JPS643120B2 - - Google Patents
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- JPS643120B2 JPS643120B2 JP4494783A JP4494783A JPS643120B2 JP S643120 B2 JPS643120 B2 JP S643120B2 JP 4494783 A JP4494783 A JP 4494783A JP 4494783 A JP4494783 A JP 4494783A JP S643120 B2 JPS643120 B2 JP S643120B2
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- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
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- Acoustics & Sound (AREA)
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は、距離計測装置用超音波センサなどに
用いられる超音波トランスジユーサに関する。
従来例の構成とその問題点
従来、圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子を
超音波トランスジユーサとして、特には空中用に
用いる場合、上記振動子は固有音響インピーダン
スが空気よりも大きいため空気との固有音響イン
ピーダンスの不整合を改善するために、第１図に
示すように圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子
１に金属製半波長ホーン２を接合し、ホーン２の
先端に比較的大きな面積の金属板３を取付け、金
属板３の面積を広くすることによつて負荷を大き
くし、圧電振動子又は磁歪振動子１と空気負荷と
の間の整合をとる方法が行なわれていた。あるい
は別の方法として第２図に示すように、屈曲振動
を行なうバイモルフ型圧電セラミツク振動子４に
結合棒５を介して円錐形のアルミコーン６を接合
し、アルミコーン６によつて圧電セラミツク振動
子４と空気との音響インピーダンスの整合をはか
つていた。しかしながら、これらは共に金属板３
又は圧電セラミツク振動子の屈曲振動を用いてい
るため、共振周波数を高くすることは困難であ
り、一般に100KHz以下の空中超音波の発生に用
いられているにすぎない。100KHz以上の超音波
の発生には圧電セラミツク振動子の厚み振動が用
いられる事が多いが、従来は圧電セラミツク振動
子と空気負荷との固有音響インピーダンスの整合
を取るためにエポキシ樹脂やシリコーン系樹脂な
どの合成樹脂母材に直径数百μm以下のガラス微
小中空球を充てんした材料が整合層材料として用
いられていた。ここで固有音響インピーダンスの
大きさを考えると、圧電セラミツク振動子の音速
v1は約3500m/s、密度ρ1は8000Kg/m3程度の値で
あり、従つてそれらの積で表わされる固有音響イ
ンピーダンスz1は、大体３×107N・Ｓ／m3程度
の値となる。一方空気の常温における固有音響イ
ンピーダンスz2は約400N・Ｓ／m3であるので一
層整合層を用いる場合、一般によく知られる整合
条件から、整合層の固有音響インピーダンスを
znaとすると、整合層はzna＝√1・2＝1.1×
105N・Ｓ／m3なる固有音響インピーダンスを有
し、その厚さが1/4波長であることが望ましい。
しかるに、従来用いられているガラス微小中空
球を合成樹脂母材に充てんした整合層材料の場
合、ガラス微小中空球の密度ρgは約300Kg/m3、合
成樹脂母材としてシリコーン系樹脂を用いたとき
密度ρ0は約1000Kg/m3となるので、ガラス微小中
空球の充てん重量比率をrnとしたとき、上記ガラ
ス微小中空球を充てんしたのちの複合材料の密度
は、
ρ＝ρgρ0／（１−rn）ρg＋rnρ0 ……(1)
なる式で表わされ、rnに対して密度ρは第３図の
実線のように変化する。また第３図において破線
は充てんしたガラス微小中空球の混合後の全体積
に対する体積比率rvの重量比率に対する変化を表
わすもので、rvは次式で表わされる。
rv＝rnρ0／（１−rn）ρg＋rnρ0 ……(2)
第３図から分るように、例えばガラス微小中空
球の重量比率rnが0.30のとき、その体積比率は
0.59となり、この時の混合後の複合材料の密度は
590Kg/m3である。rnをより大きくすれば複合材料
の密度ρの値は小さくなるが逆に充てんすべきガ
ラス微小中空球の体積比率rvが大きくなり母材へ
の均一な混合、充てんが困難になる。次に密度
300Kg/m3のガラス微小中空球を密度1000Kg/m3の
シリコーン系樹脂に混合し、密度、音速を実測し
た結果を第１表に示す。
INDUSTRIAL APPLICATION FIELD The present invention relates to an ultrasonic transducer used in an ultrasonic sensor for a distance measuring device, etc. Conventional configurations and their problems Conventionally, when piezoelectric ceramic vibrators or magnetostrictive vibrators are used as ultrasonic transducers, especially in the air, the transducers have a higher natural acoustic impedance than air, so they have difficulty interacting with air. In order to improve the mismatch of natural acoustic impedance, a metal half-wavelength horn 2 is bonded to a piezoelectric ceramic vibrator or magnetostrictive vibrator 1 as shown in FIG. A method has been used in which the load is increased by attaching the plate 3 and increasing the area of the metal plate 3 to match the piezoelectric vibrator or magnetostrictive vibrator 1 and the air load. Alternatively, as shown in FIG. 2, a conical aluminum cone 6 is joined via a connecting rod 5 to a bimorph type piezoelectric ceramic vibrator 4 that performs bending vibration, and the aluminum cone 6 causes piezoelectric ceramic vibration. Acoustic impedance matching between the sensor 4 and the air was previously achieved. However, these are both metal plate 3
Alternatively, since it uses the bending vibration of a piezoelectric ceramic vibrator, it is difficult to increase the resonance frequency, and it is generally only used to generate aerial ultrasonic waves of 100 KHz or less. Thickness vibration of a piezoelectric ceramic vibrator is often used to generate ultrasonic waves of 100 KHz or higher, but in the past, epoxy resin or silicone resin was used to match the characteristic acoustic impedance between the piezoelectric ceramic vibrator and the air load. A material made of a synthetic resin matrix filled with glass microscopic hollow spheres with a diameter of several hundred micrometers or less was used as a matching layer material. Considering the magnitude of the natural acoustic impedance, the sound velocity of the piezoelectric ceramic vibrator is
v 1 is approximately 3500 m/s, density ρ 1 is approximately 8000 Kg/m 3 , and therefore the natural acoustic impedance z 1 expressed as the product of these is approximately 3×10 7 N・S/m 3 . value. On the other hand, the characteristic acoustic impedance z 2 of air at room temperature is approximately 400N・S/m 3 , so when using a single matching layer, the characteristic acoustic impedance of the matching layer can be determined from generally well-known matching conditions.
If z na , the matching layer is z na = √ 1・2 = 1.1×
It is desirable to have a specific acoustic impedance of 10 5 N·S/m 3 and a thickness of 1/4 wavelength. However, in the case of the conventional matching layer material in which glass micro hollow spheres are filled into a synthetic resin base material, the density ρ g of the glass micro hollow spheres is approximately 300 Kg/m 3 , and silicone resin is used as the synthetic resin base material. Since the density ρ 0 is approximately 1000 Kg/m 3 when the glass micro-hollow spheres are filled , the density of the composite material after filling with the glass micro-hollow spheres is: ρ = ρ g It is expressed by the formula ρ 0 /(1−r n )ρ g +r n ρ 0 (1), and the density ρ changes as shown by the solid line in FIG. 3 with respect to r n . Further, in FIG. 3, the broken line represents the change in the volume ratio r v to the total volume of the filled glass micro hollow spheres after mixing with respect to the weight ratio, and r v is expressed by the following equation. r v = r n ρ 0 / (1-r n ) ρ g + r n ρ 0 ...(2) As can be seen from Figure 3, for example, when the weight ratio r n of the glass micro hollow sphere is 0.30, the The volume ratio is
0.59, and the density of the composite material after mixing at this time is
It is 590Kg/ m3 . If r n is made larger, the value of the density ρ of the composite material becomes smaller, but conversely, the volume ratio r v of the glass micro hollow spheres to be filled increases, making it difficult to uniformly mix and fill the base material. Then the density
Table 1 shows the results of actually measuring the density and sound speed of glass micro hollow spheres of 300Kg/m 3 mixed with silicone resin having a density of 1000Kg/m 3 .
【表】
第１表から分るように、母材に混合するガラス
微小中空球の重量比率を大きくしても、混合後の
複合材料の固有音響インピーダンスの値は、圧電
セラミツク振動子と空気との整合層に要求される
固有音響インピーダンス1.1×105N・Ｓ／m3に対
して約１桁大きな値であり、整合層材料として適
当ではないことが分る。
発明の目的
本発明は、従来の整合層材料の欠点を除去し、
圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子と空気負荷
との整合を取るための最適な固有音響インピーダ
ンスを有する整合層材料を備えた超音波トランス
デユーサを提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は、従来充てん材として用いられたガラ
ス微小中空球に代わつて、熱膨張性プラスチツク
微小中空球を合成樹脂母材に混合した複合材料を
整合層として用いるものである。
実施例の説明
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
本発明の熱膨張性プラスチツク微小中空球とし
て、例えば熱膨張性気体入りプラスチツク微小中
空球（以下熱膨張性バルーンと呼ぶ）が用いら
れ、この球殻は塩化ビニリデン共重合体等のプラ
スチツク材料から成つており、球殻内部には低沸
点炭化水素等を内包している。熱膨張性バルーン
は常温では直径数十μm以下の微小中空球であり
これを100℃前後に加熱することにより体積を数
十倍に膨張させることができる。このことにより
熱膨張性バルーンの密度を極めて小さくすること
ができる。
本発明は熱膨張性バルーンをエポキシ樹脂、シ
リコーン系樹脂等の合成樹脂を母材として、その
中に混合、充てんした後、100℃前後に加熱し母
材に充てんされた熱膨張性バルーンを膨張させ、
この複合材料の密度を低くすることにより、合成
樹脂母材単体の固有音響インピーダンスより小さ
い固有音響インピーダンスを有する整合層材料を
得るものである。
第４図に本発明の一実施例を示す。第４図にお
いて、７は圧電セラミツク振動子又は磁歪振動
子、９は音響波放射面８に接着された本発明によ
る複合材料から成る整合層である。整合層９の厚
さは整合層９内を伝搬する音波の波長の1/4の奇
数倍（１倍も含む）に選ばれる。１０はパツキン
材である。
第４図に示す整合層９は、シリコーン系樹脂を
母材として熱膨張性バルーンを混合して複合材料
を形成し、これを115℃に加熱して熱膨張性バル
ーンを膨張させたのち、複合材料を硬化させて得
た。このときの複合材料の密度および音響インピ
ーダンスの実測結果を第５図に、熱膨張性バルー
ンの重量比率が0.2のとき複合材料の加熱温度を
変化させたときの実測結果を第６図に示す。第５
図から分る通り熱膨張性バルーンの重量比率が
0.3のとき、母材と熱膨張性バルーンの複合材料
の固有音響インピーダンスは1.6×105N・Ｓ／m3
となり、圧電セラミツク振動子と空気との整合層
材料に要求される固有音響インピーダンスの値
1.1×105N・Ｓ／m3に極めて近い値を得ることが
できた。
また第６図より複合材料の加熱温度を高めるこ
とにより、熱膨張性バルーンの重量比率が0.2の
ときにも、複合材料の固有音響インピーダンスの
値として0.98×105N・Ｓ／m3を得ることができ
た。なお磁歪振動子についても全く同様にして、
複合材料を整合層材料として用いることが可能で
ある。
以上説明したように本実施例によれば、合成樹
脂を母材として熱膨張性バルーンを混合した複合
材料を加熱して熱膨張性バルーンを膨張させた
後、複合材料を硬化させることにより、固有音響
インピーダンスが1.1×105N・Ｓ／m3近傍の値を
有する整合層材料を容易に実現することができ
る。また複合材料の加熱温度あるいは加熱時間を
コントロールすることにより密度のコントロール
が可能であり従つて固有音響インピーダンスのコ
ントロールが可能である。また熱膨張性バルーン
の大きさが複合材料内を伝搬する音波の波長に比
べて十分小さくないときは複合材料内における音
波の減衰が大となるが、本実施例では複合材料の
加熱温度あるいは加熱時間をコントロールするこ
とにより、熱膨張性バルーンの大きさをコントロ
ールできるので、使用周波数の波長に応じて音波
の減衰の少ないようなバルーンの大きさとするべ
く加熱条件を設定することができる。
本発明の第２の実施例として熱膨張性気体入り
プラスチツク微小中空球をあらかじめ加熱膨張さ
せ、密度を20Kg/m3〜50Kg/m3程度に小さくしたの
ちにエポキシ樹脂あるいはシリコーン系樹脂等の
合成樹脂母材に混合することによつて、密度の小
さい複合材料を得ることができる。例えば加熱膨
張後のプラスチツク微小中空球の密度を30Kg/m3、
混合重量比率を0.1とすると、微小中空球を充て
ん後の複合材料の密度ρは(1)式によつて、ρ≒
240Kg/m3となり、第２の実施例で得た複合材料の
密度は、ガラス微小中空球を充てん材料として用
いた時よりかなり小さい値が得られ、従つて整合
層材料として適していることが分る。
以上のように本実施例によれば、熱膨張性バル
ーンを母材に混合する前にあらかじめ加熱膨張さ
せることにより、極めて密度の小さい充てん材を
得ることができるので、これを母材に混合するこ
とにより、混合後の密度の小さい複合材を得るこ
とができ、整合層材料として適した材料を実現で
きる。また、熱膨張性バルーンの加熱温度、加熱
時間によつて密度のコントロールが可能であるの
で、固有音響インピーダンスのコントロールも可
能である。また、熱膨張性バルーンの加熱時間、
加熱温度のコントロールによつて、その大きさを
コントロールして、音波の減衰を少なくすること
も可能である。
なお母材となる合成樹脂の硬化前の粘度は、実
施例におけるシリコーン系樹脂の場合、常温で25
ポイズであるが100ポイズ程度に粘度が高くなる
と熱膨張性バルーンを母材に混合できる重量比率
は10％程度となり、更に高粘度になると熱膨張性
バルーンの混合比率は10％以下しか混合できなく
なるため、混合後の複合材料の密度を十分小さく
することができない。従つて母材となる流動性合
成樹脂の粘度は常温において大体100ポイズ以下
であることが望ましい。
発明の効果
以上説明したように本発明は、合成樹脂に熱膨
張性微小中空球を混合した後加熱膨張するか、あ
らかじめ加熱膨張した後混合して得られた複合材
料を音響整合層として用いるため、熱膨張性微小
中空球の密度を低くして音響整合層の固有音響イ
ンピーダンスを従来よりも小さくでき、圧電セラ
ミツク振動子または磁歪振動子と空気負荷との音
響的な整合を十分とることができ、特性の向上を
図ることができる。また、熱膨張性微小中空球の
加熱温度、加熱時間をコントロールすることによ
つて、音響インピーダンスのコントロールがで
き、音波の減衰も小さくすることができる。[Table] As can be seen from Table 1, even if the weight ratio of the glass micro hollow spheres mixed into the base material is increased, the value of the characteristic acoustic impedance of the composite material after mixing is the same as that of the piezoelectric ceramic vibrator and the air. This value is approximately one order of magnitude larger than the characteristic acoustic impedance of 1.1×10 5 N·S/m 3 required for the matching layer, and it is found that this value is not suitable as a matching layer material. OBJECTS OF THE INVENTION The present invention eliminates the drawbacks of conventional matching layer materials and
It is an object of the present invention to provide an ultrasonic transducer with a matching layer material having an optimal natural acoustic impedance for matching a piezoelectric ceramic vibrator or magnetostrictive vibrator with an air load. Structure of the Invention The present invention uses, as a matching layer, a composite material in which thermally expandable plastic microscopic hollow spheres are mixed into a synthetic resin base material, instead of the glass microscopic hollow spheres conventionally used as a filler. DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings. As the heat-expandable plastic micro hollow spheres of the present invention, for example, heat-expandable gas-filled plastic micro hollow spheres (hereinafter referred to as heat-expandable balloons) are used, and the spherical shell is made of a plastic material such as vinylidene chloride copolymer. The spherical shell contains low-boiling hydrocarbons, etc. A thermally expandable balloon is a microscopic hollow sphere with a diameter of several tens of micrometers or less at room temperature, and its volume can be expanded several tens of times by heating it to around 100°C. This allows the density of the thermally expandable balloon to be extremely low. In the present invention, a thermally expandable balloon is mixed and filled into a synthetic resin such as epoxy resin or silicone resin as a base material, and then heated to around 100°C to expand the thermally expandable balloon filled in the base material. let me,
By lowering the density of this composite material, a matching layer material having a specific acoustic impedance smaller than that of the synthetic resin base material alone can be obtained. FIG. 4 shows an embodiment of the present invention. In FIG. 4, 7 is a piezoelectric ceramic vibrator or a magnetostrictive vibrator, and 9 is a matching layer made of a composite material according to the present invention bonded to the acoustic wave emitting surface 8. In FIG. The thickness of the matching layer 9 is selected to be an odd multiple (including 1 times) of 1/4 of the wavelength of the sound wave propagating within the matching layer 9. 10 is a packing material. The matching layer 9 shown in FIG. 4 is made by mixing a silicone resin base material with a thermally expandable balloon to form a composite material, heating this to 115°C to expand the thermally expandable balloon, and then forming a composite material. Obtained by curing the material. Figure 5 shows the actual measurement results of the density and acoustic impedance of the composite material at this time, and Figure 6 shows the actual measurement results when the heating temperature of the composite material was varied when the weight ratio of the thermally expandable balloon was 0.2. Fifth
As you can see from the figure, the weight ratio of the thermally expandable balloon is
0.3, the specific acoustic impedance of the composite material of the base material and the thermally expandable balloon is 1.6×10 5 N・S/m 3
The value of the characteristic acoustic impedance required for the matching layer material between the piezoelectric ceramic vibrator and air is
A value extremely close to 1.1×10 5 N·S/m 3 could be obtained. Furthermore, as shown in Figure 6, by increasing the heating temperature of the composite material, even when the weight ratio of the thermally expandable balloon is 0.2, the value of the specific acoustic impedance of the composite material is 0.98×10 5 N・S/m 3 . I was able to do that. In addition, for the magnetostrictive vibrator, in exactly the same way,
Composite materials can be used as matching layer materials. As explained above, according to this embodiment, a composite material made of a synthetic resin base material mixed with a thermally expandable balloon is heated to expand the thermally expandable balloon, and then the composite material is cured. A matching layer material having an acoustic impedance of around 1.1×10 5 N·S/m 3 can be easily realized. Furthermore, by controlling the heating temperature or heating time of the composite material, the density can be controlled, and therefore the specific acoustic impedance can be controlled. Furthermore, if the size of the thermally expandable balloon is not sufficiently small compared to the wavelength of the sound waves propagating within the composite material, the attenuation of the sound waves within the composite material will be large. By controlling the time, the size of the thermally expandable balloon can be controlled, so heating conditions can be set so that the size of the balloon is such that the attenuation of sound waves is small, depending on the wavelength of the frequency used. In a second embodiment of the present invention, plastic microscopic hollow spheres filled with thermally expandable gas are heated and expanded in advance to reduce the density to about 20Kg/m 3 to 50Kg/m 3 , and then epoxy resin or silicone resin is synthesized. By mixing it with a resin matrix, a composite material with low density can be obtained. For example, if the density of plastic micro hollow spheres after heating expansion is 30Kg/m 3 ,
When the mixing weight ratio is 0.1, the density ρ of the composite material after filling with micro hollow spheres is given by equation (1), ρ≒
The density of the composite material obtained in the second example is 240Kg/m 3 , which is much smaller than that obtained when glass micro hollow spheres are used as the filling material, and therefore it is suitable as a matching layer material. I understand. As described above, according to this example, by heating and expanding the thermally expandable balloon before mixing it with the base material, it is possible to obtain a filler with extremely low density. By doing so, a composite material having a low density after mixing can be obtained, and a material suitable as a matching layer material can be realized. Moreover, since the density can be controlled by the heating temperature and heating time of the thermally expandable balloon, it is also possible to control the specific acoustic impedance. In addition, the heating time of the thermally expandable balloon,
By controlling the heating temperature, it is also possible to control the size and reduce the attenuation of the sound waves. The viscosity of the base material synthetic resin before curing is 25% at room temperature in the case of the silicone resin used in the examples.
However, when the viscosity increases to about 100 poise, the weight ratio that can be mixed with the thermally expandable balloon in the base material is about 10%, and when the viscosity becomes even higher, the mixing ratio of the thermally expandable balloon can only be mixed with less than 10%. Therefore, the density of the composite material after mixing cannot be made sufficiently small. Therefore, it is desirable that the viscosity of the fluid synthetic resin serving as the base material be approximately 100 poise or less at room temperature. Effects of the Invention As explained above, the present invention uses, as an acoustic matching layer, a composite material obtained by mixing thermally expandable micro hollow spheres with a synthetic resin and then heating and expanding it, or heating and expanding it in advance and then mixing it. By lowering the density of the thermally expandable micro hollow spheres, the specific acoustic impedance of the acoustic matching layer can be made smaller than before, making it possible to achieve sufficient acoustic matching between the piezoelectric ceramic vibrator or magnetostrictive vibrator and the air load. , characteristics can be improved. Furthermore, by controlling the heating temperature and heating time of the thermally expandable micro hollow spheres, the acoustic impedance can be controlled and the attenuation of sound waves can be reduced.
第１図、第２図は従来の空中用超音波トランス
ジユーサを示す概略構成図、第３図は従来の空中
用超音波トランスジユーサにおける音響整合層の
混合物の重量比率と、体積比率及び複合材料の密
度との関係を示す図、第４図は本発明の一実施例
を示す断面図、第５図は同実施例の重量比率と密
度及び固有音響インピーダンスとの関係を示す
図、第６図は同実施例の加熱温度と密度及び固有
音響インピーダンスとの関係を示す図である。
７……圧電セラミツク振動子又は磁歪振動子、
９……整合層、１０……バツキング材。
Figures 1 and 2 are schematic configuration diagrams showing a conventional airborne ultrasonic transducer, and Figure 3 shows the weight ratio, volume ratio, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention; FIG. 5 is a diagram showing the relationship between weight ratio, density, and specific acoustic impedance of the same embodiment; FIG. 6 is a diagram showing the relationship between heating temperature, density, and specific acoustic impedance in the same example. 7...Piezoelectric ceramic vibrator or magnetostrictive vibrator,
9... Matching layer, 10... Batching material.
Claims (1)
中に混合してなる複合材料を、超音波振動子の音
響整合層として用いたことを特徴とする超音波ト
ランスジユーサ。 ２ 超音波振動子が、圧電セラミツク振動子また
は磁歪振動子からなる特許請求の範囲第１項記載
の超音波トランスジユーサ。 ３ 熱膨張性プラスチツク微小中空球の密度が、
50Kg/m3程度より小さいことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の超音波トランスジユーサ。[Scope of Claims] 1. An ultrasonic transducer characterized in that a composite material made by mixing thermally expandable plastic microscopic hollow spheres into a synthetic resin is used as an acoustic matching layer of an ultrasonic vibrator. 2. The ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the ultrasonic vibrator is a piezoelectric ceramic vibrator or a magnetostrictive vibrator. 3 The density of thermally expandable plastic micro hollow spheres is
The ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the ultrasonic transducer is smaller than about 50 kg/m 3 .
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4494783A JPS59171296A (en) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | Ultrasonic wave transducer |
| DE8484301823T DE3478357D1 (en) | 1983-03-17 | 1984-03-16 | Ultrasonic transducers having improved acoustic impedance matching layers |
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP4494783A JPS59171296A (en) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | Ultrasonic wave transducer |
Publications (2)
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| JPS59171296A JPS59171296A (en) | 1984-09-27 |
| JPS643120B2 true JPS643120B2 (en) | 1989-01-19 |
Family
ID=12705674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4494783A Granted JPS59171296A (en) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | Ultrasonic wave transducer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59171296A (en) |
Families Citing this family (5)
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-
1983
- 1983-03-17 JP JP4494783A patent/JPS59171296A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59171296A (en) | 1984-09-27 |
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