JPS64614Y2 - - Google Patents
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- JPS64614Y2 JPS64614Y2 JP4263184U JP4263184U JPS64614Y2 JP S64614 Y2 JPS64614 Y2 JP S64614Y2 JP 4263184 U JP4263184 U JP 4263184U JP 4263184 U JP4263184 U JP 4263184U JP S64614 Y2 JPS64614 Y2 JP S64614Y2
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、集積回路やその他の電子デバイス
等の処理、試験に用いられるバーンイン装置の改
良に関するものである。[Detailed Description of the Invention] This invention relates to an improvement of a burn-in device used for processing and testing integrated circuits and other electronic devices.
現在、集積回路は様々な種類および集積度のも
のが幾多の分野において大量に使用され、その生
産量も飛躍的に増大している。これらの集積回路
およびこれに類似の電子デバイスは、一般に、製
造後バーンイン装置にかけられて、特性安定化の
ためのならしや、波形チエツクによる機能試験、
信頼性試験等が行なわれる。これらのバーンイン
処理および試験は、ガラス繊維強化エポキシ樹脂
等で形成されたバーンイン基板に多数の集積回路
等の被検物を装着して恒温槽からなるバーンイン
チヤンバに入れ、たとえば200℃±３℃というよ
うな高温下に相当長時間保ちつつバーンイン基板
を通じて被検物に通電することにより行なわれ
る。また、バーンイン条件の設定や被検物の良・
否等のモニタリングは所定プログラムによりマイ
クロコンピユータ等を用いて行なわれる。 Currently, integrated circuits of various types and degrees of integration are used in large quantities in numerous fields, and their production volume is increasing dramatically. These integrated circuits and similar electronic devices are generally subjected to burn-in equipment after manufacture to perform break-in to stabilize characteristics, functional tests using waveform checks,
Reliability tests, etc. will be conducted. These burn-in treatments and tests are carried out by attaching a large number of test objects such as integrated circuits to a burn-in board made of glass fiber-reinforced epoxy resin, etc., and placing it in a burn-in chamber consisting of a thermostatic chamber at a temperature of, for example, 200°C ± 3°C. This is done by applying electricity to the test object through the burn-in board while keeping it at such a high temperature for a considerable period of time. In addition, it is necessary to set burn-in conditions and check the quality of the specimen.
Monitoring of failure is performed using a microcomputer or the like according to a predetermined program.
しかしながら、従来のバーンイン装置において
は、バーンインチヤンバ内において常時高温に曝
されるバーンイン基板中の電源導体とケーシング
またはこれに設けられた基板用ガイドレールまた
はラツクとの間にアークが発生することがあり、
特に高温におけるバーンイン炉の稼働度が高くな
つてバーンイン基板が摩耗、変質等により劣化す
るとアークが発生し易くなり、集積回路等の被検
物が損なわれるのみならず、高温下におけるアー
ク発生によつてバーンインチヤンバを焼損した
り、極端な場合は火災を招くという危険性があ
る。 However, in conventional burn-in equipment, arcs may occur between the power conductor in the burn-in board, which is constantly exposed to high temperatures in the burn inch chamber, and the casing or the board guide rail or rack provided on the casing. can be,
In particular, when the burn-in furnace operates at high temperatures and the burn-in board deteriorates due to wear, deterioration, etc., arcs are likely to occur, which not only damages the test object such as integrated circuits, but also causes arcs to occur at high temperatures. There is a danger of burning out the burn inch yamba or, in extreme cases, causing a fire.
この考案は、上記の事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、バーンイン基板の劣化によるバ
ーンインチヤンバ内のアークの発生を未然に感知
して、火災等の危険性をなくし、安全性を高めた
バーンイン装置を提供することにある。 This idea was created in view of the above circumstances, and its purpose is to detect the occurrence of arcs in the burn-in board due to deterioration of the burn-in board, eliminate the risk of fire, and increase safety. The object of the present invention is to provide a burn-in device with improved performance.
この考案は、バーンインチヤンバと、このバー
ンインチヤンバに装入されるバーンイン基板用の
直流電源装置と、マイクロコンピユータを有する
バーンイン条件設定、信号処理および集中管理の
ための集中制御・管理部とで構成されたバーンイ
ン装置において、バーンイン基板中の電源導体か
ら接地されたバーンインチヤンバのケーシングへ
の少なくとも一過性のリーク電流によつて作動
し、その作動を示す信号をマイクロコンピユータ
に供給するリーク電流検出手段を設け、この信号
が所定条件に達した時、マイクロコンピユータに
よつて警報手段を作動させるようにしたことを特
徴とする。なお、この警報器とは別に、上記リー
ク電流検出手段が作動した時には常に作動する警
報手段を設けるようにしてもよい。 This invention consists of a burn inch Yamba, a DC power supply device for the burn-in board loaded into the burn inch Yamba, and a central control/management unit equipped with a microcomputer for burn-in condition setting, signal processing, and centralized management. In the configured burn-in device, the leakage current is actuated by at least a transient leakage current from the power conductor in the burn-in board to the grounded casing of the burn-in board and provides a signal indicating the actuation to the microcomputer. The present invention is characterized in that a detection means is provided, and when this signal reaches a predetermined condition, the alarm means is activated by a microcomputer. In addition to this alarm, an alarm means may be provided which is activated whenever the leakage current detection means is activated.
以下、この考案のバーンイン装置の一実施例に
ついて図面を参照しつつ詳細に説明する。 Hereinafter, one embodiment of the burn-in device of this invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図において、バーンインチヤンバ１はその
ケーシング１′およびバーンイン基板３用のラツ
クまたはガイドレール２と共に接地されており、
バーンイン基板３に装着された多数のICよりな
る被検負荷DUTには基板３中に設けられた電源
導体４を介して直流電源装置５より一定電圧が供
給される。図中６はCRT表示装置７′、プリンタ
７″等を有するマイクロコンピユータ７および集
中管理装置８で構成された集中制御・管理部で、
この集中制御・管理部６により設定されたバーン
イン条件下においてDUTに通電し、バーンイン
処理および試験が行なわれる。なお、バーンイン
チヤンバ１内には温度センサ、煙センサ等（図示
せず）が備えられており、これらのセンサの出力
はマイクロコンピユータ７に接続される。 In FIG. 1, the burn inch bow 1 is grounded together with its casing 1' and a rack or guide rail 2 for the burn-in board 3;
A constant voltage is supplied to a test load DUT consisting of a large number of ICs mounted on a burn-in board 3 from a DC power supply 5 via a power supply conductor 4 provided in the board 3. In the figure, 6 is a central control/management unit composed of a microcomputer 7 having a CRT display device 7', a printer 7'', etc., and a central management device 8.
The DUT is energized under burn-in conditions set by the central control/management unit 6, and burn-in processing and testing are performed. Incidentally, a temperature sensor, a smoke sensor, etc. (not shown) are provided in the burn inch Yamba 1, and the outputs of these sensors are connected to the microcomputer 7.
直流電源装置５の接地端子とマイナス端子
との間には微弱な電流で作動するリーク電流検出
手段９の一次側または入力側が接続されており、
上記のようなバーンイン処理・試験中に、たとえ
ば符号Ｘで示す点において電源導体４から基板用
ガイドレール２へ僅かでもリーク電流が生じ、ア
ークが発生する状態になると、図中に破線で示す
ような閉路が形成され、その電流によつてリーク
電流検出手段が作動し、その二次側または出力側
に生じる信号がマイクロコンピユータ７に供給さ
れる。マイクロコンピユータ７はあらかじめこの
信号が所定条件に達した時にのみブザー１１を作
動させるよう設定されており、リーク電流が一過
性の瞬間的なものである場合はブザー１１は作動
しないが、リーク電流が一定時間持続するか、あ
るいは一定時間内にリークが所定回数以上発生す
る等の条件が満たされると、ブザー１１が作動す
るので、オペレータはその場合だけ装置の運転を
停止し、バーンイン基板の調整、交換等、必要な
処置をすればよい。なお、符号１０はリーク電流
が発生する都度点灯する警報灯である。 The primary side or input side of a leak current detection means 9 that operates with a weak current is connected between the ground terminal and the negative terminal of the DC power supply device 5.
During the burn-in process and test described above, if even a small amount of leakage current occurs from the power supply conductor 4 to the board guide rail 2 at the point indicated by the symbol X, and an arc occurs, it will occur as shown by the broken line in the figure. A closed circuit is formed, the leakage current detection means is actuated by the current, and a signal generated on the secondary side or output side is supplied to the microcomputer 7. The microcomputer 7 is preset to operate the buzzer 11 only when this signal reaches a predetermined condition, and if the leak current is transient and instantaneous, the buzzer 11 will not operate; When conditions such as leakage persists for a certain period of time or leakage occurs more than a specified number of times within a certain period of time are met, the buzzer 11 is activated, and the operator can stop the operation of the device only in that case and adjust the burn-in board. , or take necessary measures such as replacement. Note that reference numeral 10 is a warning light that lights up every time a leakage current occurs.
次に、上記リーク電流検出手段の回路構成の具
体例について第２図を参照しつつ説明する。 Next, a specific example of the circuit configuration of the leakage current detection means will be described with reference to FIG. 2.
図示実施例において、リーク電流検出手段は微
弱電流がコイルL1を流れるとスイツチ接点S1が
閉じる（破線側）電磁スイツチ１２、およびスイ
ツチ接点S1を介してDC12ボルトが供給されると、
コイル１３′によつてスイツチ接点S2，S3を閉じ
るリレー１３で構成されている。電磁スイツチ１
２のコイルL1は接点ヒユーズＦを介して直流電
源装置５の接地端子とマイナス端子との間に
接続されており、第１図において説明したように
符号Ｘで示す点においてリーク電流が生じると、
破線の矢印で示す閉路を流れる電流によつて励磁
され、スイツチ接点S1を閉じる（破線側）。する
と、DC12ボルトによりコイル１３が励磁されて、
スイツチ接点S2，S3が閉じる（破線側）。 In the illustrated embodiment, the leakage current detection means is an electromagnetic switch 12 whose switch contact S1 closes (dashed line side) when a weak current flows through the coil L1 , and when 12 volts DC is supplied through the switch contact S1.
It consists of a relay 13 which closes switch contacts S 2 and S 3 by means of a coil 13'. Electromagnetic switch 1
The coil L1 of No. 2 is connected between the ground terminal and the negative terminal of the DC power supply device 5 via the contact fuse F, and as explained in FIG. ,
It is excited by the current flowing through the closed circuit indicated by the dashed arrow, and closes the switch contact S1 (on the dashed line side). Then, the coil 13 is excited by 12 volts DC,
Switch contacts S 2 and S 3 close (dotted line side).
スイツチ接点S2が閉じると、ソリツドステー
ト・リレー１４の一次側に感度調節用可変抵抗器
R1を介してDC12ボルトが供給され、２次側に
AC100ボルトの閉路が形成されて、警報灯１０が
点灯する。また、スイツチ接点S3が閉じると、コ
ンデンサC1の放電路が形成され、マイクロコン
ピユータ７に負パルスが供給される。しかしなが
ら、マイクロコンピユータ７はこのパルスが一過
性の瞬間的なものである場合はこれに応動する出
力を全く発生せず、このパルスが一定時間持続す
るか、または一定時間内に所定数以上発生する等
の所定条件に達した時にのみスイツチングトラン
ジスタ１５に作動信号を供給し、その負荷回路に
接続されたブザー１１を作動させるようプログラ
ム設定されている。 When switch contact S 2 closes, a variable resistor for sensitivity adjustment is connected to the primary side of solid-state relay 14.
12 volts DC is supplied through R 1 to the secondary side.
A closed circuit of 100 volts AC is formed and the warning light 10 lights up. Further, when the switch contact S3 is closed, a discharge path of the capacitor C1 is formed, and a negative pulse is supplied to the microcomputer 7. However, the microcomputer 7 does not generate any output in response to this pulse if it is transient and instantaneous, and if this pulse continues for a certain period of time or occurs more than a certain number of times within a certain period of time, the microcomputer 7 does not generate any output in response to this pulse. The program is set so that an activation signal is supplied to the switching transistor 15 and the buzzer 11 connected to the load circuit is activated only when a predetermined condition is reached, such as when a predetermined condition is reached.
以上説明したように、この考案のバーンイン装
置によれば、バーンイン基板の摩耗、変質等の劣
化に伴なつて基板の電源導体とバーンインチヤン
バのケーシングまたはガイドレールとの間にアー
クが発生する状態になると、これを未然に検知し
て適切な処置を取ることができるため、安全性、
装置の保全性はもとより、運転効率を著しく改善
することができる。 As explained above, according to the burn-in device of this invention, as the burn-in board deteriorates due to wear, deterioration, etc., an arc is generated between the power conductor of the board and the casing or guide rail of the burn inch Yamba. When this happens, it is possible to detect this before it happens and take appropriate measures, improving safety and
Not only the maintainability of the device but also the operational efficiency can be significantly improved.
第１図はこの考案のバーンイン装置の一実施例
の主要部の構成を示すブロツク図、第２図は上記
実施例に用いるリーク電流検出手段の一例の回路
動作を説明するための回路図である。
１……バーンインチヤンバ、１′……ケーシン
グ、３……バーンイン基板、４……電源導体、５
……直流電源、６……集中制御・管理部、７……
マイクロコンピユータ、９……リーク電流検出手
段、１０……警報灯（第２警報手段）、１１……
ブザー（警報手段）。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the main parts of an embodiment of the burn-in device of this invention, and FIG. 2 is a circuit diagram for explaining the circuit operation of an example of the leakage current detection means used in the above embodiment. . 1...Burn inch Yamba, 1'...Casing, 3...Burn-in board, 4...Power supply conductor, 5
...DC power supply, 6... Centralized control and management section, 7...
Microcomputer, 9...Leak current detection means, 10...Warning light (second alarm means), 11...
Buzzer (alarm means).
Claims (1)
ンバに装入されるバーンイン基板用の直流電源
装置と、マイクロコンピユータを有するバーン
イン条件設定、信号処理および集中管理のため
の集中制御・管理部とで構成されたバーンイン
装置において、バーンイン基板中の電源導体か
ら接地されたバーンインチヤンバのケーシング
への少なくとも一過性のリーク電流によつて作
動し、その作動を示す信号をマイクロコンピユ
ータに供給するリーク電流検出手段を設け、こ
の信号が所定条件に達した時、マイクロコンピ
ユータによつて警報手段を作動させるようにし
たことを特徴とするバーンイン装置。 (2) 上記リーク電流検出手段の入力側または一次
側を上記直流電源装置の接地端子とマイナス端
子との間に接続し、出力側または２次側に生じ
る信号を上記マイクロコンピユータに入力する
ようにした実用新案登録請求の範囲第１項記載
のバーンイン装置。 (3) 上記警報手段とは別に、上記リーク電流検出
手段が作動した時には常に作動する第２の警報
手段を設けた実用新案登録請求の範囲第１項記
載のバーンイン装置。[Claims for Utility Model Registration] (1) A burn-in inch Yamba, a DC power supply device for the burn-in board loaded into the burn-in Yamba, and a microcomputer for burn-in condition setting, signal processing, and centralized control. A burn-in device configured with a centralized control and management section is activated by at least a transient leakage current from the power conductor in the burn-in board to the grounded casing of the burn inch yamba, and a signal indicating the activation is generated. 1. A burn-in device comprising: leakage current detection means supplied to a microcomputer; and when this signal reaches a predetermined condition, the microcomputer activates an alarm means. (2) Connect the input side or primary side of the leakage current detection means between the ground terminal and negative terminal of the DC power supply, and input the signal generated on the output side or secondary side to the microcomputer. A burn-in device according to claim 1 of the utility model registration claim. (3) The burn-in device according to claim 1, which is a registered utility model, further comprising a second alarm means that is activated whenever the leakage current detection means is activated, in addition to the alarm means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4263184U JPS60152972U (en) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | Burn-in equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4263184U JPS60152972U (en) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | Burn-in equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60152972U JPS60152972U (en) | 1985-10-11 |
| JPS64614Y2 true JPS64614Y2 (en) | 1989-01-09 |
Family
ID=30553566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4263184U Granted JPS60152972U (en) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | Burn-in equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60152972U (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6830295B2 (en) * | 2017-05-09 | 2021-02-17 | 株式会社ダイチューテクノロジーズ | Evaluation test equipment for storage media |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP4263184U patent/JPS60152972U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60152972U (en) | 1985-10-11 |
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