JPWO2017038274A1 - 管継手、流体制御機器、流体制御装置、及び半導体製造装置、並びに管継手の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、溶接部形成の際に発生する溶接熱により金属製シール材が熱影響を受けるおそれがある。そこで、上記従来技術では、管継手の溶接部と金属製シール材によるシール部分とを断面視L字状をなす屈曲した空間を介して離間させ、溶接部からシール部分への熱伝達を抑制している。しかし、このような複雑な空間形成は、管継手の管径方向の大型化をさらに加速させる。
図1に示すように、ブロック弁1は、例えば、直方体形状をなす金属製(例えばステンレス製)のバルブボディである1つの本体2(第1部材)と、図1で見て本体2の上面2aに接続される3つのアクチュエータ4と、図1で見て本体2の背面2bに接続される3つの管部材6(3つのうち1つのみ図示)と、図1で見て本体2の左側面2cに溶接部8で接合される閉止栓(第2部材)10とを備えている。
図2は、ブロック弁1を備える流体制御機器100、流体制御機器100を備える流体制御装置102、流体制御装置102を備える半導体製造装置104の概略図である。半導体製造装置104は、例えばCVD装置であり、ガス供給手段である流体制御装置102、真空チャンバ106、排気手段108などを有し、後述するウエハ120上に不動態膜(酸化膜)を形成する。
図6に示すように、先ず、ガスケット18が内嵌された伝熱抑制部材16を本体2の環状凹部24側に取り付け、次に、閉止栓10の外周端10bを本体2の外周端14aに押圧することにより、閉止栓10の外周端10bと本体2の外周端14aとを全周に亘って当接させて組み付ける。伝熱抑制部材16にガスケット18を予め内嵌することにより、組み付け時にガスケット18が保護され、ガスケット18の傷付きを防止することができる。
一方、ガスケット18の外周面18cには止め輪(第2止め輪)40が装着されている。止め輪40は、止め輪36と同様のC字状のばねであって、外周面18cに形成された溝に装着することで、伝熱抑制部材16のガイド面16bにガスケット18を係止し、伝熱抑制部材16に対するガスケット18の抜け止め機能を発揮するとともに、また、ガスケット18の外周面18cと伝熱抑制部材16とは止め輪40を介して接触するため、伝熱抑制部材16からガスケット18への直接の熱伝達が妨げられる。
なお、溶接部8は、閉止栓10の外周端10bを本体2の外周端14aとの当接箇所のみならず、図7に示すように伝熱抑制部材16の外周部も溶融して形成しても良い。
例えば、上記実施形態では、閉止栓10をブロック弁1の本体2と接合して形成される管継手の構成部材として定義し、管継手はブロック弁1の本体2と閉止栓10とを溶接して形成される。しかし、これに限らず、本発明は、ブロック弁1に閉止栓10ではなく前述した管部材6等を溶接する場合、ブロック弁1以外のバルブのボディに管部材6又は閉止栓10等を溶接する場合、或いは、管部材同士を溶接する場合にも適用可能である。
2 本体(第1部材)
4 アクチュエータ(弁体)
8 溶接部
10 閉止栓(第2部材)
10b 外周端(第2外周端)
12 流路
14a 外周端(第1外周端)
16 伝熱抑制部材
16a 外周面
16b ガイド面
18 ガスケット(シール部材)
18c 外周面
22 環状凸部(第1押圧部)
26 空間
28 環状凸部(第2押圧部)
36 止め輪(第1止め輪)
40 止め輪(第2止め輪)
42 シール部分
100 流体制御機器(ブロック弁)
102 流体制御装置
104 半導体製造装置
Claims (14)
- 一端に第1外周端を有するとともに、前記第1外周端の内側に第1押圧部を有する第1部材と、
一端に第2外周端を有するとともに、前記第2外周端の内側に第2押圧部を有する第2部材と、
前記第1及び第2押圧部の少なくとも何れか一方の内側に形成される流体の流路と、
前記第1外周端と前記第2外周端とを全周に亘って当接させ、当該当接箇所の外周の少なくとも一部を溶接することで、横収縮を発生させながら前記第1外周端と前記第2外周端とを接合する溶接部と、
前記横収縮によって前記第1押圧部と前記第2押圧部とが互いに接近する方向に移動することで前記第1押圧部と前記第2押圧部との間に形成される環状のシール部分と、
前記第1及び第2部材内における前記溶接部と前記シール部分との間の空間に配置され、前記溶接部から前記シール部分への溶接熱の伝達を抑制する伝熱抑制部材と、
前記伝熱抑制部材の外周面に装着され、前記第1又は第2部材の内面に前記伝熱抑制部材を係止する第1止め輪と
を備える、管継手。 - 前記シール部分は、前記第1押圧部と前記第2押圧部とが当接して形成される、請求項1に記載の管継手。
- 前記シール部分は、前記横収縮によって前記第1押圧部と前記第2押圧部とで挟圧されるシール部材を含む、請求項1に記載の管継手。
- 前記伝熱抑制部材は、その内周に前記シール部材を案内して装着するためのガイド面を有する、請求項3に記載の管継手。
- 前記シール部材は、その外周面に前記伝熱抑制部材の前記ガイド面に前記シール部材を係止する第2止め輪が装着される、請求項3又は4に記載の管継手。
- 前記第1及び第2部材の何れか一方は閉止栓である、請求項1から5の何れか一項に記載の管継手。
- 請求項1から6の何れか一項に記載の管継手を備えた流体制御機器であって、
前記第1及び第2部材の何れか他方は、前記流体の入口及び出口を有するとともに、前記入口及び出口の少なくとも何れか一方に前記第1及び第2部材の何れか他方の他端が溶接された弁の本体である、流体制御機器。 - 前記弁の本体は、複数の弁体を連通する流路が穿孔されたブロック弁の本体である、請求項7に記載の流体制御機器。
- 請求項8に記載の流体制御機器を備えた、流体制御装置。
- 請求項9に記載の流体制御装置を備えた、半導体製造装置。
- 一端に第1外周端を有するとともに、前記第1外周端の内側に第1押圧部を有する第1部材と、
一端に第2外周端を有するとともに、前記第2外周端の内側に第2押圧部を有する第2部材と、
前記第1及び第2押圧部の少なくとも何れか一方の内側に形成される流体の流路と、
前記第1及び第2部材の内側に配された伝熱抑制部材と
を備えた管継手の製造方法であって、
前記第1外周端と第2外周端とを全周に亘って当接させ、当該当接箇所の外周の少なくとも一部を溶接し、横収縮を発生させながら前記第1外周端と前記第2外周端とを接合する溶接部を形成する工程と、
前記横収縮によって前記第1及び第2押圧部を互いに接近する方向に移動させ、前記第1押圧部と前記第2押圧部との間に環状のシール部分を形成する工程と、
前記シール部分と前記溶接部との間の空間にて、前記伝熱抑制部材により前記溶接部から前記シール部分への溶接熱の伝達を抑制する工程と
を含む、管継手の製造方法。 - 前記溶接部を形成する工程では、前記第2外周端を前記第1外周端に押圧した状態で前記溶接部を形成する、請求項11に記載の管継手の製造方法。
- 前記溶接部を形成する工程では、前記第1外周端と第2外周端とを全周に亘って当接させた際、前記当接箇所の外周には接触円が形成され、前記接触円の中心を挟んで前記接触円上の対向する2点で点溶接した後、前記接触円を全周溶接して前記溶接部を形成する、請求項11又は12に記載の管継手の製造方法。
- 前記溶接部を形成する工程では、前記接触円上の対向する前記2点で点溶接し、さらに前記接触円上の前記2点から前記中心を基準に90度ずれた別の2点で点溶接した後、前記溶接部を形成する、請求項13に記載の管継手の製造方法。
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