JPWO2009118848A1 - Organic EL display - Google Patents

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Abstract

有機ELディスプレイ内に酸素、水分の浸入をより効果的に防ぐことができる有機ELディスプレイを提供することにある。基板、第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記有機機能層の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層が形成され、前記第一電極の下と前記第二電極の上とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、前記有機機能層の上層、又は、下層に形成された前記無機電荷注入輸送層と、により前記有機機能層の周囲が覆われており、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。An object of the present invention is to provide an organic EL display that can more effectively prevent oxygen and moisture from entering the organic EL display. An organic EL display configured by laminating a substrate, a first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and a second electrode in this order, wherein the lower layer of the first electrode and the second electrode An inorganic gas barrier layer is formed on each of the upper layers, and an inorganic charge injecting and transporting layer is formed on the upper layer or the lower layer of the organic functional layer, and is formed below the first electrode and above the second electrode, respectively The inorganic functional layer is covered with one layer of the inorganic gas barrier layer and the inorganic charge injecting and transporting layer formed in the upper layer or the lower layer of the organic functional layer, and the inorganic charge injecting layer. The transport layer is either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer.

Description

本発明は有機ELディスプレイに関する。   The present invention relates to an organic EL display.

有機ELディスプレイに使用される有機EL素子は、陰極と陽極との間に流れる電流によって、両電極間にある有機化合物が発光する素子である。当該有機EL素子は自発光性であるため、視認性が高いと同時に、液晶表示素子に比べて薄型軽量化が可能であるため、特にモバイル用途での応用展開が進められている。   An organic EL element used in an organic EL display is an element in which an organic compound between both electrodes emits light by a current flowing between a cathode and an anode. Since the organic EL element is self-luminous, the visibility is high, and at the same time, the organic EL element can be made thinner and lighter than a liquid crystal display element.

しかし、当該有機EL素子は、酸素、水分に弱いことで知られており、有機発光性材料の変質、あるいは、発光層と電極間の剥離等を生じ、発光効率の低下、非発光領域(ダークスポット)の拡大等の表示性能劣化が発生するという問題があった。   However, the organic EL element is known to be weak against oxygen and moisture, and causes deterioration of the organic light-emitting material, peeling between the light-emitting layer and the electrode, and the like. There is a problem that display performance deterioration such as enlargement of a spot occurs.

したがって、このような問題を解消するために、図10に示すように、有機EL層に無機ガスバリア層を設けていた。すなわち、有機ELディスプレイ上部側には、無機材料からなる無機保護膜27を、一方、有機ELディスプレイ下部側(基板21側)には、同ように無機材料からなる基板バリア層22を設けて酸素、水分の浸入を防いでいた。   Therefore, in order to solve such a problem, an inorganic gas barrier layer is provided in the organic EL layer as shown in FIG. That is, an inorganic protective film 27 made of an inorganic material is provided on the upper side of the organic EL display, while a substrate barrier layer 22 made of an inorganic material is similarly provided on the lower side of the organic EL display (substrate 21 side). , Preventing the ingress of moisture.

しかし、このように、無機保護層27や、基板バリア層22を形成した場合であったとしても、無機保護層27、基板バリア層22自体にピンホールが生じた場合には、酸素や水分が有機ELディスプレイ内に浸入し、有機発光層側の電極界面を酸化させ電荷注入を阻害させたり、有機発光層において消光サイトなどを形成したりすることで、有機ELディスプレイが非発光化し、さらに有機機能層25などを経路として拡散し、非発光領域が拡大するという問題を生じていた。特に、基板バリア層22は、光透過させる目的から、通常100nm程度の薄さであるため、ピンホールが存在しやすいという問題があった。   However, even when the inorganic protective layer 27 and the substrate barrier layer 22 are formed as described above, when a pinhole is generated in the inorganic protective layer 27 and the substrate barrier layer 22 itself, oxygen and moisture are not present. By penetrating into the organic EL display and oxidizing the electrode interface on the organic light emitting layer side to inhibit charge injection or forming a quenching site in the organic light emitting layer, the organic EL display becomes non-light emitting and further organic The problem is that the non-light-emitting region is expanded by diffusing the functional layer 25 and the like as a route. In particular, since the substrate barrier layer 22 is usually about 100 nm thin for the purpose of transmitting light, there is a problem that pinholes are likely to exist.

ここで、有機ELディスプレイ内に酸素、水分の浸入を防ぐ基板バリア層や無機保護層を複数層積層して設ける技術が公開されている(特許文献1参照)。このように、基板バリア層や無機保護層を複数層積層して設けることにより、酸素、水分の浸入を防ぐことができる。
WO2003−047317号公報
Here, a technique in which a plurality of substrate barrier layers and inorganic protective layers for preventing the entry of oxygen and moisture into an organic EL display is provided is disclosed (see Patent Document 1). Thus, by providing a plurality of laminated substrate barrier layers and inorganic protective layers, it is possible to prevent intrusion of oxygen and moisture.
WO2003-047317

しかしながら、上述のように単純に基板バリア層や無機保護層を複数層積層しただけでは、有機機能層が基板バリア層や無機保護層で覆われていない部分にピンホールが生じた場合には、当該部分からの酸素や水分の浸入を防ぐことは出来ず、非発光化してしまうという問題があった。   However, simply by laminating a plurality of substrate barrier layers and inorganic protective layers as described above, if a pinhole occurs in a portion where the organic functional layer is not covered with the substrate barrier layer or inorganic protective layer, There is a problem that oxygen and moisture cannot be prevented from entering from the portion, and the light is not emitted.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、有機ELディスプレイ内に酸素、水分が浸入することをより効果的に防ぐことができる有機ELディスプレイを提供することにある。   This invention is made | formed in view of such a problem, and is providing the organic EL display which can prevent more effectively that oxygen and a water | moisture content permeate in an organic EL display.

上記課題を解決するための本発明の有機ELディスプレイは、基板、第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記有機機能層の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層が形成され、前記第一電極の下層と前記第二電極の上層とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、前記有機機能層の上層、又は、下層に形成された前記無機電荷注入輸送層と、により前記有機機能層の周囲が覆われており、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。   The organic EL display of the present invention for solving the above problems is an organic EL display configured by laminating a substrate, a first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and a second electrode in this order. An inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and an inorganic charge injecting and transporting layer is formed on the upper layer or the lower layer of the organic functional layer. One layer among the inorganic gas barrier layers respectively formed on the lower layer of the one electrode and the upper layer of the second electrode, and the upper layer of the organic functional layer, or the inorganic charge injecting and transporting layer formed on the lower layer, The organic functional layer is covered, and the inorganic charge injecting and transporting layer is either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer.

これによれば、無機電荷注入輸送層が有機機能層の下層に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   According to this, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the lower layer of the organic functional layer, it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition to preventing moisture from entering the organic functional layer 5 from the bottom of the organic EL display in the layer, the inorganic charge injecting and transporting layer blocks the pinhole even when a pinhole is generated in the substrate barrier layer. In this way, it is possible to prevent moisture and the like from entering from the pinhole portion and to protect the organic functional layer more effectively.

また、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   In addition, by forming the inorganic charge injecting and transporting layer under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, In addition, the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display, and the inorganic charge injecting and transporting layer is pinned even when pinholes are formed in the inorganic protective layer. By closing the hole, it is possible to prevent moisture and the like from entering from the pinhole portion and more effectively protect the organic functional layer.

さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。   Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.

上記課題を解決するための本発明の有機ELディスプレイは、基板、第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記有機機能層を覆うように前記有機機能層の上層と、下層と、にそれぞれ無機電荷注入輸送層が形成され、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。   The organic EL display of the present invention for solving the above problems is an organic EL display configured by laminating a substrate, a first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and a second electrode in this order. An inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and each of the upper and lower layers of the organic functional layer is inorganic so as to cover the organic functional layer. A charge injection transport layer is formed, and the inorganic charge injection transport layer is either an inorganic electron injection transport layer or an inorganic hole injection transport layer.

これによれば、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層、無機保護層の両者にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの浸入を防ぎ、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、同様に無機保護層ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぐことができることにより、有機機能層をより効果的に保護することができる。   This prevents moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and prevents moisture from entering the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition, even when pinholes are generated in both the substrate barrier layer and the inorganic protective layer, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer). Therefore, the inorganic charge injecting and transporting layer prevents the intrusion of moisture and the like from the pinhole part by closing the pinhole, and the inorganic charge injecting and transporting layer is formed under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer) Thus, intrusion of moisture and the like from the inorganic protective layer pinhole portion can be similarly prevented, so that the organic functional layer can be more effectively protected.

さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。   Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.

上記有機ELディスプレイは、請求項1又は請求項2に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記有機機能層の上層、又は、下層の少なくともいずれかに形成された前記無機電荷注入輸送層の形成範囲は、前記有機機能層の形成範囲よりも広いことを特徴とする。   The organic EL display according to claim 1 or 2, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer formed in at least one of the upper layer and the lower layer of the organic functional layer is The organic functional layer is wider than the formation range.

これによれば、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に第一電極が無い部分にまでわたって、有機機能層の形成範囲よりも広く形成されていることにより、第一電極が無い範囲において基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   According to this, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed wider than the formation range of the organic functional layer over a portion where the first electrode is not present in the upper layer of the substrate barrier layer (lower layer of the organic functional layer). Even if there is a pinhole in the substrate barrier layer in the area where there is no first electrode, the organic functional layer eliminates the area where the organic functional layer is in contact with the pinhole and prevents the entry of moisture etc. from the pinhole portion, The layer can be protected more effectively.

また、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に第二電極が無い部分にまでわたって、有機機能層の形成範囲よりも広く形成されていることにより、第二電極が無い範囲において無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   Further, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed wider than the formation range of the organic functional layer over the portion where the second electrode is not present in the lower layer of the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), so that the second Even if there is a pinhole in the inorganic protective layer in the area where there is no electrode, the area where the organic functional layer is in contact with the pinhole is eliminated, preventing intrusion of moisture from the pinhole portion, It can be effectively protected.

上記有機ELディスプレイは、請求項2又は請求項3に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層の形成範囲は、前記有機機能層の形成範囲よりも1μm以上10mm以下広いことを特徴とする。   The organic EL display according to claim 2 or 3, wherein the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer is 1 μm or more and 10 mm or less wider than the formation range of the organic functional layer. To do.

これによれば、無機電荷注入輸送層4の形成範囲を、上記範囲有機機能層5の形成範囲よりも広くすることにより、無機ガスバリア層にピンホールが生じている場合であっても、水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   According to this, even if pinholes are generated in the inorganic gas barrier layer by making the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer 4 wider than the formation range of the organic functional layer 5, moisture, etc. Can be prevented and the organic functional layer 5 can be more effectively protected.

上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層の厚さは、10nm以上10μm以下であることを特徴とする。   5. The organic EL display according to claim 1, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer has a thickness of 10 nm to 10 μm.

これによれば、無機電荷注入輸送層が島状にならずに、無機電荷注入輸送層自体においてピンホールの形成を抑制でき、無機ガスバリア層のピンホールを塞ぐ機能を果たすことが出来る。   According to this, the inorganic charge injecting and transporting layer does not have an island shape, the formation of pinholes in the inorganic charge injecting and transporting layer itself can be suppressed, and the function of blocking the pinholes in the inorganic gas barrier layer can be achieved.

上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層は、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることを特徴とする。   The organic EL display according to any one of claims 1 to 5, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer is any one of an oxide, a nitride, a sulfide, a fluoride, and a selenide. It is formed by these.

これによれば、無機電荷注入輸送層が、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることによって、水分、酸素バリア性を高くすることができる。   According to this, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed of any one of oxide, nitride, sulfide, fluoride, and selenide, moisture and oxygen barrier properties can be increased.

上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記基板は、可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていることを特徴とする。   The organic EL display according to any one of claims 1 to 6, wherein the substrate is formed of a flexible organic resin film.

これによれば、基板が可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていることによって、基板が酸素、水分に弱く、酸素や、水分の浸入しやすいため、このような基板が用いられている有機ELディスプレイにおいて、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護する効果をより発揮できる。   According to this, since the substrate is formed of a flexible organic resin film, the substrate is weak against oxygen and moisture, and oxygen and moisture can easily enter. In the EL display, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer), so that moisture penetrates into the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition to preventing moisture from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and even if a pinhole is generated in the substrate barrier layer, inorganic charge injection transport By blocking the pinhole, the layer prevents moisture and other intrusions from the pinhole part, and more effectively protects the organic functional layer.

上記本発明の有機ELディスプレイによれば、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   According to the organic EL display of the present invention, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer), so that the organic functional layer is formed from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. This is a case in which moisture is prevented from entering the substrate barrier layer, moisture is prevented from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and pinholes are generated in the substrate barrier layer. However, since the inorganic charge injecting and transporting layer closes the pinhole, the intrusion of moisture and the like from the pinhole portion can be prevented, and the organic functional layer can be more effectively protected.

また、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   In addition, by forming the inorganic charge injecting and transporting layer under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, In addition, the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display, and the inorganic charge injecting and transporting layer is pinned even when pinholes are formed in the inorganic protective layer. By closing the hole, it is possible to prevent moisture and the like from entering from the pinhole portion and more effectively protect the organic functional layer.

さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。   Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.

本発明の有機ELディスプレイを上面からみた概略図である。It is the schematic which looked at the organic electroluminescent display of this invention from the upper surface. (a)は、本発明の有機ELディスプレイを図1に示すA−A’で切断した場合の概略断面図であり、(b)は、本発明の有機ELディスプレイを図1に示すB−B’で切断した場合の概略断面図である。(A) is a schematic sectional drawing at the time of cut | disconnecting the organic EL display of this invention by AA 'shown in FIG. 1, (b) is BB which shows the organic EL display of this invention in FIG. It is a schematic sectional drawing at the time of cutting | disconnecting by '. 基板バリア層にピンホールが生じた場合についての概略断面図である。It is a schematic sectional drawing about the case where a pinhole arises in a board | substrate barrier layer. 本発明の有機ELディスプレイを上面からみた概略図である。It is the schematic which looked at the organic electroluminescent display of this invention from the upper surface. (a)は、本発明の有機ELディスプレイを図4に示すA−A’で切断した場合の概略断面図であり、(b)は、本発明の有機ELディスプレイを図4に示すB−B’で切断した場合の概略断面図である。(A) is a schematic sectional drawing at the time of cut | disconnecting the organic EL display of this invention by AA 'shown in FIG. 4, (b) is BB which shows the organic EL display of this invention in FIG. It is a schematic sectional drawing at the time of cutting | disconnecting by '. 無機保護層にピンホールが生じた場合についての概略断面図である。It is a schematic sectional drawing about the case where a pinhole arises in an inorganic protective layer. 本発明の有機ELディスプレイを上面からみた概略図である。It is the schematic which looked at the organic electroluminescent display of this invention from the upper surface. (a)は、本発明の有機ELディスプレイを図7に示すA−A’で切断した場合の概略断面図であり、(b)は、本発明の有機ELディスプレイを図8に示すB−B’で切断した場合の概略断面図である。(A) is a schematic sectional drawing at the time of cut | disconnecting the organic EL display of this invention by AA 'shown in FIG. 7, (b) is BB which shows the organic EL display of this invention in FIG. It is a schematic sectional drawing at the time of cutting | disconnecting by '. 基板バリア層と無機保護層にピンホールが生じた場合についての概略断面図である。It is a schematic sectional drawing about the case where a pinhole arises in a board | substrate barrier layer and an inorganic protective layer. 従来の有機ELディスプレイの正面における断面図である。It is sectional drawing in the front of the conventional organic electroluminescent display. 従来の有機ELディスプレイの横方向における断面図である。It is sectional drawing in the horizontal direction of the conventional organic electroluminescent display.

符号の説明Explanation of symbols

1、21・・・基板
2、22・・・基板バリア層
3、23・・・第一電極(陽極)
4、14・・・無機電荷注入輸送層
5、25・・・有機機能層
6、26・・・第二電極(陰極)
7、27・・・無機保護層
8、18・・・ピンホール
10、20・・・有機ELディスプレイ
1, 21 ... substrate 2, 22 ... substrate barrier layer 3, 23 ... first electrode (anode)
4, 14 ... Inorganic charge injection transport layer 5, 25 ... Organic functional layer 6, 26 ... Second electrode (cathode)
7, 27 ... Inorganic protective layer 8, 18 ... Pinhole 10, 20 ... Organic EL display

(第1実施形態)
以下に、本発明の有機ELディスプレイを実施するための第1実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
(First embodiment)
Below, 1st Embodiment for implementing the organic EL display of this invention is described in detail using drawing.

第一電極と第二電極がストライプ状に形成されていて、直行するように対向しているパッシブマトリクス型の有機ELディスプレイにおいて、図1は、本発明の有機ELディスプレイを上面からみた概略図であり、図2(a)は、本発明の有機ELディスプレイを図1に示すA−A’で切断した場合の概略断面図であり、図2(b)は、本発明の有機ELディスプレイを図1に示すB−B’で切断した場合の概略断面図であり、図3は、基板バリア層にピンホールが生じた場合についての概略断面図である。なお、無機ガスバリア層は、第一電極の下層(基板の上層)にある場合には、基板バリア層と称し、第二電極の上層にある場合には、無機保護膜と称するものとして以下説明する。   In a passive matrix type organic EL display in which a first electrode and a second electrode are formed in stripes and face each other so as to be orthogonal, FIG. 1 is a schematic view of the organic EL display of the present invention as viewed from above. 2A is a schematic cross-sectional view of the organic EL display of the present invention cut along the line AA ′ shown in FIG. 1, and FIG. 2B shows the organic EL display of the present invention. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line BB ′ shown in FIG. 1, and FIG. The inorganic gas barrier layer will be described as a substrate barrier layer when it is in the lower layer of the first electrode (upper layer of the substrate), and as an inorganic protective film when it is in the upper layer of the second electrode. .

本発明の有機ELディスプレイ10は、図1、図2(a)(b)に示すように、基板1、基板バリア層2、第一電極(陽極)3、無機電荷注入輸送層4、有機機能層5、第二電極(陰極)6、無機保護層7、を積層することにより構成されている。そして、このような本発明の有機ELディスプレイ10は、第一電極(陽極)3の下層と、第二電極(陰極)6の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層5の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層4が形成され、第一電極(陽極)3の下層と第二電極(陰極)6の上層とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、有機機能層5の上層、又は、下層に形成された無機電荷注入輸送層4と、により有機機能層5の周囲が覆われており、無機電荷注入輸送層4は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。   The organic EL display 10 of the present invention includes a substrate 1, a substrate barrier layer 2, a first electrode (anode) 3, an inorganic charge injecting and transporting layer 4, an organic function, as shown in FIGS. The layer 5, the second electrode (cathode) 6, and the inorganic protective layer 7 are laminated. In the organic EL display 10 of the present invention, an inorganic gas barrier layer is formed on the lower layer of the first electrode (anode) 3 and the upper layer of the second electrode (cathode) 6, respectively. The inorganic charge injection transport layer 4 is formed in the upper layer or the lower layer, and one of the inorganic gas barrier layers respectively formed in the lower layer of the first electrode (anode) 3 and the upper layer of the second electrode (cathode) 6; The organic functional layer 5 is covered with the inorganic charge injecting and transporting layer 4 formed in the upper layer or the lower layer of the organic functional layer 5, and the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is an inorganic electron injecting and transporting layer, or And an inorganic hole injecting and transporting layer.

ここで、第一電極が陽極、第二電極が陰極である場合及び第一電極が陰極、第二電極が陽極である場合についてそれぞれ本発明の効果を有することができるが、以下第一電極が陽極、第二電極が陰極である場合について説明する。   Here, the case where the first electrode is an anode and the second electrode is a cathode and the case where the first electrode is a cathode and the second electrode is an anode can have the effects of the present invention. A case where the anode and the second electrode are cathodes will be described.

まず、基板1について説明する。   First, the substrate 1 will be described.

基板1は、第一電極(陽極)3を表面に保持することが可能であれば、材質や厚みは特に限定されない。そのため、基板1は板状でもフィルム状でもよく、材料としてはガラス、アルミニウム、ステンレスなどの金属や、合金類、ポリカーボネート、ポリエステルなどのプラスチックなどが使用できる。   If the board | substrate 1 can hold | maintain the 1st electrode (anode) 3 on the surface, a material and thickness will not be specifically limited. Therefore, the substrate 1 may be in the form of a plate or a film, and materials such as glass, aluminum, and stainless steel, alloys, plastics such as polycarbonate and polyester, and the like can be used.

ここで、基板1は、可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていてもよい。   Here, the substrate 1 may be formed of a flexible organic resin film.

可撓性の有機樹脂フィルムとは、特に限定されることはなく、一般的な有機樹脂フィルムを用いることができ、例えば、PES、PC、PEN、PI等が挙げられる。   It does not specifically limit with a flexible organic resin film, A general organic resin film can be used, For example, PES, PC, PEN, PI etc. are mentioned.

このように、基板が可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されている場合には、基板が酸素、水分に弱く、有機ELディスプレイ内に酸素や、水分が浸入しやすいため、このような基板が用いられている有機ELディスプレイにおいて、後述する無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護する効果をより発揮できる。   Thus, when the substrate is formed of a flexible organic resin film, the substrate is weak against oxygen and moisture, and oxygen and moisture easily enter the organic EL display. In the organic EL display used, an inorganic charge injecting and transporting layer, which will be described later, is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer), whereby the organic functional layer is formed from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer This is a case in which moisture is prevented from entering the substrate barrier layer, moisture is prevented from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and pinholes are generated in the substrate barrier layer. However, the inorganic charge injecting and transporting layer blocks the pinholes, thereby preventing the penetration of moisture and the like from the pinhole part, and maintaining the organic functional layer more effectively. The effect of more can be exhibited.

次に、基板バリア層2について説明する。   Next, the substrate barrier layer 2 will be described.

基板バリア層2とは、有機ELディスプレイの内部に酸素や水分が侵入することを防ぐ役目を担う層であり、材料としては特に限定されることはなく、例えば、SiOx、SiNx、SiC、GeOx、GeNx、GeC、AlOx、AlNなどさまざまな材料を用いることができる。なお、後述する無機保護膜7と同材質を使用することができる。   The substrate barrier layer 2 is a layer that plays a role of preventing oxygen and moisture from entering the inside of the organic EL display, and the material is not particularly limited. For example, SiOx, SiNx, SiC, GeOx, Various materials such as GeNx, GeC, AlOx, and AlN can be used. In addition, the same material as the inorganic protective film 7 mentioned later can be used.

基板バリア層2の厚さは、10nm〜10μmが好ましい。   The thickness of the substrate barrier layer 2 is preferably 10 nm to 10 μm.

また、基板バリア層は、平坦化層などを用いた多層構造でも構わない。   Further, the substrate barrier layer may have a multilayer structure using a planarizing layer or the like.

次に、第一電極(陽極)3について説明する。   Next, the first electrode (anode) 3 will be described.

陽極3は、有機ELディスプレイの陽極として用いられるような電極材料を用いればとくに限定されることはないが、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO、SnO、AZO、GZO、Ag、Cu、Au、In、Sn、Al、Zn、アルカリ金属、2族金属、希土類金属、遷移金属等の材料が挙げられる。The anode 3 is not particularly limited as long as an electrode material used as an anode of an organic EL display is used. For example, ITO (Indium Tin Oxide), IZO, SnO 2 , AZO, GZO, Ag, Cu, Examples thereof include materials such as Au, In, Sn, Al, Zn, alkali metal, group 2 metal, rare earth metal, and transition metal.

陽極4の厚さは、10nm〜500nmが好ましい。   The thickness of the anode 4 is preferably 10 nm to 500 nm.

このような陽極4は、上述した電極材料を基板1の表面に真空蒸着(抵抗加熱蒸着)法、真空蒸着(電子ビーム蒸着)法、真空蒸着(スパッタ)法、塗布成膜等の方法により形成することができる。   Such an anode 4 is formed by depositing the above-described electrode material on the surface of the substrate 1 by a method such as vacuum deposition (resistance heating deposition), vacuum deposition (electron beam deposition), vacuum deposition (sputtering), or coating film formation. can do.

次に、有機機能層5について説明する。   Next, the organic functional layer 5 will be described.

有機機能層5は、有機発光層を含む一層以上の層から構成されている。一般には、陽極3側から陰極6側に向けて、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を積層させたものを用いることができるが、発光層、正孔輸送層、電子輸送層はそれぞれ1層だけでなく複数層積層して設けても良い。また、正孔注入層、電子注入層、キャリアブロック層等の有機材料層を用途に応じて挿入することも可能である。なお、本実施形態においては、後述するように、無機電荷注入輸送層が正孔注入層の役割を果たすため、有機機能層5において、重複して正孔注入層を設ける必要はない。   The organic functional layer 5 is composed of one or more layers including an organic light emitting layer. In general, a layer in which a hole transport layer, a light-emitting layer, and an electron transport layer are laminated from the anode 3 side to the cathode 6 side can be used. A single layer or a plurality of layers may be stacked. It is also possible to insert an organic material layer such as a hole injection layer, an electron injection layer, a carrier block layer or the like depending on the application. In the present embodiment, as described later, since the inorganic charge injecting and transporting layer serves as a hole injecting layer, it is not necessary to provide the hole injecting layer in the organic functional layer 5 in an overlapping manner.

ここで、本発明は、第一電極の下層と、第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層が形成され、第一電極の下と第二電極の上とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、有機機能層の上層、又は、下層に形成された無機電荷注入輸送層と、により有機機能層の周囲が覆われていることに特徴を有している。   Here, in the present invention, an inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and an inorganic charge injecting and transporting layer is formed on the upper or lower layer of the organic functional layer. One of the inorganic gas barrier layers formed under one electrode and the second electrode, respectively, and an inorganic charge injecting and transporting layer formed in the upper layer or the lower layer of the organic functional layer, The feature is that the circumference is covered.

まず、第一電極3の下層と、第二電極6の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層5の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層4が形成されていることについて説明する。   First, an inorganic gas barrier layer is formed on the lower layer of the first electrode 3 and the upper layer of the second electrode 6, and the inorganic charge injection transport layer 4 is formed on the upper layer or lower layer of the organic functional layer 5. Will be described.

本実施形態においては図1、2(a)(b)に示すように、第二電極(陰極)6の上層には無機ガスバリア層として無機保護層7が形成され、有機機能層5の下層には無機電荷注入輸送層4が形成されている。   In this embodiment, as shown in FIGS. 1, 2 (a) and (b), an inorganic protective layer 7 is formed as an inorganic gas barrier layer above the second electrode (cathode) 6, and below the organic functional layer 5. Inorganic charge injection transport layer 4 is formed.

なお、この形態に限定されることはなく、有機機能層の下層に無機ガスバリア層として基板バリア層が形成され、有機機能層の上層には無機電荷注入輸送層が形成されていてもよい(この場合については第2実施形態参照。)   The substrate barrier layer is formed as an inorganic gas barrier layer in the lower layer of the organic functional layer, and the inorganic charge injection / transport layer may be formed in the upper layer of the organic functional layer. (Refer to the second embodiment for the case.)

次に、第一電極の下と前記第二電極の上とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、有機機能層の上層、又は、下層に形成された無機電荷注入輸送層と、により有機機能層の周囲が覆われていることについて説明する。   Next, one of the inorganic gas barrier layers formed below the first electrode and above the second electrode, the upper layer of the organic functional layer, or the inorganic charge injection transport layer formed in the lower layer, The reason why the periphery of the organic functional layer is covered will be described.

具体的には、図1、2(a)(b)に示すように、有機機能層5の上層に形成されている無機保護層7と、下層に形成されている無機電荷注入輸送層4によって、有機機能層5の周囲が覆われている。   Specifically, as shown in FIGS. 1, 2 (a) and (b), an inorganic protective layer 7 formed in the upper layer of the organic functional layer 5 and an inorganic charge injection transport layer 4 formed in the lower layer. The periphery of the organic functional layer 5 is covered.

これらの無機保護層7と無機電荷注入輸送層4による有機機能層5の周囲の覆われ方は特に限定されていないが、例えば、無機電荷注入輸送層4の形成範囲(図1、2(a)(b)で見ることころのそれぞれ横方向、縦方向の長さ)が、有機機能層4の形成範囲よりも広く形成されており、更に、無機保護層7によって、有機機能層5と、無機電荷注入輸送層4の両端を覆うようにして、有機機能層5が無機保護層7と無機電荷注入輸送層4に覆われていてもよい。   The method of covering the periphery of the organic functional layer 5 by the inorganic protective layer 7 and the inorganic charge injection / transport layer 4 is not particularly limited. For example, the formation range of the inorganic charge injection / transport layer 4 (FIGS. ) (B), the length of each roller in the horizontal direction and the vertical direction) is formed wider than the formation range of the organic functional layer 4, and further, by the inorganic protective layer 7, the organic functional layer 5 and The organic functional layer 5 may be covered with the inorganic protective layer 7 and the inorganic charge injection transport layer 4 so as to cover both ends of the inorganic charge injection transport layer 4.

これにより、図3に示すように、無機保護層7において有機ELディスプレイの上部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層2において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層2にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層4が基板バリア層2の上層(有機機能層5の下層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホールからの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   This prevents moisture from entering the organic functional layer 5 from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer 7 as shown in FIG. 3, and the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer 2. 5, and even if pinholes are generated in the substrate barrier layer 2, the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is formed on the upper layer of the substrate barrier layer 2 (the lower layer of the organic functional layer 5. ), The inorganic charge injecting and transporting layer closes the pinhole, thereby preventing intrusion of moisture and the like from the pinhole and protecting the organic functional layer 5 more effectively.

更に、上述した無機電荷注入輸送層4の形成範囲は、例えば、有機機能層5の形成範囲よりも1μm以上10mm以下、特に、1μm以上10mm以下広くてもよい。   Furthermore, the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer 4 described above may be, for example, 1 μm or more and 10 mm or less, particularly 1 μm or more and 10 mm or less wider than the formation range of the organic functional layer 5.

このように、無機電荷注入輸送層4の形成範囲を、第一電極が無い部分にまでわたって、1μm以上有機機能層5の形成範囲よりも広くすることにより、第一電極が無い範囲において基板バリア層2にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   In this way, the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is formed in a range where the first electrode is not formed by extending the formation range of the organic functional layer 5 by 1 μm or more over the portion where the first electrode is not provided. Even when pinholes are generated in the barrier layer 2, the organic functional layer does not have a range in contact with the pinholes, and the inorganic charge injecting and transporting layer blocks the pinholes so that moisture or the like can enter from the pinhole portion. And the organic functional layer 5 can be protected more effectively.

ここで、無機電荷注入輸送層4は、電子注入輸送層、又は、正孔注入輸送層のいずれかであることに特徴を有している。   Here, the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is characterized by being either an electron injecting and transporting layer or a hole injecting and transporting layer.

具体的には、本実施形態において陽極3に接している無機電荷注入輸送層4は、正孔注入輸送層を示すものである。   Specifically, in this embodiment, the inorganic charge injection transport layer 4 in contact with the anode 3 represents a hole injection transport layer.

無機正孔注入輸送層は、電荷の輸送や注入を担うものであり、SiOx、SiNx、SiC、GeOx、GeNx、GeC、AlOx、AlN、MoOx、TaOx、ZnO、CuO、VOxなどで、または上記化合物の混合物でも構わない。(添え字xは組成比が限定されず、化学量論比どおりでなくても良いことを意味する。)
これにより、上述のように有機機能層5に水分が浸入することを防ぐために形成された無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層の役割をも果たすことができる。
The inorganic hole injecting and transporting layer is responsible for charge transport and injection, such as SiOx, SiNx, SiC, GeOx, GeNx, GeC, AlOx, AlN, MoOx, TaOx, ZnO, CuO, VOx, or the above compounds A mixture of these may be used. (The subscript x means that the composition ratio is not limited and does not have to be the stoichiometric ratio.)
Thereby, the inorganic charge injecting and transporting layer formed in order to prevent moisture from entering the organic functional layer 5 as described above can also serve as a hole injecting and transporting layer.

無機電荷注入輸送層は、特に限定されることはないが、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていてもよい。   The inorganic charge injecting and transporting layer is not particularly limited, but may be formed of any of oxide, nitride, sulfide, fluoride, and selenide.

このように、無機電荷注入輸送層が、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることによって、酸素、水分の浸入をより効果的に防ぐことができる。   As described above, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed of any one of oxide, nitride, sulfide, fluoride, and selenide, intrusion of oxygen and moisture can be more effectively prevented. .

無機電荷注入輸送層の厚さは、10nm以上1μm以下、特に、10nm以上500nm以下であってもよい。   The thickness of the inorganic charge injecting and transporting layer may be 10 nm or more and 1 μm or less, particularly 10 nm or more and 500 nm or less.

このように、無機電荷注入輸送層が島状にならずに、無機ガスバリア層のピンホールを塞ぐ機能を果たす必要があるため、無機電荷注入輸送層の厚さを10nm以上とし、かつ、電荷注入輸送層としての機能を果たす必要があるため(抵抗が高くなりすぎない範囲で)、無機電荷注入輸送層の厚さを1μm以下とするものである。   As described above, since the inorganic charge injection transport layer does not have an island shape and needs to fulfill the function of blocking the pinhole of the inorganic gas barrier layer, the thickness of the inorganic charge injection transport layer is set to 10 nm or more and the charge injection is performed. Since it is necessary to fulfill the function as a transport layer (to the extent that resistance does not become too high), the thickness of the inorganic charge injection transport layer is set to 1 μm or less.

無機電荷注入輸送層の製造方法は、特に限定されるものではないが、例えば、蒸着法、スパッタ法、CVD法、湿式塗布法などが挙げられる。蒸着法、スパッタ法、CVD法は、真空中で行われることで素子特性、素子寿命などの向上が期待できる。また、CVD法、湿式塗布法は、被覆性が良く、基板上に異物などの欠陥があった場合に透湿経路を塞ぐことができる。   Although the manufacturing method of an inorganic charge injection transport layer is not specifically limited, For example, a vapor deposition method, a sputtering method, CVD method, a wet coating method etc. are mentioned. The vapor deposition method, the sputtering method, and the CVD method can be expected to improve device characteristics, device life, and the like by being performed in a vacuum. In addition, the CVD method and the wet coating method have good coverage and can block the moisture transmission path when there is a defect such as a foreign substance on the substrate.

また、無機電荷注入輸送層は、他方の電極との接触で短絡しない程度に、それ自身の抵抗が高い、もしくは整流性を保つことが望ましい。   In addition, it is desirable that the inorganic charge injecting and transporting layer has a high resistance or maintains a rectifying property so as not to be short-circuited by contact with the other electrode.

例えば、無機電荷注入輸送層が陽極に隣接する無機正孔注入輸送層である場合は、正孔輸送層が高く、電子輸送層が低いことで、陰極との接触時に整流性を保ち、短絡を防ぐことが出来る。一方、無機電荷注入輸送層の抵抗が低く、他方の電極と短絡する可能性がある場合は、絶縁膜(無機物でも有機物でもよく、例えば、SiOx、SiNxなどの無機物や、PIなどの有機物など)を挟むなど防止策が必要となる。   For example, when the inorganic charge injecting and transporting layer is an inorganic hole injecting and transporting layer adjacent to the anode, the hole transporting layer is high and the electron transporting layer is low, so that rectification is maintained when contacting with the cathode, and short circuit is performed. Can be prevented. On the other hand, when the resistance of the inorganic charge injecting and transporting layer is low and there is a possibility of short-circuiting with the other electrode, an insulating film (which may be inorganic or organic, for example, inorganic such as SiOx or SiNx, or organic such as PI) Preventive measures such as pinching are necessary.

次に、無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)と併せて有機機能層の周囲を覆うように有機機能層5の上層に形成されている無機保護層7について説明する。   Next, the inorganic protective layer 7 formed on the organic functional layer 5 so as to cover the periphery of the organic functional layer together with the inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer) will be described.

無機保護層7とは、有機ELディスプレイの内部に酸素や水分が侵入することを防ぐ役目を担う層であり、材料としては、特に限定されることはなく、例えば、SiOx、SiNx、GeOx、GeNx、GeC、AlOx、AlNなどさまざまな材料を用いることができる。   The inorganic protective layer 7 is a layer that plays a role of preventing oxygen and moisture from entering the inside of the organic EL display, and the material is not particularly limited. For example, SiOx, SiNx, GeOx, GeNx Various materials such as GeC, AlOx, and AlN can be used.

無機保護層7の厚さは、100nm〜50μmが好ましい。   As for the thickness of the inorganic protective layer 7, 100 nm-50 micrometers are preferable.

また、無機保護層は、平坦化層などを用いた多層構造でも構わない。   The inorganic protective layer may have a multilayer structure using a planarizing layer or the like.

次に、第二電極(陰極)6について説明する。   Next, the second electrode (cathode) 6 will be described.

陰極6は、有機ELディスプレイの陽極として用いられるような電極材料であれば特に限定されることはないが、例えば、Ai、LiAl、MgAg、Ca等の材料が挙げられる。   Although it will not specifically limit if the cathode 6 is an electrode material used as an anode of an organic EL display, For example, materials, such as Ai, LiAl, MgAg, Ca, are mentioned.

陰極6の厚さは、1nm〜500nmが好ましい。   The thickness of the cathode 6 is preferably 1 nm to 500 nm.

このような陰極6は、例えば上述した電極材料を用い、真空蒸着(抵抗加熱蒸着)法、真空蒸着(電子ビーム蒸着)法、真空蒸着(スパッタ)法、塗布成膜等の方法により形成することができる。   Such a cathode 6 is formed, for example, by using the above-described electrode material by a method such as a vacuum deposition (resistance heating deposition) method, a vacuum deposition (electron beam deposition) method, a vacuum deposition (sputtering) method, or a coating film formation method. Can do.

以上説明したように、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   As described above, the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display, and the substrate barrier layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the bottom of the organic EL display. In addition, even if pinholes are generated in the substrate barrier layer, the inorganic charge injection / transport layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer). When the transport layer closes the pinhole, intrusion of moisture and the like from the pinhole portion can be prevented, and the organic functional layer can be more effectively protected.

(第2実施形態)
以下に、本発明の有機ELディスプレイを実施するための第2実施形態について図面を用いて説明する。なお、第1実施形態にて説明したものと同様のものについては図面中の番号を同じとし、説明を省略する。
(Second Embodiment)
Below, 2nd Embodiment for implementing the organic EL display of this invention is described using drawing. In addition, the same thing as what was demonstrated in 1st Embodiment makes the number in drawing the same, and abbreviate | omits description.

図4は、本発明の有機ELディスプレイを上面からみた概略図であり、図5(a)は、本発明の有機ELディスプレイを図4に示すA−A’で切断した場合の概略断面図であり、図5(b)は、本発明の有機ELディスプレイを図4に示すB−B’で切断した場合の概略断面図であり、図6は、無機保護層にピンホールができた場合を示す概略断面図である。   FIG. 4 is a schematic view of the organic EL display of the present invention as viewed from above, and FIG. 5A is a schematic cross-sectional view of the organic EL display of the present invention cut along AA ′ shown in FIG. FIG. 5B is a schematic cross-sectional view when the organic EL display of the present invention is cut along BB ′ shown in FIG. 4, and FIG. 6 shows a case where a pinhole is formed in the inorganic protective layer. It is a schematic sectional drawing shown.

本実施形態の有機ELディスプレイは、図4、5(a)(b)に示すように、基板1、基板バリア層2、第一電極(陽極)3、有機機能層5、無機電荷注入輸送層14、第二電極(陰極)6、無機保護層7、を積層することにより構成されている。   As shown in FIGS. 4, 5 (a) and (b), the organic EL display of this embodiment includes a substrate 1, a substrate barrier layer 2, a first electrode (anode) 3, an organic functional layer 5, an inorganic charge injection transport layer. 14, a second electrode (cathode) 6 and an inorganic protective layer 7 are laminated.

基板1、第一電極(陽極)3、有機機能層5については第1実施形態において説明したものと同様のため説明は省略する。なお、有機機能層5についても第1実施形態において説明したものと同様であるが、本実施形態においては後述するように、無機電荷注入輸送層が電子注入輸送層の役割を果たすため、有機機能層5において、重複して電子注入層は設ける必要はない。   Since the substrate 1, the first electrode (anode) 3, and the organic functional layer 5 are the same as those described in the first embodiment, description thereof is omitted. The organic functional layer 5 is the same as that described in the first embodiment. However, in the present embodiment, since the inorganic charge injecting and transporting layer serves as an electron injecting and transporting layer, as described later, In the layer 5, it is not necessary to provide an electron injection layer overlappingly.

ここで、本発明は、第一電極の下層と、第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層が形成され、第一電極の下と第二電極の上とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、有機機能層の上層、又は、下層に形成された無機電荷注入輸送層と、により有機機能層の周囲が覆われていることに特徴を有している。   Here, in the present invention, an inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and an inorganic charge injecting and transporting layer is formed on the upper or lower layer of the organic functional layer. One of the inorganic gas barrier layers formed under one electrode and the second electrode, respectively, and an inorganic charge injecting and transporting layer formed in the upper layer or the lower layer of the organic functional layer, The feature is that the circumference is covered.

まず、第一電極3の下層と、第二電極6の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層5の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層4が形成されていることについて説明する。   First, an inorganic gas barrier layer is formed on the lower layer of the first electrode 3 and the upper layer of the second electrode 6, and the inorganic charge injection transport layer 4 is formed on the upper layer or lower layer of the organic functional layer 5. Will be described.

本実施形態においては図4、5(a)(b)に示すように、有機機能層5の上層には無機電荷注入輸送層14が形成され、有機機能層5の下層には無機ガスバリア層として基板バリア層2が形成されている。   In this embodiment, as shown in FIGS. 4, 5 (a) and (b), an inorganic charge injecting and transporting layer 14 is formed in the upper layer of the organic functional layer 5, and an inorganic gas barrier layer is formed in the lower layer of the organic functional layer 5. A substrate barrier layer 2 is formed.

ここで、基板バリア層2は、有機ELディスプレイの内部に酸素や水分が侵入することを防ぐ役目を担う層であり、材料としては特に限定されることはなく、例えば、SiOx、SiNx、SiC、GeOx、GeNx、GeC、AlOx、AlNなどさまざまな材料を用いることができ、後述する無機保護膜7と同材質を使用することができる。   Here, the substrate barrier layer 2 is a layer that plays a role of preventing oxygen and moisture from entering the inside of the organic EL display, and the material is not particularly limited. For example, SiOx, SiNx, SiC, Various materials such as GeOx, GeNx, GeC, AlOx, and AlN can be used, and the same material as the inorganic protective film 7 described later can be used.

基板バリア層2の厚さは、第一の実施例と同様である。   The thickness of the substrate barrier layer 2 is the same as in the first embodiment.

次に、第一電極の下と前記第二電極の上とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、有機機能層の上層、又は、下層に形成された無機電荷注入輸送層と、により有機機能層の周囲が覆われていることについて説明する。   Next, one of the inorganic gas barrier layers formed below the first electrode and above the second electrode, the upper layer of the organic functional layer, or the inorganic charge injection transport layer formed in the lower layer, The reason why the periphery of the organic functional layer is covered will be described.

具体的には、図4、5(a)(b)に示すように、有機機能層5の上層に形成されている無機電荷注入輸送層14と、下層に形成されている基板バリア層2によって、有機機能層5の周囲が覆われている。   Specifically, as shown in FIGS. 4, 5 (a) and (b), the inorganic charge injecting and transporting layer 14 formed in the upper layer of the organic functional layer 5 and the substrate barrier layer 2 formed in the lower layer are used. The periphery of the organic functional layer 5 is covered.

ここで、これらの基板バリア層2と無機電荷注入輸送層14による有機機能層5の周囲の覆われ方は特に限定されていないが、例えば、無機電荷注入輸送層14の形成範囲(図4、5(a)(b)で見ることころのそれぞれ横方向、縦方向の長さ)が、有機機能層4の形成範囲よりも広く形成されており、無機電荷注入輸送層14が、有機機能層5の上部と両端を覆うようにして、基板バリア層2と無機電荷注入輸送層14によって、有機機能層5が覆われていてもよい。   Here, the method of covering the periphery of the organic functional layer 5 by the substrate barrier layer 2 and the inorganic charge injection transport layer 14 is not particularly limited. For example, the formation range of the inorganic charge injection transport layer 14 (FIG. 4, 5 (a) and (b), the lengths of the rollers in the horizontal direction and the vertical direction, respectively, are formed wider than the formation range of the organic functional layer 4, and the inorganic charge injecting and transporting layer 14 includes the organic functional layer. The organic functional layer 5 may be covered with the substrate barrier layer 2 and the inorganic charge injecting and transporting layer 14 so as to cover the upper portion and both ends of the substrate 5.

これにより、図6に示すように、基板バリア層2において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層7において有機ELディスプレイの上部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層7にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層14が無機保護層7の下層(有機機能層5の上層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   This prevents moisture from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer 2 as shown in FIG. 6, and the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer 7. 5, and even when pinholes are generated in the inorganic protective layer 7, the inorganic charge injection / transport layer 14 is a lower layer of the inorganic protective layer 7 (upper layer of the organic functional layer 5). ), The inorganic charge injecting and transporting layer closes the pinhole, thereby preventing intrusion of moisture and the like from the pinhole portion and protecting the organic functional layer 5 more effectively.

更に、上述した無機電荷注入輸送層14の形成範囲は、有機機能層5の形成範囲よりも1μm以上10mm以下、特に、1μm以上10mm以下広くてもよい。   Further, the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer 14 described above may be 1 μm or more and 10 mm or less, particularly 1 μm or more and 10 mm or less, than the formation range of the organic functional layer 5.

このように、無機電荷注入輸送層4の形成範囲を、第二電極が無い部分にまでわたって、1μm以上有機機能層5の形成範囲よりも広くすることにより、第二電極が無い範囲において基板バリア層2にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   Thus, by forming the inorganic charge injecting and transporting layer 4 in a range where the second electrode is not present by extending the formation range of the organic functional layer 5 by 1 μm or more to a portion where the second electrode is not present, Even when pinholes are generated in the barrier layer 2, the organic functional layer does not have a range in contact with the pinholes, and the inorganic charge injecting and transporting layer blocks the pinholes so that moisture or the like can enter from the pinhole portion. And the organic functional layer 5 can be protected more effectively.

ここで、無機電荷注入輸送層4は、電子注入輸送層、又は、正孔注入輸送層のいずれかであることに特徴を有している。   Here, the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is characterized by being either an electron injecting and transporting layer or a hole injecting and transporting layer.

具体的には、本実施形態において陰極7に接している無機電荷注入輸送層14は、電子注入輸送層の機能をするものである。   Specifically, the inorganic charge injection transport layer 14 in contact with the cathode 7 in this embodiment functions as an electron injection transport layer.

無機電子注入輸送層は、LiOx、LiF、CsOx、CsF、MgFx、ZnO、ZnS、ZnSe、CdS、MgO、TiOx、GaN、AlN、AlOxなどで、または上記化合物の混合物でも構わない。   The inorganic electron injecting and transporting layer may be LiOx, LiF, CsOx, CsF, MgFx, ZnO, ZnS, ZnSe, CdS, MgO, TiOx, GaN, AlN, AlOx, or a mixture of the above compounds.

これにより、上述のように有機機能層5に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。   Thereby, the inorganic charge injecting and transporting layer for preventing moisture from entering the organic functional layer 5 as described above can also serve as the electron injecting and transporting layer.

なお、無機電荷注入輸送層の材質、無機電荷注入輸送層の厚さ、第二電極(陰極)6については第1実施形態において説明したものと同様のため説明は省略する。   The material of the inorganic charge injecting and transporting layer, the thickness of the inorganic charge injecting and transporting layer, and the second electrode (cathode) 6 are the same as those described in the first embodiment, and thus description thereof is omitted.

次に、無機保護層7について説明する。   Next, the inorganic protective layer 7 will be described.

無機保護層7とは、有機ELディスプレイの内部に酸素や水分が侵入することを防ぐ役目を担う層であり、材料としては、特に限定されることはなく、例えば、SiOx、SiNx、GeOx、GeNx、GeC、AlOx、Alなどさまざまな材料を用いることができる。   The inorganic protective layer 7 is a layer that plays a role of preventing oxygen and moisture from entering the inside of the organic EL display, and the material is not particularly limited. For example, SiOx, SiNx, GeOx, GeNx Various materials such as GeC, AlOx, and Al can be used.

無機保護層7の厚さは、100nm〜50μmが好ましい。   As for the thickness of the inorganic protective layer 7, 100 nm-50 micrometers are preferable.

以上説明したように、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   As described above, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the lower layer of the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), moisture enters the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer. In addition, the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display, and even when the inorganic protective layer has pinholes, the inorganic charge injection When the transport layer closes the pinhole, intrusion of moisture and the like from the pinhole portion can be prevented, and the organic functional layer can be more effectively protected.

(第3実施形態)
以下に、本発明の有機ELディスプレイを実施するための第3実施形態について図面を用いて説明する。なお、第1実施形態にて説明したものと同様のものについては図面中の番号を同じとし、説明を省略する。
(Third embodiment)
Below, 3rd Embodiment for implementing the organic EL display of this invention is described using drawing. In addition, the same thing as what was demonstrated in 1st Embodiment makes the number in drawing the same, and abbreviate | omits description.

図7は、本発明の有機ELディスプレイを上面からみた概略図であり、図8(a)は、本発明の有機ELディスプレイを図7に示すA−A’で切断した場合の概略断面図であり、図8(b)は、本発明の有機ELディスプレイを図8に示すB−B’で切断した場合の概略断面図であり、図9は、基板バリア層と無機保護層にピンホールができた場合を示す概略断面図である。   7 is a schematic view of the organic EL display of the present invention as viewed from above, and FIG. 8A is a schematic cross-sectional view of the organic EL display of the present invention cut along AA ′ shown in FIG. 8B is a schematic cross-sectional view when the organic EL display of the present invention is cut along BB ′ shown in FIG. 8, and FIG. 9 shows pinholes in the substrate barrier layer and the inorganic protective layer. It is a schematic sectional drawing which shows the case where it was made.

本実施形態の有機ELディスプレイは、図7、8(a)(b)に示すように、基板1、基板バリア層2、第一電極(陽極)3、有機機能層5、無機電荷注入輸送層4、14、第二電極(陰極)6、無機保護層7、を積層することにより構成されている。   The organic EL display of this embodiment includes a substrate 1, a substrate barrier layer 2, a first electrode (anode) 3, an organic functional layer 5, an inorganic charge injecting and transporting layer, as shown in FIGS. 4, 14, the second electrode (cathode) 6, and the inorganic protective layer 7 are laminated.

基板1、基板バリア層2、第一電極(陽極)3、有機機能層5、第二電極(陰極)6、無機保護層7については第1実施形態において説明したものと同様のため説明は省略する。なお、有機機能層5についても第1実施形態において説明したものと同様であるが、本実施形態においては後述するように、無機電荷注入輸送層が無機正孔注入輸送層、無機電子注入輸送層の役割を果たすため、有機機能層5において、重複して正孔注入層、電子注入層は設ける必要はない。   Since the substrate 1, the substrate barrier layer 2, the first electrode (anode) 3, the organic functional layer 5, the second electrode (cathode) 6, and the inorganic protective layer 7 are the same as those described in the first embodiment, description thereof is omitted. To do. The organic functional layer 5 is the same as that described in the first embodiment, but in this embodiment, the inorganic charge injecting and transporting layer is an inorganic hole injecting and transporting layer and an inorganic electron injecting and transporting layer, as will be described later. Therefore, it is not necessary to provide the hole injection layer and the electron injection layer in the organic functional layer 5 in an overlapping manner.

ここで、本発明は、第一電極の下層と、第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層を覆うように有機機能層の上層と、下層と、にそれぞれ無機電荷注入輸送層が形成されていることに特徴を有している。   Here, in the present invention, an inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and each of the upper and lower layers of the organic functional layer is inorganic so as to cover the organic functional layer. It is characterized in that a charge injection transport layer is formed.

まず、第一電極の下層と、第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、有機機能層の上層と、下層と、にそれぞれ無機電荷注入輸送層が形成されていることについて説明する。   First, the inorganic gas barrier layer is formed on the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, respectively, and the inorganic charge injecting and transporting layer is formed on the upper layer and the lower layer of the organic functional layer, respectively. To do.

本実施形態においては図7、8(a)(b)に示すように、第一電極3の下層と、第二電極6の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層(基板バリア層2、無機保護層7)が形成されている。   In this embodiment, as shown in FIGS. 7, 8 (a) and 8 (b), an inorganic gas barrier layer (substrate barrier layer 2, inorganic protective layer) is formed on the lower layer of the first electrode 3 and the upper layer of the second electrode 6, respectively. 7) is formed.

次に、有機機能層を覆うように有機機能層の上層と、下層と、にそれぞれ無機電荷注入輸送層が形成されていることについて説明する。   Next, it will be described that inorganic charge injecting and transporting layers are formed on the upper and lower layers of the organic functional layer so as to cover the organic functional layer.

具体的には、図7、8(a)(b)に示すように、有機機能層5の上層に形成されている無機電荷注入輸送層14と、下層に形成されている無機電荷注入輸送層4によって、有機機能層5の周囲が覆われている。   Specifically, as shown in FIGS. 7, 8 (a) and 8 (b), the inorganic charge injecting and transporting layer 14 formed in the upper layer of the organic functional layer 5 and the inorganic charge injecting and transporting layer formed in the lower layer. 4, the periphery of the organic functional layer 5 is covered.

ここで、これらの無機電荷注入輸送層4、14による有機機能層5の周囲の覆われ方は特に限定されていないが、例えば、無機電荷注入輸送層4、14の形成範囲(図7、8(a)(b)で見ることころのそれぞれ横方向、縦方向の長さ)が、有機機能層5の形成範囲よりも広く形成されており、無機電荷注入輸送層4、14によって、有機機能層5が覆われていてもよい。なお、本実施形態の場合、有機機能層5の下層と上層に形成される無機電荷注入輸送層は、酸素や、水分の浸入を防ぐという役割においては、同様の効果を有するものであるため、図示されている形態に限定されることはなく、有機機能層5の周囲が無機電荷注入輸送層4、14において覆われていればよい。   Here, the method of covering the periphery of the organic functional layer 5 by the inorganic charge injection transport layers 4 and 14 is not particularly limited. For example, the formation range of the inorganic charge injection transport layers 4 and 14 (FIGS. 7 and 8). The lengths of the rollers in the horizontal direction and the vertical direction) are larger than the range in which the organic functional layer 5 is formed, and the inorganic charge injecting and transporting layers 4 and 14 provide an organic function. Layer 5 may be covered. In the case of the present embodiment, the inorganic charge injecting and transporting layer formed in the lower layer and the upper layer of the organic functional layer 5 has the same effect in the role of preventing the entry of oxygen and moisture. It is not limited to the form shown in figure, The surroundings of the organic functional layer 5 should just be covered in the inorganic electric charge injection transport layers 4 and 14. FIG.

これにより、図9に示すように、基板バリア層2において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層7において有機ELディスプレイの上部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層2、無機保護層7の両者にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層4が基板バリア層2の上層(有機機能層5の下層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの浸入を防ぎ、無機電荷注入輸送層14が無機保護層7の下層(有機機能層5の上層)に形成されていることにより、同様にしてピンホール部分からの水分などの侵入を防ぐことができることにより、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   This prevents moisture from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer 2 as shown in FIG. 9, and the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer 7. 5 prevents moisture from entering, and even when pinholes are formed in both the substrate barrier layer 2 and the inorganic protective layer 7, the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is an upper layer of the substrate barrier layer 2. By being formed in (under the organic functional layer 5), the inorganic charge injecting and transporting layer prevents the intrusion of moisture and the like from the pinhole portion by closing the pinhole, and the inorganic charge injecting and transporting layer 14 is an inorganic protective layer. 7 is formed in the lower layer (upper layer of the organic functional layer 5), so that intrusion of moisture and the like from the pinhole portion can be similarly prevented. It can be effectively protected.

更に、上述した無機電荷注入輸送層14の形成範囲は、有機機能層5の形成範囲よりも1μm以上10mm以下、特に、1μm以上10mm以下広くてもよい。   Further, the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer 14 described above may be 1 μm or more and 10 mm or less, particularly 1 μm or more and 10 mm or less, than the formation range of the organic functional layer 5.

このように、無機電荷注入輸送層4の形成範囲を、両電極が無い部分にまでわたって、1μm以上有機機能層5の形成範囲よりも広くすることにより、両電極が無い範囲において基板バリア層2と無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。   As described above, the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is made 1 μm or more wider than the formation range of the organic functional layer 5 over the portion where both electrodes are absent, so that the substrate barrier layer in the range where both electrodes are absent. 2 and even when pinholes are formed in the inorganic protective layer, the range in which the organic functional layer is in contact with the pinholes is eliminated, and the inorganic charge injecting and transporting layer closes the pinholes so that moisture from the pinhole part is removed. Intrusion can be prevented and the organic functional layer 5 can be more effectively protected.

ここで、無機電荷注入輸送層4は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることに特徴を有している。   Here, the inorganic charge injecting and transporting layer 4 is characterized by being either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer.

具体的には、本実施形態において陽極3に接している無機電荷注入輸送層4は、正孔注入輸送層の機能をするものであり、陰極7に接している無機電荷注入輸送層14は、電子注入輸送層の機能をするものである。   Specifically, the inorganic charge injection transport layer 4 in contact with the anode 3 in this embodiment functions as a hole injection transport layer, and the inorganic charge injection transport layer 14 in contact with the cathode 7 It functions as an electron injecting and transporting layer.

なお、無機電荷注入輸送層の材質、無機電荷注入輸送層の厚さについては第1実施形態において説明したものと同様のため説明は省略し、第二電極(陰極)6、無機保護層7については第1実施形態において説明したものと同様のため説明は省略する。   The material of the inorganic charge injecting and transporting layer and the thickness of the inorganic charge injecting and transporting layer are the same as those described in the first embodiment, so that the description thereof is omitted, and the second electrode (cathode) 6 and the inorganic protective layer 7 are omitted. Is the same as that described in the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

以上説明したように、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層、無機保護層の両者にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことで基板バリア層ピンホール部分からの水分などの浸入を防ぎ、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、同様にして無機保護層ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぐことができることにより、有機機能層をより効果的に保護することができる。   As described above, the substrate barrier layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the bottom of the organic EL display, and the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display. In addition, even when pinholes are generated in both the substrate barrier layer and the inorganic protective layer, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer). Therefore, the inorganic charge injecting and transporting layer blocks the pinholes to prevent intrusion of moisture and the like from the substrate barrier layer pinhole part, and the inorganic charge injecting and transporting layer is formed under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer) In the same manner, the organic protective layer can be more effectively protected by preventing the penetration of moisture and the like from the pinhole portion of the inorganic protective layer in the same manner. It is possible.

上記3つの実施形態における構成は、有機ELディスプレイの他にも、同様な正孔注入輸送層と電子注入輸送層、またはバイポーラ性の半導体層を用いた有機系電子デバイスならば適用可能であり、有機半導体、有機メモリ、有機センサ又は有機太陽電池などの素子にも適用することは可能である。   The configuration in the above three embodiments is applicable to any organic electronic device using a similar hole injecting and transporting layer and electron injecting and transporting layer or bipolar semiconductor layer in addition to the organic EL display. The present invention can also be applied to elements such as organic semiconductors, organic memories, organic sensors, or organic solar cells.

また、上記実施形態における素子の駆動方法は、パッシブマトリクス駆動となるが、それに限られることは無く、TFTを設置したアクティブマトリクス駆動でも構わないし、限定されることはない。   The element driving method in the above embodiment is passive matrix driving, but is not limited thereto, and may be active matrix driving in which TFTs are provided, and is not limited thereto.

[実施例]
次に、実施例及び比較例を挙げて、本発明を更に詳述する。
[Example]
Next, an Example and a comparative example are given and this invention is further explained in full detail.

(実施例1)
まず、基板バリア層(SiON)(100nm厚)が表裏面に形成された基板(PES)上に、公知技術により陽極(ITO)(100nm厚)をストライプ状に形成した。その上に、後に形成する無機保護層と併せて有機機能層の周囲を覆うように(有機機能層の形成範囲よりも広くなるように)真空蒸着法にて無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)(MoOx)(10nm厚)を形成した。その上に、真空蒸着法にて、有機機能層として有機ホール輸送層(α−NPD)(40nm厚)と有機発光層(Alq)(60nm厚)を形成した。その上に、陰極であるMg-Ag(100nm厚、Mg:Ag=10:1)を前記ITOと直行するようにストライプ状に形成した。その上に、有機機能層の下層に形成された無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)MoOxと併せて有機機能層の周囲を覆うように(電極引出部以外の全体を覆うように)13.56MHzのプラズマCVD法にて、モノシラン100sccm、窒素2000sccm、100Pa、1000Wの条件にて、無機保護層(SiNx)(1um)を形成し、実験例1の有機ELディスプレイを作製した。
Example 1
First, an anode (ITO) (100 nm thickness) was formed in a stripe shape by a known technique on a substrate (PES) having a substrate barrier layer (SiON) (100 nm thickness) formed on the front and back surfaces. In addition, an inorganic charge injection transport layer (inorganic hole layer) is formed by vacuum deposition so as to cover the periphery of the organic functional layer together with the inorganic protective layer to be formed later (so as to be wider than the formation range of the organic functional layer). A transport layer (MoOx) (10 nm thick) was formed. An organic hole transport layer (α-NPD) (40 nm thickness) and an organic light emitting layer (Alq) (60 nm thickness) were formed thereon as an organic functional layer by vacuum deposition. Further, Mg—Ag (100 nm thickness, Mg: Ag = 10: 1) as a cathode was formed in a stripe shape so as to be orthogonal to the ITO. On top of that, to cover the periphery of the organic functional layer together with the inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer) MoOx formed in the lower layer of the organic functional layer (so as to cover the whole other than the electrode lead portion) An inorganic protective layer (SiNx) (1 μm) was formed by plasma CVD at 13.56 MHz under the conditions of monosilane 100 sccm, nitrogen 2000 sccm, 100 Pa, 1000 W, and an organic EL display of Experimental Example 1 was produced.

(比較例1)
実施例1で作製した有機ELディスプレイにおいて、無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)のかわりに有機正孔注入層(CuPc)(10nm厚)を形成した以外は、実施例1と同ようにして、比較例1の有機ELディスプレイを作製した。なお、実施例1において示したように、無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)と同領域同膜厚で有機正孔注入層を形成したものである。
(Comparative Example 1)
The organic EL display produced in Example 1 was the same as Example 1 except that an organic hole injection layer (CuPc) (thickness 10 nm) was formed instead of the inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer). Thus, an organic EL display of Comparative Example 1 was produced. In addition, as shown in Example 1, the organic hole injection layer was formed in the same region and the same thickness as the inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer).

<有機発光層の発光状態評価>
実施例1、比較例1により作製した有機ELディスプレイを60℃90%RHの多湿環境下で保管し、有機発光層の発光評価を行った。
<Emission state evaluation of organic light emitting layer>
The organic EL display produced by Example 1 and Comparative Example 1 was stored in a humid environment of 60 ° C. and 90% RH, and light emission evaluation of the organic light emitting layer was performed.

(結果・考察)
実施例1により作製した有機ELディスプレイは、無機保護層と併せて有機機能層の周囲を覆うように無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)(MoOx)が形成されているため、特に、有機機能層の下層(基板バリア層の上層)に無機ガスバリア層である無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)(MoOx)が形成されているため)、基板バリア層(SiON)中のピンホールからの透湿経路を遮断しているため、非発光部の進行が無く、良好な発光状態を保っていた。
(Results and discussion)
In the organic EL display produced in Example 1, the inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer) (MoOx) is formed so as to cover the periphery of the organic functional layer together with the inorganic protective layer. An inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer) (MoOx), which is an inorganic gas barrier layer, is formed under the organic functional layer (upper layer of the substrate barrier layer), and pins in the substrate barrier layer (SiON) Since the moisture permeation path from the hole is blocked, the non-light emitting portion does not progress and a good light emitting state is maintained.

一方、比較例1により作製した有機ELディスプレイは、無機電荷注入輸送層(無機正孔輸送層)のかわりに有機正孔注入層を形成したため、基板バリア層(SiON)のピンホールからの透湿がおこり、保管初期から円形の非発光部が拡大し、発光状態は不良であった。   On the other hand, in the organic EL display produced by Comparative Example 1, the organic hole injection layer was formed instead of the inorganic charge injection transport layer (inorganic hole transport layer), and therefore moisture permeability from the pinhole of the substrate barrier layer (SiON) As a result, the circular non-light-emitting portion expanded from the initial storage, and the light emission state was poor.

(実施例2)
まず、基板(PES)上に、後に形成する無機電荷注入輸送層(無機電子注入輸送層)と併せて有機機能層の周囲を覆うように基板バリア層(SiON)(100nm厚)を形成した。その上に、公知技術により陽極(ITO)(100nm厚)をストライプ状に形成し、真空蒸着法にて、有機機能層として有機正孔注入層(CuPc)(20nm厚)と有機正孔輸送層(α−NPD)(40nm厚)と有機発光層(Alq)(60nm厚)を成膜した。その上に、有機機能層の下層に形成された基板バリア層と併せて有機機能層の周囲を覆うように(有機層の形成範囲よりも広くなるように)無機電化注入輸送層(無機電子注入輸送層)(TiOx)(10nm厚)を形成した。その上に、陰極であるMg-Ag(100nm厚、Mg:Ag=10:1)を前記ITOと直行するようにストライプ状に形成した。電極引出部以外の全体を覆うように13.56MHzのプラズマCVD法にて、モノシラン100sccm、窒素2000sccm、100Pa、1000Wの条件にて、SiNxの無機保護層1umを形成した。
(Example 2)
First, a substrate barrier layer (SiON) (100 nm thickness) was formed on a substrate (PES) so as to cover the periphery of the organic functional layer together with an inorganic charge injection transport layer (inorganic electron injection transport layer) to be formed later. On top of that, anodes (ITO) (100 nm thickness) are formed in stripes by a known technique, and an organic hole injection layer (CuPc) (20 nm thickness) and an organic hole transport layer are formed as an organic functional layer by a vacuum deposition method. (Α-NPD) (40 nm thickness) and an organic light emitting layer (Alq) (60 nm thickness) were formed. In addition, an inorganic charge injection transport layer (inorganic electron injection) so as to cover the periphery of the organic functional layer together with the substrate barrier layer formed under the organic functional layer (so as to be wider than the formation range of the organic layer) A transport layer (TiOx) (10 nm thick) was formed. Further, Mg—Ag (100 nm thickness, Mg: Ag = 10: 1) as a cathode was formed in a stripe shape so as to be orthogonal to the ITO. An SiNx inorganic protective layer 1 um was formed by plasma CVD at 13.56 MHz under the conditions of monosilane 100 sccm, nitrogen 2000 sccm, 100 Pa, 1000 W so as to cover the entire area other than the electrode lead-out part.

(比較例2)
実施例2で作製した有機ELディスプレイにおいて、無機電化注入輸送層(無機電子注入輸送層)が形成されない以外は、実施例2と同ようにして、比較例2の有機ELディスプレイを作製した。
(Comparative Example 2)
In the organic EL display produced in Example 2, the organic EL display of Comparative Example 2 was produced in the same manner as in Example 2 except that the inorganic charge injecting and transporting layer (inorganic electron injecting and transporting layer) was not formed.

<有機発光層の発光状態評価>
実施例2、比較例2により作製した有機ELディスプレイを60℃90%RHの多湿環境下で保管し、有機発光層の発光評価を行った。
<Emission state evaluation of organic light emitting layer>
The organic EL displays produced in Example 2 and Comparative Example 2 were stored in a humid environment of 60 ° C. and 90% RH, and the light emission evaluation of the organic light emitting layer was performed.

(結果・考察)
実施例2により作製した有機ELディスプレイは、基板バリア層と併せて有機機能層の周囲を覆うように無機電荷注入輸送層(無機電子注入輸送層)が形成されているため(特に、有機機能層の上層(無機保護層の下層)に無機ガスバリア層である無機電荷注入輸送層TiOxが形成されているため)、無機保護層SiN中のピンホールからの透湿経路を遮断しているため、非発光の進行が無く、良好な発光状態を保っていた。
(Results and discussion)
In the organic EL display produced in Example 2, the inorganic charge injection transport layer (inorganic electron injection transport layer) is formed so as to cover the periphery of the organic functional layer together with the substrate barrier layer (particularly, the organic functional layer). Since the inorganic charge injection transport layer TiOx, which is an inorganic gas barrier layer, is formed in the upper layer (lower layer of the inorganic protective layer), the moisture transmission path from the pinhole in the inorganic protective layer SiN is blocked. There was no progress of light emission, and a good light emission state was maintained.

一方、比較例2により作製した有機ELディスプレイは、無機電荷注入輸送層(無機電子注入輸送層)が形成されていないため、無機保護層(SiN)のピンホールからの透湿がおこり、保管初期から円形の非発光部が拡大し、発光状態は不良であった。   On the other hand, the organic EL display produced in Comparative Example 2 does not have an inorganic charge injecting and transporting layer (inorganic electron injecting and transporting layer). As a result, the circular non-light emitting portion was enlarged and the light emitting state was poor.

以上説明したように、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   As described above, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer), moisture enters the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition, the substrate barrier layer prevents moisture from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display. Further, even if pinholes are generated in the substrate barrier layer, the inorganic charge By injecting and transporting the pinhole, the injecting and transporting layer prevents intrusion of moisture and the like from the pinhole portion, and the organic functional layer can be more effectively protected.

また、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。   In addition, by forming the inorganic charge injecting and transporting layer under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, In addition, the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display, and the inorganic charge injecting and transporting layer is pinned even when pinholes are formed in the inorganic protective layer. By closing the hole, it is possible to prevent moisture and the like from entering from the pinhole portion and more effectively protect the organic functional layer.

さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。   Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.

【0002】
ぐことができる。
特許文献1:WO2003−047317号公報
発明の開示
発明が解決しようとする課題
[0007]
しかしながら、上述のように単純に基板バリア層や無機保護層を複数層積層しただけでは、有機機能層が基板バリア層や無機保護層で覆われていない部分にピンホールが生じた場合には、当該部分からの酸素や水分の浸入を防ぐことは出来ず、非発光化してしまうという問題があった。
[0008]
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、有機ELディスプレイ内に酸素、水分が浸入することをより効果的に防ぐことができる有機ELディスプレイを提供することにある。
課題を解決するための手段
[0009]
上記課題を解決するための本発明の有機ELディスプレイは、基板、少なくとも一以上パターニングされた第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、少なくとも一以上パターニングされた第二電極をこの順で積層することにより構成された複数の発光素子領域を含む有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記有機機能層の上層、又は、下層に、前記発光素子領域と前記発光素子領域以外の領域である非発光素子領域を含む前記有機機能層の形成範囲よりも広い形成範囲を有する無機電荷注入輸送層が形成され、前記第一電極の下層と前記第二電極の上層とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、前記有機機能層の上層、又は、下層に形成された前記無機電荷注入輸送層と、により前記発光素子領域と前記非発光素子領域を含む前記有機機能層の周囲が覆われており、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。
[0010]
これによれば、無機電荷注入輸送層が有機機能層の下層に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
[0002]
You can
Patent Document 1: WO2003-047317 Disclosure of the Invention Problems to be Solved by the Invention [0007]
However, simply by laminating a plurality of substrate barrier layers and inorganic protective layers as described above, if a pinhole occurs in a portion where the organic functional layer is not covered with the substrate barrier layer or inorganic protective layer, There is a problem that oxygen and moisture cannot be prevented from entering from the portion, and the light is not emitted.
[0008]
This invention is made | formed in view of such a problem, and is providing the organic EL display which can prevent more effectively that oxygen and a water | moisture content permeate in an organic EL display.
Means for Solving the Problems [0009]
In order to solve the above problems, an organic EL display of the present invention comprises a substrate, at least one patterned first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and at least one patterned second electrode in this order. An organic EL display including a plurality of light-emitting element regions formed by laminating with each other, wherein an inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and the organic function An inorganic charge injecting and transporting layer having a formation range wider than the formation range of the organic functional layer including the light emitting element region and a non-light emitting element region other than the light emitting element region is formed on the upper layer or the lower layer of the layer. One of the inorganic gas barrier layers formed on the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and the upper layer of the organic functional layer, or the lower layer, respectively. The formed inorganic charge injecting and transporting layer covers the periphery of the organic functional layer including the light emitting element region and the non-light emitting element region, and the inorganic charge injecting and transporting layer includes an inorganic electron injecting and transporting layer, Or it is either an inorganic hole injection transport layer, It is characterized by the above-mentioned.
[0010]
According to this, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the lower layer of the organic functional layer, it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition to preventing moisture from entering the organic functional layer 5 from the bottom of the organic EL display in the layer, the inorganic charge injecting and transporting layer blocks the pinhole even when a pinhole is generated in the substrate barrier layer. In this way, it is possible to prevent moisture and the like from entering from the pinhole portion and to protect the organic functional layer more effectively.

【0003】
[0011]
また、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
[0012]
さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。
また、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に第一電極が無い部分にまでわたって、有機機能層の形成範囲よりも広く形成されていることにより、第一電極が無い範囲において基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
さらに、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に第二電極が無い部分にまでわたって、有機機能層の形成範囲よりも広く形成されていることにより、第二電極が無い範囲において無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
[0013]
上記課題を解決するための本発明の有機ELディスプレイは、基板、少なくとも一以上パターニングされた第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、少なくとも一以上パターニングされた第二電極をこの順で積層することにより構成された複数の発光素子領域を含む有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記発光素子領域と前記発光素子領域以外の領域である非発光素子領域を含む前記有機機能層を覆うように前記有機機能層の上層と、下層と、に前記有機機能層の形成範囲よりも広い形成範囲を有する無機電荷注入輸送層が形成され、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。
[0014]
これによれば、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層、無機保護層の両者にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの浸入を防ぎ、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、同様に無機保護層ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぐことができることにより、有機機能層をより効果的に保護することができる。
[0015]
さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。
[0016]
[0003]
[0011]
In addition, by forming the inorganic charge injecting and transporting layer under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, In addition, the inorganic protective layer prevents moisture from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display, and the inorganic charge injecting and transporting layer is pinned even when pinholes are formed in the inorganic protective layer. By closing the hole, it is possible to prevent moisture and the like from entering from the pinhole portion and more effectively protect the organic functional layer.
[0012]
Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.
In addition, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed wider than the formation range of the organic functional layer over a portion where the first electrode is not present in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer). Even if there is a pinhole in the substrate barrier layer in the area where there is no electrode, the area where the organic functional layer is in contact with the pinhole is eliminated, preventing intrusion of moisture etc. from the pinhole part, It can be effectively protected.
Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed wider than the formation range of the organic functional layer over the portion where the second electrode is not present in the lower layer of the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), Even if there is a pinhole in the inorganic protective layer in the area where there is no electrode, the area where the organic functional layer is in contact with the pinhole is eliminated, preventing intrusion of moisture from the pinhole portion, It can be effectively protected.
[0013]
In order to solve the above problems, an organic EL display of the present invention comprises a substrate, at least one patterned first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and at least one patterned second electrode in this order. An organic EL display including a plurality of light emitting element regions formed by laminating with each other, wherein an inorganic gas barrier layer is formed on each of a lower layer of the first electrode and an upper layer of the second electrode, and the light emitting element The upper layer of the organic functional layer and the lower layer so as to cover the organic functional layer including the region and the non-light emitting element region which is a region other than the light emitting element region have a formation range wider than the formation range of the organic functional layer. An inorganic charge injecting and transporting layer, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer is either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer. .
[0014]
This prevents moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and prevents moisture from entering the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition, even when pinholes are generated in both the substrate barrier layer and the inorganic protective layer, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer). Therefore, the inorganic charge injecting and transporting layer prevents the intrusion of moisture and the like from the pinhole part by closing the pinhole, and the inorganic charge injecting and transporting layer is formed under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer) Thus, intrusion of moisture and the like from the inorganic protective layer pinhole portion can be similarly prevented, so that the organic functional layer can be more effectively protected.
[0015]
Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.
[0016]

【0004】
[0017]
[0018]
[0019]
上記有機ELディスプレイは、請求項2に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層の形成範囲は、前記有機機能層の形成範囲よりも1μm以上10mm以下広いことを特徴とする。
[0020]
これによれば、無機電荷注入輸送層4の形成範囲を、上記範囲有機機能層5の形成範囲よりも広くすることにより、無機ガスバリア層にピンホールが生じている場合であっても、水分などの侵入を防ぎ、有機機能層5をより効果的に保護することができる。
[0021]
上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層の厚さは、10nm以上10μm以下であることを特徴とする。
[0022]
これによれば、無機電荷注入輸送層が島状にならずに、無機電荷注入輸送層自体においてピンホールの形成を抑制でき、無機ガスバリア層のピンホールを塞ぐ機能を果たすことが出来る。
[0023]
上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層は、酸化物、窒化物、硫化物、
[0004]
[0017]
[0018]
[0019]
The organic EL display according to claim 2, wherein the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer is 1 μm to 10 mm wider than the formation range of the organic functional layer.
[0020]
According to this, even if pinholes are generated in the inorganic gas barrier layer by making the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer 4 wider than the formation range of the organic functional layer 5, moisture, etc. Can be prevented and the organic functional layer 5 can be more effectively protected.
[0021]
The organic EL display according to any one of claims 1 to 3, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer has a thickness of 10 nm to 10 µm.
[0022]
According to this, the inorganic charge injecting and transporting layer does not have an island shape, the formation of pinholes in the inorganic charge injecting and transporting layer itself can be suppressed, and the function of blocking the pinholes in the inorganic gas barrier layer can be achieved.
[0023]
The organic EL display according to any one of claims 1 to 4, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer includes an oxide, a nitride, a sulfide,

【0005】
フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることを特徴とする。
[0024]
これによれば、無機電荷注入輸送層が、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることによって、水分、酸素バリア性を高くすることができる。
[0025]
上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記基板は、可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていることを特徴とする。
[0026]
これによれば、基板が可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていることによって、基板が酸素、水分に弱く、酸素や、水分の浸入しやすいため、このような基板が用いられている有機ELディスプレイにおいて、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護する効果をより発揮できる。
発明の効果
[0027]
上記本発明の有機ELディスプレイによれば、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に形成されていることにより、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層5に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホールを塞ぐことでピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
[0028]
また、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に形成されていることにより、基板バリア層において有機ELディスプレイの下部から有機機能層に水分が浸入することを防ぎ、また、無機保護層において有機ELディスプレイの上部から有機機能層に水分が浸入することを防ぐとともに、さらに、無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、無機電荷注入輸送層がピンホ
[0005]
It is formed by either fluoride or selenide.
[0024]
According to this, since the inorganic charge injecting and transporting layer is formed of any one of oxide, nitride, sulfide, fluoride, and selenide, moisture and oxygen barrier properties can be increased.
[0025]
The organic EL display according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate is formed of a flexible organic resin film.
[0026]
According to this, since the substrate is formed of a flexible organic resin film, the substrate is weak against oxygen and moisture, and oxygen and moisture can easily enter. In the EL display, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer), so that moisture penetrates into the organic functional layer from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. In addition to preventing moisture from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and even if a pinhole is generated in the substrate barrier layer, inorganic charge injection transport By blocking the pinhole, the layer prevents moisture and other intrusions from the pinhole part, and more effectively protects the organic functional layer.
Effects of the Invention [0027]
According to the organic EL display of the present invention, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer), so that the organic functional layer is formed from the upper part of the organic EL display in the inorganic protective layer. This is a case in which moisture is prevented from entering the substrate barrier layer, moisture is prevented from entering the organic functional layer 5 from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, and pinholes are generated in the substrate barrier layer. However, since the inorganic charge injecting and transporting layer closes the pinhole, the intrusion of moisture and the like from the pinhole portion can be prevented, and the organic functional layer can be more effectively protected.
[0028]
In addition, by forming the inorganic charge injecting and transporting layer under the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), it is possible to prevent moisture from entering the organic functional layer from the lower part of the organic EL display in the substrate barrier layer, In addition, in the inorganic protective layer, moisture can be prevented from entering the organic functional layer from the top of the organic EL display.

上記課題を解決するための本発明の有機ELディスプレイは、基板、少なくとも一以上パターニングされた第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、少なくとも一以上パターニングされた第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記有機機能層の上層、又は、下層に、前記発光素子領域と前記発光素子領域以外の領域である非発光素子領域を含む前記有機機能層の形成範囲よりも広い形成範囲を有する無機電荷注入輸送層が形成され、前記第一電極の下層と前記第二電極の上層とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、前記有機機能層の上層、又は、下層に形成された前記無機電荷注入輸送層と、により前記発光素子領域と前記非発光素子領域を含む前記有機機能層の周囲が覆われており、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an organic EL display of the present invention comprises a substrate, at least one patterned first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and at least one patterned second electrode in this order. The organic EL display is configured by laminating with an inorganic gas barrier layer formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, and the upper layer or the lower layer of the organic functional layer. An inorganic charge injecting and transporting layer having a formation range wider than the formation range of the organic functional layer including the light emitting element region and a non-light emitting element region other than the light emitting element region , One of the inorganic gas barrier layers respectively formed on the lower layer and the upper layer of the second electrode, and the inorganic charge formed on the upper layer or lower layer of the organic functional layer And input transport layer, the are around the organic functional layer is covered, including the non-light-emitting element region and the light emitting element region by, the inorganic charge injecting and transporting layer, an inorganic electron injecting and transporting layer, or an inorganic hole injection It is one of the transport layers.

さらに、有機機能層に水分が浸入することを防ぐ無機電荷注入輸送層が、正孔注入輸送層、又は、電子注入輸送層の役割をも果たすことができる。
また、無機電荷注入輸送層が基板バリア層の上層(有機機能層の下層)に第一電極が無い部分にまでわたって、有機機能層の形成範囲よりも広く形成されていることにより、第一電極が無い範囲において基板バリア層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
さらに、無機電荷注入輸送層が無機保護層の下層(有機機能層の上層)に第二電極が無い部分にまでわたって、有機機能層の形成範囲よりも広く形成されていることにより、第二電極が無い範囲において無機保護層にピンホールが生じている場合であっても、有機機能層がピンホールに接する範囲を無くし、ピンホール部分からの水分などの侵入を防ぎ、有機機能層をより効果的に保護することができる。
Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer that prevents moisture from entering the organic functional layer can also serve as a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer.
In addition, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed wider than the formation range of the organic functional layer over a portion where the first electrode is not present in the upper layer of the substrate barrier layer (the lower layer of the organic functional layer). Even if there is a pinhole in the substrate barrier layer in the area where there is no electrode, the area where the organic functional layer is in contact with the pinhole is eliminated, preventing intrusion of moisture etc. from the pinhole part, It can be effectively protected.
Furthermore, the inorganic charge injecting and transporting layer is formed wider than the formation range of the organic functional layer over the portion where the second electrode is not present in the lower layer of the inorganic protective layer (upper layer of the organic functional layer), Even if there is a pinhole in the inorganic protective layer in the area where there is no electrode, the area where the organic functional layer is in contact with the pinhole is eliminated, preventing intrusion of moisture from the pinhole portion, It can be effectively protected.

上記課題を解決するための本発明の有機ELディスプレイは、基板、少なくとも一以上パターニングされた第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、少なくとも一以上パターニングされた第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、前記発光素子領域と前記発光素子領域以外の領域である非発光素子領域を含む前記有機機能層を覆うように前記有機機能層の上層と、下層と、に前記有機機能層の形成範囲よりも広い形成範囲を有する無機電荷注入輸送層が形成され、前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an organic EL display of the present invention comprises a substrate, at least one patterned first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and at least one patterned second electrode in this order. The organic EL display is formed by laminating with an inorganic gas barrier layer formed on the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, respectively, and the light emitting element region and other than the light emitting element region An inorganic charge injecting and transporting layer having a formation range wider than the formation range of the organic functional layer in the upper layer and the lower layer of the organic functional layer so as to cover the organic functional layer including the non-light emitting element region which is a region of The inorganic charge injecting and transporting layer formed is either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer.

上記有機ELディスプレイは、請求項2に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層の形成範囲は、前記有機機能層の形成範囲よりも1μm以上10mm以下広いことを特徴とする。 The organic EL display according to claim 2 , wherein the formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer is 1 μm to 10 mm wider than the formation range of the organic functional layer.

上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層の厚さは、10nm以上10μm以下であることを特徴とする。 The organic EL display according to any one of claims 1 to 3 , wherein the inorganic charge injecting and transporting layer has a thickness of 10 nm to 10 µm.

上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記無機電荷注入輸送層は、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることを特徴とする。 The organic EL display according to any one of claims 1 to 4 , wherein the inorganic charge injecting and transporting layer is any one of an oxide, a nitride, a sulfide, a fluoride, and a selenide. It is formed by these.

上記有機ELディスプレイは、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、前記基板は、可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていることを特徴とする。 The organic EL display according to any one of claims 1 to 5 , wherein the substrate is formed of a flexible organic resin film.

Claims (7)

基板、第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、
前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、
前記有機機能層の上層、又は、下層に無機電荷注入輸送層が形成され、
前記第一電極の下層と前記第二電極の上層とにそれぞれ形成された無機ガスバリア層のうちの一層と、前記有機機能層の上層、又は、下層に形成された前記無機電荷注入輸送層と、により前記有機機能層の周囲が覆われており、
前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする有機ELディスプレイ。
An organic EL display configured by laminating a substrate, a first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and a second electrode in this order,
An inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode,
An inorganic charge injecting and transporting layer is formed in the upper layer or the lower layer of the organic functional layer,
One of the inorganic gas barrier layers respectively formed on the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode, the upper layer of the organic functional layer, or the inorganic charge injecting and transporting layer formed on the lower layer, The periphery of the organic functional layer is covered by
The organic EL display, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer is either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer.
基板、第一電極、発光層を含む一層以上の有機機能層、第二電極をこの順で積層することにより構成された有機ELディスプレイであって、
前記第一電極の下層と、前記第二電極の上層と、にそれぞれ無機ガスバリア層が形成され、
前記有機機能層を覆うように前記有機機能層の上層と、下層と、にそれぞれ無機電荷注入輸送層が形成され、
前記無機電荷注入輸送層は、無機電子注入輸送層、又は、無機正孔注入輸送層のいずれかであることを特徴とする有機ELディスプレイ。
An organic EL display configured by laminating a substrate, a first electrode, one or more organic functional layers including a light emitting layer, and a second electrode in this order,
An inorganic gas barrier layer is formed on each of the lower layer of the first electrode and the upper layer of the second electrode,
An inorganic charge injecting and transporting layer is formed on each of the upper and lower layers of the organic functional layer so as to cover the organic functional layer,
The organic EL display, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer is either an inorganic electron injecting and transporting layer or an inorganic hole injecting and transporting layer.
請求項1又は請求項2に記載の有機ELディスプレイにおいて、
前記有機機能層の上層、又は、下層の少なくともいずれかに形成された前記無機電荷注入輸送層の形成範囲は、前記有機機能層の形成範囲よりも広いことを特徴とする有機ELディスプレイ。
The organic EL display according to claim 1 or 2,
An organic EL display, wherein a formation range of the inorganic charge injecting and transporting layer formed in at least one of an upper layer and a lower layer of the organic functional layer is wider than a formation range of the organic functional layer.
請求項2又は請求項3に記載の有機ELディスプレイにおいて、
前記無機電荷注入輸送層の形成範囲は、前記有機機能層の形成範囲よりも1μm以上10mm以下広いことを特徴とする有機ELディスプレイ。
The organic EL display according to claim 2 or 3,
2. The organic EL display according to claim 1, wherein a formation range of the inorganic charge injection transport layer is 1 μm to 10 mm wider than a formation range of the organic functional layer.
請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、
前記無機電荷注入輸送層の厚さは、10nm以上1μm以下であることを特徴とする有機ELディスプレイ。
In the organic EL display according to any one of claims 1 to 4,
The organic EL display, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer has a thickness of 10 nm to 1 μm.
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、
前記無機電荷注入輸送層は、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、セレン化物のいずれかにより形成されていることを特徴とする有機ELディスプレイ。
The organic EL display according to any one of claims 1 to 5,
The organic EL display, wherein the inorganic charge injecting and transporting layer is formed of any one of oxide, nitride, sulfide, fluoride, and selenide.
請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイにおいて、
前記基板は、可撓性の有機樹脂フィルムにより形成されていることを特徴とする有機ELディスプレイ。
The organic EL display according to any one of claims 1 to 6,
The organic EL display, wherein the substrate is formed of a flexible organic resin film.
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