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が50質量%、W原子の含有量が12.99質量%、Fe原子の含有量が0.01質量%であった。
また、窒素原子、酸素原子の含有量についても黒色顔料Pig−2と同じ方法で測定した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−4の全量(100質量%)に対して20質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−4の全量(100質量%)に対して17質量%であった。
The content of titanium (Ti) atoms and metal atoms in the obtained titanium nitride-containing particles (black pigment Pig-4) was measured by the same method as that of the black pigment Pig-2.
As a result, with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-4, the content of Ti atoms is 50% by mass, the content of W atoms is 12.99% by mass, and the content of Fe atoms is 0.01% by mass. %Met.
Further, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms was also measured by the same method as that for the black pigment Pig-2. As a result, the content of nitrogen atoms is 20% by mass with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-4, and the content of oxygen atoms is the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-4. It was 17 mass% with respect to.

黒色顔料Pig−2と同じ方法でTiN(200)面に由来するピークの回折角2θ評価したところ、黒色顔料Pig−4のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、43.0°であった。   When the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane was evaluated by the same method as that of the black pigment Pig-2, the peak diffraction angle 2θ derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-4 was 43.0. °.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で黒色顔料Pig−4の比表面積を求めたところ、比表面積は、27m/gであった。When the specific surface area of the black pigment Pig-4 was determined by the same method as that for the black pigment Pig- 2 , the specific surface area was 27 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−5) 以下の粉体を用いた他は黒色顔料Pig−2と同じ方法により、黒色顔料Pig−5を作製した。
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ni粉末 東邦チタニウム製
Fe粉末 JFEスチール製JIP 270M
(Black Pigment Pig-5) A black pigment Pig-5 was produced in the same manner as the black pigment Pig-2 except that the following powder was used.
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ni powder Toho Titanium
Fe powder JIP steel JIP 270M

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、200℃の条件で24時間静置した後、O濃度が1000ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において200℃の温度下、24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand for 24 hours under an Ar gas atmosphere at an O 2 concentration of 50 ppm or less and 200 ° C., the O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 1000 ppm. And left at a temperature of 200 ° C. for 24 hours.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で、得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−5)のチタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
結果、黒色顔料Pig−5の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が52質量%、Ni原子の含有量が5質量%、Fe原子の含有量が2質量%であった。
また、窒素原子、酸素原子の含有量についても黒色顔料Pig−2と同じ方法で測定した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−5の全量(100質量%)に対して20質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−5の全量(100質量%)に対して21質量%であった。
The content of titanium (Ti) atoms and metal atoms in the obtained titanium nitride-containing particles (black pigment Pig-5) was measured by the same method as that of the black pigment Pig-2.
As a result, with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-5, the content of Ti atoms was 52% by mass, the content of Ni atoms was 5% by mass, and the content of Fe atoms was 2% by mass. .
Further, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms was also measured by the same method as that for the black pigment Pig-2. As a result, the content of nitrogen atoms is 20% by mass with respect to the total amount of black pigment Pig-5 (100% by mass), and the content of oxygen atoms is the total amount of black pigment Pig-5 (100% by mass). It was 21 mass% with respect to.

黒色顔料Pig−2と同じ方法でTiN(200)面に由来するピークの回折角2θ評価したところ、黒色顔料Pig−5のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、43.5°であった。   When the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane was evaluated by the same method as that of the black pigment Pig-2, the peak diffraction angle 2θ derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-5 was 43.5. °.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で黒色顔料Pig−5の比表面積を求めたところ、比表面積は、34m/gであった。When the specific surface area of the black pigment Pig-5 was determined by the same method as that for the black pigment Pig- 2 , the specific surface area was 34 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−6)
以下の粉体を用いた他は黒色顔料Pig−2と同じ方法により、黒色顔料Pig−6を作製した。
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ag粉末 三井金属製SPQ03R
W粉末 日本新金属製W−H
V粉末 太陽鉱工製VN200
(Black Pigment Pig-6)
A black pigment Pig-6 was produced in the same manner as the black pigment Pig-2 except that the following powder was used.
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ag powder Mitsui Kinzoku SPQ03R
W powder Nippon New Metal W-H
V powder made by Taiyo Mining Co., Ltd. VN200

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、30℃の条件で24時間静置した後、O濃度が100ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において30℃の温度下、24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand for 24 hours in an Ar gas atmosphere under an O 2 concentration of 50 ppm or less and 30 ° C., the O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 100 ppm. And left at a temperature of 30 ° C. for 24 hours.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で、得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−6)のチタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
結果、黒色顔料Pig−6の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が57質量%、Ag原子の含有量が10質量%、W原子の含有量が7.99質量%、V原子の含有量が0.01質量%であった。
また、窒素原子、酸素原子の含有量についても黒色顔料Pig−2と同じ方法で測定した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−6の全量(100質量%)に対して18質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−6の全量(100質量%)に対して7質量%であった。
The content of titanium (Ti) atoms and metal atoms in the obtained titanium nitride-containing particles (black pigment Pig-6) was measured by the same method as that for black pigment Pig-2.
As a result, with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-6, the content of Ti atoms is 57% by mass, the content of Ag atoms is 10% by mass, the content of W atoms is 7.9% by mass, The V atom content was 0.01% by mass.
Further, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms was also measured by the same method as that for the black pigment Pig-2. As a result, the content of nitrogen atoms is 18% by mass with respect to the total amount of black pigment Pig-6 (100% by mass), and the content of oxygen atoms is the total amount of black pigment Pig-6 (100% by mass). It was 7 mass% with respect to.

黒色顔料Pig−2と同じ方法でTiN(200)面に由来するピークの回折角2θ評価したところ、黒色顔料Pig−6のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、42.7°であった。   When the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane was evaluated in the same manner as the black pigment Pig-2, the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-6 was 42.7. °.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で黒色顔料Pig−6の比表面積を求めたところ、比表面積は、32m/gであった。When the specific surface area of the black pigment Pig-6 was determined by the same method as that for the black pigment Pig- 2 , the specific surface area was 32 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−7)
以下の粉体を用いた他は黒色顔料Pig−2と同じ方法により、黒色顔料Pig−7を作製した。
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ag粉末 三井金属製SPQ03R
Fe粉末 JFEスチール製JIP 270M
(Black Pigment Pig-7)
A black pigment Pig-7 was produced in the same manner as the black pigment Pig-2 except that the following powder was used.
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ag powder Mitsui Kinzoku SPQ03R
Fe powder JIP steel JIP 270M

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、300℃の条件で24時間静置した後、O濃度が1000ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において300℃の温度下、24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand in an Ar gas atmosphere under an O 2 concentration of 50 ppm or less and 300 ° C. for 24 hours, O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 1000 ppm. And left at a temperature of 300 ° C. for 24 hours.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で、得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−7)のチタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
結果、黒色顔料Pig−7の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が50質量%、Ag原子の含有量が5質量%、Fe原子の含有量が2質量%であった。
また、窒素原子、酸素原子の含有量についても黒色顔料Pig−2と同じ方法で測定した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−7の全量(100質量%)に対して20質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−7の全量(100質量%)に対して23質量%であった。
The content of titanium (Ti) atoms and metal atoms in the obtained titanium nitride-containing particles (black pigment Pig-7) was measured by the same method as that of the black pigment Pig-2.
As a result, with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-7, the content of Ti atoms was 50% by mass, the content of Ag atoms was 5% by mass, and the content of Fe atoms was 2% by mass. .
Further, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms was also measured by the same method as that for the black pigment Pig-2. As a result, the content of nitrogen atoms is 20% by mass with respect to the total amount of black pigment Pig-7 (100% by mass), and the content of oxygen atoms is the total amount of black pigment Pig-7 (100% by mass). It was 23 mass% with respect to.

黒色顔料Pig−2と同じ方法でTiN(200)面に由来するピークの回折角2θ評価したところ、黒色顔料Pig−7のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、43.7°であった。   When the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane was evaluated in the same manner as the black pigment Pig-2, the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-7 was 43.7. °.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で黒色顔料Pig−7の比表面積を求めたところ、比表面積は、30m/gであった。When the specific surface area of the black pigment Pig-7 was determined by the same method as that for the black pigment Pig- 2 , the specific surface area was 30 m 2 / g.

(黒色顔料Pig−8)
以下の粉体を用いた他は黒色顔料Pig−2と同じ方法により、黒色顔料Pig−8を作製した。
粉体 Ti粉末 東邦チタニウム製TC−200
Ni粉末 東邦チタニウム製
V粉末 太陽鉱工製VN200
(Black Pigment Pig-8)
A black pigment Pig-8 was produced in the same manner as the black pigment Pig-2 except that the following powder was used.
Powder Ti powder TC-200 made by Toho Titanium
Ni powder Toho Titanium
V powder made by Taiyo Mining Co., Ltd. VN200

プラズマ処理後の粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、300℃の条件で24時間静置した後、O濃度が1000ppmとなるようにArガス雰囲気にOガスを導入した状態において300℃の温度下、24時間静置した。After the plasma-treated particles are allowed to stand in an Ar gas atmosphere under an O 2 concentration of 50 ppm or less and 300 ° C. for 24 hours, O 2 gas is introduced into the Ar gas atmosphere so that the O 2 concentration becomes 1000 ppm. And left at a temperature of 300 ° C. for 24 hours.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で、得られたチタン窒化物含有粒子(黒色顔料Pig−8)のチタン(Ti)原子、金属原子の含有量を測定した。
結果、黒色顔料Pig−8の全量(100質量%)に対して、Ti原子の含有量が47質量%、Ni原子の含有量が10質量%、V原子の含有量が2質量%であった。
また、窒素原子、酸素原子の含有量についても黒色顔料Pig−2と同じ方法で測定した。その結果、窒素原子の含有量は、黒色顔料Pig−8の全量(100質量%)に対して18質量%であり、酸素原子の含有量は、黒色顔料Pig−8の全量(100質量%)に対して23質量%であった。
The content of titanium (Ti) atoms and metal atoms in the obtained titanium nitride-containing particles (black pigment Pig-8) was measured by the same method as that for the black pigment Pig-2.
As a result, with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-8, the Ti atom content was 47% by mass, the Ni atom content was 10% by mass, and the V atom content was 2% by mass. .
Further, the content of nitrogen atoms and oxygen atoms was also measured by the same method as that for the black pigment Pig-2. As a result, the content of nitrogen atoms is 18% by mass with respect to the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-8, and the content of oxygen atoms is the total amount (100% by mass) of the black pigment Pig-8. It was 23 mass% with respect to.

黒色顔料Pig−2と同じ方法でTiN(200)面に由来するピークの回折角2θ評価したところ、黒色顔料Pig−8のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θは、43.7°であった。   When the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane was evaluated by the same method as that of the black pigment Pig-2, the diffraction angle 2θ of the peak derived from the TiN (200) plane of the black pigment Pig-8 was 43.7. °.

黒色顔料Pig−2と同じ方法で黒色顔料Pig−8の比表面積を求めたところ、比表面積は、26m/gであった。When the specific surface area of the black pigment Pig-8 was determined by the same method as that for the black pigment Pig- 2 , the specific surface area was 26 m 2 / g.

黒色顔料Pig−1〜黒色顔料Pig−8の組成、製法、物性を下記表1に示す。   The composition, production method and physical properties of the black pigment Pig-1 to black pigment Pig-8 are shown in Table 1 below.

(顔料分散液Aの作製方法)
下記組成1に示す成分を、撹拌機(IKA社製EUROSTAR)を使用して、15分間混合し、分散物Aを得た。
なお、以下に記載の樹脂(X−1)は、特開2013−249417号公報の記載を参照して合成した。また、樹脂(X−1)の重量平均分子量は30,000であり、酸価は60mgKOH/gであり、グラフト鎖の原子数(水素原子を除く。)は117であった。
(Preparation method of pigment dispersion A)
Components shown in the following composition 1 were mixed for 15 minutes using a stirrer (EUROSTAR manufactured by IKA) to obtain dispersion A.
The resin (X-1) described below was synthesized with reference to the description in JP2013-249417A. The weight average molecular weight of the resin (X-1) was 30,000, the acid value was 60 mgKOH / g, and the number of graft chain atoms (excluding hydrogen atoms) was 117.

−組成1−
・黒色顔料Pig−1:25質量部
・樹脂(X−1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート30質量%溶液:25質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)(溶剤):23質量部
・酢酸ブチル(BA)(溶剤):27質量部
-Composition 1-
Black pigment Pig-1: 25 parts by mass A solution of resin (X-1) in 30% by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate: 25 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) (solvent): 23 parts by mass (BA) (solvent): 27 parts by mass

得られた分散物Aに対し、(株)シンマルエンタープライゼス製のNPM Pilotを使用して下記条件にて分散処理を行い、顔料分散液Aを得た。
(分散条件)
・ビーズ径:φ0.05mm
・ビーズ充填率:65体積%
・ミル周速:10m/sec
・セパレーター周速:11m/s
・分散処理する混合液量:15.0g
・循環流量(ポンプ供給量):60kg/hour
・処理液温度:20〜25℃
・冷却水:水道水 5℃
・ビーズミル環状通路内容積:2.2L
・パス回数:84パス
The obtained dispersion A was subjected to a dispersion treatment under the following conditions using NPM Pilot manufactured by Shinmaru Enterprises Co., Ltd. to obtain a pigment dispersion A.
(Distribution condition)
・ Bead diameter: φ0.05mm
・ Bead filling rate: 65% by volume
・ Mill peripheral speed: 10m / sec
・ Separator peripheral speed: 11m / s
・ Amount of liquid mixture for dispersion treatment: 15.0 g
・ Circulating flow rate (pump supply amount): 60 kg / hour
・ Processing liquid temperature: 20-25 ° C
・ Cooling water: tap water 5 ℃
・ Bead mill annular passage internal volume: 2.2L
・ Number of passes: 84 passes

(顔料分散液Bの作製方法)
黒色顔料Pig−1をPig−2に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Bを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion B)
A pigment dispersion B was prepared in the same manner as the pigment dispersion A, except that the black pigment Pig-1 was replaced with Pig-2.

(顔料分散液Cの作製方法)
黒色顔料Pig−1を三菱マテリアル社製「13M−T(商品名)」に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Cを作製した。
なお、三菱マテリアル社製「13M−T(商品名)」中に含まれる顔料粒子は、酸窒化チタンである。
(Preparation method of pigment dispersion C)
A pigment dispersion C was prepared in the same manner as the preparation of the pigment dispersion A except that the black pigment Pig-1 was changed to “13M-T (trade name)” manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.
In addition, the pigment particle contained in "13M-T (trade name)" manufactured by Mitsubishi Materials Corporation is titanium oxynitride.

(顔料分散液Dの作製方法)
樹脂(X−1)を下記構造の樹脂(X−2)に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Dを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion D)
A pigment dispersion D was prepared in the same manner as the pigment dispersion A, except that the resin (X-1) was replaced with a resin (X-2) having the following structure.

(樹脂(X−2))
(Resin (X-2))

なお、樹脂(X−2)の重量平均分子量は25000であり、酸価は53mgKOH/gであり、グラフト鎖の原子数(水素原子を除く。)は72であった。   The weight average molecular weight of the resin (X-2) was 25000, the acid value was 53 mgKOH / g, and the number of graft chain atoms (excluding hydrogen atoms) was 72.

(顔料分散液Eの作製方法)
黒色顔料Pig−1を黒色顔料Pig−3に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Eを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion E)
A pigment dispersion E was prepared by the same method as that for preparing the pigment dispersion A, except that the black pigment Pig-1 was replaced with the black pigment Pig-3.

(顔料分散液Fの作製方法)
黒色顔料Pig−1を黒色顔料Pig−4に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Fを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion F)
A pigment dispersion F was prepared by the same method as the above-mentioned pigment dispersion A except that the black pigment Pig-1 was replaced with the black pigment Pig-4.

(顔料分散液Gの作製方法)
黒色顔料Pig−1を黒色顔料Pig−5に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Gを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion G)
A pigment dispersion G was prepared by the same method as the above-mentioned pigment dispersion A, except that the black pigment Pig-1 was replaced with the black pigment Pig-5.

(顔料分散液Hの作製方法)
黒色顔料Pig−1を黒色顔料Pig−6に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Hを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion H)
A pigment dispersion H was prepared in the same manner as the preparation of the pigment dispersion A except that the black pigment Pig-1 was replaced with the black pigment Pig-6.

(顔料分散液Iの作製方法)
黒色顔料Pig−1を黒色顔料Pig−7に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Iを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion I)
A pigment dispersion I was prepared in the same manner as the pigment dispersion A, except that the black pigment Pig-1 was replaced with the black pigment Pig-7.

(顔料分散液Jの作製方法)
黒色顔料Pig−1を黒色顔料Pig−8に替えた以外は上記顔料分散液Aの作製方法と同じ方法で顔料分散液Jを作製した。
(Preparation method of pigment dispersion J)
A pigment dispersion J was prepared in the same manner as the preparation of the pigment dispersion A except that the black pigment Pig-1 was replaced with the black pigment Pig-8.

(赤色顔料分散液)
次いで、文献(国際公開第2015/029643号)の段落<0409>を参考に赤色顔料分散液を作製した。
(Red pigment dispersion)
Next, a red pigment dispersion was prepared with reference to paragraph <0409> of the literature (International Publication No. 2015/029643).

(バインダー樹脂)
・P−1:アクリベースFF−187(藤倉化成株式会社製)
・P−2:アクリキュアRD−F8(日本触媒株式会社製)
(Binder resin)
・ P-1: Acrybase FF-187 (Fujikura Kasei Co., Ltd.)
・ P-2: ACRYCURE RD-F8 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.)

・P−3:
4,4’−ジアミノフェニルエーテル(0.30モル当量)、パラフェニレンジアミン(0.65モル当量)、ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.05モル当量)、γ−ブチロラクトン850g及びN−メチル−2−ピロリドン850gを混合して混合物を得た後、3,3’,4,4’−オキシジフタルカルボン酸二無水物(0.9975モル当量)をさらに混合物に添加して、その後、混合物を80℃で3時間反応させた。得られた反応物に更に無水マレイン酸(0.02モル当量)を添加して、80℃で1時間反応させて、ポリマー3としてポリアミック酸(ポリマー濃度20質量%)溶液を得た。
・ P-3:
4,4′-diaminophenyl ether (0.30 molar equivalent), paraphenylenediamine (0.65 molar equivalent), bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (0.05 molar equivalent), γ-butyrolactone 850 g And 850 g of N-methyl-2-pyrrolidone to obtain a mixture, and then 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalcarboxylic dianhydride (0.9975 molar equivalent) was further added to the mixture. Then, the mixture was reacted at 80 ° C. for 3 hours. Maleic anhydride (0.02 molar equivalent) was further added to the obtained reaction product and reacted at 80 ° C. for 1 hour to obtain a polyamic acid (polymer concentration 20% by mass) solution as polymer 3.

・P−4:
文献(特許第3120476号公報;実施例1)記載の方法により、メチルメタクリレート/メタクリル酸/スチレン共重合体(質量比30/40/30)を合成後、グリシジルメタクリレート40質量部を付加させた。その後、精製水で再沈した後、濾過により固形分を回収し、固形分を乾燥することにより、ポリマー4として、平均分子量(Mw)40,000、酸価110(mgKOH/g)のアクリルポリマー粉末を得た。
・ P-4:
After synthesizing methyl methacrylate / methacrylic acid / styrene copolymer (mass ratio 30/40/30) by the method described in the literature (Japanese Patent No. 3120476; Example 1), 40 parts by mass of glycidyl methacrylate was added. Then, after reprecipitating with purified water, the solid content is collected by filtration, and the solid content is dried to obtain an acrylic polymer having an average molecular weight (Mw) of 40,000 and an acid value of 110 (mgKOH / g) as polymer 4. A powder was obtained.

・P−5:アクリベースFF−426(藤倉化成株式会社) ・ P-5: Acrybase FF-426 (Fujikura Kasei Co., Ltd.)

(フィラー)
・中空シリカ:スルーリア5320、粒子分布極大値:75nm、日揮触媒化成社製(20wt%MIBK(メチルイソブチルケトン)溶液)
・シリカ1:FF−D−B1、粒子分布極大値:300nm、公進ケミカル社製(72wt%PGME溶液)
・シリカ2:FF−B−B1、粒子分布極大値:30nm、公進ケミカル社製(60wt%PGME溶液)
・アクリル粒子1:MX−80H3wT、粒子分布極大値:800nm、綜研化学社製(粉体)
・アクリル粒子2:MP−300、粒子分布極大値:100nm、綜研化学社製
(Filler)
Hollow silica: Thruria 5320, particle distribution maximum value: 75 nm, manufactured by JGC Catalysts & Chemicals (20 wt% MIBK (methyl isobutyl ketone) solution)
Silica 1: FF-D-B1, particle distribution maximum value: 300 nm, manufactured by Koshin Chemical Co., Ltd. (72 wt% PGME solution)
Silica 2: FF-B-B1, maximum particle distribution: 30 nm, manufactured by Koshin Chemical Co., Ltd. (60 wt% PGME solution)
Acrylic particles 1: MX-80H3wT, particle distribution maximum: 800 nm, manufactured by Soken Chemical Co., Ltd. (powder)
Acrylic particle 2: MP-300, particle distribution maximum value: 100 nm, manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.

(フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物)
・S−1:メガファック RS−72−K(DIC社製)
・S−2:メガファック RS−55(フッ素原子及び珪素原子含有、DIC社製)
・S−3:KF−6001(ヒドロキシル基含有シリコーン、信越化学工業(株)製)
なお、上記S−1、S−2は、いずれもフッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する繰り返し単位と、側鎖に重合性基を有する繰り返し単位とを含む高分子化合物である。
(Compound containing at least one of fluorine atom and silicon atom)
・ S-1: Megafuck RS-72-K (manufactured by DIC)
・ S-2: Mega-Fac RS-55 (containing fluorine atom and silicon atom, manufactured by DIC)
S-3: KF-6001 (hydroxyl group-containing silicone, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Note that S-1 and S-2 are high molecular compounds each including a repeating unit containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom and a repeating unit having a polymerizable group in the side chain.

(界面活性剤)
F−1:下記構造式で表される混合物(Mw=14000)
(Surfactant)
F-1: Mixture represented by the following structural formula (Mw = 14000)

(溶剤)
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・PGME:1−メトキシ−2−プロパノール
・高沸点溶剤:ハイソルブ BDM(ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、沸点212℃、東邦化学工業株式会社製)
(solvent)
-PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate-PGME: 1-methoxy-2-propanol-High boiling point solvent: Hisolv BDM (diethylene glycol butyl methyl ether, boiling point 212 ° C, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.)

(重合開始剤)
・K−1:Irgacure OXE02(BASFジャパン社製)
・K−2:下記構造で表される化合物
・K−3:NCI−831((株)アデカ製)
・K−4:Irgacure 369(BASF社製)
・K−5:KAYACURE DETX−S(荘司産業株式会社製)
(Polymerization initiator)
・ K-1: Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan)
-K-2: Compound represented by the following structure-K-3: NCI-831 (manufactured by Adeka Corporation)
・ K-4: Irgacure 369 (manufactured by BASF)
・ K-5: KAYACURE DETX-S (manufactured by Shoji Sangyo Co., Ltd.)

(重合性化合物)
・M−1:下記構造の化合物(日本化薬社製)
(Polymerizable compound)
M-1: Compound having the following structure (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

・M−2:OGSOL EA−0200(大阪ガスケミカル社製)
・M−3:アロニックスTO−2349(東亞合成株式会社)
なお、上記M−2は、カルド構造を有し、9,9−ビスアリールフルオレン骨格を有する重合性化合物に相当する。
・ M-2: OGSOL EA-0200 (Osaka Gas Chemical Co., Ltd.)
・ M-3: Aronix TO-2349 (Toagosei Co., Ltd.)
Note that M-2 corresponds to a polymerizable compound having a cardo structure and having a 9,9-bisarylfluorene skeleton.

(シランカップリング剤)
・エポキシシラン:LS−2940(信越化学工業社製)
(Silane coupling agent)
・ Epoxysilane: LS-2940 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)

〔樹脂膜1の作製及び評価〕
(1)樹脂組成物の調製
後述する表2、3に示すような各成分を攪拌、混合して樹脂組成物を調製した。
なお、実施例1〜16の樹脂組成物は、いずれも組成物中の固形分が27.5質量%となるように調製した。また、実施例1〜16の樹脂組成物は、実施例7以外は組成物中の全固形分量に対する顔料濃度が50質量%、実施例7については30質量%となるように調製した。また、実施例8〜14、実施例1A、2Aの樹脂組成物は、いずれも分散樹脂とバインダー樹脂との合計含有量(B)に対する重合性化合物の含有量(M)の質量比(M/B)が約0.9となるように調製し、実施例15、16は、それぞれ0.39、1.1となるように調製した。
[Production and Evaluation of Resin Film 1]
(1) Preparation of resin composition Each component as shown in Tables 2 and 3 described later was stirred and mixed to prepare a resin composition.
In addition, all the resin compositions of Examples 1-16 were prepared so that the solid content in a composition might be 27.5 mass%. In addition, the resin compositions of Examples 1 to 16 were prepared so that the pigment concentration with respect to the total solid content in the composition was 50% by mass except for Example 7, and 30% by mass for Example 7. Moreover, as for the resin composition of Examples 8-14 and Example 1A, 2A, all are the mass ratio (M / M) of content (M) of the polymeric compound with respect to the total content (B) of dispersion resin and binder resin. B) was prepared to be about 0.9, and Examples 15 and 16 were prepared to be 0.39 and 1.1, respectively.

(実施例1)
200gの容器(ディスポカップ)に、P−1(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を14g、PGMEAを10g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を21g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 1)
In a 200 g container (dispo cup), 14 g of P-1 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 10 g of PGMEA, 21 g of thruria 5320 (20% MIBK solution), 55 g of pigment dispersion A, In this order, the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例2)
スルーリア5320(20%MIBK溶液)をシリカ1(FF−D−B1、粒子分布極大値:300nm、公進ケミカル社製)(72wt%PGME溶液)に替えた以外は実施例1と同様に樹脂組成物を調製した。なお、PGMEAを調整することで所望の固形分濃度とした。
(Example 2)
Resin composition as in Example 1 except that Surria 5320 (20% MIBK solution) was changed to Silica 1 (FF-D-B1, particle distribution maximum: 300 nm, manufactured by Koshin Chemical Co., Ltd.) (72 wt% PGME solution). A product was prepared. In addition, it was set as the desired solid content density | concentration by adjusting PGMEA.

(実施例3)
スルーリア5320(20%MIBK溶液)をアクリル粒子2(MP−300、粒子分布極大値:100nm、綜研化学社製)に替えた以外は実施例1と同様に樹脂組成物を調製した。なお、PGMEAを調整することで所望の固形分濃度とした。
Example 3
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 1, except that through rear 5320 (20% MIBK solution) was replaced with acrylic particles 2 (MP-300, particle distribution maximum value: 100 nm, manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.). In addition, it was set as the desired solid content density | concentration by adjusting PGMEA.

(実施例4)
200gの容器(ディスポカップ)に、P−1を6g、PGMEAを35g、KF−6001(S−3)を4g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 4)
To a 200 g container (disposable cup), add 6 g of P-1, 35 g of PGMEA, 4 g of KF-6001 (S-3), 55 g of pigment dispersion A in this order, and stir with a stirrer for 30 minutes for resin composition A product was prepared.

(実施例5)
顔料分散液Aを顔料分散液Bに替えた以外は実施例1と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 5)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion B.

(実施例6)
200gの容器(ディスポカップ)に、P−4を6g、PGMEAを28g、乳酸エチルを7g、KF−6001(S−3)を4g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 6)
In a 200 g container (dispo cup), add 6 g of P-4, 28 g of PGMEA, 7 g of ethyl lactate, 4 g of KF-6001 (S-3), 55 g of pigment dispersion A in this order, and add 30 minutes with a stirrer. The resin composition was prepared by stirring.

(比較例1)
顔料分散液Aを顔料分散液Cに替えた以外は実施例1と同様にして、比較例1の樹脂組成物を調製した。
(Comparative Example 1)
A resin composition of Comparative Example 1 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion C.

(比較例2)
200gの容器(ディスポカップ)に、P−1(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を24g、PGMEAを21g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Comparative Example 2)
In a 200 g container (dispo cup), add 24 g of P-1 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 21 g of PGMEA, and 55 g of pigment dispersion A in this order, and stir with a stirrer for 30 minutes. A resin composition was prepared.

(実施例7)
200gの容器(ディスポカップ)に、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を30g、NMP(N−メチルピロリドン)を13g、P−3(20%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を7g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を17g、顔料分散液A(黒色顔料:8.2g、樹脂X−1:2.5g、PGMEA:13g、酢酸ブチル:9.1g)を33g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 7)
In a 200 g container (dispo cup), 30 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 13 g of NMP (N-methylpyrrolidone), P-3 (20% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether) 7 g of acetate) solution), 17 g of thruria 5320 (20% MIBK solution), pigment dispersion A (black pigment: 8.2 g, resin X-1: 2.5 g, PGMEA: 13 g, butyl acetate: 9.1 g) Were added in this order and stirred for 30 minutes with a stirrer to prepare a resin composition.

(実施例8)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を3g、PGMEAを22g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を14g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 8)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 3 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 22 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 14 g of (20% MIBK solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例9)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を3g、PGMEAを32g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、シリカ1(FF−D−B1、粒子分布極大値:300nm、公進ケミカル社製、72wt%PGME溶液、シリカは固形分中42wt%)を4g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
Example 9
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 3 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 32 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), silica 1 (FF-D-B1, particle distribution maximum: 300 nm, manufactured by Koshin Chemical Co., Ltd., 72 wt% PGME solution, silica is 42 wt% in the solid content) 4 g, pigment dispersion A 55 g in this order, add 30 in this order. The resin composition was prepared by stirring for a minute.

(実施例10)
スルーリア5320(20%MIBK溶液)をアクリル粒子1(MX−80H3wT、粒子分布極大値:800nm、綜研化学社製)(粉体)に替えた以外は実施例8と同様に樹脂組成物を調製した。なお、PGMEAを調整することで所望の固形分濃度とした。
(Example 10)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 8, except that through rear 5320 (20% MIBK solution) was replaced with acrylic particles 1 (MX-80H3wT, particle distribution maximum value: 800 nm, manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) (powder). . In addition, it was set as the desired solid content density | concentration by adjusting PGMEA.

(実施例11)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を3g、PGMEAを33g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、KF−6001(S−3)を3g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 11)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 3 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 33 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), KF- 3 g of 6001 (S-3) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例12)
顔料分散液Aを顔料分散液Bに替えた以外は実施例8と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 12)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 8 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion B.

(実施例13)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を2g、PGMEAを17g、K−2を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を13g、赤色分散液(国際公開第2015/029643号の段落<0409>の方法で調製)を12g、顔料分散液Aを50g(黒色顔料:12g、樹脂X−1:3.7g、PGMEA:21.3g、酢酸ブチル:13g)、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 13)
In a 200 g container (disposable cup), 5 g of M-1, 2 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 17 g of PGMEA, 1 g of K-2, Thruria 5320 (20% MIBK) Solution) 13 g, red dispersion (prepared by the method of paragraph <0409> of WO2015 / 029643) 12 g, pigment dispersion A 50 g (black pigment: 12 g, resin X-1: 3.7 g, PGMEA: 21.3 g, butyl acetate: 13 g) were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例14)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を2g、P−5(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を1g、PGMEAを34g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、KF−6001を3g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 14)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1 and 2 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), P-5 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution) 1 g, 34 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), 3 g of KF-6001 and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例15)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を3g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を9g、PGMEAを18g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を14g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 15)
In a 200 g container (dispo cup), 3 g of M-1, 9 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 18 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 14 g of (20% MIBK solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例16)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を1g、PGMEAを24g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を14g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 16)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 1 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 24 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 14 g of (20% MIBK solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例1A)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を1g、PGMEAを32g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、シリカ2(FF−B−B1、粒子分布極大値:30nm、公進ケミカル社製、60wt%PGME溶液、シリカは固形分中10wt%)を7g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
Example 1A
In a 200 g container (dispo cup), 4 g of M-1, 1 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 32 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), silica 2 (FF-B-B1, particle distribution maximum: 30 nm, manufactured by Koshin Chemical Co., Ltd., 60 wt% PGME solution, silica is 10 wt% in solid content) 7 g, pigment dispersion A 55 g in this order, 30 The resin composition was prepared by stirring for a minute.

(実施例2A)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を6g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を6g、PGMEAを31.7g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、シリカ1(FF−D−B1、粒子分布極大値:300nm、公進ケミカル社製、72wt%PGME溶液、シリカは固形分中42wt%)を0.3g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 2A)
In a 200 g container (dispo cup), 6 g of M-1, 6 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 31.7 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Add 0.3 g of silica 1 (FF-D-B1, particle distribution maximum: 300 nm, manufactured by Koshin Chemical Co., Ltd., 72 wt% PGME solution, silica is 42 wt% in the solid content), and 55 g of pigment dispersion A in this order. The resin composition was prepared by stirring with a stirrer for 30 minutes.

(2)樹脂膜の作製
ガラス基板(Corning 1737[商品名]、Corning社製)上に各実施例及び比較例の樹脂組成物をそれぞれスピン塗布した後、100℃のホットプレートを用いて2分間加熱処理(プリベーク)を行った。その後、所定のマスクを介して、上記で得られた塗膜に対して露光処理(露光装置UX3100−SR(ウシオ電機(株)製)、露光量1000mJ/cm)を実施した。
この後、基板を220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)し、樹脂膜付き基板を作製した。
(2) Production of Resin Film After spin coating each of the resin compositions of Examples and Comparative Examples on a glass substrate (Corning 1737 [trade name], manufactured by Corning), using a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes Heat treatment (pre-baking) was performed. Then, the exposure process (exposure apparatus UX3100-SR (made by USHIO INC.), Exposure amount 1000 mJ / cm < 2 >) was implemented with respect to the coating film obtained above through a predetermined mask.
Thereafter, the substrate was heat-treated (post-baked) for 300 seconds using a hot plate at 220 ° C. to produce a substrate with a resin film.

(3)評価
<接触角の評価>
作製した樹脂膜付き基板を用い、接触角の評価を行った。具体的には、基板上の樹脂膜上に純水を1滴滴下した後、5秒経過した際の静的接触角を自動接触角計((株)協和界面化学製 Drop Master 500[商品名])を用い、θ/2法にて自動測定を行った(測定温度:25℃)。同様の測定を5回行い、その平均値を純水に対する静的接触角とした。
結果を表2、3に示す。
(3) Evaluation <Evaluation of contact angle>
The contact angle was evaluated using the produced substrate with a resin film. Specifically, after dropping one drop of pure water onto the resin film on the substrate, the static contact angle when 5 seconds have elapsed is measured by an automatic contact angle meter (Drop Master 500 [trade name, manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd.] ]) Was automatically measured by the θ / 2 method (measurement temperature: 25 ° C.). The same measurement was performed 5 times, and the average value was defined as a static contact angle with respect to pure water.
The results are shown in Tables 2 and 3.

<反射率の評価>
作製した樹脂膜付き基板を用い、反射率の評価を行った。具体的には、作製した樹脂膜付き基板に対し、樹脂膜に入射角度5°で400〜700nmの光を入射し、その反射率を日立ハイテクノロジーズ社製分光器UV4100(商品名)により測定した。表中、反射率の数値が小さいほど、低反射性であることを示す。
結果を表2、3に示す。
<Evaluation of reflectance>
The reflectance was evaluated using the produced substrate with a resin film. Specifically, 400-700 nm light was incident on the resin film at an incident angle of 5 ° with respect to the produced substrate with resin film, and the reflectance was measured with a spectrometer UV4100 (trade name) manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation. . In the table, the smaller the value of reflectance, the lower the reflectivity.
The results are shown in Tables 2 and 3.

<表面粗さ(算術平均粗さRa)の評価>
作製した樹脂膜付き基板を用い、表面粗さ(算術平均粗さRa)の評価を行った。具体的には、BRUKER社製DektakXTを用い、基板上の樹脂膜1mmの距離における表面粗さを測定し(解像度:1μm/点)、算術平均粗さRaを求めた。
結果を表2、3に示す。
<Evaluation of surface roughness (arithmetic mean roughness Ra)>
The surface roughness (arithmetic average roughness Ra) was evaluated using the produced substrate with a resin film. Specifically, the surface roughness at a distance of 1 mm of the resin film on the substrate was measured using DektakXT manufactured by BRUKER (resolution: 1 μm / point), and the arithmetic average roughness Ra was determined.
The results are shown in Tables 2 and 3.

<耐湿性の評価>
作製した樹脂膜付き基板を用い、耐湿性の評価を行った。具体的には、高加速度寿命試験装置(エスペック社製EHS−221)を用いて温度85℃、湿度95%の条件下で750時間の高温高湿試験を実施した。
耐湿試験前後の樹脂膜付き基板について、波長400nmにおける反射率(反射率の測定には、日立ハイテクノロジーズ社製分光器「UV4100(商品名)」を用いた。)の変化率が絶対値で3%以上のものを「D」、同変化率が1%以上3%未満であるものを「C」、同変化率が0.5%以上1%未満のものを「B」、同変化率が0.5%未満のものを「A」として評価を行った。
なお、耐湿試験に拠る反射率の低下は、表面に膜面荒れのような現象が生じるためであり、耐湿試験による反射率の低下は好ましいものではない。
結果を表2、3に示す。
<Evaluation of moisture resistance>
Using the produced substrate with a resin film, the moisture resistance was evaluated. Specifically, a high-temperature and high-humidity test for 750 hours was performed under the conditions of a temperature of 85 ° C. and a humidity of 95% using a high acceleration life test apparatus (EHS-221 manufactured by Espec Corp.).
About the substrate with the resin film before and after the moisture resistance test, the change rate of the reflectance at a wavelength of 400 nm (the spectroscope “UV4100 (trade name)” manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation was used for the reflectance measurement) was 3 in absolute value. % Is “D”, the rate of change is 1% to less than 3%, “C”, the rate of change is 0.5% to less than 1%, “B”, the rate of change is Evaluation was made with “A” being less than 0.5%.
The decrease in reflectance due to the moisture resistance test is because a phenomenon such as film surface roughness occurs on the surface, and the decrease in reflectance due to the moisture resistance test is not preferable.
The results are shown in Tables 2 and 3.

<擦り試験評価>
作製した樹脂膜付き基板を用い、擦り試験評価を行った。具体的には、ラビング用布を1kgfの力で10回擦りつけ、樹脂膜表面に付いた傷を目視で観察した。同様の評価を3回行い、いずれの評価においても傷が確認できたものはC、3回の評価のうちいずれか1つの基板に傷が確認できたものをB、いずれの評価においても傷が確認できなかったものをAとした。
結果を表2、3に示す。
<Rubbing test evaluation>
Using the produced substrate with a resin film, a rubbing test was evaluated. Specifically, the rubbing cloth was rubbed 10 times with a force of 1 kgf, and scratches on the resin film surface were visually observed. The same evaluation was performed three times, and the scratches could be confirmed in any of the evaluations, C was the one in which the scratches were confirmed on any one of the three evaluations, and the scratches were observed in any of the evaluations. A that could not be confirmed was designated as A.
The results are shown in Tables 2 and 3.

また、実施例7については、接触角は110℃であり、反射率は2%(400nmでの反射率)、表面粗さは300Åであった。実施例7の耐湿性は「B」であり、擦り試験は「A」であった。   In Example 7, the contact angle was 110 ° C., the reflectance was 2% (the reflectance at 400 nm), and the surface roughness was 300 mm. The moisture resistance of Example 7 was “B”, and the rubbing test was “A”.

上記の結果から、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子と、バインダー樹脂と、を含み、かつ、表面粗さ(算術平均粗さRa)が100〜2000Åである樹脂膜は、低反射性に優れるとともに、耐湿性にも優れることが確認された。
特に、フィラーとして中空シリカを用いた場合(実施例1、5、7、8、12、13、15、16)、低反射性により優れることが確認された。
また、実施例1と実施例5との比較から、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子として、銀及び鉄を金属原子として含有する粒子を用いた場合には、耐湿性により優れることが確認された。
また、分散樹脂とバインダー樹脂との合計含有量(B)に対する重合性化合物の含有量(M)の質量比(M/B)が各々異なる実施例8(M/B:約0.9)、実施例15(M/B:0.39)、実施例16(M/B:1.1)を比較すると、M/Bが0.45〜1.5の範囲にある実施例8と実施例16において、より優れた耐擦り性が確認された。
From the above results, a resin film containing titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms and a binder resin, and having a surface roughness (arithmetic average roughness Ra) of 100 to 2000 mm, It was confirmed that it was excellent in low reflectivity and also in moisture resistance.
In particular, when hollow silica was used as the filler (Examples 1, 5, 7, 8, 12, 13, 15, 16), it was confirmed that the material was more excellent in low reflectivity.
Further, from the comparison between Example 1 and Example 5, when titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms were used, particles containing silver and iron as metal atoms were used due to moisture resistance. It was confirmed to be excellent.
Further, Example 8 (M / B: about 0.9) in which the mass ratio (M / B) of the content (M) of the polymerizable compound to the total content (B) of the dispersion resin and the binder resin is different, respectively. Comparing Example 15 (M / B: 0.39) and Example 16 (M / B: 1.1), Example 8 and Example in which M / B is in the range of 0.45 to 1.5 In 16, it was confirmed that the abrasion resistance was superior.

実施例16において、バインダー樹脂と重合性化合物の合計量は変更せずに、M/Bが1.6になるようにバインダー樹脂と重合性化合物の量を調整した以外は同様にして感光性樹脂組成物を調製した。実施例16と同様の評価を行なったところ、擦り試験の結果が「B」となった以外は実施例16と同様の結果が得られた。   In Example 16, the total amount of the binder resin and the polymerizable compound was not changed, and the photosensitive resin was similarly prepared except that the amount of the binder resin and the polymerizable compound was adjusted so that M / B was 1.6. A composition was prepared. When the same evaluation as in Example 16 was performed, the same result as in Example 16 was obtained except that the result of the rubbing test was “B”.

また、実施例9及び1Aを対比すると、添加したフィラーの極大分布における極大値が30nmである実施例1Aでは耐湿性が低くなることが確認された。また、実施例9及び10を対比すると、添加したフィラーの極大分布における極大値が800nmである実施例10では擦り試験による結果が低くなった。   Moreover, when Example 9 and 1A were contrasted, it was confirmed that Example 1A in which the maximum value in the maximum distribution of the added filler is 30 nm is low in moisture resistance. Further, when Examples 9 and 10 were compared, in Example 10 in which the maximum value in the maximum distribution of the added filler was 800 nm, the result of the rubbing test was low.

また、実施例9と実施例2Aとを対比すると、フィラー含有量が1.0質量%未満である実施例2Aでは、耐湿性が低くなった。   Moreover, when Example 9 and Example 2A were contrasted, in Example 2A whose filler content is less than 1.0 mass%, moisture resistance became low.

一方、比較例1の樹脂膜は、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子を含有しなかったため、実施例の樹脂膜と比較すると耐湿性が低かった。上述のとおり、(メタ)アクリルポリマー系等の樹脂膜中には微量のラジカル開始剤や未反応モノマー等が存在しており、湿熱環境下、熱、酸素そして水分により、これらがラジカルを発生させ、さらにポリマーの切断、切断時に発生したラジカルによる連鎖的な分解が生じる場合がある。実施例の樹脂膜は、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子が含まれており、この金属原子によって膜中に生じたラジカルがトラップされたことから、膜の変質が生じにくく耐湿性に優れたものと推測される。一方、比較例1の樹脂膜は、ラジカルによって表面変質が生じ、耐湿性が悪い結果となった。   On the other hand, since the resin film of Comparative Example 1 did not contain titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms, the moisture resistance was lower than that of the resin film of Examples. As described above, trace amounts of radical initiators and unreacted monomers are present in (meth) acrylic polymer-based resin films, and these generate radicals by heat, oxygen, and moisture in a humid heat environment. In addition, the polymer may be cleaved and chain decomposition may occur due to radicals generated during the cleaving. The resin film of the example contains titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms, and radicals generated in the film are trapped by the metal atoms, so that the film is hardly deteriorated. Presumably excellent in moisture resistance. On the other hand, the resin film of Comparative Example 1 was surface-affected by radicals, resulting in poor moisture resistance.

また、比較例2の樹脂膜は、表面に所定の凹凸構造を有していなかったため、低反射性、耐湿性のいずれについても所望の程度を満たさなかった。
また、凹凸の形成成分として含有されているフィラー(特にシリカ粒子)は、樹脂膜の表面に偏在して、チタン窒化物含有粒子と水分の接触を抑制する機能をも有していると推測している。比較例2ではこのフィラーを含まなかったことも耐湿性を低下させていると考えられる。
Moreover, since the resin film of Comparative Example 2 did not have a predetermined uneven structure on the surface, neither the low reflectivity nor the moisture resistance satisfied a desired level.
In addition, it is assumed that the filler (particularly silica particles) contained as an unevenness forming component is unevenly distributed on the surface of the resin film and has a function of suppressing contact between the titanium nitride-containing particles and moisture. ing. In Comparative Example 2, the fact that this filler was not included is considered to reduce the moisture resistance.

比較例1及び比較例2と実施例との比較から、実施例の樹脂膜は、低反射性と耐湿性を顕著に向上させていることが明らかである。   From the comparison between Comparative Example 1 and Comparative Example 2 and the Examples, it is clear that the resin films of the Examples have significantly improved low reflectivity and moisture resistance.

〔樹脂膜2の作製及び評価〕
(1)樹脂組成物の調製
後述する表4、5に示すような各成分を混合して樹脂組成物(実施例17〜22、実施例1B〜3B、比較例2、3)を調製した。なお、実施例17〜22の樹脂組成物は、いずれも組成物中の固形分が27.5質量%、組成物中の全固形分に対する顔料濃度が50質量%となるように調製した。また、実施例20〜22の樹脂組成物は、分散樹脂とバインダー樹脂との合計含有量(B)に対する重合性化合物の含有量(M)の質量比(M/B)が約0.9となるように調製した。また、表5中の実施例1B及び2Bの樹脂組成物は、それぞれ(M/B)が0.37、1.2である以外は、実施例20と同様の組成である。
[Production and Evaluation of Resin Film 2]
(1) Preparation of resin composition Each component as shown in Tables 4 and 5 described below was mixed to prepare resin compositions (Examples 17 to 22, Examples 1B to 3B, Comparative Examples 2 and 3). In addition, all the resin compositions of Examples 17-22 were prepared so that the solid content in the composition was 27.5% by mass and the pigment concentration with respect to the total solid content in the composition was 50% by mass. In addition, the resin compositions of Examples 20 to 22 had a mass ratio (M / B) of the content (M) of the polymerizable compound to the total content (B) of the dispersion resin and the binder resin of about 0.9. It was prepared as follows. Further, the resin compositions of Examples 1B and 2B in Table 5 have the same composition as Example 20, except that (M / B) is 0.37 and 1.2, respectively.

また、後述する表6に示すような各成分を混合して樹脂組成物(実施例1C〜6C)を調製した。なお、実施例1C〜6Cの組成は、分散液種が異なる以外は実施例20と同様の組成である。   Moreover, each component as shown in Table 6 mentioned later was mixed, and the resin composition (Example 1C-6C) was prepared. The compositions of Examples 1C to 6C are the same as those of Example 20 except that the dispersion liquid type is different.

(実施例17)
200gの容器(ディスポカップ)に、P−1(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を20g、PGMEAを20g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)5g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 17)
In a 200 g container (dispo cup), 20 g of P-1 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 20 g of PGMEA, MegaFac RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) 5 g and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例18)
メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液) 5gを、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液) 1.7gとメガファック RS−55(S−2)(100wt%溶液) 1gに替えた以外は実施例17と同様に樹脂組成物を調製した。なお、PGMEAを調整することで所望の固形分濃度とした。
(Example 18)
Megafuck RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) 5 g, Megafuck RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) 1.7 g and Megafuck RS-55 (S -2) (100 wt% solution) The resin composition was prepared similarly to Example 17 except having replaced with 1g. In addition, it was set as the desired solid content density | concentration by adjusting PGMEA.

(実施例19)
P−1(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液) 20gを、P−3(20%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)40gに替えた以外は実施例17と同様に樹脂組成物を調製した。なお、PGMEAを調整することで所望の固形分濃度とした。
(Example 19)
Resin composition as in Example 17 except that 20 g of P-1 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution) was replaced with 40 g of P-3 (20% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution). Was prepared. In addition, it was set as the desired solid content density | concentration by adjusting PGMEA.

(実施例20)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を4g、PGMEAを29g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)6g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 20)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 4 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 29 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Mega Fuck 6 g of RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例21)
メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)をメガファックRS−55(S−2)(100wt%溶液)に替え、さらに重合開始剤をIrgacureOXE02(BASFジャパン社製)からK−2に替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。なお、PGMEAを調整することで所望の固形分濃度とした。
(Example 21)
Megafuck RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) is replaced with Megafuck RS-55 (S-2) (100 wt% solution), and the polymerization initiator is Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan). A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that K-2 was used. In addition, it was set as the desired solid content density | concentration by adjusting PGMEA.

(実施例22)
重合性化合物M−1 5gを、重合性化合物M−1 3gとM−2 2gに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 22)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that 5 g of the polymerizable compound M-1 was changed to 3 g of the polymerizable compound M-1 and 2 g of M-2.

(比較例2)
比較例2は、上記表2に記載した比較例2と同じ組成のものを用いた。
(Comparative Example 2)
Comparative Example 2 used the same composition as Comparative Example 2 described in Table 2 above.

(比較例3)
顔料分散液Aを顔料分散液Cに替えた以外は実施例17と同様にして、比較例3の樹脂組成物を調製した。
(Comparative Example 3)
A resin composition of Comparative Example 3 was prepared in the same manner as in Example 17 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion C.

(実施例1B)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を3g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を10g、PGMEAを25g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)6g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した(M/B=0.37)。
(Example 1B)
In a 200 g container (dispo cup), 3 g of M-1, 10 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 25 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Mega Fuck RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) 6 g, pigment dispersion A 55 g were added in this order, and stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition (M / B = 0.37). ).

(実施例2B)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を6g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を2g、PGMEAを30g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)を6g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した(M/B=1.2)。
(Example 2B)
In a 200 g container (dispo cup), 6 g of M-1, 2 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 30 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Mega Fuck 6 g of RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition (M / B = 1. 2).

(実施例3B)
分散液Aから分散液Bに変えた以外は実施例20と同様にして、実施例3Bの樹脂組成物を調製した。
(Example 3B)
A resin composition of Example 3B was prepared in the same manner as in Example 20 except that the dispersion A was changed to the dispersion B.

(実施例1C)
顔料分散液Aを、顔料分散液Eに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 1C)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion E.

(実施例2C)
顔料分散液Aを、顔料分散液Fに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 2C)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion F.

(実施例3C)
顔料分散液Aを、顔料分散液Gに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 3C)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion G.

(実施例4C)
顔料分散液Aを、顔料分散液Hに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 4C)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion H.

(実施例5C)
顔料分散液Aを、顔料分散液Iに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 5C)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion I.

(実施例6C)
顔料分散液Aを、顔料分散液Jに替えた以外は実施例20と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 6C)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion J.

(2)樹脂膜の作製
ガラス基板(Corning 1737[商品名]、Corning社製)上に各実施例及び比較例の樹脂組成物をそれぞれスピン塗布した後、100℃のホットプレートを用いて2分間加熱処理(プリベーク)を行った。その後、所定のマスクを介して、上記で得られた塗膜に対して露光処理(露光装置UX3100−SR(ウシオ電機(株)製)、露光量1000mJ/cm)を実施した。
この後、基板を220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)し、樹脂膜付き基板を作製した。
(2) Production of Resin Film After spin coating each of the resin compositions of Examples and Comparative Examples on a glass substrate (Corning 1737 [trade name], manufactured by Corning), using a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes Heat treatment (pre-baking) was performed. Then, the exposure process (exposure apparatus UX3100-SR (made by USHIO INC.), Exposure amount 1000 mJ / cm < 2 >) was implemented with respect to the coating film obtained above through a predetermined mask.
Thereafter, the substrate was heat-treated (post-baked) for 300 seconds using a hot plate at 220 ° C. to produce a substrate with a resin film.

(3)評価
作製した樹脂膜付き基板を用い、上記樹脂膜1と同様の方法により、樹脂膜2についても、接触角、反射率、耐湿性、擦り試験についての各種評価を行った。結果を表4、5、6に示す。
(3) Evaluation Using the produced substrate with a resin film, various evaluations on the contact angle, the reflectance, the moisture resistance, and the rubbing test were performed on the resin film 2 in the same manner as the resin film 1. The results are shown in Tables 4, 5, and 6.

上述の実施例の樹脂膜は、いずれも、基板上に、黒色顔料を含む顔料層と、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層とを隣接して有しており、低反射性に優れるとともに、耐湿性にも優れることが確認された。   Each of the resin films of the above-described embodiments has a pigment layer containing a black pigment and a surface layer containing a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom adjacent to each other on a substrate. It was confirmed that it was excellent in low reflectivity and also in moisture resistance.

また、分散樹脂とバインダー樹脂との合計含有量(B)に対する重合性化合物の含有量(M)の質量比(M/B)が各々異なる実施例20(M/B:約0.9)、実施例1B(M/B:0.37)、実施例2B(M/B:1.2)を比較すると、M/Bが0.45〜1.5の範囲にある実施例20と実施例2Bにおいて、より優れた耐擦り性が確認された。   Further, Example 20 (M / B: about 0.9) in which the mass ratio (M / B) of the content (M) of the polymerizable compound to the total content (B) of the dispersion resin and the binder resin is different, respectively. Comparing Example 1B (M / B: 0.37) and Example 2B (M / B: 1.2), Example 20 and Example in which M / B is in the range of 0.45 to 1.5 In 2B, more excellent abrasion resistance was confirmed.

実施例2Bにおいて、バインダー樹脂と重合性化合物の合計量は変更せずに、M/Bが1.6になるようにバインダー樹脂と重合性化合物の量を調整した以外は同様にして感光性樹脂組成物を調製した。実施例2Bと同様の評価を行なったところ、擦り試験の結果がBとなった以外は実施例2Bと同様の結果が得られた。
また、実施例20と実施例3Bとの比較から、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子として、銀及び鉄を金属原子として含有する粒子を用いた場合には、耐湿性により優れることが確認された。
In Example 2B, the total amount of the binder resin and the polymerizable compound was not changed, and the photosensitive resin was similarly prepared except that the amount of the binder resin and the polymerizable compound was adjusted so that M / B was 1.6. A composition was prepared. When the same evaluation as in Example 2B was performed, the same result as in Example 2B was obtained except that the result of the rubbing test was B.
Further, from comparison between Example 20 and Example 3B, when particles containing silver and iron as metal atoms were used as titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms, moisture resistance It was confirmed to be excellent.

比較例2の樹脂膜は、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層が形成されていないため、低反射性及び耐湿性のいずれもが所望の程度を満たさなかった。
一方、比較例3の樹脂膜も、基板上に、黒色顔料を含む顔料層と、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層とを隣接して有していたが、チタン窒化物含有粒子がチタン原子以外の金属原子を含有していなかったため、耐湿性が悪かった。
更に、比較例2及び比較例3と実施例との比較から、実施例の樹脂膜は、低反射性と耐湿性を顕著に向上させていることが明らかである。
In the resin film of Comparative Example 2, since a surface layer containing a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom was not formed, neither the low reflectivity nor the moisture resistance satisfied a desired level.
On the other hand, the resin film of Comparative Example 3 also had a pigment layer containing a black pigment and a surface layer containing a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom adjacent to each other on the substrate. Since the nitride-containing particles did not contain metal atoms other than titanium atoms, the moisture resistance was poor.
Furthermore, it is clear from the comparison between the comparative example 2 and the comparative example 3 and the example that the resin film of the example significantly improves the low reflectivity and the moisture resistance.

実施例1C〜6Cについても、実施例20と同様に良好な低反射性及び耐湿性が得られた。
また、実施例3Cの光学濃度がやや下がり、実施例5C及び実施例6Cでさらに光学濃度が下がることが分かったが、実用上問題なかった。
Also in Examples 1C to 6C, good low reflectivity and moisture resistance were obtained as in Example 20.
Moreover, although it turned out that the optical density of Example 3C falls a little and optical density falls further in Example 5C and Example 6C, there was no problem practically.

〔樹脂膜3の作製及び評価〕
(1)樹脂組成物の調製
後述する表7、8に示すような各成分を混合して樹脂組成物(実施例23〜37、実施例1D、2D、比較例4、5、6)を調製した。なお、実施例23〜37、比較例4、5、6の樹脂組成物は、いずれも組成物中の固形分が27.5質量%であり、分散樹脂とバインダー樹脂との合計含有量(B)に対する重合性化合物の含有量(M)の質量比(M/B)が約0.9となるように調製した。
また、実施例23〜37の樹脂組成物は、実施例24及び27の樹脂組成物以外は組成物中の全固形分に対する顔料濃度を50質量%とした。実施例24及び27については、組成物中の全固形分に対する顔料濃度が40質量%となるように調製した。
[Production and Evaluation of Resin Film 3]
(1) Preparation of Resin Composition Each component as shown in Tables 7 and 8 described below is mixed to prepare resin compositions (Examples 23 to 37, Examples 1D and 2D, Comparative Examples 4, 5, and 6). did. In addition, as for the resin composition of Examples 23-37 and Comparative Examples 4, 5, and 6, all have a solid content in the composition of 27.5% by mass, and the total content of dispersed resin and binder resin (B ) And the mass ratio (M / B) of the polymerizable compound content (M) to about 0.9.
Moreover, the resin composition of Examples 23-37 made the pigment concentration with respect to the total solid in a composition 50 mass% except the resin composition of Examples 24 and 27. About Example 24 and 27, it prepared so that the pigment concentration with respect to the total solid in a composition might be 40 mass%.

なお、樹脂膜3は、上述した樹脂膜1又は樹脂膜2を露光現像したパターン状の樹脂膜に相当する。   The resin film 3 corresponds to a patterned resin film obtained by exposing and developing the resin film 1 or the resin film 2 described above.

(実施例23)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を2g、PGMEAを15g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を21g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 23)
In a 200 g container (dispo cup), 4 g of M-1, 2 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 15 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 21 g of (20% MIBK solution), 2 g of F-1 (1% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例24)
重合開始剤K−1を、重合開始剤K−2に替えた以外は実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 24)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 23 except that the polymerization initiator K-1 was changed to the polymerization initiator K-2.

(実施例25)
重合開始剤K−1を、重合開始剤K−3に替えた以外は実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 25)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 23 except that the polymerization initiator K-1 was changed to the polymerization initiator K-3.

(実施例26)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を1g、PGMEAを16g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を20.7g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、LS−2940を0.3g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 26)
In a 200 g container (dispo cup), 4 g of M-1, 1 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 16 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 20.7 g of (20% MIBK solution), 2 g of F-1 (1% PGMEA solution), 0.3 g of LS-2940, and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes. A composition was prepared.

(実施例27)
重合性化合物M−1を、重合性化合物M−2に替えた以外は実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 27)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 23 except that the polymerizable compound M-1 was changed to the polymerizable compound M-2.

(実施例28)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を2g、PGMEAを15g、ハイソルブBDMを2g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を21g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 28)
In a 200 g container (dispo cup), 4 g of M-1, 2 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 15 g of PGMEA, 2 g of Highsolve BDM, Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan) 1 g, 21 g of thruria 5320 (20% MIBK solution), 2 g of F-1 (1% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition. .

(実施例29)
重合開始剤K−1 1gを、重合開始剤K−4 0.8gとK−5 0.2gに替えた以外は実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 29)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 23 except that 1 g of the polymerization initiator K-1 was changed to 0.8 g of the polymerization initiator K-4 and 0.2 g of K-5.

(実施例30)
重合開始剤K−1を重合開始剤K−3に替え、さらに重合性化合物M−1 4gを、重合性化合物M−1 2gとM−2 2gに替えた以外は実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 30)
Resin in the same manner as in Example 23 except that the polymerization initiator K-1 was changed to the polymerization initiator K-3, and the polymerizable compound M-1 4 g was changed to the polymerizable compounds M-12g and M-22g. A composition was prepared.

(実施例31)
重合開始剤K−1を重合開始剤K−3に替え、PGMEA 15gをPGMEA 7gとPGME 8gに替え、さらに重合性化合物M−1 4gを重合性化合物M−1 2gとM−3 2gに替えた以外は、実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 31)
Polymerization initiator K-1 is replaced with polymerization initiator K-3, PGMEA 15 g is replaced with PGMEA 7 g and PGME 8 g, and polymerizable compound M-1 4 g is replaced with polymerizable compounds M-1 2 g and M-3 2 g. A resin composition was prepared in the same manner as in Example 23 except that.

(実施例32)
顔料分散液Aを顔料分散液Dに替え、重合開始剤K−1を重合開始剤K−2に替え、さらに重合性化合物M−1を、重合性化合物M−2に替えた以外は実施例23と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 32)
Example except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion D, the polymerization initiator K-1 was changed to the polymerization initiator K-2, and the polymerizable compound M-1 was changed to the polymerizable compound M-2. A resin composition was prepared in the same manner as in No. 23.

(実施例33)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を7g、PGMEAを20g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を21g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、顔料分散液Aを44g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 33)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 7 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 20 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 21 g of (20% MIBK solution), 2 g of F-1 (1% PGMEA solution) and 44 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred for 30 minutes with a stirrer to prepare a resin composition.

(実施例34)
200gの容器(ディスポカップ)にM−1を5g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を4g、K−2を1g、PGMEAを27g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)6g、顔料分散液Aを55gをこの順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 34)
In a 200 g container (dispo cup), 5 g of M-1, 4 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 1 g of K-2, 27 g of PGMEA, F-1 (1% PGMEA) 2 g of the solution), 6 g of Megafac RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) and 55 g of the pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(実施例1D)
200gの容器(ディスポカップ)にM−1を6g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を6g、K−2を1.5g、PGMEAを29g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)0.5g、顔料分散液Aを55gをこの順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した(組成物全固形分に対するS−1の含有量:0.5質量%)。
(Example 1D)
In a 200 g container (disposable cup), 6 g of M-1, 6 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 1.5 g of K-2, 29 g of PGMEA, F-1 (1 % PGMEA solution) 2 g, MegaFac RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) 0.5 g, and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes. (Content of S-1 with respect to the total solid content of the composition: 0.5% by mass).

(実施例2D)
200gの容器(ディスポカップ)にM−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を1g、K−2を1g、PGMEAを22g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液)15g、顔料分散液Aを55gをこの順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した(組成物全固形分に対するS−1の含有量:17質量%)。
(Example 2D)
In a 200 g container (dispo cup), 4 g of M-1, 1 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 1 g of K-2, 22 g of PGMEA, F-1 (1% PGMEA) 2 g of the solution), 15 g of MegaFac RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution) and 55 g of the pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition ( S-1 content based on the total solid content of the composition: 17% by mass).

(実施例35)
重合開始剤K−2を重合開始剤K−3に替えた以外は、実施例34と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 35)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 34 except that the polymerization initiator K-2 was changed to the polymerization initiator K-3.

(実施例36)
200gの容器(ディスポカップ)にM−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を3g、K−2を1g、PGMEAを27g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、LS−2940を1g、顔料分散液Aを55g、メガファックRS−72−K(S−1)(30wt%PGMEA溶液):6gをこの順に加え、スターラーで30分撹拌、混合して樹脂組成物を調製した。
(Example 36)
In a 200 g container (disposable cup), 4 g of M-1, 3 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 1 g of K-2, 27 g of PGMEA, F-1 (1% PGMEA) 2 g of solution), 1 g of LS-2940, 55 g of pigment dispersion A, and MegaFac RS-72-K (S-1) (30 wt% PGMEA solution): 6 g in this order, and stirred and mixed with a stirrer for 30 minutes Thus, a resin composition was prepared.

(実施例37)
重合開始剤K−2を重合開始剤K−1に替え、さらに重合性化合物M−1を、重合性化合物M−2に替えた以外は実施例34と同様に樹脂組成物を調製した。
(Example 37)
A resin composition was prepared in the same manner as in Example 34 except that the polymerization initiator K-2 was changed to the polymerization initiator K-1, and the polymerizable compound M-1 was changed to the polymerizable compound M-2.

(比較例4)
200gの容器(ディスポカップ)に、M−1を4g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を1g、PGMEAを16g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、スルーリア5320(20%MIBK溶液)を21g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、顔料分散液Cを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Comparative Example 4)
In a 200 g container (dispo cup), 4 g of M-1, 1 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 16 g of PGMEA, 1 g of Irgacure OXE02 (manufactured by BASF Japan), Thruria 5320 21 g of (20% MIBK solution), 2 g of F-1 (1% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion C were added in this order, and the mixture was stirred for 30 minutes with a stirrer to prepare a resin composition.

(比較例5)
200gの容器(ディスポカップ)にM−1を6g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を6g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、PGMEAを30g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、顔料分散液Cを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Comparative Example 5)
In a 200 g container (disposable cup), 6 g of M-1, 6 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 1 g of Irgacure OXE02 (BASF Japan), 30 g of PGMEA, F-1 2 g of (1% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion C were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(比較例6)
実施例34の調製において、顔料分散液Aを顔料分散液Cに替えた以外は同様の方法により比較例6の樹脂組成物を調製した。
(2)樹脂膜の作製と評価
<密着性の評価>
ガラス基板(Corning 1737[商品名]、Corning社製)上に各実施例及び比較例の樹脂組成物をそれぞれスピン塗布した後、100℃のホットプレートを用いて2分間加熱処理(プリベーク)を行った。なお、このときのOD値が2となるような膜厚で以下の評価を行った。
プリベーク後の基板に対し、所定のマスク(150μm□型アイランドパターン)を介して、プロキシ露光(露光装置UX3100−SR(ウシオ電機(株)製)、露光量1000mJ/cm)を行った。
この後、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)2.38wt%の現像液を用いて、得られた基板を10〜60秒(パターン露光をした場合に解像するのに必要な時間)パドル現像した。水洗して乾燥後、基板を220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)し、パターンを有する基板を作製した。
得られたアイランドパターンに対し、JIS−K5400に準拠して、テーププル試験を行った。パターンが全部残った場合をA、パターンの一部に剥がれが生じた場合はB、パターンが全て剥がれた場合をCとした。
結果を表7、8に示す。
(Comparative Example 6)
A resin composition of Comparative Example 6 was prepared in the same manner as in Example 34 except that the pigment dispersion A was changed to the pigment dispersion C.
(2) Production and evaluation of resin film <Evaluation of adhesion>
Each of the resin compositions of Examples and Comparative Examples was spin-coated on a glass substrate (Corning 1737 [trade name], manufactured by Corning), and then heat-treated (prebaked) for 2 minutes using a hot plate at 100 ° C. It was. In addition, the following evaluation was performed with the film thickness that the OD value at this time was 2.
Proxy exposure (exposure apparatus UX3100-SR (manufactured by Ushio Electric Co., Ltd.), exposure amount 1000 mJ / cm 2 ) was performed on the substrate after pre-baking through a predetermined mask (150 μm □ type island pattern).
Thereafter, using a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) 2.38 wt% developer, the obtained substrate was subjected to paddle development for 10 to 60 seconds (the time required for resolution when pattern exposure was performed). . After washing with water and drying, the substrate was heat-treated (post-baked) for 300 seconds using a 220 ° C. hot plate to produce a substrate having a pattern.
The obtained island pattern was subjected to a tape pull test in accordance with JIS-K5400. The case where the entire pattern was left was A, the case where a part of the pattern was peeled off was B, and the case where the whole pattern was peeled was C.
The results are shown in Tables 7 and 8.

<解像性の評価>
ガラス基板(Corning 1737[商品名]、Corning社製)上に各実施例及び比較例の樹脂組成物をそれぞれスピン塗布した後、100℃のホットプレートを用いて2分間加熱処理(プリベーク)を行った。
その後、プレベーク後の基板に対し、種々のラインアンドスペース線幅を有する所定のマスクを介して、プロキシ露光(露光装置UX3100−SR(ウシオ電機(株)製)、露光量500mJ/cm)を行った。
この後、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)2.38wt%の現像液を用いて、得られた基板を10〜60秒(パターン露光をした場合に解像するのに必要な時間)パドル現像した。水洗して乾燥後、基板を220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)し、パターンを有する基板を作製した。
得られたパターンを光学顕微鏡で観察し、ラインアンドスペースパターンが剥がれていない最小の線幅(μm)を解像性の数値とした。
例えば、100μmのラインアンドスペースが解像しており、かつ剥がれが生じていない場合、100μmの解像性を有すると判断する。
結果を表7、8に示す。
なお、実施例23〜33の各樹脂膜については、露光処理前にその表面粗さ(算術平均Ra)が100〜2000Åであることを確認している。表面粗さ(算術平均Ra)の測定方法は上述の通りである。また、実施例34〜35は、基板上に、黒色顔料を含む顔料層と、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層とが隣接して形成されていることを確認している。
<Evaluation of resolution>
Each of the resin compositions of Examples and Comparative Examples was spin-coated on a glass substrate (Corning 1737 [trade name], manufactured by Corning), and then heat-treated (prebaked) for 2 minutes using a hot plate at 100 ° C. It was.
Thereafter, proxy exposure (exposure apparatus UX3100-SR (manufactured by Ushio Electric Co., Ltd.), exposure amount 500 mJ / cm 2 ) is applied to the substrate after pre-baking through predetermined masks having various line and space line widths. went.
Thereafter, using a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) 2.38 wt% developer, the obtained substrate was subjected to paddle development for 10 to 60 seconds (the time required for resolution when pattern exposure was performed). . After washing with water and drying, the substrate was heat-treated (post-baked) for 300 seconds using a 220 ° C. hot plate to produce a substrate having a pattern.
The obtained pattern was observed with an optical microscope, and the minimum line width (μm) where the line and space pattern was not peeled was taken as the resolution value.
For example, when a line and space of 100 μm is resolved and peeling does not occur, it is determined that the resolution is 100 μm.
The results are shown in Tables 7 and 8.
In addition, about each resin film of Examples 23-33, it has confirmed that the surface roughness (arithmetic mean Ra) is 100-2000 mm before an exposure process. The method for measuring the surface roughness (arithmetic mean Ra) is as described above. In Examples 34 to 35, it was confirmed that a pigment layer containing a black pigment and a surface layer containing a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom were formed adjacent to each other on the substrate. ing.

また、実施例33ついては、反射率は2%(400nmでの反射率)であり、耐湿性は「A」であり、密着性は「A」であった。   Further, in Example 33, the reflectance was 2% (the reflectance at 400 nm), the moisture resistance was “A”, and the adhesion was “A”.

実施例の樹脂膜は、いずれも低反射性に優れ、耐湿性にも優れており、更に密着性についても良好な結果が得られた。特に、実施例34〜35の樹脂膜は解像性にも優れていることが確認された。
一方、比較例4、5、6の結果から、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子を含有しない場合には、耐湿性及び密着性に劣ることが確認された。また、例えば、実施例34と比較例6との対比により、チタン原子以外の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子を含有しない場合には解像性が劣ることが分かった。比較例4では、フィラーの添加によりパターンの側壁にも凹凸ができ、これによっても解像性が低下していると推測される。
また、実施例34〜37の対比により、重合開始剤としてK−2又はK−3を用いることで、解像性をより向上できることがわかった。
また、実施例34、実施例1D及び2Dの対比により、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を有する樹脂を組成物全固形分に対して1〜15質量%含有することで、耐湿性と解像性が良好に両立できることが確認された。
All of the resin films of the examples were excellent in low reflectivity, excellent in moisture resistance, and good results were obtained with respect to adhesion. In particular, it was confirmed that the resin films of Examples 34 to 35 were excellent in resolution.
On the other hand, from the results of Comparative Examples 4, 5, and 6, it was confirmed that when the titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms were not contained, the moisture resistance and adhesion were inferior. Further, for example, by comparing Example 34 with Comparative Example 6, it was found that the resolution was poor when no titanium nitride-containing particles containing metal atoms other than titanium atoms were contained. In Comparative Example 4, it is presumed that the addition of the filler also causes unevenness on the side wall of the pattern, which also reduces the resolution.
Moreover, it turned out by the comparison of Examples 34-37 that resolution can be improved more by using K-2 or K-3 as a polymerization initiator.
Further, by comparing Example 34 and Examples 1D and 2D with a resin having at least one of a fluorine atom and a silicon atom in an amount of 1 to 15% by mass based on the total solid content of the composition, moisture resistance and resolution are achieved. It was confirmed that the properties can be compatible with each other.

〔樹脂膜4の作製及び評価〕
(実施例38)
ガラス基板(Corning 1737[商品名]、Corning社製)上に実施例34の樹脂組成物(顔料濃度50%)をスピン塗布した後、100℃のホットプレートを用いて2分間加熱処理(プリベーク)を行った。その後、所定のマスクを介して、上記で得られた塗膜に対して露光処理(露光装置UX3100−SR(ウシオ電機(株)製)、露光量1000mJ/cm)を実施した。
この後、基板を220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)し、顔料層Y1を作製した。OD値が1.0となる膜厚で塗布を行った。
更に、得られた顔料層Y1上に、実施例33の樹脂組成物(顔料濃度40%)をスピン塗布した後、100℃のホットプレートを用いて2分間加熱処理(プリベーク)を行った。その後、所定のマスクを介して、上記で得られた塗膜に対して露光処理(露光装置UX3100−SR(ウシオ電機(株)製)、露光量1000mJ/cm)を実施した。
この後、基板を220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)を実施して顔料層Y2を形成し、顔料層Y1と顔料層Y2とを隣接して有する樹脂膜を得た。なお、顔料層Y2単独でのODが0.5になる膜厚で塗布を行った。
[Production and Evaluation of Resin Film 4]
(Example 38)
After spin-coating the resin composition of Example 34 (pigment concentration 50%) on a glass substrate (Corning 1737 [trade name], manufactured by Corning), heat treatment (prebaking) for 2 minutes using a hot plate at 100 ° C. Went. Then, the exposure process (exposure apparatus UX3100-SR (made by USHIO INC.), Exposure amount 1000 mJ / cm < 2 >) was implemented with respect to the coating film obtained above through a predetermined mask.
Thereafter, the substrate was heat-treated (post-baked) for 300 seconds using a 220 ° C. hot plate to prepare a pigment layer Y1. Application was performed with a film thickness at which the OD value was 1.0.
Further, the resin composition of Example 33 (pigment concentration 40%) was spin-coated on the obtained pigment layer Y1, and then heat-treated (prebaked) for 2 minutes using a 100 ° C. hot plate. Then, the exposure process (exposure apparatus UX3100-SR (made by USHIO INC.), Exposure amount 1000 mJ / cm < 2 >) was implemented with respect to the coating film obtained above through a predetermined mask.
Thereafter, the substrate was subjected to a heat treatment (post-bake) for 300 seconds using a 220 ° C. hot plate to form the pigment layer Y2, and a resin film having the pigment layer Y1 and the pigment layer Y2 adjacent to each other was obtained. . In addition, it apply | coated with the film thickness from which OD in the pigment layer Y2 single becomes 0.5.

OD値は、下記の方法により求めた値である。
厚み0.7mmの無アルカリガラスの上に所望の膜厚の顔料層を形成し、顕微分光器(MCPD2000;大塚電子製)を用いて入射光及び透過光それぞれの強度を測定し、下記式により算出した。
OD値=log10(I/I)
:入射光強度
I:透過光強度
The OD value is a value obtained by the following method.
A pigment layer having a desired film thickness is formed on an alkali-free glass having a thickness of 0.7 mm, and the intensities of incident light and transmitted light are measured using a microspectroscope (MCPD2000; manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). Calculated.
OD value = log 10 (I 0 / I)
I 0 : Incident light intensity I: Transmitted light intensity

作製した樹脂膜付き基板に対し、樹脂膜に入射角度5°で400〜700nmの光を入射し、その反射率を日立ハイテクノロジーズ社製分光器UV4100(商品名)により測定した。
このときの400nmにおける反射率は3.0であった。
また、この樹脂膜付き基板に対し、高加速度寿命試験装置(エスペック社製EHS−221)を用いて温度85℃、湿度95%の条件下で750時間の高温高湿試験を実施した。
耐湿試験前後の樹脂膜付き基板の波長400nmにおける透過率を、日立ハイテクノロジーズ社製分光器UV4100(商品名)により測定したところ、その変化率ΔT(%)は1%未満であった。
With respect to the produced substrate with resin film, light of 400 to 700 nm was incident on the resin film at an incident angle of 5 °, and the reflectance was measured with a spectrometer UV4100 (trade name) manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation.
At this time, the reflectance at 400 nm was 3.0.
Further, a high-temperature and high-humidity test for 750 hours was performed on the substrate with the resin film using a high acceleration life test apparatus (EHS-221 manufactured by Espec) at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 95%.
When the transmittance at a wavelength of 400 nm of the substrate with the resin film before and after the moisture resistance test was measured with a spectrometer UV4100 (trade name) manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, the change rate ΔT (%) was less than 1%.

(実施例39)
実施例38の樹脂膜付き基板の作製方法に準じ、顔料層Y1と顔料層Y2とを隣接して有する樹脂膜付基板を作製した。実施例39では、顔料層Y1をOD値が0.5となる膜厚で塗布形成し、次いでその上層に顔料層Y2を、顔料層Y2単独でのODが1.0になる膜厚で塗布形成した。
作製した樹脂膜付き基板に対し、実施例38とは逆の方向である基板面側から、樹脂膜に入射角度5°で400〜700nmの光を入射し、その反射率を測定した。
このときの400nmにおける反射率は2.5%であった。
また、この樹脂膜付き基板に対し、高加速度寿命試験装置(エスペック社製EHS−221)を用いて温度85℃、湿度95%の条件下で750時間の高温高湿試験を実施した。
耐湿試験前後の樹脂膜付き基板の波長400nmにおける透過率を、測定したところ、その変化率ΔT(%)は0.5%未満であった。
(Example 39)
In accordance with the method for producing a substrate with a resin film of Example 38, a substrate with a resin film having a pigment layer Y1 and a pigment layer Y2 adjacent to each other was produced. In Example 39, the pigment layer Y1 was applied and formed with a film thickness such that the OD value was 0.5, and then the pigment layer Y2 was applied thereon so that the OD of the pigment layer Y2 alone was 1.0. Formed.
With respect to the produced substrate with a resin film, light of 400 to 700 nm was incident on the resin film at an incident angle of 5 ° from the side of the substrate surface opposite to Example 38, and the reflectance was measured.
At this time, the reflectance at 400 nm was 2.5%.
Further, a high-temperature and high-humidity test for 750 hours was performed on the substrate with the resin film using a high acceleration life test apparatus (EHS-221 manufactured by Espec) at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 95%.
When the transmittance at a wavelength of 400 nm of the substrate with the resin film before and after the moisture resistance test was measured, the change rate ΔT (%) was less than 0.5%.

実施例38、39に示す通り、2種以上の金属原子を含有するチタン窒化物含有粒子を含み、層中における顔料濃度の異なる顔料層を複層構造とした場合にも、優れた低反射性と耐湿性が発現されることが確認された。   As shown in Examples 38 and 39, excellent low reflectivity even when the titanium nitride-containing particles containing two or more kinds of metal atoms are included and the pigment layers having different pigment concentrations in the layer have a multilayer structure. It was confirmed that moisture resistance was exhibited.

(実施例40)
200gの容器(ディスポカップ)にM−1を6g、P−2(40%PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液)を6g、IrgacureOXE02(BASFジャパン社製)を1g、PGMEAを30g、F−1(1%PGMEA溶液)を2g、顔料分散液Aを55g、この順に加え、スターラーで30分撹拌して樹脂組成物を調製した。
(Example 40)
In a 200 g container (disposable cup), 6 g of M-1, 6 g of P-2 (40% PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solution), 1 g of Irgacure OXE02 (BASF Japan), 30 g of PGMEA, F-1 2 g of (1% PGMEA solution) and 55 g of pigment dispersion A were added in this order, and the mixture was stirred with a stirrer for 30 minutes to prepare a resin composition.

(積層膜の作製)
実施例38の樹脂膜付き基板の作製方法に準じ、顔料層Y1と顔料層Y2とを隣接して有する樹脂膜付基板を作製した。
本実施例では、上記で調製した樹脂組成物を用い、ガラス基板上に順にOD1.0(顔料層Y1)、OD0.5(顔料層Y2)となるように、塗布膜を積層した。
作製した樹脂膜付き基板に対し、樹脂膜に入射角度5°で400〜700nmの光を入射し、その反射率を日立ハイテクノロジーズ社製分光器UV4100(商品名)により測定した。このときの400nmにおける反射率は4.0%であった。
また、この樹脂膜付き基板に対し、高加速度寿命試験装置(エスペック社製EHS−221)を用いて温度85℃、湿度95%の条件下で750時間の高温高湿試験を実施したところ、その変化率ΔT(%)は1%未満であった。
(Production of laminated film)
In accordance with the method for producing a substrate with a resin film of Example 38, a substrate with a resin film having a pigment layer Y1 and a pigment layer Y2 adjacent to each other was produced.
In the present example, the resin composition prepared above was used, and a coating film was laminated on a glass substrate so as to be OD1.0 (pigment layer Y1) and OD0.5 (pigment layer Y2) in this order.
With respect to the produced substrate with resin film, light of 400 to 700 nm was incident on the resin film at an incident angle of 5 °, and the reflectance was measured with a spectrometer UV4100 (trade name) manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation. At this time, the reflectance at 400 nm was 4.0%.
In addition, a high-temperature and high-humidity test for 750 hours was performed on the substrate with a resin film using a high acceleration life test apparatus (EHS-221 manufactured by Espec Corp.) at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 95%. The change rate ΔT (%) was less than 1%.

(実施例41)
実施例38の樹脂膜付き基板の作製方法に準じ、顔料層Y1と顔料層Y2とを隣接して有する樹脂膜付基板を作製した。
本実施例では、実施例40で調製した樹脂組成物を用い、ガラス基板上に順にOD0.5(顔料層Y1)、OD1.0(顔料層Y2)となるように、塗布膜を積層した。
作製した樹脂膜付き基板に対し、実施例39と同様に、基板面側から樹脂膜に入射角度5°で400〜700nmの光を入射し、その反射率を測定した。このとき400nmにおける反射率は4.0であった。
また、この樹脂膜付き基板に対し、高加速度寿命試験装置(エスペック社製EHS−221)を用いて温度85℃、湿度95%の条件下で750時間の高温高湿試験を実施したところ、その変化率ΔT(%)は1%未満であった。
(Example 41)
In accordance with the method for producing a substrate with a resin film of Example 38, a substrate with a resin film having a pigment layer Y1 and a pigment layer Y2 adjacent to each other was produced.
In this example, the resin composition prepared in Example 40 was used, and a coating film was laminated on a glass substrate so as to be OD0.5 (pigment layer Y1) and OD1.0 (pigment layer Y2) in this order.
In the same manner as in Example 39, light having a wavelength of 400 to 700 nm was incident on the resin film from the substrate surface side at an incident angle of 5 °, and the reflectance was measured. At this time, the reflectance at 400 nm was 4.0.
In addition, a high-temperature and high-humidity test for 750 hours was performed on the substrate with a resin film using a high acceleration life test apparatus (EHS-221 manufactured by Espec Corp.) at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 95%. The change rate ΔT (%) was less than 1%.

Claims (28)

チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子と、
バインダー樹脂と、
フィラー、並びに、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物から選ばれる少なくともいずれかと、を含有する、樹脂組成物。
Titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms;
A binder resin,
A resin composition comprising a filler and at least one selected from a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom.
CuKα線をX線源として前記チタン窒化物含有粒子のX線回折スペクトルを測定した場合において、前記チタン窒化物含有粒子のTiN(200)面に由来するピークの回折角2θが42.5°以上43.5°以下の範囲にある、請求項1に記載の樹脂組成物。   When the X-ray diffraction spectrum of the titanium nitride-containing particles is measured using CuKα rays as an X-ray source, the peak diffraction angle 2θ derived from the TiN (200) plane of the titanium nitride-containing particles is 42.5 ° or more. The resin composition of Claim 1 which exists in the range of 43.5 degrees or less. 前記フィラーが、シリカ粒子及びアクリル粒子の少なくとも1種である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the filler is at least one of silica particles and acrylic particles. 前記フィラーが中空シリカである、請求項3に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 3, wherein the filler is hollow silica. 前記フィラーの粒径分布における極大値が、50〜500nmである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein a maximum value in a particle size distribution of the filler is 50 to 500 nm. 前記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含有し、前記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物の含有量が、前記樹脂組成物中の全固形分に対して、1〜15質量%である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   A compound containing at least one of the fluorine atom and silicon atom is contained, and the content of the compound containing at least one of the fluorine atom and silicon atom is from 1 to the total solid content in the resin composition. The resin composition of any one of Claims 1-5 which is 15 mass%. 前記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する繰り返し単位と、重合性基を有する繰り返し単位と、を含む高分子化合物である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The compound containing at least one of the fluorine atom and the silicon atom is a polymer compound containing a repeating unit containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom and a repeating unit having a polymerizable group. The resin composition of any one of -6. 前記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が、反応性シリコーンである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom is a reactive silicone. 更に、分散樹脂を含有する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Furthermore, the resin composition of any one of Claims 1-8 containing a dispersion resin. 更に、重合開始剤を含有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Furthermore, the resin composition of any one of Claims 1-9 containing a polymerization initiator. 前記重合開始剤がオキシム化合物である、請求項10に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 10, wherein the polymerization initiator is an oxime compound. 更に、エポキシ基を有するシランカップリング剤を含有する、請求項1〜11のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Furthermore, the resin composition of any one of Claims 1-11 containing the silane coupling agent which has an epoxy group. 更に、カルド骨格を有する重合性化合物を含有する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Furthermore, the resin composition of any one of Claims 1-12 containing the polymeric compound which has a cardo frame | skeleton. 前記カルド骨格を有する重合性化合物が、9,9−ビスアリールフルオレン骨格を有する重合性化合物である、請求項13に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 13, wherein the polymerizable compound having a cardo skeleton is a polymerizable compound having a 9,9-bisarylfluorene skeleton. 前記チタン窒化物含有粒子の含有量が、前記樹脂組成物中の全固形分に対して、30〜60質量%である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 14, wherein a content of the titanium nitride-containing particles is 30 to 60% by mass with respect to a total solid content in the resin composition. チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子と、
バインダー樹脂と、を含む樹脂膜であって、
前記樹脂膜の最表面の表面粗さRaが100〜2000Åである、樹脂膜。
Titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms;
A resin film containing a binder resin,
The resin film whose surface roughness Ra of the outermost surface of the said resin film is 100-2000 mm.
更に、フィラーを含む、請求項16に記載の樹脂膜。   Furthermore, the resin film of Claim 16 containing a filler. 前記フィラーの粒径分布における極大値が、50〜500nmである、請求項17に記載の樹脂膜。   The resin film according to claim 17, wherein a maximum value in a particle size distribution of the filler is 50 to 500 nm. 更に、ポリシロキサン構造を有する樹脂を含む、請求項16〜18のいずれか1項に記載の樹脂膜。   Furthermore, the resin film of any one of Claims 16-18 containing resin which has a polysiloxane structure. 前記樹脂膜が、前記チタン窒化物含有粒子をそれぞれ含有する顔料層X1及び顔料層X2を隣接して積層した樹脂膜であり、
前記顔料層X2に含まれる前記チタン窒化物含有粒子の濃度が、前記顔料層X1に含まれる前記チタン窒化物含有粒子の濃度よりも小さく、
前記樹脂膜の前記顔料層X2側の表面の表面粗さRaが100〜2000Åである、請求項16〜19のいずれか1項に記載の樹脂膜。
The resin film is a resin film in which the pigment layer X1 and the pigment layer X2 each containing the titanium nitride-containing particles are laminated adjacently,
The concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X2 is smaller than the concentration of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer X1,
The resin film according to any one of claims 16 to 19, wherein the surface roughness Ra of the surface of the resin film on the pigment layer X2 side is 100 to 2000 mm.
チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子を含む顔料層と、
前記顔料層上に隣接して配置された、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物を含む表面層と、を含む樹脂膜。
A pigment layer containing titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than titanium atoms;
And a surface layer including a compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom, which is disposed adjacent to the pigment layer.
前記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する化合物が、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する樹脂を含む、請求項21に記載の樹脂膜。   The resin film according to claim 21, wherein the compound containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom includes a resin containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom. 前記フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する樹脂が、フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を含有する繰り返し単位と、重合性基を有する繰り返し単位と、を含む、請求項22に記載の樹脂膜。   The resin film according to claim 22, wherein the resin containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom contains a repeating unit containing at least one of a fluorine atom and a silicon atom and a repeating unit having a polymerizable group. . チタン原子以外の金属原子を少なくとも1種以上含有するチタン窒化物含有粒子をそれぞれ含有する顔料層Y1及び顔料層Y2を隣接して積層した樹脂膜であり、
前記顔料層Y1と前記顔料層Y2中に含まれる前記チタン窒化物含有粒子の濃度が互いに異なる、樹脂膜。
It is a resin film in which a pigment layer Y1 and a pigment layer Y2 each containing titanium nitride-containing particles containing at least one metal atom other than a titanium atom are laminated adjacently,
Resin films having different concentrations of the titanium nitride-containing particles contained in the pigment layer Y1 and the pigment layer Y2.
請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び請求項16〜24のいずれか1項に記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えたカラーフィルタ。   A color filter comprising any one selected from the resin film formed from the resin composition according to any one of claims 1 to 15 and the resin film according to any one of claims 16 to 24. 請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び請求項16〜24のいずれか1項に記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えた遮光膜。   The light shielding film provided with either the resin film formed from the resin composition of any one of Claims 1-15, and the resin film of any one of Claims 16-24. 請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び請求項16〜24のいずれか1項に記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えた固体撮像素子。   A solid-state imaging device comprising any one selected from the resin film formed from the resin composition according to any one of claims 1 to 15 and the resin film according to any one of claims 16 to 24. 請求項1〜15のいずれか1項に記載の樹脂組成物から形成された樹脂膜及び請求項16〜24のいずれか1項に記載の樹脂膜から選ばれるいずれかを備えた画像表示装置。
An image display device comprising any one selected from the resin film formed from the resin composition according to any one of claims 1 to 15 and the resin film according to any one of claims 16 to 24.
JP2018502964A 2016-02-29 2017-02-03 Resin composition, resin film, color filter, light-shielding film, solid-state image sensor, and image display device Active JP6800949B2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6504299B1 (en) * 2017-12-07 2019-04-24 東洋インキScホールディングス株式会社 Black low reflection film, and method of manufacturing laminate
JP7231713B2 (en) * 2019-03-29 2023-03-01 富士フイルム株式会社 Composition, light-shielding film, color filter, optical element, sensor, solid-state imaging device, headlight unit
CN116333225A (en) * 2021-12-22 2023-06-27 中山台光电子材料有限公司 Resin composition and product thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007293305A (en) * 2006-03-27 2007-11-08 Toppan Printing Co Ltd Printed material and method for manufacturing printed material
WO2014136738A1 (en) * 2013-03-07 2014-09-12 東レ株式会社 Black matrix substrate
JP2015161815A (en) * 2014-02-27 2015-09-07 凸版印刷株式会社 Black photosensitive resin composition, black matrix, color filter, liquid crystal display device, and organic electroluminescence display device
JP2015227282A (en) * 2009-06-15 2015-12-17 東レ株式会社 Black color composite fine particle, black color resin composition, color filter substrate and liquid crystal display device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5002197B2 (en) * 2006-06-01 2012-08-15 株式会社ブリヂストン Color filter and information display panel
WO2010070929A1 (en) * 2008-12-19 2010-06-24 シャープ株式会社 Substrate, and display panel provided with substrate
JP2014215589A (en) * 2013-04-30 2014-11-17 凸版印刷株式会社 Black matrix substrate, color filter substrate and liquid crystal display device
JP2015001652A (en) * 2013-06-17 2015-01-05 東レ株式会社 Laminate resin black matrix substrate
TWI636083B (en) * 2014-04-16 2018-09-21 三菱化學股份有限公司 Substrate with light shielding material, color filter, and liquid crystal display
WO2015182384A1 (en) * 2014-05-27 2015-12-03 富士フイルム株式会社 Light-blocking composition

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007293305A (en) * 2006-03-27 2007-11-08 Toppan Printing Co Ltd Printed material and method for manufacturing printed material
JP2015227282A (en) * 2009-06-15 2015-12-17 東レ株式会社 Black color composite fine particle, black color resin composition, color filter substrate and liquid crystal display device
WO2014136738A1 (en) * 2013-03-07 2014-09-12 東レ株式会社 Black matrix substrate
JP2015161815A (en) * 2014-02-27 2015-09-07 凸版印刷株式会社 Black photosensitive resin composition, black matrix, color filter, liquid crystal display device, and organic electroluminescence display device

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