JPS6438182U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6438182U JPS6438182U JP13118987U JP13118987U JPS6438182U JP S6438182 U JPS6438182 U JP S6438182U JP 13118987 U JP13118987 U JP 13118987U JP 13118987 U JP13118987 U JP 13118987U JP S6438182 U JPS6438182 U JP S6438182U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spatter
- air
- magnetic
- collection device
- attracting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Prevention Of Fouling (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の断面図、第２図
は、第１図の側面図、第３図は、第２図の一部拡
大図である。 １…スパツタ回収装置、２…スパツタ、４…磁
力板。
は、第１図の側面図、第３図は、第２図の一部拡
大図である。 １…スパツタ回収装置、２…スパツタ、４…磁
力板。
Claims (1)
- 磁性体のスパツタが含まれた空気流路に磁力で
前記スパツタを吸着するための磁力板を前記空気
の流れに沿つて設けたことを特徴とするスパツタ
回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13118987U JPS6438182U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13118987U JPS6438182U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6438182U true JPS6438182U (ja) | 1989-03-07 |
Family
ID=31387022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13118987U Pending JPS6438182U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6438182U (ja) |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP13118987U patent/JPS6438182U/ja active Pending