JPS6454252U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6454252U JPS6454252U JP14624787U JP14624787U JPS6454252U JP S6454252 U JPS6454252 U JP S6454252U JP 14624787 U JP14624787 U JP 14624787U JP 14624787 U JP14624787 U JP 14624787U JP S6454252 U JPS6454252 U JP S6454252U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- guide shaft
- rotation
- turntable
- slide base
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第1図は
表面分析装置の試料移動機構を含む全体配置を示
す断面図、第2図は試料移動機構の平面図、第3
図は同機構の断面図、第4図は試料移動機構の分
析可能領域の説明図である。 1……表面分析装置、12……試料移動機構、
20……保持台、22……ターンテーブル、30
……ねじ軸、32……ガイド軸、40……スライ
ドベース、44……摺動回転手段、70……伝動
系。
表面分析装置の試料移動機構を含む全体配置を示
す断面図、第2図は試料移動機構の平面図、第3
図は同機構の断面図、第4図は試料移動機構の分
析可能領域の説明図である。 1……表面分析装置、12……試料移動機構、
20……保持台、22……ターンテーブル、30
……ねじ軸、32……ガイド軸、40……スライ
ドベース、44……摺動回転手段、70……伝動
系。
Claims (1)
- 真空室内において上下動可能に設けられた保持
台上に、ねじ軸とガイド軸とをそれぞれ水平に並
列配置するとともに、両軸を回転可能に支持し、
前記ねじ軸にスライドベースを螺合し、このスラ
イドベースには、前記ガイド軸の軸方向に摺動可
能でかつ周方向にガイド軸と一体的に回転する摺
動回転手段を取り付けるとともに、試料が配置さ
れるターンテーブルと、前記摺動回転手段の回転
を前記ターンテーブルの回転軸に伝動する伝動系
とをそれぞれ設けていることを特徴とする表面分
析装置の試料移動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14624787U JPH066445Y2 (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | 表面分析装置の試料移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14624787U JPH066445Y2 (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | 表面分析装置の試料移動機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6454252U true JPS6454252U (ja) | 1989-04-04 |
JPH066445Y2 JPH066445Y2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=31415556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14624787U Expired - Lifetime JPH066445Y2 (ja) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | 表面分析装置の試料移動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH066445Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-24 JP JP14624787U patent/JPH066445Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH066445Y2 (ja) | 1994-02-16 |