JPWO2007049349A1 - Application head - Google Patents

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末廣 東岡
末廣 東岡
義寿 永田
義寿 永田
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    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254Coating heads with slot-shaped outlet

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  • Coating Apparatus (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

シート状部材などの被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布装置における塗布ヘッドに傷がつき難くする。塗布ヘッドの先端部分に効果的に超硬合金からなる部材を配置し、かつ、塗料が浸透するような隙間を生じさせないようにこれら部材を組み込んだ塗布ヘッドを提供する。塗布ヘッドは、その先端部分に所定の厚みの超硬合金をコーティングしたことを特徴とすることができる。この超硬合金は、炭化タングステン(WC)を含むサーメットであってよい。更に、このコーティングは溶射により行うことができる。A coating head in a coating apparatus that coats the surface of a member to be coated such as a sheet-like member is less likely to be damaged. Provided is a coating head in which members made of cemented carbide are arranged effectively at the tip of the coating head, and these members are incorporated so as not to create a gap through which the paint penetrates. The coating head may be characterized in that the tip portion thereof is coated with a cemented carbide having a predetermined thickness. The cemented carbide may be a cermet containing tungsten carbide (WC). Furthermore, this coating can be performed by thermal spraying.

Description

本発明は、シート状部材または板状部材などの被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布工具および塗布装置に関し、特に、スロット状の塗布ノズルを備えた塗布工具および塗布装置に関する。   The present invention relates to a coating tool and a coating apparatus for coating a coating liquid on the surface of a member to be coated such as a sheet-shaped member or a plate-shaped member, and more particularly to a coating tool and a coating apparatus provided with a slot-shaped coating nozzle.

従来から被塗付物体の表面に感熱性膜、導電性膜、低反射導電膜、紫外線防止膜、電磁波防止膜、保護膜または磁性膜に代表される各種の被膜を被覆することが行われている。例えば、シート状部材の表面に塗布液を薄く均一に塗布して、塗膜層を形成するような塗布作業を行う塗布装置に装着される塗布工具として、塗布液を通過させるスロットを有する塗布工具が用いられている。このような塗布工具として、塗布ヘッド(工具本体)を備えた塗布工具がある。図6に例示する。   Conventionally, the surface of an object to be coated has been coated with various films typified by a heat-sensitive film, a conductive film, a low-reflection conductive film, an anti-ultraviolet film, an anti-electromagnetic wave film, a protective film, or a magnetic film. Yes. For example, a coating tool having a slot through which a coating liquid is passed as a coating tool to be applied to a coating apparatus that performs a coating operation to apply a coating liquid thinly and uniformly on the surface of a sheet-like member to form a coating film layer Is used. As such an application tool, there is an application tool provided with an application head (tool body). This is illustrated in FIG.

塗布装置911は、塗布ヘッド910を有し、塗布ヘッド910は、バックエッジと称される第1の部材911とドクターエッジと称される第2の部材912とが互いに取付けられて構成されている。塗布装置は、可撓性帯状支持体914を図中矢印(ロ)の方向に走行させる図示されぬ送り手段を備えており、第1の部材911と第2の部材912は、可撓性帯状支持体914が走行する方向(ロ)に沿って順番に並べられて配置されている。すなわち、第1の部材911は、可撓性帯状支持体914が走行する方向(ロ)の上流側に、第2の部材912は、下流側にそれぞれ配置されている。そして、これら第1,第2の部材911,912間に、塗布液が第1の部材911と第2の部材912の先端に向かって流通するスロット913が形成され、このスロット913の先端に、第1,第2の部材911,912の先端で開口する流出口913aが形成されている。   The coating apparatus 911 includes a coating head 910, and the coating head 910 is configured by attaching a first member 911 called a back edge and a second member 912 called a doctor edge to each other. . The coating apparatus includes a feeding means (not shown) that causes the flexible belt-like support 914 to travel in the direction of the arrow (B) in the figure, and the first member 911 and the second member 912 are flexible belt-like. The support bodies 914 are arranged in order along the traveling direction (b). That is, the first member 911 is disposed on the upstream side in the direction (b) in which the flexible belt-like support 914 travels, and the second member 912 is disposed on the downstream side. Between the first and second members 911 and 912, a slot 913 is formed through which the coating liquid flows toward the tips of the first member 911 and the second member 912. At the tip of the slot 913, An outflow port 913 a that opens at the tip of the first and second members 911 and 912 is formed.

スロット状のノズルを持つ塗布ヘッド911は被塗布部材914との接触、塗料による腐食や含まれ得る顔料等の粒子との摩擦により塗布刃先である先端部分に傷が入ることがある。このような傷は、その大きさが所定の値以上になると、塗料が傷に入り込み、均一な塗膜形成を困難なものとする。そのため、傷がある程度大きくなった時に、刃先部分を研磨してヘッド先端部分の再生を行う必要がある。従って、塗布装置の定期点検、保守、ヘッド再生中の塗布装置の休止又は予備のヘッドの準備、更に、再生後のヘッドの精密な取り付け等、塗布行程の生産性を著しく低下させるものである。   The coating head 911 having a slot-shaped nozzle may be scratched at the tip of the coating blade due to contact with the member to be coated 914, corrosion due to paint, and friction with particles such as pigments that may be included. When the size of such scratches exceeds a predetermined value, the paint enters the scratches, making it difficult to form a uniform coating film. Therefore, when the scratches become large to some extent, it is necessary to regenerate the head tip portion by polishing the blade edge portion. Therefore, the productivity of the coating process is significantly reduced, such as periodic inspection and maintenance of the coating apparatus, suspension of the coating apparatus during head regeneration or preparation of a spare head, and precise mounting of the head after regeneration.

図7にヘッド942に生じる傷の例950、952を模式的に示す。被塗装部材との接触などにより、走行方向から徐々に狭く三角形状になる傷952にあり、中には、反対側まで貫通し深い谷間954を生じるものもある。典型的な傷幅は、大きいもので約0.1から0.3mmになるものもあり、このような傷は、塗料が浸み込み、安定した塗膜形成の障害となる。   FIG. 7 schematically shows examples of scratches 950 and 952 generated in the head 942. Due to contact with the member to be coated, etc., there are scratches 952 that gradually become narrower triangular from the running direction, and there are some that penetrate to the opposite side and have deep valleys 954. Typical scratch widths are as large as about 0.1 to 0.3 mm, and such scratches penetrate the paint and hinder stable film formation.

このため、塗布ヘッドの先端部分に傷が入りにくくすることが望まれており、具体的には、塗布ヘッドの材料を超硬合金にすることが提案された(例えば、特許文献1)。   For this reason, it is desired that the tip of the coating head is less likely to be scratched. Specifically, it has been proposed to use a cemented carbide material for the coating head (for example, Patent Document 1).

しかしながら、塗布ヘッド全体を超硬合金にすることは、コストがかかり、また、機械加工性が低いので、現実的ではない。そのため、塗布ヘッドの先端部分のみを超硬合金にすることが提案された(例えば、特許文献2、特許文献3)が、先端部分のスロットの幅を均一にするように組み付けることは、容易ではない。特に、組み付け初期には、組み付けが精密に行われていたとしても、塗布作業を繰り返すうちに、その部材間の熱膨張の差から生じる応力等により、経時変化をし易くなる。更に、組み付けにおいては、部材間に微少の隙間が生じ易く、塗料がこの隙間に浸透し、塗布条件を変えるおそれもある。
特開2000−301044号公報 特開2002−224607号公報 特開2004−261678号公報
However, it is not practical to make the entire coating head a cemented carbide because of the cost and low machinability. For this reason, it has been proposed that only the tip portion of the coating head is made of cemented carbide (for example, Patent Document 2 and Patent Document 3), but it is not easy to assemble so that the width of the slot of the tip portion is uniform. Absent. In particular, even if the assembly is performed precisely at the initial stage of assembly, it is easy to change with time due to the stress caused by the difference in thermal expansion between the members as the coating operation is repeated. Furthermore, in assembly, a minute gap is likely to be generated between the members, and the coating material may permeate into the gap and change the application conditions.
JP 2000-301044 A JP 2002-224607 A JP 2004-261678 A

本発明はでは、以上のようなことを考慮して、効果的にヘッドの先端部分のみの硬度を上げた塗布ヘッドを提供する。これにより、先端部分の摩耗を抑制し、塗膜を安定的に形成させることができるようにする。   In consideration of the above, the present invention provides a coating head in which the hardness of only the tip portion of the head is effectively increased. Thereby, wear of the tip portion is suppressed and a coating film can be formed stably.

本発明における、塗布ヘッドは、先端部分に効果的に超硬合金からなる部材を配置し、かつ、塗料が浸透するような隙間を生じさせないようにこれら部材を組み込むものとする。即ち、その先端部分に所定の厚みの超硬合金をコーティングしたことを特徴とすることができる。この超硬合金は、炭化タングステン(WC)を含むサーメットであってよい。更に、このコーティングは溶射により行うことができる。従って、溶射される溶射材料は、炭化タングステン(WC)を含むサーメットであってよい。   In the present invention, the coating head is configured such that members made of cemented carbide are arranged effectively at the tip portion, and these members are incorporated so as not to generate a gap through which the paint penetrates. That is, the tip portion may be coated with a cemented carbide having a predetermined thickness. The cemented carbide may be a cermet containing tungsten carbide (WC). Furthermore, this coating can be performed by thermal spraying. Therefore, the thermal spray material to be sprayed may be a cermet containing tungsten carbide (WC).

より具体的には、以下のようなものを提供する。   More specifically, the following is provided.

(1)シート状部材に塗膜を形成するために塗料を供給する塗布ヘッドであって、該シート状部材への塗布方向に対してほぼ直角な方向に延びるスロットを有するスロット式塗布ノズルと、該塗布ノズルを保持する塗布ヘッド本体とを含み、該塗布ノズルは、該スロットを規定する所定の幅で対抗する2つのノズル先端部材を有し、該ノズル先端部材の少なくとも前記シート状部材または板状部材に面する部分に溶射による超硬合金コーティング層を備えることを特徴とする塗布ヘッド。 (1) An application head for supplying paint to form a coating film on a sheet-like member, a slot-type application nozzle having a slot extending in a direction substantially perpendicular to the application direction to the sheet-like member; A coating head main body for holding the coating nozzle, the coating nozzle having two nozzle tip members facing each other with a predetermined width defining the slot, and at least the sheet-like member or plate of the nozzle tip member A coating head comprising a cemented carbide coating layer formed by thermal spraying on a portion facing the shaped member.

(2)前記塗布ノズルの基材は、ステンレス金属からなり、その上に前記超硬合金コーティング層が形成されていることを特徴とする上記(1)に記載の塗布ヘッド。 (2) The coating head according to (1), wherein a base material of the coating nozzle is made of stainless metal, and the cemented carbide coating layer is formed thereon.

(3)シート状部材または板状部材に塗膜を形成するために塗料を供給する塗布ヘッドのスロット式塗布ノズルの超硬加工方法であって、塗布ヘッド先端に超硬合金を溶射した後、研磨し所定の形状にすることを特徴とする超硬加工方法。 (3) A cemented carbide processing method for a slotted coating nozzle of an application head that supplies paint to form a coating film on a sheet-like member or plate-like member, and after spraying the cemented carbide on the tip of the application head, A cemented carbide processing method characterized by polishing into a predetermined shape.

(4)板状ワークに塗膜を形成するためのスロット式塗布ノズルで、ノズル先端部分に超硬合金を溶射して形成したことを特徴とする塗布ヘッド。 (4) A coating head, which is a slot type coating nozzle for forming a coating film on a plate-like workpiece and is formed by spraying a cemented carbide on the nozzle tip.

(5)前記塗布ヘッドは本体部分をステンレス、先端部分を超硬合金で形成されていることを特徴とする上記(4)に記載の塗布ヘッド。   (5) The coating head according to (4), wherein the coating head is made of stainless steel for the main body and cemented carbide for the tip.

(6)板状ワークに塗膜を形成するためのスロット式塗布ノズルの超硬加工方法であって、塗布ヘッド先端に超硬合金を溶射した後、研磨にて形状を整える超硬加工方法。   (6) A cemented carbide processing method of a slot type coating nozzle for forming a coating film on a plate-like workpiece, wherein a cemented carbide is sprayed on the tip of the coating head and then the shape is adjusted by polishing.

ここで、溶射は緻密な溶射膜を形成できる爆発溶射、高温燃焼ガスによる溶射、プラズマ溶射等を含んでよい。また、必要に応じて封孔処理を施すこともできる。   Here, the thermal spraying may include explosive thermal spraying capable of forming a dense thermal sprayed film, thermal spraying with a high-temperature combustion gas, plasma spraying, and the like. Moreover, a sealing process can also be performed as needed.

先端に超硬合金を溶射した塗布ヘッドを被塗布部材と共に示す。A coating head having a tip coated with a cemented carbide is shown together with a member to be coated. 先端に超硬合金を溶射した塗布ヘッドの断面を含み、被塗布部材と共に示す斜視図である。It is a perspective view including a section of a coating head sprayed with a cemented carbide at the tip and shown together with a member to be coated. 塗布ヘッド先端部の溶射前の状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state before thermal spraying of the coating head front-end | tip part. 塗布ヘッド先端部の溶射後の状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state after the thermal spraying of the coating head front-end | tip part. 塗布ヘッド先端部の研磨後の状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state after grinding | polishing of the coating head front-end | tip part. 塗布ヘッドの詳細構造を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the detailed structure of a coating head. 本発明の実施例において用いたジェットコートのガン部分の概略を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the outline of the gun part of the jet coat used in the Example of this invention. 本発明の実施例において用いたジェットコートに用いるガンの概略を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the outline of the gun used for the jet coat used in the Example of this invention. 本発明に好適に用いられる溶射皮膜の一般特性をリストにしたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which listed the general characteristic of the thermal spray coating used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−10713)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-10713) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−03084)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-03084) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−1305)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-1305) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−10718)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-10718) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−1301)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-1301) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−3092N)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-3092N) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−12006)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-12006) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−11811)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-11811) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−20142NB)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-20142NB) used suitably for this invention. 従来の塗布ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional coating head. 塗布ヘッドにできる傷を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the damage | wound made in an application head.

符号の説明Explanation of symbols

20 塗布ヘッド
21、22 分割ヘッド
21a、22a 先端部
23 シム
26 空洞部
27 スロット
42 溶射コーティング
20 coating head 21, 22 split head 21a, 22a tip 23 shim 26 cavity 27 slot 42 spray coating

図1は、超硬合金を溶射した先端部材を含む塗布ヘッドの断面図を、模式的に示した被塗布部材と共に示す。図2AからCは、塗布ヘッドの先端部材に超硬合金加工がされるようすを段階的に示す。図3は、塗布ヘッドの詳細構造を示す分解斜視図である。   FIG. 1 shows a cross-sectional view of a coating head including a tip member sprayed with cemented carbide together with a member to be coated schematically. FIGS. 2A to 2C show step by step how cemented carbide is processed on the tip member of the coating head. FIG. 3 is an exploded perspective view showing a detailed structure of the coating head.

図1Aから3を参照しつつ、液晶基板4に塗布を行う塗布ヘッドを好適な例として挙げ、以下に説明する。図1A及びBにおいて、下部に左右に延びるシート状の液晶基板4が配置され、その上に塗布ヘッド20が配置されている。液晶基板もしくは塗布ヘッド20は、図中右から左(又は左から右)へと相対移動され、塗膜が左から右(又は右から左)が形成されていく。図1Aでは、説明のため塗布ヘッド20の先端から液晶基板4の上面まで大きく離れて描かれているが、実際にはより短い距離D(例えば、50〜150μm)隔てて、液晶基板4に塗布される(図1B)。そのため、液晶基板4の上面と塗布ヘッド20の先端部との直接又は間接的な接触が生じることもあり得、塗布ヘッド20の先端部の摩耗や傷が生じ得るのである。   A coating head that performs coating on the liquid crystal substrate 4 will be described as a preferred example with reference to FIGS. 1A and 1B, a sheet-like liquid crystal substrate 4 extending in the left-right direction is disposed at the lower portion, and a coating head 20 is disposed thereon. The liquid crystal substrate or the coating head 20 is relatively moved from right to left (or from left to right) in the drawing, and a coating film is formed from left to right (or from right to left). In FIG. 1A, for the sake of explanation, the coating head 20 is depicted with a large distance from the top of the liquid crystal substrate 4 to the top surface of the liquid crystal substrate 4, but in reality, the liquid crystal substrate 4 is coated with a shorter distance D (for example, 50 to 150 μm). (FIG. 1B). Therefore, direct or indirect contact between the upper surface of the liquid crystal substrate 4 and the tip of the coating head 20 may occur, and the tip or tip of the coating head 20 may be worn or scratched.

塗布ヘッド20は、所定の間隔を隔てて、対抗し合う分割ヘッド21及び22からなる。この2つの分割ヘッド21、22は、それぞれ細長い直方体形状の金属(ステンレス)製ブロックからなる。分割ブロック21、22間の所定の間隔は、シム23を挟むことによって規定することができる。分割ブロック21、22は、ほぼ平行に対抗する面を有し、これらの面はほぼ垂直に下方に延び、また、ほぼ水平にそれぞれの分割ブロック21、22の幅方向に延びる。塗布ヘッド20は、それぞれ下方に鋭角状に突出する刃先部を上記対抗するそれぞれの面を維持するように備える。即ち、塗布ヘッド20は、刃先の先端エッジが上述の対抗する面の下方の先端エッジとなるように、分割ブロック21、22の肉厚が徐々に薄くなっている。   The coating head 20 is composed of divided heads 21 and 22 that face each other at a predetermined interval. Each of the two divided heads 21 and 22 is made of a long and thin rectangular parallelepiped metal (stainless steel) block. The predetermined interval between the divided blocks 21 and 22 can be defined by sandwiching the shim 23. The divided blocks 21 and 22 have substantially parallel opposing surfaces, and these surfaces extend substantially vertically downward, and extend substantially horizontally in the width direction of the respective divided blocks 21 and 22. The coating head 20 is provided so as to maintain the respective surfaces facing the above-mentioned cutting edge portions that project downward at an acute angle. In other words, in the coating head 20, the thickness of the divided blocks 21 and 22 is gradually reduced so that the tip edge of the blade edge becomes the tip edge below the facing surface.

この塗布ヘッド20の下端ノズル部となる、分割ブロック21、22のそれぞれの先端部21a、22aは、液晶基板4の幅(塗布ヘッドの走行方向と直交する方向における液晶基板4の長さ)を越える長さを有するようにほぼ水平に形成され、ノズル部となる。先端部21a及び22aは、上述のように所定の間隔で対抗している。これらの先端部21a及び22aで規定される所定の間隔からなるスロット27から、塗料を単位時間当たり所定量(例えば、一般の液晶基板では、約2cc/sec)流出させることにより、均一な塗膜を形成する。   The front end portions 21a and 22a of the divided blocks 21 and 22 which are the lower end nozzle portions of the coating head 20 have the width of the liquid crystal substrate 4 (the length of the liquid crystal substrate 4 in the direction perpendicular to the traveling direction of the coating head). It is formed almost horizontally so as to have a length exceeding it, and becomes a nozzle portion. The tip portions 21a and 22a are opposed to each other at a predetermined interval as described above. By flowing a predetermined amount of paint per unit time (for example, about 2 cc / sec for a general liquid crystal substrate) from a slot 27 having a predetermined interval defined by the tip portions 21a and 22a, a uniform coating film is obtained. Form.

スロット27の所定の間隔は、分割ブロック21、22によって挟まれるシム23によって規定することができる。シム23は、図3に図示されるように、平面視においてカタカナのコの字形状に打ち抜きされた薄板からなり、そのコの字の凹部の辺部23a、23bは、2つの分割ヘッド21、22の間にシム23が挟み付けられたとき、これら2つの分割ヘッド21、22の間に所定の間隔の隙間を維持する。この隙間によりスロット27が形成される。シム23の厚さは、このスロット27の隙間の大きさを決定する。即ち、分割ヘッド21及び22がそれぞれのボルト孔51、52及びシム23のボルト孔53を通る締結部材としてのボルト60及びナット61によって締結されたとき、シム23の厚みが実質的にスロット27の隙間の間隔となる。   The predetermined interval of the slot 27 can be defined by a shim 23 sandwiched between the divided blocks 21 and 22. As shown in FIG. 3, the shim 23 is formed of a thin plate punched into a U-shape of katakana in a plan view, and the side portions 23 a and 23 b of the U-shaped recess are formed by two divided heads 21, When the shim 23 is sandwiched between the two divided heads 22, a predetermined gap is maintained between the two divided heads 21 and 22. A slot 27 is formed by this gap. The thickness of the shim 23 determines the size of the gap in the slot 27. That is, when the split heads 21 and 22 are fastened by bolts 60 and nuts 61 as fastening members passing through the bolt holes 51 and 52 and the bolt holes 53 of the shim 23, the thickness of the shim 23 is substantially equal to that of the slot 27. It becomes the gap interval.

一方の分割ヘッド21の上部には、その幅方向(塗布ヘッド20の幅方向)のほぼ中央に、塗布液(又は塗料)をなす液体等を注入するための液体注入口24が形成され、その長さ方向の両端部寄りに、空気抜き口34がそれぞれ形成さている。これらの液体注入口24及び空気抜き口34は、それぞれ、通孔25により、分割ヘッド21の中間部又は内部に設けられた空洞部26に連通している。空洞部26は、分割ヘッド21の幅方向に延び、液体注入口24から注入された液体等は、ほぼ中央部から両端部へと幅方向に流れる。このとき、空洞部内に残っている空気は、通孔25を通って、空気抜き口34から排出される。このようにして、空洞部26は、このように注入された液体等をその空洞部内に保持することができる。   A liquid injection port 24 for injecting a liquid or the like that forms a coating liquid (or paint) is formed in the upper part of one of the divided heads 21 at a substantially central position in the width direction (width direction of the coating head 20). Air vents 34 are formed near both ends in the length direction. The liquid inlet 24 and the air vent 34 communicate with the cavity 26 provided in the middle or inside of the divided head 21 through the through holes 25, respectively. The cavity 26 extends in the width direction of the divided head 21, and the liquid or the like injected from the liquid injection port 24 flows in the width direction from approximately the center to both ends. At this time, the air remaining in the cavity is discharged from the air vent 34 through the through hole 25. Thus, the cavity part 26 can hold the liquid or the like thus injected in the cavity part.

空洞部26は、スロット27に連通しており、空洞部26内の液体は、スロット27により一定の厚みにされて、スロット27の下方の先端開口部28から吐出される。このスロット27の先端開口部28は、塗布ヘッド20の下端ノズル部のノズル口を形成する。   The cavity 26 communicates with the slot 27, and the liquid in the cavity 26 is made to have a constant thickness by the slot 27 and is discharged from the tip opening 28 below the slot 27. The front end opening 28 of the slot 27 forms a nozzle opening of the lower end nozzle portion of the coating head 20.

上記分割ヘッド21、22のそれぞれの対抗する面の先端部21a、22aは、溶射によるコーティング42がそれぞれ施されており、面粗度が細かく、また、幅方向の歪みも少ないようにされている。例えば、先端部21a、22aに付けられた溶射皮膜42a、42bの表面の粗さは、JISによる測定で、Raで例えば0.1〜0.2μm、より好ましくは、0.025〜0.05μmである。スロット27の間隔は、シムの厚みが±0.1μ,ヘッドの合わせ面が2μm以内となり、最大でも2.1μm以下になる。従って、この範囲から、面粗度や間隔が外れると、均一な塗膜形成が困難になり好ましくない。傷が入ると、吐出塗料の幅方向にムラができやすくなり、塗膜にスジが入り易くなる。従って、均一な塗膜形成が困難になるのである。このような傷は、塗料を塗る工程において、被塗装対象物である液晶基板4の表面凹凸や、表面上のコンタミ等異物、更には、塗料中の固形物等との接触やしゅう動によって起こり得る。本実施例では、ステンレス製の塗布ヘッド刃先部分に更に超硬合金を溶射によりコーティングしており、硬度が高く、このような傷が生じ難い。   The tip portions 21a and 22a of the opposing surfaces of the divided heads 21 and 22 are respectively coated with a coating 42 by thermal spraying so that the surface roughness is fine and the distortion in the width direction is small. . For example, the surface roughness of the thermal spray coatings 42a and 42b attached to the tip portions 21a and 22a is, for example, 0.1 to 0.2 [mu] m, more preferably 0.025 to 0.05 [mu] m in terms of Ra as measured by JIS. It is. The distance between the slots 27 is such that the shim thickness is ± 0.1 μm, the head mating surface is within 2 μm, and the maximum is 2.1 μm or less. Therefore, if the surface roughness and the interval are out of this range, it is not preferable because it is difficult to form a uniform coating film. When scratches enter, unevenness in the width direction of the discharged paint tends to occur, and streaks are likely to enter the coating film. Accordingly, it is difficult to form a uniform coating film. Such scratches are caused by contact with or sliding on the surface irregularities of the liquid crystal substrate 4 that is the object to be coated, foreign matter such as contamination on the surface, and solid matter in the paint in the process of applying the paint. obtain. In this embodiment, the hard coating tip is further coated by spraying on the cutting head portion made of stainless steel, the hardness is high, and such scratches are unlikely to occur.

図2AからCに分割ヘッド21への溶射手順を説明する。まず、塗布ヘッドの分割ブロックの機材形状を機械加工等により形成する。このとき、塗布ヘッド刃先へ溶射する部分を予め窪み44、46を設け肉薄に形成することがより好ましい(図2A)。先端部の外側42C又は内側42bに段差が付き難くなるからである。   2A to 2C, the thermal spraying procedure on the divided head 21 will be described. First, the equipment shape of the division block of the coating head is formed by machining or the like. At this time, it is more preferable that the portions to be sprayed on the coating head blade edge are provided with depressions 44 and 46 in advance so as to be thin (FIG. 2A). This is because it becomes difficult to make a step on the outer side 42C or the inner side 42b of the tip.

前記窪み44、46等の部分に超硬合金を溶射すると、図2Bのように刃先部分がやや丸みを帯びた形状48となり得る。やや厚めに溶射するのは、薄いと後の研磨工程では除去できない傷ができるおそれがあるからである。このときオプションとして封孔処理をすることができる。開いた孔が傷の起点となることもあり、また、不必要な塗料の浸透を防ぐために一般的に有効と考えられる。   When cemented carbide is sprayed on the depressions 44, 46, etc., the cutting edge portion can have a slightly rounded shape 48 as shown in FIG. 2B. The reason why the thermal spraying is slightly thick is that if it is thin, there is a possibility that scratches that cannot be removed in the subsequent polishing process may be formed. At this time, sealing can be optionally performed. Open holes can be the starting point of scratches and are generally considered effective to prevent unnecessary paint penetration.

次に、先端部分を研磨し、求められる形状に仕上げる(図2C)。更に封孔処理を行い再度表面の精密研磨をすることも可能であるが、必須の要件ではない。最終的に得られる溶射皮膜の厚みは約0.4mmであった。この厚みは、0.2mm以上が好ましく、更に好ましくは0.3mm以上である。また、この厚みは、1mm以下が好ましく、更に好ましくは0.8mm以下である。厚みが薄すぎると耐摩耗性が十分でなく、厚すぎると皮膜の剥離の恐れがあり、また、溶射で付ける最適な膜厚を大きく超えることになるからである。分割ヘッド22も同様の手順で製作し、これらをシム23を介してボルト等で締結して塗布ヘッドを形成する。   Next, the tip portion is polished and finished to the required shape (FIG. 2C). Further, it is possible to carry out a sealing treatment and perform a precise polishing of the surface again, but this is not an essential requirement. The final thickness of the sprayed coating was about 0.4 mm. This thickness is preferably 0.2 mm or more, and more preferably 0.3 mm or more. Moreover, this thickness is preferably 1 mm or less, and more preferably 0.8 mm or less. This is because if the thickness is too thin, the abrasion resistance is not sufficient, and if it is too thick, the film may be peeled off, and the optimum film thickness to be applied by thermal spraying will be greatly exceeded. The divided heads 22 are also manufactured in the same procedure, and these are fastened with a bolt or the like through the shim 23 to form an application head.

このように製作することで、異なる材質の接合部分に塗布液が入り込むということもなく、傷の入りにくい塗布ヘッドが出来上がる。   By manufacturing in this way, the coating head does not enter into the joint portion of different materials, and a coating head which is difficult to be damaged is completed.

図4Aは、本発明の実施例において、好適に用いられることができるHVOF(High Velocity Oxy−Fuel)溶射法に用いられるガン部分100を断面において示している。ラーバルノズル(Laval Nozzle)から、右の基板112に向かって音速の5倍にもなる高速の溶射材料を含むガスが噴射され、コーティング皮膜114を形成する。この高速のガスの中に菱形のもの110がいくつか並んでいるが、ショックダイヤモンド(Shock Diamonds)110と呼ばれるものである。このような高速のガスは、矢印106に示されるように酸素及び燃焼ガス(例えばプロピレン)がガン部分100に送られて、高圧の酸素及びプロピレンの燃焼ガスが超高速炎を発生することにより得られる。中央の矢印104が示すように溶射材料(粉末)が供給され、フレーム中央で加熱、溶解加速させられる。燃焼温度は、例えば、2700℃になることもあり、そのフレーム速度は1500m/secに達する。矢印108に示すように圧縮空気が送られて、この高温からノズル102等を守る働きをする。上述するように、音速を超えるので、ショックダイヤモンド110が見られ、その運動エネルギーによって、基材に扁平な溶射皮膜を形成することができる。従って、超緻密性を持ち細かい溶射肌となり、高密度強度であるので高い結合力が得られ、低残留応力となるので基材の相変化が少ないという特徴がある。   FIG. 4A shows, in cross-section, a gun portion 100 used in an HVOF (High Velocity Oxy-Fuel) spraying method that can be suitably used in an embodiment of the present invention. From a Laval nozzle, a gas containing a high-speed thermal spray material that is 5 times the speed of sound is sprayed toward the right substrate 112 to form a coating film 114. Several diamond-shaped objects 110 are arranged in the high-speed gas, and are called shock diamonds 110. Such a high-speed gas is obtained by sending oxygen and combustion gas (for example, propylene) to the gun portion 100 as indicated by an arrow 106 and generating high-speed flame by the high-pressure oxygen and propylene combustion gas. It is done. Thermal spray material (powder) is supplied as indicated by the center arrow 104, and is heated and melted at the center of the frame. The combustion temperature may be 2700 ° C., for example, and the flame speed reaches 1500 m / sec. Compressed air is sent as indicated by an arrow 108 to protect the nozzle 102 and the like from this high temperature. As described above, since the speed of sound is exceeded, shock diamond 110 is seen, and a flat sprayed coating can be formed on the substrate by its kinetic energy. Therefore, it has a feature that it has a super-dense and finely sprayed skin, a high bonding strength is obtained because of high density strength, and a phase change of the base material is small because of low residual stress.

このような溶射システムには、JET KOTE (ジエットコート)溶射システムが含まれる。このジェットコートは、1980年代の初め Browing Engineering Co.(米)において、 Union Carbide Co. (米)の d−gunに対抗して開発された新しい高エネルギーガス溶射法である。特に、マッハ5前後の極超音速ジェット燃焼ガス流により、極めてシャーブで高密度の粉末溶射が可能である。更に、炭化物系サーメットおよび超合金材料の溶射に特に適しており、この分野の材料については従来のプラズマ溶射法に比べ、さらに優れた高密度、高密着力の皮膜を形成させることが可能である。   Such thermal spray systems include JET KOTE (jet coat) thermal spray systems. This jet coat was purchased from the Browsing Engineering Co. in the early 1980s. (United States), Union Carbide Co. This is a new high-energy gas spraying method developed against d-gun of (US). In particular, the supersonic jet combustion gas flow around Mach 5 enables extremely high-sheath and high-density powder spraying. Furthermore, it is particularly suitable for spraying carbide-based cermets and superalloy materials. For materials in this field, it is possible to form a film with higher density and higher adhesion than conventional plasma spraying methods.

図4Bにそのジェットコートのガンの概略を側面視で示す。ガン本体103から右に延びる砲身101の先端から、高速の燃焼ガス流111に粉末の溶射材料が運ばれ、基板112に皮膜114が形成される。この高速の燃焼ガス流は、燃焼ガス供給口及び酸素供給口から供給される燃焼ガス及び酸素が燃焼室105で燃焼されて生じることになる。このように、その高速ガス流による高密度、高密着力が特徴であるため、基板112の表面とガス流の角度が重要であり、なるべく直角であることが望ましい。従って、本実施例のように、3つの直交する面に溶射皮膜を作るには、それぞれの面に適した方向から上述のガンによる溶射が行われるのが望ましい。具体的には、ワーク若しくはガンをそれぞれ適した位置に固定し、必要に応じていずれかを基板表面に平行な方向にスライドすることが好ましい。   FIG. 4B shows an outline of the gun of the jet coat in a side view. From the tip of the gun barrel 101 extending to the right from the gun body 103, the powder spray material is conveyed to the high-speed combustion gas flow 111, and a coating 114 is formed on the substrate 112. This high-speed combustion gas flow is generated when the combustion gas and oxygen supplied from the combustion gas supply port and the oxygen supply port are burned in the combustion chamber 105. As described above, since the high density and high adhesion force due to the high-speed gas flow are characteristic, the angle between the surface of the substrate 112 and the gas flow is important, and it is desirable that the angle be as perpendicular as possible. Therefore, as in this embodiment, in order to form sprayed coatings on three orthogonal surfaces, it is desirable that the above-described gun spraying is performed from a direction suitable for each surface. Specifically, it is preferable that the workpiece or the gun is fixed at an appropriate position, and if necessary, one of them is slid in a direction parallel to the substrate surface.

図5Aは、本発明において好適に用いられる溶射用の材料をまとめたデータシートを示す。これらの材料以外に好適に用いられるものがある。大きく分けると、炭化物サーメットと金属・合金の2つに分類される。炭化物サーメットは、使用限界温度が比較的低いものの、硬度が比較的高く、本発明の実施例に用いるのにより好適であることがわかる。すなわち、図7に示すように、摩耗が引っかき傷のような、いわゆるアブレッシブ摩耗であるので、硬度の高さが大きく貢献すると考えられる。更に、気孔率が0.5%以下と比較的低く、塗料の浸み込みが生じ難い。また、塗料が腐食性のものであれば、耐蝕性に優れるものを用いることが好ましい。   FIG. 5A shows a data sheet that summarizes the materials for thermal spraying preferably used in the present invention. Some of these materials are suitably used. Broadly divided into two categories: carbide cermet and metal / alloy. It can be seen that the carbide cermet has a relatively low hardness but a relatively high hardness and is more suitable for use in the examples of the present invention. That is, as shown in FIG. 7, since the wear is so-called abrasive wear such as scratches, it is considered that the high hardness contributes greatly. Furthermore, the porosity is relatively low at 0.5% or less, and the penetration of the paint hardly occurs. In addition, if the paint is corrosive, it is preferable to use one having excellent corrosion resistance.

それぞれの成分のより詳しい特性をまとめたデータシートを図5Bから5Jに示す。これらのうちから、又は、これら以外のもので好ましい材料から、或いは、それらの組合せを用いて、上述のような溶射を行い、ヘッドの先端の超硬加工を行えば、摩耗を大きく減少させることが可能であり、塗膜の均一生成に絶大なる効果を奏する。   Data sheets summarizing more detailed characteristics of each component are shown in FIGS. 5B to 5J. Of these, materials other than these, preferred materials, or combinations thereof are used to perform thermal spraying as described above and perform carbide machining of the tip of the head to greatly reduce wear. It is possible to achieve a great effect on uniform formation of a coating film.

本発明は、シート状部材または板状部材などの被塗布部材の表面に塗布液を塗布する塗布工具および塗布装置に関し、特に、スロット状の塗布ノズルを備えた塗布工具および塗布装置に関する。   The present invention relates to a coating tool and a coating apparatus for coating a coating liquid on the surface of a member to be coated such as a sheet-shaped member or a plate-shaped member, and more particularly to a coating tool and a coating apparatus provided with a slot-shaped coating nozzle.

従来から被塗布物体の表面に感熱性膜、導電性膜、低反射導電膜、紫外線防止膜、電磁波防止膜、保護膜または磁性膜に代表される各種の被膜を被覆することが行われている。例えば、シート状部材の表面に塗布液を薄く均一に塗布して、塗膜層を形成するような塗布作業を行う塗布装置に装着される塗布工具として、塗布液を通過させるスロットを有する塗布工具が用いられている。このような塗布工具として、塗布ヘッド(工具本体)を備えた塗布工具がある。図6に例示する。 Conventionally, various surfaces typified by heat-sensitive films, conductive films, low-reflective conductive films, UV-preventing films, electromagnetic wave-preventing films, protective films, or magnetic films have been applied to the surface of objects to be coated . . For example, a coating tool having a slot through which a coating liquid is passed as a coating tool to be applied to a coating apparatus that performs a coating operation to apply a coating liquid thinly and uniformly on the surface of a sheet-like member to form a coating film layer Is used. As such an application tool, there is an application tool provided with an application head (tool body). This is illustrated in FIG.

塗布装置は、塗布ヘッド910を有し、塗布ヘッド910は、バックエッジと称される第1の部材911とドクターエッジと称される第2の部材912とが互いに取付けられて構成されている。塗布装置は、可撓性帯状支持体914を図中矢印(ロ)の方向に走行させる図示されぬ送り手段を備えており、第1の部材911と第2の部材912は、可撓性帯状支持体914が走行する方向(ロ)に沿って順番に並べられて配置されている。すなわち、第1の部材911は、可撓性帯状支持体914が走行する方向(ロ)の上流側に、第2の部材912は、下流側にそれぞれ配置されている。そして、これら第1、第2の部材911、912間に、塗布液が第1の部材911と第2の部材912の先端に向かって流通するスロット913が形成され、このスロット913の先端に、第1、第2の部材911、912の先端で開口する流出口913aが形成されている。 The coating apparatus includes a coating head 910, and the coating head 910 is configured by attaching a first member 911 called a back edge and a second member 912 called a doctor edge to each other. The coating apparatus includes a feeding means (not shown) that causes the flexible belt-like support 914 to travel in the direction of the arrow (B) in the figure, and the first member 911 and the second member 912 are flexible belt-like. The support bodies 914 are arranged in order along the traveling direction (b). That is, the first member 911 is disposed on the upstream side in the direction (b) in which the flexible belt-like support 914 travels, and the second member 912 is disposed on the downstream side. A slot 913 is formed between the first and second members 911 and 912 to allow the coating liquid to flow toward the tips of the first member 911 and the second member 912. At the tip of the slot 913, Outflow ports 913 a that open at the tips of the first and second members 911 and 912 are formed.

スロット状のノズルを持つ塗布ヘッド910は被塗布部材914との接触、塗料による腐食や含まれ得る顔料等の粒子との摩擦により塗布刃先である先端部分に傷が入ることがある。このような傷は、その大きさが所定の値以上になると、塗料が傷に入り込み、均一な塗膜形成を困難なものとする。そのため、傷がある程度大きくなった時に、刃先部分を研磨してヘッド先端部分の再生を行う必要がある。従って、塗布装置の定期点検、保守、ヘッド再生中の塗布装置の休止又は予備のヘッドの準備、更に、再生後のヘッドの精密な取り付け等、塗布工程の生産性を著しく低下させるものである。 The coating head 910 having a slot-like nozzle may be scratched at the tip of the coating blade due to contact with the member to be coated 914, corrosion due to paint, and friction with particles such as pigments that may be included. When the size of such scratches exceeds a predetermined value, the paint enters the scratches, making it difficult to form a uniform coating film. Therefore, when the scratches become large to some extent, it is necessary to regenerate the head tip portion by polishing the blade edge portion. Therefore, the productivity of the coating process is significantly reduced, such as periodic inspection and maintenance of the coating apparatus, suspension of the coating apparatus during head regeneration or preparation of a spare head, and precise mounting of the head after regeneration.

図7にヘッド942に生じる傷の例950、952を模式的に示す。被塗装部材との接触などにより、走行方向から徐々に狭く三角形状になる傷952あり、中には、反対側まで貫通し深い谷間954を生じるものもある。典型的な傷幅は、大きいもので約0.1から0.3mmになるものもあり、このような傷は、塗料が浸み込み、安定した塗膜形成の障害となる。 FIG. 7 schematically shows examples of scratches 950 and 952 generated in the head 942. There are scratches 952 that gradually become narrower triangular from the traveling direction due to contact with the member to be coated, and some of them have penetrated to the opposite side and deep valleys 954 are generated. Typical scratch widths are as large as about 0.1 to 0.3 mm, and such scratches penetrate the paint and hinder stable film formation.

このため、塗布ヘッドの先端部分に傷が入りにくくすることが望まれており、具体的には、塗布ヘッドの材料を超硬合金にすることが提案された(例えば、特許文献1)。   For this reason, it is desired that the tip of the coating head is less likely to be scratched. Specifically, it has been proposed to use a cemented carbide material for the coating head (for example, Patent Document 1).

しかしながら、塗布ヘッド全体を超硬合金にすることは、コストがかかり、また、機械加工性が低いので、現実的ではない。そのため、塗布ヘッドの先端部分のみを超硬合金にすることが提案された(例えば、特許文献2、特許文献3)が、先端部分のスロットの幅を均一にするように組み付けることは、容易ではない。特に、組み付け初期には、組み付けが精密に行われていたとしても、塗布作業を繰り返すうちに、その部材間の熱膨張の差から生じる応力等により、経時変化をし易くなる。更に、組み付けにおいては、部材間に微少の隙間が生じ易く、塗料がこの隙間に浸透し、塗布条件を変えるおそれもある。
特開2000−301044号公報 特開2002−224607号公報 特開2004−261678号公報
However, it is not practical to make the entire coating head a cemented carbide because of the cost and low machinability. For this reason, it has been proposed that only the tip portion of the coating head is made of cemented carbide (for example, Patent Document 2 and Patent Document 3), but it is not easy to assemble so that the width of the slot of the tip portion is uniform. Absent. In particular, even if the assembly is performed precisely at the initial stage of assembly, it is easy to change with time due to the stress caused by the difference in thermal expansion between the members as the coating operation is repeated. Furthermore, in assembly, a minute gap is likely to be generated between the members, and the coating material may permeate into the gap and change the application conditions.
JP 2000-301044 A JP 2002-224607 A JP 2004-261678 A

本発明では、以上のようなことを考慮して、効果的にヘッドの先端部分のみの硬度を上げた塗布ヘッドを提供する。これにより、先端部分の摩耗を抑制し、塗膜を安定的に形成させることができるようにする。 In consideration of the above, the present invention provides a coating head in which the hardness of only the tip portion of the head is effectively increased. Thereby, wear of the tip portion is suppressed and a coating film can be formed stably.

本発明における、塗布ヘッドは、先端部分に効果的に超硬合金からなる部材を配置し、かつ、塗料が浸透するような隙間を生じさせないようにこれら部材を組み込むものとする。即ち、その先端部分に所定の厚みの超硬合金をコーティングしたことを特徴とすることができる。この超硬合金は、炭化タングステン(WC)を含むサーメットであってよい。更に、このコーティングは溶射により行うことができる。従って、溶射される溶射材料は、炭化タングステン(WC)を含むサーメットであってよい。   In the present invention, the coating head is configured such that members made of cemented carbide are arranged effectively at the tip portion, and these members are incorporated so as not to generate a gap through which the paint penetrates. That is, the tip portion may be coated with a cemented carbide having a predetermined thickness. The cemented carbide may be a cermet containing tungsten carbide (WC). Furthermore, this coating can be performed by thermal spraying. Therefore, the thermal spray material to be sprayed may be a cermet containing tungsten carbide (WC).

より具体的には、以下のようなものを提供する。   More specifically, the following is provided.

(1)シート状部材に塗膜を形成するために塗料を供給する塗布ヘッドであって、該シート状部材への塗布方向に対してほぼ直角な方向に延びるスロットを有するスロット式塗布ノズルと、該塗布ノズルを保持する塗布ヘッド本体とを含み、該塗布ノズルは、該スロットを規定する所定の幅で対抗する2つのノズル先端部材を有し、該ノズル先端部材の少なくとも前記シート状部材または板状部材に面する部分に溶射による超硬合金コーティング層を備えることを特徴とする塗布ヘッド。 (1) An application head for supplying paint to form a coating film on a sheet-like member, a slot-type application nozzle having a slot extending in a direction substantially perpendicular to the application direction to the sheet-like member; A coating head main body for holding the coating nozzle, the coating nozzle having two nozzle tip members facing each other with a predetermined width defining the slot, and at least the sheet-like member or plate of the nozzle tip member A coating head comprising a cemented carbide coating layer formed by thermal spraying on a portion facing the shaped member.

(2)前記塗布ノズルの基材は、ステンレス金属からなり、その上に前記超硬合金コーティング層が形成されていることを特徴とする上記(1)に記載の塗布ヘッド。 (2) The coating head according to (1), wherein a base material of the coating nozzle is made of stainless metal, and the cemented carbide coating layer is formed thereon.

(3)シート状部材または板状部材に塗膜を形成するために塗料を供給する塗布ヘッドのスロット式塗布ノズルの超硬加工方法であって、塗布ヘッド先端に超硬合金を溶射した後、研磨し所定の形状にすることを特徴とする超硬加工方法。 (3) A cemented carbide processing method for a slotted coating nozzle of an application head that supplies paint to form a coating film on a sheet-like member or plate-like member, and after spraying the cemented carbide on the tip of the application head, A cemented carbide processing method characterized by polishing into a predetermined shape.

(4)板状ワークに塗膜を形成するためのスロット式塗布ノズルで、ノズル先端部分に超硬合金を溶射して形成したことを特徴とする塗布ヘッド。 (4) A coating head, which is a slot type coating nozzle for forming a coating film on a plate-like workpiece and is formed by spraying a cemented carbide on the nozzle tip.

(5)前記塗布ヘッドは本体部分をステンレス、先端部分を超硬合金で形成されていることを特徴とする上記(4)に記載の塗布ヘッド。 (5) The coating head according to (4), wherein the coating head is made of stainless steel for the main body and cemented carbide for the tip.

(6)板状ワークに塗膜を形成するためのスロット式塗布ノズルの超硬加工方法であって、塗布ヘッド先端に超硬合金を溶射した後、研磨にて形状を整える超硬加工方法。 (6) A cemented carbide processing method of a slot type coating nozzle for forming a coating film on a plate-like workpiece, wherein a cemented carbide is sprayed on the tip of the coating head and then the shape is adjusted by polishing.

ここで、溶射は緻密な溶射膜を形成できる爆発溶射、高温燃焼ガスによる溶射、プラズマ溶射等を含んでよい。また、必要に応じて封孔処理を施すこともできる。   Here, the thermal spraying may include explosive thermal spraying capable of forming a dense thermal sprayed film, thermal spraying with a high-temperature combustion gas, plasma spraying, and the like. Moreover, a sealing process can also be performed as needed.

図1A及びBは、超硬合金を溶射した先端部材を含む塗布ヘッドの断面図を、模式的に示した被塗布部材と共に示す。図2AからCは、塗布ヘッドの先端部材に超硬合金加工がされるようすを段階的に示す。図3は、塗布ヘッドの詳細構造を示す分解斜視図である。 1A and 1B show a cross-sectional view of a coating head including a tip member sprayed with a cemented carbide together with a coated member schematically shown. FIGS. 2A to 2C show step by step how cemented carbide is processed on the tip member of the coating head. FIG. 3 is an exploded perspective view showing a detailed structure of the coating head.

図1Aから3を参照しつつ、液晶基板4に塗布を行う塗布ヘッドを好適な例として挙げ、以下に説明する。図1A及びBにおいて、下部に左右に延びるシート状の液晶基板4が配置され、その上に塗布ヘッド20が配置されている。液晶基板もしくは塗布ヘッド20は、図中右から左(又は左から右)へと相対移動され、塗膜が左から右(又は右から左)へと形成されていく。図1Aでは、説明のため塗布ヘッド20の先端から液晶基板4の上面まで大きく離れて描かれているが、実際にはより短い距離D(例えば、50〜150μm)隔てて、液晶基板4に塗布される(図1B)。そのため、液晶基板4の上面と塗布ヘッド20の先端部との直接又は間接的な接触が生じることもあり得、塗布ヘッド20の先端部の摩耗や傷が生じ得るのである。 A coating head that performs coating on the liquid crystal substrate 4 will be described as a preferred example with reference to FIGS. 1A and 1B, a sheet-like liquid crystal substrate 4 extending in the left-right direction is disposed at the lower portion, and a coating head 20 is disposed thereon. A liquid crystal substrate or the coating head 20 is relatively moved from the right in the figure to the left (or left to right), the coating film is gradually formed from left to right (or from right to left). In FIG. 1A, for the sake of explanation, the coating head 20 is depicted with a large distance from the top of the liquid crystal substrate 4 to the top surface of the liquid crystal substrate 4, but in reality, the liquid crystal substrate 4 is coated with a shorter distance D (for example, 50 to 150 μm). (FIG. 1B). Therefore, direct or indirect contact between the upper surface of the liquid crystal substrate 4 and the tip of the coating head 20 may occur, and the tip or tip of the coating head 20 may be worn or scratched.

塗布ヘッド20は、所定の間隔を隔てて、対抗し合う分割ヘッド21及び22からなる。この2つの分割ヘッド21、22は、それぞれ細長い直方体形状の金属(ステンレス)製ブロックからなる。分割ブロック21、22間の所定の間隔は、シム23を挟むことによって規定することができる。分割ブロック21、22は、ほぼ平行に対抗する面を有し、これらの面はほぼ垂直に下方に延び、また、ほぼ水平にそれぞれの分割ブロック21、22の幅方向に延びる。塗布ヘッド20は、それぞれ下方に鋭角状に突出する刃先部を上記対抗するそれぞれの面を維持するように備える。即ち、塗布ヘッド20は、刃先の先端エッジが上述の対抗する面の下方の先端エッジとなるように、分割ブロック21、22の肉厚が徐々に薄くなっている。   The coating head 20 is composed of divided heads 21 and 22 that face each other at a predetermined interval. Each of the two divided heads 21 and 22 is made of a long and thin rectangular parallelepiped metal (stainless steel) block. The predetermined interval between the divided blocks 21 and 22 can be defined by sandwiching the shim 23. The divided blocks 21 and 22 have substantially parallel opposing surfaces, and these surfaces extend substantially vertically downward, and extend substantially horizontally in the width direction of the respective divided blocks 21 and 22. The coating head 20 is provided so as to maintain the respective surfaces facing the above-mentioned cutting edge portions that project downward at an acute angle. In other words, in the coating head 20, the thickness of the divided blocks 21 and 22 is gradually reduced so that the tip edge of the blade edge becomes the tip edge below the facing surface.

この塗布ヘッド20の下端ノズル部となる、分割ブロック21、22のそれぞれの先端部21a、22aは、液晶基板4の幅(塗布ヘッドの走行方向と直交する方向における液晶基板4の長さ)を越える長さを有するようにほぼ水平に形成され、ノズル部となる。先端部21a及び22aは、上述のように所定の間隔で対抗している。これらの先端部21a及び22aで規定される所定の間隔からなるスロット27から、塗料を単位時間当たり所定量(例えば、一般の液晶基板では、約2cc/sec)流出させることにより、均一な塗膜を形成する。   The front end portions 21a and 22a of the divided blocks 21 and 22 which are the lower end nozzle portions of the coating head 20 have the width of the liquid crystal substrate 4 (the length of the liquid crystal substrate 4 in the direction perpendicular to the traveling direction of the coating head). It is formed almost horizontally so as to have a length exceeding it, and becomes a nozzle portion. The tip portions 21a and 22a are opposed to each other at a predetermined interval as described above. By flowing a predetermined amount of paint per unit time (for example, about 2 cc / sec for a general liquid crystal substrate) from a slot 27 having a predetermined interval defined by the tip portions 21a and 22a, a uniform coating film is obtained. Form.

スロット27の所定の間隔は、分割ブロック21、22によって挟まれるシム23によって規定することができる。シム23は、図3に図示されるように、平面視においてカタカナのコの字形状に打ち抜きされた薄板からなり、そのコの字の凹部の辺部23a、23bは、2つの分割ヘッド21、22の間にシム23が挟み付けられたとき、これら2つの分割ヘッド21、22の間に所定の間隔の隙間を維持する。この隙間によりスロット27が形成される。シム23の厚さは、このスロット27の隙間の大きさを決定する。即ち、分割ヘッド21及び22がそれぞれのボルト孔51、52及びシム23のボルト孔53を通る締結部材としてのボルト60及びナット61によって締結されたとき、シム23の厚みが実質的にスロット27の隙間の間隔となる。   The predetermined interval of the slot 27 can be defined by a shim 23 sandwiched between the divided blocks 21 and 22. As shown in FIG. 3, the shim 23 is formed of a thin plate punched into a U-shape of katakana in a plan view, and the side portions 23 a and 23 b of the U-shaped recess are formed by two divided heads 21, When the shim 23 is sandwiched between the two divided heads 22, a predetermined gap is maintained between the two divided heads 21 and 22. A slot 27 is formed by this gap. The thickness of the shim 23 determines the size of the gap in the slot 27. That is, when the split heads 21 and 22 are fastened by bolts 60 and nuts 61 as fastening members passing through the bolt holes 51 and 52 and the bolt holes 53 of the shim 23, the thickness of the shim 23 is substantially equal to that of the slot 27. It becomes the gap interval.

一方の分割ヘッド21の上部には、その幅方向(塗布ヘッド20の幅方向)のほぼ中央に、塗布液(又は塗料)をなす液体等を注入するための液体注入口24が形成され、その長さ方向の両端部寄りに、空気抜き口34がそれぞれ形成されている。これらの液体注入口24及び空気抜き口34は、それぞれ、通孔25により、分割ヘッド21の中間部又は内部に設けられた空洞部26に連通している。空洞部26は、分割ヘッド21の幅方向に延び、液体注入口24から注入された液体等は、ほぼ中央部から両端部へと幅方向に流れる。このとき、空洞部内に残っている空気は、通孔25を通って、空気抜き口34から排出される。このようにして、空洞部26は、このように注入された液体等をその空洞部内に保持することができる。 A liquid injection port 24 for injecting a liquid or the like that forms a coating liquid (or paint) is formed in the upper part of one of the divided heads 21 at a substantially central position in the width direction (width direction of the coating head 20). at both ends near the longitudinal direction, the air vent port 34 is formed, respectively. The liquid inlet 24 and the air vent 34 communicate with the cavity 26 provided in the middle or inside of the divided head 21 through the through holes 25, respectively. The cavity 26 extends in the width direction of the divided head 21, and the liquid or the like injected from the liquid injection port 24 flows in the width direction from approximately the center to both ends. At this time, the air remaining in the cavity is discharged from the air vent 34 through the through hole 25. Thus, the cavity part 26 can hold the liquid or the like thus injected in the cavity part.

空洞部26は、スロット27に連通しており、空洞部26内の液体は、スロット27により一定の厚みにされて、スロット27の下方の先端開口部28から吐出される。このスロット27の先端開口部28は、塗布ヘッド20の下端ノズル部のノズル口を形成する。   The cavity 26 communicates with the slot 27, and the liquid in the cavity 26 is made to have a constant thickness by the slot 27 and is discharged from the tip opening 28 below the slot 27. The front end opening 28 of the slot 27 forms a nozzle opening of the lower end nozzle portion of the coating head 20.

上記分割ヘッド21、22のそれぞれの対抗する面の先端部21a、22aは、溶射によるコーティング42がそれぞれ施されており、面粗度が細かく、また、幅方向の歪みも少ないようにされている。例えば、先端部21a、22aに付けられた溶射皮膜42a、42bの表面の粗さは、JISによる測定で、Raで例えば0.1〜0.2μm、より好ましくは、0.025〜0.05μmである。スロット27の間隔は、シムの厚みが±0.1μ、ヘッドの合わせ面が2μm以内となり、最大でも2.1μm以下になる。従って、この範囲から、面粗度や間隔が外れると、均一な塗膜形成が困難になり好ましくない。傷が入ると、吐出塗料の幅方向にムラができやすくなり、塗膜にスジが入り易くなる。従って、均一な塗膜形成が困難になるのである。このような傷は、塗料を塗る工程において、被塗装対象物である液晶基板4の表面凹凸や、表面上のコンタミ等異物、更には、塗料中の固形物等との接触やしゅう動によって起こり得る。本実施例では、ステンレス製の塗布ヘッド刃先部分に更に超硬合金を溶射によりコーティングしており、硬度が高く、このような傷が生じ難い。   The tip portions 21a and 22a of the opposing surfaces of the divided heads 21 and 22 are respectively coated with a coating 42 by thermal spraying so that the surface roughness is fine and the distortion in the width direction is small. . For example, the surface roughness of the thermal spray coatings 42a and 42b attached to the tip portions 21a and 22a is, for example, 0.1 to 0.2 [mu] m, more preferably 0.025 to 0.05 [mu] m in terms of Ra as measured by JIS. It is. The interval between the slots 27 is ± 0.1 μm for the shim and within 2 μm for the mating surface of the head, and is 2.1 μm or less at the maximum. Therefore, if the surface roughness and the interval are out of this range, it is not preferable because it is difficult to form a uniform coating film. When scratches enter, unevenness in the width direction of the discharged paint tends to occur, and streaks are likely to enter the coating film. Accordingly, it is difficult to form a uniform coating film. Such scratches are caused by contact with or sliding on the surface irregularities of the liquid crystal substrate 4 that is the object to be coated, foreign matter such as contamination on the surface, and solid matter in the paint in the process of applying the paint. obtain. In this embodiment, the hard coating tip is further coated by spraying on the cutting head portion made of stainless steel, the hardness is high, and such scratches are unlikely to occur.

図2AからCに分割ヘッド21への溶射手順を説明する。まず、塗布ヘッドの分割ブロックの機材形状を機械加工等により形成する。このとき、塗布ヘッド刃先へ溶射する部分を予め窪み44、46を設け肉薄に形成することがより好ましい(図2A)。先端部の外側42C又は内側42bに段差が付き難くなるからである。   2A to 2C, the thermal spraying procedure on the divided head 21 will be described. First, the equipment shape of the division block of the coating head is formed by machining or the like. At this time, it is more preferable that the portions to be sprayed on the coating head blade edge are provided with depressions 44 and 46 in advance so as to be thin (FIG. 2A). This is because it becomes difficult to make a step on the outer side 42C or the inner side 42b of the tip.

前記窪み44、46等の部分に超硬合金を溶射すると、図2Bのように刃先部分がやや丸みを帯びた形状48となり得る。やや厚めに溶射するのは、薄いと後の研磨工程では除去できない傷ができるおそれがあるからである。このときオプションとして封孔処理をすることができる。開いた孔が傷の起点となることもあり、また、不必要な塗料の浸透を防ぐために一般的に有効と考えられる。   When cemented carbide is sprayed on the depressions 44, 46, etc., the cutting edge portion can have a slightly rounded shape 48 as shown in FIG. 2B. The reason why the thermal spraying is slightly thick is that if it is thin, there is a possibility that scratches that cannot be removed in the subsequent polishing process may be formed. At this time, sealing can be optionally performed. Open holes can be the starting point of scratches and are generally considered effective to prevent unnecessary paint penetration.

次に、先端部分を研磨し、求められる形状に仕上げる(図2C)。更に封孔処理を行い再度表面の精密研磨をすることも可能であるが、必須の要件ではない。最終的に得られる溶射皮膜の厚みは約0.4mmであった。この厚みは、0.2mm以上が好ましく、更に好ましくは0.3mm以上である。また、この厚みは、1mm以下が好ましく、更に好ましくは0.8mm以下である。厚みが薄すぎると耐摩耗性が十分でなく、厚すぎると皮膜の剥離の恐れがあり、また、溶射で付ける最適な膜厚を大きく超えることになるからである。分割ヘッド22も同様の手順で製作し、これらをシム23を介してボルト等で締結して塗布ヘッドを形成する。   Next, the tip portion is polished and finished to the required shape (FIG. 2C). Further, it is possible to carry out a sealing treatment and perform a precise polishing of the surface again, but this is not an essential requirement. The final thickness of the sprayed coating was about 0.4 mm. This thickness is preferably 0.2 mm or more, and more preferably 0.3 mm or more. Moreover, this thickness is preferably 1 mm or less, and more preferably 0.8 mm or less. This is because if the thickness is too thin, the abrasion resistance is not sufficient, and if it is too thick, the film may be peeled off, and the optimum film thickness to be applied by thermal spraying will be greatly exceeded. The divided heads 22 are also manufactured in the same procedure, and these are fastened with a bolt or the like through the shim 23 to form an application head.

このように製作することで、異なる材質の接合部分に塗布液が入り込むということもなく、傷の入りにくい塗布ヘッドが出来上がる。   By manufacturing in this way, the coating head does not enter into the joint portion of different materials, and a coating head which is difficult to be damaged is completed.

図4Aは、本発明の実施例において、好適に用いられることができるHVOF(High Velocity Oxy−Fuel)溶射法に用いられるガン部分100を断面において示している。ラーバルノズル(Laval Nozzle)から、右の基板112に向かって音速の5倍にもなる高速の溶射材料を含むガスが噴射され、コーティング皮膜114を形成する。この高速のガスの中に菱形のもの110がいくつか並んでいるが、ショックダイヤモンド(Shock Diamonds)110と呼ばれるものである。このような高速のガスは、矢印106に示されるように酸素及び燃焼ガス(例えばプロピレン)がガン部分100に送られて、高圧の酸素及びプロピレンの燃焼ガスが超高速炎を発生することにより得られる。中央の矢印104が示すように溶射材料(粉末)が供給され、フレーム中央で加熱、溶解加速させられる。燃焼温度は、例えば、2700℃になることもあり、そのフレーム速度は1500m/secに達する。矢印108に示すように圧縮空気が送られて、この高温からノズル102等を守る働きをする。上述するように、音速を超えるので、ショックダイヤモンド110が見られ、その運動エネルギーによって、基材に扁平な溶射皮膜を形成することができる。従って、超緻密性を持ち細かい溶射肌となり、高密度強度であるので高い結合力が得られ、低残留応力となるので基材の相変化が少ないという特徴がある。   FIG. 4A shows, in cross-section, a gun portion 100 used in an HVOF (High Velocity Oxy-Fuel) spraying method that can be suitably used in an embodiment of the present invention. From a Laval nozzle, a gas containing a high-speed thermal spray material that is 5 times the speed of sound is sprayed toward the right substrate 112 to form a coating film 114. Several diamond-shaped objects 110 are arranged in the high-speed gas, and are called shock diamonds 110. Such a high-speed gas is obtained by sending oxygen and combustion gas (for example, propylene) to the gun portion 100 as indicated by an arrow 106 and generating high-speed flame by the high-pressure oxygen and propylene combustion gas. It is done. Thermal spray material (powder) is supplied as indicated by the center arrow 104, and is heated and melted at the center of the frame. The combustion temperature may be 2700 ° C., for example, and the flame speed reaches 1500 m / sec. Compressed air is sent as indicated by an arrow 108 to protect the nozzle 102 and the like from this high temperature. As described above, since the speed of sound is exceeded, shock diamond 110 is seen, and a flat sprayed coating can be formed on the substrate by its kinetic energy. Therefore, it has a feature that it has a super-dense and finely sprayed skin, a high bonding strength is obtained because of high density strength, and a phase change of the base material is small because of low residual stress.

このような溶射システムには、JET KOTE (ジエットコート)溶射システムが含まれる。このジェットコートは、1980年代の初め Browing Engineering Co.(米)において、 Union Carbide Co.(米)の d−gun に対抗して開発された新しい高エネルギーガス溶射法である。特に、マッハ5前後の極超音速ジェット燃焼ガス流により、極めてシャープで高密度の粉末溶射が可能である。更に、炭化物系サーメットおよび超合金材料の溶射に特に適しており、この分野の材料については従来のプラズマ溶射法に比べ、さらに優れた高密度、高密着力の皮膜を形成させることが可能である。 Such thermal spray systems include JET KOTE (jet coat) thermal spray systems. This jet coat was purchased from the Browsing Engineering Co. in the early 1980s. (United States), Union Carbide Co. This is a new high-energy gas spraying method developed against d-gun of (US). In particular, the supersonic jet combustion gas flow around Mach 5 enables extremely sharp and high-density powder spraying. Furthermore, it is particularly suitable for spraying carbide-based cermets and superalloy materials. For materials in this field, it is possible to form a film with higher density and higher adhesion than conventional plasma spraying methods.

図4Bにそのジェットコートのガンの概略を側面視で示す。ガン本体103から右に延びる砲身101の先端から、高速の燃焼ガス流111に粉末の溶射材料が運ばれ、基板112に皮膜114が形成される。この高速の燃焼ガス流は、燃焼ガス供給口及び酸素供給口から供給される燃焼ガス及び酸素が燃焼室105で燃焼されて生じることになる。このように、その高速ガス流による高密度、高密着力が特徴であるため、基板112の表面とガス流の角度が重要であり、なるべく直角であることが望ましい。従って、本実施例のように、3つの直交する面に溶射皮膜を作るには、それぞれの面に適した方向から上述のガンによる溶射が行われるのが望ましい。具体的には、ワーク若しくはガンをそれぞれ適した位置に固定し、必要に応じていずれかを基板表面に平行な方向にスライドすることが好ましい。   FIG. 4B shows an outline of the gun of the jet coat in a side view. From the tip of the gun barrel 101 extending to the right from the gun body 103, the powder spray material is conveyed to the high-speed combustion gas flow 111, and a coating 114 is formed on the substrate 112. This high-speed combustion gas flow is generated when the combustion gas and oxygen supplied from the combustion gas supply port and the oxygen supply port are burned in the combustion chamber 105. As described above, since the high density and high adhesion force due to the high-speed gas flow are characteristic, the angle between the surface of the substrate 112 and the gas flow is important, and it is desirable that the angle be as perpendicular as possible. Therefore, as in this embodiment, in order to form sprayed coatings on three orthogonal surfaces, it is desirable that the above-described gun spraying is performed from a direction suitable for each surface. Specifically, it is preferable that the workpiece or the gun is fixed at an appropriate position, and if necessary, one of them is slid in a direction parallel to the substrate surface.

図5Aは、本発明において好適に用いられる溶射用の材料をまとめたデータシートを示す。これらの材料以外に好適に用いられるものがある。大きく分けると、炭化物サーメットと金属・合金の2つに分類される。炭化物サーメットは、使用限界温度が比較的低いものの、硬度が比較的高く、本発明の実施例に用いるのにより好適であることがわかる。すなわち、図7に示すように、摩耗が引っかき傷のような、いわゆるアブレッシブ摩耗であるので、硬度の高さが大きく貢献すると考えられる。更に、気孔率が0.5%以下と比較的低く、塗料の浸み込みが生じ難い。また、塗料が腐食性のものであれば、耐蝕性に優れるものを用いることが好ましい。   FIG. 5A shows a data sheet that summarizes the materials for thermal spraying preferably used in the present invention. Some of these materials are suitably used. Broadly divided into two categories: carbide cermet and metal / alloy. It can be seen that the carbide cermet has a relatively low hardness but a relatively high hardness and is more suitable for use in the examples of the present invention. That is, as shown in FIG. 7, since the wear is so-called abrasive wear such as scratches, it is considered that the high hardness contributes greatly. Furthermore, the porosity is relatively low at 0.5% or less, and the penetration of the paint hardly occurs. In addition, if the paint is corrosive, it is preferable to use one having excellent corrosion resistance.

それぞれの成分のより詳しい特性をまとめたデータシートを図5Bから5Jに示す。これらのうちから、又は、これら以外のもので好ましい材料から、或いは、それらの組合せを用いて、上述のような溶射を行い、ヘッドの先端の超硬加工を行えば、摩耗を大きく減少させることが可能であり、塗膜の均一生成に絶大なる効果を奏する。   Data sheets summarizing more detailed characteristics of each component are shown in FIGS. 5B to 5J. Of these, materials other than these, preferred materials, or combinations thereof are used to perform thermal spraying as described above and perform carbide machining of the tip of the head to greatly reduce wear. It is possible to achieve a great effect on uniform formation of a coating film.

先端に超硬合金を溶射した塗布ヘッドを被塗布部材と共に示す。A coating head having a tip coated with a cemented carbide is shown together with a member to be coated. 先端に超硬合金を溶射した塗布ヘッドの断面を含み、被塗布部材と共に示す斜視図である。It is a perspective view including a section of a coating head sprayed with a cemented carbide at the tip and shown together with a member to be coated. 塗布ヘッド先端部の溶射前の状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state before thermal spraying of the coating head front-end | tip part. 塗布ヘッド先端部の溶射後の状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state after the thermal spraying of the coating head front-end | tip part. 塗布ヘッド先端部の研磨後の状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state after grinding | polishing of the coating head front-end | tip part. 塗布ヘッドの詳細構造を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the detailed structure of a coating head. 本発明の実施例において用いたジェットコートのガン部分の概略を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the outline of the gun part of the jet coat used in the Example of this invention. 本発明の実施例において用いたジェットコートに用いるガンの概略を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the outline of the gun used for the jet coat used in the Example of this invention. 本発明に好適に用いられる溶射皮膜の一般特性をリストにしたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which listed the general characteristic of the thermal spray coating used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−10713)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-10713) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−03084)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-03084) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−1305)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-1305) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−10718)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-10718) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−1301)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-1301) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−3092N)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-3092N) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−12006)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-12006) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−11811)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-11811) used suitably for this invention. 本発明に好適に用いられる溶射材料(TS−20142NB)の特性をまとめたデータシートを示す図である。It is a figure which shows the data sheet which put together the characteristic of the thermal spray material (TS-20142NB) used suitably for this invention. 従来の塗布ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional coating head. 塗布ヘッドにできる傷を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the damage | wound made in an application head.

符号の説明Explanation of symbols

20 塗布ヘッド
21、22 分割ヘッド
21a、22a 先端部
23 シム
26 空洞部
27 スロット
42 溶射コーティング
20 coating head 21, 22 split head 21a, 22a tip 23 shim 26 cavity 27 slot 42 spray coating

Claims (3)

シート状部材に塗膜を形成するために塗料を供給する塗布ヘッドであって、
該シート状部材への塗布方向に対してほぼ直角な方向に延びるスロットを有するスロット式塗布ノズルと、該塗布ノズルを保持する塗布ヘッド本体とを含み、
該塗布ノズルは、該スロットを規定する所定の幅で対抗する2つのノズル先端部材を有し、
該ノズル先端部材の少なくとも前記シート状部材または板状部材に面する部分に溶射による超硬合金コーティング層を備えることを特徴とする塗布ヘッド。
An application head that supplies paint to form a coating film on a sheet-like member,
A slot-type application nozzle having a slot extending in a direction substantially perpendicular to the application direction to the sheet-like member, and an application head main body holding the application nozzle,
The application nozzle has two nozzle tip members that oppose each other with a predetermined width defining the slot;
An application head comprising: a cemented carbide coating layer formed by thermal spraying on at least a portion of the nozzle tip member facing the sheet-like member or plate-like member.
前記塗布ノズルの基材は、ステンレス金属からなり、その上に前記超硬合金コーティング層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の塗布ヘッド。   2. The coating head according to claim 1, wherein a substrate of the coating nozzle is made of stainless metal, and the cemented carbide coating layer is formed thereon. シート状部材または板状部材に塗膜を形成するために塗料を供給する塗布ヘッドのスロット式塗布ノズルの超硬加工方法であって、塗布ヘッド先端に超硬合金を溶射した後、研磨し所定の形状にすることを特徴とする超硬加工方法。   A cemented carbide processing method for a slot-type coating nozzle of a coating head that supplies paint to form a coating film on a sheet-shaped member or a plate-shaped member, wherein the cemented carbide is sprayed on the tip of the coating head and then polished and polished. Carbide processing method characterized by having a shape of
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