JPWO2009028313A1 - Electrostatic actuator - Google Patents
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Abstract
【課題】 全体の厚みを大きくすることなく、簡単且つ安価な構成で、十分なストローク(変位量)が得られるようにした静電静電アクチュエータを提供すること。【解決手段】 一対の対向電極11,12間に所定の電圧を与えると、電極間に発生する静電引力によって対向電極間距離dが狭められる。この際、一方の対向電極11が作動子20の一方の端部21を加圧するため、作動子20を図示上方の立ち上がり姿勢に回動させることができる。梃子の原理を用いた簡単且つ安価な構成により、アクチュエータ全体の厚みを大きくすることなく、十分な変位量を得ることが可能となる。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic electrostatic actuator capable of obtaining a sufficient stroke (displacement amount) with a simple and inexpensive configuration without increasing the overall thickness. When a predetermined voltage is applied between a pair of counter electrodes 11, a distance d between the counter electrodes is narrowed by an electrostatic attractive force generated between the electrodes. At this time, since one counter electrode 11 pressurizes one end portion 21 of the actuator 20, the actuator 20 can be rotated to a rising posture in the upper part of the figure. A simple and inexpensive configuration using the lever principle makes it possible to obtain a sufficient amount of displacement without increasing the thickness of the entire actuator. [Selection] Figure 1
Description
本発明は、電気活性ポリマー(EAP: Electro Active Polymer)の1つに位置付られる、弾性エラストマを誘電体とした静電アクチュエータに係わり、特に垂直方向に大きな変位を得ることが可能な静電アクチュエータに関する。 The present invention relates to an electrostatic actuator using an elastic elastomer as a dielectric, which is positioned as one of electroactive polymers (EAP: Electro Active Polymer), and particularly capable of obtaining a large displacement in the vertical direction. About.
平行平板型の静電アクチュエータ素子は、通電することで電極と垂直方向に変位が得られる。 A parallel plate type electrostatic actuator element can be displaced in a direction perpendicular to the electrodes when energized.
下記の特許文献1には、リボン状の電極フィルムを板厚方向に交互に複数段重ねてサンドイッチ構造とした平行平板型に属する静電アクチュエータが記載されている。
この静電アクチュエータでは、板厚方向に対向する第1電極と第2電極との間に電位差を与えると、これらの電極間に静電引力が作用して互いの対向電極間距離が縮む方向に変位する。前記対向電極間距離の縮み変位量の積算値が、静電アクチュエータ全体的の変位量(ストローク)となる。
しかし、このようなアクチュエータは駆動原理上厚み方向のストローク(変位量)はアクチュエータの厚み寸法以上にはならず、厚み方向にストロークを得るためにはアクチュエータ全体が厚くなってしまい、薄型化または小型化し難いという課題があった。 However, the stroke (displacement) in the thickness direction of such an actuator does not exceed the thickness dimension of the actuator due to the driving principle, and in order to obtain the stroke in the thickness direction, the entire actuator becomes thicker, resulting in a thinner or smaller size. There was a problem that it was difficult to convert.
また厚み方向にストロークを得るために、アクチュエータを構成する対向電極間の距離を広げると、高い駆動電圧が必要になる。しかし、駆動電圧の高圧化は、耐圧や帯電、安全対策など配線を含む回路負担につながり高コスト化の原因となる。さらには、電極間に配置される弾性エラストマ自体の絶縁性の確保、或いは、絶縁耐圧限界によって、設計が制約されるという問題も生じる。 Further, in order to obtain a stroke in the thickness direction, if the distance between the counter electrodes constituting the actuator is increased, a high driving voltage is required. However, the increase in the drive voltage leads to a high circuit cost due to a circuit load including wiring such as withstand voltage, charging, and safety measures. Furthermore, there arises a problem that the design is restricted by securing the insulation property of the elastic elastomer itself disposed between the electrodes or by the withstand voltage limit.
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、アクチュエータ全体の厚みを大きくすることなく、簡単且つ安価な構成で、十分なストローク(変位量)が得られるようにした静電アクチュエータを提供することを目的としている。 The present invention is for solving the above-described conventional problems, and an electrostatic actuator that can obtain a sufficient stroke (displacement amount) with a simple and inexpensive configuration without increasing the thickness of the entire actuator. It is intended to provide.
また本発明は、駆動電圧を高圧化しなくとも厚み方向のストロークを確保できるようにした静電アクチュエータを提供することを目的としている。 Another object of the present invention is to provide an electrostatic actuator that can ensure a stroke in the thickness direction without increasing the driving voltage.
本発明の静電アクチュエータは、弾性エラストマおよび前記弾性エラストマの両面に配置された一対の電極を備えるとともに前記一対の電極間に働く静電力に応じて駆動される駆動部と、前記駆動部に接続され、前記駆動部のストロークを増幅する作動子と、を有することを特徴とするものである。 An electrostatic actuator according to the present invention includes an elastic elastomer and a pair of electrodes disposed on both sides of the elastic elastomer, and is driven by an electrostatic force acting between the pair of electrodes, and is connected to the driving unit. And an actuator for amplifying the stroke of the drive unit.
本発明では、梃子の原理を用いた簡単且つ安価な構成により、全体の厚み寸法を大きくなることのない薄型の静電アクチュエータとすることができる。 In the present invention, a thin electrostatic actuator that does not increase the overall thickness dimension can be obtained by a simple and inexpensive configuration using the principle of an insulator.
上記においては、前記作動子が梃子を構成しており、梃子の力点側となる前記作動子の一端が前記駆動部の前記一対の電極の間に設けられ、梃子の作用点側となる前記作動子の他端が前記駆動部の外側に設けられているものである。 In the above, the operating element constitutes an insulator, and one end of the operating element that is on the power point side of the insulator is provided between the pair of electrodes of the driving unit, and the operating side that is on the operating point side of the insulator The other end of the child is provided outside the drive unit.
上記手段では、薄型であっても大きな変位量を得ることができる。
上記においては、前記作動子が円弧状に形成され、該円弧の一端に前記駆動部の駆動力が伝達されるものが好ましい。With the above means, a large amount of displacement can be obtained even if it is thin.
In the above, it is preferable that the operating element is formed in an arc shape and the driving force of the driving unit is transmitted to one end of the arc.
上記手段では、作動子のアームの長さが必要以上に長くなることがない。このため、静電アクチュエータを小型化することができる。 In the above means, the arm length of the actuator does not become longer than necessary. For this reason, an electrostatic actuator can be reduced in size.
また前記一方の電極と前記作動子の一端とがヒンジまたは接続テープを介して連結されるものが好ましい。 In addition, it is preferable that the one electrode and one end of the actuator are connected via a hinge or a connecting tape.
上記手段では、動作中における電極と作動子との間の連結状態を安定化させることができ、作動子が確実に動作されるようにすることが可能となる。 In the above means, the connection state between the electrode and the actuator during operation can be stabilized, and the actuator can be reliably operated.
また前記作動子が絶縁材料で形成されているが好ましく、より好ましくは前記作動子の一部が前記駆動部の内部に位置し、前記駆動部が駆動された際に前記電極同士が接触することを防ぐ絶縁維持部とされるものである。 The actuator is preferably formed of an insulating material, and more preferably, a part of the actuator is located inside the driving unit, and the electrodes are in contact with each other when the driving unit is driven. Insulation maintaining part for preventing
上記手段では、一方の電極と他方の電極との間に作動子を常に介在させることができるため、静電引力によって互いの電極間距離が狭まったとしても、この間の絶縁性を確保することができ、短絡などの発生を確実に防止できる。 In the above means, since an actuator can always be interposed between one electrode and the other electrode, even if the distance between the electrodes is reduced by electrostatic attraction, insulation between them can be ensured. It is possible to reliably prevent the occurrence of a short circuit.
さらには、前記作動子が複数設けられているものが好ましい。
上記構成でも、絶縁性を高めることができ、短絡の発生を未然に防止できる。また各作動子に駆動対象物を載置することができ、例えば駆動対象物の水平姿勢を維持しつつ上下方向に昇降移動させることができる。Furthermore, the thing provided with two or more said operation elements is preferable.
Even with the above-described configuration, the insulation can be enhanced and the occurrence of a short circuit can be prevented. In addition, a driving object can be placed on each actuator, and for example, it can be moved up and down while maintaining the horizontal posture of the driving object.
また、前記駆動部が多段に重ねられており、下層側の駆動部を形成する電極と上層側の駆動部を形成する電極との間に前記作動子が設けられるものとすることができる。
上記手段では、より大きな駆動力で安定的に作動子を駆動させることができる。In addition, the driving units may be stacked in multiple stages, and the actuator may be provided between an electrode forming the lower layer side driving unit and an electrode forming the upper layer side driving unit.
In the above means, the actuator can be stably driven with a larger driving force.
本発明では、静電アクチュエータ全体の厚みを大きくすることなく、簡単且つ安価な構成で、十分な変位量を得ることができる。 In the present invention, a sufficient amount of displacement can be obtained with a simple and inexpensive configuration without increasing the thickness of the entire electrostatic actuator.
また本発明は、駆動電圧の高圧化を防ぐことにより、絶縁性の諸問題を解消してコストの削減を図ることが可能となる。 In addition, according to the present invention, it is possible to reduce the cost by eliminating various problems of insulation by preventing the drive voltage from being increased.
図1は本発明の第1の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。 FIG. 1 is a cross-sectional view of an electrostatic actuator showing a first embodiment of the present invention, where (A) shows an initial state before operation (lie down), and (B) shows an operation state (rise posture). Yes.
図1(A)に示すように、本発明の実施の形態に示す静電アクチュエータ1は、平行平板型の対向電極11,12を有し、これらの一対の対向電極間に弾性エラストマ14を備えた三層構造からなる積層体を有している。前記一方の対向電極11、前記他方の対向電極12およびこれらの間に設けられた弾性エラストマ14からなる積層体は、静電アクチュエータ1の駆動部10を構成している。
As shown in FIG. 1A, an
前記弾性エラストマ14は、例えばシリコーンゲルのような弾性を有する半流動性の部材で構成することもできるし、あるいは流動性部材を袋体で封止するようにした構成とすることもできる。いずれにしても、一対の対向電極11、12間の絶縁耐圧を維持するためには、前記半流動性部材または流動性部材は絶縁率の高い材質のものが好ましい。
The
前記一方の対向電極11と他方の対向電極12との間には作動子20が設けられている。前記作動子20はアクリルやプラステックなど絶縁性を備えた材料で形成されている。前記作動子20の形状は棒状または板状に近いが、その断面形状はL型や直線状ではなく、やや円弧状にカールした形状をしている。このため、作動子20のアーム部分の長さが必要以上に長くなることがなく、この点で小型化に適したものとすることが可能である。
An
前記作動子20は梃子の原理を用いて駆動される。すなわち、前記作動子20は、対向電極11,12に向く一方の端部21に力点を有し、対向電極11,12から外側に突出する他方の端部22に作用点を有している。そして、他方の対向電極12に接している部分が支点23である。図1(A)に示す初期状態では、前記作動子20が、水平方向に沿って寝そべるような姿勢で設けられている。
The
前記作動子20は、前記支点側が前記他方の対向電極12に対して回動自在に支持される構成が好ましい。また作動子20は、略「く」の字形状に折れ曲がった形状であってもよく、この場合には、前記折れ曲がった部分が前記支点23となる。
The
前記駆動部10を形成する一方の対向電極11と他方の対向電極12とは電源に接続されており、通電状態にすることで両電極間に所定の駆動電圧が印加されるようになっている。
One
通電状態にして所定の駆動電圧を与えると、前記対向電極11,12間に静電引力が発生し、対向電極間距離dが前記弾性エラストマが有する弾性力に抗しながら圧縮させられる方向に変位させられる。このとき、弾性エラストマは、面積が広がる方向(圧縮方向と交差する水平方向)に変位させられる(扁平状態)。
When a predetermined drive voltage is applied in an energized state, an electrostatic attractive force is generated between the
前記対向電極間距離dが狭められる過程では、前記一方の対向電極11が前記作動子20の力点側の前記一方の端部21を図示Z2方向に加圧する。これにより、前記作動子20は支点23を中心に図示反時計回りに回動するため、作用点側の他方の端部22を図示Z1方向に持ち上げることができる。すなわち、作動子20全体を立ち上がり姿勢に設定することができ、駆動電圧を印加し続ける限り、前記立ち上がり姿勢を維持することが可能である。
In the process of reducing the distance d between the counter electrodes, the one
このとき、駆動部10では、対向電極11がわずかなストローク量だけ対向電極12側に移動するだけで、作動子20を大きく動作させることが可能である。この点で、作動子20は駆動部10が駆動する時のストローク量を増大させる増幅機能を有している。
At this time, in the
このように、本願発明の静電アクチュエータ1では、梃子の原理を用いることにより、積層体からなる駆動部10を板厚方向に重ねなくとも、すなわち薄型のままでも大きなストローク量(変位量)を得ることができる。ただし、後述するように、より大きな駆動力を得るために駆動部10を板厚方向に重ねる構成を否定するものではない。
Thus, in the
図1(B)に示す動作状態では、常に作動子20の一方の端部21が前記対向電極11と対向電極12との間に介在する。このため、前記対向電極11と対向電極12との間の電気的な接触(短絡)を避けることが可能である。すなわち、対向電極11と対向電極12との間の絶縁を維持することができる。
In the operating state shown in FIG. 1B, one
次に、本発明の第2の実施の形態および第3の実施の形態について説明する。
図2は第2の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。また図3は第3の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。Next, a second embodiment and a third embodiment of the present invention will be described.
2A and 2B are cross-sectional views of the electrostatic actuator showing the second embodiment, in which FIG. 2A shows an initial state before operation (lie down), and FIG. 2B shows an operation state (rise posture). 3A and 3B are cross-sectional views of the electrostatic actuator showing the third embodiment, in which FIG. 3A shows an initial state (sitting posture) before operation, and FIG. 3B shows an operating state (rise posture).
図2(A)に第2の実施の形態として示す静電アクチュエータ2も、弾性エラストマ14とその両面に対向配置された前記一対の対向電極11,12とによる駆動部10を有している。
The
また静電アクチュエータ2は、前記一方の対向電極11の端部にヒンジ35が設けられている。そして、前記ヒンジ35に対して、前記作動子30の一方の端部31が回動自在に取り付かれている。この実施の形態における作動子30の断面は円弧状をしており、円弧状の外面側が他方の対向電極12上に載置されている。この実施の形態では、一方の端部31側の前記ヒンジ35が梃子の力点として安定的に機能し、他方の端部32が作用点として機能する。また作動子30の前記円弧の外面が梃子の支点として作用する。
Further, the
図2(B)に示すように、対向電極11,12間に所定の電圧を印加すると、上記同様に電極間距離が狭められる。このとき、ヒンジ35が、一方の対向電極11とともに他方の対向電極12に接近させられる。このため、前記作動子30は、円弧状の外面を支点として前記他方の対向電極12の表面を転がり、図示反時計回りに回動させられる。よって、この静電アクチュエータ2においても、上記同様に他方の端部32がZ1方向に持ち上げられる立ち上がり姿勢に設定することができる。
As shown in FIG. 2B, when a predetermined voltage is applied between the
また図3(A)に第3の実施の形態として示す静電アクチュエータ3では、円弧状の作動子30に代えて、略「く」の字形状からなる作動子40を設けた点が相違している。
Further, the
前記作動子40では、力点側となる作動子40の一方の端部41がヒンジ35を介して一方の対向電極11に連結されている。また前記作動子40は、他方の端部42および屈曲部43を他方の対向電極12に向けた状態で取り付けられている。初期状態においては、屈曲部43は他方の対向電極12に接してしてもよいし、離れた構成であってもよいが、少なくとも一方の対向電極11の下降動作が完了するまでの間に、前記屈曲部43が他方の対向電極12に接する構成である。
In the
第3の実施の形態においても、対向電極11,12間に所定の駆動電圧を印加されて対向電極間距離が狭まると、ヒンジ35が一方の対向電極11とともに他方の対向電極12に接近する。これにより、前記作動子40は屈曲部43を支点として反時計回り方向に回動させられる。よって、この静電アクチュエータ3においても、上記同様に作動子40の他方の端部42を図示Z1方向に持ち上げることができる。
Also in the third embodiment, when a predetermined drive voltage is applied between the
第2および第3の実施の形態においても、駆動部10を構成する対向電極11をわずかなストローク量だけ対向電極12側に移動させるだけで、作動子20を大きく動作させることができ、作動子30は駆動部10が駆動する時のストローク量を増大させる増幅機能を有する。
Also in the second and third embodiments, the
図4は本発明の第4の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。 4A and 4B are cross-sectional views of an electrostatic actuator showing a fourth embodiment of the present invention. FIG. 4A shows an initial state before operation (lie down), and FIG. 4B shows an operation state (rise posture). Yes.
第4の実施の形態として示す静電アクチュエータ4では、断面形状が略S字形状からなる作動子50が複数設けられている点で、上記各実施の形態と相違している。 The electrostatic actuator 4 shown as the fourth embodiment is different from the above embodiments in that a plurality of actuators 50 having a substantially S-shaped cross section are provided.
前記作動子50は、力点側となる一方の端部51は小さな曲率半径(大きな曲率)で形成され、作用点側となる他方の端部52は大きな曲率半径(小さな曲率)で形成されている。 In the actuator 50, one end 51 on the power point side is formed with a small radius of curvature (large curvature), and the other end 52 on the side of the operating point is formed with a large radius of curvature (small curvature). .
図4(A)に示す初期状態では、作動子50は寝そべり姿勢にあり、前記一方の端部51側が一方の対向電極11の下面に当接させられている。
In the initial state shown in FIG. 4A, the actuator 50 is in a lying posture, and the one end 51 side is in contact with the lower surface of one
なお、一方の対向電極11と他方の対向電極12との間に設けられた弾性エラストマ14は圧縮されていない自然の状態にある。
In addition, the
初期状態の静電アクチュエータ4を通電状態に設定し、前記一対の対向電極11,12間に所定の駆動電圧を印加すると、前記電極間に発生する静電引力に応じて電極間距離が狭まり、前記一方の端部51,51側が下方(Z2方向)に加圧される。その結果、前記作動子50,50は他方の端部52,52が図示上方に持ち上げられるようにそれぞれ回転させられる。よって、この静電アクチュエータ4においても、上記同様に作動子50を立ち上がり姿勢に設定することが可能であり、このとき大きな変位を得ることができる。この点で、作動子50は駆動部10が駆動する時のストローク量を増大させる増幅機能を有する。
When the electrostatic actuator 4 in the initial state is set in an energized state and a predetermined drive voltage is applied between the pair of
また図4(B)に示すように、駆動部10の両端において、常に一方の対向電極11と他方の対向電極12との間に絶縁材料で形成された前記作動子50,50の一方の端部51,51をそれぞれ介在させることが可能となる。よって、一方の対向電極11と他方の対向電極12との間に常に一定の隙間を形成することが可能となり、この間の絶縁破壊や短絡を確実に防止することができる。すなわち、力点側となる一方の端部51は、一方の対向電極11と他方の対向電極12との間の短絡を防止する絶縁維持部を構成している。
Further, as shown in FIG. 4B, at one end of the actuator 50, 50 formed of an insulating material between one
図5は、本発明の第5の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図である。
図5に示す静電アクチュエータ5では、駆動部10が二段に積み重ねられた多段型の積層体として形成されている点で相違している。すなわち、静電アクチュエータ5では、駆動部10が、対向電極11と対向電極12との間に第1の弾性エラストマ14Aが設けられ、対向電極12と対向電極13との間に第1の弾性エラストマ14Bを有する構成である。前記作動子20の一方の端部21は、最上段に設けられた対向電極11の端部に対向配置するように配置され、支点は最下段に位置する前記対向電極13に設定されている。なお、作動子20の一方の端部21と最上段の対向電極11との間は、接着テープTなどを用いることにより連結されている。FIG. 5 is a sectional view of an electrostatic actuator showing a fifth embodiment of the present invention.
The
前記対向電極11と対向電極12との間、および前記対向電極12と対向電極13との間には電圧eが印加できるようにスイッチSWの制御が行われる。スイッチSWを通電状態に設定すると、駆動部10を構成する各電極間に駆動電圧eが与えられる。このとき、対向電極11と対向電極12との間の電極間距離、および対向電極12と対向電極13との間の対向電極間距離がそれぞれ狭まる方向に圧縮変形させられる。
The switch SW is controlled so that a voltage e can be applied between the
このように、駆動部10を多段に構成すると、対向する一対の対向電極のそれぞれに駆動力を発生させることができる。このため、より大きな力で作動子20を図示Z1方向に駆動させることが可能であるとともに、ストロークを大きくとることが出来るため作動子による増幅後のストロークも更に大きくすることが出来る。
Thus, when the
なお、この実施の形態では、上記第1の実施の形態と同様の作動子20を用いて説明したが、その他の実施の形態に示す作動子を用いた構成であってもよい。
また駆動部10の積層は、三段以上の多段構成であってもよい。Although this embodiment has been described using the
In addition, the driving
図6は、本発明の第6の実施の形態を示す静電アクチュエータの斜視図である。
図6に示す静電アクチュエータ6では、1つの駆動部10の周囲に複数の作動子20(個別に20A,20B,20Cおよび20Dを付して示す)が設けられている点が上記各実施の形態と相違している。FIG. 6 is a perspective view of an electrostatic actuator showing a sixth embodiment of the present invention.
The
この実施の形態では、駆動部10を形成する一方の対向電極11と他方の対向電極12との間に所定の電圧が印加され、これらの電極間距離が狭められると、複数の作動子20A,20B,20Cおよび20Dを同時に駆動させることが可能である。このため、各作動子の上に駆動対象物を載せることにより、水平姿勢を維持させた状態で前記駆動対象物を上下方向に昇降移動させることができる。
In this embodiment, when a predetermined voltage is applied between one
また一方の対向電極11と他方の対向電極12とが対向する4つの縁部のそれぞれに、各作動子20A,20B,20Cおよび20Dの一方の端部(力点側の端部)21をそれぞれ挟み込むことが可能である。このため、一方の対向電極11と他方の対向電極12との間の絶縁耐圧を高めることができ、確実に短絡の発生を防止できる。
In addition, one end portion (end portion on the power point side) 21 of each of the actuators 20A, 20B, 20C, and 20D is sandwiched between each of the four edge portions where one
図7は、本発明の第7の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。 7A and 7B are cross-sectional views of an electrostatic actuator showing a seventh embodiment of the present invention, in which FIG. 7A shows an initial state before operation (lie down), and FIG. 7B shows an operation state (rise posture). ing.
図7(A)に示すように、第7の実施の形態に示す静電アクチュエータ7では作動子60が、他方の対向電極12に設けられている点が、上記各実施の形態と相違している。なお、駆動部10の構成は、上記第1ないし第5の実施の形態と同じである。あるいは、上記第6の実施の形態と同じ構成としたものであってもよい。
As shown in FIG. 7A, the electrostatic actuator 7 shown in the seventh embodiment is different from the above embodiments in that the
作動子60は、力点側となる一方の端部61に、その一部を略U字形状に折り曲げることにより形成された屈曲部63を有しており、他方の端部62は前記一方の対向電極11の表面側に配置されている。そして作動子60は、前記略U字形状に折り曲げられた一方の端部61が、他方の対向電極12に対して接着テープTなどを用いることにより回動自在に固定されている。
The operating
図7(B)に示すように、一対の対向電極11,12間に所定の電圧が与えられると、対向電極間距離dが狭まる。このとき、対向電極11の端部が、前記一方の端部61を下方(Z2方向)に加圧する。これにより、作動子60が屈曲部63を支点として時計回り方向に回動させられ、他方の端部62が持ち上げられる。これにより、この静電アクチュエータ7においても、作動子60を図示Z1方向に対して大きな変位量で変位させることが可能である。この点で、作動子60は駆動部10が駆動する時のストローク量を増大させる増幅機能を有する。
As shown in FIG. 7B, when a predetermined voltage is applied between the pair of
上記各実施の形態では、作動子が図示Z1方向に変位する場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、変位の方向は図示Z2方向であってもよい。第1ないし第6の実施の形態において、作動子をZ2方向に変位させるには、力点となる各作動子の一方の端部を他方の対向電極12側に連結させるようにすればよい。また第7の実施の形態においては、作動子60の一方の端部61を一方の対向電極11側に連結させればよい。すなわち、各作動子は、連結される対向電極によって、その変位する方向を方向付けすることが可能である。
In each of the above-described embodiments, the case where the actuator is displaced in the illustrated Z1 direction has been described. However, the present invention is not limited to this, and the displacement direction may be the illustrated Z2 direction. In the first to sixth embodiments, in order to displace the actuator in the Z2 direction, one end portion of each actuator serving as a power point may be connected to the
1,2,3,4,5,6,7 静電アクチュエータ
10 駆動部
11 一方の対向電極
12 他方の対向電極
13 対向電極
14 弾性エラストマ
20,30,40,50,60 作動子
21,31,41,51,61 力点側となる一方の端部
22,32,42,52,62 作用点側となる他方の端部
43 屈曲部1, 2, 3, 4, 5, 6, 7
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