JPS6448021U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6448021U JPS6448021U JP14341987U JP14341987U JPS6448021U JP S6448021 U JPS6448021 U JP S6448021U JP 14341987 U JP14341987 U JP 14341987U JP 14341987 U JP14341987 U JP 14341987U JP S6448021 U JPS6448021 U JP S6448021U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- boat body
- holding
- diffusion
- engaged
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案による拡散ボートの上面図、第
２図は本考案による拡散ボートの側面図、第３図
は本考案の拡散ボートを用いて基板を処理する状
態を示す側面図、第４図は従来の拡散ボートの上
面図、第５図は従来の拡散ボートを用いて基板を
処理する状態を示す側面図である。 １１，２１……ボート本体、１２，２２……保
持部、１３，２３……車輪、１４，２４……孔部
、１５，２５……フツク棒。
２図は本考案による拡散ボートの側面図、第３図
は本考案の拡散ボートを用いて基板を処理する状
態を示す側面図、第４図は従来の拡散ボートの上
面図、第５図は従来の拡散ボートを用いて基板を
処理する状態を示す側面図である。 １１，２１……ボート本体、１２，２２……保
持部、１３，２３……車輪、１４，２４……孔部
、１５，２５……フツク棒。
Claims (1)
- 基板が保持される保持部を備えたボート本体と
、このボート本体の一方に回転自在に装着された
車輪と、上記ボート本体の一方の端部に設けられ
た結合用の孔部と、上記ボート本体の他方の端部
に設けられ他のボートの孔部と係合するフツク棒
とを備えてなる拡散ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14341987U JPS6448021U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14341987U JPS6448021U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448021U true JPS6448021U (ja) | 1989-03-24 |
Family
ID=31410228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14341987U Pending JPS6448021U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6448021U (ja) |
-
1987
- 1987-09-18 JP JP14341987U patent/JPS6448021U/ja active Pending