JPWO2005015701A1 - Light source using multi-beam laser - Google Patents

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Abstract

多ビームレーザ1に、斜面を対向し合ったくさび状の透明誘電体板9、9Aが対向している。多ビームレーザ1からのレーザビームの一部が、両透明誘電体板を透過する。残りのレーザビームは、両透明誘電体板を通過しない。両透明誘電体板を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間、および、両透明誘電体板を通過するレーザビーム同士の間で、各レーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じる。透明誘電体板9を、それらの対向し合う面に平行に移動させれば、透明誘電体板9を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間で、光路長差を変化できる。The wedge-shaped transparent dielectric plates 9 and 9A facing the multi-beam laser 1 are opposed to each other. Part of the laser beam from the multi-beam laser 1 passes through both transparent dielectric plates. The remaining laser beam does not pass through both transparent dielectric plates. Between the laser beam that does not pass through both transparent dielectric plates and the laser beam that passes through, and between the laser beams that pass through both transparent dielectric plates, each laser beam has a plane perpendicular to the total laser beam. A difference occurs in the optical path length between the intersection and each light emitting point. If the transparent dielectric plate 9 is moved in parallel to the opposing surfaces, the optical path length difference can be changed between the laser beam that does not pass through the transparent dielectric plate 9 and the laser beam that passes through it.

Description

本発明は、複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源に関し、特に、光記録信号の記録および/または再生に用いる光源に関する。  The present invention relates to a light source using a multi-beam semiconductor laser that emits a plurality of laser beams, and more particularly to a light source used for recording and / or reproducing an optical recording signal.

かねてより、光ディスク装置のデータ転送の高速化のために、多ビーム半導体レーザを用いて、データの記録や再生を多ビームで並列に行う試みがなされている。この種の技術は、例えば、特開平1−204235号公報や特開平3−088153号公報に開示されている。それらの装置においては、通常、多ビームを1つの光学系で集光して、隣接し合うトラックに信号を記録したり、隣接し合うトラックから光記録信号を再生したりする。
尚、ここで、多ビーム半導体レーザとは、独立に制御可能な、同一または相異なる波長のレーザビームを出力する半導体レーザ(以後、単に「レーザ」という)のことをいう。これには、モノリシック多ビームレーザとハイブリッド多ビームレーザとの2種類がある。モノリシック多ビームレーザとは、複数の活性層を一つの基板上に結晶成長により形成した後に、主要な電極工程や素子分離工程を行ったもののことをいう。ハイブリッド多ビームレーザとは、単一のビームを出力するレーザ素子を別々の基板上に結晶成長により形成した後に、それぞれに対して電極工程や素子分離工程を行い、しかる後に各レーザ素子を組み合わせて多ビームを出力するようにしたものである。発振波長の異なる2つ以上のビームを有する多ビームレーザを、特に多波長レーザという。
上記の従来技術による多ビームレーザにおいては、全てのレーザビームの発光点がレーザ正面の同一平面内に形成されており、その光軸方向に於ける位置が同一であった。しかるに、発光点間の間隔は、一般に、複数のレーザビームによって光ディスク盤面上に記録される記録マーク間の間隔よりもはるかに広い。したがって、多ビームレーザから出射された複数のレーザビームを、一つの光学系により光ディスクの盤面に集光した場合、必ずしも全てのビームがディスクの盤面上に焦点を結ぶとは限らないという問題があった。
さらに、記録の高密度化のために光ディスクの溝の凹部と凸部の両方に情報の記録マークを書き込んで、その記録マークから情報を読み出すランド/グルーブ記録再生方式がある。ランド記録再生とグルーブ記録再生とではクロストークを最小にする溝の深さが異なることに起因して、この方式では、ランドとグルーブの各々に同時にビームを照射する場合、ランドとグルーブで最適な焦点位置が異なることになり、ランドの記録再生を行うビームとグルーブの記録再生を行うビームとで光軸方向に焦点位置をずらす必要がある。また、最適な焦点位置のずれ量が、光ディスクのトラックピッチや溝深さによって異なるため、個々の光ディスク毎にも、焦点位置のずれ量を変えることができるのが望ましい。
また、近年、次世代の高密度光ディスク装置として、発振波長405nm程度の窒化物系化合物半導体レーザ(以下、「GaN系青紫色レーザ」という)を用いた装置が期待されている。しかし、このような次世代光ディスク装置においても、従来の発振波長650nmの赤色レーザを光源とするDVD(Digital Versatile Disc)装置や、発振波長780nmのレーザを光源とするCD−R(Compact Disc Recordable)装置との互換性を維持するために、発振波長として405nmのレーザだけでなく650nmや780nmのレーザも、搭載されるのが望ましい。この場合に、モノリシックに形成された、多波長レーザを搭載すれば、コスト等の点で大変有利である。しかしながら、この多波長レーザを用いた装置では、上記のような同一波長の多ビームレーザと同様の問題がさらに顕在化する。光学系のレンズの材質の屈折率が波長依存性を持つために、レーザの発振波長によってレンズの焦点距離が異なるからである。
For some time, attempts have been made to perform data recording and reproduction in parallel using multiple beams by using a multiple beam semiconductor laser in order to increase the data transfer speed of the optical disc apparatus. This type of technology is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open Nos. 1-204235 and 3-088153. In these apparatuses, usually, multiple beams are collected by one optical system, and a signal is recorded on an adjacent track, or an optical recording signal is reproduced from an adjacent track.
Here, the multi-beam semiconductor laser refers to a semiconductor laser (hereinafter simply referred to as “laser”) that outputs laser beams having the same or different wavelengths that can be controlled independently. There are two types, a monolithic multi-beam laser and a hybrid multi-beam laser. A monolithic multi-beam laser refers to a laser obtained by forming a plurality of active layers on one substrate by crystal growth and then performing main electrode processes and element isolation processes. A hybrid multi-beam laser is a laser element that outputs a single beam by crystal growth on separate substrates, and then an electrode process and an element separation process are performed for each, and then the laser elements are combined. It is designed to output multiple beams. A multi-beam laser having two or more beams having different oscillation wavelengths is particularly called a multi-wavelength laser.
In the above-described multi-beam laser according to the prior art, the emission points of all laser beams are formed in the same plane in front of the laser, and their positions in the optical axis direction are the same. However, the interval between the light emitting points is generally much wider than the interval between the recording marks recorded on the optical disc surface by a plurality of laser beams. Therefore, when a plurality of laser beams emitted from a multi-beam laser are condensed on the disk surface of the optical disk by one optical system, there is a problem that not all the beams are necessarily focused on the disk surface of the disk. It was.
Further, there is a land / groove recording / reproducing system in which information recording marks are written in both the concave and convex portions of the groove of the optical disk and information is read from the recording marks in order to increase the recording density. Due to the difference in groove depth that minimizes crosstalk between land recording / reproduction and groove recording / reproduction, in this method, when irradiating a beam simultaneously to each of the land and the groove, the land and the groove are optimal. Since the focal positions are different, it is necessary to shift the focal positions in the optical axis direction between the beam for recording / reproducing the land and the beam for recording / reproducing the groove. In addition, since the optimum focal position deviation amount varies depending on the track pitch and groove depth of the optical disc, it is desirable that the focal amount deviation amount can be changed for each individual optical disc.
In recent years, as a next-generation high-density optical disk apparatus, an apparatus using a nitride compound semiconductor laser (hereinafter referred to as “GaN blue-violet laser”) having an oscillation wavelength of about 405 nm is expected. However, even in such a next-generation optical disk device, a conventional DVD (Digital Versatile Disc) device using a red laser with an oscillation wavelength of 650 nm as a light source, or a CD-R (Compact Disc Recordable) using a laser with an oscillation wavelength of 780 nm as a light source. In order to maintain compatibility with the apparatus, it is desirable to mount not only a laser having an oscillation wavelength of 405 nm but also a laser having a wavelength of 650 nm or 780 nm. In this case, if a multi-wavelength laser formed monolithically is mounted, it is very advantageous in terms of cost and the like. However, in the apparatus using this multi-wavelength laser, the same problem as the multi-beam laser having the same wavelength as described above becomes more obvious. This is because the focal length of the lens differs depending on the oscillation wavelength of the laser because the refractive index of the material of the lens of the optical system has wavelength dependency.

そこで、本発明の目的とするところは、多ビームレーザを用いた光源であって、各レーザビームが所定の位置で焦点を結ぶように、その光源の内部において各ビーム間に光路長差を与える、あるいは、光路長差を変化させることのできる光源を提供することにある。
ここに明記しない本発明の他の目的は、以下の説明および添付図面から明らかになるであろう。
木発明は、多ビームレーザを用いた光源であって、各レーザビームが所定の位置で焦点を結ぶように、その光源の内部において各ビーム間に光路長差を与える、特に、光路長差を変化させることを最も主要な特徴とする。
Accordingly, an object of the present invention is a light source using a multi-beam laser, and an optical path length difference is given between each beam within the light source so that each laser beam is focused at a predetermined position. Alternatively, an object is to provide a light source capable of changing the optical path length difference.
Other objects of the present invention which are not specified here will become apparent from the following description and the accompanying drawings.
The tree invention is a light source using a multi-beam laser, and gives an optical path length difference between each beam inside the light source so that each laser beam is focused at a predetermined position. The main feature is to change.

図1は、本発明の実施例1に係る光源の斜視図であり、
図2は、本発明の実施例2に係る光源の斜視図であり、
図3は、本発明の実施例2の変形例に係る光源の斜視図であり、
図4は、本発明の実施例3に係る光源の斜視図であり、
図5は、本発明の実施例4に係る光源の斜視図であり、
図6は、本発明の実施例5に係る光源の斜視図であり、
図7は、本発明の実施例6に係る光源の斜視図であり、そして、
図8は、本発明の実施例7に係る光源の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a light source according to Embodiment 1 of the present invention,
FIG. 2 is a perspective view of a light source according to Example 2 of the present invention,
FIG. 3 is a perspective view of a light source according to a modification of the second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view of a light source according to Embodiment 3 of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view of a light source according to Embodiment 4 of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view of a light source according to Example 5 of the present invention.
FIG. 7 is a perspective view of a light source according to Embodiment 6 of the present invention, and
FIG. 8 is a perspective view of a light source according to Embodiment 7 of the present invention.

以下、本発明に係る抵抗発熱体について説明する。
複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザの発光面に対向させて、各レーザビーム毎に発光面から異なる位置にミラーを配置する、または、各レーザビーム毎に異なる厚さの領域を有する透明誘電体を配置する。
以上の構成によって、複数のレーザビームが光源からの出力後にそれらのレーザビームに直交する平面と交わる交点と、それらのレーザビームの発光点との間の光路長に差が生じる。
あるいは、複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザの発光面に対向させて、複数のレーザビームの一部が透過するように透明誘電体を配置し、そのレーザビームの透明誘電体を透過する距離を可変にする。残りのレーザビームは、透明誘電体を通過しない。
以上の構成によって、透明誘電体を通過するレーザビームと、通過しないレーザビームとの間で、それらのレーザビームが光源からの出力後にそれらのレーザビームに直交する平面と交わる交点と、それらのレーザビームの発光点との間の光路長の差が可変になる。
以下、本発明に係る抵抗発熱体の好適な実施例について、添付図面を参照して詳細に説明する。
The resistance heating element according to the present invention will be described below.
A mirror is arranged at a different position from the light emitting surface for each laser beam so as to face the light emitting surface of a multi-beam semiconductor laser that emits a plurality of laser beams, or a transparent region having a different thickness for each laser beam. A dielectric is disposed.
With the above configuration, a difference occurs in the optical path length between the intersection where the plurality of laser beams intersect with a plane orthogonal to the laser beams after being output from the light source, and the emission point of the laser beams.
Alternatively, a transparent dielectric is arranged so as to face a light emitting surface of a multi-beam semiconductor laser that emits a plurality of laser beams so that a part of the plurality of laser beams is transmitted, and the transparent dielectric of the laser beams is transmitted. Make the distance variable. The remaining laser beam does not pass through the transparent dielectric.
With the above configuration, between the laser beam that passes through the transparent dielectric and the laser beam that does not pass, the laser beam intersects with a plane orthogonal to the laser beam after output from the light source, and the laser The difference in optical path length from the light emitting point of the beam becomes variable.
Hereinafter, preferred embodiments of a resistance heating element according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の実施例1に係る光源の斜視図である。4本のレーザビームを放射する多ビームレーザ1が、基板2の1主面に形成された凹部3上にマウントされている。多ビームレーザ1は、青紫色の多ビーム(本実施例では4ビーム)を放射する、モノリシックなGaN系青紫色多ビームレーザである。多ビームレーザ1の4発光点は全て、レーザ正面の同一平面内に形成されている。
凹部3を規定している内壁面のうちの、多ビームレーザ1の発光面に対向する内壁面には、各発光点から異なる距離に、平面ミラー4〜7が形成されている。多ビームレーザ1から放射された各レーザビームは、それに対応するミラーで反射される。各平面ミラー4〜7は、その平面が、多ビームレーザ1から放射される4本のレーザビームの並ぶ方向に平行になるように、基板2の主面に対して傾斜して形成されている。そして、それらの各平面は、各平面への垂線が各レーザビームと45°をなすように、即ち、各レーザビームが90°偏向するように形成されるのが望ましい。このような配置にすることによって、各レーザビームが各平面ミラー4〜7で反射されたときに、その横断面が広がることを防止することができる。
以上の説明から明らかなように、本実施例の光源は、各平面ミラー4〜7が、それぞれ、各発光点から相異なる距離に形成されているものであるので、各平面ミラー4〜7で反射された各レーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じるという効果を有する。そして、各平面ミラー4〜7と各発光点との距離によって、これらの光路長差を任意の大きさに固定することが可能である。したがって、これらの光路長差を適切な大きさに設定することによって、本実施例の光源が光ディスク装置に組み込まれたとき、各レーザビームは、記録媒体に対して所定の位置で焦点を結び、それぞれ、最適な状態で光記録信号を記録および/または再生することが可能になる。また、本実施例の光源は、凹部の内壁面がミラーを形成している1個の基板の凹部にレーザをマウントしたものであるから、コンパクトな構成で上記の効果を得ることができるという特徴を有する。
上述の説明においては、多ビームレーザ1として、GaN系青紫色多ビームレーザを用いた。GaN系青紫色多ビームレーザとは、一般式[InxAlyGa1−x−yN](0≦x<1、0≦y<1、0≦x+y<1)で表される半導体を用いた多ビームレーザである。このような半導体は、InPやGaAsといった一般的な化合物半導体に比して広い禁制帯を有し、したがって、このような半導体を用いたレーザは、短波長の光(緑から紫外領域)を発し、光記録媒体への高密度の記録を可能にする。しかしながら、本実施例の光源に用いられる多ビームレーザは、GaN系青紫色多ビームレーザに限らず、InPやGaAsを用いた多ビームレーザであってもよい。本実施例の光源に用いられる多ビームレーザは、また、少なくとも、その2本のレーザビームが相異なる波長を有する多波長レーザであってもよい。さらに、本実施例の光源に用いられる多ビームレーザは、モノリシック多ビームレーザに限らず、ハイブリッド多ビームレーザであってもよい。基板2としては、図1に示すように、多ビームレーザ1の発光面に対向する凹部内壁面が、多ビームレーザ1から放射される複数のレーザビームの並ぶ方向に平行になるようなミラー面を形成できるものであればどのようなものであっても用いることができる。また、各ミラーが全て、常に、各発光点から互いに異なる距離になければならないわけではなく、少なくとも2個のミラーが、相異なる距離にあるだけでもよい。言うまでもないが、多ビームレーザから放射されるレーザビーム数は、4本に限らず、複数であれば何本であってもよい。
FIG. 1 is a perspective view of a light source according to Embodiment 1 of the present invention. A multi-beam laser 1 that emits four laser beams is mounted on a recess 3 formed on one main surface of a substrate 2. The multi-beam laser 1 is a monolithic GaN-based blue-violet multi-beam laser that emits a blue-violet multi-beam (four beams in this embodiment). All four emission points of the multi-beam laser 1 are formed in the same plane in front of the laser.
Planar mirrors 4 to 7 are formed at different distances from the respective light emitting points on the inner wall surface facing the light emitting surface of the multi-beam laser 1 among the inner wall surfaces defining the recess 3. Each laser beam emitted from the multi-beam laser 1 is reflected by a corresponding mirror. Each of the plane mirrors 4 to 7 is formed to be inclined with respect to the main surface of the substrate 2 so that the plane thereof is parallel to the direction in which the four laser beams emitted from the multi-beam laser 1 are arranged. . Each of these planes is preferably formed such that the perpendicular to each plane forms 45 ° with each laser beam, that is, each laser beam is deflected by 90 °. With such an arrangement, it is possible to prevent the cross section from expanding when each laser beam is reflected by the respective plane mirrors 4 to 7.
As is clear from the above description, the light source of the present embodiment is such that each of the plane mirrors 4 to 7 is formed at a different distance from each light emitting point. There is an effect that a difference occurs in the optical path length between the intersection of each reflected laser beam with the plane orthogonal to the entire laser beam and each light emitting point. And it is possible to fix these optical path length differences to arbitrary magnitude | sizes by the distance of each plane mirror 4-7 and each light emission point. Therefore, by setting these optical path length differences to an appropriate size, when the light source of this embodiment is incorporated in the optical disc apparatus, each laser beam is focused at a predetermined position with respect to the recording medium. In each case, the optical recording signal can be recorded and / or reproduced in an optimum state. Further, the light source of the present embodiment is such that the laser beam is mounted on the concave portion of one substrate in which the inner wall surface of the concave portion forms a mirror, and thus the above effect can be obtained with a compact configuration. Have
In the above description, a GaN blue-violet multibeam laser is used as the multibeam laser 1. The GaN-based blue-violet multi-beam laser is a multi-beam laser using a semiconductor represented by the general formula [InxAlyGa1-xyN] (0 ≦ x <1, 0 ≦ y <1, 0 ≦ x + y <1). is there. Such semiconductors have a wider forbidden band than general compound semiconductors such as InP and GaAs. Therefore, a laser using such a semiconductor emits light of a short wavelength (from green to ultraviolet region). , Enabling high-density recording on an optical recording medium. However, the multi-beam laser used for the light source of the present embodiment is not limited to the GaN blue-violet multi-beam laser, and may be a multi-beam laser using InP or GaAs. The multi-beam laser used for the light source of this embodiment may be a multi-wavelength laser in which at least the two laser beams have different wavelengths. Furthermore, the multi-beam laser used for the light source of this embodiment is not limited to a monolithic multi-beam laser, and may be a hybrid multi-beam laser. As shown in FIG. 1, the substrate 2 has a mirror surface such that the inner wall surface of the recess facing the light emitting surface of the multi-beam laser 1 is parallel to the direction in which a plurality of laser beams emitted from the multi-beam laser 1 are arranged. Any material can be used as long as it can form the film. Also, all the mirrors do not always have to be at different distances from each light emitting point, and at least two mirrors may only be at different distances. Needless to say, the number of laser beams emitted from the multi-beam laser is not limited to four, and may be any number as long as it is plural.

図2は、本発明の実施例2に係る光源の斜視図である。図2において、図1の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図1に示す実施例1に係る光源と異なる点は、多ビームレーザ1から放出された各レーザビームが、ミラーによって反射されるのではなく、透明誘電体板8を透過するという点である。透明誘電体板8は、サファイアより成っており、レーザビームの進行方向に厚さの異なる複数の領域が、多ビームレーザ1の各発光点に対応して階段状に形成されている。階段状の面の方が、多ビームレーザ1の発光面に対向していてもよい。また、多ビームレーザ1の発光面に対向している透明誘電体板8の面、および、その反対側の面は、全て、多ビームレーザ1の発光面に平行であることが望ましい。その場合には、透明誘電体板8の面に入射してきたレーザビームは、そのまま直進して透明誘電体板8の反対側の面から出射していく。
多ビームレーザ1から放射された各レーザビームは、それぞれ、それに対応する透明誘電体板8の厚さの相異なる領域を透過する。したがって、多ビームレーザ1から放射された各レーザビームは、空気よりも相当に屈折率の高い領域(波長589nmにおけるサファイアのa軸方向の屈折率:1.760)を、それぞれ、相異なる距離だけ進むことになるから、透明誘電体板8を透過した各レーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じる。そして、透明誘電体板8の各領域の、レーザビームの進行方向の厚さを調整することによって、これらの光路長差を任意の大きさに固定することが可能である。したがって、実施例1と同様に、これらの光路長差を適切な大きさに設定することによって、本実施例の光源が光ディスク装置に組み込まれたとき、各レーザビームは、記録媒体に対して所定の位置で焦点を結び、それぞれ、最適な状態で光記録信号を記録および/または再生することが可能になる。
尚、透明誘電体板8の厚さの異なる複数の領域が全て、常に、相異なる厚さでなければならないわけではなく、少なくとも2個の領域が、相異なる距離にあるだけでもよい。また、上述の説明においては、全てのレーザビームが透明誘電体板8を透過するとしたが、透明誘電体板8を透過せずに空気層のみを通過するレーザビームがあってもよい。また、空気層のみを通過するレーザビームの光路長と異なる光路長が1つだけしか必要でない場合には、透明誘電体板8は、レーザビームの進行方向に厚さが一様に形成されてもよい。さらに、本実施例においては、各レーザビームの光路長を調整するための材料として、サファイアより成る透明誘電体を用いたが、レーザビームが通過する気体空間(空気、あるいは、光源が筐体中に密封されている場合はその内部の密封ガス)と屈折率の異なる透明な物質であればどのような物質でも用い得る。ここで、「透明」とは、必ずしもそのレーザビームの吸収係数が0である必要はなく、レーザビームに対する吸収係数が実用上十分に低ければよい。
図3は、本実施例の光源の1変形例である。図3において、図2の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。図3に示す光源が図2に示す光源と異なる点は、多ビームレーザ1から放出された各レーザビームが、レーザビームの進行方向に厚さの異なる複数の階段状に形成された透明誘電体板の領域を透過するのではなく、透明誘電体板の複数の屈折率の相異なる領域を透過するという点である。2本のレーザビームが、それぞれ、透明誘電体板13の屈折率の相異なる透明誘電体領域131、132を透過するから、透明誘電体板13の内部において、相異なる光路長を持つ。したがって、図3に示す光源が、図2に示す光源と同様の効果を有することは明らかである。
FIG. 2 is a perspective view of a light source according to Embodiment 2 of the present invention. In FIG. 2, the same reference numerals are given to the same parts as those in FIG. The light source according to the present embodiment is different from the light source according to the first embodiment shown in FIG. 1 in that each laser beam emitted from the multi-beam laser 1 is not reflected by a mirror, but a transparent dielectric plate 8 is used. It is a point of transmitting. The transparent dielectric plate 8 is made of sapphire, and a plurality of regions having different thicknesses in the traveling direction of the laser beam are formed stepwise corresponding to each light emitting point of the multi-beam laser 1. The stepped surface may face the light emitting surface of the multi-beam laser 1. Further, it is desirable that the surface of the transparent dielectric plate 8 facing the light emitting surface of the multi-beam laser 1 and the opposite surface are all parallel to the light emitting surface of the multi-beam laser 1. In that case, the laser beam incident on the surface of the transparent dielectric plate 8 goes straight as it is and is emitted from the opposite surface of the transparent dielectric plate 8.
Each laser beam emitted from the multi-beam laser 1 passes through a region having a different thickness of the transparent dielectric plate 8 corresponding to the laser beam. Accordingly, each laser beam emitted from the multi-beam laser 1 has a region having a refractive index substantially higher than that of air (refractive index in the a-axis direction of sapphire at a wavelength of 589 nm: 1.760) by different distances. Therefore, a difference occurs in the optical path length between the intersection of each laser beam transmitted through the transparent dielectric plate 8 and the plane perpendicular to the entire laser beam and each light emitting point. Then, by adjusting the thickness of each region of the transparent dielectric plate 8 in the traveling direction of the laser beam, it is possible to fix these optical path length differences to an arbitrary size. Accordingly, as in the first embodiment, by setting these optical path length differences to an appropriate size, when the light source of this embodiment is incorporated in the optical disc apparatus, each laser beam is predetermined with respect to the recording medium. The optical recording signals can be recorded and / or reproduced in an optimum state.
Note that the plurality of regions having different thicknesses of the transparent dielectric plate 8 do not always have to have different thicknesses, and at least two regions may be at different distances. In the above description, all the laser beams are transmitted through the transparent dielectric plate 8. However, there may be a laser beam that does not pass through the transparent dielectric plate 8 and passes only through the air layer. Further, when only one optical path length different from the optical path length of the laser beam passing through the air layer is required, the transparent dielectric plate 8 is formed with a uniform thickness in the traveling direction of the laser beam. Also good. Further, in this embodiment, a transparent dielectric made of sapphire is used as a material for adjusting the optical path length of each laser beam. However, a gas space (air or light source through which the laser beam passes) Any material can be used as long as it is a transparent material having a refractive index different from that of the sealing gas inside. Here, “transparent” does not necessarily mean that the absorption coefficient of the laser beam is 0, and it is sufficient that the absorption coefficient for the laser beam is sufficiently low in practice.
FIG. 3 shows a modification of the light source of this embodiment. 3, parts that are the same as the parts in FIG. 2 are given the same reference numerals, and redundant descriptions will be omitted as appropriate. The light source shown in FIG. 3 is different from the light source shown in FIG. 2 in that each of the laser beams emitted from the multi-beam laser 1 is formed in a plurality of steps having different thicknesses in the traveling direction of the laser beam. Instead of transmitting through the plate region, the transparent dielectric plate transmits through a plurality of regions having different refractive indexes. Since the two laser beams pass through the transparent dielectric regions 131 and 132 having different refractive indexes of the transparent dielectric plate 13, they have different optical path lengths inside the transparent dielectric plate 13. Therefore, it is clear that the light source shown in FIG. 3 has the same effect as the light source shown in FIG.

図4は、本発明の実施例3に係る光源の斜視図である。図4において、図2の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図2に示す実施例2に係る光源と異なる点は、多ビームレーザに、階段状に厚さが変化する透明誘電体板が対向しているのではなく、くさび状の透明誘電体板9が対向しているという点である。
くさび状の透明誘電体板9は、その斜面の反対側の面が、多ビームレーザ1の発光面に対向するように配置されている。そして、くさび状の透明誘電体板9は、基板2上で、多ビームレーザ1からの各レーザビームに直交する方向、または、斜面に平行な方向に移動可能にされている。図4の配置において、少なくとも、多ビームレーザ1から出射されたレーザビームの進行方向に向かって、透明誘電体板9を最も右側に移動させたときに、多ビームレーザ1から出射された少なくとも1本のレーザビームは、透明誘電体板9を通過しないように、また、少なくとも1本のレーザビームは、透明誘電体板9を通過するように、透明誘電体板9が配置されている。この場合、透明誘電体板9を通過するレーザビームは、くさびの斜面で屈折するために、直行方向からずれるが、例えば1枚のミラー(図示せず)を用いて、透明誘電体板9を通過するレーザビームを、通過しないレーザビームと平行に修正することが簡単にできる。あるいは、透明誘電体板9と相似形状の透明誘電体板を、透明誘電体板9を通過しないレーザビームの進行方向に配置してもよい。尚、くさび状の透明誘電体板9を、その斜面に平行な方向に移動可能にする方が、くさび状の透明誘電体板9を移動させたときに、出射ビームの出射点がずれることがない。
このような配置においては、透明誘電体板9を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間、および、透明誘電体板9を通過するレーザビーム同士の間で、レーザビームが通過する透明誘電体板8の距離(透明誘電体板9を通過しないレーザビームでは零)が相異なるから、本実施例の光源が、実施例2の光源と同様の効果を有することは明らかである。さらに、本実施例の光源においては、くさび状の透明誘電体板9を多ビームレーザ1からの各レーザビームに直交する方向、あるいは、斜面に平行な方向に移動させれば、透明誘電体板9を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差を連続的に変化させることが可能である。
尚、くさび状の透明誘電体板9は、その斜面を多ビームレーザ1に対向させていてもよい。また、透明誘電体板9は、くさび状の形状に限らず、レーザビームの進行方向の厚さが、基板2の平面に平行でレーザビームの進行方向に直交する方向に非線形に連続的に変化する形状を有していてもよい。この場合には、透明誘電体板を移動させると、透明誘電体板を通過するレーザビーム同士の間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差が連続的に変化する。
FIG. 4 is a perspective view of a light source according to Embodiment 3 of the present invention. 4, parts that are the same as the parts in FIG. 2 are given the same reference numerals, and redundant descriptions will be omitted as appropriate. The light source according to the present embodiment is different from the light source according to Embodiment 2 shown in FIG. 2 in that the transparent dielectric plate whose thickness changes stepwise is not opposed to the multi-beam laser, but a wedge shape. The transparent dielectric plates 9 are opposed to each other.
The wedge-shaped transparent dielectric plate 9 is disposed so that the surface on the opposite side of the inclined surface faces the light emitting surface of the multi-beam laser 1. The wedge-shaped transparent dielectric plate 9 is movable on the substrate 2 in a direction perpendicular to each laser beam from the multi-beam laser 1 or in a direction parallel to the inclined surface. In the arrangement of FIG. 4, at least one emitted from the multi-beam laser 1 when the transparent dielectric plate 9 is moved to the rightmost side at least in the traveling direction of the laser beam emitted from the multi-beam laser 1. The transparent dielectric plate 9 is disposed so that one laser beam does not pass through the transparent dielectric plate 9 and at least one laser beam passes through the transparent dielectric plate 9. In this case, since the laser beam passing through the transparent dielectric plate 9 is refracted on the slope of the wedge, the laser beam deviates from the perpendicular direction. For example, a single mirror (not shown) is used to It is easy to modify the passing laser beam parallel to the non-passing laser beam. Alternatively, a transparent dielectric plate similar in shape to the transparent dielectric plate 9 may be arranged in the traveling direction of the laser beam that does not pass through the transparent dielectric plate 9. If the wedge-shaped transparent dielectric plate 9 is movable in a direction parallel to the inclined surface, the emission point of the emitted beam may be shifted when the wedge-shaped transparent dielectric plate 9 is moved. Absent.
In such an arrangement, the transparent dielectric through which the laser beam passes between the laser beam that does not pass through the transparent dielectric plate 9 and the laser beam that passes through and between the laser beams that pass through the transparent dielectric plate 9. Since the distance of the body plate 8 (zero for laser beams that do not pass through the transparent dielectric plate 9) is different, it is clear that the light source of this embodiment has the same effect as the light source of Embodiment 2. Further, in the light source of this embodiment, the transparent dielectric plate 9 can be obtained by moving the wedge-shaped transparent dielectric plate 9 in a direction perpendicular to each laser beam from the multi-beam laser 1 or in a direction parallel to the inclined surface. Between the laser beam that does not pass 9 and the laser beam that passes, the difference in optical path length between the intersection of the laser beam with the plane perpendicular to the laser beam and each light emitting point is continuously changed. It is possible.
The wedge-shaped transparent dielectric plate 9 may have its inclined surface facing the multi-beam laser 1. Further, the transparent dielectric plate 9 is not limited to the wedge shape, and the thickness in the direction of travel of the laser beam continuously changes nonlinearly in a direction parallel to the plane of the substrate 2 and perpendicular to the direction of travel of the laser beam. You may have the shape to do. In this case, when the transparent dielectric plate is moved, between the laser beams passing through the transparent dielectric plate, the intersection between the laser beam and the plane perpendicular to the laser beam, and each light emitting point The difference in the optical path length between them changes continuously.

図5は、本発明の実施例4に係る光源の斜視図である。図5において、図4の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図4に示す実施例3に係る光源と異なる点は、移動可能なくさび状の透明誘電体板9に対向して、もう1枚のくさび状の透明誘電体板9Aが、基板2上に固定されているという点である。2枚のくさび状の透明誘電体板9、9Aの斜面が、互いに平行に対向し合っている。2枚のくさび状の透明誘電体板9、9Aの斜面は、互いに接し合っていてもよい。2枚のくさび状の透明誘電体板9、9Aの斜面の反対側の面は、複数のレーザビームの並ぶ方向に平行である。
透明誘電体板9に入射したレーザビームは、実施例3の場合と同様に、くさびの斜面で屈折するために直行方向からずれて出射するが、透明誘電体板9Aの斜面に入射すると、2つの斜面が平行なために、直行方向に戻され、そのまま透明誘電体板9Aの反対の面から出射される。したがって、本実施例の場合には、透明誘電体板9、9Aを通過するレーザビームが、通過しないレーザビームと平行になり、実施例3の場合に必要であった余分の光学系を不要とするという特徴を有する。
くさび状の透明誘電体板9を、多ビームレーザ1からの各レーザビームに直交する方向、または、2枚の透明誘電体板9、9Aの対向し合っている面に平行な方向に移動させると、透明誘電体板9を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差を連続的に変更することが可能であることは、実施例3の場合と同様である。尚、透明誘電体板9が固定されていて、透明誘電体板9Aが移動可能にされていてもよい。
FIG. 5 is a perspective view of a light source according to Embodiment 4 of the present invention. In FIG. 5, parts that are the same as the parts in FIG. 4 are given the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted as appropriate. The light source according to this embodiment is different from the light source according to the third embodiment shown in FIG. 4 in that the wedge-shaped transparent dielectric plate 9A is opposed to the movable wedge-shaped transparent dielectric plate 9A. Is fixed on the substrate 2. The slopes of the two wedge-shaped transparent dielectric plates 9, 9A face each other in parallel. The slopes of the two wedge-shaped transparent dielectric plates 9 and 9A may be in contact with each other. The opposite surfaces of the slopes of the two wedge-shaped transparent dielectric plates 9 and 9A are parallel to the direction in which the plurality of laser beams are arranged.
As in the case of the third embodiment, the laser beam incident on the transparent dielectric plate 9 is refracted on the slope of the wedge and is emitted out of the orthogonal direction. However, if the laser beam is incident on the slope of the transparent dielectric plate 9A, 2 Since the two inclined surfaces are parallel, they are returned in the orthogonal direction and emitted as they are from the opposite surface of the transparent dielectric plate 9A. Therefore, in the case of the present embodiment, the laser beam that passes through the transparent dielectric plates 9 and 9A is parallel to the laser beam that does not pass, and the extra optical system required in the case of the third embodiment is unnecessary. It has the feature to do.
The wedge-shaped transparent dielectric plate 9 is moved in a direction perpendicular to each laser beam from the multi-beam laser 1 or in a direction parallel to the opposing surfaces of the two transparent dielectric plates 9 and 9A. And the laser beam that does not pass through the transparent dielectric plate 9 and the laser beam that passes through, the difference of the optical path length between the intersection of the laser beam with the plane perpendicular to the laser beam and each light emitting point It is possible to change continuously as in the case of the third embodiment. The transparent dielectric plate 9 may be fixed and the transparent dielectric plate 9A may be movable.

図6は、本発明の実施例5に係る光源の斜視図である。図6において、図4の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図4に示す実施例3に係る光源と異なる点は、多ビームレーザに、くさび状の透明誘電体板が対向しているのではなく、直方体の透明誘電体板11が対向しているという点である。そして、直方体の透明誘電体板11は、その中心のまわりに、基板2の主面内で回転可能にされている。
直方体の透明誘電体板11を、その中心のまわりに回転させると、透明誘電体板11を通過するレーザビームの透明誘電体板11を通過する距離が連続的に変化するから、透明誘電体板11を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差を連続的に変化させることが可能である。
この場合、透明誘電体板11を透過したレーザビームは、透明誘電体板11に入出射する際に屈折するために、直行方向からずれるが、例えば適当な曲面を持つミラー(図示せず)を用いて、透明誘電体板11を通過しないレーザビームと平行になるようにすることができる。尚、透明誘電体板11の回転は、例えば、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)技術などを用いて実現することができる。また、透明誘電体板11の形状は直方体に限らず、その中心のまわりに回転させたときに、多ビームレーザからのレーザビームの通過する距離が変化する形状であれば、どのような形状であってもよい。
FIG. 6 is a perspective view of a light source according to Embodiment 5 of the present invention. In FIG. 6, the same parts as those in FIG. The light source according to this embodiment is different from the light source according to Embodiment 3 shown in FIG. 4 in that the wedge-shaped transparent dielectric plate is not opposed to the multi-beam laser, but a rectangular parallelepiped transparent dielectric plate 11. Is that they face each other. The rectangular parallelepiped transparent dielectric plate 11 is rotatable within the main surface of the substrate 2 around its center.
When the rectangular parallelepiped transparent dielectric plate 11 is rotated around its center, the distance of the laser beam passing through the transparent dielectric plate 11 through the transparent dielectric plate 11 continuously changes. Between the laser beam that does not pass 11 and the laser beam that passes, the difference in optical path length between the intersection of the laser beam with the plane perpendicular to the laser beam and each light emitting point is continuously changed. It is possible.
In this case, since the laser beam transmitted through the transparent dielectric plate 11 is refracted when entering and exiting the transparent dielectric plate 11, the laser beam deviates from the orthogonal direction. For example, a mirror (not shown) having an appropriate curved surface is used. It can be used to be parallel to the laser beam that does not pass through the transparent dielectric plate 11. The rotation of the transparent dielectric plate 11 can be realized using, for example, a micro electro mechanical system (MEMS) technique. Further, the shape of the transparent dielectric plate 11 is not limited to a rectangular parallelepiped, and any shape can be used as long as the distance through which the laser beam passes from the multi-beam laser changes when it is rotated around its center. There may be.

図7は、本発明の実施例6に係る光源の斜視図である。図7において、図2の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図2に示す実施例2に係る光源と異なる点は、レーザビームの進行方向に厚さの異なる複数の領域が形成された透明誘電体板ではなく、厚さの一様な透明誘電体板12が多ビームレーザ1に対向しているという点である。多ビームレーザ1は、少なくとも2本のレーザビームが異なる波長を有する多波長レーザである。
サファイア等の透明誘電体の屈折率は、一般に波長分散を有するために、多ビームレーザ1から波長の異なるレーザビームが透過すると、それらのレーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じる。
FIG. 7 is a perspective view of a light source according to Embodiment 6 of the present invention. In FIG. 7, the same parts as those in FIG. The light source according to this embodiment is different from the light source according to Embodiment 2 shown in FIG. 2 in that the thickness of the light source is not a transparent dielectric plate in which a plurality of regions having different thicknesses are formed in the traveling direction of the laser beam. Such a transparent dielectric plate 12 faces the multi-beam laser 1. The multi-beam laser 1 is a multi-wavelength laser in which at least two laser beams have different wavelengths.
Since the refractive index of a transparent dielectric such as sapphire generally has chromatic dispersion, when a laser beam having a different wavelength is transmitted from the multi-beam laser 1, the intersection of the laser beam with a plane orthogonal to the entire laser beam A difference occurs in the optical path length between each light emitting point.

図8は、本発明の実施例7に係る光源の斜視図である。図8において、多ビームレーザ21は、GaN基板上にモノリシックに結晶成長された青紫色レーザ(発振波長405nm)および赤色レーザ(発振波長650nm)からなるモノリシック2波長レーザである。レーザビームの出射端面は、ドライエッチングの一種である、塩素ガスを用いたRIBE(反応性イオンビームエッチング)法により加工され、段差が形成されている。
本実施例では、レーザビームの出射端面が段差を構成するように形成されているため、赤色レーザと青紫色レーザから出射される両レーザビームの、両レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じるという効果を有する。このため、両ビームを一つの光学系により光ディスクの盤面に集光した場合であっても、予め出射端面の段差を所望の値に設計しておくことにより、両レーザビームが、光ディスクに対して所定の位置で焦点を結ぶことが可能になる。
尚、上述の説明では、多ビームレーザとして2波長レーザを用いたが、3波長以上の多ビームを出射するレーザであってもよい。また、出射端面の段差の形成にRIBE法を用いたが、RIBE法でない他のドライエッチング法[例えば、反応性イオンエッチング(RIE)法]であっても、また、ウエットエッチング法であっても、平滑で、素子表面に対して垂直性の高い共振器端面が形成できる方法であれば、どのような方法でも用い得る。
以上の実施例において、実施例3〜5では、一部のレーザビームのみが、透明誘電体板を透過する際に、入射面および/または出射面に直交せずに入射および/または出射するため、それらのレーザビームには、それに伴う非点収差が加わり、他のレーザビームでは、透明誘電体板を透過しないため、そのような非点収差が加わることはない。そのため、これらの実施例の光源を光ディスク装置の光源として用いたとき、光ディスク盤面上の個々の集光スポットの非点収差に、実用上問題ない程度ではあるが、差異が生じる。これに対し、実施例2および6では、全てのレーザビームが、透明誘電体板を透過する際に、入射面および出射面に直交して入射および出射するため、それらのレーザビームの間の非点収差に、差異が加わることがない。
尚、実施例1〜6は、単独ではなく、複数個のものが組み合わされて用いられてもよい。また、実施例1〜7において、各レーザビームを波長可変にすれば、これらの実施例の光源を光ディスク装置の光源として用いたとき、光ディスク上にこれらのレーザビームを集光するための対物レンズの色収差を利用して、焦点距離の微調整を行うことが可能となる。
以上幾つかの実施例を用いて本願発明について説明してきたが、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内において、適宜変更することができることは云うまでもない。
FIG. 8 is a perspective view of a light source according to Embodiment 7 of the present invention. In FIG. 8, a multi-beam laser 21 is a monolithic dual wavelength laser composed of a blue-violet laser (oscillation wavelength 405 nm) and a red laser (oscillation wavelength 650 nm) monolithically grown on a GaN substrate. The laser beam emission end face is processed by a RIBE (reactive ion beam etching) method using chlorine gas, which is a kind of dry etching, to form a step.
In this embodiment, since the emission end face of the laser beam is formed so as to form a step, the intersection of the two laser beams emitted from the red laser and the blue-violet laser with the plane orthogonal to the two laser beams, There is an effect that a difference occurs in the optical path length between each light emitting point. For this reason, even when both beams are focused on the disk surface of the optical disk by one optical system, by designing the step of the exit end face to a desired value in advance, both laser beams can be applied to the optical disk. It becomes possible to focus at a predetermined position.
In the above description, a two-wavelength laser is used as the multi-beam laser. However, a laser that emits a multi-beam having three or more wavelengths may be used. Further, although the RIBE method is used to form the step of the emission end face, it may be another dry etching method [for example, reactive ion etching (RIE) method] other than the RIBE method, or a wet etching method. Any method can be used as long as it can form a resonator end face that is smooth and highly perpendicular to the element surface.
In the above embodiments, in Embodiments 3 to 5, only a part of the laser beam is incident and / or emitted without being orthogonal to the incident surface and / or the emission surface when passing through the transparent dielectric plate. Astigmatism associated therewith is added to these laser beams, and the other laser beams do not pass through the transparent dielectric plate, so such astigmatism is not added. For this reason, when the light sources of these embodiments are used as the light source of the optical disk apparatus, there is a difference in astigmatism of individual focused spots on the optical disk surface, although there is no practical problem. On the other hand, in Examples 2 and 6, since all the laser beams are incident and emitted perpendicularly to the incident surface and the emission surface when passing through the transparent dielectric plate, the non-interval between the laser beams is not generated. No difference is added to the point aberration.
In addition, Examples 1-6 may be used combining not only single but multiple things. Further, in Examples 1 to 7, if each laser beam is made variable in wavelength, an objective lens for condensing these laser beams on the optical disk when the light source of these examples is used as the light source of the optical disk apparatus. It is possible to finely adjust the focal length by using the chromatic aberration.
Although the present invention has been described above using some examples, the present invention is not limited to the above-described examples, and can be appropriately changed within the scope of the technical idea of the present invention. Needless to say.

Claims (18)

複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源であって、少なくとも2本のレーザビームが該光源からの出力後に該2本のレーザビームに直交する平面と交わる交点と、該2本のレーザビームの発光点との間の光路長に差を生じさせ、かつ、該光路長差を変化させる手段を有する光源。A light source using a multi-beam semiconductor laser that emits a plurality of laser beams, wherein at least two laser beams intersect with a plane orthogonal to the two laser beams after output from the light sources, and the two A light source having means for causing a difference in the optical path length from the laser beam emission point and changing the optical path length difference. 前記光路長差を変化させる手段が、前記2本のレーザビームの少なくとも1本が通過する気体空間と異なる屈折率を持つ透明物質を有して構成されており、前記2本のレーザビームのうちのいずれか一方が、前記透明物質を透過する請求項1に記載の光源。The means for changing the optical path length difference includes a transparent material having a refractive index different from that of a gas space through which at least one of the two laser beams passes, and of the two laser beams. The light source according to claim 1, wherein any one of the transparent materials passes through the transparent substance. 前記透明物質を透過するレーザビームの、前記透明物質を透過する距離が可変である請求項2に記載の光源。The light source according to claim 2, wherein a distance of the laser beam transmitted through the transparent material is variable. 前記透明物質が、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に直交する入射面または反射面と、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に対して傾斜した出射面または入射面とを有し、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に直交する方向の移動成分を持って移動可能である請求項3に記載の光源。The transparent material has an incident surface or reflecting surface orthogonal to the optical axis of the laser beam incident on the transparent material, and an output surface or incident surface inclined with respect to the optical axis of the laser beam incident on the transparent material. The light source according to claim 3, wherein the light source is movable with a moving component in a direction perpendicular to an optical axis of a laser beam incident on the transparent material. 前記透明物質の前記出射面に平行な、前記透明物質を透過するレーザビームの入射面と、前記透明物質の前記入射面に平行な、前記透明物質を透過するレーザビームの出射面とを有する、前記透明物質と等しい屈折率を持つ透明物質が、前記透明物質に対向して配置されている請求項4に記載の光源。A laser beam incident surface parallel to the emission surface of the transparent material and transmitting the transparent material, and a laser beam emission surface transmitting the transparent material parallel to the incident surface of the transparent material, The light source according to claim 4, wherein a transparent material having a refractive index equal to that of the transparent material is disposed to face the transparent material. 前記透明物質が回転可能である請求項3に記載の光源。The light source according to claim 3, wherein the transparent substance is rotatable. 複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源であって、少なくとも2本のレーザビームが該光源からの出力後に該2本のレーザビームに直交する平面と交わる交点と、該2本のレーザビームの発光点との間の光路長に差を生じさせる手段を有し、該2本のレーザビームが、光記録媒体に光記録信号を記録および/または再生するビームとして使用されるように設計されていることを特徴とする光源。A light source using a multi-beam semiconductor laser that emits a plurality of laser beams, wherein at least two laser beams intersect with a plane orthogonal to the two laser beams after output from the light sources, and the two Means for producing a difference in the optical path length between the laser beam and the light emitting point of the laser beam, and the two laser beams are used as beams for recording and / or reproducing an optical recording signal on an optical recording medium. A light source characterized by being designed. 前記複数のレーザビームに対応して、前記複数のレーザビームが各々入射するミラーが形成されており、各ミラーの表面が、前記複数のレーザビームの並ぶ方向に平行であり、各ミラーへの垂線が各レーザビームと45°をなしており、前記2本のレーザビームが入射する2個のミラーと前記2個のレーザビームの発光点との距離が相異なる請求項7に記載の光源。A mirror on which each of the plurality of laser beams is incident is formed corresponding to the plurality of laser beams, and the surface of each mirror is parallel to the direction in which the plurality of laser beams are arranged. The light source according to claim 7, wherein each of the laser beams forms a 45 ° angle, and the distance between the two mirrors on which the two laser beams are incident and the emission points of the two laser beams are different. 前記2本のレーザビームが、前記2本のレーザビームの通過する気体空間と異なる屈折率を有する透明物質中を相異なる距離だけ透過する請求項7に記載の光源。The light source according to claim 7, wherein the two laser beams are transmitted through a transparent material having a different refractive index from a gas space through which the two laser beams pass by a different distance. 前記透明物質が、前記2本のレーザビームの入射する領域で、前記2本のレーザビームの通過する距離に段差を持つように形成されている請求項9に記載の光源。The light source according to claim 9, wherein the transparent material is formed so as to have a step at a distance through which the two laser beams pass in a region where the two laser beams are incident. 前記透明物質が、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に直交する入射面と、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に対して傾斜した出射面とを有する請求項9に記載の光源。The transparent material according to claim 9, wherein the transparent material has an incident surface orthogonal to an optical axis of a laser beam incident on the transparent material, and an output surface inclined with respect to the optical axis of the laser beam incident on the transparent material. light source. 前記2本のレーザビームが、相異なる屈折率を持つ透明物質を透過する請求項7に記載の光源。The light source according to claim 7, wherein the two laser beams pass through transparent materials having different refractive indexes. 少なくとも2本のレーザビームの波長が相異なっている請求項1から12のいずれか一つに記載の光源。The light source according to claim 1, wherein the wavelengths of at least two laser beams are different from each other. 複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源であって、前記複数のレーザビームのうちの少なくとも2本のレーザビームの波長が相異なり、該2本のレーザビームが、該2本のレーザビームの通過する気体空間と異なる同一の材料から成る透明物質中を同一距離透過することを特徴とする光源。A light source using a multi-beam semiconductor laser that emits a plurality of laser beams, wherein at least two of the plurality of laser beams have different wavelengths, and the two laser beams are the two laser beams. A light source that transmits the same distance through a transparent material made of the same material different from the gas space through which the laser beam passes. 前記多ビーム半導体レーザの前記少なくとも2本のレーザビームの発光面が同一平面にある請求項1から14のいずれか一つに記載の光源。The light source according to claim 1, wherein light emitting surfaces of the at least two laser beams of the multi-beam semiconductor laser are in the same plane. 前記透明物質または透明物質の一部がサファイアである請求項2から6ならびに9から15のいずれか一つに記載の光源。The light source according to any one of claims 2 to 6 and 9 to 15, wherein the transparent material or a part of the transparent material is sapphire. 前記多ビーム半導体レーザが、窒化物系化合物半導体レーザである請求項1から16のいずれかのいずれか一つに記載の光源。The light source according to any one of claims 1 to 16, wherein the multi-beam semiconductor laser is a nitride compound semiconductor laser. 少なくとも1本のレーザビームの波長が可変である請求項1から17のいずれかのいずれか一つに記載の光源。The light source according to any one of claims 1 to 17, wherein the wavelength of at least one laser beam is variable.
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